KR20010025070A - 차단밸브 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (41)
- 제 2 영역으로부터 제 1 영역을 선택적으로 밀봉하는 차단밸브로서,상기 제 1 영역과 상기 제 2 영역 사이에 채널을 한정하며, 상기 채널은 적어도 제 1 포트와 제 2 포트 사이에 연장하는 하우징; 및상기 하우징 내에 배치되며, 상기 제 1 영역과 상기 제 2 영역 사이에 소통이 가능한 적재 위치와, 상기 게이트가 상기 채널에 걸치는 전개 위치 사이에서 이동가능한 게이트를 포함하며,상기 게이트는:(a) 외향면을 각각 구비하는 제 1 밀봉 부재 및 제 2 밀봉 부재; 및(b) 상기 제 1 밀봉면과 상기 제 2 밀봉면 사이에 배치된 확장가능 부재를 포함하고,상기 확장가능 부재는 제 1 상태로부터 제 2 상태로 확장가능하며 상기 제 2 위치로부터 상기 제 1 위치로 수축하고, 상기 제 1 위치에서, 상기 게이트가 적재 위치와 전개 위치 사이에서 상기 게이트가 이동가능하며, 상기 제 2 위치에서, 상기 게이트는 전개 위치에 있고, 상기 제 1 밀봉 부재 및 상기 제 2 밀봉 부재는 확장가능 부재의 확장에 의해 서로로부터 이격되어 편향되어, 상기 제 2 영역으로부터 상기 제 1 영역을 밀봉하도록 상기 제 1 밀봉 부재의 외향면이 상기 제 1 포트와 밀봉으로 결합되며, 상기 제 2 밀봉면의 상기 외향면은 하우징과 결합되는 차단밸브.
- 제 1 항에 있어서, 상기 게이트가 상기 전개 위치에 있고, 상기 확장 부재가 상기 제 2 위치에 있으면서, 상기 제 2 포트를 통한 소통을 차단하도록 상기 제 2 밀봉 부재가 상기 제 2 포트와 밀봉으로 결합되는 차단밸브.
- 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 밀봉 부재 및 상기 제 2 밀봉 부재는 서로 거의 평행하게 정렬되는 차단밸브.
- 제 1 항에 있어서, 각각의 상기 제 1 밀봉 부재 및 상기 제 2 밀봉 부재는 거의 평판을 포함하는 차단밸브.
- 제 1 항에 있어서, 상기 확장가능 부재는 팽창가능 부재를 포함하는 차단밸브.
- 제 5 항에 있어서, 상기 확장가능 부재는 엘라스토머 블래더를 포함하는 차단밸브.
- 제 1 항에 있어서, 상기 확장가능 부재는 벨로우즈를 포함하는 차단밸브.
- 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 밀봉 부재의 외향면이 제 1 가스킷을 포함하여, 상기 제 2 밀봉 부재의 외향면이 제 2 가스킷을 포함하는 차단밸브.
- 제 1 항에 있어서, 상기 밸브가 상기 전개 위치에 있고, 상기 확장가능 부재가 상기 제 2 상태에 있으면서, 상기 제 2 부분과 상기 하우징의 내부 사이에 유체 소통이 허용되지 않는 차단밸브.
- 제 1 항에 있어서, 상기 하우징은 베이(bay)를 더 포함하며, 상기 확장가능 부재가 상기 제 1 상태에 있고 상기 게이트가 적재 위치에 있는 경우, 상기 게이트가 상기 베이 내에 있는 차단밸브.
- 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 밀봉 부재 및 상기 제 2 밀봉 부재를 서로를 향하여 편향시키는 하나 이상의 스프링을 더 포함하는 차단밸브.
- 제 11 항에 있어서, 복수의 쌍의 장력 스프링을 포함하며, 각각의 쌍에 있는 제 1 스프링은 상기 제 1 밀봉 부재를 프레임과 연결시키며, 각각의 쌍에 있는 제 2 스프링은 상기 제 2 밀봉 부재를 상기 프레임과 연결시키고, 상기 제 1 스프링은 상기 제 2 스프링과 축으로 정렬되는 차단밸브.
- 제 1 항에 있어서, 상기 적재 위치와 상기 전개 위치 사이에 게이트를 선택적으로 이동시키는 액추에이터를 더 포함하는 차단밸브.
- 제 13 항에 있어서, 상기 액추에이터를 상기 게이트에 연결하는 프레임을 더 포함하며,상기 프레임은,상기 액추에이터에 연결되며 제 1 단부 및 제 2 단부를 가지는 횡단 부재; 및상기 횡단 부재의 상기 제 1 단부 및 상기 제 2 단부에 각각 위치하며, 상기 제 1 포스트 부재 및 상기 제 2 포스트 부재가 상기 제 1 밀봉 부재 및 상기 제 2 밀봉 부재에 각각 연결되는 차단밸브.
- 제 14 항에 있어서, 상부 에지 및 하부 에지를 각각 가지는 제 1 만곡부 및 제 2 만곡부를 더 포함하며, 상기 만곡부의 하부 에지는 횡단 부재에 고정되고, 상기 제 1 만곡부의 상부 에지는 제 1 밀봉 부재에 고정되며, 상기 제 2 만곡부의 상부 에지는 상기 제 2 밀봉 부재에 고정되는 차단밸브.
- 제 15 항에 있어서, 상기 확장가능 부재를 팽창시키는 제 1 콘딧을 더 포함하며, 상기 제 1 콘딧은 상기 제 1 만곡부와 상기 제 2 만곡부 사이를 통과하는 차단밸브.
- 제 16 항에 있어서, 상기 확장가능 부재를 수축시키는 제 2 콘딧을 더 포함하며, 상기 제 2 콘딧은 상기 제 1 만곡부와 상기 제 2 만곡부 사이를 통과하는 차단밸브.
- 제 1 항에 있어서, 상기 게이트가 상기 전개 위치에 있고 상기 확장가능 부재가 상기 제 2 상태에 있으면서, 상기 제 2 포트를 통한 소통을 차단하도록 상기 제 2 밀봉 부재가 상기 제 2 포트와 밀봉으로 결합되며, 인접한 처리 챔버 내의 압력이 하우징 내의 압력보다 큰 차단밸브.
- 제 18 항에 있어서, 상기 하우징 내의 압력은 대기압인 차단밸브.
- 제 1 항에 있어서, 상기 게이트가 상기 전개 위치에 있고 상기 확장가능 부재가 상기 제 2 상태에 있으면서, 상기 제 2 포트를 통한 소통을 차단하도록 상기 제 2 밀봉 부재가 상기 제 2 포트와 밀봉으로 결합되며, 상기 확장가능 부재에 의해 경계가 한정된 영역의 제 2 압력보다 낮은 제 1 압력에서 공동을 구비하는 상기 확장가능 부재에 의해 경계가 한정된 영역의 외부로 상기 하우징이 공동을 한정하는 차단밸브.
- 제 1 챔버와 제 2 챔버 사이에 채널을 한정하는 하우징;상기 하우징 내에 배치된 게이트 조립체;상기 제 1 챔버와 연통하는 제 1 포트와, 상기 제 2 챔버와 연통하는 제 2 포트 사이에 게이트 조립체를 위치시키는 수단;초기에 상기 제 2 챔버로부터 상기 제 1 챔버를 밀봉하도록 상기 게이트 조립체를 상기 제 1 포트와 결합하게 하는 수단; 및상기 제 2 챔버로부터 상기 제 1 챔버를 더 밀봉하도록 상기 하우징 내부의 압력을 변경하는 수단을 포함하는 차단밸브.
- 제 2 챔버로부터 제 1 챔버를 선택적으로 차단하도록 구성된 게이트 조립체와 하우징을 구비하는 밸브를 이용하여 상기 제 2 챔버로부터 상기 제 1 챔버를 밀봉하는 방법으로서,상기 제 2 챔버와 연통하는 제 1 포트와, 상기 제 2 챔버와 연통하는 제 2 포트 사이에 게이트 조립체를 위치시키는 단계;초기에 상기 제 2 챔버로부터 상기 제 1 챔버를 밀봉하도록 상기 게이트 조립체를 상기 제 1 포트와 결합하게 하는 단계; 및상기 제 2 챔버로부터 상기 제 1 챔버를 더 밀봉하도록 상기 하우징 내부의 압력을 변경하는 단계를 포함하는 방법.
- 제 22 항에 있어서, 상기 압력을 변경하는 단계는 상기 제 1 챔버 내의 압력보다 높은 정도의 압력으로 상승시키는 단계를 포함하는 방법.
- 제 22 항에 있어서, 상기 압력을 변경하는 단계는 상기 챔버 외부의 주변 압력보다 높은 정도의 압력으로 상승시키는 단계를 포함하는 방법.
- 제 22 항에 있어서, 상기 압력을 변경하는 단계는 상기 제 1 챔버의 압력보다 낮은 정도의 압력으로 감소시키는 단계를 포함하는 방법.
- 기판이 통과하여 전송될 수 있는 통로를 구비하며, 상기 통로의 주변을 따라 있는 표면이 게이트를 결합시키기 위한 시트를 형성하는 하우징;상기 하우징 내에 배치되며, 상기 통로가 개방되는 제 1 위치, 및 상기 통로를 밀봉하도록 상기 게이트가 시트와 결합하는 제 2 위치를 가지는 게이트;상기 게이트의 제 1 위치와, 상기 통로와 마주하는 중간 상승 위치 사이에서 상기 게이트의 이동을 제어하기 위해 상기 게이트에 연결된 리프트 장치; 및상기 중간 상승 위치와 상기 게이트의 제 2 위치 사이에서 상기 게이트의 회전을 제어하기 위해 상기 게이트에 연결된 회전장치를 포함하는 차단밸브.
- 제 26 항에 있어서, 상기 회전 장치는 제 1 위치와 제 2 위치를 각각 가지는 하나 이상의 푸시 실린더를 포함하며, 상기 회전 장치의 제 1 위치와 상기 회전 장치의 제 2 위치 사이에서 하나 이상의 푸시 실린더가 이동함으로써 상기 게이트의 중간 상승 위치와 상기 게이트의 제 2 위치 사이에서 상기 게이트가 회전하게 되는 차단 밸브.
- 제 26 항에 있어서, 상기 게이트는 상기 게이트의 제 2 위치에 있으며, 상기 통로에 대항하여 게이트를 밀봉하도록 수평력 성분이 제공되는 차단밸브.
- 제 26 항에 있어서, 상기 리프트 장치는:리프트 실린더;상기 리프트 실린더에 연결된 피스톤 로드;상기 피스톤 로드에 연결된 리프트판; 및일단에서 상기 리프트판에 연결되며, 타단에서 상기 게이트에 연결된 하나 이상의 샤프트를 포함하는 차단밸브.
- 제 29 항에 있어서, 상기 게이트는 상기 하나 이상의 샤프트의 수직축으로부터 미세하게 옵셋된 수직축을 가지는 차단밸브.
- 제 30 항에 있어서, 상기 게이트가 상기 게이트의 중간 상승 위치에 있는 경우 상기 게이트의 정상부가 상기 통로로부터 이격되어 편향될 정도로, 상기 게이트의 수직축이 상기 하나 이상의 샤프트의 수직축으로부터 적어도 0.5도 옵셋되는 차단밸브.
- 제 30 항에 있어서, 상기 게이트가 상기 게이트의 제 1 위치에 있는 경우, 상기 게이트는 거의 적어도 상기 통로의 바닥만큼 낮은 차단밸브.
- 제 26 항에 있어서, 상기 리프트 장치 및 상기 회전 장치가 상기 제 1 하우징 아래 프레임 내에 위치하는 차단밸브.
- 제 26 항에 있어서, 상기 하우징은 상기 통로에 거의 수직한 표면에 하나 이상의 개구부를 포함하며, 상기 하나 이상의 개구부는, 기판 전송 장치의 구동 장치에 대해 상기 하나 이상의 개구부를 통하여 진공을 공급하는 기능을 하도록 구성되는 차단밸브.
- 제 26 항에 있어서, 상기 하우징은 상기 통로에 거의 수직한 표면에 하나 이상의 개구부를 포함하며, 상기 하니 이상의 개구부는, 상기 밸브로부터 상기 하나 이상의 개구부를 통하여 상기 게이트가 이동될 수 있게 하는 치수를 가지는 차단밸브.
- 제 26 항에 있어서, 상기 게이트가 상기 하우징 내에 배치되는 동안 상기 게이트의 시각 검사를 도와주도록 상기 하우징의 내부에 하나 이상의 개구부를 가지는 정상면을 포함하는 차단밸브.
- 내부 영역을 각각 가지는 제 1 처리 챔버 및 제 2 처리 챔버;상기 제 1 챔버에 인접하게 상기 제 1 처리 챔버와 상기 제 2 처리 챔버 사이에 배치되며, 상기 제 1 챔버까지 제 1 기판 통로를 형성하는 제 1 밸브 하우징;상기 제 1 밸브 하우징 내에 배치되며, 상기 제 1 기판 통로가 개방되는 제 1 위치와, 상기 제 1 기판 통로가 밀봉되는 제 2 위치 사이에서 이동가능한 제 1 게이트;제 1 프레임 내에 배치되며, 상기 제 1 위치와 상기 제 2 위치 사이에서 상기 제 1 게이트가 이동하는 것을 제어하기 위해 상기 제 1 게이트에 연결된 제 1 액추에이터;상기 제 2 챔버와 상기 제 1 밸브 하우징 사이에 배치되며, 상기 제 2 챔버까지 제 2 기판 통로를 형성하는 제 2 밸브 하우징;상기 제 2 밸브 하우징 내에 배치되며, 상기 제 2 통로가 개방되는 제 1 위치와, 상기 제 2 통로가 밀봉되는 제 2 위치 사이에서 이동가능한 제 2 게이트; 및제 2 프레임 내에 배치되며, 상기 제 2 게이트의 제 1 위치와 상기 제 2 게이트의 제 2 위치 사이에서 상기 제 2 게이트가 이동하는 것을 제어하기 위해 상기 제 2 게이트에 연결된 제 2 액추에이터 장치를 포함하며,각각의 액추에이터 장치는:(a) 상기 게이트의 제 1 위치와, 통로와 마주하는 중간 상승 부분 사이에서 관련된 상기 게이트 중 하나가 이동하게 하는 리프트 장치; 및(b) 제 1 위치 및 제 2 위치를 각각 가지며, 제 1 위치 및 제 2 위치 사이에서 이동함으로써 상기 게이트의 중간 상승 위치와 상기 게이트의 제 2 위치 사이에서 관련된 게이트가 회전하게 하는 회전 장치를 포함하는 기판 처리 시스템.
- 제 37 항에 있어서, 상기 제 1 밸브 하우징이 상기 제 2 액추에이터 장치 프레임과 부분적으로 중복되도록 각각의 상기 밸브 하우징 및 상기 액추에이터 장치 프레임이 비대칭으로 형성되는 시스템.
- 제 38 항에 있어서, 상기 제 1 밸브 하우징은 상기 통로와 수직한 표면에 하나 이상의 개구부를 포함하며, 상기 하나 이상의 개구부는, 상기 하나 이상의 개구부를 통하여 기판 전송 장치의 구동 장치에 대해 진공을 공급하도록 기능하게 하는 시스템.
- 제 37 항에 있어서, 상기 제 1 밸브 하우징은 상기 제 1 챔버와 함께 단일 유닛으로서 일체로 형성되며, 상기 제 2 밸브 하우징은 상기 제 2 챔버와 함께 단일 유닛으로서 일체로 형성되는 시스템.
- 제 37 항에 있어서, 각각의 리프트 장치는 리프트 실린더를 포함하며, 각각의 회전 장치는 각각의 푸시 실린더를 포함하는 시스템.
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