KR20010101757A - 팽창성 슬릿/게이트 밸브 - Google Patents

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KR20010101757A KR1020017009498A KR20017009498A KR20010101757A KR 20010101757 A KR20010101757 A KR 20010101757A KR 1020017009498 A KR1020017009498 A KR 1020017009498A KR 20017009498 A KR20017009498 A KR 20017009498A KR 20010101757 A KR20010101757 A KR 20010101757A
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조셉 제이. 스위니
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Abstract

밀봉할 수 있는 도어 조립체는, 밀봉될 개구와 마주하는 전면판, 이런 전면판에 조작가능하게 연결된 후면판, 그리고 이런 전면판과 후면판 사이에 위치하는 적어도 하나의 팽창성 부재를 포함한다. 팽창성 부재가 팽창되면, 팽창성 부재는 개구를 밀봉 속박하기 위해 전면판을 이동시킨다. 한 실시예에서, 팽창성 부재는 하나 이상의 진공 그레이드 벨로즈를 포함한다. 이동 메커니즘은 개구를 선택적으로 폐쇄하도록 도어 조립체를 이동시킨다. 도어 조립체가 개구를 폐쇄하면, 팽창성 부재는 팽창되고 확장되어 개구에 대해 수직 방향으로 힘을 가함으로써 개구를 밀봉한다. 도어 조립체는 이송 챔버의 외측벽 내에 형성된 포켓 안쪽에 장착될 수 있으며, 밀봉판은 포켓 내에 기밀부를 형성하기 위해 채용될 수 있다.

Description

팽창성 슬릿/게이트 밸브{INFLATABLE SLIT/GATE VALVE}
반도체 웨이퍼는, 웨이퍼가 도구(예를 들면, 로드 록)로부터 그리고 이런 도구로 로딩/언로딩, 이송 또는 처리되도록 설계된 다수의 챔버를 포함하는 자동 조립 도구 내에서 처리된다. 일반적으로 각 챔버의 환경은, 상호오염을 억제하기 위하여 그리고 수행될 프로세싱에 따라 다른 압력으로 여러 챔버가 유지될 수 있도록, 이웃한 챔버의 환경으로부터 선택적으로 독립되어야 한다. 또한, 로드 록은 도구 외부 환경으로부터 선택적으로 독립되어야 한다. 이러한 선택적 독립을 달성하기 위해, 각 챔버에는 슬릿이 제공되며, 이를 통해 웨이퍼 핸들러는 챔버로부터 그리고 이런 챔버로 웨이퍼를 이송시킨다. 슬릿은 이동식 도어(일반적으로, 진공분야에서는 슬릿 밸브로, 그리고 비진공 분야에서는 게이트 밸브로 언급됨)에 의해 선택적으로 밀봉된다. 종래의 이동식 도어 조립체는 부피가 크고, 값비싼 클린룸 공간을 소비하고, 많은 이동식 부품들을 필요로 하며 빈번한 교체가 요구된다. 따라서, 이동식 도어 조립체는 상당한 비용을 들여 구성된다.
일반적으로 많이 사용되는 도어 조립체는 밀봉면과 이런 밀봉면으로부터 아래쪽으로 연장되는 기다란 축부를 가진 형상이다. 작동시, 이런 도어 조립체는 상승되어 밀봉면이 밀봉될 슬릿 개구를 폐쇄시킨다. 이에 따라, 이런 도어 조립체의 하부-축부에 위치한 공기 실린더가 작동된다. 공기 실린더는 챔버 벽을 밀어냄으로써 챔버로부터 도어의 하부-축부가 멀어지도록 힘을 가하며, 동시에 슬릿을 내부에서 밀봉하도록 도어 조립체의 밀봉면에 힘을 가한다. 이런 캔틸레버링 힘(cantilevering force)이 규정된 시간을 초과하면, 이 힘은 축을 굽어지게 하며, 기밀부를 파괴시킨다. 또한, 밀봉면이 슬릿을 둘러싸고 있는 표면을 따라 활주하도록 하는 약간의 아크 운동(arcing motion)으로 밀봉면은 슬릿을 향해 이동한다. 이러한 활주식 접촉은 웨이퍼 표면을 오염시킬 수 있는 입자를 발생시킨다.
즉, 이런 종래의 도어 조립체는 부피가 크고, 비용이 많이 들며, 신뢰도가 떨어지고 잠재적인 파괴성 입자를 발생시킨다. 따라서, 부피가 작고, 저렴하며, 보다 신뢰도가 높고 종래의 도어 조립체보다 적은 입자를 발생시키는 개선된 도어 조립체가 필요하다.
본 발명은 개구에 자동식 기밀부를 제공하기 위한 방법 및 장치에 관한 것이다. 보다 구체적으로, 본 발명은 반도체 장치 조립 도구의 챔버를 밀봉하기 위한 게이트 밸브 또는 슬릿 밸브와 같은 도어 조립체(door assembly)에 관한 것이다.
도 1은 본 발명의 도어 조립체의 제 1 실시예의 사시도;
도 2a 및 2b는 도 1에 도시된 도어의 측면도 및 분해 사시도;
도 3은 도 1에 도시된 본 발명의 도어 조립체로서, 로드 록 챔버와 관련되어 있는 도어 조립체의 분해 사시도;
도 4는 본 발명의 도어 조립체의 제 2 실시예의 사시도;
도 5는 도 4의 본 발명의 도어 조립체를 가진 일반적인 이송 챔버(53)의 사시도;
도 6은 도 4의 본 발명의 도어 조립체의 분해 사시도;
도 7은 도 6의 본 발명의 도어 조립체에 대한 가스 공급관을 도시하는 사시도; 그리고
도 8은 도 1 및 도 4의 본 발명의 도어 조립체를 포함하는 자동 반도체 장치 조립 도구의 평면도이다.
본 발명은 반도체 조립 도구의 슬릿 개구와 같은 개구를 선택적으로 밀봉하기 위한 이동식 도어 조립체를 제공한다. 도어 조립체는 밀봉될 개구를 가진 표면에 밀봉식으로 결합하기에 적합한 전면판, 이런 전면판에 조작 가능하게 연결된 후면판, 그리고 개구에 밀봉식으로 결합되도록 전면판을 선택적으로 이동시키기 위해 전면판과 후면판 사이에 위치하는 적어도 하나의 팽창성 부재를 포함한다. 전면판은 개구 주위에 기밀부를 형성하기 위해 밀봉 부재를 가진다. 전면판은 밀봉될 개구를 가진 표면에 대해 평행하고, 팽창성 부재는 밀봉될 표면에 대해 수직방향으로 전면판을 이동시키도록 연결된다. 이러한 방식으로, 본 발명의 도어 조립체는, 개구를 둘러싸고 있는 표면을 따라 활주하고 이로 인한 입자의 발생 없이 개구를 밀봉한다.
본 발명의 도어 조립체가 진공 환경에서 사용되도록 구성될 경우, 팽창성 부재는, 스테인레스강으로 제조된 벨로즈와 같은 하나 이상의 진공 그레이드 부재를 포함한다. 진공 분야의 바람직한 실시예에서, 본 발명의 도어 조립체는 밀봉될 개구와 연통된 포켓 내에 내장된다(예를 들면, 웨이퍼를 이송하기 위한 중앙 챔버의 외측벽에 가공된 포켓 내에 내장됨). 도어 조립체는 도어 조립체가 개구를 폐쇄하는 폐쇄 위치로 그리고 폐쇄 위치로부터 도어를 이동시키기 위한 이동 메커니즘을 가진다. 밀봉판은 이동 메커니즘에 연결되고, 포켓의 벽에 대해 밀봉하도록 배치되어, 포켓에 기밀부를 형성한다. 밀봉이 시작된 후, 기밀부를 가압함으로써, 도어 조립체의 밀봉은 강화되고, 보다 작고 저렴한 팽창성 부재가 사용될 수 있다.
각 벨로즈를 통과하는 하나의 가스 공급관에 연결된 다수의 벨로즈를 가진 모듈을 사용함으로써 추가의 장점이 달성될 수 있다. 이런 설계에 따라, 팽창성 부재 및 가스 공급관은 용이하게 교체 또는 수리될 수 있으며, 정해진 비율로 만들어질 수 있다.
본 발명의 다른 목적, 특징 및 장점들은 첨부된 청구범위와 도면, 그리고 따르는 바람직한 실시예의 상세한 설명에 의해 보다 명확해질 것이다.
도 1은 본 발명의 도어 조립체(11a)의 제 1 실시예를 도시하는 사시도이다. 도어 조립체(11a)는, 압축 공기 실린더 리프트(17)와 같은 이동 메커니즘을 이용하여 하우징(15) 내에 이동식으로 연결된 도어(13)를 포함한다. 압축 공기 실린더(17)는 하우징(15)에 장착되며, 도어(13)가 개구(19)를 폐쇄하지 않는 개방위치(도 3에 자세히 도시되어 있음)와 도어(13)가 개구(19)를 폐쇄하는 폐쇄 위치 사이를 오가도록 도어(13)를 상승시키고 하강시키도록 구성되어 있다. 가스 공급관(20)은 원격 소오스(remote source; 도시 안됨)로부터 도어의 팽창성 부재로 가스를 공급하며, 이는 도 2a 및 도 2b를 참조로 하여 추가 설명된다.
도 2a 및 도 2b 각각은 도 1에 도시된 도어(13)의 측면도 및 분해 사시도이다. 도어(13)는 전면판(21a), 후면판(23a) 및 팽창성 블래더(bladder; 25)와 같은 팽창성 부재를 포함하며, 이 팽창성 부재는 전면판(21a)과 후면판(23a) 사이에 연결된다. 팽창성 블래더(25)는 프레임(27)에 의해 지지된다. 다수의 스프링(31a 내지 31c)은 전면판(21a)과 후면판(23a)을 연결하며 전면판(21a)과 후면판(23a)을 서로에 대해 어긋나게 하지만, 전면판(21a)과 후면판(23a)이 챔버(도 3)의 개구 및 하우징(15; 도 3)의 개구(19)에 대해 밀봉되기에 충분한 거리로 서로에 대해 멀어지도록 연장된다. 전면판(21a), 후면판(23a) 및 프레임(27)은 고정블록(33; 도 1에 자세히 도시됨)에 의해 압축 공기 실린더 리프트(17)의 상단에 볼트로 고정된다. 전면판(21a) 및 후면판(23a) 각각은 자신의 외면에 밀봉 부재(22, 24)를 가지는 것이 바람직하다. 전면판(21a) 및 후면판(23a)은 스테인레스강, 알루미늄, 또는 니켈이 도금된 알루미늄 등과 같은 내식성 재료를 포함하는 것이 바람직하다. 전면판(21a) 및 후면판(23a)은 챔버(도 3)의 개구, 그리고 하우징(15; 도1)의 개구(19) 주위를 밀봉하기 위한 크기로 만들어지며, 이는 도 3을 참조로 하여 추가 설명된다.
도 3은 도 1에 도시된 도어 조립체(11a)를 분해한 사시도이다. 로드 록 챔버(35)에는 슬릿 개구(37)가 형성되어 있다. 하우징(15)은, 로드 록 챔버의 전면에 다수의 볼트 구멍(39)을 통과하여 연장된 볼트(도시 안됨)로 고정된다. 로드록 챔버(35)의 슬릿 개구(37) 및 하우징(15)의 개구(19)는 웨이퍼 핸들러(도시 안됨)가 하우징(15)의 주위 환경과 로드 록 챔버(35)의 내부 사이에서 웨이퍼를 이송하기 위한 크기로 만들어지고 정렬된다.
도 3에 도시된 바와 같이, 압축 공기 실린더 리프트(17)가 하강된 위치에 있어, 이에 연결된 도어(13)는 개방 위치에 있다. 개방 위치에서, 도어(13)는 하우징(15)의 개구(19) 및 로드 록 챔버(35)의 슬릿 개구(37)의 높이보다 훨씬 낮게 위치하여, 웨이퍼 핸들러가 이들 사이에서 웨이퍼를 이송시키도록 한다. 작동시, 웨이퍼가 개구(19 및 37)를 통해 삽입되거나 제거된 후, 압축 공기 실린더 리프트(17)가 폐쇄 위치로 이동하여, 이에 연결된 도어(13)가 하우징(15)의 개구(19) 및 로드 록 챔버(35)의 슬릿 개구를 폐쇄한다. 그 다음, 가스(예를 들면, 공기, 질소 등)는 가스 공급관(20)을 통해 팽창성 블래더(25)에 공급된다. 이 가스는 팽창성 블래더를 팽창시키며, 이는 하우징(15)에 대해 전면판(21a)의 밀봉 부재(22)와 로드 록 챔버(35)에 대해 후면판(23a)의 밀봉 부재(24)에 힘을 동시에 가한다. 이에 따라, 전면판의 밀봉 부재(22)는 개구(19) 주위를 밀봉하고 후면판의 밀봉 부재(24)는 슬릿 개구(37) 주위를 밀봉한다. 도 3의 실례에서, 후면판(23a)의 밀봉 부재(24)는 생략될 수도 있다. 왜냐하면, 다른 챔버보다 주위 환경에 접하는 개구(19)를 밀봉할 필요가 없기 때문이다.
도어 조립체를 개방하기 위해, 조립 도구 메인 프레임의 부품인 솔레노이드 밸브(solenoid valve; 도시 안됨)의 에너지를 감소시킴으로써, 그리고 팽창성 블래더(25) 및 가스 공급관의 가스를 대기로 배기시킴으로써 팽창성 블래더(25)는 수축된다. 팽창성 블래더(25)가 수축되면, 스프링(31a 내지 31c)은 전면판(21a)과 후면판(23a)을 서로에 대해 끌어들인다. 전면판(21a)과 후면판(23a)이 각각의 로드 록 챔버(35) 및 하우징(15)으로부터 충분한 거리로 끌어들여진 후, 압축 공기 실린더 리프트(17)는, 도어(13)가 더 이상 슬릿 개구(37) 및 개구(19)를 폐쇄하지 않도록 도어를 하강시킨다.
도 4는 도어 조립체의 제 2 실시예를 도시하는 사시도이다. 도 1 내지 도 8 전체에서, 도어 조립체의 제 1 실시예 및 제 2 실시예의 구성요소는 유사하나, 각각 "a" 및 "b"로 지칭되어 동일하지는 않다. 도 4 내지 도 7에 도시된 도어 조립체(11b)는 도 1 내지 도 3의 도어 조립체(11a)와 동일하게 구성되지만, 진공상태에서의 사용을 위해 조금 변형되어 있다. 구체적으로, 도어 조립체(11b)의 팽창성 부재는 진공 그레이드 재료(예를 들면, INCO 인코포레이티드에서 제작된 Inconel 625또는 스테인레스강)로 이루어진다. 도 4에 도시된 바와 같이, 팽창성 부재는 4개의 진공 그레이드 벨로즈(vacuum grade bellows; 43a 내지 43d) 및 수직 진공 그레이드 벨로즈(45)를 포함하며, 이 벨로즈는 압축 공기 실린더 리프트(17)의 축을 내장하고 제 1 가스 공급관을 내장하고 있다(도 6에 도시됨). 또한, 도어 조립체(11b)는 압축 공기 실린더 리프트(17)에 조작 가능하게 연결된 밀봉판(47)을 갖추고 있다(예를 들어, 압축 공기 실린더 리프트(17)의 축이 밀봉판(47)을 통과하여 도어 조립체(11b)를 상승 및 하강시킬 때 밀봉판(47)이 움직이지 않도록 한다).
실례에서, 도어 조립체(11b)는 챔버(51; 도 5)의 벽 내에 가공된 포켓(49; 도 5)의 안쪽에 장착되는 것이 바람직하며, 밀봉판(47)은 포켓(49)의 개구부(즉,하부)를 밀봉하도록 구성되어, 도 5를 참조로 하여 부가 설명될 기밀부를 형성한다.
도 5는 도 4의 도어 조립체가 장착된 일반적인 이송 챔버(51)를 도시하는 사시도이다. 이송 챔버(51)는, 다수의 포켓(49a 내지 49f)이 가공되어 있는 두꺼운 외부벽(53)을 가지고 있다. 통상적으로, 각 포켓(49a 내지 49f)에는 각각의 내측 슬릿 개구(57) 및 외측 슬릿 개구(59)를 구비한 내외측 포켓 벽(55a, 55b)이 제공된다. 일반적으로, 포켓(49)의 하부는 자신을 통해 도어 조립체(예를 들면, 슬릿 밸브)가 수용되도록, 상승되어 개방된다. 밀봉판(47)은 포켓의 측벽에 대향하여 밀봉되는 크기로 만들어지며, 포켓(49)의 측벽에 대해 밀봉되는 오링(도시 안됨)을 포함하는 홈을 가지고 있다. 따라서, 도어 조립체(11b)가 포켓(49) 안쪽에 장착되면, 포켓(49)은 기밀부를 형성한다. 작동시, 압축 공기 실린더 리프트(17)는 도어(13b)가 포켓의 외측 슬릿 개구(59) 및 내측 슬릿 개구(57)를 폐쇄하는 폐쇄 위치와 도어(13b)가 포켓의 외측 슬릿 개구(59) 및 내측 슬릿 개구(57)를 폐쇄하지 않는 개방 위치 사이를 오가도록 도어(13b)를 상승 및 하강시킨다. 도어(13b)는, 폐쇄 위치에 있을 때, 도어(13b)는 도 6 및 도 7을 참조로 하여 부가 설명된 바와 같이, 내측 슬릿 개구(57) 및 외측 슬릿 개구(59) 주위에서 팽창하여 밀봉을 형성한다.
밀봉이 시작된 후 기밀부는, 기밀부에 조작가능하게 연결된 메커니즘(예를 들면, 조립 도구 메인 프레임의 솔레노이드 밸브(60)의 개방)에 의해, 그리고 압축성 유체를 이 메커니즘을 통해 기밀부에 유입시킴에 의해 가압될 수 있다. 압축성유체는, 챔버의 프로세싱부와 기밀부 사이에 기압경사를 생성함으로써 내측 슬릿 개구(57) 및 외측 슬릿 개구(59)를 밀봉하기 위해 필요한 힘을 발생시킨다. 이런 기압경사는 밀봉을 강화하며, 보다 작고 저렴한 팽창성 부재의 사용을 가능케 한다.
도 6은 도 4의 도어 조립체(11b)의 도어(13b)를 분해한 사시도이고, 도 7은 본 발명의 도어(13b)에 가스를 공급하는 공급부를 도시하는 사시도이다. 진공 그레이드 벨로즈(43a 내지 43d)용 가스 공급 장치는, 가스원(도시 안됨)으로부터 수직 진공 그레이드 벨로즈(45)를 통해 고정 블록(33)으로 가스를 공급하는 제 1 가스 공급관(61a)을 포함한다. 고정 블록(33) 내에서, 제 1 가스 공급관(61a)은 제 2 가스 공급관(61b)과 연결되어 있다. 제 2 가스 공급관(61b) 및 진공 그레이드 벨로즈(43a 내지 43d)는 이들이 유닛(즉 모듈)으로서 제거될 수 있도록 설계되는 것이 바람직하다. 제 2 가스 공급관(61b)은 강성 부재(예를 들면, 스테인레스강으로 이루어진 관)인 것이 바람직하며, 다수의 개구(63)가 형성되어 있다. 진공 그레이드 벨로즈(43a 내지 43d)는 제 2 가스 공급관(61b) 상에 장착되고, 가스는 제 2 가스 공급관(61b)의 개구(63)를 통해 진공 그레이드 벨로즈(43a 내지 43d)에 공급된다. 각 측면에 오-링(67a, 67b)을 구비한 공기식 시일(65)은, 각 진공 그레이드 벨로즈(45a 내지 45d) 사이의 제 2 가스 공급관(61b) 상에 장착된다. 제 2 가스 공급관(61b)의 각 단부에서, 단부 오-링(69), 와셔(71) 및 너트(73)는 도 6에 도시된 바와 같이 장착된다. 따라서, 벨로즈(43a 내지 43d)가 제 2 가스 공급관(61b) 상에 장착될 경우, 모든 벨로즈는 너트(73)를 강하게 조임으로써 용이하게 유지된다.
도어 조립체(11b)의 전면판(21b) 및 후면판(23b)은, 도 4 및 도 6에 도시된 바와 같이, 벨로즈(43a 내지 43d)를 수용할 수 있는 형상으로 만들어지며, 진공 그레이드 벨로즈(43a 내지 43d) 내로 연장되는 볼트(도시 안됨) 및 볼트 구멍을 가지는 것이 바람직하다. 이에 따라, 진공 그레이드 벨로즈(43a 내지 43d) 및 제 2 가스 공급관(61b)을 포함하는 모듈은, 전면판(21b) 및 후면판(23b)으로부터 쉽게 분리될 수 있으며, 이는 조립 및 손질을 용이하게 한다.
도 8은, 도 1의 도어 조립체(11a)와 도 4의 도어 조립체(11b)를 채용한 자동 반도체 장치 조립 도구(77)의 평면도이다. 조립 도구(77)는 제 1 이송챔버 및 제 2 이송챔버를 포함하며, 이들은 제 1 및 제 2 웨이퍼 핸들러(83, 85)를 각각 수용하고 있다. 제 1 이송챔버(79)는 한 쌍의 로드 록 챔버(87, 89) 및 한 쌍의 패스-스루 챔버(91, 93)에 조작가능하게 연결되어 있다. 또한, 탈가스 챔버 또는 냉각 챔버(가상선으로 도시됨)와 같은 다른 챔버들도 제 1 이송챔버(79)에 연결될 수 있다. 제 2 이송챔버(81)는 패스-스루 챔버(91, 93) 및 다수의 프로세싱 챔버(95, 97, 99 및 101)에 연결되어 있으며, 이들은 다양한 반도체 조립 프로세스(화학 기상 증착, 스퍼터링 증착 등등)를 수행하도록 구성된다.
조립 도구(77)의 각 챔버는 하나 이상의 본 발명의 도어 조립체(11a, 11b)에 의해 밀봉된다. 제 1 및 제 2 도어 조립체(11a1, 11a2) 각각은 대기로부터 로드 록 챔버(87, 89)를 밀봉한다. 그 외 나머지 밀봉은 두 진공 환경 사이에서 일어나야하기 때문에, 도 4의 도어 조립체(11b)가 사용되며, 이 도어 조립체는 진공 환경 내에서 적합화되고 제 1 이송챔버(79)의 벽 내에서 설치되도록 구성된다. 따라서, 제 1 내지 제 6 도어 조립체(11b1내지 11b6)는 제 1 이송챔버(79)의 벽 내에 설치되고 제 7 내지 제 12 도어 조립체(11b7내지 11b12)는 제 2 이송챔버(81)의 벽 내에 설치된다. 마이크로프로세서(105) 및 기억장치(107)를 포함하고 있는 제어기(103)는, 제 1 및 제 2 웨이퍼 핸들러(83, 85), 로드 록 챔버(87, 89) 그리고 이런 로드 록 챔버, 패스-스루 챔버 및 프로세싱 챔버를 선택적으로 밀봉하는 도어 조립체(11a1, 11a2)에 조작가능하게 연결된다. 따라서, 제어기(103)는 조립 도구(77) 내에서의 웨이퍼 이송 및 프로세싱을 제어한다.
본 발명의 도어 조립체(11b)는 필요한 공간이 훨씬 작기 때문에, 제 1 이송챔버(79) 및 제 2 이송챔버(81)의 전체 밑넓이를 감소시키며, 이에 따라 클린룸으로 인한 비용이 절감된다. 본 발명에 따른 도어 조립체의 높은 신뢰도, 뛰어난 밀봉력, 연장된 수명 및 비용의 절감은, 본 발명의 도어 조립체가 반도체 조립 도구에 사용된 종래의 슬릿 밸브 및/또는 게이트 밸브보다 우수하다는 것을 의미한다. 다른 방법으로, 이송챔버(79)의 밑넓이를 감소시키기보다 이송챔버(79)를 종래의 크기로 유지할 경우, 본 발명의 도어 조립체의 보다 작은 크기는 로봇이 체적을 조작하도록 증가된 공간을 제공하며 보다 길게 연장된 암을 갖춘 로봇의 사용을 가능하게 한다.
상기의 설명은 본 발명의 바람직한 실시예를 단지 설명했을뿐, 상기에 언급된 장치 및 방법은 본 발명의 사상의 범위 내에서 변형이 가능하다는 것을 당업자는 명백하게 알 것이다. 이를테면, 오링과 같은 밀봉 부재는, 본 발명의 도어 조립체의 전면판 및 후면판 대신에 도어 조립체의 하우징, 로드 록 챔버, 또는 포켓의 내외측 벽에 장착될 수 있다. 이런 배열에서, 전면판 및 후면판은 각각의 표면에 밀봉식으로 결합되는 것으로 여전히 생각된다. 또한, 여러 구성요소의 형상 및 이런 구성요소들 사이에 연결된 특정 이음부들은 변경될 수 있다. 본 발명의 도어 조립체는, 하우징의 크기, 다양한 판의 크기 및 팽창성 부재의 크기를 변경시킴으로써, 비율에 따라 정해 질수 있다. 팽창성 벨로즈가 채용될 경우, 이들의 개수는 원하는 크기가 용이하게 달성되도록 증가되거나 감소될 수 있다. 또한, 개구 주위를 밀봉하기 위해 적합화된 전면판의 일부는 밀봉되는 면에 대해 평행한 것이 바람직하지만, 전면판은 다양한 방향성을 가진 다수의 일부로 이루어 질 수 있다.
따라서, 본 발명은 바람직한 실시예들과 관련하여 설명되었으나, 본 발명의 사상 및 범위 내에서 다른 실시예들이 포함될 수 있음을 알 수 있을 것이다.

Claims (26)

  1. 도어를 포함하며, 기밀부를 제공하기 위한 도어 조립체로서,
    상기 도어가,
    밀봉될 개구를 가진 표면에 밀봉식으로 결합하기에 적합한 전면판;
    상기 전면판에 조작가능하게 연결된 후면판; 그리고
    상기 개구에 밀봉식으로 결합되도록 상기 전면판을 선택적으로 이동시키기 위해 상기 전면판과 상기 후면판 사이에 위치하는 적어도 하나의 팽창성 부재를 가지는 도어 조립체.
  2. 제 1항에 있어서, 밀봉될 개구를 가진 표면에 대해 상기 전면판이 평행하고, 상기 팽창성 부재는, 밀봉될 표면에 대해 수직방향으로 상기 전면판을 이동시키도록 구성되는 장치.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 도어가 밀봉될 개구를 폐쇄하는 위치와 상기 도어가 밀봉될 개구를 폐쇄하지 않는 위치 사이를 오가도록 상기 도어를 선택적으로 이동시키기 위해, 상기 도어에 연결되는 메커니즘을 추가로 포함하는 장치.
  4. 제 1항에 있어서, 상기 전면판과 상기 후면판이 서로에 대해 어긋나도록, 상기 전면판과 상기 후면판 사이에 조작가능하게 연결되는 적어도 하나의 바이어싱메커니즘을 추가로 포함하는 장치.
  5. 제 1항에 있어서, 상기 후면판 뒤에 위치하는 하우징을 추가로 포함하여 강성 구조를 제공하며, 상기 팽창성 부재가 팽창하는 동안 상기 후면판이 상기 강성 구조에 대해 프레싱되는 장치.
  6. 제 5항에 있어서, 상기 도어가 밀봉될 개구를 폐쇄하는 위치와 상기 도어가 밀봉될 개구를 폐쇄하지 않는 위치 사이를 오가도록 상기 도어를 선택적으로 이동시키기 위해 상기 도어에 조작가능하게 연결되는 메커니즘을 추가로 포함하며, 상기 팽창성 부재는, 밀봉될 표면에 대해 수직방향으로 상기 전면판을 이동시키고 상기 하우징에 대해 수직방향으로 상기 후면판을 이동시키도록 구성되며, 상기 하우징은 밀봉될 개구와 정렬되는 개구를 가지는 장치.
  7. 제 1항에 있어서, 상기 팽창성 부재가 진공 그레이드 부재를 포함하는 장치.
  8. 제 1항에 있어서, 가스 공급관을 추가로 포함하며, 상기 팽창성 부재가, 가스를 수용하기 위해 상기 가스 공급관에 조작가능하게 연결된 다수의 진공 그레이드 벨로즈를 포함하는 장치.
  9. 제 8항에 있어서, 상기 가스 공급관과 다수의 진공 그레이드 벨로즈가 모듈식인 장치.
  10. 청구항 2의 도어 조립체;
    도어에 조작가능하게 연결되는 상승 및 하강 메커니즘; 그리고
    전면판과 후면판이 서로에 대해 어긋나도록 상기 전면판과 상기 후면판 사이에 조작가능하게 연결되는 적어도 하나의 바이어싱 메커니즘을 포함하는 장치.
  11. 제 10항에 있어서, 상기 팽창성 부재가 다수의 진공 그레이드 벨로즈를 포함하는 장치.
  12. 인클로저 벽;
    내측 개구를 갖춘 내측 포켓 벽과 상기 내측 개구와 일렬로 정렬된 외측 개구를 갖춘 외측 포켓 벽을 가지는 인클로저 벽 내에 가공된 포켓;
    상기 포켓 내에 연결된 이동 메커니즘;
    도어가 상기 내외측 개구를 폐쇄하는 폐쇄 위치와 상기 도어가 상기 내측 또는 외측 개구를 폐쇄하지 않는 개방 위치 사이를 오가도록 상기 이동 메커니즘에 장착되는 청구항 7의 밀봉식 도어 조립체;
    상기 포켓의 내외측 벽에 대해 밀봉되도록 위치하여, 상기 포켓과 이에 인접한 상기 내외측 개구에 기밀부를 형성하도록, 상기 이동 메커니즘에 조작가능하게 연결되는 밀봉판; 그리고
    상기 기밀부에 가스를 공급하기 위해 상기 기밀부에 조작가능하게 연결되는 메커니즘을 포함하는 진공 챔버.
  13. 제 12항에 있어서, 상기 도어의 전면판이 상기 내측 포켓 벽에 대해 평행하고, 상기 도어의 후면판이 상기 외측 포켓 벽에 대해 평행하며, 상기 팽창성 부재는, 상기 내측 포켓 벽에 대해 수직방향으로 상기 전면판을 이동시키고 상기 외측 포켓 벽에 대해 수직방향으로 후면판을 이동시키며 그리고 상기 외측 포켓 벽에 대해 상기 후면판을 프레싱하면서 상기 내측 포켓 벽에 대해 상기 전면판을 프레싱하도록 연결되는 장치.
  14. 제 13항에 있어서, 상기 팽창성 부재가 다수의 진공 그레이드 벨로즈를 포함하는 장치.
  15. 제 14항에 있어서, 다수의 출구를 가진 가스 공급관을 추가로 포함하며, 상기 다수의 진공 그레이드 벨로즈는 상기 출구를 통해 가스를 수용하도록 그리고 상기 가스 공급관과 모듈식 유닛을 형성하도록 상기 가스 공급관에 조작가능하게 연결되는 장치.
  16. 챔버 개구를 선택적으로 밀봉하기 위한 자동화 방법에 있어서,
    도어가 상기 개구를 폐쇄하는 위치로 상기 도어를 이동시키는 단계; 및
    상기 개구를 밀봉하기 위해 상기 도어를 팽창시키는 단계를 포함하는 방법.
  17. 제 16항에 있어서, 상기 도어를 팽창시키는 단계가,
    상기 도어의 팽창성 부재를 팽창시켜 상기 개구에 대해 수직방향으로 상기 도어를 이동시키는 단계를 포함하는 방법.
  18. 제 16항에 있어서, 상기 도어와 연관된 기밀부를 형성하는 단계; 및
    상기 개구를 밀봉한 후, 상기 기밀부를 가압하는 단계를 추가로 포함하는 방법.
  19. 제 17항에 있어서, 상기 도어와 연관된 기밀부를 형성하는 단계; 및
    상기 개구를 밀봉한 후, 상기 기밀부를 가압하는 단계를 추가로 포함하는 방법.
  20. 제 17항에 있어서, 상기 도어의 상기 팽창성 부재를 팽창시키는 단계가,
    상기 팽창성 부재를 충분히 팽창시켜, 상기 도어의 전면판이 상기 개구에 밀봉식으로 결합되고, 상기 도어의 후면판이 도어 하우징에 대해 프레싱하도록 하는 단계를 포함하는 방법.
  21. 제 17항에 있어서, 상기 도어의 상기 팽창성 부재를 팽창시키는 단계가,
    상기 팽창성 부재를 충분히 팽창시켜, 상기 도어의 전면판이 내측 개구에 밀봉식으로 결합되고, 상기 도어의 후면판이 외측 개구에 밀봉식으로 결합되는 단계를 포함하는 방법.
  22. 인클로저 벽에 의해 형성된 폐쇄부 내에 위치한 웨이퍼 핸들러를 갖춘 청구항 14의 장치; 및
    포켓의 외측 개구에 조작가능하게 연결된 반도체 웨이퍼를 처리하기 위한 프로세싱 챔버를 포함하는 자동 반도체 조립 도구.
  23. 인클로저 벽에 의해 형성된 폐쇄부 내에 위치한 웨이퍼 핸들러를 갖춘 청구항 13의 장치; 및
    포켓의 외측 개구에 조작가능하게 연결된 반도체 웨이퍼를 처리하기 위한 프로세싱 챔버를 포함하는 자동 반도체 조립 도구.
  24. 인클로저 벽에 의해 형성된 폐쇄부 내에 위치한 웨이퍼 핸들러를 갖춘 청구항 12의 챔버; 및
    조립 도구로 또는 조립 도구로부터 반도체 웨이퍼를 로딩 및 언로딩하기 위해 포켓의 외측 개구에 조작가능하게 연결된 로드 록 챔버를 포함하는 자동 반도체 조립 도구.
  25. 인클로저 벽에 의해 형성된 폐쇄부 내에 위치한 웨이퍼 핸들러를 갖춘 청구항 13의 장치; 및
    조립 도구로 또는 조립 도구로부터 반도체 웨이퍼를 로딩 및 언로딩하기 위해 포켓의 외측 개구에 조작가능하게 연결된 로드 록 챔버를 포함하는 자동 반도체 조립 도구.
  26. 웨이퍼를 이송하기 위한 웨이퍼 핸들러를 갖춘 이송 챔버;
    상기 이송 챔버에 조작가능하게 연결된 적어도 하나의 프로세싱 챔버;
    웨이퍼가 통과되는 밀봉될 개구를 가지며, 상기 이송 챔버에 조작가능하게 연결되는 적어도 하나의 로드 록 챔버; 그리고
    상기 로드 록 챔버의 밀봉될 개구에 조작가능하게 연결된 청구항 6의 장치를 포함하는 자동 반도체 조립 도구.
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