KR101101224B1 - 개폐 장치 및 개폐 방법 - Google Patents

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김귀상
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주식회사 레인테크
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    • F16K51/02—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus specially adapted for high-vacuum installations

Abstract

본 발명에 따른 개폐 장치는 승하강 및 회동 가능하도록 제작되어, 게이트를 개폐하는 개폐 부재 및 개폐 부재와 연결되어, 상기 개폐 부재를 상기 게이트가 위치한 방향 또는 상기 게이트와 반대 방향으로 회동시키고, 상기 개폐 부재를 승하강시키는 구동 유닛을 포함한다.
따라서 본 발명의 실시예들의 의하면 개폐 부재를 회동시켜 게이트를 오픈하거나 폐쇄한다. 이에, 개폐 부재 전면에 동일한 힘을 가할 수 있어, 게이트의 불규칙한 실링 현상이 발생하지 않도록 밀폐할 수 있다. 따라서, 게이트를 통해 외부의 불순물 유입되거나, 공기의 유입으로 인한 역류 현상을 방지할 수 있다. 또한, 개폐 부재 전면에 동일한 힘을 가할 수 있어 게이트의 오픈이 용이한 장점이 있다.

Description

개폐 장치 및 개폐 방법{Apparatus and Method for opening and closing}
본 발명은 게이트의 개폐가 용이한 개폐 장치 및 개폐 방법에 관한 것이다.
일반적인 기판 처리 시스템은 이송 챔버, 이송 챔버에 연결되어 상기 이송 챔버로 기판을 전달하는 로드락 챔버, 이송 챔버에 연결되어 이송 챔버로부터 기판을 전달받아 상기 기판에 대해 소정의 공정을 실시하는 공정 챔버, 로드락 챔버 각각에 연결된 로드 포트를 포함한다. 또한, 로드락 챔버와 로드 포트 사이에 위치하는 개폐 장치 및 이송 챔버와 로드락 챔버 사이에 각기 위치하는 제 1 게이트 밸브, 공정 챔버와 이송 챔버 사이에 위치하는 제 2 게이트 밸브를 포함한다. 여기서 로드락 챔버에는 로드 포트에 적재된 기판이 출입할 수 있는 개구부 즉, 게이트가 마련되며, 게이트는 개폐 장치에 의해 개폐가 조절된다.
종래의 개폐 장치는 승하강부, 승하강부의 일단에 연결되어 승하강하는 개폐 부재, 개폐 부재를 게이트가 위치한 방향 또는 게이트와 반대 방향으로 수평 이동시키는 복수의 수평 이동부를 포함한다. 복수의 수평 이동부 각각의 일단은 상기 개폐 부재의 전면부에 연결되며, 유압식 또는 공압식 실린더를 이용한다. 이러한 개폐 장치를 이용하여 게이트를 개폐하는 방법을 간략히 설명한다. 게이트를 폐쇄하기 위하여 먼저, 승하강부를 이용하여 개폐 부재를 상승시켜, 상기 개폐 부재가 게이트와 대향 배치되도록 한다. 이후, 복수의 수평 이동부 각각을 동작시켜, 상기 개폐 부재를 게이트가 위치한 방향으로 밀어, 게이트를 폐쇄시킨다.
한편, 게이트를 완전히 밀폐하기 위해서는 복수의 수평 이동부에 의해 개폐 부재의 전면에 동일한 힘이 가해져야 한다. 하지만, 유압식 또는 공압식 실린더로 제작된 복수의 수평 이동부는 개폐 부재 전면에 동일한 힘을 가하기가 힘들다. 따라서, 게이트와 개폐 부재 사이의 일부 영역에 이격 공간이 발생하여, 상기 게이트가 완전히 폐쇄되지 않는 문제가 있다. 게이트가 완전히 폐쇄되지 않으면, 외부의 불순물 또는 공기가 게이트를 통해 로드락 챔버 내부로 흘러 들어가, 상기 로드락 챔버 내부를 오염시키거나 진공도를 저하시킨다. 이로 인해 로드락 챔버 내부에 적재된 기판이 오염되며, 상기 기판의 오염은 제품의 품질을 저하시키는 요인으로 작용한다.
본 발명의 일 기술적 과제는 게이트의 개폐가 용이한 개폐 장치 및 개폐 방법을 제공하는 데 있다.
본 발명의 다른 일 기술적 과제는 게이트를 용이하게 밀폐할 수 있는 개폐 장치 및 개폐 방법을 제공하는 데 있다.
본 발명은 게이트를 개폐하는 개폐 장치에 관한 것으로, 승하강 및 회동 가능하도록 제작되어, 상기 게이트를 개폐하는 개폐 부재 및 상기 개폐 부재와 연결되어, 상기 개폐 부재를 상기 게이트가 위치한 방향 또는 상기 게이트와 반대 방향으로 회동시키고, 상기 개폐 부재를 승하강시키는 구동 유닛을 포함한다.
상기 게이트와 대향 배치되는 개구부를 가지는 프레임을 포함한다.
상기 구동 유닛은 상기 개폐 부재의 하측에 배치되어 상기 게이트가 위치한 방향으로 회동하거나, 상기 게이트와 반대 방향으로 회동하는 회동 부재 및 상기 회동 부재에 지지되어 상기 회동 부재와 함께 회동하며, 일단이 상기 개폐 부재와 연결되어 상기 개폐 부재를 승하강시키는 승하강 로드를 포함한다.
상기 회동 부재는 내측이 개구된 형상으로 제작되어, 상기 프레임의 하측에 배치되고, 상기 승하강 로드는 상기 회동 부재 및 프레임을 길이 방향으로 관통하도록 설치되는 것이 바람직하다.
상기 구동 유닛은 상기 회동 부재의 양 측부에 연결된 지지 부재 및 상기 지지 부재의 상부와 상기 회동 부재 상부 사이를 연결하는 회동축을 포함하고, 상기 회동 부재 및 개폐 부재는 상기 회동축을 축으로하여 각기 회동한다.
상기 회동 부재의 하부와 연결되어, 상기 회동 부재의 하부에 게이트가 위치한 방향 또는 상기 게이트와 반대 방향으로 힘을 가하는 회동 동력부를 포함한다.
상기 회동 부재가 상기 게이트와 가까워지도록 상기 게이트를 향해 회동할 때 상기 개폐 부재는 상기 게이트와 멀어지도록 상기 게이트와 반대 방향으로 회동하고, 상기 회동 부재가 상기 게이트와 멀어지도록 상기 게이트와 반대 방향으로 회동할 때, 상기 개폐 부재는 상기 게이트와 가까워 지도록 상기 게이트를 향해 회동하는 것이 바람직하다.
상기 구동 유닛은 상기 회동 부재 및 프레임을 길이 방향으로 관통도록 설치되어, 상기 회동 부재와 함께 회동하고, 상기 승하강 로드의 동작에 의해 승하강하며, 일단이 상기 개폐 부재와 연결된 가이드 부재를 포함한다.
본 발명은 게이트를 개폐하는 개폐 방법에 관한 것으로, 개폐 부재를 상기 게이트가 위치한 방향으로 회동시켜 상기 개폐 부재가 직립하도록 함으로써, 상기 게이트를 폐쇄하는 과정 및 상기 개폐 부재를 상기 게이트와 반대 방향으로 회동시켜 상기 개폐 부재가 기울어지도록 함으로써, 상기 게이트를 오픈하는 과정을 포함한다.
상기 게이트를 폐쇄하는 과정에 있어서, 상기 개폐 부재가 상기 게이트와 대향 위치하도록 상하 이동시키는 과정을 포함한다.
상기 게이트를 오픈하는 과정에 있어서, 상기 개폐 부재가 상기 게이트와 대향하지 않도록 상하 이동시키는 과정을 포함한다.
상기 개폐 부재를 상기 게이트가 위치한 방향으로 회동시키는 데 있어서,
상기 개폐 부재와 연결된 회동 부재에 상기 게이트와 반대 방향으로 힘을 가한다.
상기 게이트를 폐쇄하는 데 있어서,
상기 개폐 부재는 직립한 상태이고, 상기 개폐 부재와 연결된 회동 부재는 기울어진 상태인 것이 바람직하다.
상기 개폐 부재를 상기 게이트와 반대 방향으로 회동시키는 데 있어서,
상기 개폐 부재와 연결된 회동 부재에 상기 게이트가 위치한 방향으로 힘을 가한다.
상기 게이트를 오픈하는 데 있어서,
상기 개폐 부재는 기울어진 상태이고, 상기 개폐 부재와 연결된 회동 부재는 직립한 상태인 것이 바람직 하다.
상술한 바와 같이 본 발명의 실시예들에 의하면 개폐 부재를 회동시켜 게이트를 오픈하거나 폐쇄한다. 이에, 개폐 부재 전면에 동일한 힘을 가할 수 있어, 게이트의 불규칙한 실링 현상이 발생하지 않도록 밀폐할 수 있다. 따라서, 게이트를 통해 외부의 불순물 유입되거나, 공기의 유입으로 인한 역류 현상을 방지할 수 있다. 또한, 개폐 부재 전면에 동일한 힘을 가할 수 있어 게이트의 오픈이 용이한 장점이 있다.
또한, 종래에 비해 개폐 부재를 승하강 및 수평 이동시키는 구동 유닛이 단순해 질 수 있으며, 이로 인해 고장이 적은 장점이 있다.
* 요청: 상기에서 기재한 효과 이외에 다른 효과가 있으면, 설명 부탁드립니다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 시스템을 도시한 개념도
도 2는 실시예에 따른 개폐 장치를 도시한 입체 도면
도 3은 실시예에 따른 개폐 장치를 도시한 분해 사시도
도 4는 실시예에 따른 개폐 장치를 도시한 단면도
도 5a 내지 10a는 실시예에 따른 제 1 개폐 장치를 이용하여 제 1 로드락 챔버의 제 1 게이트를 개폐 하는 동작을 설명하기 위한 입체 도면
도 5b 내지 10b는 실시예에 따른 제 1 개폐 장치를 이용하여 제 1 로드락 챔버의 게이트를 개폐 하는 동작을 설명하기 위한 단면도
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 시스템을 도시한 개념도이다. 도 2는 실시예에 따른 개폐 장치를 도시한 입체 도면이다. 도 3은 실시예에 따른 개폐 장치를 도시한 분해 사시도이다. 도 4는 실시예에 따른 개폐 장치를 도시한 단면도이다.
도 1을 참조하면, 실시예에 따른 기판 처리 시스템은 이송 챔버(110), 이송 챔버(110)에 연결되어 상기 이송 챔버(110)로 기판을 전달하는 제 1 및 제 2 로드락 챔버(200a, 200b), 이송 챔버(110)에 연결되어 이송 챔버(110)로부터 기판을 전달받아 상기 기판에 대해 소정의 공정을 실시하는 제 1 및 제 2 공정 챔버(300a, 300b), 제 1 및 제 2 로드락 챔버(200a, 200b) 각각에 연결된 제 1 및 제 2 로드 포트(400a, 400b)를 포함한다. 여기서 이송 챔버(110), 제 1 및 제 2 로드락 챔버(200a, 200b), 제 1 및 제 2 공정 챔버(300a, 300b)에는 별도의 진공 처리 수단(미도시)이 연결되어 각각의 내부를 진공으로 처리한다. 또한, 이송 챔버(110)와 제 1 및 제 2 로드락 챔버(200a, 200b) 사이에 각기 위치하는 제 1 및 제 2 게이트 밸브(12a, 12b), 제 1 및 제 2 공정 챔버(300a, 300b) 사이에 각기 위치하는 제 3 및 제 4 게이트 밸브(12c, 12d), 제 1 로드락 챔버(200a)와 제 1 로드 포트(400a) 사이에 위치하는 제 1 개폐 장치(500a), 제 2 로드락 챔버(200b)와 제 2 로드 포트(400b) 사이에 위치하는 제 2 개폐 장치(500b)를 포함한다. 그리고 도시되지는 않았지만, 제 1 및 제 2 로드 포트(400a, 400b)에 위치하는 기판을 위치 정렬하여 이송하는 EFEM((Equipment Front End Module)(미도시)이 설치되며, 상기 EFEM(미도시) 내부에는 기판을 제 1 및 제 2 로드 포트(400a, 400b)로 전달하는 이송 로봇(미도시) 및 얼라이너(미도시)가 설치될 수 있다. 여기서 제 1 및 제 2 로드 포트(400a, 400b) 및 EFEM(미도시)은 오염되지 않은 대기 상태인 것이 바람직하다.
상기에서는 2개의 로드락 챔버(200a, 200b), 2개의 공정 챔버(300a, 300b)를 설명하였으나, 이에 한정되지 않고 다양한 개수로 로드락 챔버(200a, 200b) 및 공정 챔버(300a, 300b)를 마련할 수 있다.
이송 챔버(110)는 내부 공간을 가지도록 제작되며, 그 내측에는 기판을 이송시킬 수 있는 이송 로봇(110)이 설치된다. 실시예에 따른 이송 챔버(110)는 그 단면의 형상이 6 각형이 되도록 제작되었으나, 이에 한정되지 않고 다양한 형상으로 제작될 수 있다. 이송 로봇(110)은 제 1 및 제 2 로드락 챔버(200a, 200b)로부터 기판을 제공받아 이를 제 1 및 제 2 공정 챔버(300a, 300b)로 이송하는 역할을 한다. 이러한 이송 로봇(110)은 예를 들어, 회전 동력을 제공하는 동력부(미도시), 동력부(미도시)에 연결되어 회전하는 구동축(미도시) 및 구동축(미도시)에 연결되어 기판을 지지하는 블레이드(미도시)로 구성된 로봇 암(arm) 형태로 제작될 수 있다. 물론 이에 한정되지 않고 이송 로봇(110)은 기판을 이송시킬 수 있는 수단이라면 어떠한 수단이 사용되어도 무방하다.
제 1 및 제 2 로드락 챔버(200a, 200b) 각각은 제 1 및 제 2 로드 포트(400a, 400b)와 이송 챔버(110) 사이에 위치하며, 제 1 및 제 2 로드 포트(400a, 400b)로부터 기판을 제공 받는다. 이러한 제 1 및 제 2 로드락 챔버(200a, 200b) 각각에는 기판이 안착될 수 있는 기판 지지 부재(미도시)가 설치될 수 있다. 그리고 제 1 및 제 2 로드락 챔버(200a, 200b) 각각에는 기판이 출입할 수 있는 개구부 즉, 제 1 및 2 게이트(G1, G2)가 마련되며, 상기 제 1 및 제 2 로드락 챔버(200a, 200b) 각각의 제 1 및 2 게이트(G1, G2)는 후술되는 제 1 및 제 2 개폐 장치(500a, 500b)에 의해 개폐된다.
제 1 및 제 2 공정 챔버(300a, 300b) 각각은 이송 챔버(110)로부터 기판을 제공 받아 상기 기판에 소정의 공정을 실시한다. 예컨데, 제 1 공정 챔버(300a)는 기판 상에 박막 증착 공정을 실시하는 증착 챔버이고, 제 2 공정 챔버(300b)는 기판 또는 기판 상에 형성된 박막을 식각하는 식각 챔버 일 수 있다. 이에, 제 1 공정 챔버(300a) 내부에는 기판을 처리하는 제 1 기판 지지 부재(미도시), 제 1 기판 지지 부재(미도시)와 대향 배치되어 기판 상에 증착 공정을 위한 증착 원료를 분사하는 증착 원료 분사 수단(미도시)이 설치될 수 있다. 제 2 공정 챔버(300b) 내부에는 기판을 처리하는 제 2 기판 지지 부재(미도시), 제 2 기판 지지 부재(미도시)와 대향 배치되어 기판 또는 기판 상에 증착된 증착막을 식각하기 위한 식각 원료를 분사하는 식각 원료 분사 수단(미도시)이 설치될 수 있다.
상기에서는 제 1 공정 챔버(300a)에서 박막 증착 공정을 실시하고 제 2 공정 챔버(300b)에서 식각 공정 공정을 실시하는 것을 예를 들어 설명하였다. 또한, 제 1 및 제 2 공정 챔버(300a, 300b) 모두에서 증착 공정을 실시하거나, 식각 공정을 실시할 수도 있다. 물론 이에 한정되지 않고, 제 1 및 제 2 공정 챔버(300a, 300b) 각각에서는 증착 또는 식각 공정 이외에 다양한 공정을 실시할 수 있다.
제 1 및 제 2 로드 포트(400a, 400b) 각각은 기판이 초기 또는 최종적으로 안착되어 적재되는 곳이다. 이러한 제 1 및 제 2 로드 포트(400a, 400b) 내부는 대기압 상태인 것이 바람직하다.
제 1 및 제 2 개폐 장치(500a, 500b) 각각은 제 1 및 제 2 로드락 챔버(200a, 200b) 각각에 마련된 제 1 및 제 2 게이트(G1, G2)를 개폐하는 역할을 한다. 도 2 내지 도 4를 참조하면, 제 1 개폐 장치는 제 1 로드락 챔버(200a)의 제 1 게이트(G1)의 일측에 배치되며, 상기 제 1 게이트(G1)와 대향하는 소정 면적의 개구부(510-1)를 가지는 프레임(510), 프레임(510)의 일측에 배치되어 승하강 및 회동 가능하도록 제작되며, 제 1 게이트(G1)를 오픈하거나 폐쇄하는 개폐 부재(520), 개폐 부재(520)의 일측면에 연결된 연결 부재(530) 및 프레임(510)의 하측에 배치되어 개폐 부재(520)를 승하강 시키거나 회동시키는 구동 유닛(540)을 포함한다. 여기서 승하강은 상하 방향으로 직선 운동하는 것을 의미한다. 그리고 '회동'은 곡선으로 전진 및 후진 이동하는 것으로, 후술되는 회동축(546)을 축으로하여 소정 각도를 이루도록 곡선으로 전진 및 후진하는 것을 의미한다. 제 2 개폐 장치(500b)는 제 2 로드락 챔버(200b)의 제 2 게이트(G2)의 일측에 배치되며, 상기에서 설명한 제 1 개폐 장치(500a)와 동일한 구성 및 구조로 제작된다. 따라서 하기에서는 제 1 로드락 챔버(200a)의 제 1 게이트(G1)를 개폐하는 제 1 개폐 장치(500a)에 대해서만 설명한다.
제 1 개폐 장치(500a)의 프레임(510)은 제 1 게이트(G1)가 마련된 제 1 로드락 챔버(200a)의 일측에 대향 배치된다. 실시예에 따른 프레임(510)은 그 단면이 형상이 사각형이 되도록 제작되나, 이에 한정되지 않고 제 1 로드락 챔버(200a) 또는 상기 제 1 로드락 챔버(200a)에 마련된 제 1 게이트(G1)와 대응되는 다양한 형상으로 제작될 수 있다. 프레임(510)에 마련된 개구부(510-1)는 제 1 로드락 챔버(200a)의 제 1 게이트(G1)와 대향하도록 위치한다. 실시예에서는 프레임(510)의 상측 영역에 개구부(510-1)가 마련된다. 하지만 이에 한정되지 않고, 개구부(510-1)의 위치는 제 1 로드락 챔버(200a)의 제 1 게이트(G1)의 위치에 따라 다양하게 변경될 수 있다. 또한, 프레임(510)에 마련된 개구부(510-1)는 제 1 게이트(G1)의 형상과 대응하는 형상으로 제작되는 것이 바람직하며, 그 면적이 제 1 게이트(G1)에 비해 크거나 동일하도록 제작된다. 실시예에서는 프레임(510)의 개구부(510-1)의 면적이 제 1제 1 게이트(G1)에 비해 소정의 크기만큼 크게 제작된다. 이러한 프레임(510)의 하부의 일부에는 후술되는 구동 유닛(540)의 승하강 로드(543), 제 1 및 제 2 가이드 부재(544-1, 544-2)가 각기 삽입되는 제 1 내지 제 3 홀(510-2a 내지 510-2c)이 마련된다. 제 1 내지 제 3 홀(510-2a 내지 510-2c)은 승하강 로드(543), 제 1 및 제 2 가이드 부재(544-1, 544-2)의 외경에 비해 크게 제작된다. 이는 회동 부재(541)가 회동할 때 승하강 로드(543), 제 1 및 제 2 가이드 부재(544-1, 544-2) 각각이 함께 회동할 수 있는 공간을 마련하기 위함이다.
개폐 부재(520)는 프레임(510)의 일측에 배치되며, 구동 유닛(540)에 의해 승하강 및 회동함으로써, 제 1 로드락 챔버(200a)의 제 1 게이트(G1)를 오픈하거나 폐쇄한다. 실시예에 따른 개폐 부재(520)는 사각형의 플레이트 형상으로 제작되나, 이에 한정되지 않고 프레임(510)의 개구부(510-1) 및 제 1 게이트(G1)의 형상과 대응하는 다양한 형상으로 제작될 수 있다. 또한, 개폐 부재(520)의 면적은 제 1 게이트(G1)의 폐쇄가 용이하도록 제 1 게이트(G1)의 면적에 비해 크거나 동일하도록 제작된다. 실시예에서는 개폐 부재(520)의 면적이 제 1 게이트(G1)의 면적에 비해 크고, 프레임(510)의 개구부(510-1)에 비해 작도록 제작된다. 물론 이에 한정되지 않고 개폐 부재(520)는 제 1 게이트(G1) 및 프레임(510)의 개구부(510-1) 면적에 비해 크게 제작될 수도 있다. 이러한 개폐 부재(520)는 도 2 및 도 4에 도시된 바와 같이 개폐 부재(520)에 의해 제 1 게이트(G1)가 폐쇄되어 있을때, 상기 개폐 부재(520)는 직립한 상태이다. 또한, 제 1 게이트(G1)가 오픈되어 있을 때 개폐 부재(520)는 기울어진 상태가 되는데, 하부에서 상부로 갈 수록 상기 제 1 게이트(G1)와의 이격 거리가 커지도록 기울어진 상태를 유지한다. 개폐 부재(520)의 동작은 후술되는 회동 부재(541)의 회동에 따라 함께 회동함으로써 조절된다. 즉, 개폐 부재(520)에는 연결 부재(530)가 장착되고, 상기 연결 부재(530)는 후술되는 구동 유닛(540)의 승하강 로드(543), 제 1 및 제 2 가이드 부재(544-1, 544-2)와 연결된다. 이에, 개폐 부재(520) 및 연결 부재(530)는 승하강 로드(543)에 의해 상하 방향으로 승하강하고, 회동 부재(541)의 회동에 따라 함께 회동한다. 즉, 회동 부재(541)가 시계 방향으로 회동할 때, 개폐 부재(520) 및 연결 부재(530)도 시계 방향으로 함께 회동한다. 이때, 회동 부재(541)는 제 1 게이트(G1)와 가까워 지도록 회동하고, 개폐 부재(520) 및 연결 부재(530)는 제 1 게이트(G1)와 멀어 지도록 회동한다. 이와 같이 개폐 부재(520)가 시계 방향으로 회동한 경우, 상기 개폐 부재(520)는 하부에서 상부로 갈 수록 제 1 게이트(G1)와의 이격 거리가 크도록 기울어진 상태가 된다. 또한, 회동 부재(541)가 반시계 방향으로 회동할 때, 개폐 부재(520) 및 연결 부재(530)도 반시계 방향으로 함께 회동한다. 이때, 회동 부재(541)는 제 1 게이트(G1)와 가까워 멀어지도록 회동하고, 개폐 부재(520) 및 연결 부재(530)는 제 1 게이트(G1)와 가까워 지도록 회동한다. 이와 같이 개폐 부재(520)가 반시계 방향으로 회동한 경우, 상기 개폐 부재(520)는 직립한 상태이다. 개폐 부재(520) 및 연결 부재(530)의 회동에 대한 상세한 설명은 하기에서 하기로 한다.
구동 유닛(540)은 승하강 동력을 제공하는 승하강 동력부(542), 일단이 승하강 동력부(542)에 연결되고 타단이 연결 부재(530)에 연결된 승하강 로드(543), 승하강 로드(543)의 양 측에 각기 배치되며 승하강이 가능한 제 1 및 제 2 가이드 부재(544-1, 544-2), 승하강 동력부(542), 승하강 로드(543), 제 1 및 제 2 가이드 부재(544-1, 544-2)를 지지 고정하며 회동 가능한 회동 부재(541), 회동 부재(541)의 양 외측벽에 설치된 지지 부재(545), 회동 부재(541)의 상부와 지지 부재(545) 상부를 연결하도록 설치된 회동축(546), 회동 부재(541)의 하부의 후방에 배치되어 상기 회동 부재(541)에 힘을 가함으로써, 회동시키는 회동 동력부(547)를 포함한다.
실시예에서는 승하강 동력부(542)로 유압식 실런더를 이용한다. 물론 이에 한정되지 않고, 승하강 로드(543)를 통해 개폐 부재(520)를 승하강 시킬 수 있는 다양한 수단을 이용할 수 있다. 이러한 승하강 동력부(542)의 하부는 회동 부재(541)와 결합된다. 승하강 로드(543)는 회동 부재(541) 상부의 일부 및 프레임(510) 하부의 일부를 관통하도록 설치되어, 일단이 연결 부재(530)의 하부와 연결되고 타단이 승하강 동력부(542)와 연결된다. 실시예에 따른 승하강 로드(543)는 승하강 동력부(542)에 의해 신장 또는 수축된다. 승하강 동력부(542)를 이용하여 승하강 로드(543)를 개폐 부재(520)가 배치된 방향으로 신장시키면, 상기 승하강 로드(543)의 일단과 결합된 연결 부재(530)에 의해 개폐 부재(520)가 상승한다. 즉, 개폐 부재(520) 상측 방향으로 직선 운동한다. 이때, 개폐 부재(520)가 프레임(510)의 개구부(510-1) 및 제 1 게이트(G1)와 대향 위치하도록 상승시킨다. 반대로 승하강 동력부(542)를 이용하여 승하강 로드(543)를 수축시키면, 상기 승하강 로드(543)의 타단과 결합된 연결 부재(530)에 의해 개폐 부재(520)가 하강한다. 즉, 개폐 부재(520) 하측 방향으로 직선 운동한다. 이때, 개폐 부재(520)는 프레임 개구부(510-1)의 하측에 위치하도록 하강시킨다. 또한, 승하강 로드(543)는 도 2 및 도4에 도시된 바와 같이 개폐 부재(520)에 의해 제 1 게이트(G1)가 폐쇄되어 있을때, 상기 승하강 로드(543)는 직립한 상태이다. 반면, 제 1 게이트(G1)가 오픈되어 있을 때 승하강 로드(543)는 기울어진 상태가 되는데, 하부에서 상부로 갈 수록 상기 제 1 게이트(G1)와의 폭 방향 이격 거리가 커지도록 기울어진 상태를 유지한다. 이러한 승하강 로드(543)의 후술되는 회동 부재(541)의 회동에 따라 함께 회동함으로써 조절된다. 개폐 부재(520)를 상승시키거나 하강시킬 때 승하강 로드(543)는 기울어진 상태이다. 그리고, 개폐 부재(520)에 의해 제 1 게이트(G1)가 폐쇄될 때 승하강 로드(543)는 직립한 상태가 된다. 승하강 로드(543)의 회동에 대한 상세한 설명은 하기에서 하기로 한다.
제 1 및 제 2 가이드 부재(544-1, 544-2)는 승하강 로드(543)의 동작에 따라 함께 승하강한다. 여기서 제 1 및 제 2 가이드 부재(544-1, 544-2)가 승하강 함은 상하 방향으로 직선 운동하는 것을 의미한다. 예를 들어 승하강 로드(543)가 신장되면 제 1 및 제 2 가이드 부재(544-1, 544-2)가 상승하고, 상기 승하강 로드(543)가 수축하면, 제 1 및 제 2 가이드 부재(544-1, 544-2)가 하강한다. 이러한 제 1 및 제 2 가이드 부재(544-1, 544-2)는 회동 부재(541) 상부의 일부 및 프레임(510) 하부의 일부를 관통하도록 설치되어, 일단이 연결 부재(530)의 하부와 연결된다. 실시예에 따른 제 1 및 제 2 가이드 부재(544-1, 544-2) 각각은 그 단면이 원형인 형상으로 제작되나 이에 한정되지 않고 다양한 형상으로 제작될 수 있다. 또한, 제 1 및 제 2 가이드 부재(544-1, 544-2)는 회동 부재(541)의 회동에 따라 함께 회동한다. 여기서, 제 1 및 제 2 가이드 부재(544-1, 544-2)의 회동은 곡선으로 전진 및 후진 이동하는 것으로, 후술되는 회동축(546)을 축으로하여 소정 각도를 이루도록 곡선으로 전진 및 후진하는 것을 의미한다. 이에, 제 1 및 제 2 가이드 부재(544-1, 544-2)는 도 2 및 도4에 도시된 바와 같이 개폐 부재(520)에 의해 제 1 게이트(G1)가 폐쇄되어 있을때, 직립한 상태이다. 반면, 제 1 게이트(G1)가 오픈되어 있을 때 제 1 및 제 2 가이드 부재(544-1, 544-2)는 기울어진 상태가 되는데, 하부에서 상부로 갈 수록 상기 제 1 게이트(G1)와의 폭 방향 이격 거리가 커지도록 기울어진 상태를 유지한다. 여기서, 개폐 부재(520)를 상승시키거나 하강 시킬 때 제 1 및 제 2 가이드 부재(544-1, 544-2)는 기울어진 상태이다. 그리고, 개폐 부재(520)에 의해 제 1 게이트(G1)가 폐쇄될 때 제 1 및 제 2 가이드 부재(544-1, 544-2)는 직립한 상태가 된다. 제 1 및 제 2 가이드 부재(544-1, 544-2)의 회동에 대한 상세한 설명은 하기에서 하기로 한다.
회동 부재(541)는 승하강 동력부(542), 승하강 로드(543), 제 1 및 제 2 가이드 부재(544-1, 544-2)를 지지하고, 개폐 부재(520)를 회동시키는 역할을 한다. 회동 부재(541)는 프레임(510)의 하측에 배치되며, 회동 동력부(547)의 동작에 의해 시계 방향 또는 반시계 방향으로 회동한다. 즉, 회동 부재(541)는 제 1 게이트(G1)와 가까워 지도록 상기 제 1 게이트(G1)를 향해 회동하거나, 제 1 게이트(G1)와 멀어 지도록 상기 제 1 게이트(G1)와 반대 방향으로 회동한다. 예를 들어, 회동 동력부(547)를 이용하여 회동 부재(541)의 하부에 제 1 게이트(G1)가 위치한 방향으로 힘을 하면, 상기 회동 부재(541)의 하부에 당기는 힘이 작용한다.이에, 회동 부재(541)는 회동축(546)을 축으로하여 제 1 게이트(G1)와 가까워 지도록 상기 제 1 게이트(G1)를 향해 회동한다. 반대로, 회동 동력부(547)를 이용하여 회동 부재(541)의 하부에 제 1 게이트(G1)가 위치한 방향과 반대 방향으로 힘을 가하면, 상기 회동 부재(541)의 하부에 미는 힘이 작용한다. 이에, 회동 부재(541)는 회동축(546)을 축으로하여 제 1 게이트(G1)와 멀어 지도록 상기 제 1 게이트(G1)와 반대 방향으로 회동한다. 이러한 회동 부재(541)의 회동에 의해 상기 회동 부재(541)에 삽입 장착된 승하강 로드(543), 제 1 및 제 2 가이드 부재(544-1, 544-2)와 개폐 부재(520)가 회동한다. 실시예에 따른 회동 부재(541)는 적어도 내측의 일부가 개구된 플레이트 형상으로 제작되며, 그 내측벽에 제 1 및 제 2 가이드 부재(544-1, 544-2)가 삽입되는 제 1 및 제 2 고정 부재(541-1)가 설치된다. 제 1 및 제 2 고정 부재(541-1) 각각은 회동 부재(541)의 내측벽으로부터 돌출되도록 제작되며, 상호 마주 보도록 배치된다. 그리고 제 1 및 제 2 고정 부재(541-1) 각각에는 길이 방향으로 관통하는 관통홀이 마련되며, 상기 관통홀을 통해 제 1 및 제 2 가이드 부재(544-1, 544-2)가 삽입된다.
지지 부재(545)는 회동 부재(541)의 양 외측벽에 결합되며, 길이 방향으로 연장된 바(bar) 형상으로 제작된다. 물론 이에 한정되지 않고 다양한 형상으로 제작될 수 있다. 회동축(546)은 지지 부재(545)의 상부와 회동 부재(541)의 상부를 연결하도록 설치된다. 즉, 회동축(546)은 일부가 지지 부재에 삽입되고, 나머지가 회동 부재에 삽입되도록 설치된다. 이로 인해, 회동 부재(541)는 회동축(546)을 축으로 하여 시계 방향 또는 반시계 방향으로 회동한다. 회동 부재(541)에의 회동에 대한 상세한 설명은 하기에서 하기로 한다.
회동 동력부(547)는 회동 부재(541)의 하부와 연결되어, 상기 회동 부재(541)의 하부를 밀거나 당겨, 상기 회동 부재(541)를 시계 방향 또는 반시계 방향으로 회동시킨다. 실시예에 따른 회동 동력부(547)는 회동 부재(541)의 후방 즉, 제 1 게이트(G1)의 전방에 배치된다. 이에, 회동 동력부(547)를 이용하여 회동 부재(541)의 하부에 제 1 게이트(G1)가 위치한 방향과 반대 방향으로 힘을가하면, 상기 회동 부재(541)의 하부에 미는 힘이 작용한다. 따라서, 회동 부재(541)는 회동축(546)을 축으로하여 반시계 방향으로 회동한다. 반대로 회동 동력부(547)를 이용하여 회동 부재(541)의 하부에 제 1 게이트(G1)가 위치한 방향으로 힘을가하면, 상기 회동 부재(541)의 하부에 당기는 힘이 작용한다. 이에, 회동 부재(541)는 회동축(546)을 축으로하여 시계 방향으로 회동한다.
물론 이에 한정되지 않고 회동 동력부(547)가 회동 부재의 전방에 위치할 수도 있다. 이와 같은 경우, 도시되지는 않았지만, 회동 동력부(547)를 이용하여 회동 부재(541)의 하부에 제 1 게이트(G1)가 위치한 방향으로 힘을 가하면, 상기 회동 부재(541)의 하부에 미는 힘이 작용한다. 따라서, 회동 부재(541)는 회동축(546)을 축으로하여 시계 방향으로 회동한다. 반대로 회동 동력부(547)를 이용하여 회동 부재(541)의 하부에 제 1 게이트(G1)가 위치한 방향과 반대 방향으로 힘을 가하면, 상기 회동 부재(541)의 하부에 당기는 힘이 작용한다. 이에, 회동 부재(541)는 회동축(546)을 축으로하여 반시계 방향으로 회동한다.
도 5a 내지 10a는 실시예에 따른 제 1 개폐 장치를 이용하여 제 1 로드락 챔버의 제 1 게이트를 개폐 하는 동작을 설명하기 위한 입체 도면이다. 도 5b 내지 10b는 실시예에 따른 제 1 개폐 장치를 이용하여 제 1 로드락 챔버의 게이트를 개폐 하는 동작을 설명하기 위한 단면도이다.
하기에서는 도 1, 도 5a 내지 10a 및 도 5b 내지 10b를 참조하여, 실시예에 따른 기판 처리 시스템의 동작 및 제 1 개폐 장치를 이용하여 게이트를 개폐 동작을 설명한다. 이때, 제 1 개폐 장치를 이용하여 제 1 로드락 챔버의 제 1 게이트를 개폐하는 동작 및 제 2 개폐 장치를 이용하여 제 2 로드락 챔버의 제 2 게이트를 개폐하는 동작이 동일하다 따라서, 제 1 개폐 장치를 이용하여 제 1 로드락 챔버의 제 1 게이트를 개폐하는 동작만 설명한다.
먼저, 기판을 마련하고, 상기 기판을 제 1 로드 포트(400a)에 인입시킨다. 이때, 제 1 로드락 챔버(200a)의 제 1 게이트(G1)는 제 1 개폐 장치(500a)의 개폐 부재(520)에 의해 폐쇄된 상태이다. 이와 같이 개폐 부재(520)에 의해 제 1 게이트(G1)가 폐쇄된 상태일 때, 상기 개폐 부재(520) 및 연결 부재(530)는 도 5a 및 도 5b에 도시된 바와 같이 직립한 상태를 유지한다. 또한, 개폐 부재(520) 내측면의 가장 자리 영역은 제 1 로드락 챔버(200a) 각각의 외주면의 제 1 게이트(G1) 주변 영역과 밀착되어 있다. 그리고 개폐 부재(520)와 연결된 승하강 로드(543), 제 1 및 제 2 가이드 부재(544-1, 544-2) 역시 직립한 상태를 유지한다. 반면, 회동 부재(541)는 하부에서 상부로 갈수록 제 1 게이트(G1)와의 폭 방향의 이격 거리가 점점 가까워지도록 기울어진 상태이다. 이로 인해 회동 부재(541)의 하부의 일부는 지지 부재의 전방 외측으로 돌출된 상태이다.
제 1 로드 포트(400a) 내에 기판이 인입되면, 제 1 개폐 장치(500a)를 이용하여 제 1 로드락 챔버(200a)의 제 1 게이트(G1)를 오픈한다. 이를 위해, 먼저 도 6a 및 6b에 도시된 바와 같이 회동 동력부(547)를 이용하여 회동 부재(541)의 하부에 제 1 게이트(G1)가 위치한 방향으로 힘을 가한다. 이에, 회동 부재(541)의 하부에 당기는 힘이 작용하여, 상기 회동 부재(541)는 회동축(546)을 축으로하여 시계 방향으로 회동한다. 즉, 회동 부재(541)는 회동축(546)을 축으로하여 제 1 게이트(G1)와 가까워 지도록 상기 제 1 게이트(G1)를 향해 회동한다. 따라서 회동 부재(541)는 직립한 상태가 된다. 이러한 회동 부재(541)의 회동에 의해 승하강 로드(543), 제 1 및 제 2 가이드 부재(544-1, 544-2)가 제 1 게이트(G1)와 멀어 지도록 상기 제 1 게이트(G1)와 반대 방향으로 회동하여, 기울어진 상태가 된다. 즉, 승하강 로드(543), 제 1 및 제 2 가이드 부재(544-1, 544-2) 각각은 하부에서 상부로 갈 수록 제 1 게이트(G1)와의 폭 방향 이격 거리가 점점 증가하도록 기울어 진다. 또한, 승하강 로드(543), 제 1 및 제 2 가이드 부재(544-1, 544-2)의 회동에 의해 개폐 부재(520)도 함께 회동하여, 상부에서 하부로 갈 수록 제 1 게이트(G1)와 이격 거리가 점점 증가하도록 기울어 진다. 이로 인해, 개폐 부재(520)가 제 1 로드락 챔버(200a)로부터 이격된다.
이후, 승하강 동력부(542)를 이용하여 승하강 로드(543)를 수축 시킨다. 승하강 로드(543)를 수축시키면, 상기 승하강 로드(543)의 양 외측에 설치된 제 1 및 제 2 가이드 부재(544-1, 544-2)가 하측으로 직선 운동하여 하강한다. 이에, 승하강 로드(543), 제 1 및 제 2 가이드 부재(544-1, 544-2) 각각의 일단에 연결된 연결 부재(530) 및 개폐 부재(520)가 하강한다. 이때, 개폐 부재(520)가 제 1 제 1 게이트(G1)의 하측에 위치하도록 하강시킨다. 따라서, 도 7a 및 7b에 도시된 바와 같이 제 1 게이트(G1)가 오픈된다.
제 1 게이트(G1)가 오픈되면, 도 8a 및 8b에 도시된 바와 같이 제 1 로드 포트(400a) 내에 적재된 기판(s)을 상기 제 1 게이트(G1)를 통해 제 1 로드락 챔버(200a) 내부로 이송시킨다.
제 1 로드락 챔버(200a) 내로 기판(S)이 인입되면, 제 1 게이트(G1)를 폐쇄한다. 이를 위해, 먼저 승하강 동력부(542)를 이용하여 승하강 로드(543)를 신장 시킨다. 승하강 로드(543)가 신장되면, 상기 승하강 로드(543)의 양 외측에 설치된 제 1 및 제 2 가이드 부재(544-1, 544-2)가 함께 상승한다. 이에, 도 9a 및 도 9b에 도시된 바와 같이 승하강 로드(543), 제 1 및 제 2 가이드 부재(544-1, 544-2) 각각의 일단에 연결된 연결 부재(530) 및 개폐 부재(520)가 상승한다. 이때, 개폐 부재(520)가 제 1 게이트(G1)와 대향 위치하도록 상승시킨다.
그리고, 회동 동력부(547)를 이용하여 회동 부재(541)의 하부에 제 1 게이트(G1)가 위치한 방향과 반대 방향으로 힘을 가한다. 이에, 도 10a 및 도10b에 도시된 바와 같이 회동 부재(541)의 하부에 미는 힘이 작용하여, 상기 회동 부재(541)는 회동축(546)을 축으로하여 반시계 방향으로 회동한다. 즉, 회동 부재(541)는 회동축(546)을 축으로하여 제 1 게이트(G1)와 멀어 지도록 상기 제 1 게이트(G1)와 반대 방향으로 회동한다. 따라서 회동 부재(541)는 하부에서 상부로 갈수록 제 1 게이트(G1)와의 폭 방향의 이격 거리가 점차 좁아지도록 기울어지며, 회동 부재(541) 하부의 일부가 지지 부재(545)의 전방 외측으로 돌출된다. 회동 부재(541)의 회동에 의해 승하강 로드(543), 제 1 및 제 2 가이드 부재(544-1, 544-2)가 제 1 게이트(G1)와 가까워 지도록 상기 제 1 게이트(G1)를 향해 회동하여, 직립한 상태가 된다. 또한, 승하강 로드(543), 제 1 및 제 2 가이드 부재(544-1, 544-2)와 연결된 개폐 부재(520)도 제 1 게이트(G1)와 가까워 지도록 상기 제 1 게이트(G1)를 향해 회동하여, 직립 상태가 된다. 따라서, 개폐 부재(520) 내측면의 가장 자리 영역이 제 1 로드락 챔버(200a)의 제 1 게이트(G1) 주변 영역과 밀착된다. 따라서, 제 1 게이트(G1)가 폐쇄된다.
이어서, 제 1 로드락 챔버(200a) 내부에 배치된 기판을 이송 챔버(110) 내로 인입시키고, 이송 로봇(110)은 기판을 제 1 및 제 2 공정 챔버 중 적어도 어느 하나에 인입시킨다. 제 1 및 제 2 공정 챔버(300a, 300b) 각각에서는 기판에 대해 예를 들어 증착 또는 식각 공정을 실시한다. 물론 이에 한정되지 않고 다양한 공정이 실시할 수 있다. 제 1 및 제 2 공정 챔버(300a, 300b) 중 적어도 어느 하나에서 공정이 완료된 기판은 이송 챔버(110)의 이송 로봇(110)에 의해 제 1 로드락 챔버(200a)로 이송된다.
제 1 로드락 챔버(200a) 내로 공정이 완료된 기판이 이송되면, 제 1 및 2 개폐 장치(500a, 500b)를 이용하여 제 1 게이트(G1)를 오픈한다. 이후, 제 1 로드락 챔버(200a) 내의 기판을 제 1 로드 포트로 반입하고, 제 1 개폐 장치(500a)를 이용하여 제 1 게이트(G1)를 폐쇄한다. 여기서, 제 1 개폐 장치(500a)를 이용하여 제 1 게이트(G1)를 오픈 또는 폐쇄하는 방법은 상기에서 설명한 방법과 동일하다.
이와 같이 실시예에서는 개폐 부재(520)를 회동시켜 제 1 게이트(G1)를 오픈하거나 폐쇄한다. 이에, 개폐 부재(520) 전면에 동일한 힘을 가할 수 있어, 제 1 게이트(G1)의 불규칙한 실링 현상이 발생하지 않도록 밀폐할 수 있다. 따라서, 제 1 게이트(G1)를 통해 외부의 불순물 유입되거나, 공기의 유입으로 인한 역류 현상을 방지할 수 있다. 이로 인해, 제 1 로드락 챔버(200a) 내부가 오염되거나, 유입되는 공기에 의해 진공도가 떨어지는 문제를 방지할 수 있으며, 제 1 로드락 챔버(200a) 내부의 오염으로 인해 기판이 오염되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 개폐 부재(520) 전면에 동일한 힘을 가할 수 있어 1 게이트(G1)의 오픈이 용이한 장점이 있다.
상기에서는 기판이 제 1 로드 포트(400a) 및 제 1 로드락 챔버(200a)를 통해 이송 챔버(100) 내로 출입하거나, 공정이 완료된 기판이 제 1 로드락 챔버(200a)를 통해 제 1 로드 포트(400a)를 반입되는 것을 설명하였다. 그리고 제 1 개폐 장치(500a)를 이용한 제 1 게이트(G1)의 개폐 동작을 설명하였다. 도시되지는 않았으나, 기판이 제 2 로드 포트(400b) 및 제 2 로드락 챔버(200b)를 통해 이송 챔버(100) 내로 출입하거나, 공정이 완료된 기판이 제 2 로드락 챔버(200b)를 통해 제 2 로드 포트(400b)를 반입되는 동작은 상기의 설명과 동일하다. 또한, 제 2 개폐 장치(500b)를 이용한 제 2 게이트(G2)의 개폐 동작은 상기에서 설명한 제 1 개폐 장치(500a)를 이용한 제 1 게이트(G1)의 개폐 동작과 동일하다.
또한, 상기에서는 제 1 로드 포트(400a)와 제 1 로드락 챔버(200a) 사이에 제 1 개폐 장치(500a)가 설치되고, 제 2 로드 포트(400b)와 제 2 로드락 챔버(200b) 사이에 제 2 개폐 장치(500b)가 설치되는 것을 설명하였다. 하지만 이에 한정도지 않고, 실시예에 따른 개폐 장치(500a, 500b)는 로드락 챔버(200a, 200b)와 이송 챔버(100) 사이 또는 이송 챔버(100)와 공청 챔버(300a, 300b) 사이에 설치될 수 있다. 또한, 실시예와 같은 기판 처리 시스템에 한정되지 않고 분리된 공간을 개폐하는 다양한 장치에 적용될 수 있다.
500a, 500b: 개폐 장치 510: 프레임
520: 개폐 부재 540: 구동 유닛
541: 회동 부재 542: 승하강 동력부
543: 승하강 로드 547: 회동 동력부

Claims (15)

  1. 게이트를 개폐하는 개폐 장치에 있어서,
    승하강 및 회동 가능하도록 제작되어, 상기 게이트를 개폐하는 개폐 부재; 및
    상기 개폐 부재와 연결되어, 상기 개폐 부재를 상기 게이트가 위치한 방향 또는 상기 게이트와 반대 방향으로 회동시키고, 상기 개폐 부재를 승하강시키는 구동 유닛을 포함하고,
    상기 구동 유닛은,
    상기 개폐 부재의 하부와 연결되어 상기 개폐 부재를 승하강시키며, 회동 가능한 승하강 로드;
    상기 승하강 로드가 상하 방향으로 관통하도록 설치되며, 회동 가능한 회동 부재; 및
    상기 회동 부재 하부의 일측부에 연결되어, 상기 회동 부재를 밀거나 당김으로써, 상기 회동 부재를 상기 게이트가 위치한 방향 또는 상기 게이트와 반대 방향으로 회동시키는 회동 동력부를 포함하는 개폐 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 게이트와 대향 배치되는 개구부를 가지는 프레임을 포함하는 개폐 장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 승하강 로드와 연결되며, 회동 가능한 승하강 동력부를 포함하는 개폐 장치.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 회동 부재는 내측이 개구된 형상으로 제작되며, 상기 승하강 로드는 상기 회동 부재를 길이 방향으로 관통하도록 설치되고, 상기 승하강 동력부는 상기 회동 부재의 내측에 개구 영역에 배치되는 개폐 장치.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 구동 유닛은 상기 회동 부재의 양 측부에 연결된 지지 부재; 및
    상기 지지 부재의 상부와 상기 회동 부재 상부 사이를 연결하는 회동축을 포함하고,
    상기 회동 부재는 상기 회동축을 축으로하여 회동하는 개폐 장치.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 회동 동력부는 상기 회동 부재의 하부에서 상기 회동 부재의 전방 및 후방 중 어느 하나의 측부에 연결되는 개폐 장치.
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 구동 유닛은 상기 승하강 로드의 양 측으로 이격되어 일단이 상기 개폐 부재와 연결되며, 상기 회동 부재를 길이 방향으로 관통도록 설치되어, 상기 회동 부재와 함께 회동하는 가이드 부재를 포함하는 개폐 장치.
  8. 청구항 7에 있어서,
    상기 회동 부재가 상기 게이트가 위치한 방향으로 회동할 때, 상기 회동 부재와 연결된 승하강 동력부, 승하강 로드, 가이드 부재 및 상기 개폐 부재가 상기 게이트와 반대 방향으로 회동하고,
    상기 회동 부재가 상기 게이트가 위치한 방향과 반대 방향으로 회동할 때, 상기 회동 부재와 연결된 승하강 동력부, 승하강 로드, 가이드 부재 및 상기 개폐 부재가 상기 게이트가 위치한 방향으로 회동하는 개폐 장치.
  9. 게이트를 개폐하는 개폐 부재, 상기 개폐 부재와 연결되어 상기 개폐 부재를 승하강시키며 회동 가능한 승하강 로드, 상기 승하강 로드와 연결된 회동 부재, 상기 회동 부재 하부의 일측부에 연결되어, 상기 회동 부재를 밀거나 당김으로써, 상기 회동 부재를 상기 게이트가 위치한 방향 또는 상기 게이트와 반대 방향으로 회동시키는 회동 동력부를 포함하는 개폐 장치를 이용한 개폐 방법으로서,
    상기 회동 동력부를 이용하여 상기 회동 부재를 밀거나 당겨, 상기 회동 부재를 게이트가 위치한 방향과 반대 방향으로 회동시킴으로써, 상기 승하강 로드 및 개폐 부재가 상기 게이트가 위치한 방향으로 회동되도록 하여, 개폐 부재가 직립하도록 함으로써, 상기 게이트를 폐쇄하는 과정;
    상기 회동 동력부를 이용하여 상기 회동 부재를 밀거나 당겨, 상기 회동 부재를 게이트가 위치한 방향으로 회동시킴으로써, 상기 승하강 로드 및 개폐 부재가 상기 게이트가 위치한 방향과 반대 방향으로 회동되도록 하여, 상기 개폐 부재가 기울어지도록 함으로써, 상기 게이트를 오픈하는 과정을 포함하는 개폐 방법.
  10. 청구항 9에 있어서,
    상기 게이트를 폐쇄하는 과정에 있어서,
    상기 개폐 부재가 상기 게이트와 대향 위치하도록 상하 이동시키는 과정을 포함하는 개폐 방법.
  11. 청구항 9에 있어서,
    상기 게이트를 오픈하는 과정에 있어서,
    상기 개폐 부재가 상기 게이트와 대향하지 않도록 상하 이동시키는 과정을 포함하는 개폐 방법.
  12. 삭제
  13. 청구항 9에 있어서,
    상기 게이트를 폐쇄하는 데 있어서,
    상기 승하강 로드 및 회동 부재는 기울어진 상태인 개폐 방법.
  14. 삭제
  15. 청구항 9에 있어서,
    상기 게이트를 오픈하는 데 있어서,
    상기 승하강 로드 및 회동 부재는 직립한 상태인 개폐 방법.
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