KR20070036982A - 평판표시소자 제조장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 평판표시소자 제조장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 클러스터 타입의 제조장치인 챔버를 상하로 적층하고 상하 적층된 챔버의 상하부에 개폐식 개폐문이 각각 구비된 평판표시소자 제조장치에 관한 것이다.

즉, 본 발명은 내부에서 기판이 공정 처리되는 챔버; 상기 챔버의 저면에 형성된 개폐구; 상기 챔버의 저면 외측에 구비되며 상기 개폐구를 개폐하는 개폐유닛;을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치에 관한 것이다.

평판표시소자 제조장치, 상하부 챔버, 개폐문, 승강수단, 가이드

Description

평판표시소자 제조장치{FLAT PANEL DISPLAY MANUFACTURING MACHINE}

도 1은 종래의 평판표시소자 제조장치를 도시한 측단면도이다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 평판표시소자 제조장치를 도시한 측단면도이다.

도 3은 상기 평판표시소자 제조장치의 개폐문를 승강시키고 이격된 개폐문로 이동시키는 승강수단 및 가이드를 도시한 사시도이다.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >

110 : 상부 챔버 112 : 커버

114 : 하부 챔버 114a : 플레이트

116 : 개폐문 118 : 승강수단

G : 가이드

본 발명은 평판표시소자 제조장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 클러스터 타입의 제조장치인 챔버를 상하로 적층하고 상하 적층된 챔버의 상하부에 개폐식 개폐문이 각각 구비된 평판표시소자 제조장치에 관한 것이다.

일반적으로, 평판표시소자 제조장치는 내부에 LCD, PDP, OLED 등과 같은 평판표시소자 기판을 반입시켜 플라즈마 가스등을 이용하여 식각 등의 처리를 실시하며 상술한 평판표시소자 제조장치는 일반적으로 로드락(Load lock) 챔버, 반송 챔버 및 한 개 이상의 공정 챔버로 구성된다.

여기서, 상술한 로드락 챔버는 외부에 구비되며 다수개의 처리 전 기판을 적재한 카세트에서 운송수단에 의해 기판을 받아들이거나 처리가 끝난 기판을 외부로 반출하는 역할을 하고, 상술한 반송 챔버는 기판을 로드락 챔버 또는 공정 챔버들 간에 반송하기 위한 반송 로봇이 구비되어 있어서 처리할 기판을 로드락 챔버에서 공정 챔버로 전달하거나 처리가 완료된 기판을 공정 챔버에서 로드락 챔버로 전달하는 역할을 하며, 상술한 공정 챔버는 진공 상태에서 플라즈마 등을 이용하여 기판상에 막을 성막하거나 에칭을 수행하는 역할을 각각 한다.

여기서, 상기 로드락 챔버에는 기판을 반입 및 반출하는 공간이 한 공간에서 이루어지므로 상기 로드락 챔버를 상하 적층하여 적층된 로드락 챔버에 각각 구비된 상하 기판을 순차적으로 반송 챔버에 공급함으로써, 공정 진행 속도를 증가시킬 수 있다.

더욱이, 상기 로드락 챔버를 상하로 적층하여 구비하고 순차적으로 기판을 상하로 반입함에 따라 공정 완료 시간을 감소시킬 수 있으며, 내부 구성물의 유지 보수 및 교체를 하거나 기판이 파손될 경우에도 파손된 기판을 꺼낼 때 내부를 개폐할 수 있도록 별도의 커버가 마련된다.

이와 같은 종래의 평판표시소자 제조장치중 로드락 챔버는 도 1에 도시된 바 와 같이 상하 적층된 상태로 구비되는 상부 로드락 챔버(10)와 하부 로드락 챔버(14)로 구성된다.

상기 상부 로드락 챔버(10)는 그 상면에 개폐구가 형성되고 상기 개폐구와 기밀이 유지된 상태로 커버(12)가 구비된다.

그리고 상기 하부 로드락 챔버(14)는 그 저면에 개폐구가 형성되고 상기 개폐구와 기밀이 유지된 상태로 개폐문(16)이 구비된다.

한편, 상기 하부 로드락 챔버(14)는 상기 하부 로드락 챔버(14)의 저면에 개폐구 및 개폐문(16)이 마련되거나 상면에 개폐구 및 개폐문(16)이 마련될 수 있으며, 도면에 도시되지 않았지만 상기 개폐문(16)이 상기 하부 로드락 챔버(14)의 상면에 마련될 경우 상부 로드락 챔버(10)를 분리시킨 다음 개폐문(16)을 분리시켜야 했다.

여기서, 상기 하부 로드락 챔버(14)의 개폐문(16) 저면에는 적층된 상하부 로드락 챔버(10, 14)가 적정 높이에 위치되도록 프레임(20)이 구비된다.

그러나 상기 상하부 로드락 챔버(10, 14)내에서 각각 기판(도면에 미도시)이 파손될 경우 그 파손된 기판을 청소하여야 하며 그러기 위해서는 상부 로드락 챔버(10)의 커버(12)를 분리하여 그 상부 로드락 챔버(10) 내부를 청소할 수 있지만 하부 로드락 챔버(14)는 상부 로드락 챔버(10)를 클린룸(도면에 미도시) 천장에 구비된 크레인(도면에 미도시)에 의해 하부 로드락 챔버(14)에서 분리시킨 다음 하부 로드락 챔버(14)를 뒤집어 개폐문(16)을 분리하고 그 후에 하부 로드락 챔버(14) 내부를 청소할 수 있으므로 유지보수시 소요 시간과 소요 인력이 증가하는 문제점 이 있었다.

본 발명은 상기 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 그 목적은 적층된 챔버 각각을 유지보수하기 위해 개폐문을 개폐할 때 상하부 챔버의 위치를 유지시킨 상태에서 용이하게 할 수 있게 한 평판표시소자 제조장치를 제공함에 있다.

상술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 내부에서 기판이 공정 처리되는 챔버; 상기 챔버의 저면에 형성된 개폐구; 상기 챔버의 저면 외측에 구비되며 상기 개폐구를 개폐하는 개폐유닛;을 포함하여 이루어짐으로써, 상기 하부 챔버 내부 청소가 필요하여 상기 하부 챔버의 개폐구를 개방하고자 할 때 하부 챔버 저면에 위치된 개폐유닛에 의해 용이하게 실시되므로 바람직하다.

또한, 본 발명에서의 상기 개폐유닛은, 상기 챔버의 개폐구를 개폐하는 개폐문; 상기 개폐문의 하측에서 상기 개폐문을 승강시키는 승강수단;로 이루어지는 것이 바람직하다.

또한, 본 발명에서의 상기 승강수단은, 그 하부에 가이드가 마련되어 상기 가이드를 따라 각각의 개폐문을 승강시킬 수 있도록 개폐할 개폐문의 위치로 수평 이동됨으로써, 하나의 승강수단에 의해 각각의 개폐문을 개폐할 수 있으므로 바람 직하다.

또한, 본 발명에서는 상기 챔버의 상부에 별도로 챔버가 더 적층될 수 있으며, 적층된 상부 챔버의 상면에 개폐문이 구비됨으로써, 상기 상부 챔버 내부의 유지보수가 필요할 경우 상기 상부 챔버 상면에 구비된 커버를 개폐한 다음 실시하고, 하부 챔버 내부를 유지보수할 경우 상기 하부 챔버 저면에 구비된 개폐문을 개폐한 다음 실시함에 따라 상기 상하부 챔버의 위치를 유지하면서 유지보수가 가능하므로 바람직하다.

이하, 본 발명의 평판표시소자 제조장치를 첨부도면을 참조하여 일 실시예를 들어 설명하면 다음과 같다.

본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 평판표시소자 제조장치는 도 2에 도시된 바와 같이 상하로 적층된 상부 챔버(110)와 하부 챔버(114)로 이루어지며, 상기 상하부 챔버(110, 114)내 하측 중심부에는 기판(도면에 미도시)이 적재되는 기판 적재대가 각각 구비된다.

여기서, 상기 상부 챔버(110)와 상기 하부 챔버(114)는 로드락 챔버이다.

상기 상부 챔버(110)는 내부가 중공 형성되되 그 양측벽에 형성되어 기판이 반입되는 반입구와 반출되는 반출구가 게이트 밸브에 의해 개폐되며 그 상면에 개폐구가 형성되고 상기 개폐구에 기밀이 유지된 상태로 커버(112)가 마련되며, 상기 커버(112)는 상부 챔버(110)의 면적과 동일하면서 적정 두께를 갖는다.

상기 하부 챔버(114)는 내부가 중공 형성되되 그 양측벽에 형성되어 기판이 반입되는 반입구와 반출되는 반출구가 게이트 밸브에 의해 개폐되며 그 하부가 개구되고 그 저면에 기밀이 유지된 상태로 플레이트(114a)가 마련되며, 상기 플레이트(114a)는 하부 챔버(114)의 면적과 동일하면서 적정 두께를 갖는다.

그리고 상기 플레이트(114a)는 중심부를 기점으로 양단에 적정 면적으로 관통 형성되는 복수개의 개폐구(114b)가 형성되고 상기 개폐구(114b)에는 이 개폐구(114b)의 면적보다 큰 단차가 형성되며 그 단차에 후술한 개폐문(116)이 기밀이 유지된 상태로 각각 결합된다.

여기서, 상기 개폐구(114b)를 개폐하는 개폐유닛(Opening and closing unit)이 구비되며, 상기 개폐유닛은 개폐문(116)과 승강수단(118)으로 이루어진다.

한편, 상기 하부 챔버(114)의 저면에 플레이트(114a)를 구비하는 이유는 하부 챔버(114)내 바닥면 중심부에 기판 적재대가 구비되는 바, 상기 기판 적재대를 지지할 수 있도록 하기 위함으로 상기 개폐구(114b) 및 개폐문(116)은 상기 플레이트(114a)의 중심점을 기점으로 이격된 양단에 각각 구비된다.

그리고 상기 하부 챔버(114)의 저면에는 상하부 챔버(110, 114)가 지면에서 적정 높이에 위치될 수 있도록 프레임(120)이 구비된다.

여기서, 상기 개폐문(116)은 이 개폐문(116)을 플레이트(114a)에서 분리할 경우 간섭받지 않도록 구비된다.

상기 승강수단(118)은 도 3에 도시된 바와 같이 상기 개폐문(116)을 하부 챔 버(114)에서 분리시킬 경우 동력에 의해 상기 개폐문(116)을 적정 위치로 승강시키는 기능을 하며, 상기 개폐문(116)을 하부 챔버(114)에 구비된 플레이트(114a)의 개폐구(114b)와의 체결 위치로 상승시키거나 외부로 분리시킬 위치까지 하강한다.

여기서, 상기 승강수단(118)은 에어 실린더 또는 구동모터와 스크류 중 선택되는 어느 하나로 상기 에어 실린더는 직립되어 수직 왕복 운동하며, 상기 구동모터와 스크류는 구동모터의 회전력을 스크류에 의해 수직 왕복 운동하게 하여 구동모터가 회전하면 스크류를 회전시켜 그 스크류에 구비된 너트가 승강하게 되는 것이다.

한편, 상기 승강수단(118)은 복수개의 개폐문(116)을 하나로 승강시키기 위해 프레임(120)의 상면에 구비되되 길이 방향으로 연장되는 한 쌍의 가이드(G)의 상면에 안착되어 수평 방향으로 이동하게 된다.

즉, 상기 개폐문(116)의 중심 위치로 승강수단(118)이 가이드(G)를 따라 이동하여 하나의 승강수단(118)에 의해 복수개의 개폐문(116)을 향해 위치 이동하므로 각각 승강시킬 수 있으며, 상기 승강수단(118)의 이동은 수동 및 자동에 의해 수행될 수 있다.

그리고 상기 가이드(G)의 양단에는 상기 승강수단(118)의 위치를 제한하는 스토퍼(도면에 미도시)가 더 마련되어 각각의 개폐문(116)의 정확한 승강 위치로 이동할 수 있게 이동 위치를 제한한다.

한편, 도면에는 도시하지 않았지만 하부 챔버(114)만 구비할 경우에도 상기 하부 챔버(114)의 저면에 개폐구(114b) 및 개폐유닛인 개폐문(116)과 승강수단 (118)이 구비되므로 상기 개폐문(116)의 개폐가 가능함은 물론 상기 하부 챔버(114)의 외부 상면에 구비될 수 있는 장치에 간섭하지 않는다.

그러므로 본 발명의 평판표시소자 제조장치에서 적층된 상하부 챔버중 하부 챔버 내부를 청소 등과 같이 유지보수를 하기 위해서는 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 그 하부 챔버(114)내에서 기판이 파손되면 우선 분리할 개폐문(116)으로 승강수단(118)을 가이드(G)를 따라 이동시켜 분리할 개폐문(116)의 중심과 승강수단(118)의 중심을 맞춘다.

그리고 상기 승강수단(118)을 상승시켜 그 상면이 분리할 개폐문(116)의 저면에 접촉되게 하고, 접촉되면 승강수단(118)을 정지시킨 후 플레이트(114a)에 결합된 개폐문(116)을 분리한다.

이때, 상기 승강수단(118)이 분리할 개폐문(116)을 받치고 있으므로 상기 개폐문(116)이 추락하는 것을 방지한다.

그리고 이웃한 다른 개폐문(116)을 분리할 경우 승강수단(118)을 분리할 개폐문(116)으로 가이드(G)를 따라 수평 이동한 다음 상기 승강수단(118)을 승강시켜 개폐문(116)에 접촉되게 한 후 전술한 방법과 동일하게 개폐문(116)을 분리하고 하부 챔버(114) 내부를 청소한다.

역으로, 청소가 완료된 후 상기 하부 챔버(114)의 플레이트(114a)에 형성된 개폐구(114b)을 개폐문(116)으로 체결시킬 때 전술한 방법을 반대로 실시하면 된다.

이와 같은 본 발명의 평판표시소자 제조장치는 챔버 하부에 상기 챔버 내부를 유지보수할 경우 개폐하는 개폐문이 구비되어 상기 개폐문을 승강수단에 의해 용이하게 개폐하는 효과가 있다.

또한, 본 발명은 하부에 개폐문이 구비된 챔버 상부에 별도의 챔버를 구비하여 적층시켜도 하부 챔버의 개폐가 가능하므로 상기 하부 챔버 내부의 유지보수 시간 및 소요 인력이 감소되는 효과가 있다.

Claims (6)

1. 내부에서 기판이 공정 처리되는 챔버;

   상기 챔버의 저면에 형성된 개폐구;

   상기 챔버의 저면 외측에 구비되며 상기 개폐구를 개폐하는 개폐유닛;을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
2. 제 1항에 있어서, 상기 개폐유닛은,

   상기 챔버의 개폐구를 개폐하는 개폐문;

   상기 개폐문의 하측에서 상기 개폐문을 승강시키는 승강수단;로 이루어지는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
3. 제 2항에 있어서, 상기 개폐구 및 개폐문은,

   각각 복수개로 구비되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
4. 제 3항에 있어서, 상기 승강수단은,

   그 하부에 가이드가 마련되어 상기 가이드를 따라 각각의 개폐문을 승강시킬 수 있도록 개폐할 개폐문의 위치로 수평 이동되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
5. 제 4항에 있어서, 상기 승강수단은,

   직선 왕복 운동하는 에어 실린더 또는 회전운동을 직선 왕복운동으로 변환시키는 스크류 및 구동모터 중 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
6. 제 5항에 있어서,

   상기 챔버의 상부에 별도로 챔버가 더 적층될 수 있으며, 적층된 상부 챔버의 상면에 개폐문이 구비되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.

Images