KR101123299B1

KR101123299B1 - 진공 차단장치 및 이를 포함하는 영상표시장치 제조설비

Info

Publication number: KR101123299B1
Application number: KR1020100010469A
Authority: KR
Inventors: 박영남; 고대운
Original assignee: (주)엘티엘
Priority date: 2010-02-04
Filing date: 2010-02-04
Publication date: 2012-03-20
Also published as: CN102754017B; CN102754017A; TW201128100A; KR20110090594A; TWI428527B; WO2011096613A1

Abstract

본 발명은 진공 차단장치에 관한 것으로, 일측에 제1입구가 형성되고, 타측에 제2입구가 형성되는 하우징, 상기 하우징 내부에 배치되어, 상기 제1입구를 개폐하는 제1밸브판 및 상기 제2입구를 개폐하는 제2밸브판, 상기 하우징 내부에 배치되는 지지패널, 상기 지지패널의 일측면에 설치되어 제1밸브판을 수평 이동시키는 제1실린더 유닛, 상기 지지패널의 타측에 설치되어 제2밸브판을 수평 이동시키는 제2실린더 유닛, 그리고 상기 지지패널에 연결되어 제1밸브판과 제2밸브판을 승강시키는 구동유닛으로 구성되어, 밸브판이 실린더 유닛에 의해 공압 또는 유압으로 구동된다.

Description

진공 차단장치 및 이를 포함하는 영상표시장치 제조설비{Vacuum isolation apparatus and manufacturing equipment for display device having the same}

본 발명은 진공 차단장치 및 이를 포함하는 영상표시장치 제조설비에 관한 것이다.

일반적으로 영상표시장치는 화상을 표시하는 액정패널과, 액정패널에 구동신호를 인가하기 위한 구동부로 크게 구분될 수 있으며, 액정패널은 상호 결합되는 상부기판 및 하부기판과, 상부기판과 하부기판 사이에 형성된 액정층으로 구성된다.

근래 들어, 영상표시장치 기판이 대구경, 대형화되면서 영상표시장치를 제조하는 설비의 크기가 커지고 있다.

상기와 같은 영상표시장치를 제조하려면, 전용의 영상표시장치 제조설비와 같이 저진공으로부터 초고진공에 이르는 넓은 진공 영역에서 작업이 가능한 진공차단 슬롯밸브 등과 같은 진공 차단장치를 필요로 한다.

그러나, 종래 기술의 진공 차단장치는 영상표시장치 기판을 제조설비에 공급한 상태에서 밸브를 폐쇄하도록 작동시키면, 밸브판이 하우징 입구의 테두리 둘레를 따라 균일하게 접촉되기 어렵기 때문에, 작동 부분에 과도한 압력을 가하여 밀착되도록 구성하게 되는데, 이때 밸브판과 하우징 입구 사이의 과도한 밀착으로 인하여, 이들 부품이 파손 및 변형되어 고장이 발생하는 문제점이 있었다.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 공압 또는 유압을 이용하여 밸브판을 구동시킴으로써, 진공 차단성능을 향상시킬 수 있는 진공 차단장치를 제공하는 것이다.

다른 과제는 제1진공실을 차단하는 밸브판과 제2진공실을 차단하는 밸브판을 각각 구동시킬 수 있는 진공 차단장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 한 실시예에 따른 진공 차단장치는 일측에 제1입구가 형성되고, 타측에 제2입구가 형성되는 하우징, 상기 하우징 내부에 배치되어, 상기 제1입구를 개폐하는 제1밸브판 및 상기 제2입구를 개폐하는 제2밸브판, 상기 하우징 내부에 배치되는 지지패널, 상기 지지패널의 일측면에 설치되어 제1밸브판을 수평 이동시키는 제1실린더 유닛, 상기 지지패널의 타측에 설치되어 제2밸브판을 수평 이동시키는 제2실린더 유닛, 그리고 상기 지지패널에 연결되어 제1밸브판과 제2밸브판을 승강시키는 구동유닛을 포함한다.

상기 구동유닛은 상기 제1실린더 유닛에 공압 또는 유입이 제공하는 제1구동유닛, 그리고 상기 제2실린더 유닛에 공압 또는 유압이 제공하는 제2구동유닛을 포함할 수 있다.

상기 하우징은 그 내부에 상기 제1밸브판과 상기 제2밸브판이 상하 이동될 수 있는 수납공간이 구비되고, 상기 제1입구는 제1진공실의 입구이고, 상기 제2입구는 제2진공실의 입구로 구성될 수 있다.

상기 제1밸브판과 제2밸브판에는 제1입구와 제2입구에 밀착되는 실링부재가 장착될 수 있다.

상기 제1실린더 유닛은 상기 지지패널의 일측면에 고정되는 제1실린더 바디, 상기 제1실린더 바디의 내부에 직선 이동 가능하게 배치되어 상기 제1실린더 내부를 제1공간부와 제2공간부로 구획하고, 제1밸브판과 연결되는 제1이동부재를 포함할 수 있다.

상기 제1실린더 바디에는 제1공간부로 공기가 출입되는 제1라인과, 제2공간부로 공기가 출입되는 제2라인이 형성될 수 있다.

상기 제2실린더 유닛은 상기 지지패널의 타측면에 고정되는 제2실린더 바디, 상기 제2실린더 바디의 내부에 직선 이동 가능하게 배치되어 상기 제2실린더 내부를 제1공간부와 제2공간부로 구획하고, 제2밸브판과 연결되는 제2이동부재를 포함할 수 있다.

상기 제2실린더 바디에는 제1공간부로 공기가 출입되는 제3라인과, 제2공간부로 공기가 출입되는 제4라인이 형성될 수 있다.

상기 구동유닛은 내부에 공압이 제공되는 공간을 갖는 바디, 상기 바디 내부의 공간에 이동 가능하게 배치되고, 상기 공간을 제1챔버와 제2챔버로 구획하는 피스톤, 상기 피스톤과 연결되고 상기 바디에서 인출되어 상기 지지패널에 고정되고, 그 내부에 제1공간부와 연통되는 제1통로와, 제2공간부와 연통되는 제2통로가 형성되는 피스톤 로드, 그리고 상기 피스톤 로드의 내부에 직선 이동 가능하게 배치되며 상기 제1통로와 연통되는 제3통로와, 상기 제2통로와 연통되는 제4통로가 형성되는 파이프를 포함할 수 있다.

상기 바디는 그 일측에 상부캡이 형성되고, 타측에 하부캡이 형성되며, 상기 상부캡에는 상기 제2챔버로 공기가 출입하는 제1공기 출입구가 형성되고, 상기 하부캡에는 상기 제1챔버로 공기가 출입하는 제2공기 출입구가 형성될 수 있다.

상기 피스톤 로드는 그 내부에 상기 제1통로를 형성하는 제1로드, 그리고 상기 제1로드의 외면에 일정 간격을 두고 배치되어 제2통로를 형성하는 제2로드를 포함할 수 있다.

상기 파이프는 그 내부에 제3통로를 형성하는 제1파이프와, 그리고 상기 제1파이프의 외주면에 일정 간격을 두고 배치되어 제4통로를 형성하는 제2파이프를 포함할 수 있다.

상기 제1로드의 하단에는 제2구멍이 형성되고, 상기 제2파이프의 상단에는 제3구멍이 형성되며, 상기 피스톤 로드가 상기 바디에서 인출되면 상기 제2구멍과 제3구멍이 서로 연통될 수 있다.

상기 제1밸브판과 상기 하우징의 내면 중 어느 하나에는 제1밸브판이 제1입구에 밀착될 때 압력을 측정하는 제1압력센서가 설치되고, 상기 제2밸브판과 상기 하우징의 내면 중 어느 하나에는 제2밸브판이 제2입구에 밀착될 때 압력을 측정하는 제2압력센서가 설치될 수 있다.

상기 진공 차단장치는 상기 지지패널의 길이 방향을 따라 배치되어 있는 유체 라인을 더 포함할 수 있고, 상기 제1 실린더 유닛과 상기 제2 실린더 유닛은 각각 상기 유체 라인에 연결되어 있으며, 상기 제1밸브판 및 상기 제2밸브판은 상기 유체 라인에서 공급되는 유체 압력에 의해 움직일 수 있다.

본 발명의 실시예에 따른 영상표시장치 제조설비는 위에서 설명한 진공 차단장치를 포함할 수 있다.

본 발명의 실시예에 따르면, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 실린더 유닛이 구비되어 공압 또는 유압을 이용하여 밸브판을 구동시킴으로써, 진공 차단성능을 향상시킬 수 있는 장점이 있다.

또한, 제1밸브판을 구동시키는 제1실린더 유닛과 제2밸브판을 구동시키는 제2실린더 유닛으로 제공되는 공압 또는 유압라인을 다르게 하여 제1밸브판과 제2밸브판을 별도로 구동시킬 수 있는 장점이 있다.

도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 영상표시장치의 제조설비를 나타낸 구성도이다.
도 2는 본 발명의 한 실시예에 따른 진공 차단장치의 정면도이다.
도 3은 본 발명의 한 실시예에 따른 진공 차단장치의 일측 단면도이다.
도 4는 본 발명의 한 실시예에 따른 진공 차단장치의 타측 단면도이다.
도 5는 본 발명의 한 실시예에 따른 밸브판을 나타낸 도면이다.
도 6은 본 발명의 한 실시예에 따른 작동유닛의 단면도이다.
도 7은 도 6 A부의 확대도이다.
도 8 및 도 9는 본 발명의 한 실시예에 따른 진공 차단장치의 작동 상태도이다.

이하, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록, 본 발명의 실시예에 대하여 첨부한 도면을 참고로 하여 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며, 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 붙였다.

도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 영상표시장치 제조설비를 나타낸 구성도이다.

도 1을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 영상표시장치 제조설비는, 로드락 챔버(load lock chamber)(200), 트랜스퍼 챔버(transfer chamber)(300), 복수의 프로세스 챔버(process chamber)(400) 및 트랜스퍼 챔버(300)와 각 프로세스 챔버(400) 사이에 설치되는 진공 차단장치(100)를 포함한다.

로드락 챔버(load lock chamber)(200)는 유리기판 등과 같은 소재가 로딩(loading)되거나 언로딩(unloading)되는 곳으로, 일측에는 도어 밸브(210)가 설치되고, 타측에는 게이트 밸브(220)가 설치되어 소재가 로딩 및 언로딩될 때 챔버(200)를 개폐한다.

트랜스퍼 챔버(transfer chamber)(300)는 고진공(high vacuum : 10 -6 T orr)상태를 유지하는 제1진공실이며, 내부에 로봇(robot) 주축 및 감지기 등을 구비하고, 로봇의 주축을 중심으로 하는 로봇 암에 의해 상기 로드락 챔버 또는 증착, 식각 등의 여러 공정이 수행되는 프로세스 챔버(process chamber)(400)들 간에 기판 등의 이동을 담당한다.

복수의 프로세스 챔버(400)는 그 내부가 진공상태를 유지하는 제2진공실이며, 진공상태에서 소재를 가공하는 챔버이다.

진공 차단장치(100)는 트랜스퍼 챔버(300)와 복수의 프로세스 챔버(400) 사이에 설치되어 두 챔버(300,400)의 진공 차단작용을 수행한다.

도 2는 본 발명의 한 실시예에 따른 진공 차단장치의 정면도이고, 도 3은 본 발명의 한 실시예에 따른 진공 차단장치의 일측 단면도이고, 도 4는 본 발명의 한 실시예에 따른 진공 차단장치의 타측 단면도이다.

본 발명의 한 실시예에 따른 진공 차단장치(100)는 트랜스퍼 챔버(300)와 상기 프로세스 챔버(400) 사이에 설치되고 제1입구(12)와 제2입구(14)가 구비되는 하우징(10)과, 하우징(10) 내부에 배치되어 제1입구(12)를 개폐하는 제1밸브판(20) 및 제2입구(14)를 개폐하는 제2밸브판(30)과, 제1밸브판(20)과 제2밸브판(30)이 입구(12,14)에 밀착되도록 수평 이동시키는 실린더 유닛(70,80)과, 제1밸브판(20)과 제2밸브판(30)을 승강시키는 구동유닛(40,50)을 포함한다.

하우징(10)은 그 내부에 제1밸브판(20)과 제2밸브판(30)이 상하방향으로 이동 가능하게 수납되는 수납공간(16)이 형성되고, 그 일측에는 트랜스퍼 챔버(300)와 연통되는 제1입구(12)가 형성되고, 그 타측에는 프로세스 챔버(400)와 연통되는 제2입구(14)가 형성된다.

제1입구(12)와 제2입구(14)는 서로 마주보게 배치되어 소재가 인입 및 인출된다.

하우징(10)의 일측면에는 트랜스퍼 챔버(300)와 제1입구(12) 사이를 밀봉시키는 실링부재(22)가 장착되고, 하우징(10)의 타측면에는 프로세스 챔버(400)와 제2입구(14) 사이를 밀봉시키는 실링부재(24)가 장착된다.

하우징(10)의 수납공간(16)에는 지지패널(60)이 배치되고, 이 지지패널(60)의 일측면에는 제1밸브판(20)이 연결되고, 지지패널(60)의 타측면에는 제2밸브판(30)이 연결된다.

제1밸브판(20)은 제1입구(12)를 막을 수 있도록 제1입구(12)에 비해 면적이 넓은 평판으로 형성되고, 그 일측면 가장자리에는 실링부재(26)가 설치되어 제1입구(12)를 밀폐시킨다.

그리고, 제2밸브판(30)은 제2입구(14)를 막을 수 있도록 제2입구(14)에 비해 면적이 넓은 평판으로 형성되고, 그 일측면 가장자리에는 실링부재(28)가 설치되어 제2입구(14)를 밀폐시킨다.

실린더 유닛(70,80)은, 도 3 내지 도 4를 참고하면, 지지패널(60)의 일측면에 고정되어 있으며 수평이동이 가능한 제1밸브판(20)을 가이드하는 제1실린더 유닛(70)과, 지지패널(60) 타측면에 고정되어 있으며 수평이동이 가능한 제2밸브판(30)을 가이드하는 제2실린더 유닛(80)으로 구성된다.

제1실린더 유닛(70)은 도 3에 도시된 바와 같이, 지지패널(60)의 일측면에 고정되고 내부에 공기압이 제공되는 공간부(74,76)가 형성되는 제1실린더 바디(72)와, 이 제1실린더 바디(72)의 공간부(74,76)에 직선 이동 가능하게 배치되고 공간부를 제1공간부(74)와 제2공간부(76)로 구획하고 제1밸브판(20)에 고정되는 제1이동부재(75)를 포함한다.

제1실린더 바디(72)에는 제1이동부재(75)가 인출되는 인출홀(73)이 형성되고, 제1공간부(74)와 연결되는 제1라인(92)과, 제2공간부(76)와 연결되는 제2라인(94)이 형성된다. 그리고, 지지패널(60)에는 제1라인(92)과 연통되는 제3라인(96)이 형성된다. 그러나, 제1공간부(74)는 제2라인(94)과 연결되고, 제2 공간부(76)는 제1라인(92) 및 제3라인(96)과 연결되도록 구성될 수 있다.

제1이동부재(75)의 외주면에는 공간부(74,76)의 내면에 밀착되어 기밀을 유지하는 실링부재(77)가 장착되고, 인출홀(73)의 내면에는 제1이동부재(75)의 외주면에 밀착되어 공간부 내부의 기밀을 유지하는 실링부재(78)가 장착된다.

이와 같은 제1실린더 유닛(70)은 도 5에 도시된 바와 같이, 지지패널(60)의 길이방향을 따라 하나 또는 하나 이상으로 설치될 수 있고, 복수일 경우 복수의 제1이동부재(75)가 제1밸브판(20)에 일정 간격을 두고 고정된다.

그리고, 제1밸브판(20) 또는 하우징(10)의 내면에는 제1밸브판(20)이 하우징의 내면에 밀착되는 압력을 감지하는 제1압력센서(210)가 설치된다.

이와 같은 제1실린더 유닛(70)의 작용을 살펴보면, 제1구동유닛(40)으로부터 제1공간부(74)로 공기압이 제공되면 제1이동부재(75)가 전진되면서 제1밸브판(20)을 전진시킨다. 그러면 제1밸브판(20)은 제1입구(12)에 밀착되어 제1입구(12)를 밀폐시킨다. 그리고, 제1구동유닛(40)으로부터 제2공간부(76)로 공기압이 제공되면 제1이동부재(75)가 후퇴되면서 제1밸브판(20)을 후퇴시킨다. 그러면 제1밸브판(20)이 제1입구(12)에서 떨어져 제1입구(12)를 개방한다.

그리고, 제1압력센서(210)가 제1입구(12)에 제1밸브판(20)이 밀착될 때 압력을 측정하여 그 신호를 컨트롤러로 인가하면 컨트롤러는 제1압력센서(210)로부터 인가되는 신호와 기준값을 비교하여 제1실린더 유닛(70)에 공기의 압력을 조절한다.

제2실린더 유닛(80)은 도 4에 도시된 바와 같이, 지지패널(60)의 타측면에 고정되고 내부에 공기압이 제공되는 공간부(84,86)가 형성되는 제2실린더 바디(82)와, 이 제2실린더 바디(82)의 공간부에 직선 이동 가능하게 배치되고 공간부를 제3공간부(84)와 제4공간부(86)로 구획하고 제1밸브판(30)에 고정되는 제2이동부재(85)를 포함한다.

제2실린더 바디(82)에는 제2이동부재(85)가 인출되는 인출홀(83)이 형성되고, 제1공간부(84)와 연결되는 제4라인(32)과, 제2공간부(86)와 연결되는 제5라인(34)이 형성된다. 그리고, 지지패널(60)에는 제4라인(32)과 연통되는 제6라인(36)이 형성된다. 그러나, 제1공간부(84)는 제5라인(34)과 연결되고, 제2공간부(86)는 제4라인(32) 및 제6라인(36)과 연결되도록 구성될 수 있다.

이러한 제2실린더 유닛(80)은 지지패널(60)에 하나 또는 하나 이상으로 설치되고, 복수로 설치될 경우 복수의 제2이동부재(85)가 제2밸브판(30)에 일정 간격을 두고 고정된다.

그리고, 제2밸브판(30)과 하우징(10)의 내면 중 어느 하나에는 제2압력센서(220)가 설치되어 제2밸브판(30)이 밀착되는 압력을 측정한다.

이와 같은 제2실린더 유닛(80)은 제2구동유닛(50)에 의하여 동작한다. 그러나 제2구동유닛(50)은 생략될 수 있으며, 이 경우 제1구동유닛(40)에 의해 동작될 수 있다. 제2실린더 유닛(80)의 나머지 동작은 위에서 설명한 제1실린더 유닛(70)의 작용과 실질적으로 동일하므로 그 설명을 생략한다.

구동유닛(40,50)은 지지패널(60)의 일측에 연결되어 지지패널(60)을 승강시킴과 아울러 제1실린더 유닛(70)에 공압을 제공하는 제1구동유닛(40)과, 지지패널(60)의 타측에 연결되어 지지패널(60)을 승강시킴과 아울러 제2실린더 유닛(80)에 공압을 제공하는 제2구동유닛(50)을 포함한다.

제1구동유닛(40)은 도 3과 도 6에 도시된 바와 같이, 내부에 공압이 제공되는 바디(110)와, 이 바디(110) 내에서 이동 가능하게 배치되어 바디 내부를 제1챔버(112a)와 제2챔버(114a)로 구획하는 피스톤(120)과, 이 피스톤(120)과 연결되고 바디(110)에서 인출되어 지지패널(60)에 고정되고 그 내부에 제1라인(92)과 연결되는 제1통로(132)와 제2라인(94)과 연결되는 제2통로(134)가 형성되는 피스톤 로드(130)와, 이 피스톤 로드(130)의 내부에 직선 이동 가능하게 배치되며 제1통로(132)와 연통되는 제3통로(142)와, 제2통로(134)와 연통되는 제4통로(144)가 형성되는 파이프(140)를 포함한다.

바디(110)는 일측에 상부캡(112)이 형성되고, 타측에 하부캡(114)이 형성된다. 상부캡(112)에는 피스톤 로드(130)가 직선 이동 가능하게 인출되는 인출홀(116)이 형성되고, 상부캡(112)의 일측에는 제2챔버(114a)로 공기를 공급하거나 제2챔버(114a) 내의 공기가 배출되는 제1공기 출입구(150)가 형성된다.

그리고, 하부캡(114)에는 파이프(140)가 외부로 인출되게 고정되고, 제1챔버(112a)로 공기를 공급하거나 제1챔버(112a) 내의 공기가 배출되는 제2공기 출입구(152)가 형성된다.

제1공기 출입구(150)와 제2공기 출입구(152)는 공기압을 발생시키는 컴프레셔 등과 제1호스(154)와 제2호스(156)로 각각 연결된다.

피스톤(120)은 도 7에 도시된 바와 같이, 바디(110) 내부에 직선 이동가능하게 배치되고, 그 외주면에는 실링부재(122)가 장착되어 바디(110)의 내면에 밀착된다. 그리고, 피스톤(120)의 중앙에는 관통홀(124)이 형성되어 파이프(140)가 통과한다. 이때, 관통홀(124)의 내면에는 실링부재(126)가 장착되어 파이프(140)의 외주면에 밀착된다.

도 8에서, 피스톤 로드(130)는 제1통로(132)를 형성하는 제1로드(136)와, 이 제1로드(136)의 외면에 일정 간격을 두고 배치되어 제2통로(134)를 형성하는 제2로드(138)으로 구성된다. 여기에서, 제1로드(136)와 제2로드(138) 사이의 공간이 제2통로(134)가 되고, 제1로드(136)의 내부가 제1통로(132)가 된다.

도 3 내지 도 8을 참고하면, 제1로드(136)와 제2로드(138) 사이에는 제2통로(134)의 밀봉을 위한 실링부재(160)가 설치된다. 제2로드(138)의 상측에는 제2라인(94)과 제2통로(134) 사이를 연통시키는 제1구멍(162)이 형성되고, 제1통로(132)는 그 상측이 제3라인(96)과 연통된다.

파이프(140)는 그 내부에 제3통로(142)를 형성하는 제1파이프(146)와, 이 제1파이프(146)의 외주면에 일정 간격을 두고 배치되어 제4통로(144)를 형성하는 제2파이프(148)로 구성된다.

제3통로(142)는 제1통로(132)와 연통된다. 그리고, 도 7에 도시된 바와 같이 제2파이프(148)의 상측에는 제3구멍(166)이 형성되고 제1로드(136)의 하측에는 제2구멍(164)이 형성되며 제3구멍(166)과 제2구멍(164)은 선택적으로 연통된다. 즉, 피스톤 로드(130)가 최대로 인출된 상태로 되면 제2구멍(164)과 제3구멍(166)이 서로 연통된다.

도 6, 도 8 내지 도 9를 참고하면, 제1파이프(146)는 제3호스(170)와 연결되어 외부로부터 공기가 공급되고, 제2파이프(148)는 제4호스(172)와 연결되어 외부로부터 공기가 공급된다.

제2구동유닛(50)은 위에서 설명한 제1구동유닛(40)의 구성과 동일하고, 다만 제4라인(32)은 제1통로(132)와 연통되어 공기가 출입되고, 제5라인(34)은 제2통로(134)와 연통되어 공기가 출입된다.

이와 같이, 구성되는 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 차단장치의 작용을 다음에서 설명한다.

먼저, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 제1밸브판(20)과 제2밸브판(30)이 수납공간(16)의 하측에 위치되면 제1입구(12)와 제2입구(14)가 개방된다.

이러한 상태에서, 제1입구(12)와 제2입구(14)를 닫고자 할 경우에는 도 8에 도시된 바와 같이, 제1구동유닛(40)과 제2구동유닛(50)이 작동되어 제1밸브판(20)과 제2밸브판(30)이 상측방향으로 이동되어 제1밸브판(20)은 제1입구(12)와 마주보게 배치되고 제2밸브판(30)은 제2입구(14)와 마주보게 배치된다.

자세히 설명하면, 제1구동유닛(40)의 제1챔버(112a)로 공기가 공급되면 피스톤(120)이 공기 압력에 의해 상승되고, 이에 따라 피스톤 로드(130)가 바디(110)에서 인출된다. 그러면 피스톤 로드(130)의 끝부분에 장착된 지지패널(60)이 직선 이동되고, 이 지지패널(60)의 양측면에 각각 고정된 제1밸브판(20)과 제2밸브판(30)이 상승되어 제1입구(12)와 제2입구(14)에 마주보게 배치된다.

이러한 상태에서, 제1입구(12)와 제2입구(14)는 선택적으로 닫힐 수 있다. 즉, 제1구동유닛(40)으로 공기가 공급되면 제1실린더 유닛(70)이 구동되어 제1밸브판(20)이 제1입구(12)를 닫아주고, 제2구동유닛(50)으로 공기가 공급되면 제2실린더 유닛(80)이 구동되어 제2밸브판(30)이 제2입구(14)를 닫아준다.

제1밸브판(20)이 제1입구(12)를 닫아주는 과정을 자세히 살펴보면, 도 3 내지 도 9에 도시된 바와 같이, 외부의 공기가 제1파이프(146)의 제3통로(142)로 공기가 공급된다. 그러면 제3통로(142)와 연통된 제1피스톤 로드(136)의 제1통로(132)로 공기가 유입되고, 제1통로(132)와 연통된 제1실린더 바디(72)의 제1라인(92)을 통해 제1공간부(74)로 공기가 공급된다. 그러면 제1이동부재(75)가 전진되고, 제1이동부재(75)에 고정된 제1밸브판(20)이 전진되면서 제1입구(12)에 밀착된다.

이때, 제2공간부(76)에 채워져 있던 공기는 제1실린더 바디(72)의 제2라인(94), 제2로드(138)의 제2통로(134) 및 제2파이프(148)의 제4통로(144)를 통해 외부로 배출된다.

그리고, 제1밸브판(20)이 제1입구(12)에 밀착될 때 제1압력센서(210)가 제1밸브판(20)이 제1입구(12)에 밀착되는 압력을 측정하여 그 신호를 컨트롤러로 인가한다. 그러면 컨트롤러는 제1압력센서(210)로부터 인가되는 신호와 설정값을 비교하여 제2실린더 유닛(80)에 제공되는 공기의 압력을 제어한다.

따라서, 제1밸브판(20)이 적정압력으로 제1입구(12)에 밀착되기 때문에 제1밸브판(20)의 파손 및 손상을 최소화할 수 있게 된다.

그리고, 제2밸브판(30)은 제2실린더 유닛(80)으로 공압이 제공되면 제2입구(14)를 닫아준다. 여기에서, 제2실린더 유닛(80)의 작동과 제2실린더 유닛(80)으로 공압을 제공하는 제2구동유닛(50)의 작동이 위에서 설명한 제1밸브판(20)의 구동과 동일하므로 그 설명을 생략한다.

이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만, 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고, 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.

10: 하우징 12: 제1입구
14: 제2입구 16: 수납공간
20: 제1밸브판 30: 제2밸브판
40: 제1구동유닛 50: 제2구동유닛
60: 지지패널 70: 제1실린더 유닛
72: 제1실린더 바디 74: 제1공간부
75: 제1이동부재 76: 제2공간부
110: 바디 120: 피스톤
130: 피스톤 로드 140: 파이프
132: 제1통로 134: 제2통로
142: 제3통로 144: 제4통로

Claims

일측에 제1입구가 형성되고, 타측에 제2입구가 형성되는 하우징,
상기 하우징 내부에 배치되어, 상기 제1입구를 개폐하는 제1밸브판 및 상기 제2입구를 개폐하는 제2밸브판,
상기 하우징 내부에 배치되는 지지패널,
상기 지지패널의 일측면에 설치되어 제1밸브판을 수평 이동시키는 제1실린더 유닛,
상기 지지패널의 타측에 설치되어 제2밸브판을 수평 이동시키는 제2실린더 유닛, 그리고
상기 지지패널에 연결되어 제1밸브판과 제2밸브판을 승강시키는 구동유닛을 포함하고,

상기 제1실린더 유닛은
상기 지지패널의 일측면에 고정되는 제1실린더 바디 및
상기 제1실린더 바디의 내부에 직선 이동 가능하게 배치되어 상기 제1실린더 내부를 제1공간부와 제2공간부로 구획하고 상기 제1밸브판과 연결되는 제1이동부재를 포함하는 진공 차단장치.
제1항에서,
상기 구동유닛은 상기 제1실린더 유닛에 공압 또는 유입이 제공하는 제1구동유닛, 그리고
상기 제2실린더 유닛에 공압 또는 유압이 제공하는 제2구동유닛을 포함하는 진공 차단장치.
제1항에서,
상기 하우징은 그 내부에 상기 제1밸브판과 상기 제2밸브판이 상하 이동될 수 있는 수납공간이 구비되고, 상기 제1입구는 제1진공실의 입구이고, 상기 제2입구는 제2진공실의 입구인 진공 차단장치.
제1항에서,
상기 제1밸브판과 제2밸브판에는 제1입구와 제2입구에 밀착되는 실링부재가 장착되는 진공 차단장치.
삭제
제1항에서,
상기 제1실린더 바디에는 제1공간부로 공기가 출입되는 제1라인과, 제2공간부로 공기가 출입되는 제2라인이 형성되는 진공 차단장치.
제6항에서,
상기 제2실린더 유닛은 상기 지지패널의 타측면에 고정되는 제2실린더 바디, 상기 제2실린더 바디의 내부에 직선 이동 가능하게 배치되어 상기 제2실린더 내부를 제3공간부와 제4공간부로 구획하고 상기 제2밸브판과 연결되는 제2이동부재를 포함하는 진공 차단장치.
제7항에서,
상기 제2실린더 바디에는 제3공간부로 공기가 출입되는 제3라인과, 제4공간부로 공기가 출입되는 제4라인이 형성되는 진공 차단장치.
제1항에서,
상기 구동유닛은
내부에 공압이 제공되는 공간을 갖는 바디,
상기 바디 내부의 공간에 이동 가능하게 배치되고, 상기 공간을 제1챔버와 제2챔버로 구획하는 피스톤,
상기 피스톤과 연결되고 상기 바디에서 인출되어 상기 지지패널에 고정되고, 그 내부에 제1공간부와 연통되는 제1통로와, 제2공간부와 연통되는 제2통로가 형성되는 피스톤 로드, 그리고
상기 피스톤 로드의 내부에 배치되며 상기 제1통로와 연통되는 제3통로와, 상기 제2통로와 연통될 수 있는 제4통로가 형성되는 파이프를 포함하는 진공 차단장치.
제9항에서,
상기 바디는 그 일측에 상부캡이 형성되고, 타측에 하부캡이 형성되며, 상기 상부캡에는 상기 제2챔버로 공기가 출입하는 제1공기 출입구가 형성되고, 상기 하부캡에는 상기 제1챔버로 공기가 출입하는 제2공기 출입구가 형성되는 진공 차단장치.
제9항에서,
상기 피스톤 로드는 그 내부에 상기 제1통로를 형성하는 제1로드, 그리고 상기 제1로드의 외면에 일정 간격을 두고 배치되어 제2통로를 형성하는 제2로드를 포함하는 진공 차단장치.
제9항에서,
상기 파이프는, 그 내부에 제3통로를 형성하는 제1파이프와, 그리고 상기 제1파이프의 외주면에 일정 간격을 두고 배치되어 제4통로를 형성하는 제2파이프를 포함하는 진공 차단장치.
제12항에서,
상기 피스톤 로드는 그 내부에 상기 제1통로를 형성하는 제1로드, 그리고 상기 제1로드의 외면에 일정 간격을 두고 배치되어 제2통로를 형성하는 제2로드를 포함하고,
상기 제1로드의 하단에는 제2구멍이 형성되고, 상기 제2파이프의 상단에는 제3구멍이 형성되며, 상기 피스톤 로드가 상기 바디에서 인출되면 상기 제2구멍과 제3구멍이 서로 연통되는 진공 차단장치.
제1항에서,
상기 제1밸브판과 상기 하우징의 내면 중 어느 하나에는 제1밸브판이 제1입구에 밀착될 때 압력을 측정하는 제1압력센서가 설치되고, 상기 제2밸브판과 상기 하우징의 내면 중 어느 하나에는 제2밸브판이 제2입구에 밀착될 때 압력을 측정하는 제2압력센서가 설치되는 진공 차단장치.
제1항에서,
상기 지지패널의 길이 방향을 따라 배치되어 있는 유체 라인을 더 포함하고,
상기 제1 실린더 유닛과 상기 제2 실린더 유닛은 각각 상기 유체 라인에 연결되어 있으며, 상기 제1밸브판 및 상기 제2밸브판은 상기 유체 라인에서 공급되는 유체 압력에 의해 움직이는 진공 차단장치.
제1항 내지 제4항 그리고 제6항 내지 제15항 중 어느 한 항에 정의된 진공 차단장치를 포함하는 영상표시장치 제조설비.