KR101232902B1 - 챔버용 실링장치, 이를 이용한 기판 합착장치 및 기판 처리장치 - Google Patents

챔버용 실링장치, 이를 이용한 기판 합착장치 및 기판 처리장치 Download PDF

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Abstract

챔버의 기밀을 유지시키는 벨로우즈로부터 파티클이 발생되는 것을 방지하여 챔버의 내부로 파티클이 혼입되는 것이 방지되므로 챔버 내부의 청정도를 유지하여 챔버의 내부에서 처리되는 기판의 품질을 향상시킬 수 있는 챔버용 실링장치, 이를 이용한 기판 합착장치 및 기판 처리장치
본 발명에 따른 챔버용 실링장치는 챔버의 외측벽에 결합되어 상기 챔버를 관통하는 축의 둘레를 감싸는 벨로우즈와, 상기 챔버의 외부에 배치되고 상기 챔버로부터 이격되어 상기 벨로우즈를 지지하는 지지판과, 상기 벨로우즈의 내주면에 결합되어 상기 축에 구속되어 상기 축의 길이방향으로 신축되는 상기 벨로우즈를 선형으로 안내하는 가이드를 포함한다.

Description

챔버용 실링장치, 이를 이용한 기판 합착장치 및 기판 처리장치{Sealing apparatus, joining apparatus and processing apparatus for substrate using the same}
본 발명은 챔버용 실링장치, 이를 이용한 기판 합착장치 및 기판 처리장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 축 또는 관이 관통되는 챔버의 기밀을 유지시키는 챔버용 실링장치, 이를 이용한 기판 합착장치 및 기판 처리장치에 관한 것이다.
LCD(Lipuid Crystal Display Device)는 전극이 형성되어 있는 TFT(Thin Film Transistor) 기판과 형광체가 도포된 CF(Color filter) 기판 사이에 액정(Liquid Crystal)을 주입하여 형성된다.
따라서 LCD를 제조함에 있어서, TFT기판 및 CF 기판을 각각 제조한 후에 두 기판을 합착하고 그 사이의 공간에 액정 물질을 주입하는 공정이 필수적으로 필요하며 이 중 두 기판을 합착시키는 공정은 LCD의 품질을 결정하는 중요한 공정 중에 하나이다.
한편, 두 기판을 합착하는 데 사용하는 기판 합착장치는 상, 하로 분리되는 상, 하부챔버와, 상부챔버를 승강시켜 상, 하부챔버의 내부가 개폐되도록 하는 챔버승강기를 포함한다.
이러한, 기판 합착장치는 상, 하부챔버의 내부를 청정하게 유지하고, 두 기판의 원활한 합착을 위하여, 합착공정 중에 챔버 내부를 진공분위기로 유지한다. 따라서, 상부챔버 및/또는 하부챔버에는 진공펌프에 연결되는 배기관이 연결된다. 또한, 기판 합착장치는 상, 하부챔버의 내부로 반입되는 두 기판을 각각 지지하고, 두 기판이 상, 하부챔버에 각각 지지되도록 두 기판을 각각 승강시키는 다수의 리프트핀을 포함한다.
이와 같이, 기판 합착장치에는 챔버 내부의 진공형성을 위한 배기관, 두 기판을 상, 하부챔버로 이송 위해 두 기판을 각각 승강시키는 다수개의 리프트핀이 설치된다. 이에 따라, 상, 하부챔버에는 수많은 관통홀들이 형성되며, 이 관통홀로부터 상, 하부챔버의 기밀이 누출되는 것을 방지하기 위하여 각 관통홀들의 외측에는 벨로우즈를 설치한다. 이때, 벨로우즈를 단독으로 사용하게 되면, 벨로우즈의 특성상, 챔버의 승강, 또는 리프트핀의 승강에 따라 벨로즈의 직진성을 보정하기 어려워 벨로우즈의 주위에 가이드링크를 설치한다.
하지만, 챔버의 승강에 따라, 또는 리프트핀의 승강에 따라 벨로우즈가 함께 신축되는 과정에서 벨로우즈의 외주면이 가이드링크들에 접촉되거나, 수많은 링크절로의 구동에 따라 벨로우즈와 가이드링크로부터 파티클이 발생된다.
이렇게 발생되는 파티클은 상, 하부챔버의 사이로 혼입되어 합착공정 중에 두 기판의 사이에 혼입될 수 있다. 이러한 파티클은 합착된 기판의 제품의 품질을 저하시키는 문제점으로 작용한다.
본 발명의 목적은 챔버의 기밀을 유지시키는 벨로우즈로부터 파티클이 발생되지 않도록 한 챔버용 실링장치, 이를 이용한 기판 합착장치 및 기판 처리장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명에 따른 챔버용 실링장치는 챔버의 외측벽에 결합되어 상기 챔버를 관통하는 축의 둘레를 감싸는 벨로우즈와, 상기 챔버의 외부에 배치되고 상기 챔버로부터 이격되어 상기 벨로우즈를 지지하는 지지판과, 상기 벨로우즈의 내주면에 결합되어 상기 축에 구속되어 상기 축의 길이방향으로 신축되는 상기 벨로우즈를 선형으로 안내하는 가이드를 포함한다.
상기 가이드는 상기 벨로우즈의 내주면에 결합되고 상기 축의 외주면을 감싸는 링(ring)일 수 있다.
상기 챔버용 실링장치는 상기 벨로우즈의 일단에 결합되어 상기 지지판에 결합되는 제 1결합판과, 상기 벨로우즈의 타단에 결합되어 상기 챔버에 결합되는 제 2결합판과, 상기 지지판과 상기 제 1결합판의 사이에 설치되는 제 1오링과, 상기 챔버와 상기 제 2결합판의 사이에 설치되는 제 2오링을 더 포함할 수 있다.
한편, 본 발명에 따른 기판 합착장치는 제 1기판을 지지하는 제 1챔버와, 상기 제 1기판에 대향되게 제 2기판을 지지하는 제 2챔버와, 상기 제 2챔버를 지지하며, 상기 제 2챔버를 상기 제 1챔버에 대해 승강시켜 상기 제 1챔버와 상기 제 2챔버의 사이를 개폐시키는 챔버승강기와, 상기 제 1챔버 또는 상기 제 2챔버의 외측벽에 결합되어 상기 제 1챔버 또는 상기 제 2챔버를 관통하는 축의 둘레를 감싸는 벨로우즈와, 상기 제 1챔버 또는 상기 제 2챔버의 외부에 배치되고 상기 제 1챔버 또는 상기 제 2챔버로부터 이격되어 상기 벨로우즈를 지지하는 지지판과, 상기 벨로우즈의 내주면에 결합되어 상기 축에 구속되어 상기 축의 길이방향으로 신축되는 상기 벨로우즈를 선형으로 안내하는 가이드를 포함한다.
상기 가이드는 상기 벨로우즈의 내주면에 결합되고 상기 축의 외주면을 감싸는 링일 수 있다.
상기 기판 합착장치는 상기 벨로우즈의 일단에 결합되어 상기 지지판에 결합되는 제 1결합판과, 상기 벨로우즈의 타단에 결합되어 상기 제 1 챔버 또는 제 2챔버에 결합되는 제 2결합판과, 상기 지지판과 상기 제 1결합판의 사이에 설치되는 제 1오링과, 상기 제 1챔버 또는 상기 제 2챔버와 상기 제 2결합판의 사이에 설치되는 제 2오링을 더 포함할 수 있다.
상기 축은 상기 제 1챔버 또는 상기 제 2챔버를 관통하여 상기 제 2챔버와 상기 제 2챔버의 사이를 진공배기시키는 데 사용되는 진공형성용 배기관일 수 있다.
상기 축은 상기 제 1챔버 또는 상기 제 2챔버를 관통하여 상기 제 1챔버 또는 상기 제 2챔버로 반입되는 상기 제 1기판 또는 상기 제 2기판을 지지하는 리프트핀일 수 있다.
상기 기판 합착장치는 상기 제 1챔버 또는 상기 제 2챔버의 외측에 배치되어 상기 지지판을 지지하고 상기 지지판을 승강시키는 핀승강기를 더 포함하며, 상기 리프트핀은 상기 지지판에 지지되어 상기 지지판과 함께 승강될 수 있다.
상기 제 1챔버는 하부챔버이고 상기 제 2 챔버는 상부챔버이며, 상기 제 2기판은 상부기판일 수 있다.
상기 제 2챔버를 관통하는 상기 리프트핀은 관(管) 형태로 마련되며, 상기 지지판에는 상기 리프트핀에 연통되는 진공흡착용 배기관이 결합될 수 있다.
한편, 본 발명에 따른 기판 처리장치는 내부에 기판을 지지하는 챔버와, 챔버의 외측벽에 결합되어 상기 챔버를 관통하는 축의 둘레를 감싸는 벨로우즈와, 상기 챔버의 외부에 배치되고 상기 챔버로부터 이격되어 상기 벨로우즈를 지지하는 지지판과, 상기 벨로우즈의 내주면에 결합되어 상기 축에 구속되어 상기 축의 길이방향으로 신축되는 상기 벨로우즈를 선형으로 안내하는 가이드를 포함할 수 있다.
상기 가이드는 상기 벨로우즈의 내주면에 결합되고 상기 의 외주면을 감싸는 링일 수 있다.
상기 기판 처리장치는 상기 벨로우즈의 일단에 결합되어 상기 지지판에 결합되는 제 1결합판과, 상기 벨로우즈의 타단에 결합되어 상기 챔버에 결합되는 제 2결합판과, 상기 지지판과 상기 제 1결합판의 사이에 설치되는 제 1오링과, 상기 챔버와 상기 제 2결합판의 사이에 설치되는 제 2오링을 더 포함할 수 있다.
상기 축은 상기 챔버를 관통하여 상기 제 2챔버와 상기 제 2챔버의 사이를 진공배기시키는 데 사용되는 진공형성용 배기관일 수 있다.
상기 축은 상기 챔버를 관통하여 상기 챔버로 반입되는 상기 기판을 지지하는 리프트핀일 수 있다.
상기 기판 처리장치는 상기 챔버의 외측에 배치되어 상기 지지판을 지지하고 상기 지지판을 승강시키는 핀승강기를 더 포함하며, 상기 리프트핀은 상기 지지판에 지지되어 상기 지지판과 함께 승강될 수 있다.
상기 리프트핀은 관(管) 형태로 마련되어 상기 챔버의 상부벽을 관통하며, 상기 지지판에는 상기 리프트핀에 연통되는 진공흡착용 배기관이 결합될 수 있다.
본 발명에 따른 챔버용 실링장치, 이를 이용한 기판 합착장치 및 기판 처리장치는 챔버의 기밀을 유지시키는 벨로우즈로부터 파티클이 발생되는 것을 방지하여 챔버의 내부로 파티클이 혼입되는 것이 방지되므로 챔버 내부의 청정도를 유지하여 챔버의 내부에서 처리되는 기판의 품질을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 실시예에 따른 기판 합착장치를 나타낸 단면도이다.
도 2는 도 1에 표기된 "I"부를 확대 도시한 확대 단면도이다.
도 3은 본 실시에에 따른 기판 합착장치의 두 챔버의 내부로 두 기판이 반입된 상태를 나타낸 단면도이다.
도 4는 본 실시에에 따른 기판 합착장치에서 두 기판이 각 챔버를 향해 승강된 상태를 나타내는 단면도이다.
도 5는 본 실시에에 따른 기판 합착장치에서 두 기판이 합착되는 상태를 타나내는 도면이다.
이하, 본 실시예에 따른 챔버용 실링장치, 이를 이용한 기판 합착장치 및 기판 처리장치에 대해 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하도록 한다.
도 1은 본 실시예에 따른 기판 합착장치를 나타낸 단면도이다.
도 1을 참조하면, 본 실시예에 따른 기판 합착장치는 서로 대향되어 배치되는 제 1챔버(110)와 제 2챔버(120)를 포함한다.
제 2챔버(120)는 제 1챔버(110)의 주변부에 배치되는 챔버승강기(130)에 의해 지지된다. 챔버승강기(130)는 제 1챔버(110)에 대해 제 2챔버(120)를 승강시킨다. 도 1에서, 챔버승강기(130)는 스크류와 회전모터의 조합으로 이루어지는 것으로 도시되고 있다. 도시되지 않았지만, 다른 실시예로 챔버승강기(130)는 랙 앤 피니언의 조합, 유압/공압 실린더 중 어느 하나로 변경 실시될 수 있다.
제 1챔버(110)와 제 2챔버(120)는 제2 챔버(120)의 승강에 따라 개폐되는 공간을 형성한다. 제 1챔버(110)와 제 2챔버(120)의 사이에는 밀폐된 공간의 기밀을 유지하기 위한 오링(O-ring)과 같은 기밀부재(140)가 배치된다.
제 1챔버(110)의 내측에는 제 1기판(11)을 지지하는 제 1정반(110a)이 배치되며, 제 2챔버(120)의 내측에는 제 2기판(12)을 지지하는 제 2정반(120a)이 배치된다. 도시되지 않았지만 제 1정반(110a) 및 제 2정반(120a)은 제 1기판(11)과 제 2기판(12)을 안정적으로 지지할 수 있는 기판 척이 설치될 수 있다. 기판 척으로는 진공척, 정전척, 점착척 중 어느 하나로 실시될 수 있다.
제 2챔버(120)에는 두 챔버(110, 120)의 사이에 형성되는 공간의 진공배기를 위한 진공형성용 배기관(121)이 설치된다. 진공형성용 배기관(121)은 도시되지 않은 진공펌프에 연결되며, 선단부가 제 2챔버(120)의 내부에 연통되도록 개방된다. 도 1에서는 진공형성용 배기관(121)이 제 2챔버(120)만 결합되는 것으로 도시하고 있지만, 진공배기의 효율을 향상시키기 위해 제 1챔버(110)에도 다른 진공형성용 배기관이 설치될 수 있다.
상술된 바와 같이, 진공형성용 배기관(121)이 제 2챔버(120)를 관통함에 따라 제 2챔버(120)의 외부에는 제 1벨로우즈(210)가 설치된다. 이때, 제 2챔버(120)의 외부에는 제 2챔버(120)가 승강하는 방향으로 제 2챔버(120)로부터 이격되는 제 1지지판(122)이 설치된다. 제 1지지판(122)은 승강 구동되는 제 2챔버(120)에 대한 고정된 위치를 가지고, 제 1벨로우즈(210)가 지지되도록 한다.
도 2는 도 1에 표기된 "I"부를 확대 도시한 확대 단면도이다.
도 2를 참조하면, 제 1벨로우즈(210)는 진공형성용 배기관(121)을 감싸고, 일단부가 제 2챔버(120)에 결합되며, 타단부가 제 1지지판(122)에 결합된다. 이에 따라, 제 1벨로우즈(210)는 제 2챔버(120)와 진공형성용 배기관(121)의 사이로 제 1챔버(110)와 제 2챔버(120)의 기밀이 누출되는 것을 방지한다.
그리고 제 1벨로우즈(210)는 제 2챔버(120)의 승강에 따라 선형 신축된다. 이때, 제 1벨로우즈(210)의 내부에는 진공형성용 배기관(121)에 구속되어 제 1벨로우즈(210)의 선형 신축을 가이드하는 제 1가이드(211)가 설치된다. 제 1가이드(211)는 진공형성용 배기관(121)의 외경보다 큰 내경을 가지고, 제 1벨로우즈(210)의 내주면에 결합되는 링(ring) 형태로 마련될 수 있다.
이때, 제 1벨로우즈(210)의 일단에는 제 1결합판(212)이 결합되며, 제 1결합판(212)과 제 2챔버(120)의 사이에는 제 1오링(213)이 설치된다. 또한, 제 1벨로우즈(210)의 타단에는 제 2결합판(214)이 결합되며, 제 2결합판(214)과 제 1지지판(122)의 사이에는 제 2오링(215)이 설치된다. 제 1오링(213)과 제 2오링(215)은 제 1벨로우즈(210)와 제 2챔버(120)의 사이, 제 1벨로우즈(210)와 제 1지지판(122)의 사이로 기밀이 누설되는 것을 방지한다.
한편, 제 1지지판(122)에는 진공형성용 배기관(121)과 연통되는 연통홀(122a)이 형성된다. 이 연통홀(122a)에는 진공펌프(미도시)로부터 인출되는 다른 진공형성용 배기관이 결합되어 진공형성용 배기관(121)을 통해 제 1챔버(110)와 제 2챔버(120)의 내부의 진공배기가 가능하게 한다.
다시 도 1을 참조하면, 본 실시예에 따른 기판 합착장치(100)는 제 1챔버(110)와 제 2챔버(120)의 사이로 반입되는 제 1기판(11)과 제 2기판(12)을 각각 제 1정반(110a)과 제 2정반(120a)으로 이송하는 제 1리프트핀(151)과 제 2리프트핀(152)을 포함한다. 제 1리프트핀(151)은 제 1챔버(110)와 제 1정반(110a)을 관통하며, 제 2리프트핀(152)은 제 2챔버(120)와 제 2정반(120a)을 관통하여 제 1챔버(110)와 제 2챔버(120)의 외부로 연장된다. 제 1리프트핀(151)과 제 2리프트핀(152)은 제 1챔버(110)의 외부에 설치되는 제 2지지판(153)과 제 3지지판(154)에 각각 결합되고, 제 2지지판(153)과 제 3지지판(154)을 각각 승강시키는 제 1핀승강기(155)와 제 2핀승강기(156)에 의해 승강된다. 제 1리프트핀(151)과 제 2리프트핀(152)은 제 1기판(11)과 제 2기판(12)을 각각 진공 흡착할 수 있도록, 관 형태로 마련되며, 도시되지 않은 진공펌프에 연결되는 진공흡착용 배기관(150)에 각각 연통된다.
제 1리프트핀(151)과 제 2리프트핀(152)이 각각 제 1챔버(110)와 제 2챔버(120)를 관통함에 따라, 제 1챔버(110)와 제 1지지판(122)의 사이, 제 2챔버(120)와 제 2지지판(153)의 사이에는 제 1챔버(110)와 제 2챔버(120)의 사이의 기밀이 누출되는 것을 방지하는 제 2벨로우즈(220)와 제 3벨로우즈(230)가 설치된다.
여기서, 제 2벨로우즈(220)와 제 3벨로우즈(230)는 결합되는 대상에서 차이과 그 내부를 관통하는 대상에서 차이를 가질뿐, 도 2를 참조하여 상술된 제 1벨로우즈(210)와 유사하게 구성된다.
즉, 제 1벨로우즈(210)는 제 1지지판(122)과 제 2챔버(120)에 결합되고, 그 내부에 진공형성용 배기관(121)이 관통된다. 제 2벨로우즈(220)는 제 2지지판(153)과 제 1챔버(110)에 결합되고, 그 내부에 제 1리프트핀(151)이 관통된다. 제 3벨로우즈(230)는 제 3지지판(154)과 제 2챔버(120)에 결합되고, 그 내부에 제 2리프트핀(152)이 관통된다.
이때, 제 2벨로우즈(220)의 내주면에는 제 2가이드(221)가 결합되며, 제 2가이드(221)는 제 1리프트핀(151)에 구속되어 제 2벨로우즈(220)의 선형 신축을 가이드한다. 제 3벨로우즈(230)의 내주면에는 제 3가이드(231)가 결합되며, 제 3가이드(231)는 제 2리프트핀(152)에 구속되어 제 3벨로우즈(230)의 선형 신축을 가이드한다.
이하, 본 실시예에 따른 기판 합착장치의 작동에 대해 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하도록 한다.
도 3은 본 실시에에 따른 기판 합착장치의 두 챔버의 내부로 두 기판이 반입된 상태를 나타낸 단면도이다.
도 3을 참조하면, 제 2챔버(120)는 챔버승강기(130)에 의해 제 1챔버(110)로부터 이격된다.
이어, 제 1기판(11)과 제 2기판(12)은 도시되지 않은 이송로봇에 의해 제 1챔버(110)와 제 2챔버(120)의 사이로 반입된다. 도 3에서, 제 1기판(11)과 제 2기판(12)이 제 1챔버(110)와 제 2챔버(120)의 사이로 함께 반입되는 것으로 도시하고 있으나, 다른 실시예로, 제 1기판(11)과 제 2기판(12) 중 어느 하나가 먼저 반입된 후, 나머지 하나가 반입될 수 있다.
도 4는 본 실시에에 따른 기판 합착장치에서 두 기판이 각 챔버를 향해 승강된 상태를 나타내는 단면도이다.
도 4를 참조하면, 제 1핀승강기(155)는 제 2지지판(153)을 상승시킨다. 제 1리프트핀(151)은 제 2지지판(153)과 함께 상승되어 제 1기판(11)을 지지한다. 이와 함께, 제 2벨로우즈(220)는 제 2지지판(153)의 상승에 따라 압축된다. 이때, 제 2가이드(221)는 제 2벨로우즈(220)의 선형 압축을 가이드한다.
한편, 제 2핀승강기(156)는 제 3지지판(154)을 하강시킨다. 제 2리프트핀(152)은 제 3지지판(154)과 함께 하강되어 제 2기판(12)에 접촉된다. 이때, 진공흡착용 배기관(150)을 통해 배기가 수행되며, 제 2기판(12)은 제 2리프트핀(152)에 진공흡착된다. 이와 함께, 제 3벨로우즈(230)는 제 3지지판(154)의 하강에 따라 압축된다. 이때, 제 3가이드(231)는 제 3벨로우즈(230)의 선형 압축을 가이드한다.
이어, 제 1핀승강기(155)는 제 2지지판(153)을 하강시킨다. 제 2리프트핀(152)은 제 2지지판(153)과 함께 하강된다. 제 1기판(11)은 제 1정반(110a)에 접촉되면서 제 2리프트핀(152)으로부터 이탈되며, 제 1정반(110a)은 제 1기판(11)을 지지한다. 이와 함께, 제 2벨로우즈(220)는 제 2지지판(153)의 하강에 따라 신장된다. 이때, 제 2가이드(221)는 제 2벨로우즈(220)의 선형 신장을 가이드한다.
한편, 제 2핀승강기(156)는 제 3지지판(154)을 상승시킨다. 제 2리프트핀(152)은 제 3지지판(154)과 함께 상승된다. 제 2기판(12)은 제 2정반(120a)에 접촉되면서 제 2리프트핀(152)으로부터 이탈되며, 제 2정반(120a)은 제 2기판(12)을 지지한다. 이때, 진공흡착용 배기관(150)을 통한 배기가 정지된다. 이와 함께, 제 3벨로우즈(230)는 제 3지지판(154)의 상승에 따라 신장된다. 이때, 제 3가이드(231)는 제 3벨로우즈(230)의 선형 신장을 가이드한다.
도 5는 본 실시에에 따른 기판 합착장치에서 두 기판이 합착되는 상태를 타나내는 도면이다.
도 5를 참조하면, 제 1기판(11)이 제 1정반(110a)에 지지되고, 제 2기판(12)이 제 2정반에 지지되는 상태에서, 챔버승강기(130)는 제 2챔버(120)를 하강시킨다. 제 1벨로우즈(210)는 제 2챔버(120)의 하강에 따라 신장된다. 이때, 제 1가이드(211)는 제 1벨로우즈(210)의 선형 신장을 가이드한다.
이와 같이 제 2챔버(120)가 하강되어 제 1챔버(110)와 제 2챔버(120)의 사이가 폐쇄되면, 진공형성용 배기관(121)을 통해 진공배기가 수행되며, 제 1챔버(110)와 제 2챔버(120)의 사이는 진공분위기가 형성된다.
한편, 제 2챔버(120)가 하강됨에 따라 제 1기판(11)과 제 2기판(12)은 수 um 이내로 서로 근접되며, 제 2기판(12)은 제 2정반(120a)으로부터 자유낙하되어 제 1기판(11)에 접촉된다.
이후, 서로 접촉된 두 기판(11, 12)으로 압력이 가해지면 두 기판(11, 12)은 합착된다. 합착된 두 기판(11, 12)을 압력하는 수단으로는 기계적인 압력수단과, 공압에 의한 수단 등이 이미 공지된 기술로 개시된 바 있으므로, 이에 대한 상세한 설명은 생략하도록 한다.
상술 한 바와 같이, 본 실시예에 따른 기판 합착장치(100)는 제 1챔버(110)와 제 2챔버(120)에 형성되는 관통홀들로부터 기밀이 누출되는 것을 방지하기 위해 제 1, 2, 3벨로우즈(210, 220, 230)를 포함하며, 제 1, 2, 3벨로우즈(210, 220, 230)의 선형 신축을 가이드하는 제 1, 2, 3가이드(211, 221, 231)가 제 1, 2, 3벨로우즈(210, 220, 230)의 내주면에 결합된다.
따라서, 본 실시예에 따른 기판 합착장치(100)는 제 1, 2, 3벨로우즈(210, 220, 230)의 신축 동작에 관련하여 파티클이 발생되는 것이 방지되면서, 제 1, 2, 3벨로우즈(210, 220, 230)의 선형 신축을 보정할 수 있다.
한편, 상술된 제 1, 2, 3벨로우즈(210, 220, 230) 및 제 1, 2, 3가이드(211, 221, 231)는 본 실시예에 따른 기판 합착장치(100) 이외의 다른 챔버에 채용되어 챔버의 기밀을 유지시키는 챔버용 실링장치로 사용될 수 있다.
또한, 상술된 제 1, 2, 3벨로우즈(210, 220, 230) 및 제 1, 2, 3가이드(211, 221, 231)는 본 실시예에 따른 기판 합착장치(100) 이외에, 기판에 소정의 처리를 가하는 기판 처리장치, 예를 들어 기판 증착장치, 기판 식각장치 등에 사용되어 기판 처리에 사용되는 챔버의 기밀을 유지시키는 기판 처리장치에 사용될 수 있다.
100 : 기판 합착장치 110 : 제 1챔버
120 : 제 2챔버 130 : 챔버승강기
121 : 진공형성용 배기관 122 : 제 1지지판
210 : 제 1벨로우즈 211 : 제 1가이드

Claims (18)

  1. 챔버의 외측벽에 결합되어 상기 챔버를 관통하는 축의 둘레를 감싸는 벨로우즈와,
    상기 챔버의 외부에 배치되고 상기 챔버로부터 이격되어 상기 벨로우즈를 지지하는 지지판과,
    상기 벨로우즈의 내주면에 결합되어 상기 축의 외주면을 감싸도록 설치되어 상기 축의 길이방향으로 신축되는 상기 벨로우즈를 선형으로 안내하는 가이드 링을 포함하는 것을 특징으로 하는 챔버용 실링장치.
  2. 삭제
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 벨로우즈의 일단에 결합되어 상기 지지판에 결합되는 제 1결합판과,
    상기 벨로우즈의 타단에 결합되어 상기 챔버에 결합되는 제 2결합판과,
    상기 지지판과 상기 제 1결합판의 사이에 설치되는 제 1오링과,
    상기 챔버와 상기 제 2결합판의 사이에 설치되는 제 2오링을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 챔버용 실링장치.
  4. 제 1기판을 지지하는 제 1챔버와,
    상기 제 1기판에 대향되게 제 2기판을 지지하는 제 2챔버와,
    상기 제 2챔버를 지지하며, 상기 제 2챔버를 상기 제 1챔버에 대해 승강시켜 상기 제 1챔버와 상기 제 2챔버의 사이를 개폐시키는 챔버승강기와,
    상기 제 1챔버 또는 상기 제 2챔버의 외측벽에 결합되어 상기 제 1챔버 또는 상기 제 2챔버를 관통하는 축의 둘레를 감싸는 벨로우즈와,
    상기 제 1챔버 또는 상기 제 2챔버의 외부에 배치되고 상기 제 1챔버 또는 상기 제 2챔버로부터 이격되어 상기 벨로우즈를 지지하는 지지판과,
    상기 벨로우즈의 내주면에 결합되어 상기 축에 구속되어 상기 축의 길이방향으로 신축되는 상기 벨로우즈를 선형으로 안내하는 가이드를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 합착장치.
  5. 제4 항에 있어서, 상기 가이드는
    상기 벨로우즈의 내주면에 결합되고 상기 축의 외주면을 감싸는 링(ring)인 것을 특징으로 하는 기판 합착장치.
  6. 제4 항에 있어서,
    상기 벨로우즈의 일단에 결합되어 상기 지지판에 결합되는 제 1결합판과,
    상기 벨로우즈의 타단에 결합되어 상기 제 1 챔버 또는 제 2챔버에 결합되는 제 2결합판과,
    상기 지지판과 상기 제 1결합판의 사이에 설치되는 제 1오링과,
    상기 제 1챔버 또는 상기 제 2챔버와 상기 제 2결합판의 사이에 설치되는 제 2오링을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 합착장치.
  7. 제 4항에 있어서, 상기 축은
    상기 제 1챔버 또는 상기 제 2챔버를 관통하여 상기 제 2챔버와 상기 제 2챔버의 사이를 진공배기시키는 데 사용되는 진공형성용 배기관인 것을 특징으로 하는 기판 합착장치.
  8. 제 4항에 있어서, 상기 축은
    상기 제 1챔버 또는 상기 제 2챔버를 관통하여 상기 제 1챔버 또는 상기 제 2챔버로 반입되는 상기 제 1기판 또는 상기 제 2기판을 지지하는 리프트핀인 것을 특징으로 하는 기판 합착장치.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 제 1챔버 또는 상기 제 2챔버의 외측에 배치되어 상기 지지판을 지지하고 상기 지지판을 승강시키는 핀승강기를 더 포함하며,
    상기 리프트핀은 상기 지지판에 지지되어 상기 지지판과 함께 승강되는 것을 특징으로 하는 기판 합착장치.
  10. 제9 항에 있어서, 상기 제 1챔버는 하부챔버이고, 상기 제 2 챔버는 상부챔버이며, 상기 제 2기판은 상부기판인 것을 특징으로 하는 기판 합착장치.
  11. 제10 항에 있어서,
    상기 제 2챔버를 관통하는 상기 리프트핀은 관(管) 형태로 마련되며,
    상기 지지판에는 상기 리프트핀에 연통되는 진공흡착용 배기관이 결합되는 것을 특징으로 하는 기판 합착장치.
  12. 내부에 기판을 지지하는 챔버와,
    챔버의 외측벽에 결합되어 상기 챔버를 관통하는 축의 둘레를 감싸는 벨로우즈와,
    상기 챔버의 외부에 배치되고 상기 챔버로부터 이격되어 상기 벨로우즈를 지지하는 지지판과,
    상기 벨로우즈의 내주면에 결합되어 상기 축의 외주면을 감싸도록 설치되어 상기 축의 길이방향으로 신축되는 상기 벨로우즈를 선형으로 안내하는 가이드 링을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
  13. 삭제
  14. 제12 항에 있어서,
    상기 벨로우즈의 일단에 결합되어 상기 지지판에 결합되는 제 1결합판과,
    상기 벨로우즈의 타단에 결합되어 상기 챔버에 결합되는 제 2결합판과,
    상기 지지판과 상기 제 1결합판의 사이에 설치되는 제 1오링과,
    상기 챔버와 상기 제 2결합판의 사이에 설치되는 제 2오링을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
  15. 제 12항에 있어서, 상기 축은
    상기 챔버를 관통하여 상기 제 2챔버와 상기 제 2챔버의 사이를 진공배기시키는 데 사용되는 진공형성용 배기관인 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
  16. 제 12항에 있어서, 상기 축은
    상기 챔버를 관통하여 상기 챔버로 반입되는 상기 기판을 지지하는 리프트핀인 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
  17. 제 16항에 있어서,
    상기 챔버의 외측에 배치되어 상기 지지판을 지지하고 상기 지지판을 승강시키는 핀승강기를 더 포함하며,
    상기 리프트핀은 상기 지지판에 지지되어 상기 지지판과 함께 승강되는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
  18. 제16 항에 있어서,
    상기 리프트핀은 관(管) 형태로 마련되어 상기 챔버의 상부벽을 관통하며,
    상기 지지판에는 상기 리프트핀에 연통되는 진공흡착용 배기관이 결합되는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
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