KR20030077081A

KR20030077081A - 합착 장치 및 이를 이용한 액정표시장치의 제조 방법

Info

Publication number: KR20030077081A
Application number: KR1020020015975A
Authority: KR
Inventors: 이상석; 박상호
Original assignee: 엘지.필립스 엘시디 주식회사
Priority date: 2002-03-25
Filing date: 2002-03-25
Publication date: 2003-10-01
Also published as: US6893311B2; CN1447165A; JP2004029734A; KR100685923B1; JP4187551B2; US7426951B2; US20030181124A1; US20050092419A1; CN1325982C

Abstract

본 발명은 대면적의 액정표시소자에 유리한 합착 장치 및 이를 이용한 액정표시소자의 제조 방법에 관한 것으로, 합착기 챔버 내에 각각 대향되어 구비되고, 반입된 기판을 각각 흡착하여 각 기판간 합착을 수행하는 상부 스테이지 및 하부 스테이지와, 상기 합착기 챔버 내부에 설치되어 제 2 기판을 받아주는 반침 수단과, 상기 하부 스테이지에 제 1 기판이 로딩될 때와 합착된 제 1, 제 2 기판이 하부 스테이지로부터 언로딩 될 때 기판을 리프팅하는 리프팅 수단과, 상기 합착기 챔버 내에 승강 및 회전하게 구비되고, 합착 완료된 기판을 고정하거나 혹은, 상부 스테이지에 고정되는 기판을 받쳐주는 공정 보조 수단을 구비한 합착 장치를 이용하여, 제 1 기판과 제 2 기판을 상기 각 스테이지에 로딩하는 공정과, 상기 받침수단을 구동하여 상부 스테이지에 로딩된 기판을 상기 받침 수단에 올려 놓고 상기 합착기 챔버를 진공시키는 공정과, 상기 받침 수단의 기판을 상부 스테이지가 흡착하여 상기 제 1, 제 2 기판을 합착하는 공정과, 상기 합착된 제 1, 제 2 기판을 상기 리프팅 수단을 이용하여 상기 하부 스테이지로부터 탈거시켜 언로딩하는 공정을 구비한 것이다.

Description

합착 장치 및 이를 이용한 액정표시장치의 제조 방법{bonding devise and method for manufacturing liquid crystal display device using the same}

본 발명은 액정표시장치의 제조 방법에 관한 것으로, 특히, 대면적의 액정표시소자에 유리한 합착 장치 및 이를 이용한 액정표시소자의 제조 방법에 관한 것이다.

정보화 사회가 발전함에 따라 표시장치에 대한 요구도 다양한 형태로 점증하고 있으며, 이에 부응하여 근래에는 LCD(Lipuid Crystal Display Device), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display)등 여러 가지 평판 표시 장치가 연구되어 왔고 일부는 이미 여러 장비에서 표시장치로 활용되고 있다.

그 중에, 현재 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 특징에 따른 장점으로 인하여 이동형 화상 표시장치의 용도로 CRT(Cathode Ray Tube)을 대체하면서 LCD가 가장 많이 사용되고 있으며, 노트북 컴퓨터의 모니터와 같은 이동형의 용도 이외에도 방송신호를 수신하여 디스플레이 하는 텔레비전 및 컴퓨터의 모니터 등으로 다양하게 개발되고 있다.

이와 같이 액정표시소자는 여러 분야에서 화면 표시장치로서의 역할을 하기 위해 여러 가지 기술적인 발전이 이루어 졌음에도 불구하고 화면 표시장치로서 화상의 품질을 높이는 작업은 상기 특징 및 장점과 배치되는 면이 많이 있다. 따라서, 액정표시소자가 일반적인 화면 표시장치로서 다양한 부분에 사용되기 위해서는 경량, 박형, 저 소비전력의 특징을 유지하면서도 고정세, 고휘도, 대면적 등 고 품위 화상을 얼마나 구현할 수 있는가에 발전의 관건이 걸려 있다고 할 수 있다.

상기와 같은 액정표시소자의 제조 방법으로는 한쪽의 기판상에 주입구가 형성되도록 밀봉제를 패턴 묘화하여 진공 중에서 기판을 접합한 후에 밀봉제의 주입구를 통해 액정을 주입하는 통상적인 액정 주입 방식과, 일본국 특개평510-089612 및 특개평 510-172903호 공보에서 제안된 액정을 적하한 기판과 다른 하나의 기판을 준비하고, 진공 중에서 상하의 기판을 근접시켜 접합하는 액정 적하 방식 등으로 크게 구분할 수 있다.

이 때, 상기한 각각의 방식 중 액정 적하 방식은 액정 주입 방식에 비해 많은 공정(예컨대, 액정 주입구의 형성, 액정의 주입, 액정 주입구의 밀봉 등을 위한 각각의 공정)을 단축하여 수행함에 따라 상기 추가되는 공정을 따른 각각의 장비를 더 필요로 하지 않는다는 장점을 가진다.

이에 최근에는 상기한 액정 적하 방식을 이용한 액정표시장치의 제조 방법의 연구가 이루어지고 있다.

도 1a 내지 도 1b는 종래의 액정 적하 방식 액정표시소자의 합착 장치를 개략적으로 나타낸 구성도이고, 도 2 은 종래 합착 장치를 구성하는 기판 받침 수단의 동작 상태를 개략적으로 나타낸 요부 사시도이다.

즉, 종래의 기판 조립장치는 외관을 이루는 프레임(10)과, 스테이지부(21,22)와, 밀봉제 토출부(도시는 생략함) 및 액정 적하부(30)와, 챔버부(31,32)와, 챔버 이동수단과, 받아멈춤 수단 그리고, 스테이지 이동수단으로 크게 구성된다.

이 때, 상기 스테이지부는 상부 스테이지(21)와 하부 스테이지(22)로 각각 구분되고, 상기 상부 스테이지(21)에는 기판을 정전흡착법으로 흡착하기 위한 정전척(28)이 형성되어 있다.

상기 밀봉제 토출부 및 액정 적하부(30)는 상기 프레임의 합착 공정이 이루어지는 위치의 측부에 장착된다.

상기 챔버부는 상부 챔버 유닛(31)과 하부 챔버 유닛(32)으로 각각 합체 가능하게 구분되고, 상기 상부 챔버 유닛(31)에는 상기 챔버부를 진공시키기 위한 진공밸브(23) 및 배관호스(24)가 연결되어 있으며, 진공 상태의 챔버부를 대기상태로 만들기 위한 가스 퍼지 밸브(70) 및 가스 튜브(71)가 연결되어 있다.

이와 함께, 상기 챔버 이동수단은 하부 챔버 유닛(32)를 상기 합착 공정이 이루어지는 위치 혹은, 밀봉제의 토출 및 액정의 적하가 이루어지는 위치에 선택적으로 이동시킬 수 있도록 구동하는 구동 모터(40)로 구성되며, 상기 스테이지 이동수단은 상기 상부 스테이지(21)를 선택적으로 상부 혹은, 하부로 이동시킬 수 있도록 구동하는 구동 모터(50)로 구성된다.

그리고, 상기 받아멈춤 수단은 상부 스테이지(21)에 부착 고정되는 기판(52)의 양 대각위치에서 상기 챔버부 내부의 진공시 상기 기판을 임시로 받쳐주는 역할을 수행하게 된다.

이 때, 상기 받아멈춤 수단은 회전축(61)과, 회전 액츄에이터(63) 및 승강 액츄에이터(64), 그리고 기판의 모서리를 받치는 받침판(62)으로 구성된다.

이하, 상기한 종래의 기판 조립장치를 이용한 액정표시소자의 제조 과정을그 공정 순서에 의거하여 보다 구체적으로 설명하면 하기와 같다.

우선, 상부 스테이지(21)에는 어느 하나의 기판(이하, “제2기판”이라 함)(52)이 로딩된 상태로 부착 고정되고, 하부 스테이지(22)에는 다른 하나의 기판(이하, “제1기판”이라 함)(51)이 로딩된 상태로 부착 고정된다.

이 상태에서 상기 하부 스테이지(22)를 가지는 하부 챔버 유닛(32)는 챔버 이동수단(40)에 의해 도시한 도 1a와 같이 밀봉제 도포 및 액정 적하를 위한 공정 위치 상으로 이동된다.

그리고, 상기 상태에서 밀봉제 토출부 및 액정 적하부(30)에 의한 제1기판에의 밀봉제 도포 및 액정 적하가 완료되면 다시 상기 챔버 이동수단(40)에 의해 도시한 도 1b와 같이 기판간 합착을 위한 공정 위치 상으로 이동하게 된다.

이후, 챔버 이동수단(40)에 의한 각 챔버 유닛(31,32)간 합착이 이루어져 각 스테이지(21,22)가 위치된 공간이 밀폐되고, 받아멈춤 수단을 구성하는 승강 액츄에이터(64) 및 회전 액츄에이터(63)가 구동하면서 받침판(62)을 상부 스테이지(31)에 부착 고정된 제2기판(52)의 두 모서리에 위치시키게 된다.

이 상태에서 제2기판(52)을 고정하던 흡착력을 해제하여 도시한 도 2과 같이 상기 제2기판을 상기 받아멈춤 수단의 각 받침판(62)에 낙하시킨다.

이와 함께, 진공 밸브(23) 및 배관 호스(34)을 이용하여 챔버부 내부를 진공 상태를 이루도록 하고, 상기 챔버부 내부가 진공 상태를 이루게 되면 상부 스테이지(31)의 정전척(28)에 전압을 인가하여 상기 제2기판(52)을 정정흡착법으로 고정함과 더불어 받아멈춤 수단의 회전 액츄에이터(63) 및 승강 액츄에이터(64)를 구동하여 받침판(62) 및 회전축(61)을 양기판의 접합에 장해가 되지 않도록 한다.

그리고, 상기한 진공 상태에서 스테이지 이동수단(50)에 의해 상부 스테이지(21)가 하향 이동하면서 상기 상부 스테이지(21)에 부착 고정된 제2기판(52)을 하부 스테이지(22)에 부착 고정된 제1기판(51)에 합착한다.

그리고, 상기한 과정의 상하부 스테이지(21, 22)에 의한 두 기판의 합착이 완료되면, 상기 가스퍼지밸브(80)를 개방하여 챔버부 내부를 대기압 상태로 되돌린다.

이후 완료된 기판은 언로딩 되어 후 공정으로 반송됨과 더불어 새로운 각각의 기판이 반송됨으로써 연속적인 기판간 합착 작업의 수행이 이루어진다.

그러나 전술한 바와 같은 종래의 액정 적하 방식의 액정표시장치의 제조 방법에 있어서는 다음과 같은 문제점이 있었다.

첫째, 챔버부 내부가 진공 상태 일 때 상부 스테이지는 정전척에 의해 제 2 기판을 흡착하고 있지만, 하부 스테이지는 제 1 기판을 흡착하고 있지 않으므로 챔버부의 진공 시 하부 스테이지에 위치된 제 1 기판의 위치가 변경될 가능성이 있고 이로 인하여 합착할 두 기판간의 오정렬이 발생하게 된다.

둘째, 기판간 합착이 완료되어 챔버부 내의 진공 상태를 해제하는 과정에서 급작스러운 압력의 변화로 인해 상기 합착된 기판간의 비틀림 등이 발생되어 합착 불량이 유발될 수 있다. 그 이유는, 상기 기판간 합착 과정이 완료된 후 상부 스테이지가 상향 이동한 후 챔버부 내를 대기압 상태로 만들기 때문에 합착 기판을 고정시키는 구성이 없었기 때문이다.

물론, 하부 스테이지를 통해 정전력을 발생시켜 상기 합착 기판의 저면을 상기 정전력으로 고정할 수 있겠지만, 이는 단순히 합착 기판의 저부를 이루는 제 1 기판만을 고정하기 때문에 상기 합착 기판의 상부를 이루는 제 2 기판은 상기 제 1 기판에 대하여 비틀리게 되는 문제점은 계속해서 남아 있다.

셋째, 종래에는 반송 장치를 이루는 로보트 아암의 형상이 각 기판의 로딩을 원활히 수행할 수 있도록 다수의 핑거부가 형성되어 이루어지는데, 이 때 상기의 각 핑거부는 통상 기판의 길이 방향(혹은, 폭 방향)으로 길게 형성됨을 고려할 때 상기 길이에 비해 폭이 좁음에 따라 하부로 처지게 된다.

특히, 핑거부를 구성하는 끝단(즉, 반송 장치에 결합된 부위와는 반대측 부위)은 그 처짐 정도가 여타 부위에 비해 상당히 큼을 고려할 때 기판 역시 휘게 되어 전체적인 기판의 각 부위 손상을 유발시키게 된 원인이 있다.

넷째, 하부 챔버 유닛(22)에 의해 합착될 기판이 챔버부에 로딩되고 합착된 기판이 언로딩되므로, 챔버부에 기판을 로딩하고 언로딩하는 시간을 줄이는데 한계가 있다.

본 발명은 상기와 같은 각종 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로, 기판간 합착을 위한 작업 도중 발생될 수 있는 기판의 로딩 불량이나 기판간의 합착 불량 등을 미연에 방지할 수 있고 공정 시간을 단축할 수 있는 액정표시장치의 제조 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.

도 1a 내지 도 1b는 종래의 액정 적하 방식 액정표시소자의 합착 장치를 제조 순서에 따라 개략적으로 나타낸 구성도

도 2는 종래 합착 장치를 구성하는 기판 받침 수단의 동작 상태를 개략적으로 나타낸 요부 사시도

도 3은 본 발명에 따른 공정 보조 수단이 적용된 진공 합착 장치의 내부 상태를 개략적으로 나타낸 구성도

도 4는 본 발명에 따른 공정 보조 수단의 사시도

도 5는 본 발명에 따른 공정 보조 수단의 장착 상태를 나타낸 평면도

도 6은 본 발명에 따른 제 1, 제 2 리프팅 수단의 사시도

도 7은 본 발명에 따른 액정표시장치 제조 방법 중 제 2 기판 로딩 시의 합착기 챔버 단면도

도 8은 본 발명에 따른 액정표시장치 제조 방법 중 제 2 기판 로딩 시의 반송 장치 및 공정 보조 수단의 동작 상태를 개략적으로 나타낸 평면도

도 9 내지 도 11은 본 발명에 따른 액정표시장치 제조 방법 중 제 1 기판 로딩 시의 합착기 챔버의 동작 상태를 개략적으로 나타낸 구성도

도 12는 본 발명에 따른 액정표시장치 제조 방법 중 합착기 챔버 진공 시의 동작 상태를 개략적으로 나타낸 구성도

도 13 내지 도 14는 본 발명에 따른 액정표시장치 제조 방법 중 상부 스테이지가 정전흡착으로 제 2 기판을 흡착하는 동작 상태를 개략적으로 나타낸 구성도

도 15는 본 발명에 따른 액정표시장치 제조 방법 중 합착 상태를 개략적으로 나타낸 구성도

도 16은 본 발명에 따른 액정표시장치 제조 방법 중 공정 보조 수단으로 합착된 기판을 하부 스테이지에 고정하는 동작 상태를 개략적으로 나타낸 구성도

도 17은 본 발명에 따른 액정표시장치 제조 방법 중 합착기 챔버를 벤트시키는 동작 상태를 개략적으로 나타낸 구성도

도 18은 본 발명에 따른 액정표시장치의 제조 공정 순서를 나타낸 동작 순서도.

도면의 주요 부분에 대한 부호 설명

110 : 진공 챔버121 : 상부 스테이지

122 : 하부 스테이지300 : 반송 장치

410 : 반침 수단420 : 제 1 리프팅 수단

430 : 제 2 리프팅 수단600 : 공정 보조 수단

610 : 회전축620 : 받침부

630 : 구동부

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 액정표시장치의 제조 방법은,

이하, 본 발명의 바람직한 각 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 3은 본 발명에 따른 액정표시소자용 진공 합착 장치의 구성을 개략적으로 나타낸 것이고, 도 4는 본 발명에 따른 공정 보조 수단의 사시도이며, 도 5는 본 발명에 따른 공정 보조 수단의 장착 상태를 나타낸 평면도이고, 도 6은 본 발명에 따른 제 1, 제 2 리프팅 수단을 개략적으로 나타낸 사시도이다.

본 발명의 진공 합착 장치는 크게 진공 챔버(110)와, 상부 스테이지(121) 및 하부 스테이지(122)와, 스테이지 이동장치, 진공 장치(200) 그리고, 공정 보조 수단(600)을 포함하여 구성됨이 제시된다.

상기에서 본 발명의 합착 장치를 구성하는 진공 챔버(110)는 그 내부가 선택적으로 진공 상태 혹은, 대기압 상태를 이루면서 각 기판간 합착 작업이 수행될 수 있도록 형성되어 이루어진다.

이 때, 상기 진공 챔버(110)는 그 둘레면 일측에 진공 장치(200)로부터 전달된 공기 흡입력을 전달받아 그 내부 공간에 존재하는 공기가 배출되는 공기 배출관(5102)이 연결됨과 더불어 그 외부로부터 공기 혹은, 여타의 가스 유입이 이루어지져 상기 진공 챔버(110) 내부를 대기 상태로 유지하기 위한 벤트(Vent)관(113)이 연결되어 내부 공간의 선택적인 진공 상태 형성 혹은, 해제가 가능하도록 구성된다.

또한, 상기에서 공기 배출관(112) 및 벤트관(113)에는 그 관로의 선택적인 개폐를 위해 전자적으로 제어 받는 개폐 밸브(112a,113a)가 각각 구비된다.

그리고, 본 발명의 합착 장치를 구성하는 상부 스테이지(121) 및 하부 스테이지(122)는 상기 진공 챔버(110) 내의 상측 공간과 하측 공간에 각각 대향 설치되며, 반송 장치(300)에 의해 진공 챔버(110) 내부로 반입된 각 기판(510, 520)을 진공 혹은, 정전 흡착하여 상기 진공 챔버(110) 내의 해당 작업 위치에 고정된 상태로 유지시킴과 더불어 이 고정된 각 기판(510, 520)간 합착을 수행하도록 선택적 이동이 가능하게 구성된다.

이 때, 상기 반송 장치(300)는 다수의 핑거부(311)를 가지는 로보트 아암(310, 320)을 제어하여 진공 챔버(110) 내부의 기판 반입/반출을 수행한다.

또한, 상기에서 상부 스테이지(121)는 그 저면에 다수의 정전력을 제공하여 기판(이하, “제 2 기판”이라 한다)(520)의 고정이 가능하도록 최소 하나 이상의 정전척(ESC;Electro Static Chuck)(121a)이 장착되어 이루어짐과 더불어 진공 펌프(123)의 구동에 의해 발생된 진공 흡착력을 전달받아 제 2 기판(520)을 흡착 고정하는 다수의 진공홀(121b)이 형성되어 이루어진다.

이와 함께, 진공 챔버 내부의 각 모서리 부위에는 진공 챔버(110) 내부를 진공 상태로 만드는 과정에서 제 2 기판(520)을 일시적으로 받아주는 역할을 수행하는 반침 수단(410)이 구비된다.

하지만, 상기 반침 수단(410)은 반드시 상기한 형태로만 구성할 수 있는 것은 아니며, 제 2 기판(520)을 임시적으로 받아줄 수 있는 다양한 형태로 구성할 수있고, 그 위치도 상부 스테이지(121)의 대각된 두 모서리 부위와 인접된 부위 혹은, 각 스테이지(121,122)의 대각된 네 모서리 부위에 각각 구비할 수도 있다.

또한, 상기 하부 스테이지(122)의 상면에도 상기한 상부 스테이지(121)의 저면 형상과 같이 최소 하나 이상의 정전척(122a)을 장착함과 더불어 진공홀(122b)을 형성하여 구성하고, 이에 추가하여 하부 스테이지(122)에 로딩되기 위해 반입되는 기판(이하, “제 1 기판”이라 한다)(510)의 로딩 및 언로딩을 수행하는 제 1 리프팅 수단(420)이 승강 가능하게 설치되어 구축되며, 상기 하부 스테이지(122)의 가장자리에 상기 제 1 기판(510)의 둘레 부위 처짐 방지를 위한 제 2 리프팅 수단(430)이 구축된다 (도 6 참조).

이 때, 상기 제 1 리프팅 수단(420)은 상기 제 1 기판(510)의 저면에 접촉되도록 구비되고, 하부 스테이지(122)를 관통하여 동작되도록 구비되며, 제 2 리프팅 수단(430)은 하부 스테이지(122)의 양측 상면 둘레에 형성된 수용부(431)내에 선택적으로 수용되면서 승강되도록 하여 제 1 기판(510)의 로딩시나 합착 기판의 언로딩시 상기 제 1 기판(510) 및 합착 기판의 둘레 부위를 받쳐주도록 하여 그 부위의 처짐을 방지할 수 있도록 한 것이다. 상기 제 1, 제 2 리프팅 수단(420, 430)을 승강 가능하도록 하는 구성으로는 유공압 실린더(421) 또는, 모터 등이 될 수 있다.

하지만, 상기 제 1, 제 2 리프팅 수단(420, 430)은 기판의 로딩 및 언로딩을 위한 다양한 구성으로 이루어질 수 있음을 고려할 때 반드시 어느 한 형상으로만 한정하지는 않는다.

그리고, 본 발명 합착 장치를 구성하는 스테이지 이동장치는 상부스테이지(121)에 결합되어 상기 상부 스테이지(121)를 상향 이동 혹은, 하향 이동시키는 이동축(131)을 가지고, 하부 스테이지(122)에 결합되어 상기 하부 스테이지를 회전시키는 회전축(132)을 가지며, 상기 각 스테이지(121,122)에 결합된 각각의 축을 이동 또는, 회전시키도록 구동하는 구동 모터(133,134)를 포함하여 구성된다.

이 때, 상기 스테이지 이동장치는 단순히 상기 상부 스테이지(121)를 상하로만 이동시키거나, 하부 스테이지(122)를 좌우로만 회전시키도록 구성한 것으로 한정되지는 않는다.

즉, 상기 상부 스테이지(121)를 좌우 회전 가능하도록 구성할 수도 있을 뿐 아니라 상기 하부 스테이지(122)를 상하 이동시킬 수 있도록 구성할 수도 있다.

이의 경우 상기 상부 스테이지(121)에는 별도의 회전축(도시는 생략함)을 추가로 설치하여 그 회전이 가능하도록 하고, 상기 하부 스테이지(122)에는 별도의 이동축(도시는 생략함)을 추가로 설치하여 그 상하 이동이 가능하도록 함이 바람직하다.

그리고, 본 발명 합착 장치를 구성하는 진공 장치(200)는 상기 진공 챔버(110)의 내부가 선택적으로 진공 상태를 이룰 수 있도록 흡입력을 전달하는 역할을 수행하며, 통상의 공기 흡입력을 발생시키기 위해 구동하는 흡입 펌프로 구성한다.

이 때, 상기 진공 장치(200)가 구비된 공간은 진공 챔버(110)의 공기 배출관(112)과 연통하도록 형성한다.

그리고, 본 발명 합착 장치를 구성하는 공정 보조 수단(600)은, 도 4와 같이, 진공 챔버(110) 내부의 진공 상태를 해제하는 과정에서 합착 기판(500)을 고정하는 역할 혹은, 진공 챔버(110) 내부가 진공 상태를 이루었을 경우 상부 스테이지(121)에 고정되는 제 2 기판(520)을 상기 상부 스테이지(121)로 밀어주는 역할을 수행하게 된다.

상기에서 공정 보조 수단(600)은 회전축(610)과, 받침부(620) 그리고, 구동부(630)로 크게 구성된다.

이 때, 상기 회전축(610)은 진공 챔버(110) 내에서 승강 및 회전 가능한 위치에 위치되며, 구동부(630)의 구동에 의해 선택적인 회전을 수행하면서 받침부(620)를 하부 스테이지(122)의 상측 둘레부위에 위치시키는 역할을 수행한다.

그리고, 상기 받침부(620)는 상기 회전축(610)의 일단에 일체화되고, 제 2 기판(520), 합착 기판(500) 및 반송 장치(300)의 소정 부위와 접촉하면서 상기 제 2 기판(520)을 받쳐주거나, 합착 기판(500)을 고정하는 역할 또는, 반송 장치(300)의 끝단을 받쳐주는 역할을 수행한다.

이 때. 상기 받침부의 각 기판(510, 520)과 접촉되는 면은 상호간의 접촉시 긁힘을 방지할 수 있는 재질로 형성된 제1접촉부(621) 및 제2접촉부(622)가 포함되어 형성되며, 상기 제1접촉부(621) 및 제2접촉부(622)의 재질은 테프론이나 피크와 같은 재질로써 형성한다.

하지만, 반드시 상기 각 접촉부(621, 622)를 추가로 구성할 수만 있는 것은 아니며, 받침부(620)의 각 면을 상기 테프론이나 피크와 같은 재질의 코팅재로 코팅할 수도 있다.

그리고, 상기 구동부(630)는 진공 챔버(110) 외부(혹은, 내부)에 구비되고, 상기 회전축(610)에 축결합되어 상기 회전축(610)을 회전시키는 회전 모터(631)와, 유공압을 이용하여 상기 회전축(610)을 승강시키도록 구동하는 승강 실린더(632)를 포함하여 구성된다.

물론, 상기 회전축(610)을 회전시키기 위한 구성 및 회전축(610)을 승강시키기 위한 구성이 상기한 회전 모터(631) 및 승강 실린더(632)로만 구성할 수 있는 것 만은 아니며, 여타의 다양한 장치나 장비로 구성할 수도 있다.

이 때, 상기 승강 실린더(632)에 의해 승강하는 회전축(610)의 승강 범위는 본 발명에 따른 공정 보조 수단이 수행하는 각 역할의 동작 범위가 될 수 있다.

즉, 진공 챔버(110) 내부의 진공 상태를 해제하는 과정에서 합착 기판(500)을 고정하는 역할을 수행하도록 동작하는 범위와, 진공 챔버(110) 내부가 진공 상태를 이루었을 경우 상부 스테이지(121)에 고정되는 제 2 기판(520)을 상기 상부 스테이지(121)로 밀어주는 역할을 수행하도록 동작하는 범위 그리고, 반송 장치(300)에 의한 각 기판(510, 520)의 반입이 이루어질 경우 해당 기판을 반입하는 상기 반송 장치(300)의 각 핑거부(311) 끝단을 받쳐주는 역할을 수행하도록 동작하는 범위 등이 회전축(610)의 승강 범위로 설정되는 것이다.

만일, 상기의 구성에서 구동부(630)가 본 발명의 실시예에 따른 도면상에서 제시된 바와 같이 진공 챔버(110)의 외측 하부에 위치되도록 설치될 경우 회전축(610)은 상기 진공 챔버(110)를 관통하여 결합됨과 더불어 이 진공챔버(110)와 회전축(610) 간의 결합 부위는 씰링이 이루어져야 한다.

또한, 본 발명에서는 상술한 바와 같은 공정 보조 수단(600)의 위치가, 도 5와 같이, 상기 제 2 리프팅 수단(430)이 형성되지 않은 하부 스테이지(122)의 일측각 모서리 부분과 인접한 부위에 위치되도록 함을 제시한다.

그리나, 반드시 상기의 구성으로만 한정되지는 않으며, 하부 스테이지(122)의 각 측면 중앙 부위와 인접한 위치에서 그 동작이 이루어지도록 본 발명의 공정 보조 수단(600)을 설치할 수도 있고, 하부 스테이지(122)의 각 모서리 및 각 측면 중앙 부위와 인접한 위치에서 그 동작이 이루어지도록 본 발명의 공정 보조 수단(600)을 설치할 수도 있다.

이하, 전술한 바와 같은 구성을 갖는 본 발명의 합착 장치를 이용한 액정표시장치의 제조 방법을 설명하면 다음과 같다.

도 7 내지 도 17은 본 발명에 따른 액정표시장치의 제조 방법에 의한 합착기 챔버의 동작 상태를 나타낸 것이고, 도 18은 본 발명에 따른 액정표시장치의 제조 공정 순서도이다.

본 발명에 따른 합착 공정은, 크게 합착기 챔버에 두 기판을 로딩하는 공정, 상기 합착기 챔버를 진공시키는 공정, 상기 두 기판을 정렬하는 공정, 상기 두 기판을 합착하는 공정, 상기 동일 챔버내에서 합착된 실재를 경화시켜 고정하는 공정, 상기 두 기판을 가압하기 위하여 상기 합착기 챔버를 벤트시키는 공정, 그리고 상기 합착된 두 기판을 합착기 챔버로부터 언로딩하는 공정으로 구분할 수 있다. 여기서, 상기 동일 챔버내에서 합착된 실재를 경화시켜 고정하는 공정을 생략할 수있다.

먼저, 제 1 기판(510)에 액정을 적하하고, 제 2 기판(520)에 실재를 형성한다. 여기서, 상기 제1, 제 2 기판(510, 520) 중 하나의 기판에는 복수개의 패널이 설계되어 각 패널에 박막트랜지스터 어레이가 형성되며, 나머지 기판에는 상기 각 패널에 상응하도록 복수개의 패널이 설계되어 각 패널에 블랙매트릭스층, 칼라 필터층 및 공통전극 등이 구비된 칼라필터 어레이가 형성된다. 설명을 쉽게하기 위하여 박막트랜지스터 어레이가 형성된 기판을 제 1 기판이라 하고, 칼라 필터 어레이가 형성된 기판을 제 2 기판(520)이라 한다. 물론, 상기 제 1, 제 2 기판 중 어느하나에 액정도 적하하고 실재도 형성할 수 있다.

상기 반송 장치(300)는 다수의 핑거부(3510)을 갖는 제 1, 제2 아암(310, 320)을 제어하여 하부 스테이지(122)에 반입할 제 1 기판(510)과 상부 스테이지(121)에 반입할 제 2 기판(520)을 각각 전달받는다.

이 상태에서, 도 7과 같이, 상기 반송 장치(300)는 제 2 아암(320)을 제어하여 합착기 챔버(110)의 개방된 부위를 통해 액정이 도포되지 않은 제 2 기판(520)을 합착할 면이 하부를 향하도록 합착기 챔버(110) 내에 반입시킨다. 이 때, 공정 보조 수단(600)를 구성하는 구동부(630)의 승강 실린더(632)가 구동하면서 회전축(610)을 상향 이동시킴과 더불어 회전 모터(631)가 구동하면서 상기 회전축(610)을 회전시켜 받침부(620)를 작업 부위에 위치시킨다.

이 때, 상기 회전축(610)은 대략 제 2 아암(320)이 가지는 각 핑거부(311)의 끝단이 위치되는 높이에까지 상향 이동하게 되고, 각 받침부(620)는 상기 각 핑거부(311)의 끝단 하측에 위치된다.

이에 따라, 상기 각 공정 보조 수단(600)의 받침부(620) 상면에 상기 각 핑거부(311)의 끝단 저면이 받쳐지게 되어 상기 핑거부(311)의 끝단 부위가 하부로 처지게 됨이 방지된다. 이의 상태는 도 7 및 도 8에 도시한 바와 같다.

물론, 상기의 각 동작 과정에서 본 발명에 따른 공정 보조 수단(600)이 제 2 기판(520)의 반송 전에 그 동작을 먼저 수행하여 해당 작업 위치에 로딩되도록 한 후 반송 장치(300)를 제어하여 제 2 기판(520)의 반송이 이루어지도록 그 동작 과정을 설정할 수도 있다.

그리고, 상기한 바와 같이 공정 보조 수단(600)의 각 받침부(620)에 각 핑거부(311)가 받쳐져 있는 상태에서 상기 상부 스테이지(121)가 상기 제 2 기판(520)에 근접되도록 하강하고 상기 진공 펌프(123)가 동작하면서 상부 스테이지(121)의 각 진공홀(121b)을 통해 진공 흡착력을 전달하여 상기 제 2 기판(520)을 상부 스테이지(121)에 흡착시키고 상기 상부 스테이지(121) 상승함으로써 제 2 기판(520)의 로딩이 완료된다. 이 때, 각 공정 보조 수단(600)은 최초 위치로 복귀된다.

만일, 전술한 과정 중 제 2 기판(520)의 로딩 과정에서 바로 이전에 합착 공정이 진행되어 하부 스테이지(122)에 합착 기판이 존재한다면, 상기 제 2 기판(520)을 반입하였던 제 2 아암(320)이 상기 제 2 기판(520)의 반입 후 상기 하부 스테이지(122)에 존재하는 합착 기판을 언로딩 시키도록 함이 보다 바람직하며, 이의 과정은 후술하는 바와 같다.

계속해서, 반송 장치(300)를 이루는 제 1 아암(310)은 진공 챔버(110)의 기판 유출구(5101)를 통해 하부 스테이지(122)에 로딩될 제 1 기판(510)을 반송한다.

이와 함께, 각각의 공정 보조 수단(600)을 구성하는 구동부(630)의 승강 실린더(632)가 구동하면서 회전축(610)을 상향 이동시킴과 더불어 회전 모터(631)가 구동하면서 상기 회전축(610)을 회전시킨다.

이 때, 상기 회전축(610)은 대략 제 1 아암(310)이 가지는 각 핑거부(311)의 끝단이 위치되는 높이에까지 상향 이동하게 되고, 회전 모터(631)의 구동에 의해 회전된 받침부(620)는 상기 각 핑거부(311)의 끝단 하측에 위치된다.

이에 따라, 상기 각 핑거부(311)의 끝단은 상기 각 공정 보조 수단(600)의 각 받침부(620)에 그 저면이 받쳐지게 되어 하부로 처지게 됨이 방지된다. 이의 상태는 도 9에 도시한 바와 같다.

그리고, 상기한 바와 같이 공정 보조 수단(600)의 각 받침부(620)에 각 핑거부(311)가 받쳐져 있는 상태에서 상기 하부 스테이지(122)의 수용홈(122c) 및 수용부(431) 내에 수용되어 있던 제 1, 제 2 리프팅 수단(420, 430)이 그 동작에 따른 제어를 받아 상향 이동하면서 상기 반송 장치(300)에 의해 반송된 제 1 기판(510)을 들어올리게 된다. 이의 상태는 도 10에 도시한 바와 같다.

이후, 상기 반송 장치(300)를 구성하는 제 1 아암(310)의 각 핑거부(311)가 반출됨과 더불어 각 공정 보조 수단(600)의 받침부(620)가 회전 모터(631) 및 승강 실린더(632)의 구동에 의해 연속적인 동작을 수행하면서 최초 장착 위치로 되돌아가게 된다.

그리고, 상기한 과정이 완료되면 제 1 기판(510)은 제 1, 제 2 리프팅수단(420, 430)에 얹혀진 상태를 이루게 되고, 이 상태에서 상기 제 1, 제 2 리프팅 수단(420, 430)은 그 동작에 따른 제어를 받아 하향 이동하면서 하부 스테이지(122)의 수용홈(122c) 및 수용부(431) 내로 수용된다.

이에 따라, 제 1 기판(510)은 상기 하부 스테이지(122)의 상면에 얹혀지고, 계속해서 상기 하부 스테이지(122)의 각 진공홀(122b)을 통해 전달되는 진공 흡착력에 의해 상기 제 1 기판(510)은 하부 스테이지(122)에 흡착됨으로써 상기 제 1 기판(510)의 로딩이 완료된다(1S). 이의 상태는 도 11에 도시한 바와 같다.

한편, 상기한 바와 같은 상기 공정 보조 수단(600)의 동작 과정에 있어서, 제 1 아암(310)의 각 핑거부(311)의 처짐을 방지하기 위한 과정은 도시된 바와 같이 기판 유출구가 형성된 측과는 반대측(로보트 아암과 각 핑거부 간의 결합이 이루어진 부위와는 반대측 부위)에 구비된 두 개의 공정 보조 수단(600)만을 동작시켜 각 핑거부(311)의 끝단 처짐만을 방지하도록 할 수도 있고, 도시하지는 않았지만 모든 공정 보조 수단의 동시적인 동작에 의해 상기 각 핑거부의 일단 및 끝단을 동시에 지지하도록 할 수도 있다.

또한, 상기한 바와 같이 본 발명의 공정 보조 수단(600)이 제 1 아암(310)의 각 핑거부(311)를 받쳐주는 역할을 수행할 경우에는 반드시 받침부(620)를 이용하여 상기 각 핑거부(311)를 받쳐주도록 할 수 있는 것은 아니다. 즉, 도시한 도 4와 같이, 받침부(620)의 측부에 상기 받침부(620)의 길이 방향과는 수직된 방향을 따라 길게 형성된 보조 받침부(640)를 추가로 형성하여, 이 보조 받침부(640)가 상기 각 핑거부(311)를 받쳐주도록 구성할 수도 있다.

이 때, 상기 보조 받침부(640)를 상기 받침부(620)의 길이 방향에 대하여 수직된 방향을 따라 형성하는 이유는 해당 공정 위치로의 회전이 이루어졌을 경우 보조 받침부(640)의 길이 방향이 각 핑거부(311)의 폭 방향을 향하도록 함에 따라 원활한 받침 역할이 수행될 수 있기 때문이다.

뿐만 아니라, 상기한 역할을 수행하는 보조 받침부(640)는 각 기판과의 접촉이 이루어지는 것이 아니기 때문에 그 상면에 테프론이나 피크 등과 같은 재질의 접촉부를 별도로 구비할 필요가 없다.

또한, 상기한 본 발명의 공정 보조 수단(600)은 반드시 반송 장치(300)를 구성하는 핑거부(311)의 끝단을 받쳐주도록 동작하는 것으로 한정하지는 않으며, 상기 반송 장치에 의해 반송되는 각 기판(510, 520)의 끝단을 받쳐주도록 설정할 수도 있다.

이후, 진공 장치(200)의 구동에 의해 합착기 챔버(110) 내부가 진공을 이루게 된다(2S).

이 때, 상기 합착기 챔버(110)를 진공시키게 되면, 상부 스테이지(121)에 진공 흡착된 제 2 기판(520)이 떨어지기 때문에, 도 12와 같이, 상기 제 2 기판(520)을 반침 수단(410)위에 내려 놓는다.

즉, 반침 수단(410)을 상승시켜 상기 제 2 기판과 상기 반침 수단(410)을 근접시킨 다음 상기 제 2 기판(520)을 상기 반침 수단(410)에 내려 놓거나, 제 2 기판을 흡착한 상부 스테이지(121)와 상기 반침 수단(410)을 일정 간격을 두고 위치시켰다가 챔버내를 진공 상태로 만드는 동안 제 2 기판(520)이 상기 반침수단(410)으로 자연 낙하하도록 할 수 있다.

여기서, 합착기 챔버(110)의 진공도는 합착하고자 하는 액정 모드에 따라 차이가 있으나, IPS 모드는 1.0 x 10^-3Pa 내지 1Pa 정도로하고, TN 모드는 약 1.1 x 10^-3Pa 내지 10²Pa로 한다.

상기 합착기 챔버(110)가 일정 상태의 진공에 도달하게 되면, 상기 상하부 각 스테이지(121, 122)는 정전 흡착법(ESC; Electric Static Charge)으로 상기 제 1, 제 2 기판(510, 520)을 고정시킨다. 이 때, 본 발명에 따른 공정 보조 수단(600)은 진공 챔버(110) 내부가 진공된 상태에서 제 2 기판(520)을 상부 스테이지(121)에 정전 흡착 시 상기 제 2 기판(520)을 밀어올려 상기 상부 스테이지(121)에의 원활한 부착이 가능하도록 하는 역할을 수행한다 (도 13 및 도 14 참조). 그리고, 상기 제 1 기판 받침 수단(410)은 원래의 자리로 위치된다.

그리고, 상부 스테이지(121)를 하 방향으로 이동하여 제 2 기판(520)을 제 1 기판(510)에 근접시킨 다음, 상기 제 1 기판(510)과 제 2 기판(520)을 정렬시킨다(3S).

상기 두 기판을 합착한 다음, 상기 제1, 제 2 기판(510, 520)을 합착하는 실재에 UV를 조사하거나, 상기 실재에 부분적으로 열 또는 압력을 전달하여 상기 실재를 경화시켜 상기 제 1, 제 2 기판(510, 13)을 고정한다(5S). 여기서, 상기 고정 공정은, 기판이 대형화(1000mm ×1200mm)되고 액정 적하 후 두 기판을 합착하기 때문에, 합착 후 다음 공정을 진행하거나 이동 시 합착된 두 기판이 틀어져 오 정렬이 발생될 가능성이 높다. 따라서, 합착 후 다음 공정을 진행하거나 이동 시 합착된 두 기판의 오 정렬이 발생됨을 방지하고 합착된 상태를 유지시키기 위하여 고정하는 것이다. 물론 상기 고정 공정은 생략될 수 있다.

상술한 바와 같이, 두 기판의 고정이 완료되면, 도 15와 같이, 상기 스테이지에서 정전 흡착법으로 흡착함을 정지한 다음(ESC off), 상기 상부 스테이지(121)를 상승시켜 상부 스테이지(121)를 상기 합착된 두 유리 기판(510, 520)으로부터 분리시킨다.

그리고, 도 16에 도시한 바와 같이, 상기 공정 보조 수단(600)을 이용하여 합착 완료된 합착 기판(500)을 하부 스테이지(122)에 고정한다. 즉, 공정 보조 수단(600)을 구성하는 구동부(630)의 승강 실린더(632)가 구동하면서 회전축(610)을 상향 이동시킴과 더불어 회전 모터(631)가 구동하면서 상기 회전축(610)을 회전시켜 받침부(620)를 작업 부위에 위치시킨다. 이 때, 상기 회전축(610)은 대략 합착 기판(500)의 상면 높이보다 소정 높이만큼 더 상향 이동하게 된다.

상기한 상태에서 각 공정 보조 수단(600)을 구성하는 승강 실린더(632)는 계속적인 구동을 수행하면서, 회전축(610)을 하향 이동시켜 각 받침부(620)가 상기 합착 기판(500)을 고정하게 된다. 따라서, 다음 공정인 벤트 공정 시 기판간의 어긋남 또는 합착 기판의 뜰어짐을 방지한다.

그리고, 도 17과 같이, 벤트관(113)에 구비된 개폐 밸브(113a)를 개방하여 공기 혹은, 가스(예컨대, N₂가스 등)가 상기 벤트관(113)의 개방된 관로를 통해 진공 챔버(110) 내부로 유입되도록 하여 챔버(110)를 벤트시킨다(6S).

이와 같이, 상기 합착기 챔버(110)가 벤트되면, 상기 실재에 의해 합착된 제 1, 제 2 기판 사이는 진공상태이고 상기 합착기 챔버(110)가 대기 상태가 되므로 대기압에 의해 진공 상태의 제 1, 제 2 기판(510, 13)은 균일한 겝(gap)을 유지하도록 균일한 압력으로 가압된다. 여기서, 상기 합착된 제1, 제 2 기판(510, 520)은 대기압에 의해서 가압될 뿐만 아니라, 벤트 시 입력되는 N₂또는 건조 공기(dry air)의 주입 힘에 의해서도 가압된다.

또한, 상기 챔버를 급속하게 벤트 시키면 기판이 흔들리고 합착된 기판이 오정렬이 발생 할 수 있으므로 1차로 벤트를 서서히 시작하여 기판의 흔들림이 없도록 하고 일정시점에 도달하면 2차로 벤트의 속도를 다르게 하여 대기압에 보다 빠르게 도달하도록 할 수도 있다.

그리고, 가압된 기판을 언로딩한다(7S). 즉, 가압이 완료되면, 제 1, 제 2 리프팅 수단(420, 430)의 각 구동부를 구동시켜 각각의 승강축 및 각각의 받침부를 상향 이동시킴으로써 하부 스테이지(122)에 얹혀져 있던 합착된 기판을 상기 하부 스테이지(122)로부터 탈거함과 더불어 계속적으로 상향 이동시켜 상기 하부 스테이지(122)의 상측 공간상에 위치시키도록 한다. 이후, 로더부(300)를 제어하여 제 2 기판(520)을 로딩시켰던 제 2 아암(320)을 합착기 챔버(110)의 내부로 다시 반입되도록 한다. 이 때, 상기 제 2 아암(320)의 반입 위치는 제 1, 제 2 리프팅 수단(420, 430)에 의해 상향 이동된 합착 기판의 하부에 위치되도록 한다.

이 상태에서 제 1, 제 2 리프팅 수단(420, 430)의 각 구동부를 구동시켜 각각의 승강축 및 각각의 받침부를 하향 이동시키게 되면, 상기 각 받침부의 상면에 얹혀져 있던 합착 기판은 상기 제 2 아암(320)의 상면에 얹혀지게 되고, 상기 각 받침부는 계속적인 하향 이동에 의해 하부 스테이지(122)의 수용부 내에 수용된다.

이후, 로더부(300)의 제어에 의해 제 2 아암(320)이 합착기 챔버(110)의 외부로 반출되어 합착 기판의 언로딩이 완료된다.

물론, 상기한 바와 같은 합착 기판의 언로딩 과정이 완료되면 아암(310) 및 제 1, 제 2 리프팅 수단(420, 430)에 의한 제 1 기판(510)의 로딩 과정이 수행됨은 당연하며 이의 과정은 전술한 바 있음에 따라 생략한다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 합착 장치 및 이를 이용한 액정표시장치의 제조 방법에 있어서는 다음과 같은 효과가 있다.

첫째, 반송 장치를 이용하여 합착할 기판을 합착기 챔버에 로딩하고 합착된 기판을 합착기 챔버로부터 언로딩하므로 하부 챔버 유닛으로 기판을 로딩 및 언로딩하는 종래의 제조 방법에 비해 로딩 및 언로딩 시간을 단축하여 생산성을 향상시킬 수 있다.

둘째, 제 2 기판을 상부 스테이지에 정전 흡착하는 과정에서 상기 공정 보조 수단이 상기 제 2 기판을 들어줌에 따라 상기 상부 스테이지에 제 2 기판을 보다 용이하게 정전 흡착시킬 수 있다. 특히, 상기한 효과로 인해 정전 흡착을 위한 과정 시(혹은, 챔버부 내부를 진공 상태로 만드는 과정 시)에는 상기 상부 스테이지를 제 2 기판이 안착되는 위치에 최대한 근접시키지 않아도 되는 제어상의 장점을 가진다.

셋째, 상기 반침 수단이 제 2 기판의 중앙 부분을 받쳐주기 때문에 기판이 대형화되어도 기판이 휘어져 받침 수단으로부터 이탈되어 떨어지게 되는 문제를 해결할 수 있다.

넷째, 공정 보조 장치를 이용하여 합착된 기판을 하부 스테이지에 고정하므로, 기판간 합착이 완료되어 진공 챔버 내의 진공 상태를 해제하는 과정에서 급작스러운 압력의 변화로 인해 상기 합착된 기판간의 비틀리는 현상을 방지할 수 있다.

다섯째, 각 기판 로딩 시, 공정 보조 수단이 반송 장치를 이루는 아암의 각 핑거부 끝단을 지지할 수 있도록 동작됨에 따라 핑거부의 끝단이 처지게 됨을 방지하므로 보다 안정적으로 기판을 로딩할 수 있다.

Claims

제 1, 제 2 기판의 합착 공정이 수행되는 합착기 챔버와,

상기 합착기 챔버 내에 각각 대향되어 구비되고, 반입된 제 2, 제 1 기판을 각각 흡착하여 각 기판간 합착을 수행하는 상부 스테이지 및 하부 스테이지와,

상기 합착기 챔버 내부에 설치되어 제 2 기판을 받아주는 반침 수단과,

상기 하부 스테이지에 제 1 기판이 로딩될 때와 합착된 제 1, 제 2 기판이 하부 스테이지로부터 언로딩 될 때 기판을 리프팅하는 리프팅 수단과,

상기 합착기 챔버 내에 승강 및 회전하게 구비되고, 합착 완료된 기판을 고정하거나 혹은, 상부 스테이지에 고정되는 기판을 받쳐주는 공정 보조 수단을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 합착 장치.
제 1 항에 있어서,

상기 상부 및 하부 스테이지는 정전흡착력으로 상기 각 기판을 흡착하는 정전척을 구비함을 특징으로 하는 합착 장치.
제 1 항에 있어서,

상기 리프팅 수단은,

상기 하부 스테이지에 구비되어 기판의 중앙부분을 받쳐주는 제 1 리프팅 수단과,

상기 하부 스테이지의 양측 상면 둘레에 형성되어 기판의 둘레 부위를 받쳐주는 제 2 리프팅 수단을 구비함을 특징으로 하는 합착 장치.
상기 합착기 챔버 내에 각각 대향되어 구비되고, 반입된 제 2, 제 1 기판을 각각 흡착하여 각 기판간 합착을 수행하는 상부 스테이지 및 하부 스테이지와, 상기 합착기 챔버 내부에 설치되어 제 2 기판을 받아주는 반침 수단과, 상기 하부 스테이지에 제 1 기판이 로딩될 때와 합착된 제 1, 제 2 기판이 하부 스테이지로부터 언로딩 될 때 기판을 리프팅하는 리프팅 수단과, 상기 합착기 챔버 내에 승강 및 회전하게 구비되고, 합착 완료된 기판을 고정하거나 혹은, 상부 스테이지에 고정되는 기판을 받쳐주는 공정 보조 수단을 구비한 합착 장치를 이용한 액정표시장치의 제조 방법에 있어서,

제 1 기판과 제 2 기판을 상기 각 스테이지에 로딩하는 공정;

상기 받침수단을 구동하여 상부 스테이지에 로딩된 제 2기판을 상기 받침 수단에 올려 놓고 상기 합착기 챔버를 진공시키는 공정;

상기 제 2 기판을 상부 스테이지가 흡착하여 상기 제 1, 제 2 기판을 합착하는 공정; 그리고

상기 합착된 제 1, 제 2 기판을 상기 리프팅 수단을 이용하여 상기 하부 스테이지로부터 탈거시켜 언로딩하는 공정를 구비하여 이루어짐을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조 방법.
제 4 항에 있어서,

상기 로딩하는 공정은,

상기 제 2 기판을 반송 장치를 이용하여 상기 합착기 챔버내에 반입하고 상기 상부 스테이지에 흡착시키는 공정과,

상기 제 1 기판을 상기 반송 장치를 이용하여 상기 합착기 챔버내에 반입하고 상기 리프팅 수단을 구동하여 상기 리프팅 수단으로 제 1 기판을 받아 상기 하부스테이지에 흡착시키는 공정을 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조 방법.
제 5 항에 있어서,

상기 리프팅 수단은 상기 하부 스테이지에 구비되어 기판의 중앙부분을 받쳐주는 제 1 리프팅 수단과, 상기 하부 스테이지의 양측 상면 둘레에 형성되어 기판의 둘레 부위를 받쳐주는 제 2 리프팅 수단을 구비하여 구성되고, 상기 제 2 리프팅 수단이 먼저 상기 제 1 기판을 받쳐주고, 나중에 상기 제 1 리프팅 수단이 제 1 기판을 받쳐줌을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조 방법.
제 5 항에 있어서,

상기 반송 장치의 일측을 지지하도록 상기 공정 보조 수단을 구동하는 공정을 더 포함함을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조 방법.
제 7 항에 있어서,

상기 공정 보조 수단은, 회전 및 승강 가능하게 장착된 회전축과, 상기 회전축의 일단에 일체화되며 각 기판 또는 반송 장치의 소정 부위와 접촉하는 받침부와, 상기 회전축의 타단에 장착된 구동부를 구비하고,

상기 공정 보조 수단 구동 공정은, 상기 구동부를 구동하여 상기 받침부를 상기 반송 장치의 위치로 이동하는 공정과,

상기 반송 장치가 걸칠 수 있도록 상기 받침부를 회전시키는 공정을 포함함을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조 방법.
제 4 항에 있어서,

상기 합착 공정 후, 상기 합착된 기판을 가압하기 위하여 상기 합착기 챔버를 벤트 시키는 공정을 더 포함함을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조 방법.
제 9 항에 있어서,

상기 벤트 시키는 공정은, 상기 공정 보조 수단을 이용하여 상기 합착된 기판을 상기 하부 스테이지에 고정 시키는 공정과, 상기 합착기 챔버를 대기 상태로 벤트시키는 공정을 구비하여 이루어짐을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조 방법.
제 10 항에 있어서,

상기 공정 보조 수단은, 회전 및 승강 가능하게 장착된 회전축과, 상기 회전축의 일단에 일체화되며 각 기판 또는 반송 장치의 소정 부위와 접촉하는 받침부와, 상기 회전축의 타단에 장착된 구동부를 구비하고,

상기 공정 보조 수단을 이용하여 상기 합착된 기판을 상기 하부 스테이지에 고정 시키는 공정은, 상기 구동부를 구동하여 상기 받침부를 상기 합착된 기판의 위치로 이동하는 공정과,

상기 반송 장치가 걸칠 수 있도록 상기 받침부를 회전시키는 공정과,

상기 받침부를 하향시켜 상기 합착된 기판을 하부 스테이지에 고정하는 공정을 포함함을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조 방법.
제 4 항에 있어서.

상기 합착 공정 후, 상기 합착된 기판을 고정하는 공정을 더 포함함을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조 방법.
제 4 항에 있어서,

상기 로딩 공정 시, 상기 각 스테이지는 진공흡착법으로 기판을 흡착함을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조 방법.
제 4 항에 있어서,

상기 진공 공정 후, 상기 받침 수단에 위치된 제 2 기판을 상부 스테이지가 정전흡착하여 상승하는 공정을 더 포함함을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조 방법.
제 14 항에 있어서,

상기 상부 스테이지가 상기 제 2 기판 정전 흡착 시, 상기 공정 보조 수단을 구동하여 상기 받침 수단에 위치된 제 2 기판을 상부 스테이지쪽으로 밀어주는 공정을 구비함을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조 방법.
제 4 항에 있어서,

상기 언로딩 공정 전에 다음에 합착할 기판을 상기 상부 스테이지에 로딩함을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조 방법.