CN102754017B

CN102754017B - 气密密封装置及具有该密封装置的显示装置制造系统

Info

Publication number: CN102754017B
Application number: CN201080063676.5A
Authority: CN
Inventors: 朴荣男; 高大云
Original assignee: LTL CO Ltd
Current assignee: LTL CO Ltd
Priority date: 2010-02-04
Filing date: 2010-02-22
Publication date: 2015-05-20
Anticipated expiration: 2030-02-22
Also published as: TWI428527B; WO2011096613A1; KR20110090594A; KR101123299B1; CN102754017A; TW201128100A

Abstract

本发明系有关于一种气密密封装置，其包括一个在一侧具有一第一入口而在另一侧具有一第二入口的壳体、置于该壳体内部且分别开启和关闭该第一入口与该第二入口的一第一阀片与一第二阀片、一个置于该壳体内部的支承面板、一个设于该支承面板的一侧且水平地移动该第一阀片的第一汽缸单元、一个设于该支承面板的另一侧且水平地移动该第二阀片的第二汽缸单元、及至少一个连接至该支承面板且垂直地移动该第一阀片和该第二阀片的驱动单元。每个阀片是由一汽缸单元所供应的气压或液压驱动。

Description

气密密封装置及具有该密封装置的显示装置制造系统

技术领域

本发明涉及一种气密密封装置及一种具有该密封装置到显示装置制造系统。

背景技术

通常，一个显示装置包括一个供影像颢示用的液晶面板和一个用于把驱动信号施加到该液晶面板的驱动器。该液晶面板包括一个上基板、一个下基板、和一个置于互相连接的该上基板与该下基板之间的液晶层。

近期，由于显示装置的孔径与基板的尺寸增加，显示装置制造系统在尺寸方面变大。

为了制造显示装置，必须有一个专属的显示装置制造系统和一个能够在从低真空到超高真空的大真空范围中运作的像是气密密封沟阀般的气密密封装置。

然而，如果供显示装置用的基板被供应到一制造系统而一阀是受控制关上的话，一个阀片是难以均称地变成与一壳体入口的边缘接触。为此，一个普通的气密密封装置是被构筑来对一运作部份施加过度的压力以变成紧密接触。在这情况中，在一阀片与一壳体入口之间的过度紧密接触会使那些组件受损及变形，导致故障的结果。

发明内容

本发明的目的是提供一种能够藉由气压或液压的使用来驱动阀片的气密密封装置以改进气密密封性能。

本发明的另一目的是提供一种能够独立地驱动用于隔离第一真空室的阀片与用于隔离第二真空室的阀片的气密密封装置。

根据本发明的一个方面，一种气密密封装置包括在一侧具有第一入口和在另一侧具有第二入口的壳体、置于该壳体内部且分别开放与封闭该第一入口和该第二入口的第一阀片和第二阀片、置于该壳体内部的支承面板、设于该支承面板的一侧且水平地移动该第一阀片的第一汽缸单元、置于该支承面板的另一侧且水平地移动该第二阀片的第二汽缸单元、及连接到该支承面板且上下移动该第一阀片和第二阀片的至少一个驱动单元。

该至少一个驱动单元可以包括供应第一汽缸单元气压或者液压的第一驱动单元、及供应第二汽缸单元气压或者液压的第二驱动单元。

该壳体可以具有该第一阀片和第二阀片在里面可上下移动的内部储存空间，该第一入口可以是第一真空室的入口，而该第二入口可以是第二真空室的入口。

要与该第一入口和第二入口成紧密接触的密封组件可以被安装到该第一阀片和第二阀片。

该第一汽缸单元可以包括固定到该支承面板的一侧的第一汽缸本体，和置于该第一汽缸本体内部以线性地移动、把该第一汽缸单元的内部分割成第一空间与第二空间、及连接到该第一阀片的第一可移动组件。

一条把空气供应到第一空间及把空气从第一空间排出的第一管线及一条把空气供应到第二空间及把空气从第二空间排出的第二管线可以形成在该第一汽缸本体内。

该第二汽缸单元可以包括固定到该支承面板的另一侧的第二汽缸本体，和置于该第二汽缸本体内部以线性移动、把该第二汽缸单元的内部分割成第三空间与第四空间、并连接到该第二阀片的第二可移动组件。

一条把空气供应到第三空间及把空气从第三空间排出的第三管线与一条把空气供应到第四空间及把空气从第四空间排出的第四管线可以形成在该第二汽缸本体内。

该至少一个驱动单元中的每一者可以包括：具有被供应有气压的内部空间的本体；置于该本体110内以移动并把该内部空间分割成第一腔室与第二腔室的活塞；连接到该活塞120、从该本体伸出、固定到该支承面板、并且在内部具有第一通道与第二通道的活塞杆130，该第一通道连接到该第一空间而该第二通道连接到该第二空间；及置于该活塞杆内部且在内部具有第三通道与第四通道的导管，该第三通道被设置为能够线性地移动且连接到该第一通道而该第四通道连接到该第二通道。

上盖可以形成在该本体的一侧，下盖可以形成在该本体的另一侧，用于把空气供应到该第二腔室及将空气从该第二腔室排放的第一入气口是可以形成在该上盖，而用于把空气供应到该第一腔室并将空气自该第一腔室排放的第二入气口是可以形成在该下盖。

该活塞杆可以包括形成该第一通道的第一杆，和设置为与该第一杆的外周缘表面分隔一预定间隙且形成该第二通道的第二杆。

该导管可以包括形成该在该导管内部的第三通道的第一管子，和设置为与该第一管子的外周缘表面分隔一预定间隙并形成该第二通道的第二管子。

第二孔可以形成在该第一杆的下端部份，而第三孔可以形成在该第二管子的上端部份。如果该活塞杆被拉出该本体之外的话，该第二孔和该第三孔可以彼此连接。

第一压力传感器可以设置在该第一阀片与该壳体的内表面中的任一者上以测量第一阀片20施加到那里的压力，而第二压力传感器可以设置在该第一阀片与该壳体的内表面中的任一者上以测量第二阀片施加到那里的压力。

该气密密封装置可以还包括一条沿着该支承面板的纵长方向布置的流体管线。在该结构中，该第一汽缸单元与该第二汽缸单元可以连接到该流体管线而该第一阀片与该第二阀片可以由从该流体管线所供应的流体的压力驱动。

根据本发明的另一方面，一个显示装置制造系统可以包括以上所述的气密密封装置。

本发明的效果

根据本发明的实施例，汽缸单元被设置而气压或者液压用来驱动阀片。因此，能够改进气密密封性能。

此外，气压或者液压可以经由不同管线被供应到该第一汽缸单元以供驱动该第一阀片和供应到该第二汽缸单元以供驱动该第二阀片，藉此分开该第一阀片和该第二阀片。

附图说明

图1是描绘根据本发明的一个实施例的显示装置制造系统的结构的示图；

图2是描绘根据本发明的一个实施例的气密密封装置的前示图；

图3是描绘根据本发明的一个实施例的气密密封装置的一侧的横截面图；

图4是描绘根据本发明的一个实施例的气密密封装置的另一侧的横截面图；

图5是描绘根据本发明的一个实施例的阀片的示图；

图6是描绘根据本发明的一个实施例的运作单元的示图；

图7是描绘图6的区域A的放大图；

图8和9是为描绘根据本发明的一个实施例的气密密封装置的运作的状态的横截面图。

具体实施方式

下面将结合显示本发明的范例实施例的附图来更彻底地描述本发明。然而，本发明能够以很多不同的形式实施而不应被受限为这里所陈述的范例实施例。相反，被公布的实施例是被提供来使得该公布将是彻底且完整的，而且会完全把本发明的范围表达给熟知此项技术的人仕。在该等示图中，层与区域的尺寸及相对尺寸为了清楚起见会是夸大的。此外，这里所描述与描绘的每个实施例也包括其互补的传导型实施例。从头到尾相同的标号是用来标示相同的组件。

图1是描绘根据本发明的一个实施例的显示装置制造系统的结构的示图。

请参阅图1所示，根据本发明的一个实施例的显示装置制造系统包括一个负载锁定腔室200、传输腔室300、数个处理腔室400、及设置于该传输腔室300与单个的处理腔室400之间的气密密封装置100。

该负载锁定腔室200是一个有诸如玻璃基板的材料被加载或者卸载的场所，并且具有用于关闭与开启该负载锁定腔室200的一个门阀210和一个闸阀220。该门阀设置在该负载锁定腔室的一侧而该闸阀设置在该负载锁定腔室的另一侧。

该传输腔室300是为一个维持10^-6Torr的高真空的第一真空腔室，在内部包括一个主机械臂轴、一个感应器等等，而且使用连接到该主机械臂轴的机械臂负责在该负载锁定腔室与执行诸如沉积与蚀刻的各种处理的各所述处理腔室400之间的例如基板的传输。

该数个处理腔室400是维持内部处于真空状态且在真空状态下处理材料的第二真空腔室。

该气密密封装置100是设置在该传输腔室300与单个的处理腔室400之间而且执行在该传输腔室300与单个的处理腔室400之间的气密密封操作。

图2是描绘根据本发明的一个实施例的气密密封装置的前视图。图3是描绘根据本发明的一个实施例的气密密封装置的一侧的横截面图。图4是描绘根据本发明的一个实施例的气密密封装置的另一侧的横截面图。

根据本发明的一个实施例的气密密封装置100包括一个壳体10、一个第一阀片20、一个第二阀片30、汽缸单元70和80、及驱动单元40和50。该壳体10设置在该传输腔室300与处理腔室400之间并且具有一个第一入口12和一个第二入口14。该第一阀片20和该第二阀片30设置在该壳体内，该第一阀片20开启与关闭该第一入口12，而该第二阀片30开启与关闭该第二入口14。所述汽缸单元70和80水平地移动该第一阀片20和该第二阀片30以使他们分别与第一和第二入口12和14紧密接触。所述驱动单元40和50使该第一阀片20和该第二阀片30上下移动。

该壳体10具有储存空间16，该第一阀片20和该第二阀片30是储存于该储存空间16内并且可垂直地移动。该第一入口12是形成在该壳体的要连接到该传输腔室300的一侧，而该第二入口14是形成在该壳体的要连接到该处理腔室400的另一侧。

该第一入口12和该第二入口14是彼此面对面设置，而且材料是通过该第一入口12和该第二入口14来被插入与取出。

在该壳体10的一侧，一个密封组件22被安装以使得该第一入口与该传输腔室300紧密接触。在该壳体10的另一侧，一个密封组件24是被安装以使得该第二入口与该处理腔室400紧密接触。

一个支承面板60被设在该壳体10的储存空间16内。该第一阀片20连接到该支承面板60的一侧而该第二阀片30连接到该支承面板60的另一侧。

该第一阀片20是平的而且具有比第一入口12大的面积以覆盖该第一入口12。密封组件26设于该第一阀片20的一侧的边缘上以密封该第一入口12。

该第二阀片30是平的而且具有比第二入口14大的面积以覆盖该第二入口14。密封组件28设于该第二阀片30的一侧的边缘上以密封该第二入口14。

所述汽缸单元70和80由第一汽缸单元70与第二汽缸单元80构成。该第一汽缸单元70是固定到该支承面板60的一侧并且水平地移动该第一阀片20，而该第二汽缸单元80是固定到该支承面板60的另一侧且水平地移动该第二阀片30。

如在图3中所示，该第一汽缸单元70包括第一汽缸本体72和第一可移动组件75。该第一汽缸本体72固定到该支承面板60的一侧并且具有供应有气压的内部空间(74和76)。该第一可移动组件75被设置以线性地移动、把该内部空间分割成第一空间74和一第二空间76、并且是固定到该第一阀片20。

在该第一汽缸本体72中，形成有供第一可移动组件75的突出部份通过的通孔73、连接到该第一空间74的第一管线92、和连接到该第二空间76的第二管线94。此外，第三管线96形成于该支承面板60内以连接到该第一管线92。然而，第一空间74连接到第二管线94而第二空间76连接到第一管线92和该第三管线96的一种结构是有可能的。

密封组件77安装在该第一可移动组件75的外周缘表面上以与内部空间(74,76)的内部表面紧密接触，藉此维持气密状态。密封组件78安装在该通孔73的内表面上以与该第一可移动组件75的外周缘表面紧密接触，藉此维持该内部空间在气密状态。

如在图5中所示，具有与第一汽缸单元70相同的结构的一个或者多个汽缸单元可以沿着该支承面板60的纵长方向设置。在设置有数个第一汽缸单元的情况中，数个第一可移动组件75以预定的间隔固定到该第一阀片20。

此外，至少第一压力感应器210会设置在该第一阀片20或者该壳体10的内表面上以感测第一阀片20施加到壳体的内表面的压力。

下面描述该第一汽缸单元70的操作。当该第一驱动单元40供应气压到该第一空间74时，该第一可移动组件75朝该第一入口移动而据此该第一阀片20朝该第一入口移动。然后，该第一阀片20变成与该壳体的内表面紧密接触，藉此关闭该第一入口12。如果该第一驱动单元40供应气压到该第二空间76的话，该第一可移动组件75朝该支承面板移动。然后，该第一阀片20自该第一入口12分离，藉此开启该第一入口12。

当该第一阀片20与该第一入口12接触时，该第一压力感应器210测量施加的压力并且把一个压力信号提供到控制器。然后，该控制器把来自该第一压力感应器210的压力信号与一个参考值作比较并且控制要供应到第一汽缸单元70的气压。

如图4所示，该第二汽缸单元80包括第二汽缸本体82和第二可移动组件85。该第二汽缸本体82固定到该支承面板60的另一侧且具有供应有气压的内部空间(84和86)。该第二可移动组件85被置放以线性地移动、把该内部空间分割成第三空间84和第四空间86、且固定到该第二阀片30。

在该第二汽缸本体82中，形成有供第二可移动组件85的突出部份通过的通孔83、一条连接到该第一空间84的第四管线32、和一条连接到该第二空间86的第五管线34。此外，一条第六管线36形成于该支承面板60内以连接到该第四管线32。然而，第三空间84连接到第五管线34而第四空间86连接到第四管线32和该第六管线36的一种结构是有可能的。

具有与第二汽缸单元80相同的结构的一个或者多个汽缸单元是可以设置在该支承面板60上。在设置有数个第二汽缸单元的情况中，数个第二可移动组件85以预定间隔固定到该第二阀片30。

此外，至少一个第二压力感应器220可以设置在该第一阀片20或该壳体10的内表面中的任一者上以感测第二阀片30施加到它那里的压力。

该第二汽缸单元80由该第二驱动单元50驱动。然而，该第二驱动单元50是可以被省略。在这情况中，该第二汽缸单元80可以由该第一驱动单元40驱动。该第二汽缸单元80的其它操作实质上与以上所述的第一汽缸单元70相同而因此其描述将会被省略。

所述驱动单元40和50包括第一驱动单元40和第二驱动单元50。该第一驱动单元40连接到该支承面板60的一侧、上下移动该支承面板60、并供应气压到该第一汽缸单元70。该第二驱动单元50连接到该支承面板60的另一侧、上下移动该支承面板60、并且供应气压到该第二汽缸单元80。

如在图6中所示，该第一驱动单元40包括本体110、活塞120、活塞杆130、和导管140。该本体110具有一个被供应有气压的内部。该活塞120置于该本体110内部以致于是可移动并且把该本体的内部分割成第一腔室112和第二腔室114。该活塞杆130连接到该活塞120、从该本体110延伸出来、固定到该支承面板60、并且在内部具有第一通道132和一第二通道134。该第一通道132连接到该第一管线92而该第二通道134连接到该第二管线94。该导管140具有一个第三通道142和一个第四通道144。该第三通道142连接到该第一通道132而该第四通道144连接到该第二通道134。

一个上盖182形成在该本体110的一侧而一个下盖184形成在该本体110的另一侧。通孔116形成于该上盖182而该活塞杆130经由该通孔116可线性地移动。此外，用于把空气供应到该第二腔室114并把空气自该第二腔室114排放的第一空气入口150形成于该上盖182的一侧。

该导管140固定到该下盖184以延伸到外部。用于把空气供应到该第一腔室112并把空气自该第一腔室112排放的第二空气入口152形成于该下盖184。

该第一空气入口150和该第二空气入口152连接到，例如，空气压力机，及分别连接到第一软管154和第二软管156。

如在图7中所示，该活塞120置于该本体110内部以线性地移动而密封组件122安装在该活塞的外周缘表面上以与该本体110的内表面紧密接触。通孔124形成在该活塞120的中央而该导管140通过该通孔。密封组件126安装于该通孔124的内表面上以与该导管140的外周缘表面紧密接触。

该活塞杆130由第一杆136和第二杆138构成。该第一杆136形成该第一通道132而该第二杆138被设置为与该第一杆136的外表面相隔一预定间隙并且形成该第二通道134。在该第一杆136与该第二杆138之间的间隙为该第二通道134而该第一杆136的内部是该第一通道132。

密封组件160设置在该第一杆136与该第二杆之间以密封该第二通道134。第一孔洞162形成在该第二杆138的上侧以连接该第二管线94和该第二通道134，而该第一通道132的上侧连接到该第三管线96。

该导管140由第一管子146和第二管子148构成。该第一管子146形成在该导管内部的第三通道142，而该第二管子148被设置为与该第一管子146的外周缘表面相隔预定间隙并形成该第四通道144。

该第三通道142连接到该第一通道132。此外，第三孔166形成于该第二管子148的上侧而第二孔164是形成在该第一杆136的下侧。该第二孔164和该第三孔166是选择地彼此连接。即，如果该活塞杆130是最大限度地被拉出的话，该第二孔164和该第三孔166彼此连接。

外部空气经由连接到该第一管子的第三软管170来被供应到该第一管子146以及经由连接到该第二管子的第四软管172来被供应到该第二管子148。

除了空气是经由连接到第一通道的第四管线32来供应到该第一通道132或者从该第一通道132排放以及是经由连接到第二通道的第五管线34来供应到该第二通道134或者从该第二通道134排放之外，该第二驱动单元50的结构与以上所述的第一驱动单元40相同。

下面描述如上所述构筑而成的根据实施例的气密密封装置的操作。

首先，如在第3和4图中所示，如果该第一阀片20和该第二阀片30位于该储存空间16的下侧的话，该第一入口12和该第二入口14被开启。

在这状态中，为了关闭该第一入口12和该第二入口14，该第一驱动单元40和该第二驱动单元50被驱动以把该第一阀片20和该第二阀片30向上移动以致于该第一阀片20面对该第一入口12而该第二阀片30面对该第二入口14。

具体地，如果空气是供应到该第一驱动单元40的第一腔室112的话，该活塞120由于空气的压力而向上移动而因此该活塞杆130被拉出该本体110。然后，设于该活塞杆130的末端部份的支承面板60线性地移动，而因此固定到该支承面板60的两侧的该第一阀片20与该第二阀片30向上移动以分别面对该第一入口12和该第二入口14。

在这状态中，该第一入口12和该第二入口14会被关闭。即，如果空气是供应到该第一驱动单元40的话，该第一汽缸单元70被驱动而该第一阀片20关闭该第一入口12。如果空气是供应到该第二驱动单元50的话，该第二汽缸单元80被驱动而该第二阀片30关闭该第二入口14。

下面详细地作描述第一阀片20关闭第一入口12的过程。如在图9中所示，外部空气供应到该第一管子146的第三通道142。然后，空气流到第一杆136的连接至第三通道142的第一通道132，并且经由第一汽缸本体72的连接至第一通道132的第一管线92来供应到该第一空间74。然后，该第一可移动组件75朝该第一入口移动而据此固定到该第一可移动组件75的第一阀片20朝该第一入口移动。然后，该第一阀片20与该第一入口12紧密接触。

这时，在该第二空间76内部的空气经由该第一汽缸单元70的第二管线94、该第二杆138的第二通道134、和该第二管子148的第四通道144来排放到外部。

当该第一阀片20与该第一入口12紧密接触时，该第一压力感应器210测量第一阀片20施加到该第一入口12的压力并且把压力信号供应到该控制器。然后，该控制器把来自第一压力感应器210的压力信号与一设定值作比较并且控制供应到第二汽缸单元80的空气的压力。

因此，该第一阀片20通过适当压力与该第一入口12成紧密接触。结果，要把第一阀片20的故障与损坏减至最小程度是有可能的。

如果气压是供应到该第二汽缸单元80的话，该第二阀片30关闭该第二入口14。在这里，该第二汽缸单元80的运作与该把气压供应到第二汽缸单元80的第二驱动单元50的运作是与以上所述的有关于第一阀片20的驱动的那些相同而因此其描述将会被省略。

在所述附图与说明书中，本发明的实施例业已作描述而且，虽然特定的名词被使用，他们仅是通称与描述用途而已，并非作为限制，本发明的范围是在后面的权利要求中作陈述。例如，在没有离开本发明的意旨的下，该控制电路的结构或者该内部连接结构是可以作变化的。

Claims

1.一种气密密封装置，包含：

壳体，该壳体在一侧具有第一入口而在另一侧具有第二入口；

置于该壳体内部且分别开启与关闭第一入口和第二入口的第一阀片和第二阀片；

置于该壳体内部的支承面板；

设于该支承面板的一侧且水平地移动该第一阀片的第一汽缸单元；

设于该支承面板的另一侧且水平地移动该第二阀片的第二汽缸单元；及

连接到该支承面板且垂直地移动该第一阀片和该第二阀片的至少一个驱动单元，

其中，该第一汽缸单元包含：

固定到该支承面板的一侧的第一汽缸本体；及

第一可移动组件，该第一可移动组件置于该第一汽缸本体内部以线性地移动、把该第一汽缸单元的内部分割成第一空间和第二空间、且连接到该第一阀片。

2.如权利要求1所述的气密密封装置，其中，该至少一个驱动单元包含：

供应气压或者液压到该第一汽缸单元的第一驱动单元；及

供应气压或者液压到该第二汽缸单元的第二驱动单元。

3.如权利要求1所述的气密密封装置，其中：

该壳体具有内部储存空间，该第一阀片与该第二阀片在该储存空间可垂直地移动，

该第一入口是进入连接在所述壳体的一侧的第一真空腔室的入口，及

该第二入口是进入连接在所述壳体的另一侧的第二真空腔室的入口。

4.如权利要求1所述的气密密封装置，其中，与第一入口和第二入口成紧密接触的密封组件安装到该第一阀片和该第二阀片。

5.如权利要求1所述的气密密封装置，其中，一条把空气供应到该第一空间及从该第一空间排放空气的第一管线以及一条把空气供应到该第二空间及从该第二空间排放空气的第二管线形成在该第一汽缸本体中。

6.如权利要求5所述的气密密封装置，其中，该第二汽缸单元包含：

固定到该支承面板的另一侧的第二汽缸本体；及

第二可移动组件，该第二可移动组件是置于该第二汽缸本体内部以线性地移动、把该第二汽缸单元的内部分割成第三空间和第四空间、且连接到该第二阀片。

7.如权利要求6所述的气密密封装置，其中，一条把空气供应到该第三空间及从该第三空间排放空气的第三管线以及一条把空气供应到该第四空间及从该第四空间排放空气的第四管线形成在该第二汽缸本体中。

8.如权利要求1所述的气密密封装置，其中，该至少一个驱动单元中的每一个包含：

具有内部空间的本体，气压是供应到该内部空间；

活塞，该活塞是置于该本体内部并可移动，并且把该内部空间分割成第一腔室和第二腔室；

活塞杆，该活塞杆连接到该活塞、被拉出该本体、固定到该支承面板、并且在内部具有第一通道和第二通道，该第一通道连接到该第一空间而该第二通道连接到该第二空间；及

置于该活塞杆内部的导管，且该导管内部具有第三通道和一个第四通道，该第三通道连接到该第一通道而该第四通道是连接到该第二通道。

9.如权利要求8所述的气密密封装置，其中，上盖形成在该本体的一侧，下盖形成在该本体的另一侧，把空气供应到该第二腔室并把空气从该第二腔室排放的第一空气入口形成在该上盖中，而把空气供应到该第一腔室并把空气从该第一腔室排放的第二空气入口形成在该下盖中。

10.如权利要求8所述的气密密封装置，其中，该活塞杆包含：

形成该第一通道的第一杆；及

被设置为与该第一杆的外周缘表面相隔一预定间隙且形成该第二通道的第二杆。

11.如权利要求8所述的气密密封装置，其中，该导管包含：

形成该导管内部的第三通道的第一管子；及

被设置为与该第一管子的外周缘表面相隔一预定间隙且形成该第四通道的第二管子。

12.如权利要求11所述的气密密封装置，其中：

第二孔形成在该第一杆的下端部份，

第三孔形成在该第二管子的上端部份，及

如果该活塞杆被拉出该本体之外的话，该第二孔洞和该第三孔洞彼此连接。

13.一种气密密封装置，包含：

置于该壳体内部的支承面板；

其中，第一压力感应器设置在该第一阀片与该壳体的内表面中的任一者上以测量该第一阀片施加到那里的压力，而第二压力感应器设置在该第一阀片与该壳体的内表面中的任一者上以测量该第二阀片施加到那里的压力。

14.一种气密密封装置，包含：

置于该壳体内部的支承面板；

沿着该支承面板的纵长方向设置的流体管线，

其中，该第一汽缸单元与该第二汽缸单元连接到该流体管线且该第一阀片和该第二阀片由从该流体管线供应的流体的压力驱动。

15.一种包括权利要求1至14中的任何一项所述的气密密封装置的显示装置制造系统。