KR101573789B1 - 도어밸브 - Google Patents

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KR101573789B1
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sealing plate
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박노선
조창제
김수철
김대호
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우리마이크론(주)
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Abstract

본 발명에 따른 도어밸브는 챔버의 개구를 개폐 및 밀폐하는 도어밸브에 있어서, 상기 챔버의 상기 개구를 개폐 및 밀폐하도록 상기 개구보다 상대적으로 넓은 면적을 갖는 밀폐판, 상기 챔버와 대면하는 상기 밀폐판의 일면에 상기 밀폐판의 테두리부를 따라 구비되어 공기의 유동에 의해 팽창 및 수축하여 상기 챔버의 상기 개구를 밀폐하는 에어튜브를 포함하는 밀폐부 및 상기 밀폐판이 상기 챔버의 상기 개구를 개폐할 수 있도록 구동시키는 구동부를 포함한다.

Description

도어밸브{Door Valve}
본 발명은 도어밸브에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 챔버의 개구를 밀폐하기 위한 밀폐판이 챔버의 개구를 밀폐 또는 개방시키기 위하여 이송되는 동안에는 에어튜브의 내부 공기가 배출되어 수축된 상태로 밀폐판이 이송됨으로써 에어튜브가 마찰되는 것을 방지하고, 밀폐판이 폐쇄된 상태에서 에어튜브의 내부로 공기를 주입하여 에어튜브를 팽창함으로써 챔버의 개구를 완벽하게 밀폐할 수 있는 도어밸브에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자 등을 제조하기 위한 진공 처리 장치는 이송 챔버라고 명명된 중앙 챔버를 포함한다. 이러한 이송 챔버는 하나의 공정 챔버 또는 로드 록 챔버(Load Lock Chamber)로부터 다음 공정단계로 반도체 소자 등을 전달하기 위한 장치이다.
또한, 진공 처리 장치는 소형 환경부(mini-Environment)와 같은 임의의 종류의 하위 장치(Subsystem)를 포함하는데, 소형 환경부는 로드록 및 다른 챔버로 반도체 소자 등을 제공하고, 처리를 위한 다음 장치로 반도체 소자 등을 보내기 위하여 반도체 소자 등을 역으로 모으기 위한 것이다.
이송 챔버와 처리 챔버와 같은 진공챔버는 2개의 챔버 중 적어도 어느 하나에 도어밸브가 설치된다. 도어밸브는 2 개의 진공챔버 사이에 물리적인 출입을 제공하는 개구와 대응되는 개구가 형성된다. 이러한 도어밸브는 개방되었을 때, 이송 챔버 내의 반도체 소자 등을 진공챔버로 유입 또는 유출 시키게 된다.
이와 같이, 반도체 소자 등을 유입 또는 유출 시킨 후에는 도어밸브를 이용하여 각각의 챔버를 밀폐시킨다. 이때, 도어밸브는 2개의 챔버 사이의 차압으로 인하여 가스 등이 누설되지 않도록 기밀을 형성하여야 한다.
일반적으로 도어밸브는 금속으로 제조된다. 이와 같이, 금속으로 제조된 도어밸브는 금속 챔버와 금속 대 금속 접촉으로 매우 유용한 기밀효과를 제공할 수 있지만, 금속 대 금속의 접촉은 마찰에 의한 초소형 입자를 생성할 수 있다. 이러한 초소형 금속입자는 챔버 내의 반도체 소자 등을 오염시킬 수 있는 문제점이 있다.
이러한 오염을 감소시키기 이하여 도어밸브와 챔버의 마찰지점에는 O-링을 구비하여 초소형 금속입자의 발생을 억제하며, O-링의 압착력을 이용하여 보다 양호한 밀폐효과를 얻을 수 있다.
하지만, 도어밸브는 고정된 상태로 유지되지 않고, 챔버의 개구를 개폐시키기 위하여 반복적으로 구동하게 되어 O-링 역시 마찰에 의한 마모가 발생하고, 이로 인한 초소형 입자가 발생하게 된다. 또한, O-링의 마모에 의해 도어밸브의 장기간 사용 시 밀폐효율이 감소하는 문제점이 있다.
이로 인해, O-링의 마모 정도를 수시로 체크해야 하며, 주기적으로 O-링을 교체해야 하는 번거로움 및 O-링 교체에 의한 비용이 소모되는 문제점이 있다.
본 발명은 종래의 문제를 해결하기 위한 것으로서, 챔버의 개구를 밀폐하기 위한 밀폐판이 챔버의 개구를 밀폐 또는 개방시키기 위하여 이송되는 동안에는 에어튜브의 내부 공기가 배출되어 수축된 상태로 밀폐판이 이송됨으로써 에어튜브가 마찰되는 것을 방지하고, 밀폐판이 폐쇄된 상태에서 에어튜브의 내부로 공기를 주입하여 에어튜브를 팽창함으로써 챔버의 개구를 완벽하게 밀폐할 수 있는 도어밸브를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명의 목적은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위한 도어밸브는 챔버의 개구를 개폐 및 밀폐하는 도어밸브에 있어서, 상기 챔버의 상기 개구를 개폐 및 밀폐하도록 상기 개구보다 상대적으로 넓은 면적을 갖는 밀폐판, 상기 챔버와 대면하는 상기 밀폐판의 일면에 상기 밀폐판의 테두리부를 따라 구비되어 공기의 유동에 의해 팽창 및 수축하여 상기 챔버의 상기 개구를 밀폐하는 에어튜브를 포함하는 밀폐부 및 상기 밀폐판이 상기 챔버의 상기 개구를 개폐할 수 있도록 구동시키는 구동부를 포함한다.
이때, 상기 밀폐부는, 상기 에어튜브가 삽입되어 고정될 수 있도록 상기 밀폐판의 테두리부를 따라 구비되는 고정부를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 고정부는 상기 밀폐판의 테두리부를 따라 형성되는 삽입홈일 수 있다.
또한, 상기 밀폐판의 일측에 상기 에어튜브와 연결되도록 구비되어 상기 밀폐부의 에어튜브의 공기 주입량 및 배출량을 제어하는 에어제어밸브를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 에어제어밸브의 일측과 연결되는 공기주입장치가 더 구비될 수 있다.
또한, 상기 밀폐판의 이동을 가이드 및 제한하는 가이드프레임이 더 구비될 수 있다.
또한, 상기 가이드프레임의 내면에는 상기 밀폐판의 이송을 가이드하는 가이드홈이 형성될 수 있다.
또한, 상기 가이드프레임의 일측에는 상기 밀폐판의 이송 및 상기 에어튜브의 팽창에 의해 상기 밀폐판이 상기 챔버의 일면과 이격되는 것을 방지하기 위한 고정돌기가 더 구비될 수 있다.
또한, 상기 밀폐판의 일측에는 상기 고정돌기와 대응되는 체결부가 더 구비될 수 있다.
또한, 상기 에어튜브가 구비된 상기 밀폐부의 일면과 대응되는 상기 밀폐판의 일면에는 베이스판이 더 구비될 수 있다.
또한, 상기 밀폐판의 폐쇄방향 타측 종단과 대응되는 상기 베이스판의 일측에는 상기 밀폐판의 이송 및 상기 에어튜브의 팽창에 의해 상기 밀폐판이 상기 챔버의 일면과 이격되는 것을 방지하기 위한 고정돌기가 더 구비될 수 있다.
상기 밀폐판의 일측에는 상기 고정돌기와 대응되는 체결부가 더 구비될 수 있다.
본 발명의 도어밸브는 다음과 같은 효과가 있다.
첫째, 챔버의 개구를 개폐하기 위한 밀폐판의 구동 시 에어튜브가 수축된 상태로 이송됨에 따라 에어튜브가 챔버의 일면과 이격된 상태로 구동되어 에어튜브에 마찰이 발생하지 않음으로써 마찰에 의한 에어튜브의 마모가 발생하지 않는 효과가 있다.
둘째, 밀폐판의 폐쇄 완료 후 에어튜브로 공기를 주입하여 에어튜브를 팽창시킴으로써 챔버의 개구를 용이하게 밀폐시킬 수 있는 효과가 있다.
셋째, 밀폐판의 이송을 위하여 고정이 되지 않는 일면을 고정돌기 및 체결부를 통해 체결함으로써, 에어튜브의 팽창 시 밀폐판이 밀려나는 부분이 없이 안정적으로 챔버의 개구를 밀폐시킬 수 있는 효과가 있다.
넷째, 에어제어밸브를 통해 에어튜브의 공기 주입량 및 배출량을 제어할 수 있으므로 에어튜브를 안정적으로 팽창 및 수축시킬 수 있는 효과가 있다.
다섯째, 에어튜브의 마모가 발생하지 않기 때문에 에어튜브의 교체 없이 반영구적으로 사용이 가능한 효과가 있다.
본 발명의 효과들은 상기 언급한 효과에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 명세서에서 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 것이며, 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석되어서는 아니 된다.
도 1은 본 발명에 따른 도어밸브의 사시도;
도 2는 본 발명에 따른 도어밸브의 다른 방향을 나타내는 사시도;
도 3은 본 발명에 따른 도어밸브의 분해사시도;
도 4는 도 2의 A-A단면도;
도 5는 본 발명에 따른 도어밸브의 작동상태를 나타내는 작동상태도;
도 6은 본 발명에 따른 에어튜브에 공기가 주입되기 전 상태를 나타내는 단면도; 및
도 7은 본 발명에 따른 에어튜브에 공기가 주입되는 상태를 나타내는 단면도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.
도어밸브의 구성
도 1은 본 발명에 따른 도어밸브의 사시도이고, 도 2는 본 발명에 따른 도어밸브의 다른 방향을 나타내는 사시도이고, 도 3은 본 발명에 따른 도어밸브의 분해사시도이다. 본 발명에 따른 도어밸브(10)는 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 크게 가이드프레임(500), 밀폐판(100), 밀폐부(200), 에어제어밸브(300), 구동부(400) 및 베이스판(600)으로 구성된다.
가이드프레임(500)은 챔버의 개구를 개폐하기 위한 밀폐판(100)이 안정적으로 개폐할 수 있도록 밀폐판(100)을 가이드하고, 밀폐판(100)의 움직임을 제한하여 밀폐판(100)이 챔버의 개구를 정확하게 밀폐할 수 있도록 정 위치에 폐쇄되도록 하는 장치이다. 이러한 목적을 달성할 수 있는 것이라면 어떠한 형상으로 이루어져도 무방하다.
일실시예로, 가이드프레임(500)은 챔버의 개구를 개폐하기 위한 밀폐판(100)의 진행방향과 대응되는 밀폐판(100)의 양측면을 가이드할 수 있도록 상호 이격된 한 쌍의 막대 형상으로 이루어질 수 있다. 이때, 가이드프레임(500)의 내측에는 밀폐판(100)이 이송 시 흔들림을 억제하고 용이하게 이송될 수 있도록 가이드 하기 위한 가이드홈(510)이 형성될 수 있다.
또한, 가이드프레임(500)의 일측에는 밀폐판(100)이 챔버의 개구와 대응되는 위치에 정확하게 위치할 수 있도록 밀폐판(100)의 이송을 제한하는 스토퍼가 더 구비될 수 있다. 이때, 스토퍼는 밀폐판(100)의 일측에 구비되는 별도의 부재 또는 가이드홈(510)의 길이를 조절하여 밀폐판(100)의 이송을 제한 할 수 있다. 하지만, 바람직하게는 도 3에 도시된 바와 같이, 가이드프레임(500)을 ‘ㄷ’자 형상으로 형성하여 밀폐판(100)의 움직임을 제한하는 것이 좋다. 이와 같이, 가이드프레임(500)을 ‘ㄷ’자 형상으로 형성하면 밀폐판(100)의 이송방향과 대응되는 양측면에 구비된 부재에서 밀폐판(100)의 이송을 지지하고, 밀폐판(100)의 이송방향 끝단에 구비된 부재가 밀폐판(100)의 이송을 제한한다. 이때, ‘ㄷ’자 형상으로 이루어진 가이드프레임(500)의 내면에는 전체적으로 가이드홈(510)이 형성되는 것이 바람직하다.
사용양태에 따라서 가이드프레임(500)은 ‘ㄷ’자 형상뿐만 아니라 밀폐판(100)의 이송방향과 대응되는 양측면에 구비되는 부재의 길이가 밀폐판(100)이 완전 밀폐 및 개방이 가능한 길이로 형성하여 전체적으로 직사각형상으로 이루어지도록 할 수 있다. 전술한 가이드프레임(500)의 형상은 일실시예를 나타내는 것일 뿐 그 형상을 한정하는 것은 아니다.
밀폐판(100)은 가이드프레임(500)의 가이드홈(510)에 슬라이드 이동 가능하게 결합되어 가이드프레임(500)의 가이드홈(510)을 따라 슬라이드 이동하며 챔버의 개구를 개폐하는 장치이다. 이러한 밀폐판(100)은 판형상 부재로 이루어지되, 전체적인 형상은 챔버의 개구와 대응되는 형상으로 이루어진다. 이때, 밀폐판(100)은 챔버의 개구와 비교하여 상대적으로 넓은 면적을 갖는 것이 바람직하다.
밀폐판(100)의 일측에는 챔버의 개구를 밀폐하기 위하여 밀폐부(200)의 에어튜브(210)를 팽창하는 경우 가이드프레임(500)에 의해 고정되지 않는 밀폐판(100)의 일측을 고정하기 위한 체결부(720)가 구비된다. 이러한 체결부(720)는 후술하는 고정돌기(710)와 체결되어 밀폐판(100)의 움직임을 제한하는 동시에 에어튜브(210)의 확장 시 밀폐판(100)의 일측이 밀리는 것을 방지하는 것이다.
전술한 구성으로 이루어진 밀폐판(100)은 ‘ㄷ’자 형상의 가이드프레임(500)에 의해 3면은 고정된 상태를 유지하지만, 밀폐판(100)의 폐쇄방향과 대향되는 일면은 밀폐판(100)의 이송을 위해 개방된 가이드프레임(500)의 형상에 의해 가이드프레임(500)에 고정되지 못한 상태가 된다. 이러한 상태에서 에어튜브(210)가 급속 팽창하는 경우 가이드프레임(500)과 고정되지 못한 밀폐판(100)의 일측이 에어튜브(210)의 팽창에 의해 밀려 챔버의 개구의 밀폐가 용이하지 못할 수 있다. 하지만, 밀폐판(100)의 일측, 바람직하게는 ‘ㄷ’자 형상의 가이드프레임(500)의 개방된 일면과 대응되는 밀폐판(100)의 일측 종단부에 체결부(720)가 형성되어 있기 때문에 이러한 체결부(720)가 밀폐판(100)의 밀폐 시 이와 대응되는 위치에 구비된 고정부(220)에 걸림으로써 밀폐판(100)이 밀리는 것을 방지하고, 챔버의 개구를 보다 용이하게 밀폐할 수 있다.
밀폐부(200)는 밀폐판(100)의 일면, 바람직하게는 챔버와 대면하는 밀폐부(200)의 일면에 구비되어 챔버의 개구를 밀폐하는 장치이다. 이러한 밀폐부(200)는 밀폐판(100)의 이송 시 챔버의 일면과 마찰되어 밀폐부(200)가 마모되는 것을 방지하고, 밀폐판(100)이 폐쇄된 이후에는 챔버의 개구를 신속하게 밀폐하기 위한 에어튜브(210) 및 에어튜브(210)를 고정하기 위한 고정부(220)로 구성된다.
고정부(220)는 챔버와 대면하는 밀폐판(100)의 일면에 에어튜브(210)가 챔버의 개구를 밀폐할 수 있도록 밀폐판(100)의 테두리부를 따라 구비된다. 이와 같이, 밀폐판(100)의 테두리부를 따라 폐루프를 형성하는 고정부(220)는 챔버의 개구보다 상대적으로 넓은 면적을 갖도록 구비되는 것이 바람직하다. 이러한 고정부(220)는 도 1 및 도 3에 도시된 바와 같이, 에어튜브(210)가 삽입될 수 있는 삽입홈이 형성된 사각 링 형상의 별도의 부재로 구성될 수 있으며, 사용양태에 따라서는 밀폐판(100)의 일면에 삽입홈을 음각으로 형성하여 고정부(220)로 사용할 수도 있다.
에어튜브(210)는 고정부(220)에 형성된 삽입홈에 삽입되어 고정되도록 구비된다. 이러한 에어튜브(210)는 밀폐판(100)이 챔버의 개구를 개폐하기 위하여 이송하는 중에는 내부의 공기(a)가 배출되어 수축된 상태로 고정부(220)의 삽입홈에 삽입된 상태로 대기한다. 이후 사용양태에 따라 챔버의 개구를 밀폐해야 하는 경우에는 내부로 주입되는 공기(a)에 의해 신속하게 팽창하여 챔버의 개구를 밀폐한다. 이와 같이, 사용양태에 따라 선택적으로 수축 및 팽창이 이루어짐에 따라 종래의 O-링과 같이 밀폐판(100)의 이송에 따라 챔버의 일면과 마찰이 발생하지 않아, 마모가 발생하지 않으며 이로 인해 마모에 인한 챔버 내부에 이물질을 발생시키지 않는다.
도 4는 도 2의 A-A단면도이다. 에어제어밸브(300)는 도 4에 도시된 바와 같이, 밀폐판(100)의 일측에 에어튜브(210)와 연결되도록 구비되어 에어튜브(210) 내부의 공기(a) 주입 및 배출량을 제어하는 장치이다. 이러한 에어제어밸브(300)는 외부에서 유입되는 공기(a)를 에어튜브(210) 내부로 주입 후 별도의 제어가 있기 전까지는 공기(a)가 에어튜브(210) 외부로 유출되는 것을 방지하고, 공기(a) 배출 지시가 발생하는 경우에는 에어튜브(210) 내부의 공기(a)를 외부로 배출 후 외부의 공기(a)가 에어튜브(210) 내부로 유입되지 않도록 하는 장치이다. 이와 같은 목적을 달성할 수 있는 것이라면 어떠한 밸브장치를 사용하여도 무방하다.
공기주입장치(미도시)는 도어밸브(10)의 일측 또는 도어밸브(10)의 외부 일측에 별도의 장치로 구비되어 에어제어밸브(300)의 연결부(310)와 호스 등을 통해 연결되어 에어튜브(210) 내부로 공기(a)를 주입하는 장치이다.
구동부(400)는 가이드프레임(500)의 일측에 구비되어 밀폐판(100)을 가이드프레임(500)을 따라 챔버의 개구를 개폐시킬 수 있도록 구동시키는 장치이다. 이러한 구동부(400)는 밀폐판(100)을 구동시켜 챔버의 개구를 개폐시킬 수 있는 장치라면 어떠한 장치를 사용하여도 무방하다. 하지만, 바람직하게는 리니어액추에이터 또는 모터를 사용하는 것이 좋으며, 보다 바람직하게는 리니어액추에이터를 사용하는 것이 좋다.
베이스판(600)은 가이드프레임(500) 등의 전술한 구성들을 챔버의 개구가 형성된 일면에 용이하게 결합할 수 있도록 하는 장치이다. 이러한 베이스판(600)은 챔버의 개구가 형성된 일면과 대응되는 판 형상부재로 이루어지고, 중심 일측에는 챔버의 개구와 대응되는 관통공이 형성된다. 이러한 베이스판(600)은 밀폐판(100) 및 개구가 형성된 챔버의 일면 사이에 가이드프레임(500)과 결합되도록 구비된다.
이때, 챔버와 대면하는 베이스판(600)의 일면에는 베이스판(600)의 결합 시 결합면에서 발생하는 공기(a)의 유출 등을 방지하기 위하여 O-링 또는 실링부재 등이 더 구비될 수 있다.
또한, 베이스판(600)의 일측 종단부에는 밀폐판(100)의 이동을 제한하고, 밀폐판(100)이 에어튜브(210)의 팽창에 의해 밀려나는 것을 방지하기 위한 고정돌기(710)가 구비된다. 이러한 고정돌기(710)는 밀폐판(100)의 폐쇄방향과 대향되는 타측 종단부, 즉, ‘ㄷ’자 형상의 가이드프레임(500)의 개방된 일면과 대응되는 밀폐판(100)의 일측 종단부에 형성되는 체결부(720)와 대응되는 위치에 구비된다.
본 발명에서는 고정돌기(710)가 베이스판(600)의 일측에 구비되는 것을 중심으로 설명하고 있으나, 사용양태에 따라서는 베이스판(600)이 아닌 가이드프레임(500)의 일측에 구비되어 밀폐판(100)의 체결부(720)와 결합되도록 구성될 수 있다.
도어밸브의 사용양태
도 5는 본 발명에 따른 도어밸브의 작동상태를 나타내는 작동상태도이다. 전술한 구성으로 이루어진 도어밸브(10)는 도 5에 도시된 바와 같이, 구동부(400)를 통해 밀폐판(100)이 일방향으로 이송되며 챔버의 개구를 밀폐한다. 이를 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다.
먼저, 전술한 구성으로 이루어진 도어밸브(10)를 반도체 소자 등이 출입하기 위한 챔버의 개구가 형성된 일면에 챔버의 개구와 대응되도록 부착한다. 이때, 챔버의 일면과 대면하는 베이스판(600)의 일면에는 밀폐를 위한 O-링 또는 실링부재를 이용하여 도어밸브(10)의 설치 시 공기가 유출되지 않도록 한다.
일반적으로는 도어밸브(10)가 개방된 상태를 유지하고, 반도체 소자 등이 챔버 내부로 유입되어 챔버 내부를 밀폐해야 하는 경우에 도어밸브(10)의 밀폐판(100)을 이송시켜 챔버의 개구를 폐쇄 후 밀폐한다.
도 6은 본 발명에 따른 에어튜브에 공기가 주입되기 전 상태를 나타내는 단면도이다. 이때, 밀폐판(100)이 챔버의 개구를 개폐하기 위하여 이송하는 경우에는 도 6에 도시된 바와 같이, 밀폐부(200)의 에어튜브(210)에는 공기(a)가 주입되지 않은, 즉, 에어튜브(210)가 수축된 상태로 밀폐판(100)이 이송된다. 이와 같이, 에어튜브(210)가 수축된 상태로 밀폐판(100)이 이송되기 때문에 종래의 밀폐를 위한 O-링과 달리 밀폐판(100)의 이송 시 에어튜브(210)가 챔버의 일면 또는 베이스판(600)과 밀착되어 마찰이 발생하지 않기 때문에 이로 인한 분진 등이 발생하지 않는다.
종래의 밀폐판(100)을 실링하기 위해 사용되는 O-링은 밀폐판(100)의 이송 시 챔버의 일면과 밀착되어 이동함에 따른 마찰에 의해 O-링에 마모가 발생하며, 이로 인해 O-링의 마모에 의해 O-링의 분쇄가루 등과 같은 분진이 발생하고, 장기간 사용 시 O-링의 마모로 인해 실링 효율이 감소하는 문제점이 있다.
하지만, 본 출원발명에 따른 도어밸브(10)는 밀폐판(100)의 이송 시에는 에어튜브(210)가 수축된 상태로 고정부(220)의 고정홈 내부에 삽입되어 밀폐판(100)의 일면과 챔버의 일면 또는 밀폐판(100)의 일면과 베이스판(600)이 상호 이격된 상태로 이송하기 때문에 밀폐판(100)의 이송 중에는 어떠한 마찰로 발생하지 않는다.
도 7은 본 발명에 따른 에어튜브에 공기가 주입되는 상태를 나타내는 단면도이다. 이후, 밀폐판(100)의 이송이 완료되면 도 7에 도시된 바와 같이, 공기주입장치에서 주입되는 공기(a)가 에어제어밸브(300)를 통해 에어튜브(210)로 유입되어 에어튜브(210)를 팽창시키면서 챔버의 개구를 밀폐하게 된다. 이때, 밀폐판(100)은 가이드프레임(500)의 일면 및 도 7에 도시된 바와 같이, 베이스판(600)의 고정돌기(710) 및 밀폐판(100)의 체결부(720)에 의해 이송이 제한됨에 따라 항상 정확한 위치에 배치되어 챔버의 개구를 정확하게 폐쇄할 수 있다.
이와 같이, 밀폐판(100)이 정확한 폐쇄 위치에 배치되면 밀폐부(200)는 챔버의 개구의 주변부위를 감싸도록 배치된다. 이러한 상태에서 공기주입장치에서 공기(a)를 주입하게 되면 공기(a)는 에어제어밸브(300)를 통해 에어튜브(210) 내부로 주입되며 에어튜브(210)를 팽창시키며 챔버의 개구를 밀폐한다.
이때, 밀폐판(100)의 3면은 가이드프레임(500)의 가이드홈(510)에 삽입된 상태로 고정되며, 가이드프레임(500)에 의해 고정되지 않는 일면은 베이스판(600)의 고정돌기(710) 및 밀폐판(100)의 체결부(720)에 의해 고정된다. 이와 같이, 4면이 전체적으로 고정됨에 따라 에어튜브(210)가 급속하게 팽창되더라도 밀폐판(100)은 챔버와 타측방향으로 밀려나지 않으며, 밀폐판(100) 및 에어튜브(210)를 통해 챔버의 개구는 안정적으로 밀폐된다.
이후, 밀폐판(100)을 개방시키는 경우에는 전술한 과정의 역순으로 에어제어밸브(300)를 통해 에어튜브(210) 내부의 공기(a)를 배출하여 에어튜브(210)를 수축시킨 상태에서 구동부(400)를 구동시켜 밀폐판(100)을 개방시킨다. 이와 같이, 밀폐판(100)의 개방 시에도 에어튜브(210)는 수축된 상태로 개방됨에 따라 에어튜브(210)에 마찰이 발생하지 않고 밀폐판(100)을 용이하게 개방시킬 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 상술한 실시예들은 모든 면에 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
10 : 도어밸브
100 : 밀폐판
200 : 밀폐부
210 : 에어튜브
220 : 고정부
300 : 에어제어밸브
310 : 연결부
400 : 구동부
500 : 가이드프레임
510 : 가이드홈
600 : 베이스판
710 : 고정돌기
720 : 체결부
a : 공기

Claims (12)

  1. 챔버의 개구를 개폐 및 밀폐하는 도어밸브에 있어서,
    상기 챔버의 상기 개구를 개폐 및 밀폐하도록 상기 개구보다 상대적으로 넓은 면적을 갖는 밀폐판;
    상기 챔버와 대면하는 상기 밀폐판의 일면에 상기 밀폐판의 테두리부를 따라 구비되어 공기의 유동에 의해 팽창 및 수축하여 상기 챔버의 상기 개구를 밀폐하는 에어튜브를 포함하는 밀폐부; 및
    상기 밀폐판이 상기 챔버의 상기 개구를 개폐할 수 있도록 구동시키는 구동부를 포함하고,
    상기 밀폐판의 일측에 상기 에어튜브와 연결되도록 구비되어 상기 밀폐부의 에어튜브의 공기 주입량 및 배출량을 제어하는 에어제어밸브를 더 포함하는 도어밸브.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 밀폐부는,
    상기 에어튜브가 삽입되어 고정될 수 있도록 상기 밀폐판의 테두리부를 따라 구비되는 고정부를 더 포함하는 도어밸브.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 고정부는 상기 밀폐판의 테두리부를 따라 형성되는 삽입홈인 도어밸브.
  4. 삭제
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 에어제어밸브의 일측과 연결되는 공기주입장치가 더 구비되는 도어밸브.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 밀폐판의 이동을 가이드 및 제한하는 가이드프레임이 더 구비되는 도어밸브.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 가이드프레임의 내면에는 상기 밀폐판의 이송을 가이드하는 가이드홈이 형성되는 도어밸브.
  8. 제 6항에 있어서,
    상기 가이드프레임의 일측에는 상기 밀폐판의 이송 및 상기 에어튜브의 팽창에 의해 상기 밀폐판이 상기 챔버의 일면과 이격되는 것을 방지하기 위한 고정돌기가 더 구비되는 도어밸브.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 밀폐판의 일측에는 상기 고정돌기와 대응되는 체결부가 더 구비되는 도어밸브.
  10. 제 1항에 있어서,
    상기 에어튜브가 구비된 상기 밀폐부의 일면과 대응되는 상기 밀폐판의 일면에는 베이스판이 더 구비되는 도어밸브.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 밀폐판의 폐쇄방향 타측 종단과 대응되는 상기 베이스판의 일측에는 상기 밀폐판의 이송 및 상기 에어튜브의 팽창에 의해 상기 밀폐판이 상기 챔버의 일면과 이격되는 것을 방지하기 위한 고정돌기가 더 구비되는 도어밸브.
  12. 제 11항에 있어서,
    상기 밀폐판의 일측에는 상기 고정돌기와 대응되는 체결부가 더 구비되는 도어밸브.
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