KR102154773B1 - 대면적 도어 장치 및 기판 처리 설비 - Google Patents

대면적 도어 장치 및 기판 처리 설비 Download PDF

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KR102154773B1 KR1020190120737A KR20190120737A KR102154773B1 KR 102154773 B1 KR102154773 B1 KR 102154773B1 KR 1020190120737 A KR1020190120737 A KR 1020190120737A KR 20190120737 A KR20190120737 A KR 20190120737A KR 102154773 B1 KR102154773 B1 KR 102154773B1
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Abstract

본 발명은, 챔버의 개구부 내부에 위치할 수 있고, 개구부의 관통 방향과 교차하는 방향으로 개구부의 내측벽과의 사이에 간극을 형성할 수 있는 도어부, 및 도어부와 개구부의 내측벽 사이에서 간극을 밀봉할 수 있도록 교차하는 방향으로 팽창 가능한 밀봉부를 포함하는 대면적 도어 장치와, 이를 구비하는 기판 처리 설비로서, 챔버의 대면적 개구부를 안정적으로 밀폐할 수 있는 대면적 도어 장치 및 기판 처리 설비가 제시된다.

Description

대면적 도어 장치 및 기판 처리 설비{LARGE-AREA DOOR APPARATUS AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS}
본 발명은 대면적 도어 장치 및 기판 처리 설비에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 챔버의 대면적 개구부를 안정적으로 밀폐할 수 있는 대면적 도어 장치 및 기판 처리 설비에 관한 것이다.
반도체 장치 및 평판 디스플레이 장치 등은 박막 적층, 식각, 이온 주입 및열처리 등의 각종 단위 공정을 반복하여 기판상에 원하는 회로의 동작 특성을 가지는 소자를 형성하는 방식으로 제조된다. 이러한 단위 공정들은 해당 공정의 진행에 최적 조건을 제공하는 공정 챔버에서 진행된다.
공정 챔버로의 기판 반입은 게이트를 통하여 이루어진다. 기판이 반입되면, 게이트는 도어에 의해 폐쇄되고, 공정 챔버의 내부가 외부로부터 격리된다. 상세하게는 게이트보다 큰 면적의 도어('블레이드'라고도 한다)로 게이트를 덮으며, 도어의 가장자리를 게이트의 둘레에 접촉시킨 후, 도어를 게이트 측으로 가압하여 이들 사이를 밀봉함으로써 공정 챔버의 내부 기밀을 유지한다.
한편, 생산성 증대를 위해 복수의 기판을 카세트에 적재하여 공정 챔버의 내부로 반입할 수 있다. 또한, 공정 효율을 증대시키기 위해 대면적의 기판을 경사지게 혹은 수직하게 세워서 공정 챔버의 내부로 반입할 수 있다. 이와 같은 방식으로 기판을 공정 챔버에 반입하기 위해서는 게이트의 상하좌우 면적이 커야 하고, 게이트의 상하 너비가 좌우 너비만큼 크거나 좌우 너비보다 더 커야 한다.
그런데 게이트의 면적 및 상하 너비가 커질수록 게이트의 둘레의 길이 및 도어의 가장자리의 길이가 길어지기 때문에, 이들 사이를 밀봉하기 위해서는 보다 강한 힘으로 도어를 가압해야 하고, 도어에 장착되는 가압용 실린더의 개수를 늘려야 한다. 예컨대 10세대 LCD(Liquid Crystal Display) 패널을 상술한 방식으로 반입하기 위한 대면적의 게이트를 종래 구조의 도어로 폐쇄하기 위해서는 열개 혹은 스무개 이상의 가압용 실린더를 사용하여 도어를 1ton 이상의 힘으로 가압해야 한다.
그러나 이러한 가압용 실린더는 로봇 암 혹은 리니어 드라이브와 도어 사이에 구비되므로, 가압용 실린더가 도어에 힘을 가하면 도어도 가압용 실린더에 같은 크기의 힘을 반대 방향으로 가하게 됨으로써, 이러한 반작용 힘을 로봇 암 혹은 리니어 드라이브가 견디지 못하고 손상되는 문제점이 있다.
본 발명의 배경이 되는 기술은 하기의 특허문헌에 게재되어 있다.
KR 10-2015-0031024 A KR 10-2019-0074175 A
본 발명은 챔버의 내부와 연통하도록 마련된 대면적 개구부를 안정적으로 밀폐할 수 있는 대면적 도어 장치 및 기판 처리 설비를 제공한다.
본 발명의 실시 형태에 따른 대면적 도어 장치는, 챔버의 벽체부를 관통하도록 마련된 개구부를 개폐시킬 수 있는 대면적 도어 장치로서, 상기 개구부의 내부에 위치할 수 있고, 개구부의 관통 방향과 교차하는 방향으로 상기 개구부의 내측벽과의 사이에 간극을 형성할 수 있는 도어부; 및 상기 도어부와 상기 내측벽 사이에서 상기 간극을 밀봉할 수 있도록 상기 교차하는 방향으로 팽창 가능한 밀봉부;를 포함한다.
상기 개구부의 내측벽 및 이와 대향하는 상기 도어부의 외측면 중 적어도 어느 하나에 형성될 수 있고, 상기 밀봉부가 수용되는 설치홈부;를 포함할 수 있다.
상기 개구부의 내측벽 및 상기 도어부의 외측면은 상기 교차하는 방향으로 상호 대향하고, 상기 설치홈부는 상기 내측벽 및 상기 외측면 중 어느 하나에 오목하게 형성되어 상기 간극을 따라 연장되고, 상기 밀봉부는 상기 간극을 따라 연장되고, 상기 도어부가 개구부 내부에 위치할 때, 가스 주입에 의해 팽창하여 상기 내측벽 및 상기 외측면과 접촉할 수 있다.
상기 도어부는, 상기 교차하는 방향으로 연장되고, 상기 개구부의 면적보다 작은 면적으로 형성되고, 상기 개구부의 내외부에 선택적으로 위치할 수 있는 도어 몸체; 상기 도어 몸체의 끝단에서 상기 교차하는 방향으로 각기 돌출되고, 그 사이에 상기 설치홈부를 정의하도록 상기 관통 방향으로 서로 이격되는 복수개의 턱;을 포함할 수 있다.
상기 도어 몸체 및 상기 복수개의 턱은 모서리가 라운드지게 형성될 수 있다.
상기 밀봉부는, 상기 간극을 따라 연장되고, 상기 설치홈부에 삽입되고, 내부에 가스 주입실이 형성되는 팽창 실링; 상기 팽창 실링과 연통되고, 팽창용 가스가 출입되는 출입관; 상기 출입관과 연결되고, 팽창용 가스가 저장되는 가스 탱크; 및 상기 출입관에 장착되고, 팽창용 가스의 유량을 조절하는 가스 밸브;를 포함할 수 있다.
상기 팽창 실링은, 상기 교차하는 방향으로 상호 대향하는 가압면 및 고정면과, 상기 가압면 및 상기 고정면을 연결시키는 한 쌍의 연결면을 구비하고, 상기 가압면은 상기 개구부의 내측벽 또는 상기 도어부의 외측면을 향하도록 배치되고, 상기 고정면은 상기 설치홈부에 고정되며, 상기 가압면에 요철이 형성될 수 있다.
상기 가스 주입실은 상기 가압면보다 상기 고정면에 가깝게 위치하도록 상기 팽창 실링의 내부에서 상기 교차하는 방향으로 편중될 수 있다.
상기 가스 주입실의 횡단면 형상은 다각형 형상, 원 형상, 타원 형상 및 상기 가압면과 가까운 모서리들이 모따기된 사각형 형상 중 어느 한 형상을 이룰 수 있다.
상기 밀봉부의 일측 또는 양측에 위치할 수 있도록 상기 개구부의 내측벽 및 상기 도어부의 외측면 중 어느 하나로부터 돌출되는 차폐부;를 포함할 수 있다.
상기 팽창 실링의 팽창 시 상기 요철 사이에 끼워질 수 있도록 상기 내측벽 또는 상기 외측면에서 돌출되는 차폐부;를 포함할 수 있다.
상기 도어부를 상기 개구부의 내외부에 선택적으로 위치시킬 수 있도록 상기 벽체부에 설치되며, 상기 도어부가 지지되는 구동부;를 포함할 수 있다.
상기 구동부는, 상기 개구부의 외측에서 상기 벽체부에 설치되고, 상기 교차하는 방향 중 일 방향으로 연장되는 제1 구동기; 상기 교차하는 방향 중 타 방향으로 연장되고, 상기 제1 구동기를 따라 주행 가능하게 설치되는 제2 구동기; 상기 제2 구동기에 지지되고, 상기 도어부와 마주보는 지지판; 상기 관통 방향으로 상기 도어부를 이동시킬 수 있도록 상기 지지판에 설치되는 제3 구동기; 상기 교차하는 방향으로 상기 제3 구동기에서 이격되고, 상기 관통 방향으로 신축 가능하도록 상기 지지판에 장착되며, 상기 도어부가 지지되는 가이드;를 포함할 수 있다.
상기 챔버에 설치되고, 상기 도어부를 상기 챔버에 회동 가능하게 연결시키는 힌지부;를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시 형태에 따른 기판 처리 설비는, 내부 공간을 가지고, 적어도 일측에 개구부가 구비되는 챔버; 상기 개구부의 면적보다 작은 면적으로 형성되는 도어부, 및 상기 도어부가 개구부 내부에 위치할 때, 상기 도어부와 개구부 사이를 밀봉할 수 있는 밀봉부를 구비하는 대면적 도어 장치;를 포함한다.
상기 개구부는 일 방향 너비가 상기 개구부에 통과시키고자 하는 기판의 크기보다 크고, 타 방향 너비가 상기 일 방향 너비의 0.5배 내지 1.5 배가 되도록 대면적으로 형성될 수 있다.
상기 밀봉부는 가스 주입에 의해 팽창할 수 있도록 상기 도어부의 측벽 또는 상기 개구부의 측벽에 설치되고, 상기 도어부의 측벽 또는 상기 개구부의 측벽을 따라 연장될 수 있다.
상기 대면적 도어 장치는, 상기 밀봉부가 수용될 수 있도록 도어부의 측벽 또는 상기 개구부의 측벽에 형성되는 설치홈부; 상기 도어부를 상기 개구부의 내외부에 선택적으로 위치시킬 수 있도록 상기 챔버에 설치되며, 상기 도어부가 지지되는 구동부;를 포함할 수 있다.
상기 구동부는 상기 챔버의 외면에 지지되고, 복수의 방향으로 이동 가능한 복수의 구동기를 구비하며, 상기 복수의 구동기 중 적어도 어느 하나에 상기 도어부가 지지될 수 있다.
상기 대면적 도어 장치는, 상기 챔버에 설치되고, 상기 도어부를 상기 챔버에 회동 가능하게 연결시키는 힌지부;를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시 형태에 따르면, 챔버의 내외부를 연결시키기 위해 챔버의 벽체부를 관통하도록 마련되거나, 챔버와 그 이웃 챔버를 연결시키기 위해 챔버의 벽체부를 관통하도록 마련되는 대면적의 개구부 내에 도어부를 위치시키고, 개구부와 도어부 사이에 마련된 밀봉부를 개구부의 관통 방향에 교차하는 방향으로 팽창시킬 수 있다. 이에, 대면적의 개구부를 안정적으로 밀폐할 수 있다.
이때, 밀봉부의 팽창력이 도어부 및 벽체부의 내력에 의해 개구부의 관통 방향에 교차하는 방향으로 안정적으로 지지될 수 있기 때문에, 도어부를 개구부 내로 위치시키기 위해 마련된 구동부에 불필요한 하중이 가해지는 것을 방지할 수 있고, 따라서, 구동부가 손상되는 것을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 대면적 도어 장치가 챔버에 설치된 모습을 도시한 정면도이다.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 대면적 도어 장치 및 챔버의 측면도이다.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 대면적 도어 장치 및 챔버의 평면도이다.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 도어부 및 밀봉부를 도시한 개략도이다.
도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 대면적 도어 장치가 챔버의 개구부를 개방시킨 모습을 도시한 평면도이다.
도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 대면적 도어 장치가 챔버의 개구부를 개방시킨 모습을 보여주는 측면도이다.
도 7은 본 발명의 실시 예에 따른 밀봉부의 작동 방식을 도시한 모식도이다.
도 8은 본 발명의 변형 예들에 따른 밀봉부 및 차폐부를 도시한 모식도이다.
도 9는 본 발명의 실시 예에 따른 대면적 도어 장치가 힌지부를 구비한 모습을 보여주는 평면도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 실시 예를 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예에 한정되는 것이 아니고, 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이다. 단지 본 발명의 실시 예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 해당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 본 발명의 실시 예를 설명하기 위하여 도면은 과장될 수 있고, 도면상의 동일한 부호는 동일한 요소를 지칭한다.
본 발명의 실시 예에 따른 대면적 도어 장치는 반도체 장치 및 평판 디스플레이 장치 등의 제조 공정에 사용되는 각종 챔버에 마련된 대면적의 개구부를 개폐하는 장치로서, 개구부 폐쇄 시 장치에 과도한 힘을 가하지 않고서 챔버의 내부 분위기를 외부로부터 안정적으로 고립시킬 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 대면적 도어 장치는 다양한 산업 분야의 각종 챔버, 모듈 및 글로브 박스 등의 개구부를 개폐시키는 대면적 도어 장치에 적용될 수 있다.
이하, 평판 디스플레이 장치의 제조 공정에 사용되는 챔버를 기준으로 본 발명의 실시 예를 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 대면적 도어 장치가 챔버에 설치된 모습을 도시한 정면도이다. 도 2는 도 1의 A-A' 선을 기준으로 하여 본 발명의 실시 예에 따른 대면적 도어 장치 및 챔버의 단면 모습을 도시한 측면도이다. 도 3은 도 1의 B-B' 선을 기준으로 본 발명의 실시 예에 따른 대면적 도어 장치 및 챔버의 단면 모습을 도시한 평면도이다. 도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 도어부 및 밀봉부를 도시한 개략도이다.
도 1 내지 도 4를 참조하여, 본 발명의 실시 예에 따른 기판 처리 설비를 먼저 설명한다.
본 발명의 실시 예에 따른 기판 처리 설비는, 내부 공간을 가지고, 적어도 일측에 개구부(H)가 구비되는 챔버(100), 개구부(H)의 면적보다 작은 면적으로 형성되는 도어부(200) 및 도어부(200)가 개구부(H) 내부에 위치할 때, 도어부(200)와 개구부(H) 사이를 밀봉할 수 있는 밀봉부(300)를 구비하는 대면적 도어 장치를 포함한다.
즉, 대면적 도어 장치는 도어부(200)를 개구부(H)의 둘레에 전후 방향(Z)으로 밀착시키는 대신, 개구부(H) 내에 도어부(200)를 나란하게 위치시키고, 개구부(H)의 측벽에 좌우 방향(X) 및 상하 방향(Y)으로 밀봉부(300)를 밀착시킴으로써, 간극(D)을 밀봉할 수 있다. 즉, 개구부(H)를 밀봉하는 힘이 밀봉부(300)에 의해 좌우 방향(X) 및 상하 방향(Y)으로 개구부(H)의 측벽에 가해질 수 있고, 그 반작용 힘도 좌우 방향(X) 및 상하 방향(Y)으로 도어부(200)의 측벽에 가해질 수 있다. 이에, 후술하는 구동부(400)에 상술한 반작용 힘이 가해지는 것을 방지할 수 있고, 도어부(200)의 자체 강도만으로 반작용 힘을 지지할 수 있다.
여기서, 상술한 밀착은 좌우 방향(X) 및 상하 방향(Y)으로 개구부(H)의 측벽 및 도어부(200)의 측벽을 밀면서 혹은 가압하면서 접촉하는 것을 의미한다.
챔버(100)는 기판(미도시)을 처리할 수 있는 내부 공간을 형성할 수 있도록, 벽체부(110), 상판부(120) 및 하판부(130)를 구비할 수 있다. 챔버(100)는 사각 통 형상일 수 있다. 물론, 챔버(100)의 형상은 사각 통 형상 외에도 다양할 수 있다.
상판부(120) 및 하판부(130)는 상하 방향(Y)으로 상호 이격될 수 있다. 벽체부(110)는 상하 방향(Y)으로 연장되고, 상판부(120) 및 하판부(130)의 가장자리 끝단을 따라 나열될 수 있다. 벽체부(110)는 전후 방향(Z)으로 상호 대향하는 제1 측벽(111) 및 제2 측벽(112), 좌우 방향(X)으로 상호 대향하는 제3 측벽(113) 및 제4 측벽(113)을 포함할 수 있다. 개구부(H)는 제1 측벽(111)의 상부를 전후 방향(Z)으로 관통하도록 형성될 수 있다. 개구부(H)는 기판을 통과시키는 역할을 한다.
개구부(H)는 일 방향 너비 예컨대 좌우 방향 너비가 개구부(H)에 통과시키고자 하는 기판의 크기보다 크고, 타 방향 너비 예컨대 상하 방향 너비가 좌우 방향 너비의 0.5배 내지 1.5 배가 되도록 대면적으로 형성될 수 있다.
이때, 대면적은 슬릿 형태의 개구부에 비하여 그 면적이 대면적인 것을 의미한다. 혹은, 대면적은 가로 또는 세로의 길이가 상대적으로 긴 장방형 개구부에 비하여 그 면적이 대면적인 것을 의미한다.
대면적은 상하 방향(Y)의 너비로 정의될 수도 있다. 예컨대 상하 방향(Y)의 너비가 400mm 이상이고, 3000mm 이하인 개구부(H)를 대면적의 개구부(H)라고 정의할 수도 있다. 이때, 개구부(H)의 좌우 방향(X)의 너비는 기판 크기에 따라 정해질 수 있다. 기판이 10세대 LCD 패널이면, 개구부(H)의 좌우 방향(X)의 너비는 10세대 LCD 패널의 크기보다 클 수 있다.
예컨대 본 발명의 실시 예에서는 좌우 방향(X)의 너비가 1100mm 내지 1200mm 이고, 상하 방향(Y)의 너비가 1300mm 내지 1400mm 가 되도록 형성된 개구부(H)를 대면적의 개구부(H)로 예시할 수 있다.
개구부(H)의 관통 방향은 전후 방향(Z)과 나란한 방향일 수 있다. 개구부(H)의 관통 방향을 전후 방향(Z)과 동일한 도면 부호인 'Z'로 지칭한다. 개구부(H)의 관통 방향(Z)과 교차하는 방향은 상하 방향(Y) 및 좌우 방향(X)을 포함할 수 있다. 이하에서, 개구부(H)의 관통 방향(Z)과 교차하는 방향(X, Y)을 간단하게 교차하는 방향(X, Y)이라고 지칭하고, 개구부(H)의 관통 방향(Z)을 간단하게 관통 방향(Z)이라고 지칭한다.
대면적 도어 장치는, 개구부(H)를 개폐시킬 수 있도록 설치되고, 개구부(H)의 폐쇄 시에 개구부(H)의 내측벽(140)에 교차하는 방향(X, Y)으로 밀착되면서 챔버(100)의 내부를 외부로부터 기밀하게 고립시킬 수 있다.
대면적 도어 장치는, 밀봉부(300)가 수용될 수 있도록 도어부(200)의 측벽 또는 개구부(H)의 측벽에 형성되는 설치홈부(G), 및 도어부(200)를 개구부(H)의 내외부에 선택적으로 위치시킬 수 있도록 챔버(100)에 설치되는 구동부(400)를 더 포함할 수 있다.
대면적 도어 장치는, 챔버(100)에 설치되고, 도어부(200)를 챔버(100)에 회동 가능하게 연결시키는 힌지부(600)를 더 포함할 수도 있다.
도어부(200)는 개구부(H)보다 작은 면적으로 형성되고, 개구부(H)의 전방 혹은 후방에서 전후 방향(Z)으로 이동 시에 개구부(H)의 둘레와 접촉되지 않고, 개구부(H)의 내부에 위치할 수 있다.
밀봉부(300)는 개구부(H)의 측벽과 도어부(200)의 측벽 사이에 위치할 수 있고, 팽창에 의해 각각의 측벽에 밀착 가능하게 형성될 수 있다. 이때, 도어부(200)가 개구부(H)의 내부에 위치할 때, 밀봉부(300)가 개구부(H)의 측벽과 도어부(200)의 측벽 사이에 위치할 수 있다.
밀봉부(300)는 가스 주입에 의해 팽창할 수 있도록 도어부(200)의 측벽 또는 개구부(H)의 측벽에 설치되고, 도어부(200)의 측벽 또는 개구부(H)의 측벽을 따라 연장될 수 있다.
도어부(200)의 측벽은 도어부(200)의 후술하는 외측면일 수 있고, 개구부(H)의 측벽은 개구부(H)의 후술하는 내측벽(140)일 수 있다. 구동부(400)는 챔버(100)의 외면에 지지되고, 복수의 방향으로 이동 가능한 복수의 구동기를 구비하고, 복수의 구동기 중 적어도 어느 하나에 도어부(200)가 지지될 수 있다.
이하에서는 도 1 내지 도 4를 참조하여, 본 발명의 실시 예에 따른 대면적 도어 장치를 더욱 상세하게 설명한다.
본 발명의 실시 예에 따른 대면적 도어 장치는 챔버(100)의 벽체부(110)를 관통하도록 마련된 개구부(H)를 개폐시킬 수 있는 대면적 도어 장치로서, 개구부(H)의 내부에 위치할 수 있고, 교차하는 방향(X, Y)으로 개구부(H)의 내측벽(140)과의 사이에 간극(D)을 형성할 수 있는 도어부(200), 도어부(200)와 개구부(H)의 내측벽(140) 사이에서 간극(D)을 밀봉할 수 있도록 교차하는 방향(X, Y)으로 팽창 가능한 밀봉부(300)를 포함한다.
개구부(H)의 내측벽(140)은 교차하는 방향(X, Y)으로 개구부(H)를 감싸도록 제1 측벽(111)에 형성되는 내측벽을 의미한다. 간극(D)은 도어부(200)가 개구부(H)의 내부에 위치할 때, 도어부(200)와 개구부(H)의 내측벽(140) 사이에 형성되는 소정의 이격 공간을 의미한다. 간극(D)의 크기는 예컨대 0 초과 10mm 미만일 수 있으며, 바람직하게는 2mm 일 수 있다.
또한, 대면적 도어 장치는, 개구부(H)의 내측벽(130) 및 이와 대향하는 도어부(200)의 외측면 중 적어도 어느 하나에 형성될 수 있고, 밀봉부(300)가 수용되는 설치홈부(G), 및 도어부(200)를 개구부(H)의 내외부에 선택적으로 위치시킬 수 있도록 벽체부(110)에 설치되는 구동부(400)를 포함할 수 있다.
도어부(200)는 개구부(H)의 내외부에 선택적으로 위치할 수 있고, 개구부(H)를 개방 및 폐쇄시킬 수 있다. 예컨대 도어부(200)가 개구부(H)의 외부에 위치하여 개구부(H)를 개방시킬 수 있다. 또한, 도어부(200)가 개구부(H)의 내부에 위치하여 개구부(H)를 폐쇄시킬 수 있다. 도어부(200)의 크기는 개구부(H)의 크기보다 작고, 도어부(200)의 형상은 개구부(H)의 형상과 동일할 수 있다. 개구부(H)의 내부에 도어부(200)가 위치할 때, 개구부(H)의 내측벽(140)과 도어부(200) 사이에 간극(D)이 형성될 수 있고, 또한, 도어부(200)의 외측면과 개구부(H)의 내측벽(140)이 교차하는 방향(X, Y)으로 상호 대향할 수 있다. 여기서, 도어부(200)의 외측면은 전후 방향(Z)과 나란한 면일 수 있다.
도 4를 참조하면, 도어부(200)는, 개구부(H)를 폐쇄시킬 수 있도록 교차하는 방향(X, Y)으로 연장되는 도어 몸체(210), 도어 몸체(210)의 끝단에서 교차하는 방향(X, Y)으로 각기 돌출되고, 그 사이에 설치홈부(G)를 정의하도록 관통 방향(Z)으로 서로 이격되는 복수개의 턱(220)을 포함할 수 있다.
도어 몸체(210)는 전후 방향(Z)으로 상호 대향하는 전면 및 후면과, 이들을 연결하는 측면을 가지는 소정의 플레이트 부재일 수 있다. 이때, 도어 몸체(210)의 형상은 개구부(H)의 형상과 동일할 수 있고, 그 크기는 개구부(H)의 크기보다 작을 수 있다. 도어 몸체(210)는 그 끝단의 모서리(R)가 도어 몸체(210)의 둘레(r)를 따라 라운드지게 형성될 수 있다.
이처럼 도어 몸체(210)의 끝단의 모서리(R)가 라운드지게 형성되는 경우, 밀봉부(300)가 교차하는 방향(X, Y)으로 팽창하면서 간극(D)을 원활하게 밀봉시킬 수 있다. 예컨대 도어 몸체(210)의 끝단의 모서리(R)가 각지게 형성되면, 밀봉부(300)가 팽창하였을 때, 개구부(H)의 내측벽(140)에 기밀하게 밀착되기 어렵다.
복수개의 턱(220)은 도어 몸체(210)의 측면으로부터 교차하는 방향(X, Y)으로 돌출되고, 도어 몸체(210)의 둘레(r)를 따라 연장될 수 있는 제1 턱(221) 및 제2 턱(222)을 포함할 수 있다. 제1 턱(221)과 도어 몸체(210)의 측면 사이에 단차가 형성될 수 있다. 제2 턱(222)과 도어 몸체(210)의 측면 사이에도 단차가 형성될 수 있다. 제1 턱(221) 및 제2 턱(222)은 도어 몸체(210)와 일체형일 수 있고, 도어 몸체(210)의 끝단을 감싸도록 장착된 별도의 부재일 수도 있다.
복수개의 턱(220)과 도어 몸체(210)의 측면 사이에 설치홈부(G)가 정의될 수 있다. 즉, 설치홈부(G)는 복수개의 턱(220)과 도어 몸체(210)의 측면으로 둘러싸인 소정의 공간일 수 있다. 복수개의 턱(220)이 교차하는 방향(X, Y)으로 돌출되는 높이는 밀봉부(300)의 후술하는 팽창 실링(310)을 안정적으로 지지할 수 있는 소정의 높이일 수 있다. 복수개의 턱(220)은 도어 몸체(210)의 끝단의 모서리(R) 부분에서 도어 몸체의 둘레(r)를 따라 라운드지게 연장될 수 있다. 또한, 복수개의 턱(220)은 서로 마주보는 면의 상단부 부분의 모서리가 교차하는 방향(X, Y)으로 라운드지게 형성될 수 있다. 이에, 밀봉부(300)의 후술하는 팽창 실링(310)이 교차하는 방향(X, Y)으로 팽창하면서 라운드진 부분을 따라 관통 방향(Z)으로도 팽창할 수 있고, 이에, 개구부(H)의 내측벽(140)과 팽창 실링(310)과의 밀착 면적을 크게 할 수 있다.
설치홈부(G)는 개구부(H)의 내측벽(140) 및 도어부(200)의 외측면 중 어느 하나에 오목하게 형성되어 간극(D)을 따라 연장될 수 있고, 예컨대 폐곡선 형태를 이룰 수 있다. 예컨대 설치홈부(G)는 도어부(200)의 외측면에 오목하게 형성될 수 있다. 물론, 설치홈부(G)는 개구부(H)의 내측벽(140)에 형성될 수도 있고, 또한, 개구부(H)의 내측벽 및 도어부(200)의 외측면에 모두 형성될 수도 있다.
밀봉부(300)는 간극(D)을 따라 연장될 수 있고, 가스 주입에 의해 팽창하여 개구부(H)의 내측벽(140) 및 도어부(200)의 외측면과 접촉할 수 있다. 예컨대 설치홈부(G)가 도어부(200)의 외측면에 형성되면, 밀봉부(300)는 가스 주입에 의해 팽창하여 개구부(H)의 내측벽(140)에 접촉할 수 있다. 설치홈부(G)가 개구부(H)의 내측벽(140)에 형성되면, 밀봉부(300)는 가스 주입에 의해 팽창하여 도어부(200)의 외측면에 접촉할 수 있다.
밀봉부(300)는, 간극(D)을 따라 연장되고, 설치홈부(G)에 삽입되고, 그 내부에 가스 주입실(C)이 형성되는 팽창 실링(310), 팽창용 가스가 출입될 수 있고, 팽창 실링(310)과 연통되는 출입관(320), 출입관(320)과 연결되고, 팽창용 가스가 저장되는 가스 탱크(330), 및 출입관(320)에 장착되고, 팽창용 가스의 유량을 조절하는 가스 밸브(340)를 포함할 수 있다.
팽창 실링(310)은 설치홈부(G)의 내부에 수용되고, 예컨대 폐곡선 형태를 이룰 수 있다. 팽창 실링(310)은 가스 주입실(C)로 주입되는 가스에 의하여 교차하는 방향(X, Y)으로 팽창하며 설치홈부(G)의 외부로 돌출될 수 있고, 간극(D)을 기밀하게 밀봉시킬 수 있다.
팽창 실링(310)은 교차하는 방향(X, Y)으로 상호 대향하는 가압면 및 고정면과, 관통 방향(Z)으로 상호 이격되며 가압면 및 고정면을 연결시키는 한 쌍의 연결면을 구비할 수 있다. 이때, 가압면은 개구부(H)의 내측벽(140) 또는 도어부(200)의 외측면을 향하도록 배치될 수 있다. 밀봉부(300)가 도어부(200)에 설치되면, 가압면은 개구부(H)의 내측벽(140)을 향하여 배치될 수 있다. 밀봉부(300)가 개구부(H)의 내측벽(140)에 설치되면, 가압면은 도어부(200)의 외측면을 향하여 배치될 수 있다.
고정면은 설치홈부(G)의 바닥에 고정될 수 있다. 이때, 고정되는 방식은 다양할 수 있다. 예컨대 접착제에 의해 고정되거나, 설치홈부(G)에 끼임 결합되어 고정될 수 있다. 여기서, 설치홈부(G)의 바닥은 도어 몸체(210)의 측면일 수 있다.
가압면에는 요철(U)이 형성될 수 있다. 가압면이 개구부(H)의 내측벽(140) 또는 도어부(200)의 외측면에 밀착되었을 때 요철(U)에 의하여 그 사이가 기밀하게 밀봉될 수 있다. 요철(U)은 복수개 형성될 수 있고, 서로 전후 방향(Z)으로 이격될 수 있고, 간극(D)을 따라 도어부(200)의 둘레 방향으로 연장되어 폐루프 형상 혹은 모서리가 라운드진 사각의 링 형상을 각각 이룰 수 있다.
가스 주입실(C)은 요철(U)이 형성된 가압면보다 고정면에 가깝게 위치하도록 팽창 실링(310)의 내부에서 교차하는 방향(X, Y)으로 편중될 수 있다. 즉, 가스 주입실(C)과 가압면 사이가 가스 주입실(C)과 고정면 사이보다 두꺼울 수 있다. 이러한 경우, 팽창 실링(310)의 팽창 시 개구부(H)의 내측벽(140) 또는 도어부(200)의 외측면에 가압면이 보다 견고하게 밀착될 수 있다.
가스 주입실(C)의 횡단면 형상은 가압면과 가까운 모서리(E)들이 모따기된 사각형 형상을 이룰 수 있다. 이에, 가스 주입실(C)에 가스가 주입되어 팽창될 때, 보다 넓은 면적으로 가압면에 가스 압력을 가해줄 수 있다.
물론, 가스 주입실(C)의 횡단면 형상은 다각형 형상, 원 형상, 및 타원 형상 중 어느 한 형상을 이룰 수도 있다.
예컨대 가스 주입실(C)의 횡단면 형상이 다각형 형상일 때, 다각형을 이루는 변의 개수 및 각도를 정하여, 가스 주입실(C)의 내부면 면적 및 팽창 거동을 다양하게 제어할 수 있다. 또한, 가스 주입실(C)의 횡단면 형상을 원 형상으로 하여, 가스 주입 시에 가스 주입실(C)을 사방으로 고르게 팽창시킬 수 있다. 가스 주입실(C)의 횡단면 형상을 타원 형상으로 할 때, 타원의 장축 및 단축의 방향과 길이를 정하여, 가스 주입실(C)의 내부면 면적 및 팽창 거동을 다양하게 제어할 수 있다.
출입관(320)은 일측이 도어 몸체(210)에 형성된 가스 홀(S)을 통과하여 도어 몸체(210)의 내부로 연장되고, 팽창 실링(310)의 고정면 소정 위치를 관통하여 가스 주입실(C)에 연통할 수 있다. 또한, 출입관(320)의 타측은 가스 탱크(330)에 연결될 수 있다. 가스 탱크(330)에는 팽창용 가스가 저장될 수 있다. 팽창용 가스의 종류는 다양할 수 있다. 가스 밸브(340)는 출입관(320)의 타측에 장착되어 가스의 유량을 조절할 수 있다.
구동부(400)는 챔버(100)의 외면에 지지되고, 관통 방향(Z) 및 교차하는 방향(X, Y)으로 이동 가능한 복수의 구동기를 구비하며, 복수의 구동기 중 적어도 어느 하나에 도어부(200)가 지지될 수 있다.
구동부(400)는, 개구부(H)의 외측에서 벽체부(110)에 설치되고, 교차하는 방향(X, Y) 중 일 방향 예컨대 상하 방향(Y)으로 연장되는 제1 구동기(410), 교차하는 방향(X, Y) 중 타 방향 예컨대 좌우 방향(X)으로 연장되고, 제1 구동기(410)를 따라 주행 가능하게 설치되는 제2 구동기(420), 제2 구동기(420)에 지지되고, 도어부(200)와 마주보는 지지판(430), 관통 방향(Z)으로 도어부(200)를 이동시킬 수 있도록 지지판(430)에 설치되는 제3 구동기(440), 및 교차하는 방향(Z)으로 제3 구동기(440)에서 이격되고, 관통 방향(Z)으로 지지판(430)에 장착되며, 도어부(200)가 지지되는 가이드(450)를 포함할 수 있다.
제1 및 제2 구동기(410, 420)은 리니어 모터일 수 있다. 제1 구동기(410)는 개구부(H)의 좌우 양측에서 상하 방향(Y)으로 연장되고, 제2 구동기(420)를 승강시킬 수 있다. 제2 구동기(420)는 상하 방향(Y)으로 승강되며 지지판(430)을 승강시킬 수 있다. 지지판(430)은 제3 구동기(440) 및 가이드(450)를 지지할 수 있다. 지지판(430)은 제2 구동기(420)의 승강에 의해 높이가 조절될 수 있고, 이에 의하여, 도어부(200)의 높이도 조절될 수 있다.
지지판(430)은 도어부(200)를 전후 방향(Z)으로 마주보는 소정의 판 부재로서, 그 크기는 도어부(200)의 크기와 같거나, 도어부(200)의 크기보다 클 수 있다. 제3 구동기(440)는 예컨대 유압 실린더를 포함할 수 있다. 제3 구동기(440)는 일측이 지지판(430)에 지지될 수 있다. 또한, 제3 구동기(440)는 타측에 도어부(200)가 지지될 수 있다. 구체적으로 도어부(220)의 전면의 중심부에 제3 구동기(440)의 타측이 연결되며, 이에, 제3 구동기(440)가 도어부(220)를 지지할 수 있다.
제3 구동기(440)는 지지판(430)의 중심부에 설치될 수 있고, 가이드(450)는 지지판(430)의 주변부에 복수개 설치될 수 있다. 제3 구동기(440)는 전후 방향(Z)으로 신축할 수 있고, 개구부(H)의 내외부로 도어부(200)를 위치시킬 수 있다.
예컨대 제3 구동기(440)가 전후 방향(Z)으로 길이가 늘어나면 도어부(200)가 개구부(H)의 내부에 위치할 수 있고, 제3 구동기(440)가 전후 방향(Z)으로 길이가 줄면 도어부(200)가 개구부(H)의 외부로 이탈할 수 있다. 가이드(450)는 예컨대 볼 부쉬를 포함할 수 있다. 가이드(450)는 도어부(200)가 수직 상태를 안정적으로 유지하며 전후진할 수 있도록 제3 구동기(440)의 신축 시 함께 신축하며 도어부(200)의 전면의 복수의 위치를 지지할 수 있다.
도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 대면적 도어 장치가 챔버의 개구부를 개방시킨 모습을 도시한 평면도이다. 도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 대면적 도어 장치가 챔버의 개구부를 개방시킨 모습을 보여주는 측면도이다.
도 5 및 도 6을 참조하여, 본 발명의 실시 예에 따른 대면적 도어 장치의 작동을 설명한다.
챔버(100)의 내부로 기판을 반입하거나, 내부에서 처리된 기판을 반출하고자 하는 경우, 도 5에 도시된 바와 같이, 제3 구동기(440)를 수축시켜 도어부(200)를 개구부(H)에서 이탈시킬 수 있다. 이때, 밀봉부(300)의 팽창 실링(310)은 내부로부터 가스가 배기된 상태이고, 이에, 팽창 실링(310)이 설치홈부(G)의 내부에 수용된 상태이다. 이어서, 도 6에 도시된 바와 같이, 구동부(400)를 작동시켜 도어부(200)를 하강시키고, 개구부(H)를 완전 개방시킨다. 이후, 챔버(100)의 내부로 기판을 반입하거나, 챔버(100)의 내부에서 외부로 기판을 반출할 수 있다.
이후, 챔버(100)의 개구부(H)를 폐쇄할 경우, 구동부(400)를 작동시켜 도어부(200)를 개구부(H)의 전면에 동일 높이로 위치시키고, 도어부(200)를 전진시켜 개구부(H) 내에 위치시킨다. 그리고, 밀봉부(300)의 팽창 실링(310) 내로 가스를 주입하여 팽창 실링(310)을 교차하는 방향(X, Y)으로 팽창시키고, 개구부(H)의 내측벽(140)에 밀착시켜 그 사이를 기밀하게 밀봉할 수 있다.
도 7의 (a) 및 (b)는 본 발명의 실시 예에 따른 밀봉부의 작동 방식을 도시한 모식도이다.
도 3 및 도 7의 (a), (b)를 참조하면, 개구부(H) 내에 도어부(200)를 위치시킨 후, 팽창 실링(310)의 내부에 마련된 가스 주입실(C)로 가스를 주입함으로써 가스 주입실(C)을 팽창시킬 수 있다. 이에, 팽창 실링(310)의 가압면이 벽체부(110) 측으로 이동하고, 벽체부(110)에 형성된 개구부(H)의 내측벽(140)에 밀착될 수 있다. 이때, 요철(U)이 내측벽(140)에 밀착되며, 팽창 실링(310)과 개구부(H)의 내측벽(140) 사이를 더욱 기밀하게 밀봉시킬 수 있다.
이때, 도 7의 (a)에 도시된 것처럼, 요철(U)은 그 횡단면이 삼각형 형상이거나, 또는, 도 7의 (b)에 도시된 것처럼, 요철(U')은 그 횡단면이 사각형 형상일 수 있다. 물론, 이 외에도 요철(U)의 단면 형상은 다양할 수 있다.
도 8은 본 발명의 변형 예들에 따른 밀봉부 및 차폐부를 도시한 모식도이다.
도 8의 (a)를 참조하면 본 발명의 변형 예에 따른 대면적 도어 장치는, 밀봉부(300)의 일측 또는 양측에 위치할 수 있도록 도어부(200) 외측면 및 개구부(H)의 내측벽(140) 중 어느 하나로부터 돌출되는 차폐부(510)를 포함할 수 있다.
예컨대 차폐부(510)는 관통 방향(Z)으로 밀봉부(300)의 양측에 위치할 수 있고, 개구부(H)의 내측벽(140)에서 돌출 형성될 수 있고, 내측벽(140)을 따라 좌우 방향(X) 및 상하 방향(Y)으로 연장되어 각각 폐루프 형상을 이룰 수 있다. 여기서, 차폐부(510)가 돌출된 길이는 간극(D)의 크기보다 작을 수 있다.
팽창 실링(310)이 팽창하여 내측벽(140)에 밀착하였을 때, 차폐부(510)는 팽창 실링(310)의 연결면과 밀착할 수 있고, 팽창 실링(310)을 지지할 수 있고, 팽창 실링(310)의 가압면과 개구부(H)의 내측벽(140) 사이를 더욱 기밀하게 밀봉시킬 수 있다.
이를테면 챔버(100)의 내부 압력과 챔버(100)의 외부 압력 사이의 차압이 크면 챔버(100)의 내부에서 외부를 향하는 방향으로 혹은 챔버(100)의 외부에서 내부를 향하는 방향으로 간극(D)을 통하여 소정 압력의 기류가 형성될 수 있는데, 이를 차폐부(510)가 차폐함으로써, 팽창 실링(310)의 연결면에 교차하는 방향(X, Y)으로 상술한 차압에 의한 압력이 가해지는 것을 억제 내지 방지할 수 있다.
이에 따라서, 챔버(100)의 내부 압력과 챔버(100)의 외부의 압력과의 차압을 크게하여도 밀봉부(300)가 차폐부(510)에 지지됨으로써, 챔버(100)의 기밀을 유지할 수 있고, 그 내부의 분위기를 안정적으로 유지시킬 수 있다.
도 8의 (b)를 참조하면, 본 발명의 다른 변형 예에 따른 대면적 도어 장치는, 팽창 실링(310)의 팽창 시에 요철(U') 사이에 끼워질 수 있도록 도어부(200) 외측면 또는 개구부(H)의 내측벽(140)에서 돌출되는 차폐부(520)를 포함할 수 있다.
차폐부(520)는 개구부(H)의 내측벽(140)에서 돌출 형성되고, 내측벽(140)을 둘러싸도록 좌우 방향(X) 및 상하 방향(Y)으로 연장되어 폐루프 형태를 이룰 수 있다. 차폐부(520)는 팽창 실링(310)의 팽창하였을 때, 요철(U') 사이에 끼워져서 팽창 실링(310)의 가압면과 개구부(H)의 내측벽(140) 사이를 더욱 기밀하게 밀봉시킬 수 있고, 챔버(100)의 내부와 외부 사이의 차압에 의해 팽창 실링(310)이 전후 방향(Z)으로 밀리지 않도록, 팽창 실링(310)을 지지할 수 있고, 전후 방향(Z)으로 요철(U')을 범람하는 혹은 가로지르는 기류가 형성되는 것을 방지할 수 있다.
도 9는 본 발명의 실시 예에 따른 대면적 도어 장치가 힌지부를 구비한 모습을 보여주는 평면도이다.
도 9를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 대면적 도어 장치는 적어도 하나 이상의 힌지부(600)를 포함할 수 있다. 이때, 대면적 도어 장치가 힌지부(600)를 포함하는 경우, 구동부(400)는 대면적 도어 장치에서 제외되거나, 힌지부(600)와의 구조적인 간섭을 피해도록 구동부(400)의 설치 구조 및 작동 방식이 변경될 수 있다.
힌지부(600)는 플레이트, 챔버(100)의 벽체부(110)와 플레이트의 일측을 회전 가능하게 연결해주는 제1 힌지, 및 도어부(200)와 플레이트의 타측을 회전 가능하게 연결해주는 제2 힌지를 포함할 수 있다.
플레이트는 좌우 방향(X)으로 연장될 수 있다. 플레이트는 복수개가 일렬로 연결되어 링크 기구를 형성하거나, 단일 몸체로 이루어질 수 있다. 물론, 플레이트의 구조는 다양할 수 있다. 제1 힌지는 플레이트의 좌우 방향(X)으로의 일측 단부에 회전 가능하게 연결되면서, 개구부(H)의 둘레에서 제1 측벽(111)에 고정될 수 있다. 제2 힌지는 플레이트부의 일측 단부와 대향하는 타측 단부에 회전 가능하게 연결되면서, 도어 몸체(210)의 전면에 고정될 수 있다. 힌지부(600)가 이중힌지 구조를 가짐에 따라, 도어 몸체(210)와 제1 측벽(111)의 간섭 및 충돌이 방지될 수 있다.
상술한 구조에 의해, 플레이트를 회전되면 도어 몸체(210)기 회동할 수 있다. 이에, 도어 몸체(210)가 예컨대 여닫이 문과 같이 움직이며, 힌지부(600)를 회전 중심으로 하여 좌우로 회동하면서 개구부(H)의 내외부에 선택적으로 위치할 수 있다. 도어부(200)의 회전 및 그로 인한 개구부(H)의 개폐는 작업자에 의해 수행되거나, 예컨대 로봇 암과 같은 구조로 변경된 구동부에 의해 수행될 수 있다. 한편, 힌지부(600)의 구조는 상술한 구조 외에도 다양하게 변경될 수 있다. 또한, 힌지부(600)에 의해 도어부(200)가 열리는 방향 즉, 회동 방향도 다양하게 변경될 수 있다.
본 발명의 상기 실시 예는 본 발명의 설명을 위한 것이고, 본 발명의 제한을 위한 것이 아니다. 본 발명의 상기 실시 예에 개시된 구성과 방식은 서로 결합하거나 교차하여 다양한 형태로 조합 및 변형될 것이고, 이에 의한 변형 예들도 본 발명의 범주로 볼 수 있음을 주지해야 한다. 즉, 본 발명은 청구범위 및 이와 균등한 기술적 사상의 범위 내에서 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 본 발명이 해당하는 기술 분야에서의 업자는 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 다양한 실시 예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.
100: 챔버
200: 도어부
300: 밀봉부
310: 팽창 실링
400: 구동부

Claims (12)

  1. 챔버의 벽체부를 관통하도록 마련된 개구부를 개폐시킬 수 있는 대면적 도어 장치로서,
    상기 개구부의 내부에 위치할 수 있고, 개구부의 관통 방향과 교차하는 방향으로 상기 개구부의 내측벽과의 사이에 간극을 형성할 수 있는 도어부; 및
    상기 도어부와 상기 내측벽 사이에서 상기 간극을 밀봉할 수 있도록 상기 교차하는 방향으로 팽창 가능한 밀봉부;를 포함하고,
    상기 도어부의 외측면 또는 상기 내측벽에 형성되는 차폐부;를 더 포함하고,
    상기 밀봉부는, 상기 간극을 따라 연장되고, 내부에 가스 주입실이 형성되는 팽창 실링;을 포함하고,
    상기 팽창 실링은, 상기 교차하는 방향으로 상호 대향하는 가압면 및 고정면과, 상기 가압면 및 상기 고정면을 연결시키는 한 쌍의 연결면을 구비하고,
    상기 가압면은 상기 개구부의 내측벽 또는 상기 도어부의 외측면을 향하도록 배치되고,
    상기 가스 주입실의 횡단면 형상은 상기 가압면과 가까운 모서리들이 모따기된 사각형 형상을 이루고,
    상기 가압면에는 요철이 형성되고,
    상기 차폐부는 상기 팽창 실링의 팽창 시에 상기 요철에 끼워질 수 있도록 상기 도어부의 외측면 또는 상기 내측벽에서 돌출되며 폐루프 형상을 이루는 대면적 도어 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 개구부의 내측벽 및 이와 대향하는 상기 도어부의 외측면 중 적어도 어느 하나에 형성될 수 있고, 상기 밀봉부가 수용되는 설치홈부;를 포함하는 대면적 도어 장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 개구부의 내측벽 및 상기 도어부의 외측면은 상기 교차하는 방향으로 상호 대향하고,
    상기 설치홈부는 상기 내측벽 및 상기 외측면 중 어느 하나에 오목하게 형성되어 상기 간극을 따라 연장되고,
    상기 밀봉부는 상기 간극을 따라 연장되고, 상기 도어부가 개구부 내부에 위치할 때, 가스 주입에 의해 팽창하여 상기 내측벽 및 상기 외측면과 접촉할 수 있는 대면적 도어 장치.
  4. 청구항 2에 있어서,
    상기 도어부는,
    상기 교차하는 방향으로 연장되고, 상기 개구부의 면적보다 작은 면적으로 형성되고, 상기 개구부의 내외부에 선택적으로 위치할 수 있는 도어 몸체;
    상기 도어 몸체의 끝단에서 상기 교차하는 방향으로 각기 돌출되고, 그 사이에 상기 설치홈부를 정의하도록 상기 관통 방향으로 서로 이격되는 복수개의 턱;을 포함하는 대면적 도어 장치.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 도어 몸체 및 상기 복수개의 턱은 모서리가 라운드지게 형성되는 대면적 도어 장치.
  6. 청구항 2에 있어서,
    상기 밀봉부는,
    상기 설치홈부에 삽입되는 상기 팽창 실링;
    상기 팽창 실링과 연통되고, 팽창용 가스가 출입되는 출입관;
    상기 출입관과 연결되고, 팽창용 가스가 저장되는 가스 탱크; 및
    상기 출입관에 장착되고, 팽창용 가스의 유량을 조절하는 가스 밸브;를 포함하는 대면적 도어 장치.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 고정면은 상기 설치홈부에 고정되는 대면적 도어 장치.
  8. 청구항 1에 있어서,
    상기 가스 주입실은 상기 가압면보다 상기 고정면에 가깝게 위치하도록 상기 팽창 실링의 내부에서 상기 교차하는 방향으로 편중되는 대면적 도어 장치.
  9. 삭제
  10. 삭제
  11. 청구항 1에 있어서,
    상기 도어부를 상기 개구부의 내외부에 선택적으로 위치시킬 수 있도록 상기 벽체부에 설치되며, 상기 도어부가 지지되는 구동부;를 포함하는 대면적 도어 장치.
  12. 청구항 1에 있어서,
    상기 챔버에 설치되고, 상기 도어부를 상기 챔버에 회동 가능하게 연결시키는 힌지부;를 포함하는 대면적 도어 장치.
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