CN102261516A - 阀门、操作阀门的方法、以及真空处理设备 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种用于开启及闭合开口部的真空形成阀门。所述阀门包括：封盖部，用于水平地移动以紧密地接触所述开口部或与所述开口部间隔开；轴单元，用于垂直地移动所述封盖；以及连杆单元，耦合至所述封盖部及所述轴单元，以将垂直运动变成水平运动并水平地移动所述封盖部。由单个操作部操作所述封盖部，以简化阀门。由于阀箱的正面与背面均被封盖，因而能可靠地维持腔室中的真空。甚至当腔室的压力发生变化而造成反压时，也能可靠地维持腔室中的真空。各气缸内的活塞相互连接以使各活塞以相同的速度移动，从而防止部件变形或受损。

Description

阀门、操作阀门的方法、以及真空处理设备

技术领域

本发明涉及一种阀门(valve)，更具体而言，涉及一种闸阀(gate valve)，所述闸阀在用于处理基板的真空处理设备中开启及闭合用于传送基板的传送通道(passage)。

背景技术

一般而言，在用于处理基板的真空处理设备中，通过连接至真空腔室的外壁的基板传送通道将基板载入及载出处理腔室。基板传送通道设置有用于开启及闭合基板传送通道的闸阀。

阀箱(valve case)可设置于基板传送通道中，并在其正面及背面上包括开口部。基板即穿过所述开口部。在这种情况下，闸阀安装于阀箱中，并通过操作闸阀的封盖部来开启及闭合所述开口部。

使用包括气缸(cylinder)及凸轮轴(camshaft)的装置来操作闸阀的封盖部。气缸垂直地移动所述封盖部，凸轮轴则水平地移动所述封盖部，从而将封盖部移动至开口部。由于此种闸阀具有复杂的结构，因而其安装及操作颇为困难。阀箱的正面开口部与背面开口部仅其中的一个有封盖。在这种情况下，当腔室的内部压力发生变化或腔室受到来自外部的损坏时，封盖部便可能会与开口部间隔开而释放掉腔室中的真空。

闸阀包括气压缸(pneumatic cylinder)，以用于操作用来封盖所述开口部的封盖部。当提供有多个用于操作所述封盖部的气缸时，设置于各气缸中的活塞的速度可能会有所不同。在这种情况下，封盖部可能不能可靠地且稳定地封盖所述开口部，且构成闸阀的部件可能会变形。

发明内容

本发明提供一种闸阀，所述闸阀包括用于水平及垂直地操作封盖部的单个操作部。

本发明还提供一种闸阀，所述闸阀安装于在其正面及背面中具有开口部的阀箱上，以开启及关闭这两个开口部。

本发明还提供一种闸阀，所述闸阀可使多个气缸中的多个活塞的运动同步，以向上推动封盖部。

根据本发明的实例性实施例，一种用于开启及闭合开口部的真空形成阀门包括：封盖部，相对于所述开口部在前后方向上移动，以紧密地接触所述开口部或与所述开口部间隔开；轴单元，用于在上下方向上移动所述封盖部；以及连杆(link)单元，耦合至所述封盖部以及所述轴单元，以将所述轴单元的垂直运动变成水平运动并在所述前后方向上移动所述封盖部。

所述阀门还可包括操作部，所述操作部耦合至所述轴单元的一端，以垂直地移动所述轴单元。

根据本发明的另一实例性实施例，一种用于开启及闭合开口部的真空形成阀门包括：封盖部，相对于所述开口部在前后方向上移动，以紧密地接触所述开口部或与所述开口部间隔开；多个移动构件，连接至所述封盖部，用于在上下方向上以及在所述前后方向上移动所述封盖部；以及接头单元，用于使所述移动构件相互耦合。

根据本发明的另一实例性实施例，提供一种用于操作阀门的方法，所述阀门用于封盖开口部以形成真空，所述方法包括：在上下方向上将封盖部及轴单元初始地移动至所述开口部，以将所述封盖部设置于所述开口部前面的待用(stand-by)位置，其中所述封盖部用以紧密地接触所述开口部或与所述开口部间隔开，且所述轴单元连接至所述封盖部；以及在所述封盖部设置于所述待用位置时，在所述上下方向上二次(secondary)移动所述轴单元，并将所述二次移动变成水平运动；以及以所述水平运动形式水平地移动所述封盖部，以使所述封盖部紧密地接触所述开口部。

上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本发明的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

附图说明

结合附图阅读下文说明，可更详尽地理解本发明的实例性实施例，附图中：

图1是根据实例性实施例的阀门的横剖视图。

图2是根据实例性实施例的阀门的分解透视图。

图3是根据实例性实施例的气缸的横剖视图。

图4A、图4B及图4C是根据实例性实施例的阀门的操作的横剖视图。

图5A及图5B是根据实例性实施例的阀门的主要部分的操作的横剖视图。

图6是根据实例性实施例的阀门的横剖视图。

图7A及图7B是根据实例性实施例的阀门的操作的横剖视图。

图8是根据实例性实施例的包括阀门的真空处理设备的示意图。

图9是沿图8中的线A-A’截取的横剖视图。

图10是根据实例性实施例的一种操作阀门的方法的流程图。

符号的说明：

1：阀门

10：阀箱

11：开口部

12：开口部

20：真空锁腔室

30a～30e：处理腔室

40：传送腔室

50：机械手臂

100：气缸

110：咬合凸缘

200：活塞

300：第一轴

310：止挡器

400：第二轴

410：凸缘

500：弹性构件

600：第一连杆

600a：第一正面连杆

600b：第一背面连杆

700：第二连杆

700a：第二正面连杆

700b：第二背面连杆

800：封盖部

800a：正面封盖部

800b：背面封盖部

810：连接构件

820：密封构件

900：接头轴

910：啮合齿条

920：小齿轮

1000：轴单元

2000：连杆单元

3000：接头单元

S10、S20、S30、S40、S50、S60：操作

具体实施方式

以下，将参照附图详细说明本发明的具体实施例。然而，本发明也可实施为不同的形式，而不应被视为仅限于本文所述的实施例。相反，提供这些实施例是为了使本揭露内容将更透彻及完整，并将向所属领域的技术人员全面传达本发明的范围。在整个说明书中，相同的编号表示相同的元件。

图1是根据实例性实施例的阀门的横剖视图。图2是根据实例性实施例的阀门的分解透视图。图3是根据实例性实施例的气缸的横剖视图。图4A、图4B及图4C是根据实例性实施例的阀门的操作的横剖视图。在图2至图6中，左右方向是x轴方向，前后方向是y轴方向，上下方向则是z轴方向。

根据实例性实施例的阀门1包括：封盖部800，包括正面封盖部800a及背面封盖部800b；轴单元1000，包括第一轴300及第二轴400；以及连杆单元2000，包括第一连杆600及第二连杆700。

阀门1可安装于具有盒子(box)形状的阀箱10上。阀箱10在其正面部分及背面部分中包括开口部11及12，以用于传送基板。

封盖部800封盖阀箱10的开口部11及12，并可具有板形状，所述板形状大于开口部11及12，如图2所示。封盖部800在y轴方向上是可移动的。因此，封盖部800可紧密地接触开口部11及12以闭合开口部11及12，并可与开口部11及12间隔开以开启开口部11及12。封盖部800连接至下文所将说明的连杆单元2000，并在y轴方向上移动，以接触开口部11及12或与开口部11及12间隔开。参见图2，封盖部800的紧密接触开口部11及12的表面在所述表面的边缘中具有凹槽(groove)。在这些凹槽中装有密封构件820。密封构件820可由例如橡胶等弹性材料制成，并具有圆形横截面。密封构件820的圆形横截面的直径略大于封盖部800的凹槽的深度，以使密封构件820的一部分可突出于封盖部800之外，如图5所示。在这种情况下，当封盖部800紧密地接触阀箱10以封盖开口部11及12时，密封构件820发生变形而使封盖部800更可靠地接触阀箱10。

包括第一轴300及第二轴400的轴单元1000在z轴方向上移动封盖部800，并通过包括第一连杆600及第二连杆700的连杆单元2000而连接至封盖部800，连杆单元2000将在下文中予以详细说明。

连杆单元2000连接至封盖部800以使封盖部800在y轴方向上移动，连杆单元2000将封盖部800连接至轴单元1000，以将轴单元1000的垂直运动变成在y轴方向上的水平运动，如图4所示，此将在下文中予以详细说明。

阀门1还可包括操作部。操作部耦合至轴单元1000的一端，以垂直地移动轴单元1000。参见图3，操作部可包括气缸100及活塞200，气缸100具有开口的上部，活塞200则在气缸100内垂直地往复运动。轴单元1000可耦合至活塞200的上部。

气缸100设置于阀箱10的下面，并具有圆柱体形状，所述圆柱体形状具有开放(open)的上部。当将动力传递给气缸100时，设置于气缸100内的活塞200便向上移动。在本实施例中是例示气压缸，但本发明并不仅限于此，只要活塞可往复运动即可。

轴单元1000可包括：第一轴300，耦合至活塞200的上部，以与活塞200一起移动；以及第二轴400，通过可压缩的弹性构件500而耦合至活塞200的上部，以与第一轴300一起移动。第二轴400可具有内部空间，从而使第一轴300在第二轴400的方向上穿过第二轴400。

参见图2，第一轴300耦合至活塞200的上部，并具有在z轴方向上延伸的杆形状，并且与活塞200一起垂直地移动。第一轴300穿过第二轴400(将在下文中予以详细说明)并长于第二轴400，因此第一轴300的上端突出于第二轴400之外。第一轴300可在其上端包括铰轴(hinge shaft)。第一连杆600(将在下文中予以说明)可旋转地耦合至铰轴。第一轴300可包括从与活塞200相耦合的端部突出的止挡器(stopper)310。止挡器310将在下文中予以说明。

第二轴400在z轴方向上延伸，并具有圆柱体形状，所述圆柱体形状提供内部空间，穿过第二轴400的第一轴300即设置于所述内部空间中。第二轴400通过弹性构件500而连接至活塞200，并可与第一轴300及活塞200一起在z轴方向上移动。第二轴400在其上端中包括铰轴。第二连杆700(将在下文中予以说明)可旋转地耦合至所述铰轴。

参见图3，可在气缸100内设置咬合凸缘(catching flange)110，且凸缘410从第二轴400的外圆周表面突出。当第二轴400在气缸100内向上移动时，咬合凸缘110会咬合所述凸缘410而止挡该第二轴400。

弹性构件500设置于活塞200与第二轴400的下端之间，并由可压缩材料制成。弹性构件500将活塞200连接至用于接纳第一轴300的第二轴400。当活塞200移动至气缸100的上侧时，通过弹性构件500进行连接的第二轴400向上移动，连接至活塞200的第一轴300也向上移动。然后，当形成于第二轴400上的凸缘410被咬合至气缸100的咬合凸缘110时，第二轴400便不再移动，而是受到止挡。参见图4A、图4B及图4C，当活塞200受到按压而进一步向上移动时，弹性构件500被压缩，且第一轴300及活塞200向上移动，第二轴400则受到止挡。参见图2，弹性构件500是在第二轴400的下端设置成压缩弹簧的形式。弹性构件500可具有将受到压缩并恢复至其原始形状的任何形状及任何材料。

当轴单元1000如上所述包括第一轴300及第二轴400时，连杆单元2000可包括第一连杆600及第二连杆700。

第一连杆600将第一轴300连接至封盖部800，并耦合至位于第一轴300的上端处的铰轴的侧部，以将活塞200的垂直运动变成水平运动，从而使封盖部800开启或闭合阀箱10的开口部11及12。参见图2，第一连杆600可成对地设置于第一轴300的左侧及右侧，并可成一个或多个对(pair)地设置于第一轴300的纵向方向上，从而稳定地支撑封盖部800。

第一连杆600可包括一对第一正面连杆600a及第一背面连杆600b。第一正面连杆600a的一端及第一背面连杆600b的一端被铰接至第一轴300的上端的侧部，且第一正面连杆600a的另一端及第一背面连杆600b的另一端被铰接至正面封盖部800a及背面封盖部800b的侧部，从而使第一正面连杆600a及第一背面连杆600b可上下旋转。第一正面连杆600a与第一背面连杆600b可排列于y轴方向上，如图5所示。第一连杆600与第二连杆700(将在下文中予以说明)相互作用，以将轴单元1000的垂直运动变成y轴方向上的水平运动，这将在下文中根据第一连杆600的结构及操作来予以详细说明。

第二连杆700将第二轴400连接至正面封盖部800a及背面封盖部800b，并耦合至位于第二轴400的上端处的铰轴，以将活塞200的垂直运动变成水平运动，从而使正面封盖部800a及背面封盖部800b开启或闭合阀箱10的开口部11及12。参见图2，第二连杆700可成对地设置于第二轴400的左侧及右侧，以稳定地支撑封盖部800。

第二连杆700可包括一对第二正面连杆700a及第二背面连杆700b。第二正面连杆700a的一端及第二背面连杆700b的一端被铰接至第二轴400的上端的侧部，且第二正面连杆700a的另一端及第二背面连杆700b的另一端被铰接至封盖部800a及封盖部800b的侧部，从而使第二正面连杆700a及第二背面连杆700b可上下旋转。第二正面连杆700a与第二背面连杆700b可排列于y轴方向上，如图4所示。

参见图4，如第一正面连杆600a与第一背面连杆600b一样，第二正面连杆700a与第二背面连杆700b分别设置于正面与背面。第二连杆700与第一连杆600相互作用，以将轴单元1000的垂直运动变成y轴方向上的水平运动，这将在下文中根据第二连杆700的结构及操作来予以详细说明。

当第一连杆600与第二连杆700中的每一者均成对地设置于y轴方向上时，封盖部800可包括正面封盖部800a及背面封盖部800b，如图4所示。正面封盖部800a铰接至第一正面连杆600a及第二正面连杆700a以便上下旋转，并使正面开口部11闭合。背面封盖部800b铰接至第一背面连杆600b及第二背面连杆700b以便上下旋转，并使背面开口部12闭合。在这种情况下，参见图2，封盖部800在其背面上包括连接构件810，且连接构件810具有板形状并包括铰轴。因此，包括第一连杆600及第二连杆700的连杆单元2000耦合至正面封盖部800a及背面封盖部800b的铰轴。

图6是根据实例性实施例的阀门的横剖视图。图7A及图7B是根据实例性实施例的阀门的操作的横剖视图。

根据实例性实施例，用于开启及闭合阀箱10的开口部11及12的真空阀门包括封盖部800、移动构件以及接头单元3000。

封盖部800相对于开口部11及12而在y轴方向上移动，以如上文所述接触开口部11及12或与开口部11及12间隔开。

所述移动构件分别连接至各封盖部800，以在y轴方向上及z轴方向上移动该封盖部800。所述移动构件中的每一者包括：轴单元1000，包括第一轴300及第二轴400；以及连杆单元2000，包括第一连杆600及第二连杆700。轴单元1000在z轴方向上移动该封盖部800。连杆单元2000耦合至封盖部800及轴单元1000，以将轴单元1000的垂直运动变成水平运动并在y轴方向上移动该封盖部800。轴单元1000及连杆单元2000的结构及技术特征已在上文加以阐述。所述移动构件中的每一者可包括气缸100及活塞200，气缸100具有开放的上部，活塞200则在气缸100内往复运动。在这种情况下，轴单元1000耦合至活塞200的上部。

接头单元3000使各移动构件相互耦合。当设置有多个用于移动该封盖部800的移动构件时，各移动构件的速度可互不相同。在这种情况下，封盖部800可能会扭转，因此开口部11及12可能无法被充分地封盖着，并且构成阀门的部件可能会破裂。为解决这些问题，提供接头单元3000。接头单元3000包括接头轴900。当移动构件中的每一者包括气缸100及活塞200时，接头轴900耦合至活塞200。

参见图6，接头单元3000可包括：齿条910，耦合至活塞200的下部；以及小齿轮920，啮合齿条910。在这种情况下，接头轴900耦合至小齿轮920的旋转轴。通过小齿轮920进行连接的接合轴900可使设置至各气缸100的活塞200以相同的速度移动。

可将旋转装置(图中未示出)连接至接合轴900，以旋转接合轴900。在这种情况下，活塞200的速度增大，以更迅速地闭合开口部11及12。所述旋转装置可为任何用于旋转接合轴900的装置，例如为马达。

根据实例性实施例，现在将参照图4A至图5B来说明一种用于操作如上所述加以构造的阀门的方法。

图4A、图4B及图4C是根据实例性实施例的阀门的操作的横剖视图。图5A及图5B是根据实例性实施例的阀门的主要部分的操作的横剖视图。

首先，当向设置于气缸100的下端处的注入口(图中未示出)注入空气时，活塞200如图4A所示向上移动，且耦合至活塞200的第一轴300及第二轴400也向上移动。相应地，通过连杆单元2000耦合至轴单元1000的正面封盖部800a及背面封盖部800b也向上移动。此时，因第一轴300及第二轴400也移动，因此第一正面连杆600a及第一背面连杆600b与第二正面连杆700a及第二背面连杆700b不旋转。因此，正面封盖部800a及背面封盖部800b不在y轴方向上移动。

在活塞200在气缸100内向上移动的状态中，当形成于第二轴400的下端的外圆周表面上的凸缘410如图4B所示被咬合至气缸100的咬合凸缘110时，活塞200便不再移动并停止运动。插入于第二轴400中的第一轴300、以及通过第二正面连杆700a及第二背面连杆700b而连接至第二轴400的正面封盖部800a及背面封盖部800b也停止运动。此时，正面封盖部800a及背面封盖部800b停止于与开口部11及12相对应的位置处。

当通过注入口而在气缸100中持续地注入空气时，空气的压力增大，且使活塞200向上移动的力也增大。此时，弹性构件500不能克服所述压力，并受到活塞200压缩，如图4C所示。此时，弹性构件500的被压缩长度使活塞200向上移动。相应地，第二轴400停止运动，而耦合至活塞200的第一轴300则向上移动。

第一轴300通过第一正面连杆600a及第一背面连杆600b、正面封盖部800a及背面封盖部800b、以及第二正面连杆700a及第二背面连杆700b而连接至第二轴400。亦即，尽管第一轴300向上移动，通过第一正面连杆600a及第一背面连杆600b而连接至第一轴300的封盖部800a及800b却无法向上移动，这是因为正面封盖部800a及背面封盖部800b还连接至第二轴400。

因此，当第一轴300向上移动时，正面第二连杆700a及背面第二连杆700b相对于铰接至正面封盖部800a及背面封盖部800b的轴M及N而向上旋转，如图5A所示。相应地，参见图5B，第二正面连杆700a及轴M向前移动，第二背面连杆700b及轴N则向后移动，从而水平地移动正面封盖部800a及背面封盖部800b。亦即，正面封盖部800a移动至正面开口部11并紧密地接触及闭合正面开口部11，且背面封盖部800b则移动至背面开口部12并紧密地接触及闭合背面开口部12。参见图5B，当第一正面连杆600a与第一背面连杆600b形成约180°的夹角时，正面封盖部800a及背面封盖部800b可更可靠地接触正面开口部11及背面开口部12。

当止挡件310设置至第一轴300时，止挡件310被咬合至第二轴400，以防止第一轴300过度地向上移动。亦即，当弹性构件500受到压缩而使第一轴300向上移动时，止挡件310会限制第一连杆600移动至使封盖部800紧密接触开口部11及12的程度。

可对气压缸持续地施加空气压力来维持压力状态，以使正面封盖部800a及背面封盖部800b持续地接触开口部11及12，从而在真空处理设备的腔室中维持真空。

移除气压缸中的空气压力，以释放腔室中的真空并开启开口部11及12。当空气压力降低时，被压缩的弹性构件500恢复至其原始形状，且被活塞200向上移动的第一轴300向下移动。当第一轴300向下移动时，通过第一连杆600而连接至第一轴300的封盖部800便与开口部11及12间隔开。当空气压力进一步降低时，活塞200进一步向下移动，因此，凸缘410被咬合至咬合凸缘110的第二轴400也向下移动。

以下，将参照附图来详细说明根据实例性实施例的包括阀门的真空处理设备。

图8是根据实例性实施例的包括阀门的真空处理设备的示意图。图9是沿图8中的线A-A’截取的横剖视图。

所述真空处理设备包括腔室，且根据前述实施例的阀门可形成于所述腔室的外壁上。当真空处理设备包括多个腔室时，根据前述实施例的阀门可设置于这些腔室之间。

参见图8，所述真空处理设备可包括真空锁腔室(load lock chamber)20、处理腔室30a至30e、传送腔室(transfer chamber)40以及机械手臂(robotarm)50。

在将基板加载至处理腔室30a至30e之前，真空锁腔室20形成用于将基板加载至处理腔室30a至30e的条件。传送腔室40将处理腔室30a至30e连接至真空锁腔室20。机械手臂50设置于传送腔室40中，用于将基板从真空锁腔室20传送至其中一个处理腔室30a至30e或从其中一个处理腔室30a至30e传送至真空锁腔室20。

参见图9，阀门1可设置于真空锁腔室20与传送腔室40之间，以将真空锁腔室20连接至传送腔室40。阀门1可设置于传送腔室40与处理腔室30a至30e之间。阀门1稳定地维持腔室中的真空，并有利于实现在各腔室之间传送基板时的工艺流程(process flow)。根据本实施例的真空处理设备如图8所示是群簇型(cluster type)设备，但本发明并不仅限于此。例如，也可使用一种用于垂直地传送基板的直列型(in-line type)真空处理设备。

以下，将参照附图来说明根据实例性实施例的一种用于操作阀门的方法。

图10是根据实例性实施例的一种操作阀门的方法的流程图。

首先，如图4A所示，在操作S10中，将封盖部800及轴单元1000在z轴方向上初始地移动至开口部11及12，其中封盖部800可接触开口部11及12以及与开口部11及12及间隔开。然后，在操作S20中，将封盖部800设置于待用位置上以供接触各开口部11及12。在这种状态下，如图4B所示，在操作S30中在z轴方向上对该轴单元1000进行二次移动。

当在z轴方向上初始地移动该轴单元1000时，第一轴300与第二轴400一起从图4A的状态移动至图4B的状态。当在z轴方向上对该轴单元1000进行二次移动时，仅第一轴300从图4B的状态移动至图4C的状态，而第二轴400则固定。

在z轴方向上对该轴单元1000进行二次移动的同时，在操作S40中将该轴单元1000的垂直运动变成水平运动。当第一连杆600与第二连杆700耦合于轴单元1000与封盖部800之间时，第一连杆600与第二连杆700将轴单元1000的垂直运动变成水平运动，如图5所示。

相应地，封盖部800在操作S50中水平地移动，并在操作S60中紧密地接触各开口部11及12。

当提供多个开口部时，可提供多个封盖部800以对应于这些开口部，且这些封盖部800可分别同时接触这些开口部。例如，当如图4所示在正面与背面提供两个开口部时，可在正面与背面中提供两个封盖部。亦即，通过对称的连杆单元2000，正面封盖部800a与背面封盖部800b可分别同时接触各开口部11与12。

轴单元1000可连接至封盖部，且各轴单元1000可相互耦合，以便如图6、图7A及图7B所示相互一同移动。

根据本实施例，由单个操作部来操作这些封盖部，以简化阀门的结构。

由于阀箱的正面与背面均被封盖着，因而能可靠地维持腔室中的真空。因此，甚至当腔室的压力发生变化而造成反压(back pressure)时，也能可靠地维持腔室中的真空。

当提供多个用于向上推动封盖部的气缸时，这些气缸内的活塞相互连接以使各活塞以相同的速度移动，从而防止阀门的部件变形或受损。

由于使用上述方式的操作装置来移动各活塞，则封盖部可更迅速地开启及闭合基板传送通道。

尽管阀门、操作阀门的方法、以及真空处理设备是参照具体实例性实施例加以说明，然而其并不仅限于此。因此，所属领域的技术人员将易于理解，可在不脱离由权利要求所界定的本发明精神及范围的条件下对其作出各种修饰及更动。

Claims (19)

1.一种用于开启及闭合开口部的真空形成阀门，所述阀门包括：

封盖部，相对于所述开口部在前后方向上移动，以紧密地接触所述开口部或与所述开口部间隔开；

轴单元，用于在上下方向上移动所述封盖部；以及

连杆单元，耦合至所述封盖部以及所述轴单元，以将所述轴单元的垂直运动变成水平运动并在所述前后方向上移动所述封盖部。

2.根据权利要求1所述的阀门，还包括操作部，所述操作部耦合至所述轴单元的一端，以垂直地移动所述轴单元。

3.根据权利要求2所述的阀门，其中所述操作部包括：

气缸，设置于所述轴单元之下并具有开放的上部；以及

活塞，在所述气缸内垂直地往复运动，

其中

所述轴单元耦合至所述活塞的上部。

4.根据权利要求3所述的阀门，其中所述轴单元包括：

第一轴，耦合至所述活塞的所述上部，以与所述活塞一同移动；以及

第二轴，通过可压缩的弹性构件而连接至所述活塞的所述上部，以与所述第一轴一起移动。

5.根据权利要求4所述的阀门，其中所述第二轴具有内部空间，以使所述第一轴在所述第二轴的纵向方向上穿过所述第二轴。

6.根据权利要求5所述的阀门，其中所述连杆单元包括：

一对第一连杆，分别将各自的一端铰接至所述第一轴的上端的侧部并将另一端铰接至所述封盖部的侧部，以垂直地旋转，所述第一连杆排列于所述前后方向上；以及

一对第二连杆，分别将各自的一端铰接至所述第二轴的上端的侧部并将另一端铰接至所述封盖部的侧部，以垂直地旋转，所述第二连杆排列于所述前后方向上。

7.根据权利要求6所述的阀门，其中所述封盖部包括：

前封盖部，铰接至设置于正面的所述第一连杆以及设置于所述正面的所述第二连杆，以垂直地旋转；以及

后封盖部，铰接至设置于背面的所述第一连杆以及设置于所述背面的所述第二连杆，以垂直地旋转。

8.根据权利要求5所述的阀门，其中在所述第二轴的下端的外圆周表面上设置凸缘；以及

在所述气缸的上端内部设置咬合凸缘，且

当所述活塞向上移动时，所述凸缘接触所述咬合凸缘。

9.一种用于开启及闭合开口部的真空形成阀门，所述阀门包括：

封盖部，相对于所述开口部在前后方向上移动，以紧密地接触所述开口部或与所述开口部间隔开；

多个移动构件，连接至所述封盖部，用于在上下方向上以及在所述前后方向上移动所述封盖部；以及

接头单元，用于使所述移动构件相互耦合。

10.根据权利要求9所述的阀门，其中所述移动构件中的每一者均包括：

轴单元，用于垂直地移动所述封盖部；以及

连杆单元，耦合至所述封盖部及所述轴单元，以将所述轴单元的垂直运动变成水平运动并在所述前后方向上移动所述封盖部。

11.根据权利要求10所述的阀门，其中所述移动构件中的每一者均包括气缸及活塞，所述气缸具有开放的上部，所述活塞在所述气缸内往复运动，以及

所述轴单元分别耦合至所述活塞的上部，以及

所述接头单元包括多个接合轴，多个所述接合轴分别耦合至所述活塞。

12.根据权利要求11所述的阀门，其中所述接头单元包括齿条及小齿轮，所述齿条耦合至所述活塞的下部，所述小齿轮则啮合所述齿条，以及

所述接合轴耦合至所述小齿轮的旋转轴。

13.根据权利要求12所述的阀门，还包括旋转装置，所述旋转装置连接至所述接合轴，以使所述接合轴旋转。

14.一种用于操作阀门的方法，所述阀门用于封盖开口部以形成真空，所述方法包括：

在上下方向上将封盖部及轴单元初始地移动至所述开口部，以将所述封盖部设置于所述开口部前面的待用位置，其中所述封盖部用以紧密地接触所述开口部或与所述开口部间隔开，且所述轴单元连接至所述封盖部；以及

在所述封盖部设置于所述待用位置时，在所述上下方向上二次移动所述轴单元，并将所述二次移动变成水平运动；以及

以所述水平运动形式水平地移动所述封盖部，以使所述封盖部紧密地接触所述开口部。

15.根据权利要求14所述的方法，其中所述轴单元包括第一轴及第二轴，以及

所述第一轴及所述第二轴在所述初始移动中是垂直地移动；以及

所述第一轴在所述二次移动中是垂直地移动。

16.根据权利要求14所述的方法，其中在所述轴单元与所述封盖部之间耦合有连杆单元，以将所述轴单元的垂直运动变成水平运动。

17.根据权利要求14所述的方法，其中提供多个相互面对的所述开口部，以及

提供多个所述封盖部，以对应于所述多个开口部，且

所述多个封盖部同时接触所述多个开口部。

18.根据权利要求14所述的方法，其中多个轴单元连接至所述封盖部，以及

所述多个轴单元相互连接，以相互一同移动。

19.一种真空处理设备，包括：

一个或多个腔室；以及

阀门，安装于所述腔室的外壁上或所述多个腔室之间，

其中所述阀门是根据权利要求1至13中的任一项所述的阀门。

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