CN218644108U - 真空箱自动隔离闸门及真空箱 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种真空箱自动隔离闸门及真空箱，该真空箱自动隔离闸门包括：基板、密封板、密封圈、驱动器、两个导轨和两个安装块，通过在闸门口的两侧设置有导轨，密封板通过连杆与安装块转动连接，配合驱动器驱动安装块在导轨上滑动，带动密封板做靠近或远离所述闸门口的方向的运动，能够对闸门口进行封闭和开启，密封板通过平移的方式对闸门口进行封闭和开启，减少了真空箱自动隔离闸门开合所需的空间，便于自动上下料设备向真空箱内进行上下料。

Description

真空箱自动隔离闸门及真空箱

技术领域

本实用新型涉及真空箱技术领域，特别涉及一种真空箱自动隔离闸门及真空箱。

背景技术

在电子元器件的加工过程中，例如进行真空镀膜或离子蚀刻时，均需要在真空的环境下进行，常需要使用到真空箱为其提供真空的工作环境。

现有的真空箱的隔离闸门，通常为以铰链或合页连接，以扇形开合的方式来运作，打开或关闭的过程中都会占用一个较大的扇形空间，开合的隔离闸门占用较大的空间，自动上下料设备向真空箱内进行上下料时，需要避开隔离闸门而移动更长的行程，不便于自动上下料进行上下料。

实用新型内容

基于此，有必要提供一种真空箱自动隔离闸门及真空箱。

本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下：一种真空箱自动隔离闸门，包括：基板、密封板、密封圈、驱动器、两个导轨和两个安装块；

所述基板上开设有闸门口，所述闸门口用于与真空箱的内部连通，所述密封圈设置在所述基板上，且所述密封圈环绕设置在所述闸门口的外侧；

两个所述导轨间隔设置在所述闸门口的两侧，每一所述安装块滑动设置在一所述导轨上，每一所述安装块上转动设置有连杆，所述连杆的第一端与所述安装块转动连接，所述连杆的第二端与所述密封板的一端转动连接；

每一所述安装块上设置有固定座，每一所述固定座上设置有弹性件，每一所述弹性件的第一端与一所述固定座连接，每一所述弹性件的第二端与一所述连杆的第二端连接；

所述驱动器设置在所述基板上，所述驱动器用于驱动所述安装块在所述导轨上滑动，以带动所述密封板做靠近或远离所述闸门口的方向的运动，所述基板上设置有第一限位块，当所述驱动器驱动所述安装块带动所述密封板移动至所述闸门口时，所述密封板的第一侧与所述第一限位块活动抵接。

在一个实施例中，还包括：横杆，所述驱动器的输出端与所述横杆连接，所述横杆的两端分别设置有推杆，每一所述推杆的第一端与所述横杆的一端连接，每一所述推杆的第二端与一所述安装块连接。

在一个实施例中，所述基板上间隔设置有两个导向块，每一所述导向块上开设有导向孔，每一所述推杆穿设在一所述导向孔内，且所述推杆的外侧表面与所述导向孔的侧壁活动抵接。

在一个实施例中，所述基板上设置有第二限位块，所述第一限位块与所述第二限位块间隔分布在所述闸门口的两侧，所述第二限位块与所述密封板的第二侧活动抵接。

在一个实施例中，所述密封板的第一侧上设置有滚轮，当所述驱动器驱动所述安装块带动所述密封板移动至所述闸门口时，所述滚轮与所述第一限位块活动抵接。

在一个实施例中，所述密封板的第一侧上设置有转动座，所述转动座上开设有转动槽，所述滚轮转动设置在所述转动槽，且所述滚轮至少部分凸出于所述转动槽的外侧。

在一个实施例中，所述第一限位块的数量设置为两个或两个以上，所述滚轮的数量设置为两个或两个以上，且所述第一限位块的数量与所述滚轮的数量相等。

在一个实施例中，每一所述安装块上的所述连杆的数量设置为两个，两个所述连杆的第一端间隔转动设置在所述安装块上，两个所述连杆的第二端间隔转动设置在所述密封板的一端上，所述弹性件的第二端与一所述连杆的第二端连接。

在一个实施例中，所述密封板的两端分别设置有连接板，所述连接板的第一端与所述密封板连接，所述连接板的第二端与所述连杆的第二端转动连接。

本实用新型还提供一种真空箱，包括上述任一项实施例中所述的真空箱自动隔离闸门。

本实用新型的有益效果是：本实用新型提供的一种真空箱自动隔离闸门，通过在闸门口的两侧设置有导轨，密封板通过连杆与安装块转动连接，配合驱动器驱动安装块在导轨上滑动，带动密封板做靠近或远离所述闸门口的方向的运动，能够对闸门口进行封闭和开启，密封板通过平移的方式对闸门口进行封闭和开启，减少了真空箱自动隔离闸门开合所需的空间，便于自动上下料设备向真空箱内进行上下料。

附图说明

图1为一个实施例的真空箱自动隔离闸门的结构示意图；

图2为一个实施例的真空箱自动隔离闸门的一状态下的结构示意图；

图3为一个实施例的真空箱自动隔离闸门的一方向的结构示意图。

附图中，10、真空箱自动隔离闸门；100、基板；110、闸门口；120、密封圈；200、密封板；210、滚轮；220、连接板；300、导轨；400、安装块；410、连杆；420、固定座；430、弹性件；500、驱动器；510、横杆；520、推杆；530、导向块；610、第一限位块；620、第二限位块。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。以下将结合本实用新型实施例的附图，对本实用新型的技术方案做进一步描述，本实用新型不仅限于以下具体实施方式。

需要理解的是，实施例的附图中相同或相似的标号对应相同或相似的部件。在本实用新型的描述中，需要理解的是，若有术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此附图中描述位置关系的用语仅用于示例性说明，不能理解为对本专利的限制，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语的具体含义。

在一个实施例中，如图1、图2和图3所示，一种真空箱自动隔离闸门10，包括：基板100、密封板200、密封圈120、驱动器500、两个导轨300和两个安装块400；所述基板100上开设有闸门口110，所述闸门口110用于与真空箱的内部连通，所述密封圈120设置在所述基板100上，且所述密封圈120环绕设置在所述闸门口110的外侧；两个所述导轨300间隔设置在所述闸门口110的两侧，每一所述安装块400滑动设置在一所述导轨300上，每一所述安装块400上转动设置有连杆410，所述连杆410的第一端与所述安装块400转动连接，所述连杆410的第二端与所述密封板200的一端转动连接；每一所述安装块400上设置有固定座420，每一所述固定座420上设置有弹性件430，每一所述弹性件430的第一端与一所述固定座420连接，每一所述弹性件430的第二端与一所述连杆410的第二端连接；所述驱动器500设置在所述基板100上，所述驱动器500用于驱动所述安装块400在所述导轨300上滑动，以带动所述密封板200做靠近或远离所述闸门口110的方向的运动，所述基板100上设置有第一限位块610，当所述驱动器500驱动所述安装块400带动所述密封板200移动至所述闸门口110时，所述密封板200的第一侧与所述第一限位块610活动抵接。

在本实施例中，通过在闸门口110的两侧设置有导轨300，密封板200通过连杆410与安装块400转动连接，配合驱动器500驱动安装块400在导轨300上滑动，带动密封板200做靠近或远离闸门口110的方向的运动，密封板200能够对闸门口110进行封闭和开启。在一个实施例中，为了使得密封板200能够更好地下压，所述密封板200的第一侧上设置有滚轮210，当所述驱动器500驱动所述安装块400带动所述密封板200移动至所述闸门口110时，所述滚轮210与所述第一限位块610活动抵接，也就是说，当密封板200与闸门口110对齐时，密封板200的第一侧上的滚轮210与第一限位块610活动抵接，驱动器500继续驱动密封板200向上移动时，第一限位块610能够给滚轮210提供反向的作用力，这样，密封板200受力向下平移且靠近基板100表面移动，使得安装块400上的连杆410发生转动，密封板200下压与闸门口110的外侧的密封圈120抵接，能够对闸门口110进行密封，此时，弹性件430处于拉伸状态，当密封板200做远离闸门口110的方向的运动时，密封板200上的滚轮210与第一限位块610分离，第一限位块610给滚轮210提供的反向作用力消失，此时，弹性件430复原，在弹性件430的弹力的作用下，连杆410转动带动密封板200上升远离密封圈120，即密封板200向上平移且远离基板100表面移动，驱动器500继续驱动密封板200向下移动，能够开启闸门口110，密封板200通过平移的方式对闸门口110进行封闭和开启，减少了真空箱自动隔离闸门10开合所需的空间，便于自动上下料设备向真空箱内进行上下料。

在一个实施例中，如图1和图2所示，当需要关闭闸门口110时，驱动器500驱动安装块400上移，使得密封板200向上平移，当密封板200的第一侧上的滚轮210与第一限位块610抵接时，第一限位块610能够阻止滚轮210继续向上移动，滚轮210受到第一限位块610的反作用力，进而使得密封板200在连杆410的作用下向下平移且靠近基板100表面移动，密封板200下压与闸门口110的外侧的密封圈120抵接，能够完成对闸门口110进行密封，此时，密封板200上的连杆410向下转动，使得弹性件430处于拉伸状态；当需要开启闸门口110时，驱动器500驱动安装块400下移，使得密封板200向下平移，当密封板200的第一侧上的滚轮210与第一限位块610分离时，第一限位块610给滚轮210提供的反向作用力消失，此时，弹性件430复原，在弹性件430的弹力的作用下，连杆410向上转动，带动密封板200上升远离密封圈120，即密封板200向上平移且远离基板100表面移动，然后驱动器500继续驱动密封板200向下平移，能够完成闸门口110的开启。在本实施例中，所述弹性件可以为拉伸弹簧，在另一个实施例中，所述弹性件可以为压缩弹簧。

为了能够同步驱动两个安装块400在基板100上滑动，在一个实施例中，如图1所示，所述真空箱自动隔离闸门10还包括：横杆510，所述驱动器500的输出端与所述横杆510连接，所述横杆510的两端分别设置有推杆520，每一所述推杆520的第一端与所述横杆510的一端连接，每一所述推杆520的第一端与所述横杆510的一端连接，每一所述推杆520的第二端与一所述安装块400连接。具体地，所述驱动器500为气缸，驱动器500的输出端与横杆510的中部连接，两个推杆520的第一端相对设置在横杆510的两端上，通过两个推杆520的第二端分别与一安装块400连接，驱动器500驱动横杆510沿着竖直方向上进行升降，能够同步带动两个安装块400在导轨300上滑动，从而同步带动密封板200的两端沿着竖直方向上平移。

为了使得密封板200能够平稳地在基板100上平移，在一个实施例中，如图2所示，所述基板100上间隔设置有两个导向块530，每一所述导向块530上开设有导向孔，每一所述推杆520穿设在一所述导向孔内，且所述推杆520的外侧表面与所述导向孔的侧壁活动抵接。具体地，两个导向块530相对设置在基板100的两端，且每一导向块530与一导轨300对齐设置，即导向孔的中心轴向与安装块400在导轨300上的滑动方向相互平行，这样，能够限定推杆520的移动方向，使得推杆520只做竖直方向上的上下移动，从而密封板200能够更稳定地在基板100上进行上下平移。

在一个实施例中，如图1所示，所述基板100上设置有第二限位块620，所述第一限位块610与所述第二限位块620间隔分布在所述闸门口110的两侧，所述第二限位块620与所述密封板200的第二侧活动抵接。具体地，第一限位块610分布在闸门口110的第一侧，第二限位块620分布在闸门口110的第二侧，即第一限位块610位于第二限位块620上下依次分布在闸门口110两侧，第二限位块620的数量可以设置为两个，两个第二限位块620间隔设置在闸门口110的第二侧，每一第二限位块620与密封板200的第二侧的一端对齐，这样，能够限制密封板200的向下平移的位置。

为了实现滚轮210转动设置在密封板200的第一侧上，在一个实施例中，所述密封板200的第一侧上设置有转动座，所述转动座上开设有转动槽，所述滚轮210转动设置在所述转动槽，且所述滚轮210至少部分凸出于所述转动槽的外侧。具体地，转动槽的侧壁上相对开设有转动孔，两个转动孔内转动设置有转动杆，即转动杆的第一端转动设置在第一个转动孔内，转动杆的第二端转动设置在第二个转动孔内，滚轮210固定在转动杆上，从而滚轮210能够转动设置在密封板200的第一侧上。

在一个实施例中，所述第一限位块610的数量设置为两个或两个以上，所述滚轮210的数量设置为两个或两个以上，且所述第一限位块610的数量与所述滚轮210的数量相等。具体地，各第一限位块610均匀分布在闸门口110的第一侧上，每一滚轮210与一第一限位块610对齐设置，这样，密封板200的第一侧上的滚轮210与第一限位块610活动抵接时，各滚轮210转动，通过各第一限位块610给各滚轮210提供反向的作用力，能够使得密封板200的第一侧受到较大的反作用力，且受力均匀，能够更好地带动使得密封板200下压与密封圈120抵接。

为使得密封板200能够更平稳地下压或上升，在一个实施例中，每一所述安装块400上的所述连杆410的数量设置为两个，两个所述连杆410的第一端间隔转动设置在所述安装块400上，两个所述连杆410的第二端间隔转动设置在所述密封板200的一端上，所述弹性件430的第二端与一所述连杆410的第二端连接。具体地，通过在每一安装块400上设置有两个连杆410，即密封板200的两端均通过两个连杆410与安装块400转动连接，两个连杆410之间平行设置，且固定座420位于两个连杆410之间，弹性件430的第二端与位于固定座420下方的连杆410的第二端连接，密封板200能够更平稳地下压或上升，能够更平稳靠近或远离密封圈120。

在一个实施例中，如图1所示，所述密封板200的两端分别设置有连接板220，所述连接板220的第一端与所述密封板200连接，所述连接板220的第二端与所述连杆410的第二端转动连接。具体地，密封板200通过连接板220与连杆410连接，当密封板200平移至与闸门口110对齐时，能够缩短密封板200与密封圈120之间的距离，这样，密封板200受力下压，能够更好地与密封圈120紧密抵接，能够更好地密封闸门口110。

在一个实施例中，所述连接板220的横截面形状可以为“Z”字形，能够缩短密封板200与密封圈120之间的距离。

在一个实施例中，所述密封板200朝向所述密封圈120的一面开设有密封槽，所述密封槽的形状及大小与所述密封圈120的形状及大小相适配，这样，密封板200下压与密封圈120抵接时，密封圈120嵌合在密封槽内，具有更好地密封效果。

在一个实施例中，提供一种真空箱，其包括上述任一项实施例中所述的真空箱自动隔离闸门10。需要理解的是，真空箱还包括其他的组件，例如箱体，真空箱自动隔离闸门10设置在箱体上，闸门口110与真空箱的内部连通，这样，可以通过不断地抽取箱体内的空气，真空箱自动隔离闸门10使得箱体内的空间与外界高度分隔。

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为清楚地说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种真空箱自动隔离闸门，其特征在于，包括：基板、密封板、密封圈、驱动器、两个导轨和两个安装块；

所述基板上开设有闸门口，所述闸门口用于与真空箱的内部连通，所述密封圈设置在所述基板上，且所述密封圈环绕设置在所述闸门口的外侧；

两个所述导轨间隔设置在所述闸门口的两侧，每一所述安装块滑动设置在一所述导轨上，每一所述安装块上转动设置有连杆，所述连杆的第一端与所述安装块转动连接，所述连杆的第二端与所述密封板的一端转动连接；

每一所述安装块上设置有固定座，每一所述固定座上设置有弹性件，每一所述弹性件的第一端与一所述固定座连接，每一所述弹性件的第二端与一所述连杆的第二端连接；

所述驱动器设置在所述基板上，所述驱动器用于驱动所述安装块在所述导轨上滑动，以带动所述密封板做靠近或远离所述闸门口的方向的运动，所述基板上设置有第一限位块，当所述驱动器驱动所述安装块带动所述密封板移动至所述闸门口时，所述密封板的第一侧与所述第一限位块活动抵接。

2.根据权利要求1所述的真空箱自动隔离闸门，其特征在于，还包括：横杆，所述驱动器的输出端与所述横杆连接，所述横杆的两端分别设置有推杆，每一所述推杆的第一端与所述横杆的一端连接，每一所述推杆的第二端与一所述安装块连接。

3.根据权利要求2所述的真空箱自动隔离闸门，其特征在于，所述基板上间隔设置有两个导向块，每一所述导向块上开设有导向孔，每一所述推杆穿设在一所述导向孔内，且所述推杆的外侧表面与所述导向孔的侧壁活动抵接。

4.根据权利要求1所述的真空箱自动隔离闸门，其特征在于，所述基板上设置有第二限位块，所述第一限位块与所述第二限位块间隔分布在所述闸门口的两侧，所述第二限位块与所述密封板的第二侧活动抵接。

5.根据权利要求1所述的真空箱自动隔离闸门，其特征在于，所述密封板的第一侧上设置有滚轮，当所述驱动器驱动所述安装块带动所述密封板移动至所述闸门口时，所述滚轮与所述第一限位块活动抵接。

6.根据权利要求5所述的真空箱自动隔离闸门，其特征在于，所述密封板的第一侧上设置有转动座，所述转动座上开设有转动槽，所述滚轮转动设置在所述转动槽，且所述滚轮至少部分凸出于所述转动槽的外侧。

7.根据权利要求5所述的真空箱自动隔离闸门，其特征在于，所述第一限位块的数量设置为两个或两个以上，所述滚轮的数量设置为两个或两个以上，且所述第一限位块的数量与所述滚轮的数量相等。

8.根据权利要求1所述的真空箱自动隔离闸门，其特征在于，每一所述安装块上的所述连杆的数量设置为两个，两个所述连杆的第一端间隔转动设置在所述安装块上，两个所述连杆的第二端间隔转动设置在所述密封板的一端上，所述弹性件的第二端与一所述连杆的第二端连接。

9.根据权利要求1所述的真空箱自动隔离闸门，其特征在于，所述密封板的两端分别设置有连接板，所述连接板的第一端与所述密封板连接，所述连接板的第二端与所述连杆的第二端转动连接。

10.一种真空箱，其特征在于，包括权利要求1-9中任一项所述的真空箱自动隔离闸门。

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