CN203836259U - 一种高效矩形插板阀 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种高效矩形插板阀，包括阀体、与该阀体相匹配的阀芯以及带动阀芯沿阀体上、下移动的驱动装置，阀芯包括呈敞口盒状结构的支撑组件和嵌设于该支撑组件内的密封板，密封板的第一面为密封面且朝向阀体设置，密封板的第二面与支撑组件之间均匀布置有多个弹簧和铰链，密封板的顶部设有多个穿过支撑组件顶板且向上延伸设置的定位块，阀体的顶部设有与定位块配合的限位板，驱动装置通过杠杆放大机构与支撑组件连接。采用本实用新型进行开、关阀门均只需要30秒，大大缩短了阀门的开关时间，由此使得生产效率大为提升。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种真空镀膜设备，特别涉及一种用于连续式镀膜生产线上密封各个真空室的高效矩形插板阀。
背景技术
常见的真空电镀，一般是在一个电镀仓室内进行电镀操作，如果将多个电镀仓室节联起来，进行连续电镀，则需要将各个真空室分别密封，这就需要一种能够对各真空室随时进行密封和开启的装置，并且要保持电镀室的真空度。
中国专利CN202561089提供了一种用于密封各个真空室的矩形插板阀，包括矩形平板状的阀体、与阀体形状匹配的阀芯，阀芯左、右两边各装有导向装置和闭锁器，阀芯受电动机带动能够沿阀体上、下移动，当阀芯上移到指定位置，阀门上端的定位传感器发出指令使闭锁器顶压阀芯，密封阀门。
上述矩形插板阀进行开、关阀门动作均需要2分钟以上，这对于每个真空室只需要15分钟电镀工艺时间来说，是巨大的浪费，大大制约了生产效率。
因此，如何能尽可能地缩短阀门的开关时间且同时保证阀门的真空密封性和耐用性是本领域技术人员致力于解决的问题之一。
发明内容
本实用新型的目的，就是为了解决上述问题而提供了一种高效矩形插板阀，能大大缩短阀门的开关时间，从而提高了生产效率。
本实用新型的目的是这样实现的：
本实用新型的一种高效矩形插板阀，包括阀体、与该阀体相匹配的阀芯以及带动所述阀芯沿所述阀体上、下移动的驱动装置，所述阀体上设有两根互相平行且竖直设置的导轨，所述阀芯可滑动地安装于所述两根导轨之间，所述阀芯包括呈敞口盒状结构的支撑组件和嵌设于该支撑组件内的密封板，所述密封板的第一面为密封面且朝向所述阀体设置，所述密封板的第二面与所述支撑组件之间均匀布置有多个使所述密封板收紧于所述支撑组件内的弹簧，且所述弹簧与所述密封板的连接端低于其与所述支撑组件的连接端，所述密封板的第二面与所述支撑组件之间还均匀布置有多个铰链，当所述密封板收紧于所述支撑组件内时，所述铰链与所述密封板的铰接端高于其与所述支撑组件的铰接端，所述密封板的顶部设有多个穿过所述支撑组件顶板且向上延伸设置的定位块，所述阀体的顶部设有与所述定位块配合的限位板，所述驱动装置通过杠杆放大机构与所述阀芯的支撑组件连接。
上述的一种高效矩形插板阀，其中，所述驱动装置包括对称设于所述两根导轨两侧且朝下设置的汽缸，所述杠杆放大机构包括水平设置的撑板、对称设于所述撑板上方两侧的连杆机构、对称固定于所述撑板上的托起板，以及分别对称固定于所述阀体底部两侧的支架座和导杆，所述撑板的两端分别与对应汽缸的伸缩杆固定连接，所述连杆机构包括一级放大杆和推拉杆，所述一级放大杆的相对外侧端与对应支架座铰接，相对内侧端与所述推拉杆的一端铰接，所述一级放大杆的中部与对应的托起板铰接，所述推拉杆的另一端与所述支撑组件铰接，所述导杆为竖直设置，且穿设于所述撑板上。
上述的一种高效矩形插板阀，其中，所述密封板顶部设有多个朝向所述支撑组件开口的安装槽，所述定位块通过销子安装于该安装槽内。
上述的一种高效矩形插板阀，其中，所述支撑组件的两侧壁上设有多个与所述导轨滑动配合的导向轴承。
采用本实用新型进行开、关阀门均只需要30秒，大大缩短了阀门的开关时间，由此使得生产效率大为提升；同时，采用弹簧和铰链的方式使支撑组件与密封板分离、回收，能更好地保护密封面，使阀门的真空密封性能在长期开关过程中能保持；而采用杠杆放大机构，能使气缸行程转换为阀芯行程时，更加平稳，使阀门的寿命大幅提高。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图；
图2是本实用新型中阀芯的第一分解示意图；
图3是本实用新型中阀芯的第二分解示意图；
图4是图3中A处的局部放大图；
图5是本实用新型中阀芯处于上升状态的示意图。
具体实施方式
下面将结合附图，对本实用新型作进一步说明。
请参阅图1，图中示出了本实用新型高效矩形插板阀，包括阀体1、与该阀体1相匹配的阀芯2以及带动阀芯2沿阀体1上、下移动的驱动装置，阀体1上设有两根互相平行且竖直设置的导轨11，阀芯2可滑动地安装于两根导轨11之间，驱动装置包括对称设于两根导轨11两侧且朝下设置的汽缸3，汽缸3的伸缩杆31(伸缩杆31外套设有波纹管)通过杠杆放大机构与阀芯2连接；
杠杆放大机构包括水平设置的撑板41、对称设于撑板41上方两侧的连杆机构、对称固定于撑板41上的托起板43，以及分别对称固定于阀体1底部两侧的支架座45和导杆46，撑板41的两端分别与对应汽缸3的伸缩杆31固定连接，连杆机构包括一级放大杆42和推拉杆44，一级放大杆42的相对外侧端与对应支架座45铰接，相对内侧端与推拉杆44的一端铰接，一级放大杆42的中部与对应的托起板43铰接，推拉杆44的另一端与阀芯2铰接，导杆46为竖直设置，且穿设于撑板41上，起到导向的作用。
请参阅图1至图4，阀芯2包括呈敞口盒状结构的支撑组件21和嵌设于该支撑组件21内的密封板22，密封板22的第一面221为密封面且朝向阀体1设置，密封板22的第二面222与支撑组件21之间均匀布置有多个使密封板22收紧于支撑组件21内的弹簧224，且弹簧224与密封板22的连接端低于其与支撑组件21的连接端，密封板22的第二面222与支撑组件21之间还均匀布置有多个铰链225，当密封板22收紧于支撑组件21内时，铰链225与密封板22的铰接端高于其与支撑组件21的铰接端，密封板22的顶部设有三个穿过支撑组件21顶板且向上延伸设置的定位块223，阀体1的顶部设有与定位块223配合的限位板12，推拉杆44与支撑组件21铰接，支撑组件21的两侧壁上设有多个与导轨11滑动配合的导向轴承211。
密封板22顶部设有三个朝向支撑组件21开口的安装槽227，定位块223通过销子226安装于该安装槽227内，该定位块223可绕销子226小范围来回转动。
阀芯2的上下移动由汽缸3驱动，而杠杆放大机构将汽缸3行程转换为阀芯2行程，使得驱动行程放大。因为行程经过放大，力变小，所以汽缸3选用较大缸径，以提供更大的拉力。
当阀门处于开启状态时，阀芯2位于阀体1的底部，密封板22在弹簧224的作用下收紧于支撑组件21内，且此时弹簧224处于压缩状态。
如图5所示，汽缸3向上拉动时，拉动撑板41沿导杆46向上运动，位于撑板41上的连杆机构被抬起，由此，阀芯2被连杆机构中的推拉杆44向上推动；
当阀芯2上移至密封位置时，定位块223碰触限位板12，密封板22即停止向上运动，而支撑组件21在汽缸3的驱动下继续向上移动，此时铰链225开始绕其与密封板22的铰接端转动，由此支撑起密封板22使其与支撑组件21分离，并且朝向阀体1移动，直至该密封板22的密封面(第一面221)将阀体1密封，阀门处于关闭状态，此时弹簧224处于拉伸状态。为了保证密封板22顺利向阀体1移动，定位块223在此过程中可绕销子226略微转动。
当阀门再度开启时，支撑组件21向下移动，密封板22在弹簧224的作用下再次被收紧于支撑组件21内，此时定位块223也重新恢复竖直向上的状态。
均匀布置的弹簧224和铰链225保证了密封板22平稳的伸出和回收。
以上实施例仅供说明本实用新型之用，而非对本实用新型的限制，有关技术领域的技术人员，在不脱离本实用新型的精神和范围的情况下，还可以作出各种变换或变型，因此所有等同的技术方案也应该属于本实用新型的范畴，应由各权利要求所限定。
Claims (4)
1.一种高效矩形插板阀，包括阀体、与该阀体相匹配的阀芯以及带动所述阀芯沿所述阀体上、下移动的驱动装置，其特征在于，所述阀体上设有两根互相平行且竖直设置的导轨，所述阀芯可滑动地安装于所述两根导轨之间，所述阀芯包括呈敞口盒状结构的支撑组件和嵌设于该支撑组件内的密封板，所述密封板的第一面为密封面且朝向所述阀体设置，所述密封板的第二面与所述支撑组件之间均匀布置有多个使所述密封板收紧于所述支撑组件内的弹簧，且所述弹簧与所述密封板的连接端低于其与所述支撑组件的连接端，所述密封板的第二面与所述支撑组件之间还均匀布置有多个铰链，当所述密封板收紧于所述支撑组件内时，所述铰链与所述密封板的铰接端高于其与所述支撑组件的铰接端，所述密封板的顶部设有多个穿过所述支撑组件顶板且向上延伸设置的定位块，所述阀体的顶部设有与所述定位块配合的限位板，所述驱动装置通过杠杆放大机构与所述阀芯的支撑组件连接。
2.如权利要求1所述的一种高效矩形插板阀，其特征在于，所述驱动装置包括对称设于所述两根导轨两侧且朝下设置的汽缸，所述杠杆放大机构包括水平设置的撑板、对称设于所述撑板上方两侧的连杆机构、对称固定于所述撑板上的托起板，以及分别对称固定于所述阀体底部两侧的支架座和导杆，所述撑板的两端分别与对应汽缸的伸缩杆固定连接，所述连杆机构包括一级放大杆和推拉杆，所述一级放大杆的相对外侧端与对应支架座铰接，相对内侧端与所述推拉杆的一端铰接，所述一级放大杆的中部与对应的托起板铰接，所述推拉杆的另一端与所述支撑组件铰接，所述导杆为竖直设置，且穿设于所述撑板上。
3.如权利要求1所述的一种高效矩形插板阀，其特征在于，所述密封板顶部设有多个朝向所述支撑组件开口的安装槽，所述定位块通过销子安装于该安装槽内。
4.如权利要求1所述的一种高效矩形插板阀，其特征在于，所述支撑组件的两侧壁上设有多个与所述导轨滑动配合的导向轴承。
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Cited By (2)
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|---|---|---|---|---|
| CN113932028A (zh) * | 2021-12-20 | 2022-01-14 | 成都乘风阀门有限责任公司 | 一种水平安装平板闸阀 |
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2014
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