CN111042691A - 一种真空腔体的密封门结构 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种真空腔体的密封门结构，包括门板、门板升降组机构和门板压紧机构，门板升降机构包括两个升降导轨和两个升降驱动，两个升降导轨位于真空腔体门口的两侧，升降导轨上设有滑动组件，各升降驱动的固定端分别固定在各升降导轨的一侧，各升降驱动的驱动端分别与各滑动组件连接，并驱动滑动组件在升降导轨上移动，门板压紧机构包括两个水平伸缩驱动，各水平伸缩驱动分别固定于各滑动组件上，门板固定于两个水平伸缩驱动的驱动端。本发明具有结构简单、占用空间小、自动化程度高的优点。

Description

一种真空腔体的密封门结构
技术领域
本发明涉及离子注入机，尤其涉及一种真空腔体的密封门结构。
背景技术
离子注入机经常需要将其真空腔体内部的腔体抽真空从而完成工艺过程，但是也并非一直处于真空状态，在工艺过程完成后，需要打开真空腔体的密封门取出工艺样片，从而暴露真空腔体内部空间。目前，密封门大多为常规的铰链式结构，开关门过程对应的运动轨迹为圆弧状，不利于自动化控制。开关门方式通常都是待真空腔体充气回归至大气压后，人工手动打开，随后完成腔体内部工艺样片的取片工作。
发明内容
本发明要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种结构简单、占用空间小、自动化程度高的真空腔体的密封门结构。
为解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案：
一种真空腔体的密封门结构，包括门板、门板升降组机构和门板压紧机构，所述门板升降机构包括两个升降导轨和两个升降驱动，所述两个升降导轨位于真空腔体门口的两侧，所述升降导轨上设有滑动组件，各所述升降驱动的固定端分别固定在各升降导轨的一侧，各所述升降驱动的驱动端分别与各滑动组件连接，并驱动滑动组件在升降导轨上移动，所述门板压紧机构包括两个水平伸缩驱动，各所述水平伸缩驱动分别固定于各滑动组件上，所述门板固定于两个水平伸缩驱动的驱动端。
作为上述技术方案的进一步改进，优选的，所述滑动组件包括滑动连接板和两个滑块，所述两个滑块上下间隔布置，所述滑动连接板与两个滑块连接，所述升降驱动的驱动端与滑动连接板连接。
作为上述技术方案的进一步改进，优选的，所述升降驱动为升降气缸，所述升降气缸的气缸轴通过气缸连接板与滑动连接板连接。
作为上述技术方案的进一步改进，优选的，所述水平伸缩驱动的固定端固定在滑动连接板上。
作为上述技术方案的进一步改进，优选的，所述水平伸缩驱动为水平伸缩气缸。
作为上述技术方案的进一步改进，优选的，所述升降导轨的顶部设有防止滑动组件脱离的限位碰块。
作为上述技术方案的进一步改进，优选的，所述门板上设有观察窗。
作为上述技术方案的进一步改进，优选的，所述观察窗内设有透明玻璃。
作为上述技术方案的进一步改进，优选的，所述升降驱动和水平伸缩驱动均设有位移传感器。
作为上述技术方案的进一步改进，优选的，所述升降驱动为带导杆的气缸。
与现有技术相比，本发明的优点在于：
本发明通过将常规铰链门的旋转式开关运动分解为上下运动和前后运动，仅采用两个升降导轨，两个升降驱动以及两个水平伸缩驱动，即可实现门板自动打开与关闭以及压紧，结构简单，减少了水平面内的空间占用；可通过水平伸缩驱动的作用将门板可靠地压紧于真空腔体的门口上，从而保证密封，也有利于对两种直线运动进行自动化控制，减少人为操作。
附图说明
图1是本发明真空腔体的密封门结构在真空腔体上的示意图。
图2是本发明真空腔体的密封门结构的主视图。
图3是本发明真空腔体的密封门结构的左视图。
图4是本发明真空腔体的密封门结构的右视图(从两个升降导轨之间向右看)。
图5是本发明本发明真空腔体的密封门结构的立体结构示意图。
图中各标号表示：
1、门板；2、升降导轨；3、升降驱动；31、气缸轴；4、真空腔体；5、滑动组件；51、滑动连接板；52、滑块；6、水平伸缩驱动；7、气缸连接板；8、观察窗；81、透明玻璃；9、限位碰块。
具体实施方式
以下结合说明书附图和具体实施例对本发明作进一步详细说明。
如图1至图5所示，本实施例的真空腔体的密封门结构，包括门板1、门板升降组机构和门板压紧机构，门板升降机构包括两个升降导轨2和两个升降驱动3，两个升降导轨2位于真空腔体4门口的两侧，升降导轨2上设有滑动组件5，各升降驱动3的固定端分别固定在各升降导轨2的一侧，各升降驱动3的驱动端分别与各滑动组件5连接，并驱动滑动组件5在升降导轨2上移动，门板压紧机构包括两个水平伸缩驱动6，各水平伸缩驱动6分别固定于各滑动组件5上，门板1固定于两个水平伸缩驱动6的驱动端。水平伸缩驱动6随着滑动组件5的移动而上下移动，进而门板1也实现了上下移动。
利用升降驱动3驱动滑动组件5在升降导轨2上下运动，进而驱动门板1沿升降导轨2上下移动，使得门板1移动至与真空腔体4的门口，同时利用水平伸缩驱动6带动门板1前后移动，可实现门板1压紧于真空腔体4的门口上，也即关门，或门板1与真空腔体4的门口分开，也即开门。本发明通过将常规铰链门的旋转式开关运动分解为上下运动和前后运动，仅采用两个升降导轨2，两个升降驱动3以及两个水平伸缩驱动6，即可实现门板1自动打开与关闭以及压紧，结构简单，减少了水平面内的空间占用；可通过水平伸缩驱动6的作用将门板1可靠地压紧于真空腔体4的门口上，从而保证密封，也有利于对两种直线运动进行自动化控制，减少人为操作。
本实施例中，滑动组件5包括滑动连接板51和两个滑块52，两个滑块52上下间隔布置，滑动连接板51与两个滑块52连接，升降驱动3的驱动端与滑动连接板51连接。由于门板1相对较大，并且水平伸缩驱动6也需要安装在滑块52上，通过一个滑动连接板51加两个滑块52的结构可以实现门板1和水平伸缩驱动6的安装以及稳定上下的滑动。
本实施例中，升降驱动3为升降气缸，升降气缸的气缸轴31通过气缸连接板7与滑动连接板51连接。具体的，升降驱动3为带导杆的升降气缸，可实现上下移动过程中的导向，提高升降的稳定性。
本实施例中，水平伸缩驱动6为水平伸缩气缸，水平伸缩气缸的缸体固定在滑动连接板51上，驱动轴端与门板1固定连接。
本实施例中，升降导轨2的顶部设有限位碰块9，防止滑块52上升时脱离的升降导轨2。升降导轨2的下端也设有相应的防滑块52脱离升降导轨2脱离的措施。
本实施例中，门板1上设有观察窗8。具体的观察窗8内设有透明玻璃81，便于观察真空腔体4内的适时状态。除本实施例外，也可以是透明的耐高温耐腐蚀的塑料材料。
本实施例中，升降驱动3和水平伸缩驱动6均设有位移传感器，可通过位移传感器可精准的判断门板1的移动位移，实现门板1开关门以及压紧的精准的控制。
本发明所述的“固定连接”包括了可拆卸的螺栓连接以及焊接，铆接等常见的固定连接方式。
虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明。任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围的情况下，都可利用上述揭示的技术内容对本发明技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均应落在本发明技术方案保护的范围内。

Claims (10)

1.一种真空腔体的密封门结构，其特征在于：包括门板(1)、门板升降组机构和门板压紧机构，所述门板升降机构包括两个升降导轨(2)和两个升降驱动(3)，所述两个升降导轨(2)位于真空腔体(4)门口的两侧，所述升降导轨(2)上设有滑动组件(5)，各所述升降驱动(3)的固定端分别固定在各升降导轨(2)的一侧，各所述升降驱动(3)的驱动端分别与各滑动组件(5)连接，并驱动滑动组件(5)在升降导轨(2)上移动，所述门板压紧机构包括两个水平伸缩驱动(6)，各所述水平伸缩驱动(6)分别固定于各滑动组件(5)上，所述门板(1)固定于两个水平伸缩驱动(6)的驱动端。
2.根据权利要求1所述的真空腔体的密封门结构，其特征在于：所述滑动组件(5)包括滑动连接板(51)和两个滑块(52)，所述两个滑块(52)上下间隔布置，所述滑动连接板(51)与两个滑块(52)连接，所述升降驱动(3)的驱动端与滑动连接板(51)连接。
3.根据权利要求2所述的真空腔体的密封门结构，其特征在于：所述升降驱动(3)为升降气缸，所述升降气缸的气缸轴(31)通过气缸连接板(7)与滑动连接板(51)连接。
4.根据权利要求2所述的真空腔体的密封门结构，其特征在于：所述水平伸缩驱动(6)的固定端固定在滑动连接板(51)上。
5.根据权利要求4所述的真空腔体的密封门结构，其特征在于：所述水平伸缩驱动(6)为水平伸缩气缸。
6.根据权利要求1至5任意一项所述的真空腔体的密封门结构，其特征在于：所述升降导轨(2)的顶部设有防止滑动组件(5)脱离的限位碰块(9)。
7.根据权利要求1至5任意一项所述的真空腔体的密封门结构，其特征在于：所述门板(1)上设有观察窗(8)。
8.根据权利要求7所述的真空腔体的密封门结构，其特征在于：所述观察窗(8)内设有透明玻璃(81)。
9.根据权利要求1至5任意一项所述的真空腔体的密封门结构，其特征在于：所述升降驱动(3)和水平伸缩驱动(6)均设有位移传感器。
10.根据权利要求1至5任意一项所述的真空腔体的密封门结构，其特征在于：所述升降驱动(3)为带导杆的气缸。
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Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111550158A (zh) * 2020-05-25 2020-08-18 珠海市精实测控技术有限公司 一种侧滑式自动开关门机构
CN112014652A (zh) * 2020-10-26 2020-12-01 成都天锐星通科技有限公司 一种紧缩场测试设备
CN112066238A (zh) * 2020-08-27 2020-12-11 智瑞半导体有限公司 一种氮气柜自动开合门密封机构
CN112081496A (zh) * 2020-08-31 2020-12-15 中国电子科技集团公司第四十八研究所 一种半导体设备的真空密封门装置
CN112289667A (zh) * 2020-10-14 2021-01-29 北京烁科中科信电子装备有限公司 一种用于离子注入机大气端和真空端交互的二维开关门装置
CN113847427A (zh) * 2021-08-16 2021-12-28 四川旭虹光电科技有限公司 密封门机构和热弯机
CN114093797A (zh) * 2022-01-25 2022-02-25 江苏邑文微电子科技有限公司 一种晶舟装载器及传片系统
CN114471985A (zh) * 2022-02-14 2022-05-13 安徽佳峰汽车部件有限公司 一种汽车零部件加工用静电喷粉喷涂设备
CN116373472A (zh) * 2022-12-29 2023-07-04 武汉国创科光电装备有限公司 一种喷墨打印用真空干燥成膜系统

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2835507Y (zh) * 2005-11-23 2006-11-08 泰琪科技股份有限公司 气动门可调式气密结构
CN203462900U (zh) * 2013-08-21 2014-03-05 万新军 一种手套箱密封舱舱门自动锁紧与开启装置
CN204311927U (zh) * 2014-12-03 2015-05-06 志圣科技（广州）有限公司 一种平移式升降高气密性自动门
CN204402227U (zh) * 2014-12-23 2015-06-17 山东新华医疗器械股份有限公司 升降门驱动机构
CN105758186A (zh) * 2016-03-29 2016-07-13 东莞市汇成真空科技有限公司 一种连续真空生产线的进出口端门
KR20180114702A (ko) * 2017-04-11 2018-10-19 이헌 방음문의 자동 개폐장치

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2835507Y (zh) * 2005-11-23 2006-11-08 泰琪科技股份有限公司 气动门可调式气密结构
CN203462900U (zh) * 2013-08-21 2014-03-05 万新军 一种手套箱密封舱舱门自动锁紧与开启装置
CN204311927U (zh) * 2014-12-03 2015-05-06 志圣科技（广州）有限公司 一种平移式升降高气密性自动门
CN204402227U (zh) * 2014-12-23 2015-06-17 山东新华医疗器械股份有限公司 升降门驱动机构
CN105758186A (zh) * 2016-03-29 2016-07-13 东莞市汇成真空科技有限公司 一种连续真空生产线的进出口端门
KR20180114702A (ko) * 2017-04-11 2018-10-19 이헌 방음문의 자동 개폐장치

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111550158A (zh) * 2020-05-25 2020-08-18 珠海市精实测控技术有限公司 一种侧滑式自动开关门机构
CN112066238A (zh) * 2020-08-27 2020-12-11 智瑞半导体有限公司 一种氮气柜自动开合门密封机构
CN112081496A (zh) * 2020-08-31 2020-12-15 中国电子科技集团公司第四十八研究所 一种半导体设备的真空密封门装置
CN112289667A (zh) * 2020-10-14 2021-01-29 北京烁科中科信电子装备有限公司 一种用于离子注入机大气端和真空端交互的二维开关门装置
CN112289667B (zh) * 2020-10-14 2024-06-04 北京烁科中科信电子装备有限公司 一种用于离子注入机大气端和真空端交互的二维开关门装置
CN112014652A (zh) * 2020-10-26 2020-12-01 成都天锐星通科技有限公司 一种紧缩场测试设备
CN113847427A (zh) * 2021-08-16 2021-12-28 四川旭虹光电科技有限公司 密封门机构和热弯机
CN113847427B (zh) * 2021-08-16 2024-01-30 四川旭虹光电科技有限公司 密封门机构和热弯机
CN114093797A (zh) * 2022-01-25 2022-02-25 江苏邑文微电子科技有限公司 一种晶舟装载器及传片系统
CN114471985A (zh) * 2022-02-14 2022-05-13 安徽佳峰汽车部件有限公司 一种汽车零部件加工用静电喷粉喷涂设备
CN116373472A (zh) * 2022-12-29 2023-07-04 武汉国创科光电装备有限公司 一种喷墨打印用真空干燥成膜系统
CN116373472B (zh) * 2022-12-29 2023-12-01 武汉国创科光电装备有限公司 一种喷墨打印用真空干燥成膜系统

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