CN112081496A - 一种半导体设备的真空密封门装置 - Google Patents

一种半导体设备的真空密封门装置 Download PDF

Info

Publication number
CN112081496A
CN112081496A CN202010896342.1A CN202010896342A CN112081496A CN 112081496 A CN112081496 A CN 112081496A CN 202010896342 A CN202010896342 A CN 202010896342A CN 112081496 A CN112081496 A CN 112081496A
Authority
CN
China
Prior art keywords
vacuum
door
connecting plate
vacuum door
semiconductor device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202010896342.1A
Other languages
English (en)
Inventor
佘鹏程
龚俊
张双景
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
CETC 48 Research Institute
Original Assignee
CETC 48 Research Institute
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by CETC 48 Research Institute filed Critical CETC 48 Research Institute
Priority to CN202010896342.1A priority Critical patent/CN112081496A/zh
Publication of CN112081496A publication Critical patent/CN112081496A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • E—FIXED CONSTRUCTIONS
    • E06—DOORS, WINDOWS, SHUTTERS, OR ROLLER BLINDS IN GENERAL; LADDERS
    • E06B—FIXED OR MOVABLE CLOSURES FOR OPENINGS IN BUILDINGS, VEHICLES, FENCES OR LIKE ENCLOSURES IN GENERAL, e.g. DOORS, WINDOWS, BLINDS, GATES
    • E06B3/00—Window sashes, door leaves, or like elements for closing wall or like openings; Layout of fixed or moving closures, e.g. windows in wall or like openings; Features of rigidly-mounted outer frames relating to the mounting of wing frames
    • E06B3/32—Arrangements of wings characterised by the manner of movement; Arrangements of movable wings in openings; Features of wings or frames relating solely to the manner of movement of the wing
    • E06B3/34—Arrangements of wings characterised by the manner of movement; Arrangements of movable wings in openings; Features of wings or frames relating solely to the manner of movement of the wing with only one kind of movement
    • E06B3/42—Sliding wings; Details of frames with respect to guiding
    • E06B3/44—Vertically-sliding wings
    • E06B3/4415—Double-hung, i.e. with two vertical sliding panels
    • E—FIXED CONSTRUCTIONS
    • E05—LOCKS; KEYS; WINDOW OR DOOR FITTINGS; SAFES
    • E05F—DEVICES FOR MOVING WINGS INTO OPEN OR CLOSED POSITION; CHECKS FOR WINGS; WING FITTINGS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, CONCERNED WITH THE FUNCTIONING OF THE WING
    • E05F15/00—Power-operated mechanisms for wings
    • E05F15/50—Power-operated mechanisms for wings using fluid-pressure actuators
    • E05F15/57—Power-operated mechanisms for wings using fluid-pressure actuators for vertically-sliding wings
    • E—FIXED CONSTRUCTIONS
    • E06—DOORS, WINDOWS, SHUTTERS, OR ROLLER BLINDS IN GENERAL; LADDERS
    • E06B—FIXED OR MOVABLE CLOSURES FOR OPENINGS IN BUILDINGS, VEHICLES, FENCES OR LIKE ENCLOSURES IN GENERAL, e.g. DOORS, WINDOWS, BLINDS, GATES
    • E06B7/00—Special arrangements or measures in connection with doors or windows
    • E06B7/16—Sealing arrangements on wings or parts co-operating with the wings
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • E—FIXED CONSTRUCTIONS
    • E05—LOCKS; KEYS; WINDOW OR DOOR FITTINGS; SAFES
    • E05Y—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASSES E05D AND E05F, RELATING TO CONSTRUCTION ELEMENTS, ELECTRIC CONTROL, POWER SUPPLY, POWER SIGNAL OR TRANSMISSION, USER INTERFACES, MOUNTING OR COUPLING, DETAILS, ACCESSORIES, AUXILIARY OPERATIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, APPLICATION THEREOF
    • E05Y2999/00—Subject-matter not otherwise provided for in this subclass

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Civil Engineering (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Pressure Vessels And Lids Thereof (AREA)

Abstract

本发明公开了一种半导体设备的真空密封门装置，包括真空腔体、真空门和升降压紧机构，升降压紧机构包括升降驱动、导向架和两个升降滑轨，两个升降滑轨分别固定在真空腔体的门口两侧的侧壁上，导向架包括两个导向板和连接座，两个导向板对称固定在连接座的两端，两个导向板分别滑设在对应的升降滑轨上，连接座设于升降驱动的驱动端，所述真空门两侧设有真空门连接板，各真空门连接板通过斜拉件与对应的导向板连接，且斜拉件的两端分别铰接在真空门连接板和导向板上，真空门连接板与导向板之间还设有拉力弹簧。本发明具有大大降低了成本、简化了结构、避免了真空门与真空腔体之间相对运动摩擦的优点。

Description

一种半导体设备的真空密封门装置
技术领域
本发明涉及半导体真空设备，尤其涉及一种半导体设备的真空密封门装置。
背景技术
半导体真空设备经常需要将设备内部腔体抽真空从而完成工艺过程，但是也并非一直处于真空状态，在工艺过程完成后，需要打开设备的密封门取出工艺样片，从而暴露真空腔体内部空间。目前，密封门大多为常规的铰链式结构，开关门过程对应的运动轨迹为圆弧状，不利于自动化控制。开关门方式通常都是待真空腔体充气回归至大气压后，人工手动打开，随后完成腔体内部工艺样片的取片工作。现有结构的半导体真空设备的密封门装置，采用多套气缸控制，结构相对复杂，成本较高。
发明内容
本发明要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种大大降低了成本、简化了结构、避免了真空门与真空腔体之间相对运动摩擦的半导体设备的真空密封门装置。
为解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案：
一种半导体设备的真空密封门装置，包括真空腔体、真空门和升降压紧机构，所述升降压紧机构包括升降驱动、导向架和两个升降滑轨，两个升降滑轨分别固定在真空腔体的门口两侧的侧壁上，所述升降驱动设于真空腔体的下方，所述导向架包括两个导向板和连接座，所述两个导向板对称固定在连接座的两端，所述两个导向板分别滑设在对应的升降滑轨上，所述连接座设于升降驱动的驱动端，所述真空门两侧设有真空门连接板，各真空门连接板通过斜拉件与对应的导向板连接，且斜拉件的两端分别铰接在真空门连接板和导向板上，所述真空门连接板与导向板之间还设有拉力弹簧，所述拉力弹簧的上端与导向板连接，下端与真空门连接板连接。
作为上述技术方案的进一步改进，所述斜拉件的两端分别设为斜拉第一端和斜拉第二端，所述斜拉第一端在真空门连接板上，斜拉第二端在导向板上，所述真空门连接板上设有定位块，所述定位块位于斜拉件的下方用于防止斜拉第二端低于斜拉第一端。
作为上述技术方案的进一步改进，所述真空门连接板与真空腔体之间设有限定真空门上升的定位结构。
作为上述技术方案的进一步改进，所述定位结构包括定位轮和可与定位轮抵接的定位凸台，所述定位轮通过定位螺栓固定在真空门连接板的内侧，所述定位凸台设于真空腔体上。
作为上述技术方案的进一步改进，所述升降滑轨上设有滑块，所述导向板固定在所述滑块上。
作为上述技术方案的进一步改进，所述斜拉件为斜拉板，所述斜拉板一端通过销轴铰接在真空门连接板上，另一端通过销轴铰接在导向板上。
作为上述技术方案的进一步改进，所述斜拉件设置多个，多个斜拉件之间相互平行。
作为上述技术方案的进一步改进，所述升降驱动为升降气缸。
作为上述技术方案的进一步改进，所述导向板和真空门连接板上设有弹簧螺栓，所述拉力弹簧两端穿设在各弹簧螺栓上。
与现有技术相比，本发明的优点在于：
本发明半导体设备的真空密封门装置，通过拉力弹簧和斜拉件的作用，实现真空门升降同时改变真空门与真空腔体密封面的贴合或脱离，仅通过一个升降驱动即可实现真空门的打开与密封，大大降低了成本，简化了结构，在开门过程中，通过斜拉杆推动真空门与真空腔体门口密封面分离，避免了真空门与真空腔体之间的相对运动摩擦。该结构可以将导向架设置在真空腔体的侧面，不需要设置在真空腔体门口的前面，布局合理，整体结构紧凑，不会与真空门一侧的其他零部件产生干涉。
附图说明
图1是本发明半导体设备的真空密封门装置的立体结构示意图。
图2是本发明中真空门与升降压紧机构的结构的示意图。
图3是图2的P处放大图。
图4是本发明中真空门关闭时的状态示意图。
图5是本发明中真空门打开时的状态示意图。
图中各标号表示：
1、真空腔体；2、真空门；21、真空门连接板；3、升降驱动；4、导向架；41、导向板；42、连接座；5、升降滑轨；51、滑块；6、斜拉件；61、斜拉第一端；62、斜拉第二端；63、销轴；7、拉力弹簧；71、弹簧螺栓；8、定位块；9、定位轮；91、定位螺栓。
具体实施方式
以下结合说明书附图和具体实施例对本发明作进一步详细说明。
如图1至图3所示，本实施例的半导体设备的真空密封门装置，包括真空腔体1、真空门2和升降压紧机构，升降压紧机构包括升降驱动3、导向架4和两个升降滑轨5，两个升降滑轨5分别固定在真空腔体1的门口两侧的侧壁上，升降驱动3设于真空腔体1的下方，导向架4包括两个导向板41和连接座42，两个导向板41对称固定在连接座42的两端，两个导向板41分别滑设在对应的升降滑轨5上，连接座42设于升降驱动3的驱动端，真空门2两侧设有真空门连接板21，各真空门连接板21通过斜拉件6与对应的导向板41连接，且斜拉件6的两端分别铰接在真空门连接板21和导向板41上，真空门连接板21与导向板41之间还设有拉力弹簧7，拉力弹簧7的上端与导向板41连接，下端与真空门连接板21连接。
本实施例中，设真空腔体1的门口(图中未示出)设置在前侧面(图1中面a为前侧面，面d为后侧面，面b和c为左右侧面)上，真空门2用于密封真空腔体1的门口。升降驱动3设置在门口的下方。两个升降滑轨5设置在真空腔体1左侧面和右侧面上，两个导向板41也对应设置在真空腔体1左侧面和右侧面上。拉力弹簧7给真空门连接板21一个向上的拉力，使得真空门连接板21上的斜拉件6初始位置能够保持水平。斜拉件6的两端分别设为斜拉第一端61和斜拉第二端62，斜拉第一端61在真空门连接板21上，斜拉第二端62在导向板41上。
工作原理：
1)关门
初始状态真空门2在门口的下方，斜拉件6保持水平，此时真空门与导向板41之间的间距最大。启动升降驱动3，升降驱动3驱动导向架4沿升降滑轨5上升，导向架4带着真空门连接板21上升，进而带着真空门2上升接近门口，此过程斜拉件6一致处于水平，当真空门2到达门口的指定位置，真空门2阻挡停止上升，而导向板41依然可以上升，拉力弹簧7的拉力增大。真空门2停止上升之后真空门连接板21也停止上升，导向板41上升，使得斜拉件6发生向上倾斜(斜拉第二端62随导向板41上升，斜拉第一端61位置不变)，斜拉件6倾斜时会拉动真空门2，向真空腔体1靠紧，实现真空门2与真空腔体1之间的密封，此时真空门2与真空腔体1之间间距最小，如图4所示。
2)开门
启动升降驱动3，升降驱动3驱动导向架4下降，导向板41下降，由于导向板41与真空门连接板21之间有拉力弹簧7的拉力的存在(真空门还处于夹紧状态)，真空门连接板21位置保持不变，真空门2的位置也保持不变，随着导向板41继续下降，斜拉件6的斜拉第二端62下降，斜拉件6趋近水平，此时斜拉件6与真空门2的间距增大，推动真空门2脱离门口的密封面，之后导向板41在带着真空门2一起下降，实现开门，如图5所示。由于拉力弹簧7的作用，斜拉件6的斜拉第一端61不会低于斜拉第二端62。
该真空密封门装置，通过拉力弹簧7和斜拉件6的作用，实现真空门升降同时改变真空门与真空腔体密封面的贴合或脱离，仅通过一个升降驱动3即可实现真空门的打开与密封，大大降低了成本，简化了结构，在开门过程中，通过斜拉件6推动真空门2与真空腔体1门口密封面分离，避免了真空门2与真空腔体1之间的相对运动摩擦。该结构可以将导向板41设置在真空腔体1的侧面，不需要设置在真空腔体1门口的前面，布局合理，整体结构紧凑，不会与真空门2(前侧)一侧的其他零部件产生干涉。如果没有拉力弹簧7，真空门连接板21在重力作用下下降，斜拉件6的第一端会低于第二端。
本实施例中，真空门连接板21上设有定位块8，定位块8位于斜拉件6的下方用于防止斜拉第二端62低于斜拉第一端61。斜拉件6只有两个状态，水平状态和斜向上状态(斜拉第二端62朝上)。尽管拉力弹簧7能够给予真空门连接板21足够的拉力使斜拉件6维持水平状态，但是为了保证稳定性，在斜拉件6的下方一定位置设置定位块8。当真空门2从关闭的状态到打开的状态时，导向板41下降，斜拉第二端62下降，至斜拉件6水平位置时，斜拉第二端62被定位块8阻挡无法继续下降，此时真空门2与门口密封面脱离，斜拉件6水平支撑在定位块8上，此时，斜拉件6、其一端的真空门2、另一端的导向板41，三者维持一个平衡一起随着导向板41下降。
本实施例中，真空门连接板21与真空腔体1之间设有限定真空门2上升的定位结构。优选的定位结构包括定位轮9和可与定位轮9抵接的定位凸台，定位轮9通过定位螺栓91固定在真空门连接板21的内侧，定位凸台(图中未示出)设于真空腔体1上。当真空门2上升到指定位置后，与定位凸台碰触，阻止真空门2再往上运动。
本实施例中，升降驱动3优选为升降气缸。
本实施例中，斜拉件6为斜拉板，斜拉板一端通过销轴63铰接在真空门连接板21上，另一端通过销轴63铰接在导向板41上。升降滑轨5上设有滑块51，导向板41固定在滑块51上。
本实施例中，导向板41和真空门连接板21上设有弹簧螺栓71，拉力弹簧7两端穿在各弹簧螺栓71上。
虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明。任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围的情况下，都可利用上述揭示的技术内容对本发明技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均应落在本发明技术方案保护的范围内。

Claims (9)

1.一种半导体设备的真空密封门装置，其特征在于：包括真空腔体(1)、真空门(2)和升降压紧机构，所述升降压紧机构包括升降驱动(3)、导向架(4)和两个升降滑轨(5)，两个升降滑轨(5)分别固定在真空腔体(1)的门口两侧的侧壁上，所述升降驱动(3)设于真空腔体(1)的下方，所述导向架(4)包括两个导向板(41)和连接座(42)，所述两个导向板(41)对称固定在连接座(42)的两端，所述两个导向板(41)分别滑设在对应的升降滑轨(5)上，所述连接座(42)设于升降驱动(3)的驱动端，所述真空门(2)两侧设有真空门连接板(21)，各真空门连接板(21)通过斜拉件(6)与对应的导向板(41)连接，且斜拉件(6)的两端分别铰接在真空门连接板(21)和导向板(41)上，所述真空门连接板(21)与导向板(41)之间还设有拉力弹簧(7)，所述拉力弹簧(7)的上端与导向板(41)连接，下端与真空门连接板(21)连接。
2.根据权利要求1所述的半导体设备的真空密封门装置，其特征在于：所述斜拉件(6)的两端分别设为斜拉第一端(61)和斜拉第二端(62)，所述斜拉第一端(61)在真空门连接板(21)上，斜拉第二端(62)在导向板(41)上，所述真空门连接板(21)上设有定位块(8)，所述定位块(8)位于斜拉件(6)的下方用于防止斜拉第二端(62)低于斜拉第一端(61)。
3.根据权利要求2所述的半导体设备的真空密封门装置，其特征在于：所述真空门连接板(21)与真空腔体(1)之间设有限定真空门(2)上升的定位结构。
4.根据权利要求3所述的半导体设备的真空密封门装置，其特征在于：所述定位结构包括定位轮(9)和可与定位轮(9)抵接的定位凸台，所述定位轮(9)通过定位螺栓(91)固定在真空门连接板(21)的内侧，所述定位凸台设于真空腔体(1)上。
5.根据权利要求1至4任意一项所述的半导体设备的真空密封门装置，其特征在于：所述升降滑轨(5)上设有滑块(51)，所述导向板(41)固定在所述滑块(51)上。
6.根据权利要求1至4任意一项所述的半导体设备的真空密封门装置，其特征在于：所述斜拉件(6)为斜拉板，所述斜拉板一端通过销轴(63)铰接在真空门连接板(21)上，另一端通过销轴(63)铰接在导向板(41)上。
7.根据权利要求1至4任意一项所述的半导体设备的真空密封门装置，其特征在于：所述斜拉件(6)设置多个，多个斜拉件(6)之间相互平行。
8.根据权利要求1至4任意一项所述的半导体设备的真空密封门装置，其特征在于：所述升降驱动(3)为升降气缸。
9.根据权利要求1至4任意一项所述的半导体设备的真空密封门装置，其特征在于：所述导向板(41)和真空门连接板(21)上设有弹簧螺栓(71)，所述拉力弹簧(7)两端穿设在各弹簧螺栓(71)上。
CN202010896342.1A 2020-08-31 2020-08-31 一种半导体设备的真空密封门装置 Pending CN112081496A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202010896342.1A CN112081496A (zh) 2020-08-31 2020-08-31 一种半导体设备的真空密封门装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202010896342.1A CN112081496A (zh) 2020-08-31 2020-08-31 一种半导体设备的真空密封门装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN112081496A true CN112081496A (zh) 2020-12-15

Family

ID=73731262

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202010896342.1A Pending CN112081496A (zh) 2020-08-31 2020-08-31 一种半导体设备的真空密封门装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN112081496A (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114093797A (zh) * 2022-01-25 2022-02-25 江苏邑文微电子科技有限公司 一种晶舟装载器及传片系统

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWM459285U (zh) * 2013-02-20 2013-08-11 Wei Sheng Machinery Co Ltd 真空腔體之腔門垂直開合機構
CN204284503U (zh) * 2014-11-21 2015-04-22 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 一种高真空闸板阀
CN107644826A (zh) * 2017-09-18 2018-01-30 中国电子科技集团公司第四十八研究所 一种半导体真空设备的密封门装置
CN107975324A (zh) * 2016-10-25 2018-05-01 深圳市祈飞科技有限公司 密封平开门
CN209908273U (zh) * 2019-01-16 2020-01-07 昆山普乐斯电子科技有限公司 一种真空等离子设备的自动门结构
CN110821332A (zh) * 2019-11-06 2020-02-21 广州市盛华实业有限公司 一种防爆型自动旋压门装置
CN210195602U (zh) * 2019-05-23 2020-03-27 湖南兴元科技股份有限公司 一种售货机冷藏加热隔离密封门
CN111042691A (zh) * 2018-10-12 2020-04-21 中国电子科技集团公司第四十八研究所 一种真空腔体的密封门结构
CN111335764A (zh) * 2018-12-18 2020-06-26 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 一种真空腔室密闭用自动升降门
CN211081600U (zh) * 2019-10-10 2020-07-24 中国核电工程有限公司 一种机械压紧式箱室密封门结构

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWM459285U (zh) * 2013-02-20 2013-08-11 Wei Sheng Machinery Co Ltd 真空腔體之腔門垂直開合機構
CN204284503U (zh) * 2014-11-21 2015-04-22 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 一种高真空闸板阀
CN107975324A (zh) * 2016-10-25 2018-05-01 深圳市祈飞科技有限公司 密封平开门
CN107644826A (zh) * 2017-09-18 2018-01-30 中国电子科技集团公司第四十八研究所 一种半导体真空设备的密封门装置
CN111042691A (zh) * 2018-10-12 2020-04-21 中国电子科技集团公司第四十八研究所 一种真空腔体的密封门结构
CN111335764A (zh) * 2018-12-18 2020-06-26 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 一种真空腔室密闭用自动升降门
CN209908273U (zh) * 2019-01-16 2020-01-07 昆山普乐斯电子科技有限公司 一种真空等离子设备的自动门结构
CN210195602U (zh) * 2019-05-23 2020-03-27 湖南兴元科技股份有限公司 一种售货机冷藏加热隔离密封门
CN211081600U (zh) * 2019-10-10 2020-07-24 中国核电工程有限公司 一种机械压紧式箱室密封门结构
CN110821332A (zh) * 2019-11-06 2020-02-21 广州市盛华实业有限公司 一种防爆型自动旋压门装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114093797A (zh) * 2022-01-25 2022-02-25 江苏邑文微电子科技有限公司 一种晶舟装载器及传片系统

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN109888362B (zh) 一种软包电池气袋的打开机构及打开方法
CN112081496A (zh) 一种半导体设备的真空密封门装置
CN213163965U (zh) 一种u壳上料装置
CN210668533U (zh) 一种锂电池注液立体加压吸收箱
CN107500201A (zh) 一种带轨道的垂直提升布料机
CN211228397U (zh) 一种升船机闸首工作门与承船厢工作门联动启闭装置
CN215279886U (zh) 用于slm设备的同导轨双驱动系统
CN220283504U (zh) 一种闸门提升机构
CN112720343A (zh) 一种对铝合金窗户进行快速精准安装的安转装置
CN210619959U (zh) 一种电梯密闭门
CN210766697U (zh) 一种垂直升船机对接装置
CN217844741U (zh) 炉门锁紧装置
CN112010028A (zh) 窗框拼接台
CN108045627B (zh) 一种可避免输送带非正常磨损真空托盘机构
CN219934421U (zh) 一种真空干燥设备
CN218376035U (zh) 一种高压氧舱的自动升降门槛
CN110552329B (zh) 一种升船机闸首工作门与承船厢工作门联动启闭装置及方法
CN218261761U (zh) 一种往复式升降输送设备
KR20070065258A (ko) 코크스 오븐 조작기
JP3533560B2 (ja) 圧縮減容装置
CN214989506U (zh) 一种低噪音电梯
CN210220677U (zh) 一种用于时效炉中的锁紧炉门
CN117505474A (zh) 压缩装置、垃圾装填设备及防夹渣方法
CN220164239U (zh) 一种封箱机
CN214666040U (zh) 一种隧道炉炉门装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20201215