CN116373472B - 一种喷墨打印用真空干燥成膜系统 - Google Patents
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Abstract
本发明属于喷墨打印配套设备相关技术领域，并公开了一种喷墨打印用真空干燥成膜系统，其包括密封真空腔室、冷凝整流板机构、基板载台机构、载台升降机构、真空管道及控制机构等，其中密封真空腔室用于为基板提供工作空间；冷凝整流板机构用于控制冷凝整流板的温度，以及调节抽气孔的大小来调节抽气速率；基板载台机构用于控制基板载台的温度，进而控制基板载台和冷凝整流板的温度差；载台升降机构实时控制基板载台与冷凝整流板之间距离；真空管道及控制系统用于预设及调节腔室真空度。通过本发明，各组件相互关联配合，能够对抽气速率、温度差异、抽气间隙等参数灵活调节，实现喷墨打印溶液干燥处理工艺中有机膜层的膜厚的均匀性和一致性。
Description
技术领域
本发明属于喷墨打印配套设备相关技术领域，更具体地，涉及一种喷墨打印用真空干燥成膜系统。
背景技术
喷墨打印在多个新兴领域，如新型显示、RFID、薄膜太阳能电池、可穿戴柔性设备、PCB、智能蒙皮等领域中得到了越来越广泛的应用。尤其是采用喷墨打印技术实现低成本、大面积印刷OLED/μLED/QLED等新型显示器件，成为新型显示器件制备中最具潜力的工艺，具有材料利用率高，无须掩模板，设备成本低，易实现大尺寸制造等优点。
墨滴打印在基板上为湿膜状态，需要干燥固化才能形成可用的功能层。新型显示喷印中墨水通常为热敏性墨水，故业内采用真空干燥方法，降低液滴的沸点。然而，进一步的研究表明现有的真空干燥装置常存在下面的技术问题：首先，此类密封真空腔室通常采用焊接结构，易产生泄露，导致真空度不达标；其次，在使用过程中，抽至高真空所需要的时间偏长，影响生产效率，而且抽气速度无法精确控制，且只能从常压单向抽至真空，影响蒸发成膜效果；其三、此类设备的冷凝整流板的规格参数固定，不能根据实际需求灵活地微调抽气速率等指标；最后，挥发的溶剂会污染箱体，不易清理。
相应地，本领域亟需对此作出进一步的改进或完善，以便更好地符合新型显示器件尤其是大尺寸制造的更高质量成膜要求。
发明内容
针对现有技术的以上缺陷或需求，本发明的目的在于提供一种喷墨打印用真空干燥成膜系统，其中通过对整个真空干燥成膜系统的构造组成及多个关键组件的针对性改进，不仅能够对抽气速率、温度差异抽气间隙等多个参数进行可控调节，而且显著降低了真空干燥时间，溶剂挥发无残留且能挥发溶剂，确保了有机膜层的膜厚均匀性和一致性。
为实现上述目的，按照本发明，提供了一种喷墨打印用真空干燥成膜系统，其特征在于，其包括：
密封真空腔室(100)，该密封真空腔室(100)用于为基板(800)提供干燥成膜空间，并构成内部真空无水无氧的腔体；
冷凝整流板机构(200)，该冷凝整流板机构(200)整体设置于所述密封真空腔室(100)内部，并包括冷凝整流滑动板(201)、冷凝整流固定板(202)和水管连接件(205)，其中所述冷凝整流滑动板(201)吊装在所述冷凝整流固定板(202)上；所述冷凝整流固定板(202)通过冷凝板连接件(203)安装于所述密封真空腔室(100)的顶板上；所述水管连接件(205)安装在所述冷凝板连接件(203)的顶部，并通过水管接头(206)与外部冷水源相连，由此进一步控制调节所述冷凝整流滑动板(201)的实时温度；
基板载台机构(300)，该基板载台机构(300)整体设置于所述密封真空腔室(100)内部，并包括基板载台(301)、基板载台连接件(304)、基板载台压盖(302)和波纹管(303)，其中所述基板载台(301)作为基板实现干燥固化成膜的支撑台，它配置有温控模块来实时调节温度，由此控制该基板载台(301)与所述冷凝整流滑动板(201)之间的温差；所述基板载台连接件(304)与所述基板载台(301)的底部相连，所述基板载台压盖(302)的中心孔穿过该基板载台连接件(304)，其顶面固定于所述基座载台(301)的底面上；所述波纹管(303)可沿着轴向变形，它的上端与所述基板载台压盖(302)相连，它的下端安装于所述密封真空腔室(100)的底部；
载台升降机构(400)，该载台升降机构(400)设置于所述密封真空腔室(100)的外部且与所述基板载台机构(300)相连，由此对所述基板载台(301)与所述冷凝整流滑动板(201)之间距离进行调节控制；
真空管道及控制机构(600)，该真空管道及控制机构(600)用于对所述密封真空腔室(100)内部的真空度进行预设和实时调整。
作为进一步优选地，上述系统优选还包括密封门机构(500)，该密封门机构(500)配置有升降气缸(506)和压紧气缸(508)，并通过转接板(507)
带动门板(509)运动，由此使得该门板(509)压紧于所述密封真空腔室(100)5侧面，进而实现有效密封。
作为进一步优选地，对于所述密封真空腔室(100)而言，其优选采用整块金属挖空而成，并包括真空腔室本体(101)、真空腔室顶板(102)、真空腔室侧板(103)和腔室安装座(106)，其中所述真空腔室侧板(103)上设有观察
窗(104)，用于不开箱观测所述密封真空腔室(100)腔体内的工作状态；所述0真空腔室顶板(102)、真空腔室侧板(103)上都设置有把手(105)，便于设备
开腔检修操作；所述腔室安装座(106)用于将整个密封真空腔室(100)固定在所述机架(700)上，并且具有调平功能。
作为进一步优选地，所述冷凝整流板机构(200)中，冷凝整流滑动板(201)
吊装在所述冷凝整流固定板(202)上，并且该冷凝整流滑动板(201)上还开5设有多个可调节其与所述冷凝蒸馏固定板(202)相对位置的调节孔；冷凝整流
滑动板(201)、冷凝蒸馏固定板(202)开设有相同的轴对称分布的抽气孔阵列，优选的该抽气孔阵列孔径、和分布规则随真空腔室抽气参数优化以确保真空腔室压力分布变化均匀。
所述冷凝整流板机构(200)还配置有多组膜片压力传感器(207)，该膜片0压力传感器(207)安装在冷凝整流滑动板(201)上，用于测量冷凝整流滑动
板(201)不同位置处的真空腔室压力变化；所述冷凝整流板机构(200)优选还配置有比例阀(637)用来调节抽气速率。
作为进一步优选地，所述基板载台(301)配置的温控模块优选为水冷管路与电热线的组合。
5作为进一步优选地，对于所述载台升降机构(400)而言，其优选包括电缸(402)、连接板(404)和固定板(405)，其中所述固定板(405)与所述连接板(404)相连，然后安装于所述电缸(402)的滑块上；所述电缸(402)用于驱动所述固定板(405)，进而带动与其相连的所述基板载台连接件(304)以及所述基板载台(301)执行升降动作。
作为进一步优选地，对于所述真空管道及控制机构(600)而言，其优选包括抽气管路(610)、补气管道(620)和控制模块(630)，其中所述抽气管路(610)配置有轴对称的分支与汇流支路，并与多台真空泵如泵一(631)、泵二(636)以及所述密封真空腔室(100)可控连接；与密封真空腔室(100)的连接分支，均布在腔室顶部，保证抽气均匀；所述补气管道(620)具备慢补气功能，用于给所述密封真空腔室(100)实时补气；所述控制模块(630)相应对抽气和补气操作进行控制。
作为进一步优选地，所述密封真空腔室(100)内部优选设置多组真空压力计，这些真空压力计与所述真空管道及控制机构(600)保持信号相连，相应提供气压监测信号。
作为进一步优选地，上述系统还包括机架(700)。
作为进一步优选地，所述基板(800)优选为OLED、RFID、薄膜太阳能电池、可穿戴柔性设备、PCB、智能蒙皮等柔性器件。
总体而言，通过本发明所构思的以上技术方案与现有技术相比，具有以下
有益效果：
(1)本发明通过对整个真空干燥成膜系统的构造组成及多个关键组件譬如冷凝整流板机构、基板载台机构等的针对性改进，相应能够对抽气速率、温度差异抽气间隙等多个参数进行可控调节，极大地方便了真空干燥成膜工艺的操作和可控性；
(2)本发明所形成的真空密封腔室可获得所需的高真空度工作环境，这种真空环境大大降低了需要去除的液体的沸点,在真空干燥可以轻松应用于各类热敏性物质；此外，即便对于不易干燥的墨水，本发明的真空干燥处理仍可显著缩短干燥时间，提高了工作效率；
(3)本发明在基板打印后能够获得良好的干燥处理效果，完全干燥后基板不留任何残余物质，同时通过配套真空管道及控制机构可将腔体抽至极限真空，防止溶剂吸附箱体，便于后续的清洁处理。
附图说明
图1是按照本发明的喷墨打印用真空干燥成膜系统的整体结构示意图；
图2是图1中所示喷墨打印用真空干燥成膜系统的结构剖视图；
图3是按照本发明的一个优选实施例、更为具体地显示了密封真空腔室的结构正视图；
图4是按照本发明的一个优选实施例、更为具体地显示了冷凝整流板机构的结构正视图；
图5是图4中所示冷凝整流板机构的结构侧视图；
图6是图4中所示冷凝整流板机构的一个结构仰视图；
图7是图4中所示冷凝整流板机构的另一结构仰视图；
图8是按照本发明的一个优选实施例、更为具体地显示了基板载台机构的结构剖视图；
图9是图1中所示载台升降机构的结构侧视图；
图10是按照本发明的一个优选实施例、更为具体地显示了密封门机构的结构正视图；
图11是图10中所示密封门机构的结构俯视图；
图12是按照本发明的一个优选实施例、更为具体地显示了抽气管道组件的一个结构侧视图；
图13是图12中所示抽气管道组件的另一结构侧视图；
图14是本发明的补气管道组件和控制系统的结构侧视图。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
需要说明的包括，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
需要说明的还包括，在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
需要说明的还包括，在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
图1是按照本发明的喷墨打印用真空干燥成膜系统的整体结构示意图。该喷墨打印用真空干燥成膜系统主要包括密封真空腔室100、冷凝整流板机构200、基板载台机构300、载台升降机构400、真空管道及控制机构600等组件，此外还可包括机架700和密封门机构500等，下面将逐一进行解释说明。
如图1所示，所述冷凝整流板机构200、基板载台机构300位于密封真空腔室100内部；所述载台升降机构400位于密封真空腔室100下部，并与基板载台机构300相配合；所述密封门机构500安装在密封真空腔室100；所述密封真空腔室100安装在机架700上；所述真空管道及控制机构600通过气管路与密封真空腔室(00相连。各组件相互关联配合，通过抽气速率、温度差异、抽气间隙等参数设置调节，实现喷墨打印溶液干燥处理工艺中，有机膜层的膜厚的均匀性和一致性。
对于密封真空腔室100而言，其用于为基板800提供干燥成膜空间，并构成内部真空无水无氧的腔体。
如图3所示，更具体地，该密封真空腔室100采用整块金属挖空而成，并包括真空腔室本体101、真空腔室顶板102、真空腔室侧板103和腔室安装座106，其中所述真空腔室侧板103上设有观察窗104，用于不开箱观测所述密封真空腔室100腔体内的工作状态；所述真空腔室顶板102、真空腔室侧板103上都设置有把手105，便于设备开腔检修操作；所述腔室安装座106用于将整个密封真空腔室100固定在所述机架700上，并且具有调平功能。例如，四个腔室安装座106各自安装在密封真空腔室100的四个角上，用于密封真空密封腔室100的调平。
对于冷凝整流板机构200而言，其整体设置于所述密封真空腔室100内部，并包括冷凝整流滑动板201、冷凝整流固定板202和水管连接件205，其中所述冷凝整流滑动板201吊装在所述冷凝整流固定板202上，并且该冷凝整流滑动板201上还开设有多个可调节其与所述冷凝蒸馏固定板202相对位置的调节孔；冷凝整流滑动板(201)、冷凝蒸馏固定板(202)开设有相同的轴对称分布的抽气孔阵列，优选的该抽气孔阵列孔径、和分布规则随真空腔室抽气参数优化以确保真空腔室压力分布变化均匀。所述冷凝整流固定板202通过冷凝板连接件203安装于所述密封真空腔室100的顶板上；所述水管连接件205安装在所述冷凝板连接件203的顶部，并通过水管接头206与外部冷水源相连。
如图4，图5，图6和图7所示，所述冷凝整流板机构200更具体地可以包括：冷凝整流滑动板201、冷凝整流固定板202、冷凝板连接件203、螺钉204、水管连接件205、水管接头206、传感器207。其整体用于控制冷凝整流板的温度，以及调节抽气孔的大小进而调节抽气速率。例如，冷凝整流滑动板201通过螺钉204吊装在冷凝整流固定板202上，且冷凝整流滑动板201上的抽气孔譬如为U形孔，可以用于调节其与冷凝整流固定板202的相对位置，进而调节图7所示整流孔重叠区域的大小。
冷凝整流固定板202通过冷凝板连接件203安装在真空腔室顶板102上。水管连接件205安装在冷凝板连接件203顶部、通过水管接头206与外部的厂务冷水相连。所述冷凝整流板机构200用于控制冷凝整流滑动板201的温度，以及结合安装在冷凝整流滑动板201上的传感器207，能测量冷凝整流滑动板201不同位置处的抽气流量；并通过比例阀637调节抽气速率，能实时精确控制冷凝整流滑动板201的温度，以及真空抽吸速率。
对于基板载台机构300而言，其整体设置于所述密封真空腔室100内部，并包括基板载台301、基板载台连接件304、基板载台压盖302和波纹管303，其中所述基板载台301作为基板800实现干燥固化成膜的支撑台，它配置有温控模块来实时调节温度，由此控制该基板载台301与所述冷凝整流滑动板201之间的温差；所述基板载台连接件304与所述基板载台301的底部相连，所述基板载台压盖302的中心孔穿过该基板载台连接件304，其顶面固定于所述基座载台301的底面上；所述波纹管303可沿着轴向变形，它的上端与所述基板载台压盖302相连，它的下端安装于所述密封真空腔室100的底部。
如图8所示，所示基板载台机构300可以更具体地包括：基板载台301、基板载台压盖302、波纹管303、基板载台连接件304、基板定位销305、基板定位板306、支撑杆307。其中，基板载台301是基板800干燥固化的支撑台，可以随着载台升降机构400升降。基板载台301底部与基板载台连接件304相连，且该接触面设有密封圈，基板载台301内设有流道，与基板载台连接件304的进出水道相连，密封圈用于水路密封。基板载台压盖302中心孔穿过基板载台连接件304，顶面固定在基板载台301底面上。
波纹管303是可伸缩的中空弹性金属管，上端与基板载台压盖302相连。波纹管303下端安装在真空腔室本体101内腔底部。所述波纹管303两侧譬如分别与驱运机构的输出端、载台连接结构相连接，由此可以精确控制基板载台和冷凝板之间距离，并满足精度要求。所述基板载台301上设有温度控制系统。所述温度控制系统为水冷管路与电热线的组合，调节控制温度使其限定在工艺要求范围。能实时精确控制基板载台301的温度，从而精确控制基板载台301和冷凝整流滑动板201的温差。
对于载台升降机构400而言，其设置于所述密封真空腔室100的外部且与所述基板载台机构300相连，由此对所述基板载台301与所述冷凝整流滑动板201之间距离进行调节控制。
如图9所示，所述载台升降机构400更具体地可以包括：支撑板401、电缸402、加强筋403、连接板404、固定板405；其中支撑板401固定在机架700上，密封真空腔室100的下侧。电缸402固定在支撑板401侧面、两个加强筋403的中间。固定板405与连接板404相连，安装在电缸402的滑块上。
整体所述载台升降机构400可以完全设置在密封真空腔室100外。此外，固定板405与连接板404相连，安装在电缸402的滑块上。电缸402驱动固定板405，进而带动基板载台连接件304，以及安装在其上的基板载台301升降。
对于密封门机构500而言，其配置有升降气缸506和压紧气缸508，并通过转接板507带动门板509运动，由此使得该门板509压紧于所述密封真空腔室100侧面，进而实现有效密封。
如图10和图11所示，所述密封门机构500更具体地可以包括：自动门腔室501、支撑底板502、导轨支撑板503、导轨504、气缸支撑板505、升降气缸506、转接板507、压紧气缸508、门板509、连接板510。其中，自动门腔室501包裹住整个密封门机构500，作为与相邻工序的设备相连接口。支撑底板502焊接在自动门腔室501内侧，起到加强的作用。导轨支撑板503安装在自动门腔室501内侧，导轨504底部。气缸支撑板505安装在自动门腔室501内侧，升降气缸506底部。连接板510与导轨504滑块、升降气缸506活塞杆运动部分相连。带动压紧气缸508、门板509升降。压紧气缸508缸体安装在连接板510中间，并通过转接板507与门板509相连。
以此方式，密封门机构500由升降气缸506和压紧气缸508，通过转接板507带动门板509运动，可将门板50)压紧在密封真空腔室100侧面上的密封圈上，实现密封真空腔室100的密封。
对于真空管道及控制机构600而言，其用于对所述密封真空腔室100内部的真空度进行预设和实时调整，并包括抽气管路610、补气管道620和控制模块630，其中所述抽气管路610配置有轴对称的分支与汇流支路，并与多台真空泵如泵一631、泵二636以及所述密封真空腔室100可控连接；与密封真空腔室100的连接分支，均布在腔室顶部，保证抽气均匀；所述补气管道620具备慢补气功能，用于给所述密封真空腔室100实时补气；所述控制模块630相应对抽气和补气操作进行控制。
如图12、图13和图14所示，所述真空管道及控制机构600更具体地可以包括：抽气管道610、补气管道620和控制模块630。其中，所述抽气管道610进一步包括：管道一611、管道二612、管道三613、细抽气管路四614、管道五615、角阀一616、角阀二617、角阀三618、直通阀619。所述补气管道620进一步包括：补气管621、两通阀622。所述控制模块630进一步包括：泵一631、高真空压力计一632、超高真空压力计633、管道六634、阀门635、泵二636、比例阀637。
如图12和图13所示，所述管道一611安装在密封真空腔室100顶部，通过角阀二617与管道二612相连，进一步通过角阀一616与管道三613相连，再进一步通过角阀三618与管道五615相连，最终安装在泵一631上。细抽气
管路四614安装在密封真空腔室100侧面、通过直通阀619与管道五615相连，5最终安装在泵一631上。所述抽气管道610通过上述分支与汇流支路，与多台
真空泵如泵一631、泵二636、以及密封真空腔室100相连接；补气管道620
的补气管621安装在密封真空腔室100侧面，补气管621上设有两通阀622，
所述补气管道620将密封真空腔室100与气体入口相连接。
如图14所示，所述控制模块630中，泵一631通过管道五615以及相邻的0管路，最终与密封真空腔室100顶部相接。高真空压力计一632通过管道六634
安装在密封真空腔室100的侧面。超高真空压力计633固定在密封真空腔室100的侧面。泵二636通过阀门635与密封真空腔室100的侧面相连。上述各个压力计实时测量及反馈密封真空腔室100和管道内的气压，配合阀门、泵一631、泵二636的开闭，实现密封真空腔室100按要求完成真空干燥的抽吸。
5此外，如图12、图13和图14所示，所述真空管道及控制机构600设置有
细抽气管路四614，并在所述慢抽气管路设有受真空管道及控制机构600控制的真空比例阀619。所述真空管道及控制机构600在密封真空腔室100内设有多组真空压力计；所述真空压力计与真空管道及控制机构600相连接，为真空
管道及控制机构600提供气压监测信号。所述补气管道620具有慢补气功能，0能实时给高密封真空腔室100补气，方便工艺调试。
综上所述，通过本发明，不仅能够对抽气速率、温度差异抽气间隙等多个参数进行可控调节，而且显著降低了真空干燥时间，溶剂挥发无残留且能挥发溶剂，确保了有机膜层的膜厚均匀性和一致性，因而尤其适用于OLED、RFID、薄膜太阳能电池、可穿戴柔性设备、PCB、智能蒙皮等柔性器件的新型显示器件5以及大尺寸制造的应用场合。
本领域的技术人员容易理解，以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (9)
1.一种喷墨打印用真空干燥成膜系统，其特征在于，其包括：
密封真空腔室(100)，该密封真空腔室(100)用于为基板(800)提供干燥成膜空间，并构成内部真空无水无氧的腔体；
冷凝整流板机构(200)，该冷凝整流板机构(200)整体设置于所述密封真空腔室(100)内部，并包括冷凝整流滑动板(201)、冷凝整流固定板(202)、水管连接件(205)和多组膜片压力传感器(207)，其中所述冷凝整流滑动板(201)吊装在所述冷凝整流固定板(202)上，并且该冷凝整流滑动板(201)上还开设有多个可调节其与所述冷凝整流固定板(202)相对位置的调节孔；所述冷凝整流固定板(202)通过冷凝板连接件(203)安装于所述密封真空腔室(100)的顶板上，并且该冷凝整流固定板(202)、冷凝整流滑动板(201)上设有相同的轴对称分布的抽气孔阵列；所述水管连接件(205)安装在所述冷凝板连接件(203)的顶部，并通过水管接头(206)与外部冷水源相连，由此进一步控制调节所述冷凝整流滑动板(201)的实时温度；所述多组膜片压力传感器(207)安装在所述冷凝整流滑动板(201)上，并用于测量该冷凝整流滑动板(201)不同位置处时抽气流量引起的真空腔室压力变化；此外，该冷凝整流板机构(200)还配置有比例阀(637)用来调节抽气速率；
基板载台机构(300)，该基板载台机构(300)整体设置于所述密封真空腔室(100)内部，并包括基板载台(301)、基板载台连接件(304)、基板载台压盖(302)和波纹管(303)，其中所述基板载台(301)作为基板实现干燥固化成膜的支撑台，并且它配置有温控模块来实时调节温度，由此控制该基板载台(301)与所述冷凝整流滑动板(201)之间的温差；所述基板载台连接件(304)与所述基板载台(301)的底部相连，所述基板载台压盖(302)的中心孔穿过该基板载台连接件(304)，其顶面固定于所述基板载台(301)的底面上；所述波纹管(303)可沿着轴向变形，它的上端与所述基板载台压盖(302)相连，它的下端安装于所述密封真空腔室(100)的底部；
载台升降机构(400)，该载台升降机构(400)设置于所述密封真空腔室(100)的外部且与所述基板载台机构(300)相连，由此对所述基板载台(301)与所述冷凝整流滑动板(201)之间距离进行调节控制；
真空管道及控制机构(600)，该真空管道及控制机构(600)用于对所述密封真空腔室(100)内部的真空度进行预设和实时调整。
2.如权利要求1所述的一种喷墨打印用真空干燥成膜系统，其特征在于，上述系统还包括密封门机构(500)，该密封门机构(500)配置有升降气缸(506)和压紧气缸(508)，并通过转接板(507)带动门板(509)运动，由此使得该门板(509)压紧于所述密封真空腔室(100)的侧面，进而实现有效密封。
3.如权利要求1或2所述的一种喷墨打印用真空干燥成膜系统，其特征在于，对于所述密封真空腔室(100)而言，其采用整块金属挖空而成，并包括真空腔室本体(101)、真空腔室顶板(102)、真空腔室侧板(103)和腔室安装座(106)，其中所述真空腔室侧板(103)上设有观察窗(104)，用于不开箱观测所述密封真空腔室(100)腔体内的工作状态；所述真空腔室顶板(102)、真空腔室侧板(103)上都设置有把手(105)，便于设备开腔检修操作；所述腔室安装座(106)用于将整个所述密封真空腔室(100)固定在机架(700)上，并且具有调平功能。
4.如权利要求1或2述的一种喷墨打印用真空干燥成膜系统，其特征在于，所述抽气孔阵列的孔径和分布规则随真空腔室抽气参数而优化，以确保真空腔室压力分布变化均匀。
5.如权利要求1或2所述的一种喷墨打印用真空干燥成膜系统，其特征在于，所述基板载台(301)配置的温控模块为水冷管路与电热线的组合。
6.如权利要求1或2所述的一种喷墨打印用真空干燥成膜系统，其特征在于，对于所述载台升降机构(400)而言，其包括电缸(402)、连接板(404)和固定板(405)，其中所述固定板(405)与所述连接板(404)相连，然后安装于所述电缸(402)的滑块上；所述电缸(402)用于驱动所述固定板(405)，进而带动与其相连的所述基板载台连接件(304)以及所述基板载台(301)执行升降动作。
7.如权利要求1或2所述的一种喷墨打印用真空干燥成膜系统，其特征在于，对于所述真空管道及控制机构(600)而言，其包括抽气管路(610)、补气管道(620)和控制模块(630)，其中所述抽气管路(610)配置有轴对称的分支与汇流支路，并与多台真空泵也即泵一(631)、泵二(636)以及所述密封真空腔室(100)可控连接；所述补气管道(620)具备慢补气功能，用于给所述密封真空腔室(100)实时补气；所述控制模块(630)相应对抽气和补气操作进行控制。
8.如权利要求7所述的一种喷墨打印用真空干燥成膜系统，其特征在于，所述密封真空腔室(100)内部设置多组真空压力计，这些真空压力计与所述真空管道及控制机构(600)保持信号相连，相应提供气压监测信号。
9.如权利要求1或2所述的一种喷墨打印用真空干燥成膜系统，其特征在于，所述基板(800)为OLED、RFID、薄膜太阳能电池、可穿戴柔性设备、PCB、智能蒙皮这些柔性器件。
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