KR20100044862A

KR20100044862A - 고체 물질을 위한 진공 증발 장치

Info

Publication number: KR20100044862A
Application number: KR1020107003765A
Authority: KR
Inventors: 미하엘 셰퍼; 베른트 메이어
Original assignee: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
Priority date: 2007-07-19
Filing date: 2008-07-11
Publication date: 2010-04-30
Also published as: CN101688290A

Abstract

본 발명은 예를 들어 기판을 코팅하기 위한 셀레늄과 같은 고체 물질을 증발시키기 위한 장치에 관한 것이다. 고체 물질은 주입 소스를 통해 제 1 도가니로 오게 된다. 이러한 도가니에서 물질은 바람직하게 그 녹는점보다 약간 높은 온도에서 용융된다(melts). 용융된 물질은 예를 들어 제 2 도가니 안으로 파이프와 같은 운반 장치를 통해 유동하고, 이 경우 물질은 끓는점보다 높은 온도에서 증발하며 기판으로 운반된다. 오직 1 내지 2분 내의 매우 짧은 시간 내에 증발을 멈추기 위해, 녹는점을 넘어(beoynd) 물질을 냉각시키기 위한 냉각 장치는 운반 장치에 배열된다. 이러한 냉각 장치로 운반 장치에서의 물질은 매우 짧은 시간이 지나면 녹는점을 넘어(beyond its melting point) 냉각될 수 있다.

Description

고체 물질을 위한 진공 증발 장치 {VACUUM EVAPORATION APPARATUS FOR SOLID MATERIALS}

본 발명은 청구항 제1항과 같이 고체 물질을 위한 진공 증발 장치에 관한 것이다.

에너지에서의 현대 연구에서의 중요한 목적은 저비용으로 태양광을 전류로 바꾸는 방법을 찾는 것이다. 이러한 필름 태양전지는 일반적인 태양전지와 비교하여 낮은 비용을 갖는 것을 보장한다.

예를 들어, 이러한 박막은 기판 상으로 고체 물질의 증발에 의해 또는 스퍼터링 프로세스에 의해 만들어질 수 있다. 금속을 위한 연속적인 진공 증발 장치가 설명되었고, 여기서 코팅되는 기판은 진공 챔버 내에서 이동한다(US 4,880,960). 입자 형태의 증착 물질은 플레이트에 의해 그 최하단부 상에서 폐쇄된 저장부에 저장된다. 케이블은 플레이트를 밸브에 링크하고, 밸브는 증착 물질의 증발을 위한 온도로 가열된 도가니의 공급 개구를 폐쇄한다. 하나 이상의 전자석을 이용하는 제어 장치는 플레이트가 피봇되어 밸브를 개방하도록 한다. 일정량의 파우더가 도가니로 들어가고, 이후 플레이트 및 밸브는 폐쇄 위치로 되돌아간다. 도가니에서 증착 물질 입자들의 치수보다 작은 치수를 갖는 메쉬를 가진 스크린은 기판으로의 이후의 증착에서만 증기의 통과를 가능하게 한다.

또한, 기판을 코팅하기 위한 장치가 설명되고, 이 경우 이 장치는 기판으로 증발된 물질을 분배하기 위한 시스템 및 증발 소스를 포함한다(DE 102 24 908 A1). 또한, 분배를 위한 시스템은 라인 소스를 포함하고, 이 라인 소스 및 기판은 서로 상대적으로 이동될 수 있다.

N개의 증발기에서 베이스 생성물(base product)의 투여 공급에 의해 그리고 진공에서 증발을 위한 기판 상에 반도체층을 증착하기 위한 방법이 또한 설명되었다(FR 2 456 144). 이러한 생성물의 공급은 주기적이다. N개의 증발기의 각각은 서로 나란히 베이스 생성물의 끓는 온도보다 낮은 온도 이하로 가열되고, 다음의 로딩까지 시간(T) 동안 완전한 증발 작용을 위해 충분하고 증발기의 활성 부분의 연속적 코팅에 필요한 투여량으로 로드된다.

그러나, 생성물이 증발될 때 존재하는 한가지 문제점은 증발이 수초 내에 정지되기 어려울 수 있다는 점이다. 이는 왜냐하면 물질이 냉각되어야 하고 이는 일정한 시간이 필요하기 때문이다.

따라서, 본 발명의 목적은 상기 언급된 문제점을 해결하는 것이다.

이러한 문제점은 청구항 제1항의 특징에 따라 해결된다.

따라서, 본 발명은 예를 들어 기판을 코팅하기 위한 셀레늄과 같은 고체 물질을 증발시키기 위한 장치에 관한 것이다. 고체 물질은 주입 소스를 통해 제 1 도가니로 오게 된다. 이러한 도가니에서 물질은 바람직하게 그 녹는점보다 약간 높은 온도에서 용융된다(melts). 용융된 물질은 예를 들어 제 2 도가니 안으로 파이프와 같은 운반 장치를 통해 유동하고, 이 경우 물질은 끓는점보다 높은 온도에서 증발하며 기판으로 운반된다. 오직 1 내지 2분 내의 매우 짧은 시간 내에 증발을 멈추기 위해, 녹는점을 넘어 물질을 냉각시키기 위한 냉각 장치는 운반 장치에 배열된다. 이러한 냉각 장치로 운반 장치에서의 물질은 매우 짧은 시간이 지나면 녹는점을 넘어(beyond its melting point) 냉각될 수 있다.

본 발명은 도면에서 도시되고 이하의 상세한 설명에 의해 설명된다.

도 1은 코팅되는 기판을 구비한 고체 물질을 위한 진공 증발 장치의 사시도를 도시한다.
도 2는 기판이 없는 채로 도 1에 따른 장치의 A의 방향으로의 도면을 도시한다.
도 3은 도 1에 따른 장치를 통한 컷 B-B를 도시한다.
도 4는 도 1에 따른 장치의 다른 실시예의 일부를 도시한다.

도 1은 기판(2) 및 고체 물질을 위한 진공 증발 장치(1)의 일반적인 사시도를 도시한다. 예를 들어 유리 플레이트와 같은 기판(2)은 각각 방향(7, 8)을 따라 장치(1)에 대해 이동된다. 장치(1)는 안전한 스탠딩을 위한 다리부(feet)를 가진 하우징(3)을 포함한다. 도 1에서는 오직 다리부(4, 5, 6)가 3개 만을 볼 수 있다.

하우징(3) 위에는 충전 장치(9)가 배열되고, 이는 상부 부분(10), 가운데 부분(11) 및 하부 부분(12)을 갖는다. 가운데 부분(11)은 진공 밀봉되고 충전 밸브(14)를 제공한다. 상부 부분(10)의 위에는 제거 가능한 뚜껑(13)이 배열된다. 이 뚜껑(13)은 상부 부분(10)에 예를 들어 셀레늄과 같은 고체 물질이 제공되어야 할 경우에 제거될 수 있다.

그러나, 상부 부분(10)이 상기 고체 물질로 채워지기 이전에, 밸브(14)가 폐쇄되어야 한다. 이후, 상부 부분(10)은 도 1에서 도시되지 않은 파이프를 통해 예를 들어 에어 또는 질소와 같은 가스로 넘치게 된다. 상부 부분(10)이 넘치게 된 이후, 뚜껑(13)은 제거되고 상부 부분(10)에는 고체 물질이 제공된다.

이후 뚜껑(13)이 교체되고 고정되며, 상부 부분(10)은 도 1에서 도시되지 않은 펌프에 의해 비워진다. 상부 부분(10)은 고체 물질을 위한 저장부로서 작용할 수 있다.

충전 밸브(14)에 의해 상부 부분(10)으로부터 나오는 고체 물질의 양이 조절될 수 있고, 이에 의해 고체 물질의 오직 정해진 양만이 하우징(3)의 내부에 도달하기 이전에 하부 부분(12)을 통과한다.

하우징(3)은 튜브 또는 파이프(15)를 통해 펌프 시스템에 연결되고, 이에 의해 진공이 하우징(3)에서 생성될 수 있다. 펌프 시스템은 도 1에서 도시되지 않는다. 또한, 이 장치(1)는 제 1 및 제 2 장착 플랜지(16, 17)를 포함한다. 파이프(15)가 배열된 하우징의 벽의 대향부 상에는 다른 파이프(18)가 보인다. 이 파이프는 예를 들어, 물, 따뜻한 오일, 가스 등과 같은 냉각 매체의 수송에 이용된다.

장착 플랜지(17) 상에 제 3 장착 플랜지(19)가 배열되고, 이는 증발 파이프(20)를 지지하기 위한 지지 장치(21)를 통해 증발 파이프(20)를 지지한다. 증발 파이프(20) 그 자체는 스스로 지지 장치(22)를 갖고, 이는 장착 플랜지(19)의 지지 장치(21)에 고정된다. 이러한 두 개의 지지 장치는 홀더(23)를 형성한다. 오직 하나의 홀더(23)가 도 1에서 도시되었지만, 증발 파이프(20)는 하나 이상의 홀더(23)에 의해 장착 플랜지(13)에 고정될 수 있다. 그러나, 증발 파이프(20)의 중량에 의해, 홀더(23)가 생략될 수 있다.

이러한 증발 파이프(20)는 도 1에서는 볼 수 없는 물질을 증발시키기 위한 도가니(crucible)가 배열된 장치 상에 배열된다. 또한, 증발 파이프(20)는 링(26)을 통해 증발 파이프(20)에 연결된 뚜껑(25)을 갖고, 이는 예를 들어 스크류와 같은 죔쇠(27)에 의해 죄어진다.

도 1에서 도시된 것처럼, 증발 파이프(20)는 죔쇠(29)를 포함한 링(28)에 의해 장치(24)에 고정된다. 증발 파이프(20)는 장치(24)에 배열되어, 파이프(20)의 증기는 도 1에서는 볼 수 없는 증발 파이프(20)의 분배 시스템에 의해서만 빠져나갈 수 있다.

이 장치(24)는 파이프(32)를 통해 하우징(3)의 내부에 배열된 도가니를 지지하기 위한 장치(31)의 돌출부(30)에 연결된다.

도 2는 기판(2)이 없는 도 1에 따른 장치(1)의 방향(A)에서 본 도면을 도시한다. 장착 플랜지(19)에 배열된 증발 파이프(20)는 장치(24)에 연결되고, 링(28) 및 죔쇠(29)에 의해 죄어진다. 증발 파이프(20)는 선형 분배 시스템(39)을 형성하는 홀(33 내지 38)을 형성하고, 이를 통해 증기가 증발 파이프(20)를 빠져나갈 수 있고 기판을 향해 이동할 수 있다. 이후 증기는 상기 기판 상에서 응축되어 필름을 형성한다.

도 1에 따른 장치(1)를 통한 컷(B-B)이 도 3에서 도시된다. 하우징(3)의 벽(40) 상에는 충전 장치(9)가 장착된다. 상부 부분(10)은 예를 들어 셀레늄과 같은 고체 물질을 위한 저장 공간으로서 작용한다. 충전 장치(9) 아래에는 파이프(42)를 가진 하우징(3)에 저장 용기(41)가 배열되고, 이 파이프(42)를 통해 충전 장치(9)로부터 오는 물질이 용융 도가니(43) 안으로 들어갈 수 있다.

도 3에서 저장 용기(41)는 깔때기의 몸체 구조를 갖는다. 또한, 파이프(42) 및 주입기(48)는 하우징(3)의 내부에 배열된다. 예를 들어 스크류 콘베이어와 같은 이 주입기(48)는 파이프(42)에 저장 용기(41)로부터 오는 고체 물질을 공급하기 위한 장치로서 작용한다.

용융 도가니(43)는 도가니(43)를 지지하기 위한 장치(31) 내에 배열된다. 이 도가니(43)는 중간 공간(46)에서 두 개의 벽(44, 45)에 사이에서 유지되는 따뜻한 오일에 의해 가열될 수 있다. 따뜻한 오일에 의해 도가니(43)를 가열하는 것을 대신하여, 저항성 히터 또는 유도성 코일에 의해 가열될 수도 있다. 도가니(43) 위에 후드(47)가 제공된다. 냉각 프로세스가 시작될 때, 이러한 중간 공간(47)은 냉각을 위한 빠른 차단 장치로서 작용하고, 이는 예를 들어 물과 같은 냉각 수단을 위한 경로로서 작용한다.

또한, 도 3은 바람직하게 저항성 히터가 배열된 내부 파이프(49)를 가진 파이프(32)를 도시한다. 저항성 히터는 도 3에서는 도시되지 않는다. 이러한 파이프(32)는 도가니(50)와 도가니(43)를 연결시킨다. 도가니(50)는 용융된 물질(64)을 포함한다. 이 도가니(50)에는 히터가 배열되고, 바람직하게는 저항성 히터가 배열된다. 내부 파이프(49), 파이프(32) 및 도가니(50, 43)는 적절한 금속, 세라믹 또는 그라파이트로 이루어질 수 있다. 내부 파이프(49)는 파이프(49)에서 용융된 물질을 냉각시키기 위한 파이프의 형태로 빠른 차단 장치(51)에 의해 둘러싸인다. 그러나, 가열 프로세스가 일어날 때, 이러한 빠른 차단 장치는 예를 들어 따뜻한 오일(thermal oil)과 같은 가열 수단을 위한 경로로서 작용한다. 파이프(49)에서 용융된 물질을 냉각하기 위한 차단 장치(51)는 돌출부(30)의 양 측부 상에 배열된다.

냉각을 위한 다른 차단 장치(52)는 도가니(50)의 외부 부분 주위에서 파이프의 형태로 배열된다. 도가니(50)를 지지하는 장치(24) 위에 증발 파이프(20)가 배열된다.

이 증발 파이프(20)는 분배 시스템(39)을 가진 제 1 내부 파이프(53)를 포함하고, 이는 기판(2)이 장치(1)를 통과하는 측부를 도시한다. 내부 파이프(53)는 적어도 하나의 절반 파이프에 의해 둘러싸인다. 도 3에서 내부 파이프(53)는 두 개의 절반 파이프(half pipes; 54, 55)에 의해 둘러싸인다. 이러한 배열은 예를 들어 DE 102 24 908 A1의 도 7에서 도시된다. 내부 파이프(53)는 일반적으로 예를 들어 저항성 히터와 같은 고온 가열 장치를 갖고, 이에 의해 내부 파이프(53)의 내부(56)의 증기는 응축될 수 없다.

도 3에는 바아(bar; 69)를 통해 도가니(43)의 벽(44)에 연결된 분할 벽(dividing wall; 68)이 도시된다. 이러한 분할 벽(68)은 물질이 도가니(43)의 내부의 액체 물질(65)로 떨어지는 것을 막고, 이에 의해 내부 파이프(49)의 영역에서 액체 물질의 제어되지 않은 냉각에 영향을 미친다. 바아(69) 및 분할 벽(68)은 예를 들어 적절한 금속, 그라파이트 또는 세라믹과 같이 도가니(43)와 동일한 물질로 이루어질 수 없다.

장치(1)의 온도를 제어하기 위해, 온도 측정 장치가 인가될 수 있고, 이에 의해 도가니(43, 50), 파이프(49) 및 파이프(20)의 내부의 물질의 온도가 제어될 수 있다. 따라서, 온도는 프로세스의 모든 스테이지에서 필요한 온도로 맞춰질 수 있다.

코팅 프로세스가 시작될 때, 충전 장치(9)는 기판(2)을 코팅하는데 이용되는 물질로 채워진다. 물질이 셀레늄이면, 이는 작은 알갱이(granules)의 형태를 갖는 것이 바람직하다.

충전 밸브(14)를 개방함에 의해, 진공을 깨지 않은 채로 물질이 저장 용기(41) 안으로 들어가게 된다. 충전 밸브(14)는 폐쇄될 것이고, 다른 물질이 주입기(48)에 의해 파이프(42)로 수송될 것이며, 이후 궁극적으로는 도가니(43)로 떨어질 것이다. 이러한 도가니(43)에서 물질이 용융되고, 이 경우 도가니(43)는 고체 물질의 녹는점보다 높은 온도를 갖는다. 셀레늄의 경우에, 온도는 221℃의 녹는점보다 약간 높은 온도이어야 한다.

도가니(43) 안으로 떨어지는(falling into) 물질의 양은 자동으로 작동할 수 있는 주입기(48)에 의해 제어될 수 있고, 이에 의해 도가니(43, 50)의 채움 진폭의 변화는 최소로 유지된다. 하우징(3)에서 그리고 위에 뚜껑(13)을 갖는 충전 장치(9)에서, 전체 프로세스를 통한 안정된 진공이 존재한다.

가열 프로세스가 시작될 때, 따뜻한 오일이 차단 장치(46, 51, 52)를 통해 흐른다. 따라서, 따뜻한 오일은 가열 수단으로서 작용한다. 도가니(43, 50) 및 파이프(49)의 물질은 따뜻한 오일에 의해 가열된다.

일단 물질이 도가니(43) 안으로 들어가면, 이는 용융되고, 파이프(49)를 통과하여 도가니(50) 안으로 들어갈 수 있다. 이 도가니(50)에서 온도는 너무 높고, 이에 의해 액체 물질(64)은 가스상 형태, 즉 증기로 변환된다. 이러한 증기는 증발 파이프(20)의 내부(56) 안으로 올라오고, 선형 분배 시스템(39)을 통해 상기 파이프(20)를 떠난다. 이후 증기는 기판(2)의 방향으로 이동하고, 이에 의해 기판(2)이 장치(1)를 통과할 때 이러한 물질의 층을 생성한다. 내부 파이프(53)에 배열된 히터는 분배 시스템(39)의 홀에서 또는 내부 파이프(53)의 표면에서 증기가 응축하는 것을 막는다.

프로세스가 정지될 때, 히터는 차단되고 냉각을 위한 빠른 차단 장치(51, 52)가 스위치 온되며, 이에 의해 예를 들어 물, 따뜻한 오일, 가스와 같은 냉각 수단이 냉각을 위한 이러한 차단 장치(46, 51, 52)를 통과하고 이로써 물질을 냉각시킨다. 도가니(50)의 용융된 물질(64)의 빠른 냉각을 위해, 도가니(50)는 너무 많은 용융된 물질(64)을 포함하지 않는 것이 중요하다. 따라서, 도가니(50)의 부피는 도가니(43)의 부피와 비교하여 아주 작게 유지된다.

녹는점 아래에 위치한 온도로 도가니(43, 50)의 물질을 냉각시키는 것이 중요하다. 물질이 냉각된 이후, 냉각 수단은 차단 장치(51, 52)로부터 제거되고, 이에 의해 차단 장치(51, 52)는 다시 에어로 채워질 수 있으며, 이는 냉각 수단의 열 용량과 비교하여 훨씬 낮은 열 용량을 갖는다.

또한, 장치를 세정하는 것은 쉬운데, 왜냐하면 증발 파이프(20)는 플랜지(19)를 제거함에 의해 쉽게 제거될 수 있기 때문이다. 이후, 플랜지(16, 17)는 하우징(3)이 두 측부들에 개방되도록 제거될 수 있다.

따라서, 모든 장치들이 빠른 커플링을 위한 클러치(clutches)를 포함하기 때문에 이 장치(1)의 유지보수는 쉽다. 따라서, 이 장치(9)는 또한 쉽게 교체될 수도 있다. 장치(1)를 세정한 이후, 새로운 프로세스가 코팅 프로세스를 위한 새롭고 상이한 물질을 이용하여 시작될 수 있다.

충전 장치(9)는 예를 들어 4개의 세그먼트를 가진 스타 주입기를 포함할 수 있다. 이러한 세그먼트들 중 하나는 밸브(14) 바로 위에 배열되고, 세그먼트는 어떠한 물질도 포함하지 않는다.

충전 과정은 밸브(14)를 폐쇄하고 상부 부분(10)을 배출함(venting)에 의해 시작된다. 이후 뚜껑(13)이 장치(9)로부터 제거되고, 상부 부분(10)은 고체 물질로 충전된다. 이후, 뚜껑(13)은 교체되고, 상부 부분(10)은 도 3에서는 도시되지 않은 펌프에 의해 비워진다. 압력이 하우징(3) 및 장치(9)의 상부 부분(10) 사이에서 보상된 이후, 밸브(14)가 작동될 수 있다.

스타 주입기(star feeder)를 회전시킴에 의해, 물질은 밸브(14)의 개구를 통해 떨어지고, 이에 의해 이는 저장 용기(41)를 통해 도가니(43) 안으로 들어갈 수 있다. 이후, 밸브(14)는 다시 폐쇄된다.

또한, 충전 장치(9)는 하나 이상의 컵을 가진 컵 충전기를 포함할 수 있다. 이는 적어도 하나의 컵이 도가니처럼 기울어질(canted) 수 있다.

장치(9)는 뚜껑(13)에 의해 폐쇄된 이후, 밸브(14)는 폐쇄되고 상부 부분(10)은 배출된다. 뚜껑(13)은 다시 제거되고 적어도 하나의 컵이 물질로 채워진다. 뚜껑은 다시 장치(9) 위에 놓이고, 밸브(14)는 개방되며, 이후 장치(9)가 비워진다. 이후, 적어도 하나의 컵이 기울어지고 물질은 하우징(3)의 저장 용기(41) 안으로 밸브(14)의 개구를 통해 떨어진다. 거기로부터 파이프(42)를 통해 최종적으로 도가니(43)에 도달하는 것이다.

또한, 장치(9)는 회전식 호이스팅-기어(hoisting-gear) 및 충전기 바스켓(charger basket)을 가진 호이스팅 기어를 포함할 수 있다.

충전 프로세스가 시작될 때, 밸브(14)는 폐쇄되고 장치(9)는 배출된다. 이후 장치(9)는 리프트되고 측부로 피봇된다. 충전 바스켓은 낮춰지고, 이에 의해 바스켓은 물질로 채워진 바스켓으로 변화될 수 있다. 이후 바스켓은 호이스팅-기어에 의해 장치(9) 안으로 당겨진다. 장치(9)는 밸브(14) 위에서 피봇되고, 이후 밸브(14) 위에 놓인다. 이후 장치는 비워지고 밸브가 개방되며, 이에 의해 물질이 도가니(43) 안으로 들어갈 수 있다.

이 실시예에서 물질은 작은 알갱이의 형태를 가진 셀레늄일 수 있다.

도 4는 큰 스케일로 그려진 도 3에 따른 장치(1)의 실시예의 일부를 도시한다. 이는 장치(24)에 배열된 냉각을 위한 차단 장치(52)를 형성하는 파이프(57, 58, 59, 60)에 의해 둘러싸인 도가니(50)를 도시한다. 도가니(50)를 가진 장치(24) 위에 증발 파이프(20)가 배열된다. 이 파이프는 개구(61, 62, 63)를 가진 선형 분배 시스템(39)을 갖고, 이 개구를 통해 증기가 증발 파이프(20)를 떠날 수 있다. 도가니(50)는 외부 파이프(32)에 의해 둘러싸인 내부 파이프(49)를 통해 도가니(43)에 연결된다. 다시, 도 4에서 볼 수 있는 것처럼, 파이프(49)는 차단 냉각 장치(51)에 의해 둘러싸인다. 파이프(49)에 의해 도가니(50)로부터 분리되는 도가니(43)는 파이프(49) 및 도가니(50)와 동일한 물질로 형성된다. 그러나, 파이프(49) 및 도가니(50, 43)는 상이한 물질로 형성될 수 있다. 파이프(49) 및 도가니(50, 43)는 그라파이트, 세라믹 또는 적절한 금속으로 이루어진다.

도 3에서 도시된 것처럼, 바아(69)에 의해 도가니(43)에 연결된 분할 벽(68)을 볼 수 있다. 분할 벽(68) 및 바아(69)는 도가니(43)와 동일한 물질로 이루어질 수 있다.

두 도가니(50, 43)에서 예를 들어 셀레늄과 같은 액체 물질(70, 65)은, 도 4에서 도시되지 않은 밸브(14) 및 도 4에서 도시되지 않은 주입기(48)에 의해 컴퓨터를 통해 자동으로 고체 물질의 양이 제어될 수 있는 환경에 의해, 대략 동일한 높이(altitude)를 갖는다. 그러나, 도가니(50)의 부피는 도가니(43)의 부피와 비교하여 너무 작다.

빠른 차단 장치(46, 51, 52) 대신, 증기가 증발 파이프(20)를 빠져나가는 것을 막기 위해 도가니(50) 위에 스크린이 배열될 수 있다. 그러나, 특히 셀레늄이 물질로서 이용되는 때와 같은 경우에 높은 증기 압력 때문에 셀레늄이 스크린을 통과하는 것을 막기 어렵다. 이러한 배열은 그 구성이 매우 복잡해야 할 것이다. 따라서, 차단 장치(46, 51, 52)가 바람직하다.

Claims

고체 물질을 위한 진공 증발 장치(1)로서,
하나 이상의 물질을 증발시키기 위한 도가니(50), 및 기판(2)으로 상기 하나 이상의 증발된 물질을 분배하기 위한 분배 시스템(39)을 포함하고,
상기 하나 이상의 물질의 녹는점 이하로(beyond) 상기 하나 이상의 물질을 냉각시키기 위한 하나 이상의 수단(46, 52, 51)을 포함하며,
상기 하나 이상의 고체 물질이 도가니(43)에 제공될 수 있도록 충전 장치(9)가 상기 진공 증발 장치(1)에 배열되는 것을 특징으로 하는,
고체 물질을 위한 진공 증발 장치(1).
제 1 항에 있어서,
상기 하나 이상의 물질을 용융시키기 위한 제 1 도가니(43) 및 상기 하나 이상의 물질을 증발시키기 위한 제 2 도가니(50)를 포함하는 것을 특징으로 하는,
고체 물질을 위한 진공 증발 장치(1).
제 2 항에 있어서,
상기 제 1 도가니(43)가 운반 장치(49)를 통해 상기 제 2 도가니(50)에 연결되는 것을 특징으로 하는,
고체 물질을 위한 진공 증발 장치(1).
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 제 1 도가니(43)가 상기 하나 이상의 물질을 냉각시키기 위한 상기 하나 이상의 수단(46)에 배열되는 것을 특징으로 하는,
고체 물질을 위한 진공 증발 장치(1).
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 제 2 도가니(50)가 상기 하나 이상의 물질을 냉각시키기 위한 상기 하나 이상의 수단(52)에 배열되는 것을 특징으로 하는,
고체 물질을 위한 진공 증발 장치(1).
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 운반 장치(49)가 상기 하나 이상의 물질을 냉각시키기 위한 상기 하나 이상의 수단(51)에 배열되는 것을 특징으로 하는,
고체 물질을 위한 진공 증발 장치(1).
제 1 항에 있어서,
상기 도가니(43) 및 상기 충전 장치(9) 사이에 운반 시스템(41, 42)이 배열되는 것을 특징으로 하는,
고체 물질을 위한 진공 증발 장치(1).
제 7 항에 있어서,
상기 운반 시스템(41, 42)은 주입기(48)를 포함하는 것을 특징으로 하는,
고체 물질을 위한 진공 증발 장치(1).
제 1 항에 있어서,
상기 충전 장치(9)는 충전 밸브(14)를 포함하는 것을 특징으로 하는,
고체 물질을 위한 진공 증발 장치(1).
제 2 항에 있어서,
상기 도가니(50)가 히터를 포함하는 것을 특징으로 하는,
고체 물질을 위한 진공 증발 장치(1).
제 2 항에 있어서,
상기 도가니(43)가 히터를 포함하는 것을 특징으로 하는,
고체 물질을 위한 진공 증발 장치(1).
제 3 항에 있어서,
상기 운반 장치(49)가 히터를 포함하는 것을 특징으로 하는,
고체 물질을 위한 진공 증발 장치(1).
제 1 항에 있어서,
상기 하나 이상의 물질을 냉각시키기 위한 수단(51, 52)이 하나 이상의 파이프(57-60)를 포함하는 것을 특징으로 하는,
고체 물질을 위한 진공 증발 장치(1).
제 13 항에 있어서,
상기 하나 이상의 물질을 냉각시키기 위한 수단(51, 52)이 파이프 시스템인 것을 특징으로 하는,
고체 물질을 위한 진공 증발 장치(1).
제 8 항 또는 제 9 항에 있어서,
상기 주입기(48) 및 상기 밸브(14)는 상기 도가니(43, 50)의 채움 진폭(filling amplitude)의 변화를 최소로 유지하기 위한 제어 시스템을 설립하는(build) 것을 특징으로 하는,
고체 물질을 위한 진공 증발 장치(1).
제 10 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 히터가 저항성 히터인 것을 특징으로 하는,
고체 물질을 위한 진공 증발 장치(1).
제 11 항에 있어서,
상기 히터가 인덕터(inductor)인 것을 특징으로 하는,
고체 물질을 위한 진공 증발 장치(1).
제 11 항에 있어서,
상기 도가니(43)가 따뜻한 오일(thermal oil)에 의해 가열되는 것을 특징으로 하는,
고체 물질을 위한 진공 증발 장치(1).
제 1 항에 있어서,
상기 하나 이상의 물질이 셀레늄인 것을 특징으로 하는,
고체 물질을 위한 진공 증발 장치(1).
제 1 항에 있어서,
상기 하나 이상의 물질을 냉각시키기 위한 상기 하나 이상의 수단(46, 52, 51)이 상기 하나 이상의 물질을 가열시키기 위한 수단으로서도 이용되는 것을 특징으로 하는,
고체 물질을 위한 진공 증발 장치(1).
제 1 항에 있어서,
상기 하나 이상의 물질을 냉각시키기 위한 상기 하나 이상의 수단(46, 52, 51)이 빠른 차단 장치(quick shut down devices)인 것을 특징으로 하는,
고체 물질을 위한 진공 증발 장치(1).