NL8902810A - Dampreinigings- en drooginrichting en -werkwijze. - Google Patents

Description

Titel: Dampreinigings- en drooginrichting en -werkwijze.

De uitvinding heeft betrekking op een dampreinigings- en drooginrichting en -werkwijze voor het bijzonder zuiver reinigen van een voorwerp, dat bijvoorbeeld bruikbaar is in een vervaardigingsproces voor een halfgeleiderinrichting.

Conventioneel omvat een reinigingsinrichting voor het bijzonder zuiver reinigen welke gebruikt wordt in een vervaardigingsproces voor een halfgeleiderinrichting of dergelijke, een bewerkingsstation voor het reinigen en drogen van een te reinigen voorwerp zoals bijvoorbeeld een fotomasker, een kruisdraad of een halfgeleiderplak, en een bewaarstation voor het bewaren van een medium met een hoge vluchtigheid. Het medium in dit bewaarstation wordt door een verwarmingsorgaan verwarmd om damp te verschaffen, waardoor het bewerkings-_ . station in zijn geheel is gevuld met een dampmilieu. In dit dampmilieu wordt het te reinigen voorwerp gebracht en wordt het reinigen en drogen ervan tot stand gebracht.

Een dergelijke conventionele reinigingsinrichting zoals boven beschreven heeft de volgende nadelen: (1) In het bewaarstation moet gedurende een lange tijd een grote hoeveelheid van het medium met hoge vluchtigheid worden bewaard. Dit leidt gemakkelijk tot een vermindering van de zuiverheid van het medium en bemoeilijkt aldus het zuivere reinigen.

(2) Een grote hoeveelheid damp moet continu worden geproduceerd. Dit maakt het nodig een verwarmingsorgaan te verschaffen met een grote capaciteit.

(3) Het verdampte of vervluchtigde medium moet continu worden gekoeld en gecondenseerd zodat het in de vorm van een vloeistof kan worden afgevoerd. Bijgevolg is een grote hoeveelheid van dit medium vereist.

(4) Aangezien een grote hoeveelheid medium verwarmd moet worden, is de initiële verwarmingstijd vanaf het begin van het verwarmen tot de productie van damp lang.

(5) Het reinigingseffect is klein als het te reinigen voorwerp een oppervlakte-hoogteverandering heeft zoals door een inspringend of uitspringend gedeelte.

Het is dienovereenkomstig een doel van de onderhavige uitvinding een dampreinigings- en drooginrichting en -werkwijze te verschaffen waardoor een te reinigen voorwerp bijzonder zuiver en zeer efficiënt gereinigd en gedroogd kan worden met een verminderde hoeveelheid medium.

Volgens een aspect van de onderhavige uitvinding wordt om dit doel te bereiken een beperkte hoeveelheid medium toegevoerd en verdampt en wordt het verdampte medium afgegeven tegen het te reinigen voorwerp om dit daardoor te reinigen. Bovendien kan tijdens deze reinigingsoperatie een kleine hoeveelheid nieuw mediumdamp continu worden verschaft. Volgens dit aspect van de onderhavige uitvinding wordt namelijk slechts een voorafbepaalde hoeveelheid van het vluchtige medium verspreid en op een dampproductiestation gedruppeld, dat is verwarmd tot een temperatuur die niet lager is dan het kookpunt van het medium maar niet hoger dan het vlampunt van het medium, waardoor het aangebrachte vluchtige medium instantaan kan worden verdampt. Door een op dit moment geproduceerde dampdruk te gebruiken, wordt de damp in een reinigings-en droogstation geïntroduceerd om het reinigen en drogen van het te reinigen voorwerp tot stand te brengen.

Deze en andere doelen, kenmerken en voordelen van de onderhavige uitvinding zullen worden verduidelijkt door de hiernavolgende beschrijving van voorkeursuitvoeringsvormen van de onderhavige uitvinding onder verwijzing naar de tekening, waariïH

figuur 1 een schematisch en diagrammatisch aanzicht is van een hoofddeel van een dampreinigings- en drooginrichting volgens een uitvoeringsvorm van de onderhavige uitvinding; figuur 2 een schematisch aanzicht is van een hoofddeel van een dampreinigings- en drooginrichting volgens een andere uitvoeringsvorm van de onderhavige uitvinding, waarin een te reinigen voorwerp horizontaal kan worden getransporteerd; en figuur 3 een schematisch en diagrammatisch aanzicht is van een hoofddeel van een dampreinigings- en drooginrichting volgens een verdere uitvoeringsvorm van de onderhavige uitvinding.

Figuur 1 toont, ten dele in doorsnede, een hoofddeel van een dampreinigings- en drooginrichting volgens een uitvoeringsvorm van de onderhavige uitvinding. In deze uitvoeringsvorm wordt in een mediumreservoir 41 een medium bewaard zoals bijvoorbeeld flon of alcohol, zoals isopropyl-alcohol (IPA). Een beperkte hoeveelheid medium kan op een moment worden toegevoerd van een mediumtoevoerstation 60 naar een dampproductiestation 70, waarbij het medium verdampt kan worden en de aldus geproduceerde rnediumdamp geïntroduceerd kan worden in een dampintroductiestation 80.

Het mediumtoevoerstation 60 omvat een inlaatklep 1, een gasreservoir 2, een voorverwarmer 3, en een uitlaatklep 4," welke zijn aangebracht langs de toevoerbaan van het medium vanaf het mediumreservoirstation 41. Elk van de kleppen 1 en 4 omvat een luchtbedieningsklep waarvan het openen en sluiten kan worden omgeschakeld door een pneumatische druk, waarbij het openen/sluiten wordt bestuurd in respons op een instruc-tiesignaal dat wordt verschaft door een besturingsinrichting 40. De besturingsinrichting 40 dient ook om de warmteopwekking bij een verwarmer 5 te besturen, waarvan details later zullen worden beschreven. Het dampproductiestation 70 omvat deze verwarmer 5, een verdampingsplaat 6, een mediumverspreidings-sproeier 7, een druppeltrechter 8, en een verdampingskamer 9 waarin deze componenten zijn opgesteld. Het vanaf het mediumtoevoerstation 60 toegevoerde medium gaat door de medium-verspreidingssproeier 7 en de trechter 8 en wordt gedruppeld en uitgespreid op de verdampingsplaat 6 welke een gestapte oppervlaktevorm heeft zoals in figuur 1 kan worden gezien. Vanwege de door de verwarmer 5 verschafte verwarming wordt het verspreide medium verdampt. Het dampintroductiestation 80 omvat een dampintroductiebuis 10 waarvan een uiteinde in verbinding staat met de verdampingskamer 9 en waarvan een ander uiteinde vertakt is om een aantal kanalen te verschaffen. Het dampintroductiestation 80 omvat verder afgiftesproeiers 12 die elk zijn aangebracht bij een vrij eindgedeelte van een corresponderende van de dampintroductiekanalen 10.

De dampintroductiekanalen 10 strekken zich uit in een reinigings- en droogkamer 13, waarin een te reinigen voorwerp 20, zoals bijvoorbeeld een fotomasker, een kruisdraad of een halfgeleiderplak voor het gebruik in vervaardigingsprocessen voor een halfgeleiderinrichting, kan worden geplaatst. De dampintroductiekanalen 10 dienen om de door de dampproduc-tiekamer 70 verschafte mediumdamp af te geven aan de voor- en achteroppervlakken van het voorwerp 20. Het voorwerp 20 is niet beperkt tot een voorwerp dat gebruikt moet worden in een vervaardigingsproces voor een halfgeleiderinrichting, maar kan een willekeurig voorwerp zijn waarvoor een bijzonder zuivere reiniging gewenst is. Bijvoorbeeld kan het voorwerp 20 een glasmateriaal zijn. De verdampingskamer 9 en de dampintroduc-tiebuis (kanalen) 10 evenals de reinigings- en droogkamer 13 zijn bedekt met een warmte-isolerend materiaal 11, teneinde een grote verandering in de binnentemperatuur te vermijden.

Ook is in de reinigings- en droogkamer 13 een warmtevasthoud-orgaan 14 aangebracht.

Met 15 is een dampvalkamer aangegeven voor het verzamelen van opstijgende damp uit de reinigings- en droogkamer 13. Met 16 en 17 zijn koelorganen aangegeven voor het koelen van de mediumdamp om deze vloeibaar te maken. Het door de koelorganen 16 of 17 vloeibaar gemaakte medium in de dampvalkamer 15 of in de reinigings- en droogkamer 13 wordt afgevoerd naar de buitenkant van de inrichting door een afvoerbuis 18 of 19. Elk van deze afvoerbuizen 18 en 19 is bij een middengedeelte daarvan voorzien van een D-vormige val 61 of 62 om te voorkomen dat mediumdamp naar de buitenkant van de inrichting lekt. Dankzij de aanwezigheid van vloeibaar medium dat in deze ü-vormige vallen 61 en 62 achterblijft, zijn de dampvalkamer 15 en de reinigings- en droogkamer 13 geïsoleerd van de buitenkant van de inrichting.

Van de reinigings- en drooginrichting met de bovenbeschreven structuur zal thans de werking worden uitgelegd. Onder invloed van de besturingsinrichting 40 wordt de klep 4 gesloten en daarna wordt de klep 1 geopend. In respons wordt medium uit het mediumreservoir 41 toegevoerd in een pijp welke is omgeven door de voorverwarmer 3. Aangezien de toevoer van het medium automatisch wordt gestopt wanneer de druk in het inert-gasreservoir 2 gelijk wordt aan de druk in het mediumreservoir 41, sluit de besturingsinrichting 40 de klep 1 na een bepaalde tijd die correspondeert met het stoppen. De verdamp ingsplaat 6 is verwarmd tot een temperatuur die niet lager is dan het kookpunt van het medium maar niet hoger dan het vlampunt daarvan, door middel van de verwarmer 5 die wordt bediend in respons op een door de besturingsinrichting 40 verschaft instructiesignaal. Door het warmte-isolatiemateriaal 11 en het warmtevasthoudmedium 14 kunnen de verdampingskamer 9 en de dampintroductiebuis (kanalen) 10 evenals de reinigings-en droogkamer 13 op een temperatuur worden gehouden die gelijk is aan of een weinig hoger is dan het kookpunt van het medium.

Op een gewenst moment waarop de damptoevoer gewenst is, verschaft de besturingsinrichting 40 een instructiesignaal om de klep 4 te openen. Een bepaalde hoeveelheid medium dat voorverwarmd is tot een temperatuur niet hoger dan het kookpunt daarvan door middel van de voorverwarmer 3, welke bediend is overeenkomstig een instructiesignaal van de besturingsinrichting 40, wordt in respons hierop verspreid uit de ver-spreidingssproeier 7 naar de verdampingsplaat 6 en tegelijkertijd wordt de druppeltrechter 8 met het medium gevuld. Het op de sverdampingsplaat 6 verspreide medium wordt instantaan verdampt, en de aldus geproduceerde damp stroomt door de dampintroductiebuis (kanalen) 10 en wordt afgegeven in de reinigings- en droogkamer 13. Hierdoor wordt het inwendige van de reinigings- en droogkamer 13 gevuld met een dampmilieu met een hoge dichtheid. Aan de andere kant valt het medium in de trechter 8 beetje bij beetje op de verdampingsplaat 6 voor het bijvullen van het damptekort dat resulteert van het condense- ren en afgeven van de damp tijdens het reinigings- en droog-proces. Hierdoor kan de dampdichtheid in de reinigings- en droogkamer 13 in hoofdzaak constant worden gehouden gedurende een voorafbepaalde tijdsduur.

Overeenkomstig een te reinigen voorwerp 20 kan het aantal afgiftesproeiers 12 en/of de vorm van elke afgiftesproeier veranderd worden teneinde het reinigingseffect te veranderen dat door de dampdruk van het medium moet worden verschaft. Verder kunnen extra kleporganen worden aangebracht bij het middengedeelte van de dampintroductiebuis 10, teneinde een verhoogde dampdruk te produceren wanneer deze wordt afgegeven.

Het koelorgaan 16 dient om de stijgende damp te condenseren en te verzamelen, terwijl het koelorgaan 17 dient om het door het artikel 20 dat wordt gereinigd, gecondenseerde en verzamelde medium af te koelen, teneinde het opnieuw verdampen daarvan te voorkomen. Het verzamelde medium wordt op eigen kracht afgegeven door de U-vormige afgiftehuizen 18 en 19 die ontworpen zijn rekening houdende met de externe druk.

Figuur 2 toont een toepassingsvorm van de onderhavige uitvinding welke een horizontaal en onderbroken/continu transport van een te reinigen artikel 20 mogelijk maakt en welke het aansluiten op een willekeurig ander mechanisme eenvoudiger maakt. Het met 1 - 12 in figuur 1 aangegeven mechanisme kan direkt aan de in figuur 2 getoonde opstelling worden gekoppeld en aan de structuur van figuur 1 zijn afsluitinrichtingen 21, 22, 21', en 22' en een transportmechanisme 23 evenals een voorwerphouder 24 toegevoegd. Wanneer de rechterzij-afsluit-inrichtingen 21 en 22 geopend zijn, wordt het te reinigen artikel 20 geplaatst op de voorwerphouder 24 en het horizontaal transporterende mechanisme 23, dat naar links kan worden bewogen, en wordt het tot in de reinigings- en droogkamer 13 getransporteerd. Dan worden de afsluitinrichtingen 21 en 22 gesloten en daarna wordt damp geïnjecteerd uit de afgiftesproeiers 12, waardoor de reinigings- en droogkamer 13 in zijn geheel wordt gevuld met een dampmilieu van hoge dichtheid. Na het voltooien van het reinigings- en droogproces wor- den de linker- en rechterafsluitinrichtingen, of als alternatief alleen de linkerafsluitinrichtingen 22' en 21', opeenvolgend geopend en door een naar links gerichte beweging van het horizontaal transporterende mechanisme 23 wordt het voorwerp 20 uit de inrichting gevoerd en naar een willekeurig geassocieerd mechanisme getransporteerd. De structuur en functie van het resterende gedeelte van de in figuur 2 bij wijze van voorbeeld getoonde uitvoeringsvorm zijn in essentie dezelfde als die van de uitvoeringsvorm van figuur 1.

Figuur 3 is een schematische doorsnede die een belangrijk deel van een dampreinigings- en drooginrichting volgens een andere uitvoeringsvorm van de onderhavige uitvinding toont. Deze uitvoeringsvorm is bijzonder effectief in het geval waarbij de mediumdamp wanneer deze geproduceerd is, betrekkelijk zwaar is. De onderhavige uitvoeringsvorm is hier echter niet toe beperkt, maar alcohol zoals IPA, flon, of een ander medium kan als het reinigingsmedium worden gebruikt. Hoewel in de uitvoeringsvorm van figuur 3 twee mediumtoevoerstations 60 en twee dampproductiestations 70 aan weerszijden van een reini-gings- en droogkamer 13 aanwezig zijn, kan één van deze twee stellen weggelaten worden door bijvoorbeeld gebruik te maken van een vertakte dampintroductiebuis 10 zoals in de uitvoeringsvorm van figuur 1.

In de onderhavige uitvoeringsvorm zijn rondom verdam-pingskamers 9 en 9' respectievelijk verwarmingsmediumreser-voirs 36 en 36' aangebracht. Aan elk van deze verwarmings-mediumreservoirs 36 en 36' wordt een verwarmingsmedium 50 geïntroduceerd, zoals bijvoorbeeld een in een vat 50 bewaarde siliconenolie, onder invloed van een vacuümdruk binnen een vacuümvat 46. Het vacuümvat 46 staat via een solenoïdeklep 43 in verbinding met de verwarmingsmediumreservoirs 36 en 36' .

Ook kan het vacuümvat 46 via een solenoïdeklep 44 naar de atmosfeer worden geopend. De besturingsinrichting 40 is werkzaam om een solenoïdeklep 45 te openen en tegelijkertijd de solenoïdekleppen 43 en 44 gesloten te houden, en een vacuüm-pomp 42 te bedienen. Hierdoor kan een gewenst vacuüm in het vacuümvat 46 tot stand worden gebracht. Op elk ander tijdstip wordt de solenoïdeklep 45 gesloten gehouden en wordt de vacuümpomp 42 gedeactiveerd gehouden. De verwarmingsmedium-reservoirs 36 en 36’ staan via een solenoïdeklep 54 in verbinding met het vat 50. Het verwarmingsmedium 51 in het vat 50 wordt door een verwarmer 52 verwarmd tot een gewenste temperatuur die niet lager is dan het kookpunt van het reinigings-medium in een mediumreservoir 41, en niet hoger dan het vlam-punt daarvan. Een temperatuurdetector 53 detecteert de temperatuur van het verwarmingsmedium 51 in het vat 50 en produceert een uitgangssignaal dat aan de besturingsinrichting 40 wordt toegevoerd. Op basis van dit uitgangssignaal bestuurt de besturingsinrichting 40 de warmtegeneratie bij de verwarmer 52 om het verwarmingsmedium 51 op de gewenste temperatuur te houden.

Teneinde het in de verwarmingsmediumreservoirs 36 en -36' geïntroduceerde verwarmingsmedium te verwarmen wanneer de temperatuur van het geïntroduceerde verwarmingsmedium lager wordt dan de voorafbepaalde temperatuur, zijn verwarmers 5 en 5' aanwezig. Deze verwarmers 5 en 5' worden bestuurd door de besturingsinrichting 40 op basis van uitgangssignalen van tem-peratuurdetectoren 37 en 37' die zijn aangebracht in de verwarmingsmediumreservoirs 36 respectievelijk 36'. Het reini-gingsmedium dat uit de mediumverspreidingssproeiers 7 en 7' op de verdampingsplaten 6 en 6' is uitgespreid, wordt door de warmte van het verwarmingsmedium in de verwarmingsmediumreservoirs 36 en 36’ verdampt. Vergeleken met het verwarmingsproces waarbij het medium rechtstreeks wordt verwarmd door een verwarmingsorgaan zoals een verwarmer, verdient het verwarmingsproces van deze uitvoeringsvorm de voorkeur met betrekking tot de veiligheid in het bijzonder in een geval waarbij een gebruikt reinigingsmedium brandbaar is. Eerst wordt de positie van een houder 24 voor het vasthouden van het te reinigen artikel 20 ingesteld zodat het bij de verdampingsplaten 6 en 6' verdampte, en door dampintroductiebuizen 10 en 10' passerende, reinigingsmedium wordt afgegeven aan het bovenste gedeelte van het voorwerp 20, De houder 24 kan omhoog en omlaag worden bewogen door middel van een aandrijfmechanisme 35 en door een staaf 30. Het aandrijfmechanisme 35 wordt bestuurd door de besturingsinrichting 40.

In het volgende zal de werking van deze uitvoeringsvorm worden verduidelijkt. Zoals in de uitvoeringsvorm van figuur 1 dient de besturingsinrichting 40 om de luchtbedieningskleppen 1 en 1' aan de inlaatzijde te openen terwijl de luchtbedieningskleppen 4 en 41 aan de uitlaatzijde gesloten worden gehouden. In respons hierop wordt het reinigingsmedium uit de mediumreservoirs 41 en 41' toegevoerd aan de mediumtoevoer-stations 60 en 60’ tot de druk in de gasreservoirs 2 en 2' gelijk wordt aan die in de mediumreservoirs 41 respectievelijk 41'. Vervolgens is de besturingsinrichting 40 werkzaam om de kleppen 1 en 1' te sluiten. Aan de andere kant, wanneer een bovenste afsluitinrichting 31 geopend is, laat de besturirïgé-inrichting 40 het aandrijfmechanisme 35 de houder 24 uit de geïllustreerde positie omhoog bewegen en, nadat de houder 24 het voorwerp 20 grijpt, beweegt het aandrijfmechanisme 35 de houder 24 omlaag terug naar de geïllustreerde positie. In deze toestand is een in de bodem van een binnenste cilinderbehui-zing 33, welke de reinigings- en droogkamer 13 definieert, gevormde opening gesloten en geblokkeerd door een afsluitinrichting 59 die integraal is gevormd met de staaf 30.

Wanneer hierna de afsluitinrichting 31 wordt gesloten, verschaft de besturingsinrichting 40 een instructiesignaal aan elk van de luchtbedieningskleppen 4 en 41 om deze te-openen, waardoor de gehele hoeveelheid van het reinigingsmedium in elk van de.mediumtoevoerstations 60 of 60' uit de sproeier 7 of 7' wordt gedruppeld of verspreid op de verdampingsplaat 6 of 6' in de verdampingskamer 9 of 9'. Na het verstrijken van een voorafbepaalde tijd die correspondeert met het voltooien van het druppelen of verspreiden van het medium, worden de kleppen 4 en 4' gesloten. Dan opent de besturingsinrichting 40 de solenoïdekleppen 43 en 54 teneinde mogelijk te maken dat de vacuümdruk in het vacuümvat 46 door de verwarmingsmedium- reservoirs 36 en 36' op het verwarmingsmedium 51 in het vat 50 werkt, zodat het in de verdampingskamers 9 en 9' achterblijvende reinigingsmedium wordt verwarmd tot een temperatuur die niet lager is dan het kookpunt ervan maar niet hoger is dan het vlampunt ervan. Hierdoor wordt het verwarmingsmedium, dat verwarmd wordt tot een gewenste temperatuur die niet lager is dan het kookpunt van het reinigingsmedium maar niet hoger is dan het vlampunt daarvan, geïntroduceerd in de verwarmings-mediumreservoirs 36 en 36' en als resultaat hiervan neemt de temperatuur van het reinigingsmedium in de verdampingskamers 9 en 9’ geleidelijk toe door de warmte van het verwarmingsmedium, waardoor het reinigingsmedium wordt verdampt.

De mediumdamp stroomt door de dampintroductiebuizen 10 en 10' en wordt afgegeven aan het te reinigen voorwerp 20, en de reinigings- en droogkamer 13 wordt gevuld met de afgegeven mediumdamp. Het gedeelte van de damp dat voorbij een opening 32 van de reinigings- en droogkamer 13 stijgt, stroomt door de openening 32 in een dampverzamelkamer 15 die gedefinieerd is door een buitencilinderbehuizing 34. Afvoerpijp 18 wordt continu geëvacueerd door middel van een niet weergegeven vacuüm-pomp, zodat elke overtollige damp in de verzamelkamer 15 wordt afgegeven door de afvoerpijp 18, waarbij dit gecondenseerd wordt door een koelhuis 16.

Na het verstrijken van een tijdsduur waarin het reinigingsmedium in de verdampingskamers 9 en 9' geheel is verdampt en de reiniging en droging van het voorwerp is voltooid, opent de besturingsinrichting 40 de solenoïdeklep 44 om het vacuüm-vat 46 naar de atmosfeer te openen, teneinde het verwarmingsmedium in de verwarmingsmediumreservoirs 36 en 36' terug te laten stromen naar het vat 50. Daarna sluit de besturingsinrichting de kleppen 43, 44 en 45, en opent tegelijkertijd de klep 45, zodat door middel van de vacuümpomp 42 weer een gewenst vacuüm wordt geproduceerd in het vacuümvat 46. Aan de andere kant laat de besturingsinrichting 40 parallel hiermee het aandrijfmechanisme 35 de staaf 30 omhoog bewegen door een halve slag om de bodemopening van de binnencilinderbehuizing 33 te openen, waardoor de damp en de vloeistof die de reini-gings- en droogkamer 13 vult, wordt afgegeven in de buiten-cilinderbehuizing 34. Bij de bodem van de buitencilinder-behuizing 34 bevindt zich een koelorgaan 17. De damp en de vloeistof worden door dit koelorgaan 17 gecondenseerd en worden uit de inrichting afgevoerd door een afvoerbuis 19.

Wanneer hierna de afsluitinrichting 31 wordt geopend, laat de besturingsinrichting 40 het aandrijfmechanisme 35 de staaf 30 omhoog bewegen naar de bovenste positie daarvan teneinde mogelijk te maken dat het voorwerp 20 van de houder 24 wordt weggenomen. Als een nieuw voorwerp 20 op de houder 24 wordt geplaatst, wordt de bovenbeschreven procedure herhaald. Het resterende deel van de werking van de onderhavige uitvoeringsvorm is in hoofdzaak hetzelfde als die van de uitvoeringsvorm van figuur 1.

Volgens de zoals in het voorgaande beschreven onderhavige uitvinding zijn een dampproductiestation en een reinigings- en droogstation van elkaar gescheiden en op een bepaalde tijd wordt een beperkte hoeveelheid medium verdampt. Als resultaat is het niet nodig een grote hoeveelheid medium voor een lange tijd te bewaren en te verwarmen. Dienovereenkomstig is het mogelijk om de zuiverheid van het medium hoog te houden, en daarom is het mogelijk een nauwkeurige reiniging en droging te verzekeren. Verder, aangezien het medium niet voor een lange tijd bewaard wordt, is er geen noodzaak om een onderdeel te vormen dat met het medium in contact staat, door gebruik te maken van een duur kwartsglasmateriaal of een ander materiaal, en de neerslag kan worden geminimaliseerd zelfs wanneer bijvoorbeeld een goedkoop roestvrijstaal wordt gebruikt. Als resultaat kunnen de vervaardigingskosten worden verminderd.

Verder kan de mediumverdampingskamer klein zijn en de verwarmingscapaciteit kan laag zijn, en de verwarmingstijd kan gereduceerd zijn. Hierdoor is een efficiënte reinigingsproce-dure bereikbaar.

Hoewel de uitvinding is beschreven onder verwijzing naar de hierin voorgestelde structuren, is de uitvinding niet be- perkt tot de gegeven details en de onderhavige aanvrage is bedoeld om modificaties of veranderingen te dekken die kunnen vallen binnen het doel van verbeteringen of de omvang van de volgende conclusies.

Claims (12)

1. Dampreinigings- en drooginrichting, omvattende: een bewaarorgaan voor het bewaren van een medium; een dampproductieorgaan voor het verdampen van het medium teneinde damp te produceren; een mediumtoevoerorgaan voor het uit het bewaarorgaan toevoeren van slechts een voorafbepaalde hoeveelheid medium aan het dampproductieorgaan; reinigings- en droogorganen met een reinigings- en droog-kamer waarin een te reinigen voorwerp kan worden geplaatst; en een dampintroductieorgaan voor het introduceren van de door het dampproductieorgaan geproduceerde damp in de reinigings- en droogkamer voor het reinigen en drogen van het in de reinigings- en droogkamer geplaatste voorwerp met de door het dampproductieorgaan geproduceerde damp. - ·

2. Inrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk dat het dampproductieorgaan een verdampingsplaat omvat waarop het medium moet vallen, een verdampingskamer voor het behuizen van de verdampingsplaat, en een verwarmingsorgaan voor het verwarmen van de verdampingsplaat van buiten de verdampingskamer.

3. Inrichting volgens conclusie 2, met het kenmerk dat het verwarmingsorgaan een tot een voorafbepaalde temperatuur verwarmd verwarmingsmedium toevoert aan een onderdeel dat zich om de verdampingskamer bevindt.

4. Inrichting volgens conclusie 2, met het kenmerk dat het dampproductieorgaan een druppelorgaan omvat voor het beetje bij beetje laten vallen van het medium uit het mediumtoevoerorgaan op de verdampingsplaat.

5. inrichting volgens conclusie 2, met het kenmerk dat het dampintroductieorgaan een dampintroductiebuis omvat waarvan een uiteinde in verbinding staat met de verdampingskamer en waarvan een ander uiteinde is vertakt in een aantal kanalen die zich in de reinigings- en droogkamer uitstrekken.

6. Inrichting volgens conclusie 5, met het kenmerk dat elk van de genoemde verdampingskamer, de genoemde reinigings- en droogkamer, en de genoemde dampintroductiebuis, bedekt is door een warmteisolerend materiaal om de temperatuur van de damp vast te houden.

7. Inrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk dat het mediumtoevoerorgaan een voorwarmorgaan omvat voor het toevoeren van voorwarmte aan het naar het dampproductieorgaan toe te voeren medium.

8. Inrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk dat het reinigings- en droogorgaan een dampverzamelkamer omvat die zich nabij de reinigings- en droogkamer bevindt, en een koel-orgaan voor het condenseren van de damp in de dampverzamelkamer .

9. Inrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk dat de reinigings- en droogkamer een opening heeft die is voorzien van een open-bare en sluitbare afsluitinrichting, door welke opening het voorwerp in en uit de reinigings- en droogkamer kan worden gebracht; en dat het reinigings- en droogorgaan een transportorgaan omvat voor het horizontaal transporteren van het voorwerp naar en van de reinigings- en droogkamer door genoemde opening.

10. Inrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk dat de reinigings- en droogkamer een opening heeft die is voorzien van een open-bare en sluitbare afsluitinrichting, door welke opening het voorwerp in en uit de reinigings- en droogkamer kan worden gebracht; en dat het reinigings- en droogorgaan een transportorgaan omvat voor het vertikaal transporteren van het voorwerp naar en van de reinigings- en droogkamer door genoemde opening.

11. Werkwijze voor het reinigen en drogen door middel van damp, omvattende de stappen van: het toevoeren van een voorafbepaalde hoeveelheid reini-gingsmedium uit een mediumreservoir naar een verdampingskamer door middel van een mediumtoevoerorgaan; het verwarmen van het reinigingsmedium in de verdampingskamer door middel van een verdampingsorgaan, teneinde het reinigingsmedium in de verdampingskamer te verdampen om damp te produceren; en het introduceren van de in de verdampingskamer geproduceerde damp door een dampintroductiebuis in de reinigings- en droogkamer voor het reinigen en drogen van een in de reinigings- en droogkamer geplaatst voorwerp met de in de verdampingskamer geproduceerde damp.

12. Werkwijze volgens conclusie 11, met het kenmerk dat een tot een voorafbepaalde temperatuur verwarmd verwarmingsmedium wordt toegevoerd aan een onderdeel dat zich rond de verdampingskamer bevindt.