CN116901593A - 一种用于制备显示面板的真空干燥系统 - Google Patents

Abstract

本申请属于喷墨打印领域，并公开了一种用于制备显示面板的真空干燥系统，包括真空箱，真空箱内具有密闭的真空腔室；真空泵用于对真空箱内的腔室抽真空；冷凝机构包括冷凝板、定位组件、第一水冷机、第一连接组件；承载机构包括承载台、传动组件，升降机构包括固定组件、滑动组件和支撑组件；其中，固定组件包括第一固定板和第二固定板，滑动组件包括第一滑动板、第二滑动板、电机、传递轴、第一换向器和第二换向器；传动组件通过第一滑动板和第二滑动板的同步滑动带动承载台升降运动，对放置于承载台上的基板与冷凝板的距离进行调节，能够满足大尺寸基板的需求、保证抽气时气流均匀性及抽气速率。

Description

一种用于制备显示面板的真空干燥系统

技术领域

本申请涉及喷墨打印领域，特别涉及一种用于制备显示面板的真空干燥系统。

背景技术

喷墨打印在多个新兴领域，如新型显示、RFID、薄膜太阳能电池、可穿戴柔性设备、PCB、智能蒙皮等领域中得到了越来越广泛的应用。尤其是采用喷墨打印技术实现低成本、大面积印刷OLED/μLED/QLED等新型显示器件，成为新型显示器件制备中最具潜力的工艺，具有材料利用率高，无须掩模板，设备成本低，易实现大尺寸制造等优点。

在喷墨打印过程中，墨滴打印在基板上为湿膜状态，需要干燥固化才能形成可用的功能层。新型显示喷印中墨水通常为热敏性墨水，故业内采用真空干燥方法，降低液滴的沸点。然而，进一步的研究表明现有的真空干燥装置存在升降机构无法满足大基板的需要、抽气装置无法保证抽气时气流均匀性以及调整抽气速率等技术问题。

发明内容

本申请实施例提供一种用于制备显示面板的真空干燥系统，以解决相关技术中升降机构无法满足大基板的需要、抽气装置无法保证抽气时气流均匀性以及调整抽气速率的技术问题，能够满足大尺寸基板的需求、保证抽气时气流均匀性及抽气速率。

为实现上述目的，本申请实施例提供了一种用于制备显示面板的真空干燥系统，所述用于制备显示面板的真空干燥系统包括：真空箱100，所述真空箱100内具有密闭的真空腔室，所述真空腔室用于为基板提供真空干燥空间；真空泵200，用于对真空箱100内的腔室抽真空；冷凝机构300，包括：冷凝板301、定位组件302、第一水冷机303、第一连接组件304；其中，所述冷凝板301通过定位组件302固定于所述真空腔内的第一平面，所述冷凝板301内部设有第一通道，所述第一通道通过所述第一连接组件304与第一水冷机303相连，通过所述第一水冷机303能够实时调节所述冷凝板301的温度；承载机构400，包括承载台401、传动组件402，所述传动组件402一端与所述承载台401固定连接，另一端与升降机构500连接；所述升降机构500，包括固定组件501、滑动组件502和支撑组件503；其中，所述固定组件501包括第一固定板和第二固定板，所述第一固定板和第二固定板分别固定于所述真空箱100的两侧，所述滑动组件502包括第一滑动板、第二滑动板、电机5021、传递轴5022、第一换向器5023和第二换向器5024；所述第一滑动板和第二滑动板分别与第一固定板和第二固定板滑动连接；所述第一换向器5023一端与所述第一滑动板连接，另一端通过所述传递轴5022与第二换向器5024的一端连接，所述第二换向器5024的另一端与第二滑动板连接；所述电机5021与所述第一换向器5023连接，通过所述传递轴5022带动第一滑动板和第二滑动板同步滑动；其中，所述第一滑动板和第二滑动板均与所述支撑组件503固定连接，所述支撑组件503与所述传动组件402固定连接；所述传动组件402通过所述第一滑动板和第二滑动板的同步滑动带动所述承载台401升降运动，对放置于所述承载台401上的基板与所述冷凝板301的距离进行调节。

一些实施例中，所述滑动组件502还包括转向板5025，所述第一滑动块与所述支撑组件503连接的一端、所述第二滑动块与所述支撑组件503连接的一端均延伸出第一端和第二端，所述第一端和所述第二端均连接所述转向板5025，所述支撑组件503包括四个支撑板，所述四个支撑板与四个所述转向板5025一一对应连接；所述传动组件402包括四个传动轴，所述四个传动轴一端与所述承载台401固定连接，用于承载所述承载台401；所述四个传动轴的另一端与所述四个支撑板一一对应连接；所述四个传动轴通过所述第一滑动板和所述第二滑动板的同步滑动带动所述承载台401上的基板进行升降运动；其中，所述第一滑动板和所述第二滑动板位于同一高度。

一些实施例中，所述承载机构400还包括第二连接组件403，所述承载台401内部设有第二通道，所述第二通道通过第二连接组件403与第二水冷机404相连，通过所述第二水冷机404能够实时调节所述承载台401的温度。

一些实施例中，所述承载机构400还包括第一限位组件404，所述第一限位组件404包括支撑轴4041和限位轴4042；所述承载台401设有通孔，所述支撑轴4041穿设于所述通孔，用于支撑基板以及限制所述承载台401在基板传输方向所在平面的位置；所述限位轴4042的直径大于所述通孔的直径，用于限制承载台401与冷凝板301之间的最大距离；所述承载机构400还包括第二限位组件405，所述第二限位组件设置于承载台401上，用于限制基板在传输方向所在平面的位置。

一些实施例中，所述真空泵200包括干式真空泵201；所述用于制备显示面板的真空干燥系统还包括真空控制机构600，所述真空控制机构600包括：第二管道602、第三管道603、第四管道604、第五管道605、第六管道606、第一阀607、第二阀608、第三阀609、第四阀6010以及均匀布置的多个第一管道601；所述多个第一管道601一端均与真空箱100的底部连接，另一端均与第二管道602连通；所述第二管道602通过第一阀607与第六管道606的第一端连通，所述第六管道606的第二端与所述干式真空泵201连接；所述第二管道602与所述第六管道606之间设有三条并联的管道：第三管道603、第四管道604和第五管道605，所述三条并联的管道均一端与所述第二管道602连通、另一端与所述第六管道606连通；其中，所述第三管道603上设有第二阀608，所述第二阀608用于控制所述第三管道603的真空流量；所述第四管道604上装有第三阀609，所述第三阀609用于控制第四管道604的通断状态；所述第五管道605上装有第四阀6010，所述第四阀6010用于控制第五管道605的通断状态；当所述第一阀607开启，第二阀608、第三阀609和第四阀6010均关闭时，能够通过第二管道602和第六管道606抽真空；当所述第一阀607关闭时，能够通过所述第二阀608、所述第三阀609和/或所述第四阀6010来实时控制真空流量。

一些实施例中，所述真空泵200还包括分子泵202；所述分子泵202一端与所述真空箱100连接，另一端通过第十管道6018与所述第六管道606连接，所述第七管道上设有真空计6019和第五阀6011；其中，当所述第一阀607、第二阀608、第三阀609、第四阀6010均关闭且所述真空计6019检测到所述真空箱100内的气压达到预设阈值时，通过所述第五阀6011控制分子泵202对所述真空箱100内的腔室进行抽真空。

一些实施例中，所述真空控制机构还包括第七管道6012；所述第七管道6012一端与所述第二管道602连通，另一端并联两条支路；所述两条支路上均设有一流量计6013和一第六阀6014；所述两条支路的另一端均与一供气装置6015连接；其中，所述第六阀6014用于控制所在支路的通断状态；所述两条支路上流量计6013的流量不同；所述第六阀6014的开关状态用于通过不同流量对所述第二管道602进行供气。

一些实施例中，所述真空箱100的侧壁设置有第八管道6016，所述第八管道6016一端与真空箱100连接，另一端与传输腔连接，所述第八管道6016上设有第七阀6017；当所述真空箱100接收传输腔传输的基板时，通过开启所述第七阀6017使得所述真空箱100和所述传输腔内的腔室气压一致。

一些实施例中，所述用于制备显示面板的真空干燥系统还包括输气机构700，所述输气机构700包括第九管道701、第八阀702、第九阀703、第十阀704和第十一阀705；所述第九管道701一端连接真空箱100，另一端并联两条第一支路，一条第一支路设有第八阀702，另一条第一支路设有第九阀703和第十阀704，所述第十阀704用于调节所在支路的流量；所述两条第一支路的另一端并联有两条第二支路，所述第二支路上均设有第十一阀705；一条第二支路的另一端用于输送空气，另一条第二支路的另一端用于输送氮气。

一些实施例中，所述真空箱100放置于机架上，所述机架上设有维护机构800；所述维护机构800包括凸缘801、旋钮802、第一转臂803、第二转臂804、第一转轴805、第二转轴806；所述凸缘801与所述真空箱100的上盖板固定连接，所述旋钮802穿过所述第一转臂803与所述凸缘801螺纹连接，所述第一转臂803与所述第二转臂804通过所述第一转轴805转动连接，第二转臂804通过第二转轴806转动连接于机架；其中，所述旋钮802能够绕所述第一转臂803转动带动所述上盖板朝背离所述真空箱100的腔室的方向移动，进而所述第一转臂803与所述第二转臂804的配合运动能够带动所述上盖板朝靠近所述机架的方向移动；所述机架上设有限位块807，所述限位块具有相互垂直的两个面，第一面用于限制所述真空箱100在基板的输送方向的位置，第二面用于限制所述真空箱100的上盖板在基板的宽度方向的位置。

本申请提供的技术方案带来的有益效果包括：

本申请实施例提供了一种用于制备显示面板的真空干燥系统，通过第一滑动板和第二滑动板与支撑组件固定连接，支撑组件与传动组件固定连接，传动组件与承载台固定连接，传动组件通过第一滑动板和第二滑动板的同步滑动带动承载台的升降运动，对放置于承载台上的基板与冷凝板的距离进行调节，能够承载大尺寸基板，通过对基板稳定的升降运动调节基板与冷凝板301的距离适用于各种工艺需求；进一步地，冷凝机构通过水冷机实时调整冷凝板的温度，解决了相关技术中冷凝板的规格参数固定，不能根据实际需求灵活地微调抽气速率等指标的问题；多个第一管道601相对真空腔室内腔体均匀分布，解决了抽气装置无法保证抽气时气流均匀性以及调整抽气速率，既能保证抽气时气流均匀性，又提高了抽气速率。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请实施例提供的用于制备显示面板的真空干燥系统的结构示意图；

图2为本申请实施例提供的真空箱100的内部结构示意图；

图3为本申请实施例提供的真空控制机构600的结构示意图；

图4为本申请实施例提供的第七管道6012的结构示意图；

图5为本申请实施例提供的输气机构700的结构示意图；

图6为本申请实施例提供的维护机构800的结构示意图；

图7为本申请实施例提供的维护机构800的结构示意图。

图中：100-真空箱；200-真空泵；300-冷凝机构；301-冷凝板；302-定位组件；303-第一水冷机；304-第一连接组件；400-承载机构；401-承载台；402-传动组件；403-第二连接组件；404-第一限位组件；4041-支撑轴；4042-限位轴；405-第二限位组件；500-升降机构；501-固定组件；502-滑动组件；503-支撑组件；5021-电机；5022-传递轴；5023-第一换向器；5024-第二换向器；5025-转向板；600-真空控制机构；601-第一管道；602-第二管道-603-第三管道；604-第四管道；605-第五管道；606-第六管道；607-第一阀；608-第二阀；609-第三阀；6010-第四阀；6011-第五阀；6012-第七管道；6013-流量计；6014-第六阀；6015-供气装置；6016-第八管道；6017-第七阀；6018-第十管道；6019-真空计；700-输气机构；701-第九管道；702-第八阀；703-第九阀；704-比例阀；705-第十一阀；800-维护组件；801-凸缘；802-旋钮；803-第一转臂；804-第二转臂；805-第一转轴；806-第二转轴。

具体实施方式

为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

本申请实施例提供了一种用于制备显示面板的真空干燥系统，通过电机、换向器、传递轴的配合，实现两端的同步滑动，进而带动承载机构的升降运动，能够承载大尺寸基板，通过对基板稳定的升降运动调节基板与冷凝板301的距离适用于各种工艺需求，解决了相关技术中升降机构不能满足大尺寸基板的需求。

参见图1-2，本申请实施例中的用于制备显示面板的真空干燥系统包括，真空箱100、真空泵200、冷凝机构300、承载机构400、升降机构500。具体的，真空箱100，所述真空箱100内具有密闭的真空腔室，所述真空腔室用于为基板提供真空干燥空间；真空泵200，用于对真空箱100内的腔室抽真空；冷凝机构300，包括：冷凝板301、定位组件302、第一水冷机303、第一连接组件304；其中，所述冷凝板301通过定位组件302固定于所述真空腔内的第一平面，所述定位组件302包括四个定位针，冷凝板301横向延伸出四个第四凸出部，四个第四凸出部用于与四个定位针一一对应连接；定位针一端与所述冷凝板301固定连接，另一端与真空箱100固定连接，真空箱100的底部设有相对应的凹槽，所述定位针302的底部与该凹槽配合，定位针302的外部套设有固定环，定位针302通过固定环与真空箱100固定连接。所述冷凝板301内部设有第一通道，所述第一通道通过所述第一连接组件304与第一水冷机303相连，通过所述第一水冷机303能够实时调节所述冷凝板301的温度；承载机构400，包括承载台401、传动组件402，所述传动组件402一端与所述承载台401固定连接，另一端与升降机构500连接；所述升降机构500，包括固定组件501、滑动组件502和支撑组件503；其中，所述固定组件501包括第一固定板和第二固定板，所述第一固定板和第二固定板分别固定于所述真空箱100的两侧，所述滑动组件502包括第一滑动板、第二滑动板、电机5021、传递轴5022、第一换向器5023和第二换向器5024；所述第一滑动板和第二滑动板分别与第一固定板和第二固定板滑动连接；所述第一换向器5023一端与所述第一滑动板连接，另一端通过所述传递轴5022与第二换向器5024的一端连接，所述第二换向器5024的另一端与第二滑动板连接；所述电机5021与所述第一换向器5023连接，通过所述传递轴5022带动第一滑动板和第二滑动板同步滑动；其中，所述第一滑动板和第二滑动板与所述支撑组件503固定连接，所述支撑组件503与所述传动组件402固定连接；所述传动组件402通过所述第一滑动板和第二滑动板的同步滑动带动所述承载台401升降运动，对放置于所述承载台401上的基板与所述冷凝板301的距离进行调节。

在一些实施例中，所述滑动组件502还包括转向板5025，所述第一滑动块与所述支撑组件503连接的一端、所述第二滑动块与所述支撑组件503连接的一端均延伸出第一端和第二端，所述第一端和所述第二端均连接所述转向板5025，所述支撑组件503包括四个支撑板，所述四个支撑板与四个所述转向板5025一一对应连接；所述传动组件402包括四个传动轴，所述四个传动轴一端与所述承载台401固定连接，用于承载所述承载台401；所述四个传动轴的另一端与所述四个支撑板一一对应连接；所述四个传动轴通过所述第一滑动板和所述第二滑动板的同步滑动带动所述承载台401上的基板进行升降运动；其中，所述第一滑动板和所述第二滑动板位于同一高度。在一些示例中，承载台401横向延伸出四个第一凸出部，四个第一凸出部用于与四个传动轴一一对应连接。所述第一凸出部与第四凸出部在基板传输方向所在的平面上处于不同的位置。所述传动轴包括直线杆、固定座、以及波纹管；固定座套设于直线杆外部，固定座本体为圆柱体，其下端向外延伸出尺寸大于固定座本体直径的第二凸出部，真空箱100设有通孔，固定座本体穿设于通孔，第二凸出部与真空箱100底部固定连接；波纹管本体为圆柱体，其下端向外延伸出尺寸大于真空箱100通孔的第三凸出部，第三凸出部上设有密封圈，波纹管的长度大于真空箱100到承载台401的最大距离，波纹管的第三凸出部与真空箱100抵接，由于第三凸出部上设有密封圈，能够保证真空箱100内部气体不会泄露。

在本申请实施例中，通过电机、换向器、传递轴的配合，实现两个滑动板的同步滑动，并带动四个支撑板的同步滑动，进而带动承载台的升降运动，由于承载台的四个第一凸出部的接触，能够使得承载台的稳定的升降运动，由此通过承载台能够承载大尺寸基板，通过对基板稳定的升降运动调节基板与冷凝板301的距离适用于各种工艺需求，解决了相关技术中升降机构不能满足大尺寸基板的需求。

所述承载机构400还包括第二连接组件403，所述承载台401内部设有第二通道，所述第二通道通过第二连接组件403与第二水冷机404相连，通过所述第二水冷机404能够实时调节所述承载台401的温度。其中，第一通道均匀布置于冷凝板，第二通道均匀布置于承载板；第一通道的进出口和第二通道的进出口在基板传输方向所在的平面上处于不同的位置。优选地，第一通道和第二通道均只有一个进出口。第二连接组件403包括第一气管、限位板和波纹管，第一气管包括进气管和排气管，进气管和排气管依次穿设于波纹管和限位板，限位板与真空箱100固定连接，波纹管与前述的传动轴的波纹管类似。前述的固定座也可采用此处的限位板结构。

所述承载机构400还包括第一限位组件404，所述第一限位组件404包括支撑轴4041和限位轴4042；所述承载台401设有通孔，所述支撑轴4041穿设于所述通孔，用于支撑基板以及限制所述承载台401在基板传输方向所在平面的位置；所述限位轴4042的直径大于所述通孔的直径，用于限制承载台401与冷凝板301之间的最大距离。其中，所述限位轴4042支撑所述承载台401，所述支撑轴4041还用于当所述承载台401沿限位轴4041进行轴向运动时提供导向作用。所述承载机构400还包括第二限位组件405，所述第二限位组件405设置于承载台401上，用于限制基板在传输方向所在平面的位置。

其中，真空箱100的底部设有凹槽，所述限位轴4042的底部与该凹槽配合，限位轴4042的外部套设有固定环，限位轴4042通过固定环与真空箱100固定连接。所述承载台401靠近所述冷凝板301的一侧凸设有至少四个第二限位组件405，四个所述第二限位组件405分别用于抵接所述基板沿的四个侧壁，以限制基板在传输方向所在平面的位置。优选地，第二限位组件405的数量为八个，八个第二限位组件405周向布置。进一步地，第二限位组件405为圆柱体，靠近冷凝板的一端从上至下形成锥体，当第一限位组件404的升降运动使得基板向靠近承载台的方向运动时，椎体用于对基板进行导向，圆柱体用于对基板进行限位，以限制基板在传输方向所在平面的位置，使得第二限位组件405与基板之间为线接触，从而能够减少第二限位组件405与基板之间的接触面积，减少对基板的损伤。

参见图1和图3，在一些实施例中，所述真空泵200包括干式真空泵201；所述用于制备显示面板的真空干燥系统还包括真空控制机构600，所述真空控制机构600包括：第二管道602、第三管道603、第四管道604、第五管道605、第六管道606、第一阀607、第二阀608、第三阀609、第四阀6010以及相对真空腔室均匀布置的多个第一管道601；所述多个第一管道601一端均与真空箱100的底部连接，另一端均与第二管道602连通；所述第二管道602通过第一阀607与第六管道606的第一端连通，所述第六管道606的第二端与所述干式真空泵201连接；所述第二管道602与所述第六管道606之间设有三条并联的管道：第三管道603、第四管道604和第五管道605，所述三条并联的管道均一端与所述第二管道602连通、另一端与所述第六管道606连通。

其中，所述第三管道603、所述第四管道604、所述第五管道605的内径之和等于第六管道606的内径；所述第三管道603上设有第二阀608，所述第二阀608用于控制所述第三管道603的真空流量；所述第四管道604上装有第三阀609，所述第三阀609用于控制第四管道604的通断状态；所述第五管道605上装有第四阀6010，所述第四阀6010用于控制第五管道605的通断状态；当所述第一阀607开启，第二阀608、第三阀609和第四阀6010均关闭时，能够通过第二管道602和第六管道606抽真空；当所述第一阀607关闭时，能够通过所述第二阀608、所述第三阀609和/或所述第四阀6010来实时控制真空流量。需要说明的是，第二管道602和第六管道606的内径相同，所有第一管道601的内径之和等于第二管道602的内径。优选地，多个第一管道601的数量为四个。

在一些示例中，第一阀607、第三阀609、第四阀6010均为控制阀，第二阀608为比例阀。其中，比例阀即可控制所在管路的通断状态，又能控制该管路的真空流量。当所述第一阀607关闭时，能够通过所述第二阀608、所述第三阀609和/或所述第四阀6010来实时控制真空流量，具体的，通过所述第二阀608的控制所在管道的流量，所述第四阀6010和所述第三阀609的通断状态控制所对应支路的流量，由此，可以实现干式真空泵201的抽速连续可调。

在一些示例中，所述第一管道601与真空箱100的底部连通处设置有筛网，用于隔离真空腔室中的玻璃碎片，防止玻璃碎片随着管道进入真空泵200中，影响抽真空的效果。

在本申请实施例中，多个第一管道601相对真空腔室内腔体均匀分布，既能保证抽气时气流均匀性，又提高了抽气速率。当所述第一阀607开启，第二阀608、第三阀609和第四阀6010均关闭时，能够以干式真空泵201的最大抽速抽真空；当所述第一阀607关闭时，通过所述第二阀608的控制所在管道的流量，所述第四阀6010和所述第三阀609的通断状态控制所对应支路的流量，由此，可以实现干式真空泵201的抽速连续可调。

在一些实施例中，所述真空泵200还包括分子泵202；所述分子泵202一端与所述真空箱100连接，另一端通过第十管道6018与所述第六管道606连接，所述第七管道上设有真空计6019和第五阀6011；其中，当所述第一阀607、第二阀608、第三阀609、第四阀6010均关闭且所述真空计6019检测到所述真空箱100内的气压达到预设阈值时，通过所述第五阀6011控制分子泵202对所述真空箱100内的腔室进行抽真空。所述分子泵202与所述真空箱100连接的一端还可以设有第十二阀，具体的，第十二阀可以是三位置闸板阀，能够实现分子泵202的开关状态以及流量控制。在本申请实施例中，通过分子泵202抽真空的精度更高，能够让真空腔室内实现更低压的状态。

参见图3和图4，在一些实施例中，所述真空控制机构还包括第七管道6012；所述第七管道6012一端与所述第二管道602连通，另一端并联两条支路；所述两条支路上均设有一流量计6013和一第六阀6014；所述两条支路的另一端均与一供气装置6015连接；其中，所述第六阀6014用于控制所在支路的通断状态；所述两条支路上流量计6013的流量不同；所述第六阀6014的开关状态用于通过不同流量对所述第二管道602进行供气。当所述第一阀607关闭时，可通过第二阀608实时调节所在管道的流量，并配合第七管道6012的供气，实现真空腔室内的稳压状态。

参见图1，在一些实施例中，所述真空箱100的侧壁设置有第八管道6016，所述第八管道6016一端与真空箱100连接，另一端与传输腔连接，所述第八管道6016上设有第七阀6017；当所述真空箱100接收传输腔传输的基板时，通过开启所述第七阀6017使得所述真空箱100和所述传输腔内的腔室气压一致。其中，第七阀6017为控制阀。

参见图5，所述用于制备显示面板的真空干燥系统还包括输气机构700，所述输气机构700包括第九管道701、第八阀702、第九阀703、第十阀704和第十一阀705；所述第九管道701一端连接真空箱100，另一端并联两条第一支路，一条第一支路设有第八阀702，另一条第一支路设有第九阀703和第十阀704，所述第十阀704用于调节所在支路的流量；所述两条第一支路的另一端并联有两条第二支路，所述第二支路上均设有第十一阀705；一条第二支路的另一端用于输送空气，另一条第二支路的另一端用于输送氮气。其中，第八阀702、第九阀703、第十一阀705为控制阀，第十阀704为比例阀。

参见图1、图6和图7，在一些实施例中，所述真空箱100放置于机架上，所述机架上设有维护机构800；所述维护机构800包括凸缘801、旋钮802、第一转臂803、第二转臂804、第一转轴805、第二转轴806；所述凸缘801与所述真空箱100的上盖板固定连接，所述旋钮802穿过所述第一转臂803与所述凸缘801螺纹连接，所述第一转臂803与所述第二转臂804通过所述第一转轴805转动连接，第二转臂804通过第二转轴806转动连接于机架；其中，所述旋钮802能够绕所述第一转臂803转动带动所述上盖板朝背离所述真空箱100的腔室的方向移动，进而所述第一转臂803与所述第二转臂804的配合运动能够带动所述上盖板朝靠近所述机架的方向移动；所述机架上设有限位块807，所述限位块具有相互垂直的两个面，第一面用于限制所述真空箱100在基板的输送方向的位置，第二面用于限制所述真空箱100的上盖板在基板的宽度方向的位置。在一些示例中，旋钮802设置有把手，从而便于对旋钮802进行旋转，提高旋钮802的可控性。

在本申请的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

需要说明的是，在本申请中，诸如“第一”和“第二”等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

以上所述仅是本申请的具体实施方式，使本领域技术人员能够理解或实现本申请。对这些实施例的多种修改对本领域的技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本申请的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本申请将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所申请的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (10)

1.一种用于制备显示面板的真空干燥系统，其特征在于，所述真空干燥系统包括：

真空箱(100)，所述真空箱(100)内具有密闭的真空腔室，所述真空腔室用于为基板提供真空干燥空间；

真空泵(200)，用于对真空箱(100)内的腔室抽真空；

冷凝机构(300)，包括冷凝板(301)、定位组件(302)、第一水冷机(303)、第一连接组件(304)；其中，所述冷凝板(301)通过定位组件(302)固定于所述真空腔内的第一平面，所述冷凝板(301)内部设有第一通道，所述第一通道通过所述第一连接组件(304)与第一水冷机(303)相连，通过所述第一水冷机(303)能够实时调节所述冷凝板(301)的温度；

承载机构(400)，包括承载台(401)、传动组件(402)，所述传动组件(402)一端与所述承载台(401)固定连接，另一端与升降机构(500)连接；

所述升降机构(500)，包括固定组件(501)、滑动组件(502)和支撑组件(503)；其中，所述固定组件(501)包括第一固定板和第二固定板，所述第一固定板和第二固定板分别固定于所述真空箱(100)的两侧，所述滑动组件(502)包括第一滑动板、第二滑动板、电机(5021)、传递轴(5022)、第一换向器(5023)和第二换向器(5024)；所述第一滑动板和第二滑动板分别与第一固定板和第二固定板滑动连接；所述第一换向器(5023)一端与所述第一滑动板连接，另一端通过所述传递轴(5022)与第二换向器(5024)的一端连接，所述第二换向器(5024)的另一端与第二滑动板连接；所述电机(5021)与所述第一换向器(5023)连接，通过所述传递轴(5022)带动第一滑动板和第二滑动板同步滑动；

其中，所述第一滑动板和第二滑动板均与所述支撑组件(503)固定连接，所述支撑组件(503)与所述传动组件(402)固定连接；所述传动组件(402)通过所述第一滑动板和第二滑动板的同步滑动带动所述承载台(401)升降运动，对放置于所述承载台(401)上的基板与所述冷凝板(301)的距离进行调节。

2.如权利要求1所述的用于制备显示面板的真空干燥系统，其特征在于，所述滑动组件(502)还包括转向板(5025)，所述第一滑动块与所述支撑组件(503)连接的一端、所述第二滑动块与所述支撑组件(503)连接的一端均延伸出第一端和第二端，所述第一端和所述第二端均连接所述转向板(5025)，所述支撑组件(503)包括四个支撑板，所述四个支撑板与四个所述转向板(5025)一一对应连接；所述传动组件(402)包括四个传动轴，所述四个传动轴一端与所述承载台(401)固定连接，用于承载所述承载台(401)；所述四个传动轴的另一端与所述四个支撑板一一对应连接；所述四个传动轴通过所述第一滑动板和所述第二滑动板的同步滑动带动所述承载台(401)上的基板进行升降运动；其中，所述第一滑动板和所述第二滑动板位于同一高度。

3.如权利要求1所述的用于制备显示面板的真空干燥系统，其特征在于，所述承载机构(400)还包括第二连接组件(403)，所述承载台(401)内部设有第二通道，所述第二通道通过第二连接组件(403)与第二水冷机(404)相连，通过所述第二水冷机(404)能够实时调节所述承载台(401)的温度。

4.如权利要求1所述的用于制备显示面板的真空干燥系统，其特征在于，所述承载机构(400)还包括第一限位组件(404)，所述第一限位组件(404)包括支撑轴(4041)和限位轴(4042)；所述承载台(401)设有通孔，所述支撑轴(4041)穿设于所述通孔，用于支撑基板以及限制所述承载台401在基板传输方向所在平面的位置；所述限位轴(4042)的直径大于所述通孔的直径，用于限制承载台(401)与冷凝板(301)之间的最大距离；

所述承载机构(400)还包括第二限位组件(405)，所述第二限位组件(405)设置于承载台(401)上，用于限制基板在传输方向所在平面的位置。

5.如权利要求1所述的用于制备显示面板的真空干燥系统，其特征在于，所述真空泵(200)包括干式真空泵(201)；所述真空干燥系统还包括真空控制机构(600)，所述真空控制机构(600)包括：第二管道(602)、第三管道(603)、第四管道(604)、第五管道(605)、第六管道(606)、第一阀(607)、第二阀(608)、第三阀(609)、第四阀(6010)以及均匀布置的多个第一管道(601)；所述多个第一管道(601)一端均与真空箱(100)的底部连接，另一端均与第二管道(602)连通；所述第二管道(602)通过第一阀(607)与第六管道(606)的第一端连通，所述第六管道(606)的第二端与所述干式真空泵(201)连接；所述第二管道(602)与所述第六管道(606)之间设有三条并联的管道：第三管道(603)、第四管道(604)和第五管道(605)，所述三条并联的管道均一端与所述第二管道(602)连通、另一端与所述第六管道(606)连通；

其中，所述第三管道(603)上设有第二阀(608)，所述第二阀(608)用于控制所述第三管道(603)的真空流量；所述第四管道(604)上装有第三阀(609)，所述第三阀(609)用于控制第四管道(604)的通断状态；所述第五管道(605)上装有第四阀(6010)，第四阀(6010)用于控制第五管道(605)的通断状态；当所述第一阀(607)开启，第二阀(608)、第三阀(609)和第四阀(6010)均关闭时，能够通过第二管道(602)和第六管道(606)抽真空；当所述第一阀(607)关闭时，能够通过所述第二阀(608)、所述第三阀(609)和/或所述第四阀(6010)来实时控制抽真空的流量。

6.如权利要求5所述的用于制备显示面板的真空干燥系统，其特征在于，所述真空泵(200)还包括分子泵(202)；所述分子泵(202)一端与所述真空箱(100)连接，另一端通过第十管道(6018)与所述第六管道(606)连接，所述第七管道上设有真空计(6019)和第五阀(6011)；其中，当所述第一阀(607)、第二阀(608)、第三阀(609)、第四阀(6010)均关闭且所述真空计(6019)检测到所述真空箱(100)内的气压达到预设阈值时，通过所述第五阀(6011)控制分子泵(202)对所述真空箱(100)内的腔室进行抽真空。

7.如权利要求5所述的用于制备显示面板的真空干燥系统，其特征在于，所述真空控制机构还包括第七管道(6012)；所述第七管道(6012)一端与所述第二管道(602)连通，另一端并联两条支路；所述两条支路上均设有一流量计(6013)和一第六阀(6014)；所述两条支路的另一端均与一供气装置(6015)连接；其中，所述第六阀(6014)用于控制所在支路的通断状态；所述两条支路上流量计(6013)的流量不同；所述第六阀(6014)的开关状态用于通过不同流量对所述第二管道(602)进行供气。

8.如权利要求1所述的用于制备显示面板的真空干燥系统，其特征在于，所述真空箱(100)的侧壁设置有第八管道(6016)，所述第八管道(6016)一端与真空箱(100)连接，另一端与传输腔连接，所述第八管道(6016)上设有第七阀(6017)；当所述真空箱(100)接收传输腔传输的基板时，通过开启所述第七阀(6017)使得所述真空箱(100)和所述传输腔内的腔室气压一致。

9.如权利要求1所述的用于制备显示面板的真空干燥系统，其特征在于，所述真空干燥系统还包括输气机构(700)，所述输气机构(700)包括第九管道(701)、第八阀(702)、第九阀(703)、第十阀(704)和第十一阀(705)；所述第九管道(701)一端连接真空箱(100)，另一端并联两条第一支路，一条第一支路设有第八阀(702)，另一条第一支路设有第九阀(703)和第十阀(704)，所述第十阀(704)用于调节所在支路的流量；所述两条第一支路的另一端并联有两条第二支路，所述第二支路上均设有第十一阀(705)；一条第二支路的另一端用于输送空气，另一条第二支路的另一端用于输送氮气。

10.如权利要求1所述的用于制备显示面板的真空干燥系统，其特征在于，所述真空箱(100)放置于机架上，所述机架上设有维护机构(800)；所述维护机构(800)包括凸缘(801)、旋钮(802)、第一转臂(803)、第二转臂(804)、第一转轴(805)、第二转轴(806)；所述凸缘(801)与所述真空箱(100)的上盖板固定连接，所述旋钮(802)穿过所述第一转臂(803)与所述凸缘(801)螺纹连接，所述第一转臂(803)与所述第二转臂(804)通过所述第一转轴(805)转动连接，第二转臂(804)通过第二转轴(806)转动连接于机架；

其中，所述旋钮(802)能够绕所述第一转臂(803)转动带动所述上盖板朝背离所述真空箱(100)的腔室的方向移动，进而所述第一转臂(803)与所述第二转臂(804)的配合运动能够带动所述上盖板朝靠近所述机架的方向移动；

所述机架上设有限位块(807)，所述限位块具有相互垂直的两个面，第一面用于限制所述真空箱(100)在基板的输送方向的位置，第二面用于限制所述真空箱(100)的上盖板在基板的宽度方向的位置。