CN104596205B - 一种真空干燥装置及真空干燥方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种真空干燥装置及真空干燥方法，涉及干燥技术领域，能够改善真空干燥过程中物料不同位置处干燥速度不均匀的现象。本发明实施例提供的真空干燥装置包括腔室，所述腔室内设置有基台，所述腔室内还设置有导流罩，所述导流罩包括侧壁、上端开口和下端开口；在真空干燥过程中，所述下端开口与所述基台贴合，所述上端开口与所述腔室的顶部之间有间隙，物料位于所述导流罩内。本发明实施例还提供了一种真空干燥方法。

Description

一种真空干燥装置及真空干燥方法
技术领域
本发明涉及干燥技术领域，尤其涉及一种真空干燥装置及真空干燥方法。
背景技术
有机发光二极管显示装置包括在基板上依次设置的多个膜层，各膜层可以通过蒸镀、喷墨打印等多种方式形成。其中，喷墨打印具有材料利用率高、可实现大尺寸打印的优势，成为大尺寸有机发光二极管显示装置实现批量生产的重要方式。
通常，在完成喷墨打印后，需要将基板移至真空干燥装置中进行干燥，以使墨滴中的溶剂挥发而最终形成膜层。现有的真空干燥装置如图1所示，该真空干燥装置包括腔室1'，腔室1'内设置有基台2'和在腔室1'的底部对称设置的两个抽气口3'，基板4'(称为物料)放置在基台2'上。在干燥过程中，抽气口3'抽取腔室1'内的气体，腔室1'内气压下降，从而促使墨滴中的溶剂挥发而干燥。
发明人发现，在干燥过程中，腔室1'内的气流由基台2'流向抽气口3'，且越接近抽气口3'，气流速度越大，导致基板4'的周边区域的气流速度大于基板4'的中心区域的气流速度，使得基板4'的周边区域的墨滴的干燥速度大于基板4'的中心区域的墨滴的干燥速度，在基板4'的周边区域的墨滴干燥后，基板4'的中心区域的墨滴仍然为液态，从而向基板4'的周边区域流动，最终导致基板4'的周边区域的膜层的厚度大于基板4'的中心区域的膜层的厚度，影响了有机发光二极管显示装置的显示效果。
发明内容
本发明的实施例提供一种真空干燥装置及真空干燥方法，能够改善真空干燥过程中物料不同位置处干燥速度不均匀的现象。
为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：
一种真空干燥装置，该真空干燥装置包括腔室，所述腔室内设置有基台，所述腔室内还设置有导流罩，所述导流罩包括侧壁、上端开口和下端开口；在真空干燥过程中，所述下端开口与所述基台贴合，所述上端开口与所述腔室的顶部之间有间隙，物料位于所述导流罩内。
所述导流罩可升降。
所述真空干燥装置还包括导流罩升降驱动装置，所述导流罩升降驱动装置与所述导流罩连接，所述导流罩升降驱动装置驱动所述导流罩升降。
所述导流罩升降驱动装置包括升降驱动机构和升降机构，所述升降驱动机构驱动所述升降机构升降，所述升降机构带动所述导流罩升降。
所述升降驱动机构包括电机、联轴器、丝杠和螺母和导向轴；其中，所述电机通过所述联轴器与所述丝杠的一端连接，所述丝杠上套设有螺母，所述螺母与所述升降机构连接；所述升降机构沿所述导向轴的方向升降；所述导向轴与所述腔室的顶部连接，并垂直于所述基台。
所述升降机构包括升降板和升降轴；所述升降板与所述螺母连接；所述升降板与所述导流罩通过穿过所述腔室的顶部的所述升降轴连接；所述升降板上设置有与所述导向轴匹配的导向孔，所述升降板通过所述导向孔空套在所述导向轴上
所述升降驱动机构包括气缸和导向轴，所述气缸包括气缸杆；所述气缸杆的末端与所述升降机构连接；所述升降机构沿所述导向轴的方向升降；所述导向轴与所述腔室的顶部连接，并垂直于所述基台。
所述升降机构包括升降板和升降轴；所述升降板与所述气缸杆连接；所述升降板与所述导流罩通过穿过所述腔室的顶部的所述升降轴连接；所述升降板上设置有与所述导向轴匹配的导向孔，所述升降板通过所述导向孔空套在所述导向轴上。
所述升降机构还包括可伸缩波纹管，所述可伸缩波纹管套在所述升降轴上，并密封连接所述升降板和所述腔室的顶部。
所述导流罩升降驱动装置还包括升降限位机构，所述升降限位机构限定所述导流罩的上限位置和下限位置。
所述升降限位机构包括上限位感应器、下限位感应器和感应器支架，所述上限位感应器和所述下限位感应器固定在所述感应器支架上；所述上限位感应器、所述下限位感应器以及所述电机均与控制器连接，所述控制器用于根据所述上限位感应器或下限位感应器发出的信号控制所述电机的工作状态。
所述导流罩的侧壁与所述基台之间的夹角小于等于90°。
所述导流罩的横截面为方形或圆形，所述横截面与所述下端开口平行。
本发明实施例提供了一种如上述的真空干燥装置，在干燥过程中，导流罩的下端开口与基台贴合，上端开口与腔室的顶部之间有间隙，使得导流罩内的气流由基台表面通过导流罩的上端开口流出，再流出腔室，从而避免了气流由基台直接流出腔室，由于导流罩内不同位置处的气流速度比较均匀，从而改善了物料不同位置处干燥速度不均匀的现象。
本发明实施例还提供了一种真空干燥方法，应用如上所述的真空干燥装置对物料进行干燥，所述真空干燥方法包括：将所述物料置于所述基台上；将所述导流罩罩住所述物料，且所述导流罩的下端开口与所述基台贴合，所述导流罩的上端开口与所述腔室的顶部之间有间隙；对所述腔室抽真空。
本发明实施例提供了一种如上述的真空干燥方法，应用如上所述的真空干燥装置对物料进行干燥，使导流罩罩住所述物料，在干燥过程中，导流罩的下端开口与基台贴合，导流罩的上端开口与所述腔室的顶部之间有间隙，使得导流罩内的气流由基台表面通过导流罩的上端开口流出，再流出腔室，从而避免了气流由基台直接流出腔室，由于导流罩内不同位置处的气流速度比较均匀，从而改善了物料不同位置处干燥速度不均匀的现象。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为现有技术中真空干燥装置的结构示意图；
图2为本发明实施例提供的真空干燥装置的一种状态图；
图3为本发明实施例提供的真空干燥装置的另一种状态图；
图4为本发明实施例提供的真空干燥装置中一种导流罩的截面图；
图5为本发明实施例提供的真空干燥装置中另一种导流罩的截面图。
附图标记说明：
1—腔室；2—基台；3—导流罩；
31—侧壁；32—上端开口；33—下端开口；
4—物料；51—升降驱动机构；511—电机；
512—电机支架；513—固定板；514—联轴器；
515—丝杠；516—螺母；52—升降机构；
521—升降板；522—升降轴；523—导向轴；
524—可伸缩波纹管；53—升降限位机构；531—上限位感应器；
532—下限位感应器；533—感应器支架。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
本发明实施例提供了一种真空干燥装置，如图2所示，该真空干燥装置包括腔室1，腔室1内设置有基台2，腔室1内还设置有导流罩3，导流罩3包括侧壁31、上端开口32和下端开口33；在真空干燥过程中，下端开口33与基台2贴合，上端开口32与腔室1的顶部之间有间隙，物料4位于导流罩3内。
本发明实施例提供了一种如上述的真空干燥装置，在干燥过程中，导流罩的下端开口与基台贴合，上端开口与腔室的顶部之间有间隙，使得导流罩内的气流由基台表面通过导流罩的上端开口流出，再流出腔室，从而避免了气流由基台直接流出腔室，由于导流罩内不同位置处的气流速度比较均匀，从而改善了物料不同位置处干燥速度不均匀的现象。
为了便于将物料4放置于导流罩3内，优选地，导流罩3可升降。导流罩3可以通过手动方式进行升降，为了提高导流罩3升降速度及升降精确度，优选地，导流罩3通过自动方式进行升降。
当导流罩3通过自动方式进行升降时，真空干燥装置包括导流罩升降驱动装置，导流罩升降驱动装置与导流罩3连接，导流罩升降驱动装置驱动导流罩3升降。
具体地，导流罩升降驱动装置包括依次设置的升降驱动机构51和升降机构52，升降驱动机构51驱动升降机构52升降，升降机构52带动导流罩3升降。
为了便于本领域技术人员理解本发明实施例提供的导流罩升降驱动装置，本发明实施例提供了以下两种结构的导流罩升降驱动装置，两种结构的不同点在于驱动方式不同。
第一种导流罩升降驱动装置，升降驱动机构51包括电机511、联轴器514、丝杠515、螺母516和导向轴523；其中，电机511通过联轴器514与丝杠515的一端连接，丝杠515上套设有螺母516，螺母516与升降机构52连接；升降机构52沿导向轴523的方向升降；导向轴523的一端与腔室1的顶部连接，并垂直于基台2，导向轴523的另一端与固定板513连接，导向轴523支撑固定板513，固定板513上设置通孔，从而使丝杠515穿过。另外，电机511通过电机支架512固定在固定板513上。电机511工作时通过联轴器514驱动丝杠515转动，从而由螺母516带动升降机构52升降。
此时，升降机构52包括升降板521和升降轴522；升降板521与螺母516连接；升降板521与导流罩3通过穿过腔室1的顶部的升降轴522连接。丝杠515转动时，螺母516带动升降板521升降，进而带动导流罩3升降。
进一步地，升降板521沿导向轴523的方向升降，具体地，升降板521与导向轴523之间的连接方式可以为，升降板521上设置有与导向轴523匹配的导向孔，升降板521通过导向孔空套在导向轴523上。为了增强升降板的耐磨性能，优选升降板在导向孔内与导向套连接，导向套空套在导向轴523上，并且导向套可以由耐磨性较强的铜等金属制成。该种连接方式使得导流罩升降驱动装置的结构简单。由于升降板521空套在导向轴523上，因此，导向轴523在限定升降板521的升降方向的同时，还可以限制升降板521随着丝杠的转动而转动。
当然，升降板521与导向轴523之间还可以为其他连接方式，例如，升降板上设置T型突起，导向轴上设置与该突起相对应的导槽，当然，也可以在导向轴上设置T型突起，在升降板上设置与该突起相对应的导槽。T型突起与导槽之间配合并相对滑动，使得升降板沿导向轴的方向升降，同时，也可以限制升降板随着丝杠的转动而转动。
第二种导流罩升降驱动装置，升降驱动机构包括气缸和导向轴，气缸包括气缸杆；气缸杆的末端与升降机构连接；升降机构沿导向轴的方向升降；导向轴的一端与腔室的顶部连接，并垂直于基台，导向轴的另一端与固定板连接，导向轴支撑固定板，固定板上设置通孔，从而使气缸杆穿过。另外，气缸通过气缸支架固定在固定板上。气缸工作时，气缸杆带动升降机构升降。
此时，升降机构包括升降板和升降轴；升降板与气缸杆连接；升降板与导流罩通过穿过腔室的顶部的升降轴连接。当气缸杆升降时，带动升降板升降。
另外，升降板与导向轴之间的连接方式与第一种导流罩升降驱动装置中的连接方式相同，例如，升降板上设置有与导向轴匹配的导向孔，升降板通过导向孔空套在导向轴上。
需要说明的是，本领域技术人员在基于以上两种导流罩升降驱动装置的基础上，在不付出创造性劳动的前提下还可以获得其他可能的实现方式，本发明实施例不再一一赘述。
进一步地，由于升降轴522穿过腔室1的顶部，为了避免升降轴522在升降时降低腔室1内的真空度，优选地，升降机构52还包括可伸缩波纹管524，可伸缩波纹管524套在升降轴522上，并密封连接升降板521和腔室1的顶部。在升降轴522升降时，可伸缩波纹管524随之伸长或缩短，并密封升降板521和腔室1的顶部之间的区域，从而避免降低腔室1内的真空度。
此外，导流罩3升降驱动装置还包括升降限位机构53，升降限位机构53限定导流罩3的上限位置和下限位置。如图3所示，当导流罩3升起至上限位置时，导流罩3离开基台2，此时，可以将物料4放置于基台2上；如图2所示，当导流罩3下降至下限位置时，导流罩3的下端开口33与基台2贴合，此时，可以对腔室1抽真空，从而使物料4干燥。
具体地，升降限位机构53包括上限位感应器531、下限位感应器532和感应器支架533，上限位感应器531和下限位感应器532固定在感应器支架533上。如图3所示，感应器支架533固定在固定板513和腔室1的顶部之间，上限位感应器531对应升降板521的最高位置，从而限定导流罩3的上限位置；如图2所示，下限位感应器532对应升降板521的最低位置，从而限定导流罩3的下限位置。
上限位感应器531、下限位感应器532以及电机511均与控制器连接，该控制器用于根据上限位感应器531或下限位感应器532发出的信号控制电机511的工作状态。当导流罩3到达上限位置时，上限位感应器531发送信号至控制器，进而由控制器控制电机511停止工作，当导流罩3到达下限位置时，下限位感应器531发送信号至控制器，进而由控制器控制电机511停止工作。
为了使导流罩3内的气流速度均匀，导流罩3的侧壁31与基台2之间的夹角小于等于90°。当导流罩3的侧壁31与基台2之间的夹角等于90°时，导流罩3的形状为筒形，其制作工艺较简单；当导流罩3的侧壁31与基台2之间的夹角小于90°时，上端开口32的尺寸小于下端开口33的尺寸，可以使导流罩3内的气流速度更均匀。
优选地，如图4和图5所示，导流罩3的横截面为方形或圆形，该横截面与下端开口33平行。此时，导流罩3的制作工艺较简单。当然，导流罩3的形状也可以为其它形状，从而使导流罩3适应物料4的形状或使导流罩3内的气流速度更均匀。
本发明实施例还提供了一种真空干燥方法，如图2和图3所示，应用如上所述的真空干燥装置对物料4进行干燥，该真空干燥方法包括：将物料4置于基台2上；将导流罩3罩住物料4，且导流罩3的下端开口33与基台2贴合，导流罩3的上端开口32与腔室1的顶部之间有间隙；对腔室1抽真空。
需要说明的是，在将物料4置于基台2上之前，可以先升起导流罩3；在将物料4置于基台2上之后，再下降导流罩3，从而使导流罩3的下端开口33与基台2贴合，且导流罩3罩住物料4。
本发明实施例提供了一种如上述的真空干燥方法，应用如上所述的真空干燥装置对物料进行干燥，使导流罩罩住物料，在干燥过程中，导流罩的下端开口与基台贴合，导流罩的上端开口与所述腔室的顶部之间有间隙，使得导流罩内的气流由基台表面通过导流罩的上端开口流出，再流出腔室，从而避免了气流由基台直接流出腔室，由于导流罩内不同位置处的气流速度比较均匀，从而改善了物料不同位置处干燥速度不均匀的现象。
以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (14)

1.一种真空干燥装置，包括腔室，所述腔室内设置有基台，其特征在于，所述腔室内还设置有导流罩，所述导流罩包括侧壁、上端开口和下端开口；在真空干燥过程中，所述下端开口与所述基台贴合，所述上端开口与所述腔室的顶部之间有间隙，物料位于所述导流罩内。
2.根据权利要求1所述的真空干燥装置，其特征在于，所述导流罩可升降。
3.根据权利要求2所述的真空干燥装置，其特征在于，还包括导流罩升降驱动装置，所述导流罩升降驱动装置与所述导流罩连接，所述导流罩升降驱动装置驱动所述导流罩升降。
4.根据权利要求3所述的真空干燥装置，其特征在于，所述导流罩升降驱动装置包括升降驱动机构和升降机构，所述升降驱动机构驱动所述升降机构升降，所述升降机构带动所述导流罩升降。
5.根据权利要求4所述的真空干燥装置，其特征在于，
所述升降驱动机构包括电机、联轴器、丝杠和螺母和导向轴；其中，所述电机通过所述联轴器与所述丝杠的一端连接，所述丝杠上套设有螺母，所述螺母与所述升降机构连接；所述升降机构沿所述导向轴的方向升降；所述导向轴与所述腔室的顶部连接，并垂直于所述基台。
6.根据权利要求5所述的真空干燥装置，其特征在于，
所述升降机构包括升降板和升降轴；所述升降板与所述螺母连接；所述升降板与所述导流罩通过穿过所述腔室的顶部的所述升降轴连接；所述升降板上设置有与所述导向轴匹配的导向孔，所述升降板通过所述导向孔空套在所述导向轴上。
7.根据权利要求4所述的真空干燥装置，其特征在于，
所述升降驱动机构包括气缸和导向轴，所述气缸包括气缸杆；所述气缸杆的末端与所述升降机构连接；所述升降机构沿所述导向轴的方向升降；所述导向轴与所述腔室的顶部连接，并垂直于所述基台。
8.根据权利要求7所述的真空干燥装置，其特征在于，
所述升降机构包括升降板和升降轴；所述升降板与所述气缸杆连接；所述升降板与所述导流罩通过穿过所述腔室的顶部的所述升降轴连接；所述升降板上设置有与所述导向轴匹配的导向孔，所述升降板通过所述导向孔空套在所述导向轴上。
9.根据权利要求6或8所述的真空干燥装置，其特征在于，所述升降机构还包括可伸缩波纹管，所述可伸缩波纹管套在所述升降轴上，并密封连接所述升降板和所述腔室的顶部。
10.根据权利要求3所述的真空干燥装置，其特征在于，所述导流罩升降驱动装置还包括升降限位机构，所述升降限位机构限定所述导流罩的上限位置和下限位置。
11.根据权利要求10所述的真空干燥装置，其特征在于，所述升降限位机构包括上限位感应器、下限位感应器和感应器支架，所述上限位感应器和所述下限位感应器固定在所述感应器支架上；所述上限位感应器、所述下限位感应器以及电机均与控制器连接，所述控制器用于根据所述上限位感应器或下限位感应器发出的信号控制所述电机的工作状态。
12.根据权利要求1所述的真空干燥装置，其特征在于，所述导流罩的侧壁与所述基台之间的夹角小于等于90°。
13.根据权利要求1所述的真空干燥装置，其特征在于，所述导流罩的横截面为方形或圆形，所述横截面与所述下端开口平行。
14.一种真空干燥方法，其特征在于，应用如权利要求1-13中任一项所述的真空干燥装置对物料进行干燥，所述真空干燥方法包括：
将所述物料置于所述基台上；
将所述导流罩罩住所述物料，且所述导流罩的下端开口与所述基台贴合，所述导流罩的上端开口与所述腔室的顶部之间有间隙；
对所述腔室抽真空。
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