CN1908563A

CN1908563A - 减压干燥装置

Info

Publication number: CN1908563A
Application number: CNA2006101084851A
Authority: CN
Inventors: 五味一博
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2005-08-01
Filing date: 2006-08-01
Publication date: 2007-02-07
Also published as: TW200716931A; US7493705B2; JP4145905B2; JP2007040559A; TWI304125B; US20070022626A1

Abstract

减压干燥装置(10)具备：具有将涂敷了液态体(L)的基板(W)放置到放置台(11)上后收容的第1室(1)和第2室(2)的减压腔(3)；可将第2室(2)设置成为减压状态的减压单元的真空泵(6)。另外，还具备在将第1室和第2室隔开的隔壁部(18)上设置的、作为连通部的连通口(19)，和可以开闭连通口的连通阀(8)。另外，具备控制真空泵的驱动及连通阀的开闭的控制部。还具备计测第1室和第2室各自的压力的真空表(4、5)。第2室的容积，设定得大于第1室的容积。能够在干燥过程中，按照液态体的种类，使涂敷的液态体的溶剂的蒸发速度最佳化，能够以溶剂的蒸气压的分布大致均匀的状态进行减压干燥。

Description

减压干燥装置

技术领域

[0001]

本发明涉及在减压下使被涂敷了液态体的工件干燥，在工件的表面形成被膜之际使用的减压干燥装置。

背景技术

[0002]

在半导体等的晶片状的基板的表面，涂敷包含膜形成材料的液态体后形成被膜之际，使用在减压下使液态体包含的溶剂成分蒸发后干燥的减压干燥装置。作为该减压干燥装置，有下述方案问世：在放置涂敷了光致抗蚀剂的基板后减压的腔内，与基板相对地配置整流板，在整流板的外缘部设置通气孔(专利文献1)。

[0003]

在上述的减压干燥装置中，从减压腔上部排气，从而形成由晶片状的基板的周缘部一侧，经由整流板的通气孔，朝着排气口的一定方向的气流。这样，在整流板和基板之间流动的气流的速度，在基板面内均匀，所以能够使涂敷膜在基板面内均匀地平坦化，能够在基板上形成具有均匀的膜厚的涂敷膜。

[0004]

【专利文献1】日本国特开2002-313709号公报

[0005]

这样，在以半导体为首的许多电子器件的制造工序中，广泛采用将包含功能性材料的液态体涂敷到晶片等工件上，形成由功能性材料构成的涂敷膜的工艺。

[0006]

可是，在使液态体干燥后形成涂敷膜的干燥工艺中，使用上述减压干燥装置也非常难以使形成后的涂敷膜比较平坦、在工件的表面内膜厚分布也均匀地进行干燥。其理由是：使用的液态体多种多样，饱和蒸气压、液流学特性(粘性、弹性、朔性、触变性等的特性)，随着各种材料而变。另外，还因为在干燥过程中的蒸发速度等液态体的动态，随着液态体包含的溶质和溶剂的体积、表面积比而变。

[0007]

因此，使用上述现有技术的减压干燥装置，即使设置整流板后，使在减压下从液态体中蒸发的溶剂的气流在一定方向上具有一定的速度地进行控制，也存在着在干燥过程中出现液态体的流动(对流)，在表面张力的作用下，膜厚的均匀性下降的问题。另外，还存在着在工件的中央部和周缘部，蒸气浓度(或压力)分布产生差异，结果导致膜厚的面内分布因干燥速度的差异而不同的问题。进而，采用与各种液态体材料及涂敷的工件的形状对应的最佳的干燥装置的构造设计后，还存在着通用性下降的问题。

发明内容

[0008]

本发明就是针对上述问题研制的，其目的在于提供能够在干燥过程中，按照液态体的种类，使涂敷的液态体的溶剂的蒸发速度最佳化，能够以溶剂的蒸气压的分布大致均匀的状态进行减压干燥的减压干燥装置。

[0009]

本发明的减压干燥装置，其特征在于，是将涂敷了包含膜形成材料的液态体的工件收容到减压腔内，使液态体的溶剂在减压下蒸发后干燥的减压干燥装置，减压腔具有可以以大致密闭的状态收容工件的第1室，和通过连通部与第1室连接的第2室；具备：减压单元，该单元至少可以将第2室设置成为减压状态；连通阀，该阀可以开闭连通部；控制部，该部在驱动减压单元，至少控制第2室的减压状态的同时，还驱动连通阀，控制连通部的开闭状态。

[0010]

涂敷到工件上的液态体的液流学特性，因液态体的种类而异。因此，蒸气压及蒸气速度因减压而急剧变化后，随着液态体的种类的不同，影响干燥过程中的液态体的动态，引起干燥后的膜厚的变动。为了能够使干燥后的膜平坦、使工件表面的膜厚不匀较少地进行干燥，在干燥过程中不使液态体流动、出现形状变化地蒸发溶剂，至关重要。采用这种结构后，减压腔被划分成收容工件的第1室和可以利用减压单元减压的第2室，控制部能够通过驱动连通阀，使第1室成为密闭状态，或者使第1室第2室连通。这样，使第1室和第2室连通减压后，如果密闭第1室，那么在第1室中溶剂继续蒸发，就能够在第1室和第2室之间产生压力差。这样，能够使涂敷的液态体的溶剂的蒸发速度成为与第1室的减压状态对应的缓慢的速度，能够抑制液态体的流动。在溶剂继续蒸发、第1室的压力上升时，和第2室连通后，能够利用压力差，使溶剂的蒸发气体向第2室扩散。而且，如果利用减压单元，排出扩散到第2室的溶剂的蒸气，就能够进行液态体的干燥。另外，密闭第1室后，因为不受减压单元引起的排气的影响，所以能够减少排气的气流导致的溶剂的蒸发速度的不匀。就是说，如果按照液态体的种类，设定第1室的减压状态，就能够使涂敷了液态体的溶剂的蒸发速度最佳化，能够提供在溶剂的蒸气压的分布大致均匀的状态下进行减压干燥的减压干燥装置。另外，能够更切实地设定与液态体的种类对应的减压条件，能够提供具有通用性的减压干燥装置。

[0011]

另外，还具有至少可以计测上述第1室的减压状态的压力表，控制部进行下述控制动作：驱动连通阀，使第1室和第2室连通；驱动减压单元，将第1室和第2室减压，直到压力计的检出压力成为给定的操作压为止；然后驱动连通阀，关闭连通部，密闭第1室；在压力计检出第1室上升到给定的压力时，驱动连通阀，将第1室和第2室连通，使减压单元排出扩散到了第1室和所述第2室的溶剂的蒸气。

[0012]

采用这种结构后，控制部使第1室和第2第连通，进行减压，直到压力表的检出压力成为给定的操作压为止，然后密闭第1室。因此，可以不受减压单元产生的排气的气流的影响，能够将第1室置于给定操作压，从涂敷在工件上的液态体蒸发溶剂。而且，当压力表检出第1室上升到给定的压力时，就使第1室和第2室连通，从而使溶剂的蒸气从成为给定的压力的第1室扩散到连通的第2室。而且，进行利用减压单元排出扩散的溶剂的蒸气、减压干燥液态体的控制动作。这样，将第1室置于给定的操作压密闭后，能够使涂敷的液态体的溶剂的蒸发速度，成为与给定的操作压对应的速度。另外，因为不受减压单元产生的排气的影响，所以能够减少排气的气流引起的溶剂的蒸发速度的不匀。就是说，能够提供按照液态体的种类，将第1室置于给定的操作压，使涂敷的液态体的溶剂的蒸发速度最佳化，在使溶剂的蒸气压的分布大致均匀的状态进行减压干燥的减压干燥装置。

[0013]

另外，上述给定的压力，是将给定的操作压，与在密闭的第1室中一定量的溶剂蒸发了的蒸气压相加的压力；控制部，在给定的压力以上的压力之下，使减压单元排出扩散到了第1室和第2室的溶剂的蒸气。

[0014]

采用这种结构后，将给定的压力，作为将给定的操作压与在密闭的第1室中一定量的溶剂蒸发时的蒸气压相加的压力，控制部在比给定的压力高的压力下进行排气。这样，在利用减压单元进行排气的期间，能够抑制第1室内溶剂的蒸发，使其成为一定量以上。这样，可以管理在密闭的第1室中蒸发的溶剂的量，能够推测减压干燥过程中的溶质和溶剂的比率，所以如果预先适当设定蒸发的溶剂的量，就能够提供可以在更最佳化的条件下进行减压干燥的减压干燥装置。此外，这时的溶剂的一定量，既可以作为被液态体的种类包含的溶剂的总量，也可以是将总量适当分割的量。

[0015]

另外，上述给定的操作压，设定成溶剂从液态体中蒸发后直到即将影响膜形状的粘度之前为止的增粘的压力；给定的压力，是将给定的操作压，与在密闭的第1室中溶剂蒸发了的大致饱和蒸气压相加的压力。

[0016]

这样，将给定的操作压设定成溶剂从液态体蒸发后即将成为影响膜形状的粘度之前为止的增粘的压力，给定的压力被设定成为将给定的操作压与在密闭的第1室中溶剂蒸发时的大致饱和蒸气压相加的压力。这样，在第1室中，溶剂继续蒸发，大致达到饱和蒸气压时，液态体和蒸发的蒸气的关系，以增粘的状态接近平衡状态，直到给膜形状带来影响的粘度为止。这样，直到溶剂的蒸发速度成为与蒸发当初相比非常缓慢的速度为止，将第1室维持成密闭的状态。就是说，能够不使蒸发速度急剧变化，在液态体的流动不给膜形状带来影响的状态下进行减压干燥。另外，接近平衡状态后，能够使工件表面的溶剂的蒸气压的分布更加均匀。就是说，能够提供干燥后的膜形状更加平坦、进一步减少面内的膜厚不匀的减压干燥装置。

[0017]

另外，上述控制部，驱动连通阀，在使减压单元排出扩散到了连通的第1室和第2室的溶剂的蒸气之前的期间，利用减压单元，将非连通状态的第2室，减压到小于给定的操作压为止。

[0018]

采用这种结构后，在直到利用减压单元排出扩散到连通的第1室和第2室的溶剂的蒸气之前为止的期间，利用减压单元将非连通状态的第2室减压到给定的操作压以下的压力为止，所以能够很容易地将第1室内蒸发的溶剂的蒸气，扩散到压力低的第2室一侧后排出。

[0019]

另外，控制部，反复进行从利用减压单元，将连通的第1室和第2室减压的动作起，到排出扩散到了第1室和第2室的溶剂的蒸气的动作为止的控制动作。

[0020]

工件涂敷的液态体的量及被其包含的溶剂的量，随着要在工件上形成的膜的形状(膜厚、面积、密度)而有各种各样。因此，控制部能够反复进行控制动作，所以能够提供与涂敷的液态体的量及其溶剂的量对应、反复控制动作、切实进行减压干燥的减压干燥装置。另外，在反复进行减压干燥的控制动作时，将溶剂的蒸气从第1室扩散到第2室后，最好再次密闭第1室，然后利用减压单元排出扩散的蒸气。这样，再次密闭第1室后，能够抑制液态体的表面附近残留的溶剂的蒸气压的变动，能够减少减压单元的排气对液态体的动态的影响。

[0021]

另外，还具有至少可以计测第2室的减压状态的压力表，控制部，进行下述控制动作：驱动连通阀，密闭第1室后，驱动减压单元，直到压力计的检出压力成为给定的操作压为止，将非连通状态的第2室减压后，驱动连通阀，开放连通部，将第1室和第2室连通，使减压单元排出扩散到了第1室和第2室的溶剂的蒸气。

[0022]

由于液态体的种类不同，溶剂的蒸气压高时，将涂敷液态体的工件，在减压腔内进行密闭减压后，在达到给定的操作压之前，会有相当量的溶剂蒸发，很难控制这种减压过程中的液态体的流动。采用这种结构后，控制部在密闭第1室后，将第2室减压到驱动减压单元压力表的检出压力成为给定的操作压为止。然后，驱动连通阀，开放连通部，使第1室和第2室连通。这样，在接近大气压下不引起溶剂的蒸发的状态下，将密闭的第1室和至少达到给定的操作压的第2室连通后，能够将工件置于急剧的减压下。就是说，能够提供减少在减压过程中产生的液态体的流动等的动态、可以迅速进行减压干燥的减压干燥装置。

[0023]

另外，上述给定的操作压，设定成大于液态体的溶剂的蒸气压的值。来自减压下的液态体的溶剂的蒸发，即使减压没有成为相当于溶剂的蒸气压的压力，也从具有高动能的溶剂分子开始蒸发。这样，由于将给定的操作压设定成大于液态体的溶剂的蒸气压的值，所以溶剂不会急剧蒸发、崩沸，能够一边抑制崩沸引起的液态体的流动，一边促进溶剂的蒸发。

[0024]

另外，最好将所述第2室的容积，设定成大于所述第1室的容积。这样，由于第2室的容积大于第1室的容积，所以使溶剂的蒸发导致压力上升的第1室和第2室连通后，能够很容易地使从第1室收容的工件的液态体中蒸发的溶剂的蒸气，扩散到第2室一侧。

[0025]

另外，还具有至少将惰性气体从外部导入第1室的导入阀，控制部至少在排出扩散到第1室的所述溶剂的蒸气时，驱动导入阀，导入惰性气体。

[0026]

采用这种结构后，控制部在至少排出扩散到第1室的溶剂的蒸气之际，驱动导入阀，导入惰性气体，所以能够迅速地排出溶剂的蒸气。另外，第1室和第2室连通时，第1室的压力降低到低于给定的操作压，能够减少工件的表面附近残留的溶剂的蒸气压的变动。就是说，能够提供在溶剂的蒸气压的分布更均匀的状态下进行减压干燥的减压干燥装置。

[0027]

另外，最好在第1室1中，设置整流板，该整流板在导入的惰性气体从工件一侧朝着连通口的方向的流动时，对气流进行整流。

[0028]

采用这种结构后，因为在收容工件的第1室设置整流板，所以利用惰性气体排出溶剂的蒸气时，能够将惰性气体的流动方向整流成为从工件一侧起朝着连通部的方向，均匀地排出。

[0029]

另外，最好还具有可以使第1室和第2室的容积比可变的可变单元。这样，即使溶剂的蒸发量随着工件上涂敷的液态体的不同而不同，也能利用可变单元，按照蒸发量，改变第1室和第2室的容积比，从而能够更切实地使溶剂的蒸气扩散到第2室一侧。

[0030]

另外，上述减压腔，可以具有在减压腔的内部隔成第1室和第2室的隔壁部，可变单元，也可以是使隔壁部移动、改变第1室和第2室的容积比的移动单元。另外，上述第2室，具有具备可以互相连通的连通阀的多个室，可变单元，可以是使构成第2室的多个室连通的连通阀，和驱动该连通阀，改变互相连通的室的数量的控制部。

具体实施方式

[0031]

本发明的实施方式，以覆盖构成液晶显示装置的液晶显示屏的一对基板的象素电极的定向膜的形成工序中使用的减压干燥装置为例，进行讲述。

附图说明

图1是表示第1实施方式的减压干燥装置的结构的示意图。

图2是表示第1实施方式的减压干燥装置的电器性的或机械性的结构的方框图。

图3(a)～(c)是表示减压干燥装置的减压干燥分布图的曲线图。

图4是表示第2实施方式的减压干燥装置的结构的示意图。

图5是表示第3实施方式的减压干燥装置的结构的示意图。

图6是表示第3实施方式的减压干燥装置的电器性的或机械性的结构的方框图。

图7是表示第4实施方式的减压干燥装置的结构的示意图。

图8是表示第4实施方式的减压干燥装置的电器性的或机械性的结构的方框图。

具体实施方式

[0032]

(第1实施方式)

图1是表示第1实施方式的减压干燥装置的结构的示意图。详细的说，该图(a)是从装置的侧面透视内部的示意图，该图(b)是从装置的上面透视内部的示意图。如图1(a)所示，本实施方式的减压干燥装置10，是将涂敷了包含作为膜形成材料的定向膜形成材料的液态体L的工件——基板W收容到减压腔3内，在减压的状态下使液态体L的溶剂蒸发后干燥的装置。

[0033]

减压腔3具有在图纸上为上部侧的第1室1和下部侧的第1室2，还具备使第2室2的容积比第1室1大地将减压腔3的内部分割开来的隔壁部18。在隔壁部18的第1室1的一侧，设置着放置基板W的放置台11，和与它隔开给定的距离相对配置的整流板15。在整流板15上，在与放置的基板W的区域对应的范围内设置着许多使气体通过的通气孔15a。

[0034]

在第1室1的上部中央附近，设置着连接孔17，与可以向第1室1导入惰性气体——氮气(N₂)的布管14的一头连接。布管14的另一头，通过作为导入阀的N₂阀9做媒介，与N₂气体供给源(未图示)连接。另外，在第1室1的侧壁面上，设置着作为可以计测第1室1内的减压状态的压力表的真空表4。真空表4，与后文讲述的控制部20(参照图2)电连接，输出作为检查结果的压力值。

[0035]

在第2室1的下部(底面)中央附近，设置着连接孔16，与布管13的一头连接。布管13的另一头，通过真空阀7做媒介，与作为可以将第2室设置成为减压状态的减压单元的真空泵6连接。真空泵6，例如使用干燥泵、涡轮分子泵。另外，还可以将这些泵作为目标的减压状态的操作压的设定地组合后使用。另外，在第2室2的侧壁面上，设置着作为可以计测第2室2内的减压状态的压力表的真空表5。真空表5及真空泵6，也同样与后文讲述的控制部20(参照图2)电连接，控制部20可以检出真空表5的输出(压力值)，控制真空泵6的排气速度。

[0036]

如图1(a)及(b)所示，在隔壁部18中，沿着放置台11的边部，设置着4个作为连通减压腔3的第1室1和第2室2的连通部的连通口19。在4个连通口19开着口的部分，分别设置着与安装在减压腔3的外壁部的4个电动机12的旋转轴8a连接的4个连通阀8。电动机12被驱动，旋转轴8a旋转后，连通阀8的安装在旋转轴8a上的阀8b，就开闭连通口19。连通阀8关闭连通口19后，第1室1和第2室2就互相被密闭。4个电动机12，分别与控制部20(参照图2)电连接，控制部20分别独立驱动4个电动机12，控制连通阀8的开闭状态。

[0037]

减压干燥装置10，关闭门(未图示)后，在密闭减压腔3内的状态下，打开连通阀8，驱动真空泵6后，可以使第1室1和第2室2减压。另外，关闭连通阀8，堵住连通口19，驱动真空泵6后，可以只使第2室2减压。

[0038]

图2是表示减压干燥装置的电器性的或机械性的结构的方框图。如图2所示，减压干燥装置10，具有控制部20，控制部20具备：具有CPU的运算部21，计测时间的计时器22，存储减压干燥分布图等的减压干燥条件的数据的存储部23。控制部20与两个真空表4、5电连接，能够检出第1室1、第2室2各自的减压状态。另外，与真空泵6电连接，能够控制其驱动及排气速度等。与4个电动机12电连接，能够控制电动机12的驱动，从而控制连通阀8的开闭状态。真空阀7及N₂阀9，都使用电磁阀，它们也与控制部20连接，开闭受其控制。进而，可以在键盘及记录介质之间交换数据的、具有记录介质的驱动器装置等的输入部24和显示部25电连接。由输入部24输入减压干燥分布图等减压干燥条件后，能够使存储部23存储。显示部25能够显示输入的各种数据以及真空表4、5检出的第1室1和第2室2的压力值、减压干燥装置10的开动状态(例如装置的ON-OFF、各种阀的开闭)、计时器计测的与减压干燥状态对应的经过时间等。运算部21，能够根据存储部23存储的减压干燥分布图包含的数据和真空表4、5的输出(压力值)，运算溶剂的蒸发量等。另外，读取作为减压干燥分布图等包含的控制动作的减压干燥动作的设定的次数后，能够使其进行减压干燥动作。

[0039]

接着，根据减压干燥分布图，讲述减压干燥装置10的动作。图3是表示减压干燥装置的减压干燥分布图的曲线图。详细的说，该图(a)是表示蒸发量控制型的减压干燥分布图的曲线图，该图(b)是表示形状控制型的减压干燥分布图的曲线图，该图(c)是表示急速干燥控制型的减压干燥分布图的曲线图。另外，纵轴的压力P的值是对数值。

[0040]

在讲述各减压干燥分布图之前，先讲述包含定向膜形成材料的液态体L。液晶显示装置的液晶显示屏，具备具有象素的一对基板，和作为被一对基板夹持的电光学材料的液晶。构成液晶的液晶分子，在分子方向的作用下，具有电气性的力矩。在所谓电场效应型的液晶显示屏中，在相对的象素之间不外加电场时，使液晶分子的排列方向朝着电场方向，从而能够控制射入液晶显示屏的光(偏振光)，进行显示。

[0041]

这时，在面向液晶侧的基板表面，例如形成由聚酰亚胺等有机薄膜构成的定向膜。然后，向一定方向磨擦定向膜表面后，就在膜表面形成细微的凹凸，从而在没有外加电场时，将液晶分子控制成为沿着该凹凸朝一定方向排列。在本实施方式中，使用作为定向膜形成材料的聚酰亚胺树脂溶解到溶剂中的液态体L。溶剂是以给定的比例混合多个有机溶剂而成的。例如，可以使用γ-丁内脂、乙二醇一乙醚等。这样，液态体L是多元系液态体，其沸点及蒸气压等的物性随着有机溶剂的种类的不同而不同。γ-丁内脂的沸点是204℃、蒸气压(20℃)是200Pa。另外，乙二醇一乙醚的沸点是170℃、蒸气压(20℃)是80Pa。

[0042]

在减压状态下，使涂敷了这种液态体L的基板W的溶剂蒸发、干燥、形成定向膜时，干燥后的定向膜的表面不平坦、膜厚不匀后，被一对基板夹持的液晶层的厚度即所谓“间距”就不匀，出现颜色不匀及定向不匀。另外，聚酰亚胺树脂本身是绝缘材料，在基板表面形成电气性的电容成分，所以膜厚不匀后，电容成分就变化，外加给液晶层的驱动电压变动后，就成为交调失正等显示不匀。因此，最好使干燥后的定向膜表面平坦而且使膜厚成为一定地干燥。可是，由于前文所述的液态体L的液流学特性，随着溶质和溶剂的成分的种类、各成分的配合比例而变，所以需要与它对应的减压干燥分布图。还要求可以与不同条件的减压干燥分布图对应的减压干燥装置。以下，讲述减压干燥装置10的动作。

[0043]

(蒸发量控制型的减压干燥分布图)

如图3(a)所示，在蒸发量控制型的减压干燥分布图中，将涂敷了液态体的L的基板W放置到第1室1的放置台11上，关住门后收容到减压腔3内。控制部20首先确认N₂阀9关闭，如果关闭后，就驱动电动机12，打开4个连通阀8，利用连通口19，使第1室1和第2室2成为连通状态。

[0044]

接着，打开真空阀7，驱动真空泵6，开始减压(时刻t₀)。在第1室1的压力P₁和第2室2的压力P₂达到了给定的操作压Ps的时刻t₁，驱动电动机12，关闭4个连通阀8。这样，连通口19被关闭。收容基板W的第1室1被密闭。另外，控制部20直到第2室2减压到低于操作压Ps的目标压为止的期间，关闭真空阀7。密闭的第1室1的压力P₁，如曲线图中的点划线所示，随着液态体L的溶剂的蒸发，由操作压Ps上升。利用真空表4计测压力P₁的值，可以求出和操作压Ps的压力差ΔP。由于压力差ΔP依存于溶剂的蒸发量(图中的斜线部)，所以在温度一定的条件下，如果将蒸发的溶剂蒸气假设为理想气体，就可以应用气体的状态方程式(PV＝nRT)，求出蒸发量(分子量)。由于涂敷在基板W的上的液态体的量及溶剂的含有率是已知的，所以通过计算，可以求出为了使涂敷的液态体干燥而必需的溶剂的蒸发量。这样，如果通过至少一次的减压干燥动作，能够在密闭的第1室1内从液态体L中蒸发多少溶剂，或者预先设定相当于给定量的溶剂的蒸发量的ΔP，就可以控制蒸发量，进行减压干燥。此外，这时的溶剂的给定量，定为用减压次数除液态体L包含的溶剂的总量后的一定量，但是在反复进行减压干燥的步骤中，可以适当变更。

[0045]

将求出该蒸发量的计算方法，预先作为程序由输入部24输入，使存储部23存储。运算部21实行被存储部23存储的程序，与压力P₁的推移连动，在显示部25显示溶剂的蒸发量

[0046]

接着，在压力P₁(或压力差ΔP)达到给定的值时，即在一定量的溶剂在密闭的第1室1中蒸发的蒸气压达到给定的值的时刻t₂，控制部20驱动电动机12，打开连通阀8。另外，基本上同时还打开N₂阀9，将N₂气体导入第1室1。导入的N₂气体，通过整流板15上设置的通气孔15a，从基班W的上部，朝着连通口19流去。这样，从液态体L中蒸发的溶剂的蒸气，就沿着N₂气体的气流向第2室2侧流去。另外，基本上同时，控制部20还打开真空阀7，驱动真空泵6，进行排气。这时，与N₂气体的流量对应，使真空泵6的排气速度下降地控制。在第1室1和第2室2连通的状态下，导入N₂气体后，第1室1和第2室2的减压状态就被解除，减压腔3内的压力上升，高于给定的压力(Ps+ΔP)，所以液态体L的溶剂的蒸发受到抑制。

[0047]

此外，作为排出溶剂的蒸气的方法，也可以不导入作为惰性气体的N₂₁气体。在本实施方式的减压腔3内，将第2室2的容积比第1室1的容积大地设定。在密闭的第1室1内，溶剂从液态体L中蒸发后，压力P₁高于第2室2的压力P₂，所以打开连通阀8后，使第1室1和第2室2连通时，只要压力P₁不低于操作压Ps，就能够使蒸发的溶剂蒸气扩散、排出到容积大、压力小的第2室2一侧。进而，溶剂的蒸气扩散到第2室2一侧后，在压力P₁＝压力P₂时，也可以密闭第1室1后排气。这样，能够减少真空泵6对排气的影响，抑制液态体L的溶剂的蒸发，维持蒸气压均匀的状态。

[0048]

接着，在减压腔3内的压力上升，基本上成为大气压的时刻t₃，控制部20关闭N₂阀9。然后，再次提高真空泵6的排气速度，将第1室1和第2室2连通的减压腔3内减压到成为操作压Ps。以后，和上述动作同样，在达到操作压Ps的时刻t₄，关闭连通阀8，密闭第1室1；在压力P₁达到给定的压力(Ps+ΔP)的时刻t₅，导入N₂气体，进行排出蒸发的溶剂的蒸气的减压干燥动作。这样，控制部20将时刻t₀～时刻t₃之间的减压干燥动作作为一个循环，直到液态体L的溶剂的蒸发结束为止，反复进行。如果溶剂继续蒸发，密闭的第1室1的压力P₁达到给定的压力(Ps+ΔP)为止的时间比如变长。因此，可以估计干燥的结束时刻。

[0049]

另外，密闭的第1室1的压力P₁达到给定的压力(Ps+ΔP)为止的时间变长，可能是由于溶剂的蒸发速度下降，为了各切实地使溶剂蒸发，在反复进行的减压干燥动作的过程中，也可以变更操作压Ps的值。例如，在反复进行的减压干燥动作中，在使操作压Ps比上次或者阶段性地降低的状态下，如果密闭第1室1，就能够抑制溶剂的蒸发速度下降。就是说，能够以大致一定的速度或者提高蒸发速度地促进蒸发。另外，在使操作压Ps比上次或者阶段性地上升的状态下，如果密闭第1室1，与前面的减压干燥动作中的蒸发速度相比，能够降低后面的蒸发速度。就是说，能够控制蒸发速度地促进蒸发。因此，例如运算部21求出的溶剂的累计蒸发量N在溶剂量M的90％以上、95％以下时，使操作压Ps比上次低地减压，设定变更减压干燥分布图，以便尽早成为95％以上。

[0050]

另外，减压干燥动作中的ΔP的值的设定方法如下。运算部21可以根据ΔP的值，求出蒸发的溶剂的分子量。如果知道蒸发的溶剂的分子量，就能够求出残留在液态体L中的溶剂的分子量，这样，就能够解析液态体L的溶质和溶剂之比，在减压干燥中如何变化。前文讲述的液态体L的液流学特性，也随着溶质和溶剂之比变化。这样，为了进行极力抑制干燥过程中的液态体L的形状变化的干燥，而预先实施改变ΔP的值的减压干燥试验，观察试验干燥后的膜(这时是定向膜)的形状，可以按照减压干燥动作的循环，设定断面形状平坦、面内膜厚的离差少的ΔP的给定的值。

[0051]

下面，讲述给定的操作压Ps。即使溶剂的成分单一时，减压下的液态体L，也在减压值没有达到溶剂的蒸气压(20℃)时就开始溶剂的蒸发。特别是象本实施方式这样的多元系的液态体L，溶剂的蒸发开始的减压值，必定随着有机溶剂的种类及混合比例而异。在多元系的液态体L中，作为调查蒸发开始的减压值及蒸发量的变化的方法，例如在减压腔3中设置可以测量液态体L的质量的计量装置(例如电子称等)，计量适量的液态体L。然后，驱动真空泵6，以大致一定的速度，将减压腔3内减压，就能够查明真空表5检出的压力P和计量装置检出的液态体L的质量的关系。压力P在溶剂的蒸气压的附近，溶剂急剧蒸发，往往崩沸。如果崩沸后，液态体L的形状出现很大的变化，干燥后的断面形状不能成为平坦的膜。另外，因为崩沸是在涂敷了液态体L的基板W表面的不特定的部位发生，所以面内的膜厚也出现离差。为了避免这种情况，在本实施方式中，将第1室1和第2室2作为给定的减压状态的操作压Ps的设定，是比溶剂的蒸气压高的值，成为比溶剂蒸发开始的值稍微低的值。

[0052]

综上所述，减压干燥装置10对于上述Ps操作压而言，在成为给定的压力(Ps+ΔP)的时刻t₂，使第1室1和第2室2连通，反复进行排除溶剂的蒸气的减压干燥动作，所以能够控制与压力差ΔP对应的蒸气量、蒸发速度后，进行液态体L的减压干燥。

[0053]

(形状控制型的减压干燥分布图)

如图3(b)所示，在形状控制型的减压干燥分布图中，将涂敷了液态体的L的基板W放置到第1室1的放置台11上，关住门后收容到减压腔3内。控制部20和上述的分布图一样，首先确认N₂阀9是否关闭，如果关闭后，就驱动电动机12，打开4个连通阀8，利用连通口19，使第1室1和第2室2成为连通状态。

[0054]

接着，打开真空阀7，驱动真空泵6，开始减压(时刻t₀)。在第1室1的压力P₁和第2室2的压力P₂达到了给定的操作压Ps的时刻t₁，驱动电动机12，关闭4个连通阀8。这样，连通口19被关闭。收容基板W的第1室1被密闭。另外，控制部20直到第2室2减压到低于操作压Ps的目标压为止的期间，关闭真空阀7。这时的给定的操作压Ps，被设定成为液态体L增粘的值，直到大半的溶剂从液态体L中蒸发、即将影响膜形状的粘度之前为止。

[0055]

然后，放置到密闭的第1室1的压力P₁达到给定的压力的时刻t₂为止。这时，给定的压力，被设定将操作压Ps与密闭的第1室1的溶剂的饱和蒸气压Psa相加的压力为止。溶剂的饱和蒸气压Psa，由于第1室1的体积是已知的，所以可以通过计算求出。这样，液态体L直到达到饱和蒸气压为止，由于只利用蒸气的扩散进行干燥，所以能够形成极其缓慢的干燥状况。另外，在密闭的第1室1内，溶剂的蒸气逐渐充满，成为饱和状态，基板W的面内的蒸气压分布均衡，成为所谓的平衡状态。因此，液态体L增粘后，形状基本固定，能够使面内的均匀性成为良好的状态。这时，压力P₁不严格地成为操作压Ps+饱和蒸气压Psa的值也行。如果大致成为饱和蒸气压，就可以判断处于平衡状态。另外，也可以比较Δb和饱和蒸气压Psa。

[0056]

接着，控制部20驱动电动机12，打开连通阀8。另外，基本上同时还打开N₂阀9，将N₂气体导入第1室1。导入N₂气体后，排出溶剂的蒸气(蒸发量相当于图中的斜线部)。然后，进一步提高真空泵6的排气速度，进行积极排气，以便与N₂气体的流量对应，而且一口气地排除液态体L残留的溶剂。因为液态体L的形状大致固定，所以即使进行这种积极排气，也能够进行不会对形状带来影响的排气减压干燥。

[0057]

直到时刻t₃为止，继续积极排气后，停止真空泵6，使导入了外气的减压腔3内大致恢复大气压，结束减压干燥动作(时刻t₄)。最好通过一次减压干燥动作后结束减压干燥。但是涂敷到基板W上的液态体L的量，还取决于涂敷的面积。所以，为了更切实地进行减压干燥，还可以反复进行将时刻t₀～时刻t₄为止的动作作为一个循环的减压干燥动作。

[0058]

(急速干燥型的减压干燥分布图)

如图3(c)所示，在形状控制型的减压干燥分布图中，将涂敷了液态体L的基板W放置到第1室1的放置台11上，关住门后，大致密闭状态地收容到减压腔3内。控制部20，首先确认N₂阀9是否关闭，如果关闭后，就驱动电动机12，关闭4个连通阀8，使第1室1和第2室2成为不连通的状态。

[0059]

接着，打开真空阀7，驱动真空泵6，开始减压(时刻t₀)。在第2室2的压力P₂达到了给定的操作压Ps的时刻t₁，驱动电动机12，打开4个连通阀8。这样，被密闭的第1室1就和处于减压状态的第2室2连通。第1室1的压力P₁，从大致为大气压的状态向第2室2的压力P₂急剧减压。这个期间继续驱动真空泵6，排出从液态体L蒸发的溶剂的蒸气(蒸气量相当于图中的虚线部)。这时的给定的操作量Ps，被设定成大于液态体L的溶剂的蒸气压的压力。所以，被设定成难以引起由急剧的减压造成的崩沸的值。

[0060]

这种，与采用其它的液态体L的时候相比，由于溶剂的蒸气量比较高，在达到操作压Ps的减压过程中，相当多的溶剂被蒸发的时候。第1室1中的液态体L，由于在一口气的降低到给定的操作压Ps的减压下被置于，所以使溶剂迅速蒸发液态体L的形状稳定化的溶质和溶剂的比，能够一口气地固定形状

[0061]

这样，减压干燥装置10能够与控制图3(a)所示的溶剂的蒸气量或蒸发速度后进行液态体L的干燥的蒸发量控制型、该图3(b)所示的使液态体L的形状稳定后进行液态体L的干燥的形状控制型、该图3(c)所示的急速干燥型的各减压干燥分布图对应。另外，还可以进行组合这些减压干燥分布图的减压干燥。

[0062]

上述第1实施方式的效果如下。

(1)减压干燥装置10，具备：具有收容涂敷了减压干燥的液态体L的基板W的第1室1和第2室2的减压腔3，至少可以将第2室2减压的真空泵6，开闭使第1室1和第2室2连通的连通口19的连通阀8。另外，还具备控制真空泵6的驱动和连通阀8的开闭的控制步20。这样，能够进行使第1室1和第2室2连通，驱动真空泵6，减压到给定的操作压Ps，关闭连通阀8，密闭第1室1，使溶剂从液态体L中蒸发，直到第1室1的压力P₁成为给定的压力为止后，打开连通阀8，排出蒸气进行干燥的蒸发量控制型的减压干燥分布图。这样，与在利用减压单元继续进行排气的减压下进行液态体L的减压干燥时相比，能够减少真空泵6的排气对气流的影响，同时还能控制蒸发的溶剂的蒸发量及蒸发速度。另外，还能够进行使溶剂从液态体L中蒸发，直到密闭的第1室1的压力P₁，成为操作压Ps+饱和蒸气压Psa为止后，打开连通阀8，排出蒸气进行干燥的形状控制型的减压干燥分布图。这样，能够在达到液态体L的粘度增粘后不容易引起形状变化的操作压Ps后，直到成为饱和蒸气压为止，使溶剂缓慢蒸发。而且，能够在液态体L的形状固定后，使第1室1和第2室2连通，进行积极排气，使残留的溶剂蒸发、干燥。进而，关闭连通阀后，在密闭第1室1的状态下，用真空泵6将第2室2减压到给定的操作压Ps为止，打开连通阀8，使第1室1和第2室2连通，能够进行一口气地使液态体L减压干燥的急速干燥控制型的减压干燥分布图。就是说，能够提供适应液流学特性随着液态体L的溶质及溶剂的种类或配合状态等而变化的各种减压干燥分布图的、具有通用性的减压干燥装置10。

[0063]

(2)在减压干燥装置10中，操作压Ps被设定成高于溶剂的蒸气压的值，所以能够减少蒸气速度显著加快或者急剧蒸发后崩沸的现象，不影响液态体L的形状地进行减压干燥。

[0064]

(3)在减压干燥装置10中，控制部20能够反复进行作为控制动作的减压干燥动作，所以能够按照液态体L的涂敷量反复进行减压干燥动作，能够更切实地减压干燥。

[0065]

(4)在减压干燥装置10中，将第2室2的容积比第1室1的容积大地设定，所以使第1室1和第2室2连通后，能够使溶剂的蒸发引起压力上升的第1室1内的蒸气，扩散到2室2的一侧，利用真空泵6排出。

[0066]

(5)在减压干燥装置10中，具有可以将作为惰性气体的N₂气体，从外部导入第1室1的导入阀——N₂阀9，控制部20在排出第1室1的溶剂的蒸气时，驱动N₂阀9，导入N₂气体。这样，能够在迅速排出蒸气的同时，还通过导入N₂气体，抑制液态体L残留的溶剂的蒸发，将基板W的表面的蒸气压分布维持成更均匀的状态。就是说，能够进一步减少减压干燥后的面内的膜厚离差。另外，在密闭的第1室1中，如果将一定量的溶剂蒸发的蒸气压作为ΔP，那么由于在排出溶剂的蒸气时导入N₂气体，抑制溶剂的蒸发，所以能够管理相当于ΔP的溶剂的蒸发量后减压干燥。

[0067]

(6)在减压干燥装置10中，在第1室1中，在放置基板W的放置台11和N₂气体流入的连接孔17之间，设置着与放置台11相对的、具有多个通气孔15a的整流板15。这样，流入的N₂气体，在整流板15中整流，能够使从涂敷到基板W上的液态体L中蒸发的溶剂的蒸气，沿着朝着连通口19的一定的方向的气流排出。因此，能够减少蒸气的排气不匀引起的干燥后的膜厚不匀。另外，将第1室1设置在第2室2的上方，在隔壁部18的第1室1的一侧配置放置台11。这样，从第1室1的上方导入N₂气体后，气流就会将基板W压到下方地流动。因此，能够减少导入N₂气体引起的基板W的上浮的问题。

[0068]

(第2实施方式)

图4是表示第2实施方式的减压干燥装置的结构的示意图。详细的说，该图(a)是从装置的侧面透视内部的示意图，该图(b)是从装置的上面透视内部的示意图。

[0069]

如图4(a)所示，本实施方式的减压干燥装置30，具备具有收容涂敷了液态体L的基板W的第1室31和包围第1室31地设置的第2室32的减压腔33，和可以将第2室设置成为减压状态的真空泵36。

[0070]

第1室31，在减压腔33内，被在减压腔33的内部底面箱状设置的隔壁部48隔开。在第1室31的底面，设置着放置基板W的放置台41。另外，和基板W的大小基本对应地作为开口的连通部的连通口49，设置在和放置台41相对的隔壁部48的上面部，和包围第1室31的第2室32连通。而且，还可以开闭连通口49地并列安装着多个(7个)连通阀38。在连通口49和放置台41之间，与放置台41隔开给定的距离，相对地设置着整流板45，从连通口49的边缘部起，在放置台41侧直立设置的支柱45a支持着整流板45。在整流板45中，在与放置台41放置基板W的区域对应的范围，设置着多个使气体通过的通气孔45。在箱状隔壁部48的侧壁面，设置着连接孔47，与可以向第1室31导入惰性气体——氮气(N₂)的布管44的一头连接。布管44的另一头，通过作为导入阀的N₂阀39做媒介，与N₂气体供给源(未图示)连接。另外，在第1室31的侧壁面上，设置着作为可以计测第31室1内的减压状态的压力表的真空表34。

[0071]

在第2室32的侧壁面上，设置着连接孔46，与布管43的一头连接。布管43的另一头，通过真空阀37做媒介，与真空泵36连接。另外，在第2室32的另一个侧壁面2上，设置着作为可以计测第2室32内的减压状态的压力表的真空表35。

[0072]

如图4(a)及(b)所示，安装在旋转轴38a上的阀38b，互相在大致水平的位置旋转后，7个连通阀38就堵住连通口49，使第1室31成为密闭状态。各旋转轴38a，分别安装在减压腔33的外壁部上设置的电动机42上。

[0073]

第2实施方式中的减压干燥装置30，具有与第1实施方式的减压干燥装置10的基本构成相同的构成。因此，第2室32的容积，设定的比密闭的第1室31的容积大。但不同点是，排出液态体L蒸发的溶剂的蒸气时，由基板W一侧导入N₂气体。然后，包含蒸气的N₂气体通过整流板45的通气孔45b后被整流，经过打开的7个连通阀38之间流向第2室32，通过连接孔46由真空泵36排出。也就是说，由液态体L蒸发的溶剂的蒸气可以朝着基板W的上方排出。

[0074]

这样，减压干燥装置30的电器性的或机械性的结构，和图2的方框图所示的第1实施方式的减压干燥装置10一样，惟有对应的各构成要素的符号不同。因此，减压干燥装置30，能够进行与图3(a)～(c)所示的各减压干燥分布图对应的减压干燥动作。

[0075]

上述第2实施方式的效果，在具有和上述第1实施方式的效果(1)～(5)同样的效果的同时，还具有如下效果。

[0076]

(1)在上述第2实施方式的减压干燥装置30中，连接第1室31和第2室32的连通口49，设置在隔壁部48的上面部，与放置涂敷了液态体L的基板W的放置台41，隔开间隔地相对。这样，就能够提供可以使从涂敷液态体L的区域的大致整个面上蒸发的溶剂的蒸气，顺利地扩散到第2室32一侧后排出的减压干燥装置30。

[0077]

(第3实施方式)

图5是表示第3实施方式的减压干燥装置的结构的示意图。详细的说，是从装置的侧面透视内部时的结构的示意图。

[0078]

如图5所示，本实施方式的减压干燥装置50，具备：具有收容涂敷了液态体L的基板W的第1室51和第2室52的减压腔53；可以将第2室52设置成为减压状态的真空泵36；在将减压腔53内隔成第1室51和第2室52的同时，还可以沿着减压腔53的内壁移动的隔壁部68。另外，还具备计测第1室51的减压状态的真空表54，和计测第2室52的减压状态的真空表55。

[0079]

在第1室51的内部底面，设置着放置基板W的放置台61。另外在第1室51的侧壁部，设置着连接孔67，与将惰性气体——氮气(N₂)导入第1室51的布管64的一头连接。部管64的另一头，通过作为导入阀的N₂阀59做媒介，与N₂气体供给源(未图示)连接。

[0080]

在第2室52的侧壁部，设置着连接孔66，与布管63的一头连接。部管63的另一头，通过做真空阀57媒介，与真空泵56连接。

[0081]

在减压腔的53的内壁部，在大致中央附近设置着上下一对的导轨60。在各个导轨60上，具有滑动部62，在上下一对滑动部62之间，支持着隔壁部68。下侧的滑动部62，与和下侧的导轨60平行的滚珠螺钉65a嵌合，滚珠螺钉65a在被安装在减压腔53的外壁的电动机65的作用下旋转。这样，驱动电动机65，使滚珠螺钉65a旋转后，能够使与之嵌合的滑动部62移动。就是说，能够使被一对滑动部62支持的隔壁部68移动。这时，一对滑动部62需要具有气密性，以便能够利用隔壁部68密闭第1室51。作为使它具有气密性的方法，例如可以列举将由不具有气体透过性的树脂等构成的幕布，紧贴住第1室51的内壁部和滑动部62，并且能够随着滑动部62的移动而伸缩地设置的方法。

[0082]

在隔壁部68的大致中央部，设置着作为连通阀的传导阀(ConductanceValve)58。作为传导阀58，例如可以使用株式会社富士技术社制造的“多位蝶阀(Multi-Position Butterfly Valve)MBV-MP系列”的可变传导阀。该可变传导阀，在阀内的连通部69中，设置着蝶阀。蝶阀被伺服电动机驱动，能够在开闭连通部69的同时，自由地改变开度。

[0083]

第3实施方式的减压干燥装置50，具有和第1实施方式的减压干燥装置10的基本结构相同的结构。但是如果使隔壁部68移动后，可以改变第1室51的容积。这时，可在使第2室52的容积大于第1室51的容积的范围内变动。

[0084]

图6是表示第3实施方式的减压干燥装置的电器性的或机械性的结构的方框图。如图6所示，减压干燥装置50，具有控制部70，控制部70具备：具有CPU的运算部71，计测时间的计时器72，存储减压干燥分布图等的减压干燥条件的数据的存储部73。控制部70与两个真空表54、55电连接，能够将第1室51、第2室52各自的减压状态作为压力值检出。另外，真空泵56、传导阀58被电连接，各自的驱动受到控制。真空阀57及N₂阀59，都使用电磁阀，它们也与控制部70连接，开闭受其控制。另外，作为移动单元的电动机65电连接，控制部70能够驱动电动机65，从而使隔壁部68移动。进而，具有键盘(及可以在和记录介质之间交换数据的记录介质的驱动器装置等)的输入部74和显示部75电连接。由输入部74输入减压干燥分布图等减压干燥条件后，能够使存储部73存储。显示部75能够显示输入的各种数据以及真空表54、55检出的第1室51和第2室52的压力值、减压干燥装置50的开动状态。运算部71，能够根据存储部73存储的减压干燥分布图包含的数据和真空表54、55的输出的压力值，运算溶剂的蒸发量等。另外，读取作为减压干燥分布图等包含的控制动作的减压干燥动作的设定的次数后，能够使其进行减压干燥动作。

[0085]

这样，减压干燥装置50的电器性的或机械性的结构，是在图2的方框图所示的第1实施方式的减压干燥装置10的构成要素上，添加电动机65，将驱动连通阀8的电动机12置换成为传导阀58。因此，减压干燥装置50，能够进行与图3(a)～(c)所示的各减压干燥分布图对应的减压干燥动作。特别是在图3(b)的形状控制型的减压干燥分布图中，控制部70打开传导阀58，在连通第1室51和第2室52的状态下，打开真空阀57，驱动真空泵56，将减压腔53内的压力，作为给定的操作压Ps。接着，关闭传导阀58，密闭第1室51(时刻t₁)。放置到密闭的第1室51的压力P₁成为操作压Ps+饱和蒸气压Psa的时刻t₂为止。饱和状态中的溶剂的蒸发量，取决于蒸气压和第1室51的容积。这样，可以按照涂敷的液态体L量，预先移动隔壁部68，调整。或者在一旦成为饱和状态时，移动隔壁部68，以便使第1室51的容积变大，进而调整成可以排除液态体L残留的溶剂。

[0086]

上述第3实施方式的效果，在具有和上述第1实施方式的效果(1)～(5)同样的效果的同时，还具有如下效果。

[0087]

(1)在上述第3实施方式的减压干燥装置50中，将减压腔53内隔成第1室51和第2室52的隔壁部68，具备作为移动单元的电动机65，可以在保持气密性的前提下改变第1室51的容积。就是说，能够提供按照涂敷的液态体L的量，调整第1室51的容积，特别是在形状控制型的减压干燥分布图中，可以将密闭的第1室51置于大部分溶剂蒸发的比较适当的饱和状态的减压干燥装置50。

[0088]

(第4实施方式)

图7是表示第4实施方式的减压干燥装置的结构的示意图。详细的说，是从装置的侧面透视内部时的结构的示意图。

[0089]

如图7所示，本实施方式的减压干燥装置80，具备：由收容涂敷了液态体L的基板W的第1室81和具有多个(3个)室82a、82b、82c的第2室82构成的减压腔83；可以将第2室82的各室82a、82b、82c设置成为减压状态的真空泵86；将减压腔83内隔成第1室81和多个室82a、82b、82c的3个隔壁部98a、98b、98c。另外，还具备计测第1室81的减压状态的真空表84，和计测各室82a、82b、82c的减压状态的真空表85a、85b、85c。

[0090]

在第1室81的内部底面，设置着放置基板W的放置台91。另外，在第1室1的侧壁部，设置着连接孔97，与可以向第1室81导入惰性气体——氮气(N₂)的布管94的一头连接。布管94的另一头，通过作为导入阀的N₂阀89，与N₂气体供给源(未图示)连接。

[0091]

在第2室82的各室82a、82b、82c的底面部，分别设置着连接孔96a、96b、96c，与布管93分岔成3个的部分连接。布管93的另一头，通过在分岔的部分设置的各真空阀87a、87b、87c做媒介，与真空泵86连接。

[0092]

在各隔壁部98a、98b、98c的大致中央部，和第3实施方式一样，分别设置着作为可变连通阀的传导阀88a、88b、88c。如果将各传导阀88a、88b、88c全部打开，就可以将各连通部99a、99b、99c都置于连通状态，使第1室81和第2室82连通。另外。如果关闭传导阀88a、88b、88c中的某一个，就能够改变和第1室81的连通的第2室82的容积。这时，在关闭传导阀88a和传导阀88c、打开传导阀88b的状态下，第2室82的容积，就被设定成大于第1室81的容积。

[0093]

图8是表示第4实施方式的减压干燥装置的电器性的或机械性的结构的方框图。如图8所示，减压干燥装置80，具有控制部100，控制部100具备：具有CPU的运算部101，计测时间的计时器102，存储减压干燥分布图等的减压干燥条件的数据的存储部103。控制部100与4个真空表84、85a、85b、85c电连接，能够将第1室81、第2室82的各室82a、82b、82c各自的减压状态作为压力值检出。另外，真空泵56被电连接，驱动受到控制。3个传导阀88a、88b、88c它后，控制和第1室81连通的多个室82a、82b、82c的数量，3个真空阀87a、87b、87c及N₂阀89，都使用电磁阀，它们也与控制部100连接，开闭受其控制。进而，具有键盘(及可以在和记录介质之间交换数据的记录介质的驱动器装置等)的输入部104和显示部105电连接。由输入部104输入减压干燥分布图等减压干燥条件后，能够使存储部103存储。显示部105能够显示输入的各种数据以及真空表84、85a、85b、85c检出的第1室81和各室82a、82b、82c的压力值、减压干燥装置80的开动状态。运算部101，能够根据存储部103存储的减压干燥分布图包含的数据和各真空表84、85a、85b、85c检出的压力值，运算溶剂的蒸发量等。另外，读取作为减压干燥分布图等包含的控制动作的减压干燥动作的设定的次数后，能够使其进行减压干燥动作。

[0094]

这样，减压干燥装置80的电器性的或机械性的结构，是在图2的方框图所示的第1实施方式的减压干燥装置10的构成要素上，添加了增加的真空表及真空阀，将驱动连通阀8的电动机12置换成为各传导阀88a、88b、88c。因此，减压干燥装置80，能够进行与图3(a)～(c)所示的各减压干燥分布图对应的减压干燥动作。特别是在图3(a)的蒸气量控制型的减压干燥分布图中，控制部100打开传导阀88a、88b，在连通第1室51和2个室82a、82b的状态下，打开真空阀87a、87b，驱动真空泵86，将减压腔53内的压力减压成为给定的操作压Ps。接着，至少在第1室81达到操作压Ps的时刻t₁，关闭传导阀88a，密闭第1室81。第1室81内的液态体L的溶剂蒸发，压力P₁上升，在产生给定的压力差ΔP的时刻t₂，打开N₂阀89，向第1室81导入N₂气体，同时打开传导阀88a，使第1室81和各室82a、82b连通。这样，包含溶剂的蒸气的N₂气体，在被扩散到各室82a、82b的同时，被真空泵86排出。以后，反复进行导入N₂气体，从而使第1室81和各室82a、82b的压力上升、接近开始时的压力的时刻t₃为止的减压干燥动作。前已叙及，反复进行减压干燥动作后，来自液态体L的溶剂的蒸发速度下降。就是说，有可能单位时间的蒸发量下降。使用本实施方式的减压干燥装置80后，在反复进行减压干燥动作的过程中，与溶剂的蒸发量的减少对应，使第2室82一侧的容积变小，例如控制部100关闭真空阀87b和传导阀88b后，即使使真空泵86的排气速度一定，也能够更加迅速地排出蒸发的溶剂的蒸气。另外，结束一次减压干燥动作后，能够缩短再次成为给定的操作压Ps的减压过程所需的时间。因此，能够更加有效地进行液态体L的减压干燥。

[0095]

上述第4实施方式的效果，在具有和上述第1实施方式的效果(1)～

(5)同样的效果的同时，还具有如下效果。

[0096]

(1)在上述第4实施方式的减压干燥装置80中，第2室82在具有多个(3个)室82a、82b、82c的同时，多个室82a、82b、82c分别被具有传导阀88a、88b、88c的隔壁部98a、98b、98c隔开。这样，如果开闭传导阀88a、88b、88c后，就能够改变与溶剂蒸发的第1室81连通的第2室82的容积。就是说，特别是在蒸发量控制型的减压干燥分布图中，能够按照第1室81内的蒸发量，改变第2室82的容积，从而在真空泵86的排气速度一定时，更加迅速地排出蒸发的溶剂的蒸气。另外，能够在结束一次减压干燥动作后，缩短再次作为给定的操作压Ps的减压过程所需的时间。因此，能够提供更加有效地进行液态体L的减压干燥的减压干燥装置80。

[0097]

上述各实施方式以外的变形例如下。

(变形例1)在上述第1实施方式的减压干燥装置10及上述第2实施方式的减压干燥装置30中，第1室和第2的结构，并不局限于此。例如：具备两个减压腔，将一个作为第1室，将另一个作为第2室。然后，设置连接两个减压腔的连通部和可以开闭连通部的开闭单元。这样，就能够提供与图3(a)～(c)所示的各减压干燥分布图对应的减压干燥装置。

[0098]

(变形例2)在上述第1实施方式的减压干燥装置10及上述第2实施方式的减压干燥装置30中，在第1室设置的整流板，并非必不可少。如果连通阀8、38具有蝶状的阀8b、38b，驱动电动机12、42，以给定的角度使旋转轴8a、38a旋转，就可以利用阀8b、38b发挥整流功能。

[0099]

(变形例3)在上述第1实施方式的减压干燥装置10及上述第2实施方式的减压干燥装置30中，连通口19、49及开闭它的连通阀8、38的结构，并不局限于此。也可以和第3、第4实施方式一样，使用传导阀。这样，可以用传导阀改变第1室1、31的排气及蒸气排出速度。就是说，能够在被第1室1、31收容的基板W中，抑制溶剂从液态体L中蒸发的速度。

[0100]

(变形例4)在上述第3实施方式的减压干燥装置50中，移动隔壁部68的移动单元并不局限于此。例如，可以取代电动机65，使用汽缸等促动器，移动隔壁部68。另外，还可以将减压腔53作为一个大致密闭的缸体结构，将隔壁部作为活塞，驱动与活塞连接的活塞杆后，改变第1室51及第2室52的容积。

[0101]

(变形例5)在上述第1～第4实施方式的各减压干燥装置10、30、50、80中，第1室1、31、51、81的结构并不局限于此。例如：可以在放置基板W的放置台11、41、61、91上设置加热器等加热单元。这样，可以在减压干燥过程中，利用加热单元，均匀加热基板W，促进溶剂的蒸发，从而能够更快地使液态体L的形状固定化

[0102]

(变形例6)在上述第1～第4实施方式的各减压干燥装置10、30、50、80中，被减压干燥的被干燥物，并不局限于涂敷液态体L的基板W。例如：可以是能够用夹具等支持、收容的半导体晶片及眼镜晶片等外形形状为圆形的工件等。

[0103]

(变形例7)作为使用上述第1～第4实施方式的各减压干燥装置10、30、50、80，进行减压干燥的工件的基板W，并不局限于涂敷包含定向膜形成材料的液态体L的工件。例如：还适用于涂敷包含彩色滤光片用的颜色要素材料、有机EL等的发光材料、电路形成用的导电材料、电子发射元件形成材料等功能膜形成材料的各种液态体的基板W的减压干燥。

Claims

1、一种减压干燥装置，将涂敷了包含膜形成材料的液态体的工件收容到减压腔内，使所述液态体的溶剂在减压下蒸发后干燥，其特征在于，

所述减压腔，具有可以收容所述工件的第1室、和通过连通部与所述第1室连接的第2室；

所述减压干燥装置，具备：

减压单元，该单元设置成至少使所述第2室为可减压状态；

连通阀，该阀可以开闭所述连通部；以及

控制部，该部驱动所述减压单元，至少控制所述第2室的减压状态，并驱动所述连通阀，控制所述连通部的开闭状态。

2、如权利要求1所述的减压干燥装置，其特征在于：还具有至少可以计测所述第1室的减压状态的压力表，

所述控制部，进行下述控制动作：驱动所述连通阀，使所述第1室与所述第2室连通；驱动所述减压单元，将所述第1室和所述第2室减压，直到所述压力计的检出压力成为给定的操作压为止；然后驱动所述连通阀关闭所述连通部，密闭所述第1室；在所述压力计检出所述第1室上升到给定的压力时，驱动所述连通阀，将所述第1室与所述第2室连通，使所述减压单元排出扩散到所述第1室和所述第2室中的所述溶剂的蒸气。

3、如权利要求2所述的减压干燥装置，其特征在于：所述给定的压力，是在密闭的所述第1室中一定量的所述溶剂蒸发的蒸气压上，加上给定的操作压后的压力；

所述控制部，使所述减压单元，在所述给定的压力以上的压力之下，排出扩散到所述第1室和所述第2室中的所述溶剂的蒸气。

4、如权利要求2所述的减压干燥装置，其特征在于：所述给定的操作压，设定成使所述溶剂由所述液态体蒸发后增粘、直到即将影响膜形状的粘度为止的压力；

所述给定的压力，是在密闭的所述第1室中所述溶剂蒸发的大致饱和蒸气压上，加上所述给定的操作压后的压力。

5、如权利要求2～4任一项所述的减压干燥装置，其特征在于：所述控制部，在驱动所述连通阀使所述减压单元排出扩散到连通的所述第1室和所述第2室中的所述溶剂的蒸气之前的期间，先利用所述减压单元，将非连通状态的所述第2室减压到小于所述给定的操作压。

6、如权利要求2～5任一项所述的减压干燥装置，其特征在于：所述控制部，反复进行从利用所述减压单元使连通的所述第1室和所述第2室减压的动作起，到排出扩散到所述第1室和所述第2室中的所述溶剂的蒸气的动作为止的所述控制动作。

7、如权利要求1所述的减压干燥装置，其特征在于：还具有至少可以计测所述第2室的减压状态的压力表，

所述控制部，进行下述控制动作：驱动所述连通阀而密闭所述第1室后，驱动所述减压单元使非连通状态的所述第2室减压，直到所述压力计的检出压力成为给定的操作压为止，然后，驱动所述连通阀而开放所述连通部，将所述第1室与所述第2室连通，使所述减压单元排出扩散到所述第1室和所述第2室中的所述溶剂的蒸气。

8、如权利要求2～7任一项所述的减压干燥装置，其特征在于：所述给定的操作压，设定成比所述液态体的溶剂的蒸气压更高的值。

9、如权利要求1～8任一项所述的减压干燥装置，其特征在于：将所述第2室的容积，设定成大于所述第1室的容积。

10、如权利要求1～9任一项所述的减压干燥装置，其特征在于：还具有至少可将惰性气体从外部导入所述第1室的导入阀，

所述控制部，至少在排出扩散到所述第1室中的所述溶剂的蒸气时，驱动所述导入阀而导入惰性气体。

11、如权利要求10所述的减压干燥装置，其特征在于：在所述第1室1中，设置着整流板，该整流板在导入的所述惰性气体从所述工件一侧朝着所述连通口的方向的流动时，对气流进行整流。

12、如权利要求1～10任一项所述的减压干燥装置，其特征在于：还具有可以使所述第1室与所述第2室的容积比可变的可变单元。

13、如权利要求12所述的减压干燥装置，其特征在于：所述减压腔，具有将所述减压腔的内部隔离成所述第1室和所述第2室的隔壁部；所述可变单元，是使所述隔壁部移动从而改变所述第1室与所述第2室的容积比的移动单元。

14、如权利要求12所述的减压干燥装置，其特征在于：所述第2室，具有互相之间具备可以连通的连通阀的多个室；所述可变单元，是使构成所述第2室的多个室连通的所述连通阀、和驱动所述连通阀从而改变互相连通的所述室的数量的控制部。