CN102401550B - 减压干燥机 - Google Patents

Abstract

一种减压干燥机，具备在内部收容干燥对象物(W)的密闭容器(2)和对该密闭容器(2)内进行减压排气的泵装置(3)，具有摆动机构，该摆动机构具备载置对象物(W)的工作台(4)、在密闭容器(2)内，将工作台(4)在其左右两端部轴支承的水平轴部件(11)和与水平轴部件(11)的至少一方连结的臂部(10)，上述臂部(10)具有通过从密闭容器(2)外的流体供给装置供给的流体压，往复驱动活塞杆(13)的缸机构(12)和一端部可转动地连结于活塞杆(13)的前端，同时，另一端部固定在上述水平轴部件(11)上的曲轴部(14)。

Description

减压干燥机

技术领域

本发明涉及用于在减压环境下干燥清洗后的工业用零件的减压干燥机。

背景技术

以往，作为为在清洗了工业用零件后除去清洗水而将该工业用零件干燥的手段之一，使用减压干燥机。它是将干燥对象物放入密闭容器，由真空泵对该密闭容器内进行减压排气的减压干燥机。即，是通过利用该密闭容器内的减压排气，人工地增大被清洗水浸湿的对象物表面和周围的环境的水蒸气的分压力差来促进干燥的减压干燥机。

在这样的减压干燥机中，因为甚至连对象物表面的狭窄间隙、细管内部也被强制性减压，所以，即使是具有水分积存在间隙那样的复杂的形状的工业用零件，也能够使其水分蒸发进行干燥。但是，同时，由于因减压而造成的水分的汽化，从对象物夺取热，所以，存在在干燥工序途中，对象物、仍然附着的水被急速冷却，干燥速度降低，难以进行充分的干燥的问题。

由于若为仅表面部分被浸湿的对象物，则在短时间干燥即可，能够在干燥速度降低前结束干燥工序，所以，该问题几乎没有影响，但是，由于尤其是在具有间隙、细部空间等水分容易积存的形状的对象物中，积存的水分的蒸发需要时间，所以，该问题容易产生影响。

为了消除这样的问题，采用了在将对象物放入干燥室前预先充分加热提高温度、一面用加热器加热密闭容器内，一面进行减压干燥这样的方法。但是，在仅基于这样的加热的方法中，因为在减压中热难以传递，所以，干燥时间的缩短困难。作为其结果，由于对象物被加热必要以上，所以，干燥处理后，需要冷却工序，作业效率不佳。

因此，也采用物理去除附着在对象物上的水分的方法。例如，开发了一面向密闭容器内的对象物喷出空气，吹跑附着的水分，一面进行减压干燥的干燥机(例如，参见日本特开平7-286775号公报。)、一面利用振动产生构件使密闭容器或对象物支撑台振动，一面进行减压干燥的干燥机(例如，参见日本实开平6-56682号公报以及日本特开平7-294129号公报)。振动具有通过将对象物表面的水分分割，雾化来促进蒸发的效果。

但是，因为在由空气吹跑水分的干燥机中，需要空气供给装置、空气供给源，另外，在一面振动，一面进行干燥的干燥机中，需要使密闭容器或支撑台振动的振动产生装置、振动传递装置，所以，干燥机整体大型化。而且，仅喷出空气或使之振动，即使能够除去表面附着的液滴，也不能充分对应积存在具备复杂的结构的对象物的内部、细部的水分，仅针对结构单纯的对象物具有效果。这是因为积存在细部的水分因减压而一面沸腾，一面不断向外侧飞出，逐渐成为很多水滴附着在周边的表面，因为在该水滴不断附着的部分，对象物因最初的水滴的蒸发而被局部冷却，所以，此后的蒸发不再进展。

发明内容

发明要解决的技术问题

本发明的目的是提供一种即使是复杂形状的对象物，也能够比以往更有效地干燥，且不会导致装置的大型化的减压干燥机。

为解决其技术问题而采用的技术方案

为了实现上述目的，基于本发明的减压干燥机的特征在于，具备

在内部收容干燥对象物W的密闭容器2、

对该密闭容器2内进行减压排气的泵装置3、

在上述密闭容器2内使对象物W围绕水平轴摆动的摆动机构，

上述摆动机构具备

载置上述对象物W的工作台4、

在上述密闭容器2内，由其左右两端部轴支承工作台4的水平轴部件11、

与水平轴部件11中的至少一方连结的臂部10，

上述臂部10具有

通过从密闭容器2外的流体供给装置供给的流体压往复驱动活塞杆13的缸机构12和

一端部可转动地连结于上述活塞杆13的前端，同时，另一端部固定在上述水平轴部件11上的曲轴部14。

另外，基于本发明的其它的有利的一个方式的减压干燥机，

上述封闭容器2具备

使对象物W出入的开口部20和

在与开口部20的下端缘相比的上方的外侧，其上面位于与处于水平状态的工作台4的表面为同一面上的对象物载置台7。

基于本发明的其它的优选方式的减压干燥机，

在上述对象物载置台7的面上，具备

载置对象物W的托盘部件15和

构成将托盘部件15向上述密闭容器2内的工作台4上的预定位置引导的导向部的一对轨道8，

在上述工作台4上，

设置构成对由上述导向部引导的托盘部件15进行接收并定位固定的固定机构的框部件5和挡块6。

基于本发明的又一其它的有利的一个方式的减压干燥机，

还具有以密闭状态可开闭地覆盖上述开口部20的开闭机构，

上述开闭机构具备

覆盖开口部20的升降门21和

在开口部20关闭状态通过因流体压而产生的驱动将升降门21向开口部20推压，成为密闭状态的密闭用缸机构30。

发明效果

发明的有益效果

在本发明的减压干燥机中，由于通过摆动机构使干燥对象物在密闭容器内摆动，所以，即使积存在间隙、细部的水分因减压而沸腾，向外侧飞出，在周边表面附着很多的水滴，也由于这些水滴通过对象物的摆动而在对象物表面上大幅移动，所以，避免了局部的冷却，不存在水滴的蒸发停滞的情况。因此，干燥对象物即使是具备具有水分容易积存的间隙、细部的复杂的形态的干燥对象物，也能够在短时间有效地完成干燥。

附图说明

图1a是以局部透视状态表示基于本发明的一个实施例的减压干燥机的整体概略结构的右侧视图。

图1b是表示图1a的减压干燥机的密闭容器部分的结构的左侧视图。

图2a是以局部透视状态表示对象物相对于图1的密闭容器的出入机构的概略结构的俯视图。

图2b是图2a的密闭容器的开口部处于打开状态时的正视图。

图3a是表示使门紧贴图2的密闭容器的开口部的机构的局部俯视图。

图3b是图3a的局部放大图。

图4是表示本实施例的减压干燥机的外观的正视图。

符号说明

1：减压干燥机；2：密闭容器；3：真空泵；4：工作台；4a：竖起部；5：框部件；5a：推压板；6：挡块；7：对象物载置台；8：轨道；9：球塞；10：臂部；11:水平轴部件；12：缸机构；13：活塞杆；14：曲轴部；15：托盘部件；16：把手；20：开口部；21：升降门；22：轨道；23：O形环；30：密闭用缸机构；31：活塞杆；32：凸轮随动件；40：操作盘；W：干燥对象物；H：加热器。

具体实施方式

具体的实施方法

基于本发明的减压干燥机是具备在密闭容器内使干燥对象物围绕水平轴摆动的摆动机构，能够一面直接使对象物摆动，一面进行减压干燥的减压干燥机。因此，即使积存在对象物的槽、螺钉孔、销孔等间隙、细部的水分因减压而沸腾，向外侧飞出，不断作为水滴附着在周边表面，也由于水滴因上述摆动而在对象物表面上大幅移动，而不存在水滴附着在水槽周边的状态蒸发，产生局部冷却的情况。水滴向对象物表面上的未被冷却的部位移动，蒸发良好地进展，另外，也有在对象物表面上移动的水滴的一部分就这样滑落的情况，作为结果，即使是具有复杂的形态的对象物，也能够在短时间有效地完成干燥。

作为摆动机构，由载置对象物的工作台、在密闭容器内将工作台在其左右两端部轴支承的水平轴部件、与水平轴部件中的至少一方连结的臂部构成，据此，能够避免密闭容器本身的大型化、在将振动产生器和振动传递机构设置在外部的情况下的装置整体的大型化。

具体地说，臂部具备通过从密闭容器外的流体供给装置供给的流体压往复驱动活塞杆的缸机构和一端部可转动地连结于该活塞杆的前端，同时，另一端部固定在上述水平轴部件上的曲轴部。

在该臂部中，因流体压而产生的活塞杆的往复运动作为旋转运动经曲轴部和水平轴部件向工作台传递，使工作台在预定的角度范围内围绕与上述水平轴部件一致的水平轴往复转动。因此，在减压干燥工序中，固定在工作台上的对象物通过工作台的往复转动与工作台一起摆动。

工作台在以水平状态为基准，在适度的倾斜角度范围内往复转动。该最大倾斜角度设定在附着于对象物表面的水滴在对象物表面滑动的角度以上。若对象物被固定在工作台上，不担心因摆动而从工作台落下，则其角度越大，水滴的移动越加切实。实际上，在最大倾斜角度为40～60度时产生足够的水滴移动。

另外，对象物相对于密闭容器内的出入在形成在容器上的开口部进行，但是，为了有效地进行整体的作业工序，希望该对象物的出入作业也顺畅地在短时间完成。

因此，首先在开口部的外侧具备对象物载置台，该对象物载置台的上面位于与处于水平状态的工作台的表面同一面上，且该对象物载置台的上面位于与开口部的下端缘相比的上方。据此，在向密闭容器内收容时，仅通过将对象物载置台上的对象物向密闭容器侧推出，即可毫无障碍地在开口部通过，使对象物向工作台表面上滑动移动。另外，在干燥后，仅通过将工作台上的对象物拉出，即可从工作台表面上向外侧的对象物载置台上滑动移动，因此，能够顺畅地在短时间结束对象物的出入。

另外，与使对象物本身在对象物载置台的上面和密闭容器内的工作台上之间直接移动相比，也可以做成进一步使用能够进行顺畅的滑动移动的部件的结构。例如，只要在对象物载置台的上面具备载置对象物的托盘部件即可。只要做成将该托盘部件沿设置在对象物载置台的上面的导向部向密闭容器内的工作台上的预定位置引导的结构，在工作台上设置接收沿导向部引导的托盘部件并进行定位固定的固定机构即可。

导向部的简便的结构是在对象物载置台的上面设置将平板状的托盘部件从其左右两侧夹着的平行的一对突条轨道。固定机构的简便的结构是在工作台上沿上述一对轨道的延长线上形成了平行的框部件。

在这样的结构中，仅通过使托盘部件向密闭容器内沿一对轨道滑动，就被导向工作台上的平行的框部件彼此的内侧。若将该框部件做成具有与托盘部件的两侧端边嵌合的狭缝的形态，则嵌合在该框部件上的托盘部件得到托盘部件的两侧端边被框部件的上侧部分从上方推压了的固定状态。

另外，在工作台上的进深侧，为使托盘部件不会从工作台飞出、落下，突出设置限制其进一步行进的挡块。若在干燥工序结束后，将托盘部件拉出到近前，则托盘部件沿框部件滑动，进一步被引导至对象物载置台的上面的一对轨道之间。因此，仅通过推出或拉近托盘部件，即可在对象物载置台的上面和工作台上的预定位置之间顺畅、简单地进行对象物的出入。

再有，为了在干燥工序中进行的减压排气，需要密闭容器的开口部可密闭地开闭。为了整体的作业效率的提高，希望开口部的开闭、密闭作业也更加顺畅地在短时间完成。

因此，作为以密闭状态可开闭地覆盖开口部的开闭机构，首先，优选具备通过升降门的上下运动来进行开口部的开闭的机构。在这种情况下，能够通过门的上升、下降这样的简单的手工作业在短时间进行开口部的开闭。在门的上升位置开口部成为打开状态，在下降位置成为覆盖开口部的关闭状态。在这种情况下，若做成在开口部的左右两侧的边部设置与门的左右两侧端缘嵌合的一对轨道，门沿该轨道滑动的结构，则门的上下方向的滑动顺畅。

另外，若具备维持门的上升位置的打开状态的机构，则不需要作业者一面单手推压门，一面进行对象物的出入这样的麻烦的作业。例如，若具备通过由流体压驱动的活塞杆从下方上推门的缸装置，则能够得到用于使门上升的推力和在上升位置的关闭状态的维持力。再有，通过该缸装置产生的推力，抑制门下降时由自重产生的落下，能够进行圆滑的下降。在这种情况下，缸装置能够利用用于向上述的工作台转动用的臂部的缸机构供给流体的流体供给装置。

另外，具备在由门关闭了开口部时用于成为密闭状态的构件。该构件简便的是利用通过流体压产生的驱动将该门向开口部推压，使之紧贴的缸机构。根据缸机构，能够在流体压的供给开始时立即得到门的紧贴状态。另外，该紧贴用的缸机构也是若利用用于工作台转动用的缸机构的流体供给装置，则没有必要另外具备不同的供给源，能够抑制装置的大型化。

缸机构产生的门对开口部的紧贴只要由缸的活塞杆的前端部直接推压门表面即可，但是，在像上述那样，做成两端缘在轨道内滑动的结构的情况下，若做成例如经构成轨道的部件推压每个轨道的结构，则推压力作用于遍及门的左右两边的全长，因此，能够得到良好的紧贴力。

另外，在本发明的减压干燥机中，也可以再设置用于加热密闭容器内的加热器装置。通过加热器装置进行的加热，能够进一步谋求干燥时间的缩短化、效率化。在本发明中，由于对象物的摆动，水分不会积存，实质上仅通过附着在表面上的液滴的干燥即可结束，所以，加热时间为短时间即可结束。因此，不会产生以往那样的对象物被加热必要以上，在干燥处理后需要冷却工序这样的问题，因此，不会对作业效率造成不良影响，当然有助于干燥时间的缩短化。

通过与图1～图4所示的合适的实施方式相关的下述说明，能够更明确地理解本发明的上述以及除此以外的特征和优点。

图1中，减压干燥机1作为主要部分具备在内部收容干燥对象物W，成为干燥室的密闭容器2和对该密闭容器2内进行减压排气的所谓的真空泵3。在密闭容器2内，将载置对象物W的工作台4在其左右两端部的竖起部4a，由贯通密闭容器2的左右侧面的水平轴部件11轴支承。

在本实施例中，作为使工作台4摆动的摆动机构的臂部10设置在密闭容器2的左右侧面中的一方的外侧，与一方的水平轴部件11连结。该臂部10由缸机构12、一端部可转动地连结于缸机构12的活塞杆13的前端，同时，另一端部固定在上述水平轴部件11上的曲轴部14构成。由于从密闭容器2的外部的流体供给装置(未图示出)向缸机构12供给的空气压，活塞杆13往复运动。

活塞杆13的往复运动由曲轴部14转换为旋转运动，经水平轴部件11向工作台4传递。因此，工作台4在预定的角度范围内围绕与水平轴部件11一致的水平轴往复转动。在减压干燥工序中，通过控制空气供给，驱动缸机构12，与工作台4一起反复进行载置固定在工作台4上的对象物W的摆动。

缸机构12的活塞杆13的往复运动的距离以工作台4的转动范围将工作台4的水平状态作为基准，成为最大40度的倾斜角度的方式设定。通过在该角度范围内的工作台4的摆动，附着在对象物W的表面上的水滴在其表面上良好地移动。因此，虽然积存在槽、螺钉孔、坑孔等内部空间的水分因减压而沸腾，向外侧飞出，成为水滴逐渐附着在周边表面，但是，这些水滴不是积存在同一部位，而是持续移动。因此，因为也不存在在对象物表面产生局部的冷却的情况，在对象物表面上的不冷的区域，水滴的蒸发进展，所以，能够在短时间有效地完成对象物的干燥。

在本实施例中，做成通过设置在密闭容器2的正面的开口部20进行对象物W的出入的结构。另外，在开口部20的外侧设置对象物载置台7。该对象物载置台7的上面位于与开口部20的下端缘相比的上方，位于与处于水平状态的工作台4的表面同一面上。

再有，对象物W被载置固定于在对象物载置台7的上面和工作台4之间滑动移动的板状的托盘部件15上。托盘部件15以在左右两端边被夹着的状态被定位在形成于对象物载置台7的上面的一对突条的轨道8上。另外，托盘部件15沿该一对轨道8被推出，据此，在开口部20通过，并被引导到密闭容器2内的处于水平状态的工作台4的表面上。

在工作台4的表面上设置沿一对轨道8的延长线上形成的平行的一对框部件5。框部件5形成有分别与托盘部件15的左右两侧的端缘嵌合的狭缝，接收从工作台4沿轨道8被引导来的托盘部件15，并导向工作台4的中央位置。该框部件5的上侧部分成为推压板5a，嵌合在框部件5的狭缝的托盘部件15的两侧端边由推压板5a从上方推压。

另外，在工作台4的进深侧，为了防止托盘部件15从工作台4飞出且落下，突出设置限制其进一步行进的挡块6。因此，从对象物载置台7的上面开始滑动移动的托盘部件15在工作台4上由作为固定机构的一对框部件5和挡块6包围三方，位置被固定。另外，在左右的框部件5的每一个上设置在相互相向的方向贯通的球塞9，在托盘部件15的侧面的对应位置形成凹陷。因此，若托盘部件15来到工作台4上的规定位置，则球塞9的由弹簧弹压的球嵌入托盘部件15的凹陷，通过弹簧的弹压力从左右两侧夹持托盘部件15。据此，完成托盘部件15的定位。

反之，若抵抗由球塞9产生的弹压力，将托盘部件15向近前拉出，则沿框部件5滑动来的托盘部件15被接收到一对轨道8之间，被引导至对象物载置台7的上面的初期位置。另外，希望在对象物载置台7的近前侧也突出设置挡块，防止托盘部件15的飞出。通过上述的结构，仅通过推出或拉近托盘部件15，即可在对象物载置台7的上面和工作台4上的预定位置之间，通过托盘部件15简单地进行对象物W的顺畅地出入。另外，为使托盘部件15的由手工作业进行的移动更加容易，在近前部分设置了把手16。

另外，本实施例中的开口部20由升降门21可密闭地开闭。升降门21通过手动，沿设置在开口部20的左右两侧端部的一对轨道22上升·下降，在上升位置，使开口部20成为打开状态，在下降位置成为覆盖开口部20的关闭状态。

另外，在升降门21的左右下端侧设置空气缸装置，通过该空气缸装置的活塞杆的驱动，推进升降门21的上升，维持在上升位置的打开状态。另外，能够通过该缸装置产生的推力，在使升降门21下降时，一面抑制自重造成的落下，一面进行平滑地下降。具体地说，以使升降门21的自重大致为零的方式，由精密蓄压器对向空气缸装置的供给压力进行微调整，能够不对作业者造成负担地容易地进行升降门21的手动的提升降下动作。另外，若做成通过由方向控制阀进行的控制来进行流路切换的结构，则也能够容易地将基于手动的直接驱动切换为基于操作盘40上的按钮操作的驱动控制。

另外，在开口部20的外周部，遍及全周在与升降门21之间安装O形环23，再有，在O形环23的外侧的上下左右四个部位，设置用于将下降至关闭位置的升降门21向开口部20的外周推压，使之紧贴，得到密闭状态的紧贴用空气缸机构30。

具体地说，与各空气缸机构30的活塞杆31的前端连结的凸轮随动件32的外圈抵接轨道22的表侧，伴随着通过向空气缸机构30的空气供给而驱动的活塞杆31，凸轮随动件32将轨道22向开口部21侧推开。据此，轨道22遍及左右两侧的全边，推压升降门21，遍及开口部20的外侧全周，推压紧贴在O形环23上，因此，能够得到开口部20的密闭状态。

在本实施例中，做成工作台4的摆动用的缸机构12、门21的升降用缸装置、用于使门21紧贴在开口部20的缸机构30的缸系统均由空气压驱动的结构。因此，向各缸供给空气的流体供给装置利用相同的部件，抑制了装置的大型化。在这种情况下，通过利用方向控制阀的控制切换流路，能够良好地驱动控制各缸机构。

另外，真空泵3的驱动开始·停止以及摆动用缸机构12、密闭用缸机构30、门升降用缸装置等的驱动系统根据来自设置在密闭容器2的正面旁边的操作盘40的指令信号被控制。因此，操作者能够通过进行操作盘40上的与预定的指令信号的输入·发出相当的按钮操作，简便地有效地控制减压干燥机1的作业工序整体。

在基于具备上述的结构的本实施例的减压干燥机1中，按照下述的操作顺序，进行对象物的减压干燥。首先，作为初期设定，将升降门21提升到上升位置，使开口部20为打开状态，同时，使工作台4为水平状态。将预先加热到40℃左右的对象物W载置固定在对象物载置台7上面的托盘部件15上。握住把手16，将托盘部件15向密闭容器2内推出，使之在工作台4上滑动移动。将球塞9的球嵌入托盘部件15的侧面凹陷，通过推动球的弹簧的弹压力，从左右两侧夹持托盘部件15，进行定位。

在用手下推升降门21，成为了覆盖开口部20的关闭状态后，通过进行操作盘40上的按钮操作，开始空气向密闭用缸机构30的供给控制。通过空气的供给，活塞杆31驱动，通过轨道22，门21向开口部外周被推压，成为紧贴状态。

接着，通过操作盘40上的按钮操作，开始真空泵3的驱动，开始密闭容器2的内部的减压排气。

在密闭容器2内的减压状态下，通过操作盘40上的按钮操作，开始空气的供给控制，开始缸机构12的驱动。据此，活塞杆13开始往复运动，工作台4往复转动，对象物W摆动。在几分钟期间，反复该摆动，进行对象物W的干燥。

在干燥结束后，停止缸机构12的驱动，使工作台4返回水平状态，且切换真空泵3的驱动，使密闭容器2内恢复到大气压。密闭容器2内恢复到大气压后，使密闭用缸机构30向开放升降门21的推压的一侧驱动。接着，若用手提升升降门21，打开开口部20，握住把手16，将工作台4上的托盘部件15从密闭容器2拉出，则能够使干燥完成的对象物W返回对象物载置台7上面。

根据本实施例的减压干燥机1，仅通过上述那样一系列的简单的操作，即使是具有复杂的形状的对象物W，也能够在短时间有效地完成干燥。

接着，像下述那样，进行以结构与本实施例的减压干燥机1相同的具备摆动机构的密闭容器为基础的减压干燥试验，评价积存水的干燥中的摆动的效果。即，作为干燥对象物，将约3g的水分别放入陶器制皿和铝制容器，在按照上述操作顺序收容到密闭容器2内后，进行了减压干燥。

作为干燥条件，在用真空泵(株式会社罗茨(anlet)制，CT4-200)将密闭容器内减压到几Torr以下后，干燥时间为一分钟。然后，使密闭容器内恢复大气压，将陶器制皿或铝制容器从密闭容器取出，测定水的量，求出了减压干燥前后的水的减少量。试验例是通过将多次不同的摆动数的情况和无摆动的情况进行比较来进行的。在本试验中，在最大倾斜角度约±30度的范围进行摆动。结果，陶器制皿的情况表示在表1中，铝制容器的情况表示在表2中。

[表1]

[表2]

从上述结果可以看出，在干燥对象物为陶器制皿、铝制容器的任意一个的情况下，还是虽然不一致，但有摆动动作的情况比没有的情况水的减少量多，两者之间水的减少率存在很大的差。因此，即使其它的干燥条件相同，也能够确认干燥中的摆动效果大。另外，水的减少率没有与摆动次数成比例可以认为是因为若在水移动的路径上温度一旦下降，则在该部位进一步的蒸发不会有进展。从上述结果可知，根据能够在减压干燥中使对象物摆动的本实施例的减压干燥机，能够谋求干燥效率的大幅提高。

Claims (4)

1.一种减压干燥机，所示减压干燥机具备

在内部收容干燥对象物(W)的密闭容器(2)和

对该密闭容器(2)内进行减压排气的泵装置(3)，其特征在于，

具备在上述密闭容器(2)内使对象物(W)围绕水平轴摆动的摆动机构，

上述摆动机构具备

载置上述对象物(W)的工作台(4)、

在上述密闭容器(2)内，由其左右两端部轴支承工作台(4)的水平轴部件(11)和

与水平轴部件(11)中的至少一方连结的臂部(10)，

上述臂部(10)具有

通过从密闭容器(2)外的流体供给装置供给的流体压往复驱动活塞杆(13)的缸机构(12)和

一端部可转动地连结于上述活塞杆(13)的前端，同时，另一端部固定在上述水平轴部件(11)上的曲轴部(14)。

2.如权利要求1所述的减压干燥机，其特征在于，上述密闭容器(2)具备

使对象物(W)出入的开口部(20)和

在与开口部(20)的下端缘相比的上方的外侧，其上面位于与处于水平状态的工作台(4)的表面为同一面上的对象物载置台(7)。

3.如权利要求2所述的减压干燥机，其特征在于，在上述对象物载置台(7)的面上，具备

载置对象物(W)的托盘部件(15)和

构成将托盘部件(15)向上述密闭容器(2)内的工作台(4)上的预定位置引导的导向部的一对轨道(8)，

在上述工作台(4)上，

设置构成对由上述导向部引导的托盘部件(15)进行接收并定位固定的固定机构的框部件(5)和挡块(6)。

4.如权利要求2所述的减压干燥机，其特征在于，还具有以密闭状态可开闭地覆盖开口部(20)的开闭机构，

上述开闭机构具备覆盖开口部(20)的升降门(21)和

在开口部(20)关闭的状态下通过因流体压而产生的驱动将升降门(21)向开口部(20)推压，成为密闭状态的密闭用缸机构(30)。