CN104051674A - 干燥装置及干燥处理方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种更够高效地且在短时间除去被涂敷在基板上的有机材料膜中的溶剂、并且容易对用于收集溶剂的构件进行更新的干燥装置和干燥处理方法。干燥装置（100）包括能够抽成真空的处理容器（1）、用于在处理容器（1）内支承基板（S）的作为支承构件的载置台（3）、与支承在载置台（3）上的基板（S）相对地设置且用于收集自有机材料膜挥发的溶剂的溶剂收集部（5）、以及控制部（6）。溶剂收集部（5）还包括用于使收集的溶剂脱离的作为溶剂脱离装置的温度调节装置（7）。溶剂收集部（5）包括与载置在载置台（3）上的基板（S）相对且与该基板（S）的表面大致平行地配置的1张或者多张金属板的收集板（50）。在收集板（50）中形成有多个贯通开口（50a）。

Description

干燥装置及干燥处理方法

技术领域

本发明例如涉及在有机EL元件的制造过程中能够用来使有机材料膜干燥的干燥装置及干燥处理方法。

背景技术

有机EL（Electro Luminescence）元件是通过通入电流而利用产生的有机化合物发光的发光元件，成为在一对电极之间夹有多个有机功能膜的层叠体（以下将该层叠体统称作“EL层”）的构造。在此，EL层例如具有从阳极侧起按照［正穴输送层／发光层／电子输送层］、［正穴注入层／正穴输送层／发光层／电子输送层］、或者［正穴注入层／正穴输送层／发光层／电子输送层／电子注入层］等的顺序层叠而成的构造。

通过针对各层分别在基板上蒸镀或者涂敷有机材料而形成EL层。在形成高精度的微细图案的情况下，作为涂敷方法，一般认为利用喷墨印刷法是有利的。

由于在利用喷墨印刷法印刷在基板上的有机材料膜中含有大量的溶剂，因此，为了除去该溶剂而进行减压干燥（例如专利文献1、专利文献2）。进而在缺氧气氛中对干燥后的有机材料膜进行烘焙处理。利用该烘焙处理使有机材料膜变化为构成EL层的有机功能膜（例如专利文献3）。

作为除去利用喷墨印刷法涂敷的有机材料膜中的溶剂的干燥装置，提出了这样的干燥装置：包括在收纳有基板的腔室内与基板相对地设置且用于吸附溶剂的无机多孔质的吸附构件（例如专利文献4）。在该专利文献4中记载有这样的内容：为了校正基板上的蒸汽浓度的差异，将吸附构件的中央部的开口率设定得大于其外周部的开口率。此外，在专利文献4中也记载有这样的内容：在减压条件下对基板进行干燥处理；通过将吸附构件移送到另一个腔室进行加热而使其再生。

在干燥处理时，溶剂、水分等自基板上的有机材料膜大量地挥发。因此，若不自干燥装置的处理容器内迅速地除去这些挥发成分，则干燥效率降低。干燥后的有机材料膜的状态会对EL层的特性产生影响是众所周知的。例如在干燥处理时，若在基板的面内产生有机材料膜中的溶剂浓度不均匀，则基板面内的有机EL元件的特性产生偏差。例如，若干燥状态在基板的面内不均匀，在用作有机EL显示器时，会成为引起显示不均匀等不良的原因。

若使干燥装置的腔室内减压，则随着压力的降低而排气量减少，因此，在高真空状态下排气量变少。此外，在高真空状态下，自有机材料膜中挥发的溶剂在处理容器内形成分子流，因此，产生溶剂滞留在腔室内这样的问题。为了解决该问题，像上述专利文献4所公开的那样，吸附收集在腔室内气化的溶剂的方法是有效的。

但是，专利文献4所公开的干燥装置使用多孔质的吸附构件，由于收集溶剂时的收集效率主要依赖于多孔质的吸附构件的表面积，因此，为了谋求提高收集效率，需要使细孔微细化。但是，存在细孔的微细化存在极限、收集效率受到制约这样的问题。此外，在重复利用收集溶剂所使用的吸附构件时，需要进行除去吸附的溶剂的再生处理（更新），但细孔越微细，溶剂越难以除去，更新花费时间。此外，由于专利文献4的干燥装置将吸附构件移送到再生处理专用的腔室使其加热再生，因此再生处理用的步骤、设备复杂，在实用性这一点上存在问题。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第3951162号公报（段落0023等）

专利文献2：日本专利第4168968号公报（权利要求2等）

专利文献3：日本专利第4148933号公报（权利要求1等）

专利文献4：日本特开2010－169308号公报（图1等）

发明内容

发明要解决的问题

本发明的目的在于，提供一种能够高效地且在短时间内除去被涂敷在基板上的有机材料膜中的溶剂、并且用于收集溶剂的构件容易更新的干燥装置。

用于解决问题的方案

本发明的干燥装置是除去被涂敷在基板的表面上的有机材料膜中的溶剂而使有机材料膜干燥的干燥装置。本发明的干燥装置包括能够抽成真空的处理容器、用于排出上述处理容器内的气体的排气口、用于在上述处理容器内支承上述基板的支承构件、以及用于收集自上述有机材料膜挥发的溶剂的溶剂收集部。

本发明的干燥装置也可以是，上述溶剂收集部包括与支承在上述支承构件上的上述基板相对地设置的、具有多个贯通开口的一张或者多张金属板。

本发明的干燥装置也可以是，在上述溶剂收集部中，上述多张金属板以互相分开的状态与支承在上述支承构件上的上述基板平行地层叠配置。在这种情况下，上述多张金属板中的至少两张上述金属板以上述贯通开口整体在层叠方向上不重合的方式错位地配置。

本发明的干燥装置也可以是，上述金属板的上述贯通开口的开口率在20%～80%的范围内。

本发明的干燥装置也可以是，上述金属板的表面的算术平均粗糙度Ra在0.3μm～13μm的范围内。

本发明的干燥装置也可以是，上述金属板的厚度在0.2mm～2mm的范围内。

本发明的干燥装置也可以是，在上述金属板的面内，上述贯通开口以不均匀的分布方式形成。

本发明的干燥装置也可以是，上述溶剂收集部具有用于使收集的溶剂脱离的溶剂脱离装置。在这种情况下，上述溶剂脱离装置既可以是用于加热上述金属板的加热装置，或者也可以是用于向上述金属板喷射气体的气体喷射装置。

本发明的干燥装置也可以是，上述溶剂收集部还具有用于促进溶剂的收集的收集促进装置。在这种情况下，上述收集促进装置也可以是用于对上述金属板进行冷却的冷却装置。

本发明的干燥装置也可以在上述溶剂收集部和上述排气口之间还包括整流构件。

本发明的干燥装置也可以是，上述溶剂收集部具有溶剂收集构件，该溶剂收集构件在其内部具有供热介质流通的流路。在这种情况下，在上述流路上既可以连接有加热用热介质供给源，或者也可以连接有冷却用热介质供给源。此外，上述流路也可以被划分为分别独立地供热介质流通的多个部分。在这种情况下，上述流路也可以具有连接有加热用热介质供给源的第1流路和连接有冷却用热介质供给源的第2流路。

作为上述排气口，本发明的干燥装置也可以是具有与上述溶剂收集部接近地设置的第1排气口和与上述第1排气口相对地设置的第2排气口。

本发明的干燥装置也可以还包括用于测量上述处理容器内的溶剂蒸汽的浓度的传感器。

本发明的干燥装置也可以在构成上述处理容器的壁内具有供热介质流通的流路。

本发明的干燥装置也可以是，上述支承构件具有加热器。

本发明的干燥处理方法在上述任一个干燥装置的上述处理容器内对涂敷在上述基板的表面上的有机材料膜进行干燥处理。

本发明的干燥处理方法也可以是，上述有机材料膜在制造有机EL元件的过程中利用喷墨印刷法涂敷在上述基板上。

发明的效果

采用本发明的干燥装置及干燥处理方法，能够高效地且在短时间内除去被涂敷在基板上的有机材料膜中的溶剂。此外，也能够在短时间内容易地更新用于收集溶剂的构件。因而，采用本发明，例如能够提高有机EL元件的制造工艺的生产率。

附图说明

图1是表示本发明的第1实施方式的干燥装置的概略结构的剖视图。

图2是表示图1中的溶剂收集部的主要部分剖视图。

图3是收集板的俯视图。

图4是收集板的另一例子的俯视图。

图5是表示有机EL元件的制造工序的概略的流程图。

图6是表示本发明的第2实施方式的干燥装置的概略结构的剖视图。

图7是表示图6中的溶剂收集部的主要部分剖视图。

图8是表示本发明的第2实施方式的干燥装置的变形例的概略结构的剖视图。

图9是表示本发明的第3实施方式的干燥装置的概略结构的剖视图。

图10是表示本发明的第3实施方式的干燥装置中的溶剂收集构件的流路的结构例的图。

图11是表示本发明的第3实施方式的干燥装置中的溶剂收集构件的流路的另一结构例的图。

图12是表示在干燥装置中进行的干燥处理的步骤的一例子的时序图。

具体实施方式

下面，参照附图说明本发明的实施方式。

第1实施方式

图1是表示本发明的第1实施方式的单片式的干燥装置的概略结构的剖视图。图2是表示图1中的溶剂收集部的主要部分的剖视图。图3及图4是表示收集板的优选例子的俯视图。本实施方式的干燥装置100可用于对作为被处理体的例如有机EL显示器用的玻璃基板（以下简记作“基板”）S除去被涂敷在其表面的有机材料膜中的溶剂使有机材料膜干燥的干燥处理。

本实施方式的干燥装置100包括能够抽成真空的处理容器1、用于在处理容器1内支承基板S的作为支承构件的载置台3、与支承在载置台3上的基板S相对地设置且用于收集自有机材料膜挥发的溶剂的溶剂收集部5、以及控制部6。此外，溶剂收集部5还包括用于使收集的溶剂脱离的作为溶剂脱离装置的温度调节装置7。

处理容器

处理容器1是能够抽成真空的耐压容器。处理容器1利用金属材料形成。作为形成处理容器1的材料，例如能够使用铝、铝合金、不锈钢等。处理容器1包括底壁11、方筒状的4个侧壁13、以及顶部15。

在侧壁13中设有用于向装置内搬入基板S或者自该装置搬出基板S的搬入搬出口13a。搬入搬出口13a用于在处理容器1与外部之间搬入或搬出基板S。在搬入搬出口13a中设有闸阀GV。闸阀GV具有打开或关闭搬入搬出口13a的功能，其在关闭状态下以气密的方式密封处理容器1，并且在打开状态下能够在处理容器1和外部之间移送基板S。

在顶部15中设有排气口15a。排气口15a经由排气管17连接于外部的排气装置19。构成为通过使该排气装置19工作，能够对处理容器1内进行减压排气至规定的真空度、例如0.1Pa左右的压力。

载置台

在处理容器1的内部配备有作为支承装置的载置台3。载置台3被支柱21支承。支柱21固定在底壁11上。载置台3虽省略图示，但载置台3具有用于使基板S升降移位的机构、例如升降销等，能够在交接基板S的交接位置和将基板S载置在载置台3上进行干燥处理的处理位置之间调整基板S的高度位置。

压力控制机构

本实施方式的干燥装置100还包括排气装置19。另外，排气装置19既可以是干燥装置100的一个构成部分，也可以是与干燥装置100分开的外部装置。排气装置19例如具有涡轮分子泵、干泵等真空泵。干燥装置100还包括连接排气口15a和排气装置19的排气管17、设于排气管17的中途的APC（Adaptive Pressure Control）阀23、以及未图示的开闭阀。通过使排气装置19的真空泵工作，并且调节APC阀23的开度，能够将处理容器2的内部空间减压排气到规定的真空度。

此外，本实施方式的干燥装置100还包括用于监视处理容器1内的压力的压力计25。压力计25将处理容器1内的测量压力作为电信号发送到APC阀23。

在本实施方式中，由排气装置19、排气管17、APC阀23以及压力计25构成对处理容器1内进行减压排气并调节到规定压力的压力控制机构。

挡板

本实施方式的干燥装置100还包括作为整流构件的挡板31。挡板31例如由铝、不锈钢等材质形成。挡板31插入配备在溶剂收集部5和排气口15a之间。挡板31具有多个通孔31a。在本实施方式中，挡板31以悬吊在支承框33上的状态固定。支承框33呈四边形的框状，其固定在处理容器1的顶部15。另外，挡板31和支承框33也可以一体地形成。此外，也可以不设置支承框33而将挡板31直接固定在处理容器1的侧壁13或者顶部15。挡板31具有使从载置在载置台3上的基板S侧经由溶剂收集部5朝向排气口15a的排气流均等的功能。因而，通过在溶剂收集部5和排气口15a之间配备挡板31，能够对通过溶剂收集部5的含有溶剂的排气流进行整流，提高溶剂收集部5的溶剂收集效率。

溶剂收集部

溶剂收集部5用于收集自形成在基板S上的有机材料膜中挥发的溶剂。也就是说，溶剂收集部5通过使从有机材料膜中气化的气体状的溶剂结露而将其收集，使处理容器1内的气氛中的溶剂浓度降低。

图2是表示溶剂收集部5的详细结构的剖视图。溶剂收集部5包括与载置在载置台3上的基板S相对地配置的1张或者多张作为金属板的收集板50。收集板50是呈矩形的板状，形成有多个贯通开口50a。此外，收集板50与基板S大致平行地设置。也就是说，收集板50的上下的表面和基板S的表面大致平行地配置。

收集板50以悬吊在固定于顶部15的支承框33上的状态装拆自由地支承。另外，也可以将收集板50直接固定在处理容器1的侧壁13或者顶部15。

收集板50也可以是1张，但为了提高溶剂的收集效率，优选在例如两张～20张的范围内使用。通过增加或减少收集板50的设置张数，能够改变溶剂收集部5中的收集板50的总计表面积，调节与溶剂蒸汽的接触面积。

收集板50优选由导热性优异的材质、例如铝、不锈钢等构成。为了增大溶剂收集部5整体的表面积而提高溶剂的收集效率，1张收集板50的厚度能够设在例如0.2mm～2mm的范围内。此外，为了提高溶剂的收集效率，层叠多个收集板50的情况下的间隔能够设在例如1mm～20mm的范围内。

在本实施方式中，如图3所示，将大小相同的多个圆形的贯通开口50a在收集板50的面内以恒定的间隔均等地排列。收集板50的贯通开口50a是例如俯视为圆形的孔。另外，贯通开口50a的形状并不限定于圆形，也可以是例如椭圆形、长方形等多边形。贯通开口50a的大小、形状既可以全部相同，也可以在收集板50的面内变化。此外，在收集板50的面内，贯通开口50a能够以任意的排列形成。

此外，也能够在收集板50的面内以不均匀的分布的方式形成多个贯通开口50a。例如，如图4所示，在收集板50的与基板S的面内溶剂的挥发量较多的中央附近区域相对的中央区域中，以开口率变大的方式排列贯通开口50a，在收集板50的与基板S的面内溶剂的挥发量较少的周缘部区域相对的周缘部区域中，以开口率变小的方式排列贯通开口50a等，能够与来自基板S的溶剂挥发量的差异相对应地在收集板50的面内分布有贯通开口50a。此外，也可以与上述相反，减小收集板50的中央区域的开口率，周缘部区域的开口率变大。并且，也可以针对层叠的每个收集板50使贯通开口50a的大小、形状、它们的分布等都发生变化。作为贯通开口50a的优选的形状和配置，例如优选以锯齿状排列圆形的贯通开口50a。

收集板50的面内的贯通开口50a的开口率也根据收集板50的设置张数的不同而不同，例如优选在20%～80%的范围内。在此，开口率的意思是指，贯通开口50a的总计开口面积占有假定为不存在贯通开口50a的情况下的收集板50的单面面积。通过将收集板50的面内的贯通开口50a的开口率设在上述范围内，能够调节与溶剂蒸汽的接触面积，并且能够调节从基板S侧到达排气口15a的挥发蒸汽的排气传导性。

就收集板50的表面而言，从促进在处理容器1内气化了的溶剂的结露而使其易于附着在收集板50的表面的方面考虑，例如算术平均粗糙度Ra优选在0.3μm～13μm的范围内。在收集板50的表面的算术平均粗糙度Ra小于0.3μm时，难以除去结露的溶剂，在该算术平均粗糙度Ra大于13μm时，溶剂在收集板50的表面难以发生结露，收集效率降低。

在本实施方式中，如图2所示，多张收集板50以互相分开的状态与基板S平行地层叠配置。此外，对于多张收集板50中的至少两张收集板50而言，优选贯通开口50a整体以不在层叠方向上重合的方式错位地配置，对于至少在层叠方向上邻接的两张收集板50而言，更优选贯通开口50a整体以不在层叠方向上重合的方式错位地配置。另外，对于层叠的多个收集板50而言，也可以是贯通开口50a的一部分在层叠方向上重合的配置。

这样，在本实施方式中，利用多张收集板50形成迷宫构造。自基板S挥发出来的溶剂蒸汽的气流AF被收集板50的迷路构造阻挡了行进方向。会蛇行运动地通过溶剂收集部5。这样，通过在邻接的收集板50之间错开贯通开口50a的位置，能够增加通过溶剂收集部5的溶剂蒸汽和收集板50表面的接触机会，提高收集效率。此外，通过增加或减少具有多个贯通开口50a的收集板50的张数，能够容易地调节从基板S侧到达排气口15a的排气传导性。

控制部

如图1所示，干燥装置100的各构成部成为连接于控制部6而被控制的结构。控制部6包括具有CPU的控制器61、用户接口62以及存储部63。控制器61具有计算机功能，在干燥装置100中整体地控制各构成部。用户接口62由为了供工序管理者管理干燥装置100而进行命令的输入操作等的键盘、可视化地显示干燥装置100的运转状况的显示器等构成。在存储部63中保存有用于利用控制器61的控制来实现由干燥装置100执行的各种处理的控制程序（软件）、记录有处理条件数据等的制程程序。用户接口62和存储部63连接于控制器61。

而且，通过根据需要利用来自用户接口62的指示等从存储部63调出任意的制程程序并使控制器61执行，能够在控制器61的控制下在干燥装置100中进行期望的处理。上述控制程序、处理条件数据等的制程程序可以利用存储在计算机能够读取的存储介质、例如CD－ROM、硬盘、软磁盘、闪存器等中的状态的程序。或者，也可以从其他装置通过例如专用线路随时传送而在线利用。

溶剂脱离装置

在本实施方式的干燥装置100中，溶剂收集部5作为用于使利用各收集板50收集的溶剂再次气化而自收集板50脱离的溶剂脱离装置，包括利用热电转换元件而调节收集板50的温度的温度调节装置7。

温度调节装置7包括多个珀尔帖元件71、用于向各珀尔帖元件71供给直流电流的电源部73、以及将电源部73和各珀尔帖元件71电连接且向各珀尔帖元件71供电的多个供电线75（图1仅图示两根）。各珀尔帖元件71构成为能够在例如-20℃～80℃的范围内控制温度。图1图示了除珀尔帖元件71之外的温度调节装置7的结构，图2仅图示了温度调节装置7的结构中的珀尔帖元件71。此外，图3及图4用虚拟线例示了珀尔帖元件71的安装位置。

如图2～图4所示，珀尔帖元件71固定在各收集板50的多处。各珀尔帖元件71为了能够在与收集板50之间进行热交换而与收集板50面接触。温度调节装置7通过自电源部73向珀尔帖元件71供电，能够使珀尔帖元件71的下表面侧发热，利用导热来将收集板50加热。通过将收集板50加热，能够使利用各收集板50收集的溶剂再次气化，并使其自收集板50迅速地脱离。因而，利用温度调节装置7能够缩短溶剂收集部5的更新时间。

另外，作为溶剂脱离装置，能够使用例如电阻加热型加热器、热泵等加热装置来替代采用珀尔帖元件71的温度调节装置7。

收集促进装置

在本实施方式的干燥装置100中，溶剂收集部5为了提高各收集板50的溶剂收集效率而包括用于促进溶剂附着于收集板50的收集促进装置。在此，作为收集促进装置，能够利用温度调节装置7。像上述那样，温度调节装置7具有作为热电转换元件的珀尔帖元件71。通过使从电源部73向各珀尔帖元件71供给的电流的极性逆转，能够使珀尔帖元件71的下表面侧吸热，将面接触的收集板50冷却。通过将收集板50冷却，处理容器1内的气氛中的溶剂在收集板50的表面易于结露，因此，能够提高溶剂收集部5的溶剂收集效率。

另外，也可以相对于作为溶剂脱离装置的加热用的珀尔帖元件71另外设置冷却专用的珀尔帖元件来作为收集促进装置，并且，也可以配备例如冷风装置、热泵等冷却装置来替代珀尔帖元件。

干燥处理的步骤

接着，说明利用像以上那样构成的干燥装置100进行的干燥处理的步骤。首先，作为前阶段，利用外部的喷墨印刷装置（省略图示）以规定的图案在基板S上印刷有机材料膜。接着，打开闸阀GV，利用外部的输送装置（省略图示）将印刷有有机材料膜的基板S交接到干燥装置100的载置台3。

接着，关闭干燥装置100的闸阀GV，使排气装置19工作而对处理容器1内进行减压排气。然后，在利用压力计25监视处理容器1内的压力的同时，控制APC阀23的开度而减压至规定的真空度。这样，能够实施将形成在基板S上的有机材料膜中所含有的溶剂除去的干燥处理。在该干燥处理之前、或者干燥处理的期间内，例如通过利用作为收集促进装置的温度调节装置7将溶剂收集部5的收集板50冷却，能够高效地收集处理容器1内的气氛中的溶剂。

接着，将排气装置19停止，使处理容器1内升压至规定压力之后，打开干燥装置100的闸阀GV，利用外部的输送装置（省略图示）从处理容器1搬出基板S。利用以上的步骤，完成对1张基板S进行的干燥处理。

完成了干燥处理之后，在使排气装置19工作的状态下，利用作为溶剂脱离装置的温度调节装置7将溶剂收集部5的收集板50加热来进行更新处理。利用该更新处理能够使附着在收集板50上的溶剂气化而迅速地从处理容器1内排出。

应用于有机EL元件的制造工艺的例子

就有机EL元件的制造而言，在阳极和阴极之间作为EL层形成多个有机功能膜。本实施方式的干燥装置100能够应用于制造任何层叠构造的有机EL元件。在此，列举制造作为EL层从阳极侧朝向阴极侧具有正穴注入层／正穴输送层／发光层／电子输送层／电子注入层的有机EL元件的情况的例子来说明利用干燥装置100进行的具体的处理。

图5表示有机EL元件的制造工序的概略。在本例子中，利用STEPl～STEP8的工序制造有机EL元件。在STEPl中，利用例如蒸镀法等以规定的图案在基板S上形成阳极（像素电极）。接着，在STEP2中，在阳极之间形成利用绝缘物形成的分隔壁（堤）。作为用于形成分隔壁的绝缘材料，例如能够使用感光性聚酰亚胺树脂等高分子材料。

接着，在STEP3中，在STEPl中形成的阳极上形成正穴注入层。首先，利用喷墨印刷法在被各分隔壁划分的阳极上印刷成为正穴注入层的材料的有机材料。接着，使用干燥装置100对这样印刷而成的有机材料膜进行用于除去溶剂的减压干燥处理。接着，通过将干燥处理后的基板S移送到烘焙装置而在大气中进行烘焙处理，形成正穴注入层。

接着，在STEP4中，在STEP3中形成的正穴注入层上形成正穴输送层。首先，利用喷墨印刷法在正穴注入层上印刷成为正穴输送层的材料的有机材料。使用干燥装置100对这样印刷而成的有机材料膜进行用于除去溶剂的减压干燥处理。接着，通过将干燥处理后的基板S移送到烘焙装置而在大气中进行烘焙处理，形成正穴输送层。

接着，在STEP5中，在STEP4中形成的正穴输送层上形成发光层。首先，利用喷墨印刷法在正穴输送层上印刷成为发光层的材料的有机材料。使用干燥装置100对这样印刷而成的有机材料膜进行用于除去溶剂的减压干燥处理。接着，通过将干燥处理后的基板S移送到烘焙装置在大气中进行烘焙处理，形成发光层。另外，在发光层由多层构成的情况下，重复上述处理。

接着，通过利用例如蒸镀法在发光层上依次形成电子输送层（STEP6）、电子注入层（STEP7）以及阴极（STEP8），从而能够得到有机EL元件。

在这样的有机EL元件的制造工艺中，干燥装置100能够优选地应用于STEP3（形成正穴注入层）、STEP4（形成正穴输送层）及STEP5（形成发光层）。即，在利用喷墨印刷法印刷了作为各层的前阶段的有机材料膜之后，能够使用干燥装置100对有机材料膜进行减压干燥处理。在这种情况下，由于干燥装置100包括溶剂收集部5，能够使处理容器1内的溶剂液化而将其收集，因此，即使在高真空状态下也能够在短时间内获得优异的溶剂收集效率。此外，干燥装置100通过利用温度调节装置7作为收集促进装置，能够进一步提高溶剂的收集效率，进一步缩短干燥处理时间。

此外，由于干燥装置100包括作为溶剂脱离装置的温度调节装置7，因此，通过将溶剂收集部5的收集板50加热，能够在短时间内将附着的溶剂除去（进行更新处理）。

通过像以上那样使用干燥装置100，能够以高生产率高效地进行有机EL元件的制造工艺中的为了形成EL层所需要的干燥工序。

第2实施方式

接着，参照图6～图8说明本发明的第2实施方式的干燥装置。图6是表示第2实施方式的干燥装置101的概略结构的剖视图。图7是表示图6中的溶剂收集部的主要部分剖视图。作为与第1实施方式的干燥装置100的主要的不同点，在本实施方式的干燥装置101中，在溶剂收集部中包括气体喷射装置8。下面，以与第1实施方式的干燥装置100的不同点为中心进行说明，在本实施方式的干燥装置101中，对与第1实施方式相同的结构标注相同的附图标记并省略说明。

本实施方式的干燥装置101包括能够抽成真空的处理容器1、用于在处理容器1内支承基板S的作为支承构件的载置台3、以及与支承在载置台3上的基板S相对地设置且用于收集自有机材料膜挥发的溶剂的溶剂收集部5A。此外，溶剂收集部5A还包括用于使收集的溶剂脱离的作为溶剂脱离装置的气体喷射装置8。

在本实施方式的干燥装置101中，处理容器1、载置台3、压力控制机构、挡板31以及控制部6的结构与第1实施方式的干燥装置100是同样的。

溶剂收集部

溶剂收集部5A用于收集自形成在基板S上的有机材料膜中挥发的溶剂。也就是说，溶剂收集部5A通过使从有机材料膜中气化的气体状的溶剂结露而将其收集，使处理容器1内的气氛中的溶剂浓度降低。溶剂收集部5A包括与载置在载置台3上的基板S相对且与该基板S的表面大致平行地配置的1张或者多张金属制的收集板50。收集板50的结构与第1实施方式是同样的。

溶剂脱离装置

如图7所示，在本实施方式的干燥装置101中，溶剂收集部5A作为用于使利用各收集板50收集的溶剂再次气化而自收集板50脱离的溶剂脱离装置包括气体喷射装置8。

气体喷射装置8包括多个气体喷出部81（仅图示两个）、向各气体喷出部81供给气体的气体供给源83、以及连接气体供给源83和各气体喷出部81且用于向各气体喷出部81供给气体的多个配管85。在气体喷出部81中设有多个喷嘴81a。此外，气体喷射装置8在配管85的中途还包括用于控制气体流量的质量流量控制器（MFC）87、以及一个或多个开闭阀89（仅图示一个）。利用质量流量控制器87和开闭阀89能够控制从气体喷出部81的喷射的气体的流量、喷射速度等。

多个气体喷出部81设置在能够朝向各收集板50喷射气体的位置。例如，气体喷出部81以包围呈矩形的收集板50的方式设在侧方4处。

作为从气体供给源83供给的气体，例如优选采用氮气、氦气等非活性气体、干燥空气等。通过从气体喷出部81的喷嘴81a朝向收集板50喷射气体，能够使利用各收集板50收集的溶剂再次气化，使其自收集板50迅速地脱离。因而，利用气体喷射装置8能够缩短溶剂收集部5A的更新时间。此外，通过使用气体喷射装置8向处理容器1内导入气体，在处理容器1内产生气流，因此，能够促进将滞留在处理容器1内的溶剂排出。

变形例

接着，参照图8说明第2实施方式的干燥装置101的变形例。本变形例的干燥装置101A在气体喷射装置8A的配管85的中途包括换热器90。利用换热器90能够在例如0℃～50℃的范围内调节从气体供给源83供给来的气体的温度。

在本变形例的干燥装置101A中，例如利用换热器90能够使从气体喷出部81喷射的气体的温度高于室温（25℃）。通过从气体喷出部81的喷嘴81a喷射加热了的气体，能够将收集板50加热，能够提高溶剂自收集板50的脱离效率。即，能够获得通过喷射气体而得到的气化促进效果以及通过加热收集板50而得到的气化促进效果。在这种情况下，能够使气体喷射装置8A作为将收集板50加热的加热装置发挥功能。

此外，在本变形例的干燥装置101A中，除了气体喷射装置8A的气体喷出部81之外还包括多个辅助喷出部91。辅助喷出部91具有未图示的多个喷嘴。多个辅助喷出部91分别利用配管85与气体供给源83相连接，在各配管85的中途包括用于控制气体流量的质量流量控制器（MFC）87、以及一个或多个开闭阀89。辅助喷出部91构成为能够朝向在处理容器1内溶剂易于发生结露的部位、例如处理容器1的8个角部、顶部15、侧壁13、底壁11的内侧、闸阀GV的内侧、波纹管（省略图示）等局部地喷射气体。利用辅助喷出部91能够使附着在除溶剂收集部5A之外的部位的溶剂迅速地气化，促进将其排出到处理容器1之外。因而，能够在短时间内降低处理容器1内的溶剂量，提高基板S的干燥处理的生产率。

此外，在本变形例的干燥装置101A中，利用换热器90能够将从气体供给源83供给来的气体的温度调节得低于室温（25℃）。因此，在本变形例中，能够利用气体供给装置8A作为收集促进装置。在这种情况下，能够使气体喷射装置8A作为将收集板50冷却的冷却装置发挥功能。即，为了提高溶剂收集部5A的各收集板50的溶剂收集效率，从气体喷出部81向收集板50喷射冷却气体，能够将收集板50冷却。例如，通过在干燥处理之前从气体喷出部81的喷嘴81a喷射冷却气体，预先将收集板50冷却，在干燥处理时，处理容器1内的气氛中的溶剂在收集板50的表面易于结露。因而，能够提高溶剂收集部5A的溶剂收集效率。

干燥处理的步骤

接着，说明利用像以上那样构成的干燥装置101、101A进行的干燥处理的步骤。首先，作为前阶段，利用外部的喷墨印刷装置（省略图示）以规定的图案在基板S上印刷有机材料膜。接着，打开闸阀GV，利用外部的输送装置（省略图示）将印刷有有机材料膜的基板S交接到干燥装置101、101A的载置台3。

在使用变形例的干燥装置101A的情况下，优选在将基板S搬入到处理容器1内之前，从作为收集促进装置的气体喷射装置8A的气体喷出部81向溶剂收集部5A喷射冷却气体，预先将溶剂收集部5A冷却。通过预先将溶剂收集部5A冷却，在下一个减压干燥处理过程中能够高效地收集处理容器1内的气氛中的溶剂。

接着，关闭干燥装置101、101A的闸阀GV，使排气装置19工作而对处理容器1内进行减压排气。然后，在利用压力计25监视处理容器1内的压力的同时，控制APC阀23的开度而减压至规定的真空度。这样，能够实施将形成在基板S上的有机材料膜中所含有的溶剂除去的干燥处理。另外，在使用变形例的干燥装置101A的情况下，也可以在干燥处理的期间内从气体喷射装置8A的气体喷出部81向溶剂收集部5A继续喷射冷却气体。

接着，将排气装置19停止，使处理容器1内升压至规定压力之后，打开干燥装置101、101A的闸阀GV，利用外部的输送装置（省略图示）从处理容器1搬出基板S。利用以上的步骤，完成对1张基板S进行的干燥处理。

完成了干燥处理之后，在使排气装置19工作的状态下，通过从作为溶剂脱离装置的气体喷射装置8、8A的气体喷出部81向收集板50喷射气体来进行更新处理。利用该更新处理能够使附着在收集板50上的溶剂气化而迅速地从处理容器1内排出。在此，在使用变形例的干燥装置101A的情况下，通过利用换热器90将从气体喷出部81喷射的气体加热，能够使收集板50的温度上升，因此，能够进一步高效地使溶剂脱离。

本实施方式的其他的结构和效果与第1实施方式是同样的。此外，干燥装置101、101A与第1实施方式同样能够应用于有机EL元件的制造工艺。

第3实施方式

接着，参照图9～图11说明本发明的第3实施方式的干燥装置。图9是表示第3实施方式的干燥装置102的概略结构的剖视图。图10及图11是表示本实施方式的干燥装置102的溶剂收集部的结构例的图。下面，以与第1实施方式的干燥装置100的不同点为中心进行说明，在本实施方式的干燥装置102中，对与第1实施方式相同的结构标注相同的附图标记并省略说明。

本实施方式的干燥装置102包括能够抽成真空的处理容器1、用于在处理容器1内支承基板S的作为支承构件的载置台3、以及与支承在载置台3上的基板S相对地设置且用于收集自有机材料膜挥发的溶剂的溶剂收集部5B。

溶剂收集部

本实施方式的干燥装置102的溶剂收集部5B用于收集自形成在基板S上的有机材料膜中挥发的溶剂。溶剂收集部5B通过使从有机材料膜中气化的气体状的溶剂结露而将其收集，使处理容器1内的气氛中的溶剂浓度降低。在本实施方式中，溶剂收集部5B具有溶剂收集构件110。溶剂收集构件110整体呈厚板状，其与载置在载置台3上的基板S相对且与该基板S的表面大致平行地配置。溶剂收集构件110在其内部具有供热介质流通的流路111。在本实施方式中，溶剂收集部5B还具有用于支承溶剂收集构件110的支承部112。溶剂收集构件110利用支承部112支承于处理容器1的顶部15。

溶剂收集构件110的材质优选为例如以热导率较大的铝、不锈钢等金属为首的导热性材料（例如25℃下的热导率为10W／mK以上的材料）。溶剂收集构件110也可以是例如在中空状的较浅的箱内内置有成为流路111的配管的构造。此外，溶剂收集构件110也可以是层叠多张金属板而构成的，为通过在该金属板中设置槽、开口而形成有流路111的构造。

流路111连接于温控（日文：チラー）单元113。温控单元113具有例如加热用热介质供给源（HOT）115、冷却用热介质供给源（COOL）117。温控单元113经由多个配管连接于溶剂收集构件110的流路111。在图9中，代表性地图示了用于向流路111导入热介质的导入用配管119A和用于使来自流路111的热介质循环的循环用配管119B这两根配管。虽省略图示，但在这些配管的中途设有多个开闭阀。温控单元113构成为能够从加热用热介质供给源（HOT）115或者冷却用热介质供给源（COOL）117经由导入用配管119A向溶剂收集构件110的流路111供给加热或者冷却了的热介质，经由循环用配管119B再次使热介质向温控单元113循环。作为热介质，能够使用例如Galden（注册商标）等氟系热介质、水等。

图10是表示形成在溶剂收集构件110中的流路111的结构例的俯视图。在本结构例中，在溶剂收集构件110的内部形成有1条蜿蜒曲折的流路111。在流路111的两端设有连接于导入用配管119A的导入部121和连接于循环用配管119B的排出部123。在本结构例中，通过在加热用热介质供给源（HOT）115和冷却用热介质供给源（COOL）117之间对从温控单元113向导入部121供给热介质的情况进行切换，能够将溶剂收集构件110迅速地加热或者冷却。

在溶剂收集构件110中，流路111并不限定为1条，也可以被划分为多个部分。图11表示形成在溶剂收集构件110中的流路111的另一个结构例。在本结构例中，形成为漩涡状的两条流路111A、111B配设成内外两层。内侧的流路111A是溶剂收集构件110的中央部分，而且形成在与载置于载置台3的基板S的中央部相对的区域中。在内侧的流路111A的两端设有连接于热介质的导入用配管的导入部121A和连接于热介质的循环用配管的排出部123A。外侧的流路111B是溶剂收集构件110的周缘部分，而且形成在与载置于载置台3的基板S的周缘部相对的区域中。在外侧的流路111B的两端设有连接于热介质的导入用配管的导入部121B和连接于热介质的循环用配管的排出部123B。通过从温控单元113的加热用热介质供给源（HOT）115或者冷却用热介质供给源（COOL）117经由导入部121A向流路111A供给加热或者冷却了的热介质，能够控制溶剂收集构件110的中央部分的温度。此外，通过从温控单元113的加热用热介质供给源（HOT）115或者冷却用热介质供给源（COOL）117经由导入部121B向流路111B供给加热或者冷却了的热介质，能够控制溶剂收集构件110的周缘部分的温度。这样，在图11所示的结构例中，通过从温控单元113独立地向形成为内外两层的流路111A、111B供给进行了温度调节的热介质，能够独立地控制溶剂收集构件110的中央部分和周缘部分的温度。

另外，流路111也可以被划分为3个以上。此外，溶剂收集构件110中的流路111的形状、配置并不限定于图10及图11所例示的形态。

如图9所示，本实施方式的干燥装置102在处理容器1中具有与溶剂收集部5B接近地设置的作为第1排气口的排气口15a、以及与该排气口15a相对地设置的作为第2排气口的多个排气口11a。排气口15a形成在处理容器1的顶部15。排气口15a经由排气管17连接于外部的排气装置19。在排气管17的中途设有APC阀23和未图示的开闭阀。由于排气口15a与溶剂收集部5B接近地设置，因此，通过使排气装置19工作，能够将收集在溶剂收集部5B的溶剂迅速地排出到处理容器1之外。

多个排气口11a形成在处理容器1的底壁11。干燥装置102还包括连接各排气口11a和排气装置19的排气管131、以及设于各排气管131的中途的APC阀133和未图示的开闭阀。在干燥装置102中，多个排气口11a经由排气管131连接于外部的排气装置19。而且，干燥装置102构成为通过使排气装置19工作，并且调节APC阀23、133的开度，能够将处理容器1内减压排气至规定的真空度、例如0.1Pa左右的压力。

另外，排气管17和排气管131也可以分别连接于各个排气装置。

本实施方式的干燥装置102在构成处理容器1的底壁11、侧壁13以及顶部15的壁内分别形成有供热介质流通的流路11b、13b、15b。各流路11b、13b、15b分别经由多个配管连接于温控单元113。在底壁11的流路11b上连接有用于导入来自温控单元113的热介质的导入用配管135A、以及用于使流路11b内的热介质向温控单元113循环的循环用配管135B。在侧壁13的流路13b上连接有用于导入来自温控单元113的热介质的导入用配管137A、以及用于使流路13b内的热介质向温控单元113循环的循环用配管137B。在顶部15的流路15b上连接有用于导入来自温控单元113的热介质的导入用配管139A、以及用于使流路15b内的热介质向温控单元113循环的循环用配管139B。

这样，在本实施方式的干燥装置102中，构成为能够从温控单元113向各流路11b、13b、15b内独立地供给加热或者冷却了的热介质，能够独立地调节处理容器1的底壁11、侧壁13以及顶部15的温度。由此，能够高效地对基板S的有机材料膜进行干燥处理、以及自包含溶剂收集部5B的处理容器1内除去溶剂（更新处理）。例如在对基板S的有机材料膜进行干燥处理之前以及干燥处理的期间内，通过向流路11b、13b、15b内供给冷却了的热介质，能够将底壁11、侧壁13以及顶部15冷却而促进溶剂附着于这些壁面。其结果，能够降低处理容器1内的气氛中的溶剂浓度，促进溶剂自基板S的有机材料膜挥发。此外，在干燥处理之后进行更新处理时，通过向流路11b、13b、15b内供给加热了的热介质，能够将底壁11、侧壁13以及顶部15加热，促进附着在这些壁面上的溶剂脱离。其结果，能够提高溶剂自包含溶剂收集部5B的处理容器1内的排出效率，缩短更新处理的时间。

另外，也可以以从外侧覆盖处理容器1的方式在处理容器1的外部配备例如夹套式的换热器，来替代向流路11b、13b、15b供给热介质。

此外，本实施方式的干燥装置102还包括用于测量处理容器1内的温度和溶剂蒸汽的浓度的传感器部141。传感器部141具有用于测量处理容器1内的气氛的温度的温度传感器、以及用于测量处理容器1内的气氛的溶剂浓度的浓度传感器。浓度传感器只要是能够测量气相中的溶剂浓度的传感器即可，能够利用例如电容型、电阻型等的传感器。利用传感器部141能够监视处理容器1内的气氛的温度和溶剂浓度。例如通过在干燥处理的期间内利用传感器部141测量处理容器1内的温度和溶剂蒸汽的浓度，能够间接地把握基板S表面的有机材料膜的干燥程度、溶剂收集部5B的溶剂的收集状态等。此外，在干燥处理之后，通过利用传感器部141测量处理容器1内的温度和溶剂蒸汽的浓度，能够把握更新处理后的溶剂收集部5B中的溶剂的残留量、处理容器1内的溶剂的残留量。此外，利用传感器部141监视处理容器1内的温度和溶剂蒸汽的浓度在干燥处理的前后将处理容器1内维持在相同的条件的目的上是有效的。因而，通过在控制部6的控制下利用传感器部141监视处理容器1内的气氛的温度和溶剂浓度，在向干燥装置102的处理容器1内依次替换多个基板S而进行干燥处理的情况下，能够谋求多个基板S之间的处理的均匀化。

此外，本实施方式的干燥装置102在作为支承构件的载置台3中还具有加热器143。加热器143是例如电阻加热型的加热器，通过从处理容器1的外部的电源部145供电，能够将载置台3和载置在该载置台3上的基板S加热到规定温度。在干燥处理的期间内，通过利用加热器143将基板S加热，能够高效地使涂敷在基板S的表面上的有机材料膜中的溶剂蒸发，并缩短干燥处理的时间。

在本实施方式的干燥装置102中，控制部6的结构与第1实施方式的干燥装置100是同样的。

干燥处理的步骤

接着，参照图12说明利用干燥装置102进行的干燥处理的步骤。图12是表示在干燥装置102中对多个基板S进行的干燥处理的步骤的一例子的时序图。在图12中表示了将基板S依次替换到处理容器1内而进行的两次干燥处理、以及在这些干燥处理的期间内进行的处理容器1和溶剂收集部5B的更新处理。在图12中，横轴的tl～t7表示时间，在从tl到t2的期间内对第1张基板S进行第1次干燥处理，在从t6到t7的期间内对第2张基板S进行第2次干燥处理。在完成了第1次干燥处理的从t2到t6的期间内进行更新处理。另外，在图12中，“上部排气”的意思是指从接近溶剂收集部5B的顶部15的排气口15a进行排气，“下部排气”的意思是指从底壁11的多个排气口11a进行排气。

首先，作为前阶段，利用外部的喷墨印刷装置（省略图示）以规定的图案在基板S上印刷有机材料膜。接着，打开闸阀GV，利用外部的输送装置（省略图示）将印刷有有机材料膜的基板S交接到干燥装置102的载置台3。

接着，在tl时，关闭干燥装置102的闸阀GV，使排气装置19工作而对处理容器1内进行减压排气。然后，在利用压力计25监视处理容器1内的压力的同时，控制APC阀133的开度而减压至规定的真空度。这样，能够实施将形成在基板S上的有机材料膜中所含有的溶剂除去的干燥处理。在该干燥处理之前、或者干燥处理的期间内，例如通过向溶剂收集部5B的溶剂收集构件110的流路111中流入冷却用热介质来进行冷却，能够高效地使处理容器1内的气氛中的溶剂附着于溶剂收集构件110并进行收集。此外，在从tl到t2的干燥处理的期间内，通过向载置台3的加热器143通电而将基板S加热，能够促进有机材料膜中的溶剂蒸发，并缩短干燥时间。另外，在从tl到t2的干燥处理的期间内，也可以通过从温控单元113向处理容器1的底壁11、侧壁13以及顶部15的流路11b、13b、15b中流入冷却了的热介质来进行冷却，促进溶剂附着于处理容器1的壁。此外，在从tl到t2的干燥处理的期间内，也可以利用传感器部141监视处理容器1内的气氛中的温度和溶剂浓度，基于该结果，从控制部6向排气装置19、APC阀133发送控制信号，实时地控制来自处理容器1内的排气量、处理容器1内的压力。同样，在从tl到t2的干燥处理的期间内，也可以基于传感器部141的监视结果，从控制部6向电源部145发送控制信号，实时地控制利用加热器143对基板S进行加热的温度。

接着，在t2时，将排气装置19停止，使处理容器1内升压至大气压之后，打开干燥装置102的闸阀GV，利用外部的输送装置（省略图示）从处理容器1搬出基板S。利用以上的步骤，完成对1张基板S进行的干燥处理。

在完成了干燥处理之后，从t2开始一边使排气装置19工作而从排气口15a进行上部排气一边将溶剂收集部5B的溶剂收集构件110和处理容器1加热来进行更新处理。利用该更新处理，能够高效地使附着在溶剂收集构件110、处理容器1的壁上的溶剂气化而从处理容器1内迅速地排出。具体地讲，在从自t2稍稍延后的t3到t4的期间内，通过从温控单元113向溶剂收集构件110的流路111中流入加热了的热介质并进行加热，促进附着在溶剂收集构件110上的溶剂的气化而将其排出。此外，在从t3到t5的期间内，通过从温控单元113向处理容器1的底壁11、侧壁13以及顶部15的流路11b、13b、15b中流入加热了的热介质并进行加热，使附着在处理容器1的壁上的溶剂气化而促进排气。在这种情况下，在完成了对溶剂收集构件110的加热的t4之后到t5的期间内，继续加热处理容器1。在该从t4到t5的期间内，一边将处理容器1加热一边利用传感器部141测量处理容器1内的温度和溶剂浓度，为了对第2张基板S进行处理而调整处理容器1内的条件。这样，在从t2到t6的期间内，通过进行包含处理容器1内的条件调整的更新处理，能够使在干燥装置102中依次对多个基板S进行干燥处理的情况下的条件一致为恒定，因此，能够在多个基板S之间确保干燥状态的均匀性。

在完成了更新处理之后，打开闸阀GV，利用外部的输送装置（省略图示）将印刷有有机材料膜的基板S交接到干燥装置102的载置台3。然后，在从t6到t7时，能够与从tl到t2同样地对第2张基板S进行干燥处理。

像以上那样，能够在替换处理容器1内的基板S的同时，对规定张数的基板S依次进行干燥处理。

本实施方式的其他的结构和效果与第1实施方式是同样的。此外，干燥装置102与第1实施方式同样能够应用于有机EL元件的制造工艺。

以上，出于例示的目的详细地说明了本发明的实施方式，但本发明并不被限制为上述实施方式，能够进行各种变形。例如，有机EL元件的制造工序并不限定于图5所例示的工序。即使在例如EL层具有从阳极侧朝向阴极侧按照［正穴输送层／发光层／电子输送层］、［正穴注入层／正穴输送层／发光层／电子输送层］等的顺序层叠的构造的有机EL元件的制造中，也能够同样地应用本发明的干燥装置100、101、101A、102。

此外，在第1实施方式的干燥装置100、第2实施方式的干燥装置101、101A中，能够与第3实施方式的干燥装置102同样在处理容器1中设置多个排气口。此外，在第1实施方式的干燥装置100、第2实施方式的干燥装置101、101A中，能够与第3实施方式的干燥装置102同样设置用于将处理容器1的底壁11、侧壁13以及顶部15加热或者冷却的机构。并且，在第1实施方式的干燥装置100、第2实施方式的干燥装置101、101A中，能够与第3实施方式的干燥装置102同样设置用于测量处理容器1内的温度和溶剂蒸汽的浓度的传感器部。并且，在第1实施方式的干燥装置100、第2实施方式的干燥装置101、101A中，能够与第3实施方式的干燥装置102同样在作为支承构件的载置台3中设置加热器。

附图标记说明

1、处理容器；3、载置台；5、5A、溶剂收集部；6、控制部；7、温度调节装置；8、气体喷射装置；11、底壁；13、侧壁；15、顶部；15a、排气口；17、排气管；19、排气装置；21、支柱；23、APC阀；25、压力计；31、挡板；33、支承框；50、收集板；50a、贯通开口；61、控制器；62、用户接口；63、存储部；71、珀尔帖元件；73、电源部；75、供电线；81、气体喷出部；81a、喷嘴；83、气体供给源；85、配管；87、质量流量控制器；90、换热器；91、辅助喷出部；100、101、101A、102、干燥装置；S、基板、GV、闸阀；AF、气流。

Claims (25)

1.一种干燥装置，其除去被涂敷在基板的表面上的有机材料膜中的溶剂而使有机材料膜干燥，其特征在于，

该干燥装置包括能够抽成真空的处理容器、用于排出上述处理容器内的气体的排气口、用于在上述处理容器内支承上述基板的支承构件、以及用于收集自上述有机材料膜挥发的溶剂的溶剂收集部。

2.根据权利要求1所述的干燥装置，其中，

上述溶剂收集部包括与支承在上述支承构件上的上述基板相对地设置的、具有多个贯通开口的一张或者多张金属板。

3.根据权利要求2所述的干燥装置，其中，

在上述溶剂收集部中，上述多张金属板以互相分开的状态与支承在上述支承构件上的上述基板平行地层叠配置。

4.根据权利要求3所述的干燥装置，其中，

上述多张金属板中的至少两张上述金属板以上述贯通开口整体在层叠方向上不重合的方式错位地配置。

5.根据权利要求2～4中任一项所述的干燥装置，其中，

上述金属板的上述贯通开口的开口率在20%～80%的范围内。

6.根据权利要求2～5中任一项所述的干燥装置，其中，

上述金属板的表面的算术平均粗糙度Ra在0.3μm～13μm的范围内。

7.根据权利要求2～6中任一项所述的干燥装置，其中，

上述金属板的厚度在0.2mm～2mm的范围内。

8.根据权利要求2～7中任一项所述的干燥装置，其中，

在上述金属板的面内，上述贯通开口以不均匀的分布方式形成。

9.根据权利要求1～8中任一项所述的干燥装置，其中，

上述溶剂收集部具有用于使收集的溶剂脱离的溶剂脱离装置。

10.根据权利要求9所述的干燥装置，其中，

上述溶剂脱离装置是用于加热上述金属板的加热装置。

11.根据权利要求9所述的干燥装置，其中，

上述溶剂脱离装置是用于向上述金属板喷射气体的气体喷射装置。

12.根据权利要求1～11中任一项所述的干燥装置，其中，

上述溶剂收集部还具有用于促进溶剂的收集的收集促进装置。

13.根据权利要求12所述的干燥装置，其中，

上述收集促进装置是用于对上述金属板进行冷却的冷却装置。

14.根据权利要求1～13中任一项所述的干燥装置，其中，

该干燥装置在上述溶剂收集部和上述排气口之间还包括整流构件。

15.根据权利要求1所述的干燥装置，其中，

上述溶剂收集部具有溶剂收集构件，该溶剂收集构件在其内部具有供热介质流通的流路。

16.根据权利要求15所述的干燥装置，其中，

在上述流路上连接有加热用热介质供给源。

17.根据权利要求15或16所述的干燥装置，其中，

在上述流路上连接有冷却用热介质供给源。

18.根据权利要求15所述的干燥装置，其中，

上述流路被划分为分别独立地供热介质流通的多个部分。

19.根据权利要求18所述的干燥装置，其中，

上述流路具有连接有加热用热介质供给源的第1流路和连接有冷却用热介质供给源的第2流路。

20.根据权利要求15～19中任一项所述的干燥装置，其中，

作为上述排气口，该干燥装置具有与上述溶剂收集部接近地设置的第1排气口和与上述第1排气口相对地设置的第2排气口。

21.根据权利要求15～20中任一项所述的干燥装置，其中，

该干燥装置还包括用于测量上述处理容器内的溶剂蒸汽的浓度的传感器。

22.根据权利要求15～21中任一项所述的干燥装置，其中，

该干燥装置在构成上述处理容器的壁内具有供热介质流通的流路。

23.根据权利要求15～22中任一项所述的干燥装置，其中，

上述支承构件具有加热器。

24.一种干燥处理方法，其中，

在权利要求1～23中任一项所述的干燥装置的上述处理容器内对涂敷在上述基板的表面上的有机材料膜进行干燥处理。

25.根据权利要求24所述的干燥处理方法，其中，

上述有机材料膜在制造有机EL元件的过程中利用喷墨印刷法涂敷在上述基板上。