CN110421977A - 冷凝机构及减压干燥装置 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种冷凝机构及减压干燥装置，所述冷凝机构包括冷凝基板和冷凝活动板，所述冷凝基板的一面为冷凝面，所述冷凝面用于朝向所述样品台设置，所述冷凝活动板位于所述冷凝基板与所述样品台之间且具有第一状态和第二状态，所述第一状态为所述冷凝活动板贴合于所述冷凝面的状态，所述第二状态为所述冷凝活动板不贴合于所述冷凝面的状态。使用该冷凝机构时，可将与喷墨打印起始区域对应的冷凝活动板切换为第二状态，从而玻璃基板上与冷凝活动板对应的区域的有机溶剂蒸发速度小于其他区域。这样可以将整面玻璃基板上的蒸发状况差异降低，从而保证了在减压干燥工艺时的成膜均匀性。

Description

冷凝机构及减压干燥装置
技术领域
本发明涉及显示技术领域，特别是涉及一种冷凝机构及减压干燥装置。
背景技术
在生产上，OLED中某些功能材料可以采用喷墨打印工艺制作，例如空穴注入层(HIL)，空穴传输层(HTL)，发光层材料(EML)等。如图1所示，即通过喷墨打印头120用喷墨打印的方式将功能层材料墨水130打印到像素坑110内。OLED器件效率的影响因素中，各功能层材料的成膜均匀性是很重要的考察点。OLED器件制作工艺中对墨水材料成膜的均匀性影响较大的一个步骤即是减压干燥工艺，墨水中的溶剂成分挥发速率以及腔体内的气压控制等对墨水材料成膜的均匀性有重要影响。
目前针对小尺寸的玻璃基板，喷墨打印工艺中的制程时间比较短，例如进行空穴注入层(HIL)喷墨打印时，一个墨水填充元件就可以完成打印，并且在小尺寸的玻璃基板上起始打印的时间和结束打印的时间相差不是太长，这样同一层的墨水在打印完成后各区域干燥程度差异不大。但是如图2所示，针对大尺寸的玻璃基板140时，先进行喷墨打印的区域A和后进行喷墨打印的区域B因为间隔时间过长，导致墨水材料的干燥程度差异过大，后续进行减压干燥处理后，会出现成膜膜质不均匀。
发明内容
基于此，有必要提供一种能够在减压干燥过程中提高成膜均匀性的冷凝机构。
一种冷凝机构，用于对放置在减压干燥装置内的样品台上的样品进行冷却，所述冷凝机构包括冷凝基板和冷凝活动板，所述冷凝基板的一面为冷凝面，所述冷凝面用于朝向所述样品台设置，所述冷凝活动板位于所述冷凝基板与所述样品台之间且具有第一状态和第二状态，所述第一状态为所述冷凝活动板贴合于所述冷凝面的状态，所述第二状态为所述冷凝活动板不贴合于所述冷凝面的状态。
使用本发明的冷凝机构对放置在减压干燥装置的样品台上的玻璃基板进行冷却时，可将与喷墨打印起始区域对应的冷凝活动板切换为第二状态，即冷凝活动板与冷凝基板不贴合，此时冷凝活动板至少部分与冷凝基板分离，于是冷凝活动板的温度高于冷凝基板。那么冷凝活动板与玻璃基板之间的温差小于冷凝基板与玻璃基板之间的温差，从而玻璃基板上与冷凝活动板对应的区域，即喷墨打印起始区域的有机溶剂蒸发速度小于其他区域。这样可以将整面玻璃基板上的蒸发状况差异降低，避免了玻璃基板上不同区域干燥氛围差异过大的问题，从而保证了在减压干燥工艺时的成膜均匀性。
在其中一个实施例中，还包括驱动件，所述驱动件与所述冷凝活动板连接以用于驱动所述冷凝活动板在所述第一状态和所述第二状态切换。
在其中一个实施例中，所述冷凝活动板能相对所述冷凝基板在所述冷凝基板与所述样品台之间转动。
在其中一个实施例中，所述冷凝活动板相对所述冷凝基板可转动的幅度小于等于45°。
在其中一个实施例中，所述冷凝活动板的数量为多个，多个所述冷凝活动板沿所述冷凝面的延伸方向紧密排列，所述驱动件的数量为多个且与所述冷凝活动板一一对应连接。
在其中一个实施例中，还包括固定板，所述固定板位于所述冷凝基板远离所述冷凝活动板的一侧，所述驱动件安装于所述固定板上。
在其中一个实施例中，所述冷凝活动板可相对所述冷凝基板平行移动以使所述冷凝活动板在所述第一状态和所述第二状态切换。
在其中一个实施例中，所述冷凝活动板的厚度为1～2mm，材质为不锈钢。
本发明还提供了一种减压干燥装置，包括上述冷凝机构和样品台，所述冷凝基板与所述样品台间隔相对设置，且所述冷凝面朝向所述样品台设置。
在其中一个实施例中，还包括升降组件，所述升降组件与所述样品台连接，以用于改变所述样品台的高度。
附图说明
图1为OLED器件制作中喷墨打印示意图；
图2为大尺寸玻璃基板的传统减压干燥工艺成膜膜质不均匀示意图；
图3为一实施例的冷凝机构的结构示意图；
图4为一实施例的减压干燥装置的结构示意图；
图5为另一实施例的冷凝机构的结构示意图；
图6为另一实施例的冷凝机构的结构示意图。
具体实施方式
为了便于理解本发明，下面将对本发明进行更全面的描述，并给出了本发明的较佳实施例。但是，本发明可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本发明的公开内容的理解更加透彻全面。
除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本发明。本文所使用的术语“和/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
如图3和图4所示，本发明一实施例的冷凝机构200包括冷凝基板210和冷凝活动板220，冷凝基板210的一面为冷凝面211，冷凝面211用于朝向样品台301设置，冷凝活动板220位于冷凝基板210与样品台301之间且具有第一状态和第二状态，第一状态为冷凝活动板220贴合于冷凝面211的状态，第二状态为冷凝活动板220不贴合于冷凝面211的状态。
减压干燥的目的是将功能性材料墨水等样品中的溶剂成分蒸发，保留功能性材料墨水中的固态成分，即保留功能性材料成分。有机溶剂由玻璃基板中蒸出，以气态的形式向上扩散，气态有机溶剂的浓度逐渐升高。由于冷凝机构的板面温度低于样品台的台面温度，气态的有机溶剂会在冷凝机构上凝结为液态，随着气态有机溶剂的凝结使气态有机溶剂的浓度降低，从而促进有机溶剂的进一步蒸发。冷凝机构与样品台之间的温差越大，冷凝速度就越快，有机溶剂的蒸发速度也就越快。
使用本发明的冷凝机构200对样品台301上的玻璃基板400进行冷却时，可将与喷墨打印起始区域对应的冷凝活动板220切换为第二状态，即冷凝活动板220与冷凝基板210不贴合，此时冷凝活动板220至少部分与冷凝基板210分离，于是冷凝活动板220的温度高于冷凝基板210。那么冷凝活动板220与玻璃基板400之间的温差小于冷凝基板210与玻璃基板400之间的温差，从而玻璃基板400上与冷凝活动板220对应的区域，即喷墨打印起始区域的有机溶剂蒸发速度小于其他区域。这样可以将整面玻璃基板400上的蒸发状况差异降低，避免了玻璃基板上不同区域干燥氛围差异过大的问题，从而保证了在减压干燥工艺时的成膜均匀性。
在一个实施例中，冷凝机构200还包括驱动件230，驱动件230与冷凝活动板220连接以用于驱动冷凝活动板220在第一状态和第二状态切换。
在一个实施例中，冷凝活动板220能相对冷凝基板210在冷凝基板210与样品台301之间转动。具体地，冷凝活动板220的一端与驱动件230连接，另一端与冷凝基板210连接，驱动件230可驱动冷凝活动板220的一端以另一端为轴转动，从而在第一状态和第二状态切换。可选地，冷凝活动板220相对冷凝基板210可转动的幅度小于等于45°。可以理解，在其他实施例中，冷凝活动板220可相对冷凝基板210平行移动以使冷凝活动板220在第一状态和第二状态切换，冷凝活动板220的运动方式不限于此，可根据需要设置，只要能够使冷凝活动板220在第一状态和第二状态切换即可。
在一个实施例中，冷凝活动板220的数量为多个，多个冷凝活动板220沿冷凝面211的延伸方向紧密排列，驱动件230的数量为多个且与冷凝活动板220一一对应连接。如此，可根据需要独立地驱动多个冷凝活动板220切换至第二状态，并独立地调节各个冷凝活动板220与冷凝基板210之间的夹角，以更加精确地调节玻璃基板不同区域的蒸发速率，进一步提高成膜均匀性。如图3所示的实施例中，所有冷凝活动板220均处于第二状态，如图4所示的实施例中，一部分冷凝活动板220处于第一状态，另一部分冷凝活动板220处于第二状态。
可选地，如图5所示，冷凝活动板220可为矩形并沿冷凝面211平行排列，或者如图6所示，冷凝活动板220为矩形且沿冷凝面211成矩阵排列，可以理解，冷凝活动板220的形状和排列方式不限于此，可根据需要进行设置。可选地，在其他实施例中，冷凝活动板220的数量为一个，其尺寸与冷凝基板210的尺寸相同，当冷凝活动板220转动一定角度处于第二状态时，自冷凝活动板220的一端到另一端形成温度梯度，从而使玻璃基板400上对应的一端到另一端的蒸发速度呈梯度变化。可以理解，冷凝活动板220的形状不限于此，可根据需要设置，以便灵活控制。可选地，驱动件230为气缸。
在一个实施例中，冷凝机构200还包括固定板240，固定板240位于冷凝基板210远离冷凝活动板220的一侧，驱动件230安装于固定板240上。可选地，冷凝活动板220的厚度为1～2mm，材质为不锈钢。
如图4所示，本发明一实施例的减压干燥装置300包括上述冷凝机构200和样品台301。冷凝基板210与样品台301间隔相对设置，且冷凝面211朝向样品台301设置。
在一个实施例中，减压干燥装置300还包括升降组件302，升降组件302与样品台301连接，以用于改变样品台的高度，从而改变玻璃基板400与冷凝机构200的距离。
可选地，冷凝基板210与样品台301之间的温差为15～20℃，距离为10mm以内。
在使用本实施例的减压干燥装置300进行减压干燥时，将玻璃基板400放置于样品台301上，在减压干燥装置300内的压力达到预设值后，通过升降组件302调整样品台301的高度。然后将与玻璃基板400上喷墨打印起始区域对应的冷凝活动板220调整为第二状态，使喷墨打印起始区域的有机溶剂蒸发速度降低，从而使整面玻璃基板400上的蒸发状况差异降低，避免了玻璃基板400上不同区域干燥氛围不同的问题，从而保证了在减压干燥工艺时的成膜均匀性。可以理解，还可通过控制系统对冷凝活动板220进行自动控制，根据参数设定程序使冷凝活动板220在第一状态和第二状态自动切换。
以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种冷凝机构，用于对放置在减压干燥装置内的样品台上的样品进行冷却，其特征在于，所述冷凝机构包括冷凝基板和冷凝活动板，所述冷凝基板的一面为冷凝面，所述冷凝面用于朝向所述样品台设置，所述冷凝活动板位于所述冷凝基板与所述样品台之间且具有第一状态和第二状态，所述第一状态为所述冷凝活动板贴合于所述冷凝面的状态，所述第二状态为所述冷凝活动板不贴合于所述冷凝面的状态。
2.根据权利要求1所述的冷凝机构，其特征在于，还包括驱动件，所述驱动件与所述冷凝活动板连接以用于驱动所述冷凝活动板在所述第一状态和所述第二状态切换。
3.根据权利要求2所述的冷凝机构，其特征在于，所述冷凝活动板能相对所述冷凝基板在所述冷凝基板与所述样品台之间转动。
4.根据权利要求3所述的冷凝机构，其特征在于，所述冷凝活动板相对所述冷凝基板可转动的幅度小于等于45°。
5.根据权利要求2所述的冷凝机构，其特征在于，所述冷凝活动板的数量为多个，多个所述冷凝活动板沿所述冷凝面的延伸方向紧密排列，所述驱动件的数量为多个且与所述冷凝活动板一一对应连接。
6.根据权利要求2所述的冷凝机构，其特征在于，还包括固定板，所述固定板位于所述冷凝基板远离所述冷凝活动板的一侧，所述驱动件安装于所述固定板上。
7.根据权利要求1所述的冷凝机构，其特征在于，所述冷凝活动板可相对所述冷凝基板平行移动以使所述冷凝活动板在所述第一状态和所述第二状态切换。
8.根据权利要求1～7任一项所述的冷凝机构，其特征在于，所述冷凝活动板的厚度为1～2mm，材质为不锈钢。
9.一种减压干燥装置，其特征在于，包括权利要求1～8任一项所述的冷凝机构和样品台，所述冷凝基板与所述样品台间隔相对设置，且所述冷凝面朝向所述样品台设置。
10.根据权利要求9所述的减压干燥装置，其特征在于，还包括升降组件，所述升降组件与所述样品台连接，以用于改变所述样品台的高度。
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