CN113972348B - 真空干燥装置与oled显示面板的制备方法 - Google Patents

Abstract

本申请实施例提供一种真空干燥装置与OLED显示面板的制备方法。本申请实施例的真空干燥装置通过在外腔体的内部设置内隔体，采用监控装置来监控OLED基板的干燥情况，并采用控制装置基于OLED基板的干燥情况对内隔体上的可调节气孔的大小进行调整。当OLED基板上周边区域的干燥速率较快时，可以通过降低内隔体上位于OLED基板周围的区域的可调节气孔的尺寸，来降低OLED基板上周边区域的干燥速率，使OLED基板的周边区域与中间区域的干燥速率保持一致，从而使得干燥结束后OLED基板上各个区域的膜层的厚度保持均匀，制得的OLED显示面板上各个区域的亮度也保持一致。

Description

真空干燥装置与OLED显示面板的制备方法

技术领域

本申请涉及真空干燥技术领域，特别涉及一种真空干燥装置与OLED显示面板的制备方法。

背景技术

有机电致发光显示器(Organic Light-Emitting Diode，简称OLED)相对于液晶显示器具有自发光、反应快、视角广、亮度高、色彩艳、轻薄等优点，被认为是下一代显示技术。OLED的发展趋势向着喷墨打印的方向进行，喷墨打印是精准地将打印墨水一滴一滴地滴入像素定义层凹槽内，然后干燥、烘烤成膜；通过控制每滴液滴的体积、液滴数和墨水浓度控制像素定义层凹槽内成膜厚度。打印后的真空干燥(Vacuum Dry，简称VCD)制程直接关系到器件成膜均一性，是影响器件发光的关键之一。

现有的真空干燥工艺存在的问题是：位于OLED基板周边区域的打印膜层的溶剂挥发速度较快，位于OLED基板中间区域的打印膜层的溶剂挥发速度较慢，导致真空干燥制程结束后，容易出现中间区域的打印膜层的厚度较大(较为湿润)，而周边区域的打印膜层的厚度较小(较为干燥)，从而在OLED基板进行画面显示时容易出现不同区域的亮度不均匀(mura)的现象。

发明内容

本申请实施例提供一种真空干燥装置与OLED显示面板的制备方法，该真空干燥装置可以应用于OLED显示面板的制备方法中，使制得的OLED显示面板上各个区域的膜层的厚度保持均匀，制得的OLED显示面板上各个区域的亮度也保持一致。

第一方面，本申请实施例提供一种真空干燥装置，包括：

外腔体；

内隔体，所述内隔体设于所述外腔体的内部，所述内隔体上设有可调节气孔；

监控装置，所述监控装置用于监控OLED基板的干燥情况；

控制装置，所述控制装置用于根据所述OLED基板的干燥情况对所述可调节气孔的大小进行调整。

在一些实施例中，所述内隔体包括相对设置的顶板与底板以及设于所述顶板与所述底板之间的数个侧板；

所述顶板、所述底板以及数个所述侧板均包括支架以及安装于所述支架上的多个叶片，多个所述叶片与所述支架之间为转动连接；所述叶片在所述控制装置的控制下相对于所述支架进行转动；

任意相邻的两个所述叶片之间以及所述叶片与所述支架之间形成所述可调节气孔，当所述叶片转动时，所述可调节气孔的大小发生变化。

在一些实施例中，所述真空干燥装置还包括分压板，所述分压板设于所述内隔体的内部；

所述分压板包括相对设置的第一板体与第二板体以及设于所述第一板体与所述第二板体之间的吸附层，所述第一板体与所述第二板体上均设置有多个第一通孔。

在一些实施例中，所述监控装置包括摄像头，所述摄像头安装于所述分压板上。

在一些实施例中，所述摄像头外部设有防护罩。

在一些实施例中，所述真空干燥装置还包括设于所述内隔体内部的支撑平台，所述支撑平台设于所述分压板下方，所述支撑平台用于支撑待干燥的OLED基板，所述支撑平台内设有加热元件，所述加热元件发热时所述支撑平台的温度升高。

在一些实施例中，所述真空干燥装置还包括升降机构，所述升降机构用于控制所述支撑平台的升降。

在一些实施例中，所述真空干燥装置还包括支撑柱，所述支撑柱设于所述分压板下方，所述支撑柱的一端位于所述内隔体的内部，所述支撑平台上设有第二通孔，所述第二通孔用于在所述支撑平台上下移动时使所述支撑柱贯穿于其中。

在一些实施例中，所述吸附层的材料包括活性炭。

第二方面，本申请实施例提供一种OLED显示面板的制备方法，包括：

提供第一基板，所述第一基板上设有多个凹槽；

在多个所述凹槽内打印墨水，采用真空干燥装置对所述墨水进行干燥处理，使所述墨水中的溶剂挥发，形成膜层，所述真空干燥装置为如上所述的真空干燥装置。

本申请实施例的真空干燥装置通过在外腔体的内部设置内隔体，采用监控装置来监控OLED基板的干燥情况，并采用控制装置基于OLED基板的干燥情况对内隔体上的可调节气孔的大小进行调整。当OLED基板上周边区域的干燥速率较快时，可以通过降低内隔体上位于OLED基板周围的区域的可调节气孔的尺寸，来降低OLED基板上周边区域的干燥速率，使OLED基板的周边区域与中间区域的干燥速率保持一致，从而使得干燥结束后OLED基板上各个区域的膜层的厚度保持均匀，制得的OLED显示面板上各个区域的亮度也保持一致。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请实施例提供的真空干燥装置的部分结构的俯视示意图。

图2为本申请实施例提供的真空干燥装置的部分结构的第一种侧视示意图。

图3为本申请实施例提供的真空干燥装置的部分结构的第二种侧视示意图。

图4为本申请实施例提供的真空干燥装置的部分结构的第三种侧视示意图。

图5为本申请实施例提供的内隔体的立体结构示意图。

图6为本申请实施例提供的内隔体的部分结构示意图。

图7为本申请实施例提供的分压板的俯视示意图。

图8为本申请实施例提供的分压板的侧视示意图。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

请参阅图1至图4，图1为本申请实施例提供的真空干燥装置的部分结构的俯视示意图，图2为本申请实施例提供的真空干燥装置的部分结构的第一种侧视示意图，图3为本申请实施例提供的真空干燥装置的部分结构的第二种侧视示意图，图4为本申请实施例提供的真空干燥装置的部分结构的第三种侧视示意图。本申请实施例提供一种真空干燥装置100，包括外腔体10、内隔体20、监控装置以及控制装置，内隔体20设于外腔体10的内部，内隔体20上设有可调节气孔212；监控装置用于监控OLED基板80的干燥情况；控制装置用于根据OLED基板80的干燥情况对可调节气孔212的大小进行调整。

需要说明的是，OLED基板80指的是在OLED显示面板的制备过程中产生的半成品，OLED基板80上存在墨水(例如喷墨打印墨水)，需要进行干燥处理，以使墨水中的溶剂挥发，墨水中的溶质沉积形成膜层。

可以理解的是，本申请实施例的真空干燥装置100用于在OLED基板80的喷墨打印制程中对打印的墨水进行干燥，使墨水中的溶剂挥发，溶质沉积下来形成膜层。OLED基板80中的空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层、电子注入层的墨水均可以采用喷墨打印制程结合采用本申请实施例的真空干燥装置100的真空干燥制程制得。

本申请实施例的真空干燥装置100通过在外腔体10的内部设置内隔体20，采用监控装置来监控OLED基板80的干燥情况，并采用控制装置基于OLED基板80的干燥情况对内隔体20上的可调节气孔212的大小进行调整。当OLED基板80上周边区域的干燥速率较快时，可以通过降低内隔体20上位于OLED基板80周围的区域的可调节气孔212的尺寸，来降低OLED基板80上周边区域的干燥速率，使OLED基板80的周边区域与中间区域的干燥速率保持一致，从而使得干燥结束后OLED基板80上各个区域的膜层的厚度保持均匀，制得的OLED显示面板上各个区域的亮度也保持一致。

请参阅图5与图6，图5为本申请实施例提供的内隔体的立体结构示意图，图6为本申请实施例提供的内隔体的部分结构示意图。内隔体20包括相对设置的顶板21与底板22以及设于顶板21与底板22之间的数个侧板23；顶板21、底板22以及数个侧板23均包括支架210以及安装于支架210上的多个叶片211，多个叶片211与支架210之间为转动连接；叶片211在控制装置的控制下相对于支架210进行转动。任意相邻的两个叶片211之间以及叶片211与支架210之间形成可调节气孔212，当叶片211转动时，可调节气孔212的大小发生变化。示例性地，侧板23的数量可以为四个，使内隔体20呈正方体状或长方体状，或者，侧板23的数量也可以为一个、两个、三个、五个或六个等。

在一些实施例中，叶片211相对于支架210转动的角度可以为0～90°。示例性地，在初始状态，叶片211呈闭合状态，可调节气孔212的尺寸几乎为零，当叶片211开始转动时，可调节气孔212的尺寸逐渐变大，此时，挥发在空气中的溶剂更容易从内隔体20中逸出，进入内隔体20与外腔体10之间的间隔区域，进而被真空泵抽走，当叶片211转动90°时，可调节气孔212的尺寸最大。

示例性地，叶片211可以在驱动装置的驱动下相对于支架210转动，驱动装置可以包括马达或多段旋转气缸。

在真空干燥制程开始之前，顶板21、底板22以及数个侧板23上的叶片211均具有预设角度，由于OLED基板80在干燥的过程中，通常是周边区域的溶剂挥发速度较快，中间区域的溶剂挥发速度较慢，因此，在真空干燥过程中通常是针对位于OLED基板80周围的数个侧板23上的叶片211的转动角度进行调整，进而调整位于数个侧板23上的可调节气孔212的尺寸；在干燥过程中，顶板21和底板22上的叶片211可以维持原来的预设角度不变，即顶板21和底板22上的可调节气孔212的尺寸保持不变。示例性地，顶板21、底板22以及数个侧板23各自的叶片211可以单独控制。

请参阅图7与图8，图7为本申请实施例提供的分压板的俯视示意图，图8为本申请实施例提供的分压板的侧视示意图。真空干燥装置100还可以包括分压板40，分压板40设于内隔体20的内部；分压板40包括相对设置的第一板体41与第二板体42以及设于第一板体41与第二板体42之间的吸附层43，第一板体41与第二板体42上均设置有多个第一通孔405。第一板体41上的多个第一通孔405与第二板体42上的多个第一通孔405可以对应设置，也可以交错设置。

示例性地，分压板40在内隔体20底部的投影可以覆盖OLED基板80在内隔体20底部的投影。

可以理解的是，吸附层43可以将从OLED基板80的表面挥发的溶剂吸附到自身内部，之后溶剂从吸附层43的上表面逐渐挥发，在抽真空的作用下被抽到真空干燥装置100外部。

需要说明的是，在未设置分压板40的情况下，OLED基板80上方不同区域的气体流动速率是不同的，通常表现为OLED基板80周边区域上方的气体流动速率较快，中间区域上方的气体流动速率较慢，因此，容易造成OLED基板80不同区域的干燥速率不同，本申请实施例通过在内隔体20的内部设置分压板40，可以使OLED基板80上方不同区域的气体流动的速率保持均匀一致，进而使得OLED基板80不同区域的溶剂挥发速率保持一致，改善OLED基板80不同区域的成膜均匀性，进而提升OLED基板80的显示效果。

示例性地，吸附层43可以通过物理吸附的方法对OLED基板80的喷墨打印墨水中的溶剂进行吸附。在一些实施例中，吸附层43的材料可以包括活性炭，活性炭具有发达的孔隙结构、较大的比表面积和丰富的表面化学基团，因此具有较强的特异性吸附能力。可以理解的是，吸附层43的材料也可以其它的具有较强吸附能力的材料。

待OLED基板80的真空干燥制程结束后，可以使真空干燥装置100继续抽真空一段时间，以使吸附层43中的溶剂完全挥发掉。

需要说明的是，本申请实施例在同时采用“通过控制装置基于OLED基板80的干燥情况对内隔体20的可调节气孔212的大小进行调整”以及“在内隔体20的内部设置分压板40”这两种技术方案的情况下，不仅可以使OLED基板80不同区域的打印膜层保持厚度均匀，对于单一子像素内的打印膜层的膜厚均匀性也能起到改善作用，使单一子像素内不同区域(从子像素的边缘至中心)的厚度保持均匀。可以理解的是，单一子像素可以为红色子像素、绿色子像素或蓝色子像素。

请结合图2至图4，监控装置可以包括摄像头30，摄像头30可以安装于分压板40上。示例性地，摄像头30的数量可以为多个(两个或两个以上)，多个摄像头30可以分布于分压板40的周边和/或中心。

在一些实施例中，摄像头30外部可以设置防护罩，以避免挥发的有机溶剂腐蚀摄像头30，并且，防护罩还可以具有防雾功能，以避免防护罩起雾后对摄像头30拍摄的图像或视频的质量造成影响。

请结合图2至图4，真空干燥装置100还可以包括设于内隔体20内部的支撑平台50，支撑平台50设于分压板40下方，支撑平台50用于支撑待干燥的OLED基板80，支撑平台50内设有加热元件，当加热元件发热时支撑平台50的温度升高，可以理解的是，当支撑平台50的温度升高时，放置于支撑平台50上的OLED基板80的温度也会升高，此时OLED基板80上打印的墨水的温度也会升高，当墨水的温度升高时，墨水中的有机溶剂的挥发速度会加快，进而提升墨水的干燥速率。示例性地，在真空干燥过程中，可以将支撑平台50的温度升高至10℃～40℃。

请结合图2至图4，真空干燥装置100还可以包括升降机构70，升降机构70用于控制支撑平台50的升降。示例性地，升降机构70可以包括可伸缩杆。

本申请实施例通过设置升降机构70，可以控制支撑平台50与分压板40之间的距离，当支撑平台50与分压板40之间的距离较小时，OLED基板80上不同区域的干燥速率较为均匀一致，但是OLED基板80的干燥速率较慢，当支撑平台50与分压板40之间的距离较大时，OLED基板80的干燥速率较快，但是OLED基板80上不同区域的干燥速率差别较大，因此在真空干燥制程中需要将支撑平台50与分压板40之间的距离调节至合适的位置，以在干燥速率和均匀一致性之间获得平衡。

请结合图2至图4，真空干燥装置100还可以包括支撑柱60，支撑柱60设于分压板40下方，支撑柱60的一端位于内隔体20的内部，支撑平台50上设有第二通孔，第二通孔用于在支撑平台50上下移动时使支撑柱60贯穿于其中。

在一些实施例中，支撑柱60的数量可以为多个(两个或两个以上)，第二通孔的数量可以为多个(两个或两个以上)，多个支撑柱60可以分别贯穿多个第二通孔。

可以理解的是，当机械手臂90将待干燥的OLED基板80传递至内隔体20内部时，可以首先将OLED基板80放置于支撑柱60上，由于支撑柱60与支撑柱60之间的间隙较大，因此可以方便机械手臂90进行操作。此外，在OLED基板80的干燥过程中，如果需要将OLED基板80升高，可以利用升降机构70将支撑平台50升高，当支撑平台50升高时，支撑平台50与支撑柱60之间发生相对移动，支撑平台50可以升高至高于支撑柱60的顶端的位置，此时OLED基板80被支撑平台50顶起，从而脱离支撑柱60。

请结合图2至图4，外腔体10上可以设置第一开关门101，内隔体20上可以设置第二开关门102，第一开关门101与第二开关门102可以对应设置，从而方便OLED基板80在真空干燥装置100内外的传输。第一开关门101与第二开关门102在OLED基板80进出时开启，真空干燥工艺结束时关闭。

示例性地，真空干燥装置100还可以包括真空泵(例如分子真空泵)，外腔体10上可以设置开口，真空泵通过管道连接至外腔体10上的开口或者管道直接穿过开口进入外腔体10与内隔体20之间的间隔区域，通过真空泵将真空干燥装置100内部的气体不断抽出，从而可以将从OLED基板80上挥发的溶剂不断抽走，并排放到真空干燥装置100的外部。

请结合图2至图4，可以看到，本申请实施例的真空干燥装置100的使用方法可以为：首先采用机械手臂90将待干燥的OLED基板80传递至内隔体20内，此时支撑平台50的上表面低于支撑柱60的顶端(如图2所示)，以方便机械手臂90操作，之后机械手臂90将OLED基板80放置在支撑柱60的顶部，由支撑柱60对OLED基板80进行支撑(如图3所示)，然后升降机构70驱动支撑平台50升高，使OLED基板80脱离支撑柱60的顶端，由支撑平台50对OLED基板80进行支撑(如图4所示)，之后开始抽气，抽气结束后，将OLED基板80取出。

本申请实施例还提供一种OLED显示面板的制备方法，包括：

提供第一基板，第一基板上设有多个凹槽；

在多个凹槽内打印墨水，采用真空干燥装置100对墨水进行干燥处理，使墨水中的溶剂挥发，形成膜层，真空干燥装置100为上述任一实施例中的真空干燥装置100。

示例性地，第一基板可以包括衬底以及设于衬底上的像素定义层，像素定义层上设有通孔，第一基板上对应通孔的位置设有阳极。

“在多个凹槽内打印墨水”具体可以包括在多个凹槽内依次层叠打印空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层、电子注入层的墨水，每种墨水打印后均采用上述真空干燥装置100进行干燥成膜，之后在干燥的膜层上方继续打印另一种墨水，多次操作形成多个膜层。

示例性地，本申请实施例的OLED显示面板的制备方法还可以包括：在发光功能层上方制备阴极。

以上对本申请实施例提供的真空干燥装置与OLED显示面板的制备方法进行了详细介绍。本文中应用了具体个例对本申请的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本申请。同时，对于本领域的技术人员，依据本申请的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本申请的限制。

Claims (9)

1.一种真空干燥装置，其特征在于，包括：

外腔体；

内隔体，所述内隔体设于所述外腔体的内部，所述内隔体上设有可调节气孔；

监控装置，所述监控装置用于监控OLED基板的干燥情况；

控制装置，所述控制装置用于根据所述OLED基板的干燥情况对所述可调节气孔的大小进行调整；

所述真空干燥装置还包括分压板，所述分压板设于所述内隔体的内部；

所述分压板包括相对设置的第一板体与第二板体以及设于所述第一板体与所述第二板体之间的吸附层，所述第一板体与所述第二板体上均设置有多个第一通孔，所述吸附层的材料包括活性炭。

2.根据权利要求1所述的真空干燥装置，其特征在于，所述内隔体包括相对设置的顶板与底板以及设于所述顶板与所述底板之间的数个侧板；

所述顶板、所述底板以及数个所述侧板均包括支架以及安装于所述支架上的多个叶片，多个所述叶片与所述支架之间为转动连接；所述叶片在所述控制装置的控制下相对于所述支架进行转动；

任意相邻的两个所述叶片之间以及所述叶片与所述支架之间形成所述可调节气孔，当所述叶片转动时，所述可调节气孔的大小发生变化。

3.根据权利要求1所述的真空干燥装置，其特征在于，所述监控装置包括摄像头，所述摄像头安装于所述分压板上。

4.根据权利要求3所述的真空干燥装置，其特征在于，所述摄像头外部设有防护罩。

5.根据权利要求1所述的真空干燥装置，其特征在于，所述真空干燥装置还包括设于所述内隔体内部的支撑平台，所述支撑平台设于所述分压板下方，所述支撑平台用于支撑待干燥的OLED基板，所述支撑平台内设有加热元件，所述加热元件发热时所述支撑平台的温度升高。

6.根据权利要求5所述的真空干燥装置，其特征在于，所述真空干燥装置还包括升降机构，所述升降机构用于控制所述支撑平台的升降。

7.根据权利要求6所述的真空干燥装置，其特征在于，所述真空干燥装置还包括支撑柱，所述支撑柱设于所述分压板下方，所述支撑柱的一端位于所述内隔体的内部，所述支撑平台上设有第二通孔，所述第二通孔用于在所述支撑平台上下移动时使所述支撑柱贯穿于其中。

8.根据权利要求1所述的真空干燥装置，其特征在于，所述吸附层的材料包括活性炭。

9.一种OLED显示面板的制备方法，其特征在于，包括：

提供第一基板，所述第一基板上设有多个凹槽；

在多个所述凹槽内打印墨水，采用真空干燥装置对所述墨水进行干燥处理，使所述墨水中的溶剂挥发，形成膜层，所述真空干燥装置为如权利要求1-8中任一项所述的真空干燥装置。

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