JP2012202600A - 乾燥装置および熱処理システム - Google Patents

Abstract

【課題】塗布膜の乾燥効率を高めて乾燥時間を短くすることができる乾燥装置および該乾燥装置を組み込んだ熱処理システムを提供する。
【解決手段】乾燥部４０のチャンバ４１内には、５個の上側熱風噴出部４５、６個の上側排気ボックス５６、５個の下側熱風噴出部５１および６個の下側排気ボックス５５が設けられている。塗布膜が形成された基材５は搬入口４１ａから搬出口４１ｂに向けて搬送される。上側熱風噴出部４５および下側熱風噴出部５１によって基材５の上下から熱風を吹き付けるとともに、上側排気ボックス５６および下側排気ボックス５５によって排気を行う。乾燥部４０のチャンバ４１内に供給する熱風の流量よりもチャンバ４１から排気する気体の流量を大きくすることにより、チャンバ４１内を大気圧よりも低い減圧雰囲気とし、溶剤の蒸発を促進して塗布膜の乾燥効率を高めることができる。
【選択図】図５

Description

本発明は、基材の上に形成された化学電池材料などの塗布膜の乾燥処理を行う乾燥装置、および、該乾燥装置を組み込んだ熱処理システムに関する。

従来より、リチウムイオン電池などの化学電池の製造においては、基材としての金属箔の上に比較的高粘度の電極材料の塗布膜を形成し、その塗布膜の乾燥処理を行っている。塗布膜の乾燥処理としては、塗布膜に熱風を吹き付けて溶剤を蒸発させる熱風乾燥方式が多く採用されている。

例えば、特許文献１には、塗布膜を形成した基材に対して平行に熱風を送風して乾燥させる装置が開示されている。特許文献１に開示の装置においては、熱風の給気口と排気口とを交互に設け、給気口から供給した熱風を隣の排気口から排気するようにしている。

また、特許文献２には、リチウム二次電池の電極製造工程において、ドライエアーの吹き付けと赤外線ヒータとを併用して活物質を含む塗布膜を乾燥させる装置が開示されている。特許文献２に開示の装置においては、基材の走行方向上流側および幅方向両側に排出部を設け、ノズルから基材に吹き付けられたドライエアーを排出部から排出するようにしている。

特開２００５−１１５３５７号公報 特開２０１０−２５５９８８号公報

特許文献１，２に開示の装置においては、塗布膜を形成した基材の表面に供給した熱風を排気するための排気部を設け、塗布膜に含まれていた水分等の溶剤の蒸気を含んだ熱風を排気している。しかしながら、化学電池の製造において基材の上に形成する塗布膜の膜厚は、半導体デバイスなどの製造において基板上に形成するレジスト膜と比較して顕著に厚く、単に熱風を供給して溶剤の蒸気を含んだ熱風を排気しているだけでは乾燥処理に要する時間が非常に長くなるという問題が生じていた。

本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、塗布膜の乾燥効率を高めて乾燥時間を短くすることができる乾燥装置および該乾燥装置を組み込んだ熱処理システムを提供することを目的とする。

上記課題を解決するため、請求項１の発明は、基材の上に形成された塗布膜の乾燥処理を行う乾燥装置において、両端に搬入口および搬出口が形成されたチャンバと、塗布膜が形成された基材を前記チャンバ内にて前記搬入口から前記搬出口に向けて搬送する搬送手段と、前記チャンバ内に熱風を供給する熱風供給手段と、前記チャンバ内から気体を排気する排気手段と、を備え、前記排気手段による排気流量を前記熱風供給手段による熱風供給流量よりも大きくして前記チャンバ内の気圧を大気圧よりも低くしたことを特徴とする。

また、請求項２の発明は、請求項１の発明に係る乾燥装置において、前記熱風供給手段は、前記搬送手段によって基材が搬送される搬送経路の上側に設けられて基材の上方より熱風を吹き付ける複数の上側熱風噴出部および前記搬送経路の下側に設けられて基材の下方より熱風を吹き付ける複数の下側熱風噴出部を含み、前記排気手段は、前記搬送経路の上側に設けられて基材の上方より気体を吸引する複数の上側吸引部および前記搬送経路の下側に設けられて基材の下方より気体を吸引する複数の下側吸引部を含み、前記複数の上側熱風噴出部と前記複数の上側吸引部とが前記搬送経路に沿って交互に配置されるとともに、前記複数の下側熱風噴出部と前記複数の下側吸引部とが前記搬送経路に沿って交互に配置されることを特徴とする。

また、請求項３の発明は、請求項２の発明に係る乾燥装置において、前記複数の上側吸引部は、前記複数の上側熱風噴出部のいずれよりも前記搬入口に近い上側入口吸引部および前記複数の上側熱風噴出部のいずれよりも前記搬出口に近い上側出口吸引部を含み、前記複数の下側吸引部は、前記複数の下側熱風噴出部のいずれよりも前記搬入口に近い下側入口吸引部および前記複数の下側熱風噴出部のいずれよりも前記搬出口に近い下側出口吸引部を含むことを特徴とする。

また、請求項４の発明は、請求項３の発明に係る乾燥装置において、前記複数の上側吸引部のうち前記上側入口吸引部および前記上側出口吸引部が吸引する排気流量は他の上側吸引部が吸引する排気流量よりも大きく、前記複数の下側吸引部のうち前記下側入口吸引部および前記下側出口吸引部が吸引する排気流量は他の下側吸引部が吸引する排気流量よりも大きいことを特徴とする。

また、請求項５の発明は、請求項２から請求項４のいずれかの発明に係る乾燥装置において、前記複数の上側熱風噴出部と前記複数の下側熱風噴出部とが相対向して配置されるとともに、前記複数の上側吸引部と前記複数の下側吸引部とが相対向して配置されることを特徴とする。

また、請求項６の発明は、請求項２から請求項５のいずれかの発明に係る乾燥装置において、前記複数の上側熱風噴出部のそれぞれは、前記搬送経路と平行に設けられた整流板と、前記整流板の下面に貼設され、加熱されることによって赤外線を放射するセラミックプレートと、を有することを特徴とする。

また、請求項７の発明は、熱処理システムであって、基材の上に塗布液を塗布して塗布膜を形成する塗布処理部と、前記塗布膜の予熱を行う予熱部と、請求項１から請求項６のいずれかの発明に係る乾燥装置と、乾燥処理後の基材を冷却する冷却部と、を備えることを特徴とする。

請求項１から請求項７の発明によれば、排気手段による排気流量を熱風供給手段による熱風供給流量よりも大きくしてチャンバ内の気圧を大気圧よりも低くしているため、溶剤の蒸発を促進し、塗布膜の乾燥効率を高めて乾燥時間を短くすることができる。

特に、請求項３の発明によれば、複数の上側吸引部は、複数の上側熱風噴出部のいずれよりもチャンバの搬入口に近い上側入口吸引部および複数の上側熱風噴出部のいずれよりも搬出口に近い上側出口吸引部を含み、複数の下側吸引部は、複数の下側熱風噴出部のいずれよりも搬入口に近い下側入口吸引部および複数の下側熱風噴出部のいずれよりも搬出口に近い下側出口吸引部を含むため、搬入口および搬出口からチャンバ内に向けて流入した大気は確実に排出されることとなり、少なくともチャンバの両端部を除く領域は確実に大気圧よりも低くすることができる。

特に、請求項４の発明によれば、上側入口吸引部および上側出口吸引部が吸引する排気流量は他の上側吸引部が吸引する排気流量よりも大きく、下側入口吸引部および下側出口吸引部が吸引する排気流量は他の下側吸引部が吸引する排気流量よりも大きいため、搬入口および搬出口からチャンバ内に向けて流入した大気はより確実に排出されることとなり、チャンバの両端部を除く領域は確実に大気圧よりも低くすることができる。

特に、請求項５の発明によれば、複数の上側熱風噴出部と複数の下側熱風噴出部とが相対向して配置されるとともに、複数の上側吸引部と複数の下側吸引部とが相対向して配置されるため、基材の上下面の同じ位置に上下から熱風が吹き付けられるとともに、気体吸引が行われることとなり、基材の搬送を安定させることができる。

特に、請求項６の発明によれば、整流板の下面に、加熱されることによって赤外線を放射するセラミックプレートを備えるため、乾燥部にて塗布膜の内部から均一に加熱することができる。

本発明に係る乾燥装置を組み込んだ熱処理システムの全体構成を示す図である。 予熱部および乾燥部の概略構成を示す図である。 予熱部の構成を示す図である。 予熱部の構成を示す図である。 乾燥部の構成を示す図である。 乾燥部の構成を示す図である。 上側熱風噴出部の外観斜視図である。 上側熱風噴出部の縦断面図である。 アニール部の構成を示す図である。 冷却部の構成を示す図である。

以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について詳細に説明する。

図１は、本発明に係る乾燥装置を組み込んだ熱処理システム１の全体構成を示す図である。なお、図１および以降の各図にはそれらの方向関係を明確にするためＺ軸方向を鉛直方向とし、ＸＹ平面を水平面とするＸＹＺ直交座標系を適宜付している。また、図１および以降の各図においては、理解容易のため、必要に応じて各部の寸法や数を誇張または簡略化して描いている。

この熱処理システム１は、基材としての金属箔の上に電極材料である活物質の塗布膜を形成し、その塗布膜の乾燥処理を行ってリチウムイオン二次電池の電極製造を行う装置である。熱処理システム１は、塗布処理部１０、予熱部２０、乾燥部４０、アニール部６０、冷却部７０および搬送機構８０を備える。また、熱処理システム１は、塗布処理部１０に電極材料の塗布液を送給するポンプユニット１５および電源等を収納する電装ボックス９を備える。

基材５は、リチウムイオン二次電池の集電体として機能する金属箔である。熱処理システム１にてリチウムイオン二次電池の正極を製造する場合には、基材５として例えばアルミニウム箔（Ａｌ）を用いることができる。また、熱処理システム１にて負極を製造する場合には、基材５として例えば銅箔（Ｃｕ）を用いることができる。基材５は長尺のシート状の金属箔であり、その幅および厚さについては特に限定されるものではないが、例えば幅６００ｍｍ〜７００ｍｍ、厚さ１０μｍ〜２０μｍとすることができる。

長尺の基材５は、巻き出しローラ８１から送り出されて巻き取りローラ８２によって巻き取られることにより、塗布処理部１０、予熱部２０、乾燥部４０、アニール部６０、冷却部７０の順に搬送される。搬送機構８０は、これら巻き出しローラ８１および巻き取りローラ８２と複数の補助ローラ８３ａ〜８３ｅとを備えて構成される。なお、補助ローラ８３ａ〜８３ｅの個数および配置については、図１の例に限定されるものではなく、必要に応じて適宜に増減することができる。

塗布処理部１０は、塗布ノズル１１およびバックアップローラ１２を備える。バックアップローラ１２に押圧支持された状態で走行する基材５の表面に塗布ノズル１１から電極材料である活物質の溶液を塗布する。熱処理システム１にて正極を製造する場合には、塗布ノズル１１から正極材料として、例えば正極活物質であるコバルト酸リチウム（ＬｉＣｏＯ₂）、導電助剤であるカーボン（Ｃ）、結着剤であるポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）、溶剤であるＮ−メチル−２−ピロリドン（ＮＭＰ）の混合液を基材５に塗布する。コバルト酸リチウムに代えて、正極活物質としてニッケル酸リチウム（ＬｉＮｉＯ₂）、マンガン酸リチウム（ＬｉＭｎ₂Ｏ₄）、燐酸鉄リチウム（ＬｉＦｅＰＯ₄）などを用いることもできるが、これらに限定されるものではない。

一方、熱処理システム１にて負極を製造する場合には、塗布ノズル１１から負極材料として、例えば負極活物質である黒鉛（グラファイト）、結着剤であるＰＶＤＦ、溶剤であるＮＭＰの混合液を基材５に塗布する。黒鉛に代えて、負極活物質としてハードカーボン、チタン酸リチウム（Ｌｉ₄Ｔｉ₅Ｏ₁₂）、シリコン合金、スズ合金などを用いることもできる。また、正極材料および負極材料の双方において、結着剤としてＰＶＤＦに代えてスチレン−ブタジエンゴム（ＳＢＲ）などを使用することができ、溶剤としてＮＭＰに代えて水（Ｈ₂Ｏ）などを使用することができる。さらに、結着剤としてＳＢＲ、溶剤として水を用いる場合には、増粘剤としてカルボキシメチルセルロース（ＣＭＣ）を併用することもできる。これら正極材料および負極材料の塗布液は固体（微粒子）が分散されたスラリーであってその粘度はいずれも１Ｐａ・ｓ（パスカル秒）以上であり、一般的にチクソトロピー性を有する。

塗布ノズル１１としては、基材５の幅方向に沿ってスリット状の吐出口を設けたスリットノズルを用いることができる。塗布ノズル１１は、ポンプユニット１５から送給された電極材料の塗布液を吐出口から吐出して走行する基材５に塗布し、基材５の表面に電極材料の塗布膜を形成する。塗布処理部１０において基材５の表面に形成される電極材料の塗布膜の厚さは数百ミクロンであり、基材５の厚さの１０倍以上である。このような比較的厚い塗布膜を形成したとしても、電極材料は１Ｐａ・ｓ（パスカル秒）以上の粘度を有する高粘度のスラリーであるため、直ちに液ダレ等が生じることは無い。塗布処理部１０にて電極材料の塗布膜が形成された基材５は搬送機構８０によって予熱部２０、乾燥部４０、アニール部６０、冷却部７０に順に搬送されて塗布膜の乾燥処理が行われる。

本実施形態の熱処理システム１には、基材５の上に形成された電極材料の塗布膜を加熱する３つのゾーンが設けられている。上流から順に第１の加熱ゾーンである予熱部２０は、基材５の上に形成された塗布膜を昇温し、一定時間の予熱を行う。また、第２の加熱ゾーンである乾燥部４０は、主たる乾燥処理を行う処理部であり、予熱部２０にて予熱された塗布膜を加熱して溶剤を蒸発させる。さらに、アニール部６０は、塗布膜をより高温に加熱し、塗布膜に残留している溶剤を除去するとともに、乾燥部４０での乾燥処理で塗布膜中に発生した歪みおよび残留応力を除去する。

図２は予熱部２０および乾燥部４０の概略構成を示す図である。また、図３および図４は予熱部２０の構成を示す図である。図４は、図３のＡ−Ａ断面から見た図である。予熱部２０は、両端に開口が形成されたチャンバ２１の内側に通気ボックス２５および熱風噴出部３１を備える。また、予熱部２０は、通気ボックス２５に熱風を送給する熱風送風部２７および熱風噴出部３１に熱風を送給する熱風送風部３３を備える。

チャンバ２１は、搬送機構８０によって基材５が搬送される搬送経路ＰＬを囲むように設けられている。チャンバ２１の両端には、基材５が通過するための開口が形成されている。チャンバ２１の内側において、搬送経路ＰＬの下側には、複数の熱風噴出部３１（本実施形態では６個）が基材５の搬送方向（Ｘ方向）に沿って設けられる。また、チャンバ２１の内側において、搬送経路ＰＬの上側には、複数の通気ボックス２５（本実施形態では３個）が基材５の搬送方向に沿って設けられる。予熱部２０のチャンバ２１の長さ（炉長）は特に限定されるものではないが、本実施形態では約１０００ｍｍとしている。

各熱風噴出部３１は、図示を省略する複数の噴出孔を上側に向けて備えている。熱風噴出部３１は、配管３２を介して熱風送風部３３と連通接続されている。熱風送風部３３は、ヒータおよび送風機を備えており、加熱した空気を熱風として熱風噴出部３１に送給する。複数の熱風噴出部３１は、熱風送風部３３から送給された熱風を噴出孔から上側の搬送経路ＰＬに向けて噴出する。

各通気ボックス２５は中空の箱であり、その中空部分が気体が通過可能な通気部２３とされている。通気ボックス２５は耐熱性に優れた金属材料（例えば、ステンレススチール）にて形成されている。本実施形態では、３個の通気ボックス２５が基材５の搬送方向に沿って直列に接続されている。すなわち、基材５の搬送方向に沿って最も上流側（図２，３で最も左側）の通気ボックス２５と中央の通気ボックス２５とが連結管２８で接続され、同様に中央の通気ボックス２５と最も下流側の通気ボックス２５とが連結管２８で接続されている。このため、３つの通気ボックス２５の通気部２３は連結管２８を介して互いに連通接続されている。

また、最も上流側の通気ボックス２５は、送風配管２９を介して熱風送風部２７と連通接続されている。送風配管２９の経路途中には流量調整弁２６が介挿されている。熱風送風部２７は、ヒータおよび送風機を備えており、ヒータにて加熱した空気を送風機によって熱風として送風配管２９に送り出す。送風配管２９に送り出された熱風は最も上流側の通気ボックス２５の通気部２３に流入し、次いで１番目の連結管２８を通過して中央の通気ボックス２５の通気部２３に流入し、さらに２番目の連結管２８を通過して最も下流側の通気ボックス２５の通気部２３に流入する（図３）。熱風送風部２７が各通気ボックス２５の通気部２３に熱風を流すことによって、その通気ボックス２５が加熱される。各通気ボックス２５に流れる熱風の流量は流量調整弁２６によって規定されている。最も下流側の通気ボックス２５の通気部２３に流入した熱風は、導風管３５に送り出されて乾燥部４０の上側熱風噴出部４５に供給されることとなるが、これについてはさらに後述する。

３個の通気ボックス２５のそれぞれの下面には、加熱されることによって赤外線を放射するセラミックプレート２４が設けられている。セラミックプレート２４は、通気ボックス２５の下面の全面にセラミック溶射を行うことによって形成すれば良い。セラミックプレート２４を構成するセラミック材料としては、アルミナ系、チタニア系、ジルコニア系等の加熱されることによって赤外線を放射するもの、または、これらの混合物を用いることができる。このようなセラミック材料にて構成されたセラミックプレート２４は、加熱されて昇温することによって赤外線を放射する。なお、通気ボックス２５の下面およびセラミックプレート２４には気体の噴出孔等は設けられていないため、通気部２３に流入した熱風が通気ボックス２５の下面から噴出されることはない。

塗布処理部１０にて電極材料の塗布膜が形成された基材５は、搬送機構８０によって搬送経路ＰＬに沿って予熱部２０に搬送される。図２および図３の（−Ｘ）側から（＋Ｘ）側に向けて基材５が予熱部２０を通過する際に、基材５の上に形成された塗布膜は熱風噴出部３１からの熱風噴出およびセラミックプレート２４からの赤外線放射によって加熱される。すなわち、熱風送風部３３から熱風が送給された熱風噴出部３１が基材５の下方より熱風を吹き付けることによって、直接的には基材５が加熱され、その基材５からの熱伝導によって電極材料の塗布膜が加熱される。また、熱風送風部２７から送給された熱風が３個の通気ボックス２５の通気部２３に流れることによって、各通気ボックス２５の下面に設けられたセラミックプレート２４が加熱され、そのセラミックプレート２４から基材５の上に形成された塗布膜に向けて赤外線が放射される。そして、電極材料の塗布膜は、セラミックプレート２４からの赤外線放射を受けることによって（つまり、熱放射によって）も加熱される。

このような熱風噴出部３１からの熱風噴出およびセラミックプレート２４からの赤外線放射によって上下から加熱されることにより、基材５の上に形成された電極材料の塗布膜が予熱される。本実施形態においては、塗布直後のスラリー状の塗布膜が形成されている基材５の上方からは直接熱風を吹き付けるのではなく、赤外線放射によって加熱している。このため、塗布膜が急速に乾燥されることはなく、塗布膜の表層のみが乾燥して内部は十分に乾燥していないという不具合を防止することができる。また、急速な乾燥に起因した塗布膜の亀裂も防止することができる。さらに、加熱されたセラミックプレート２４から放射される赤外線は比較的波長の長い赤外線であるため、膜厚の厚い塗布膜であっても表層だけでなく内部から均一に加熱することができる。その結果、塗布膜の表層のみが乾燥されるのをより確実に防止することができる。

熱風噴出部３１が基材５の下方より吹き付ける熱風の温度は塗布膜の材料に依存するものの５０℃〜３００℃程度である。一方、熱風送風部２７が最も上流側の通気ボックス２５の通気部２３に送給する熱風の温度は少なくとも熱風噴出部３１が基材５に吹き付ける熱風の温度よりも高温である。このようにしているのは、通気ボックス２５から排出された熱風を乾燥部４０にて再利用するためである。また、通気ボックス２５により高温の熱風を供給した方が赤外線放射による塗布膜の加熱効率も高まる。

また、熱風噴出部３１が基材５の下方より上方に向けて熱風を吹き付けることにより、塗布膜を間接加熱するとともに、熱風の風圧によって基材５に上向きに浮上する力が作用する。これにより、予熱部２０に固有のローラを設けなくとも、補助ローラ８３ａと補助ローラ８３ｂとの間で基材５が撓むことなく、搬送系路ＰＬに沿って（−Ｘ）側から（＋Ｘ）側に向けて搬送される。すなわち、熱風噴出部３１は、熱風を吹き付けることによって基材５の上に形成された塗布膜を加熱することを主たる役割とするものであるが、基材５を浮上搬送させるという搬送機構８０の補助的役割も果たすこととなる。

なお、予熱部２０に設けられる通気ボックス２５および熱風噴出部３１の個数は上記実施形態の例に限定されるものではなく、予熱部２０の長さ等に応じて適宜のものとすることができる。また、予熱部２０の３個の通気ボックス２５における通気順序も上記の例（基材５の搬送方向の上流側から下流側に向けて）に限定されるものではなく、適宜に変更可能である。例えば、上記の例とは逆に、基材５の搬送方向の下流側の通気ボックス２５から上流側の通気ボックス２５（図２，３の右側から左側）に向けて順に熱風を通気するようにしても良い。さらに、３個の通気ボックス２５に直列に順次熱風を通気するのに代えて、並列に個別に熱風を供給するようにしても良い。具体的には、３個の通気ボックス２５のそれぞれに三叉に分岐された導風管３５が接続され、３個の通気ボックス２５に個別に供給された熱風は導風管３５を経て乾燥部４０の上側熱風噴出部４５に供給される。

次に、図５および図６は乾燥部４０の構成を示す図である。図６は、図５のＢ−Ｂ断面から見た図である。乾燥部４０は、両端に開口が形成されたチャンバ４１の内側に上側熱風噴出部４５、下側熱風噴出部５１、上側排気ボックス５６および下側排気ボックス５５を備えて構成される。また、乾燥部４０は、下側熱風噴出部５１に熱風を送給する熱風送風部５３（図２）、上側排気ボックス５６に負圧を与える排気部５８（図５）および下側排気ボックス５５に負圧を与える排気部９３（図５）を備える。

チャンバ４１は、搬送機構８０によって基材５が搬送される搬送経路ＰＬを囲むように設けられている。チャンバ４１の両端には、基材５が搬入される搬入口４１ａおよび搬出される搬出口４１ｂが形成されている。チャンバ４１の内側において、搬送経路ＰＬの上側には、複数の上側熱風噴出部４５（本実施形態では５個）と複数の上側排気ボックス５６（本実施形態では６個）とが搬送経路ＰＬ（Ｘ方向）に沿って交互に配置されている。一方、チャンバ４１の内側において、搬送経路ＰＬの下側には複数の下側熱風噴出部５１（本実施形態では５個）と複数の下側排気ボックス５５（本実施形態では６個）とが同じく搬送経路ＰＬに沿って交互に配置されている。乾燥部４０のチャンバ４１の長さは特に限定されるものではないが、本実施形態では約３０００ｍｍとしている。また、搬入口４１ａおよび搬出口４１ｂの大きさも特に限定されるものではないが、本実施形態では搬送経路ＰＬの上方および下方のそれぞれに約５ｍｍの間隔を確保できる程度（つまり、鉛直方向の大きさが約１０ｍｍ）としている。

搬送経路ＰＬに沿って交互に配置された上側熱風噴出部４５と上側排気ボックス５６との配列における両端には上側排気ボックス５６が設けられている。基材５の搬送方向に沿って最も上流側の上側排気ボックス５６は上側入口排気ボックス５６ａとされ、最も下流側の上側排気ボックス５６は上側出口排気ボックス５６ｆとされる。上側入口排気ボックス５６ａは、全ての上側熱風噴出部４５および他の上側排気ボックス５６ｂ〜５６ｆよりもチャンバ４１の搬入口４１ａに近い。また、上側出口排気ボックス５６ｆは、全ての上側熱風噴出部４５および他の上側排気ボックス５６ａ〜５６ｅよりもチャンバ４１の搬出口４１ｂに近い。なお、特に上側入口排気ボックス５６ａおよび上側出口排気ボックス５６ｆと他の上側排気ボックス５６ｂ〜５６ｅとの区別を要しない場合には、これらを単に上側排気ボックス５６と称する。

同様に、搬送経路ＰＬに沿って交互に配置された下側熱風噴出部５１と下側排気ボックス５５との配列における両端には下側排気ボックス５５が設けられている。基材５の搬送方向に沿って最も上流側の下側排気ボックス５５は下側入口排気ボックス５５ａとされ、最も下流側の下側排気ボックス５５は下側出口排気ボックス５５ｆとされる。下側入口排気ボックス５５ａは、全ての下側熱風噴出部５１および他の下側排気ボックス５５ｂ〜５５ｆよりもチャンバ４１の搬入口４１ａに近い。一方、下側出口排気ボックス５５ｆは、全ての下側熱風噴出部５１および他の下側排気ボックス５５ａ〜５５ｅよりもチャンバ４１の搬出口４１ｂに近い。なお、特に下側入口排気ボックス５５ａおよび下側出口排気ボックス５５ｆと他の下側排気ボックス５５ｂ〜５５ｅとの区別を要しない場合には、これらを単に下側排気ボックス５５と称する。

搬送経路ＰＬの下側に設けられた５個の下側熱風噴出部５１のそれぞれは、予熱部２０の熱風噴出部３１と同様に、図示を省略する複数の噴出孔を上側に向けて備えている。下側熱風噴出部５１は、配管５２を介して熱風送風部５３と連通接続されている（図２）。すなわち、配管５２の基端側が熱風送風部５３に接続されるとともに、先端側は５つに分岐されてそれぞれが下側熱風噴出部５１に接続される。５つに分岐された配管５２のそれぞれには流量調整弁５４が介挿されている（図５）。熱風送風部５３は、ヒータおよび送風機を備えており、加熱した空気を熱風として下側熱風噴出部５１に送給する。５個の下側熱風噴出部５１のそれぞれに送給される熱風の流量は対応する流量調整弁５４によって個別に調整される。５個の下側熱風噴出部５１は、熱風送風部５３から送給された熱風を噴出孔から上側の搬送経路ＰＬに向けて噴出する。

乾燥部４０では、搬送経路ＰＬの上側に、基材５上の塗布膜に直接熱風を吹き付ける上側熱風噴出部４５を設けている。図７は、上側熱風噴出部４５の外観斜視図である。また、図８は、上側熱風噴出部４５の縦断面図である。５個の上側熱風噴出部４５のそれぞれは、整流板４３および噴出ヘッド４６を備えて構成されている。整流板４３は、搬送経路ＰＬと平行になるように設けられた板状部材である。整流板４３は、搬送経路ＰＬと実質的に平行であれば良い。また、図８に示すように、整流板４３には噴出孔４４が穿設されている。噴出孔４４は、基材５の幅方向に沿って延びる１本のスリット孔であっても良いし、当該幅方向に沿って複数に分割された孔であっても良い。噴出孔４４は、基材５の搬送方向における整流板４３の中央に設けられる。

噴出ヘッド４６は、その内部の空間が噴出孔４４と連通するように整流板４３に連結されている。噴出ヘッド４６は、熱風供給ポート４７から供給された熱風を整流板４３の噴出孔４４から搬送経路ＰＬの基材５に向けて噴出する。すなわち、噴出ヘッド４６は整流板４３の一部から基材５に向けて熱風を噴出する。噴出ヘッド４６の内部空間には、２枚の仕切り板４８ａ，４８ｂおよびパンチングプレート４９が設けられている。これら２枚の仕切り板４８ａ，４８ｂの間が熱風の流路となる。このような２枚の仕切り板４８ａ，４８ｂおよびパンチングプレート４９を設けることによって、熱風供給ポート４７から供給された熱風が噴出ヘッド４６の内部空間で均一に拡がり、基材５の幅方向の全体にわたって噴出孔４４から均一に熱風が噴出される。

上側の仕切り板４８ａよりもさらに上側にて噴出ヘッド４６に接続された熱風供給ポート４７は導風管３５に連結されている。すなわち、図２に示すように、導風管３５の基端側は基材５の搬送方向に沿って最も下流側の通気ボックス２５に連通接続されるとともに、先端側は５つに分岐されてそれぞれが上側熱風噴出部４５の噴出ヘッド４６に連通接続されている。５つに分岐された導風管３５のそれぞれには流量調整弁３６が介挿されている（図５）。これにより、熱風送風部２７から送風配管２９に送り出された熱風は３つの通気ボックス２５の通気部２３を通過した後、導風管３５によって５個の上側熱風噴出部４５に導かれることとなる。このときに、５個の上側熱風噴出部４５のそれぞれに導かれる熱風の流量は対応する流量調整弁３６によって個別に調整される。そして、導風管３５によって上側熱風噴出部４５に導かれた熱風は、噴出ヘッド４６の内部空間を通過して整流板４３の噴出孔４４から基材５上の塗布膜に向けて噴出される。

また、図５に示すように、５個の上側熱風噴出部４５と５個の下側熱風噴出部５１とが搬送経路ＰＬを挟んで相対向して配置されている。すなわち、５個の上側熱風噴出部４５に１対１で対応して下側熱風噴出部５１が設けられており、各上側熱風噴出部４５の噴出ヘッド４６の直下に下側熱風噴出部５１が配置される。これにより、基材５の上下面の同じ位置に下側熱風噴出部５１および上側熱風噴出部４５から熱風が吹き付けられることとなる。

各上側熱風噴出部４５の整流板４３の下面には、加熱されることによって赤外線を放射するセラミックプレート４２が設けられている。このセラミックプレート４２は、通気ボックス２５の下面に設けられたセラミックプレート２４と同様のものである。すなわち、セラミックプレート４２を構成するセラミック材料としては、アルミナ系、チタニア系、ジルコニア系等の加熱されることによって赤外線を放射するもの、または、これらの混合物を用いることができる。そして、これらの材料を用いて整流板４３の下面にセラミック溶射を行うことによりセラミックプレート４２が形成される。なお、整流板４３の下面のうち、噴出孔４４にはセラミック溶射を行わずに開放しておくことは勿論である。

また、図６および図７に示すように、基材５の幅方向（Ｙ方向）における整流板４３の両端には拡散防止板５０が設けられている。拡散防止板５０は、断面Ｌ字形状の長尺部材であり、そのＬ字の先端はセラミックプレート４２よりも下方にまで延びている。整流板４３の両横に拡散防止板５０を設けることにより、噴出孔４４から噴出された熱風が基材５の幅方向から漏れ出るのを阻害して搬送方向に沿って流れるように導くことができる。なお、図５および図８では、図示の便宜上、拡散防止板５０の記載を省略している。

図５に戻り、５個の上側熱風噴出部４５に対して６個の上側排気ボックス５６が設けられ、隣り合って配置された上側排気ボックス５６の間に上側熱風噴出部４５が設けられている。上述したように、６個の上側排気ボックス５６は、複数の上側熱風噴出部４５のいずれよりも搬入口４１ａに近い上側入口排気ボックス５６ａおよび搬出口４１ｂに近い上側出口排気ボックス５６ｆを含む。各上側排気ボックス５６は、基材５の幅方向に沿って延びる吸引口（図示省略）を下端に備えている。また、上側排気ボックス５６の上部に接続された排気ポート５９（図６）は排気管５７を介して排気部５８と連通接続されている（図５）。すなわち、排気管５７の基端側が排気部５８に接続されるとともに、先端側は６つに分岐されてそれぞれが上側排気ボックス５６に接続される。６つに分岐された排気管５７のそれぞれには流量調整弁９１が介挿されている。排気部５８は、吸引用のブロワーを備えており、排気管５７を介して上側排気ボックス５６に負圧を付与する。これにより、上側排気ボックス５６は、下端の吸引口周辺の雰囲気を吸引して排気管５７へと排出する。６個の上側排気ボックス５６のそれぞれが吸引する気体の排気流量は対応する流量調整弁９１によって個別に調整される。

同様に、搬送経路ＰＬの下方においても、５個の下側熱風噴出部５１に対して６個の下側排気ボックス５５が設けられ、隣り合って配置された下側排気ボックス５５の間に下側熱風噴出部５１が設けられている。６個の下側排気ボックス５５は、複数の下側熱風噴出部５１のいずれよりも搬入口４１ａに近い下側入口排気ボックス５５ａおよび搬出口４１ｂに近い下側出口排気ボックス５５ｆを含む。各下側排気ボックス５５は、基材５の幅方向に沿って延びる吸引口を上端に備えている。また、下側排気ボックス５５は、排気管９２を介して排気部９３と連通接続されている（図５）。すなわち、排気管９２の基端側が排気部９３に接続されるとともに、先端側は６つに分岐されてそれぞれが下側排気ボックス５５に接続される。６つに分岐された排気管９２のそれぞれには流量調整弁９４が介挿されている。排気部９３は、吸引用のブロワーを備えており、排気管９２を介して下側排気ボックス５５に負圧を付与する。これにより、下側排気ボックス５５は、上端の吸引口周辺の雰囲気を吸引して排気管９２へと排出する。６個の下側排気ボックス５５のそれぞれが吸引する気体の排気流量は対応する流量調整弁９４によって個別に調整される。

図５に示すように、６個の上側排気ボックス５６と６個の下側排気ボックス５５とが搬送経路ＰＬを挟んで相対向して配置されている。すなわち、６個の上側排気ボックス５６に１対１で対応して下側排気ボックス５５が設けられており、６個の上側排気ボックス５６のそれぞれの直下に下側排気ボックス５５が配置されている。これにより、基材５の上下面の同じ位置から上側排気ボックス５６および下側排気ボックス５５による気体吸引が行われることとなる。

予熱部２０にて電極材料の塗布膜が予熱された基材５は、搬送機構８０によって搬送経路ＰＬに沿って乾燥部４０の搬入口４１ａから搬出口４１ｂに向けて搬送される。図２および図５の（−Ｘ）側から（＋Ｘ）側に向けて基材５が乾燥部４０を通過する際に、予熱部２０で暖められた塗布膜は上側熱風噴出部４５および下側熱風噴出部５１からの熱風噴出によって加熱される。すなわち、熱風送風部５３から熱風が送給された下側熱風噴出部５１が基材５の下方より熱風を吹き付けることによって、直接的には基材５が加熱され、その基材５からの熱伝導によって電極材料の塗布膜が加熱される。下側熱風噴出部５１から基材５の下面に吹き付けられた熱風は、下側熱風噴出部５１の両隣に設けられた下側排気ボックス５５によって回収される。また、予熱部２０の通気ボックス２５から導風管３５を経て導かれた熱風が上側熱風噴出部４５から基材５の上方より吹き付けられることによって、塗布膜が熱風により直接加熱される。

図５および図８に示すように、上側熱風噴出部４５の噴出ヘッド４６から基材５の上面に吹き付けられた熱風は、搬送経路ＰＬと平行に設けられた整流板４３と基材５との間を基材５の搬送方向（Ｘ方向）に沿って流れ、上側熱風噴出部４５の両隣に設けられた上側排気ボックス５６に回収される。整流板４３と基材５との間を熱風が流れるため、基材５の上に形成された塗布膜は湿度の少ない熱風と接触し続けることとなり、効率良く塗布膜を加熱乾燥することができる。また、熱風の温度低下を最小限に抑制することができる。さらに、整流板４３の両端に設けられた拡散防止板５０によって噴出ヘッド４６から噴出された熱風が基材５の幅方向から漏れ出るのを防止しているため、熱風の利用効率を向上させることができる。

また、整流板４３と基材５との間を熱風が流れる際に、整流板４３の下面に設けられたセラミックプレート４２も加熱されることとなる。その結果、加熱されたセラミックプレート４２から基材５の上に形成された塗布膜に向けて赤外線が放射され、それによっても塗布膜が加熱される。

このような上側熱風噴出部４５および下側熱風噴出部５１からの熱風噴出、さらにはセラミックプレート４２からの赤外線放射によって基材５の上に形成された電極材料の塗布膜が上下から加熱されることにより、塗布膜から溶剤が蒸発して乾燥処理が進行する。乾燥部４０においては、塗布膜に直接熱風を吹き付けることとなるが、既に予熱部２０にて予熱後の塗布膜に熱風を吹き付けているため、塗布膜の急速な乾燥に起因した亀裂等の不具合が生じるおそれはない。むしろ、予熱部２０にて予熱された塗布膜に乾燥部４０で直接熱風を吹き付けることにより、溶剤の蒸発を促進して塗布膜を効率良く乾燥させることができる。

また、本実施形態においては、乾燥部４０のチャンバ４１内に供給する熱風の流量よりもチャンバ４１から排気する気体の流量を大きくしている。チャンバ４１に供給する熱風の流量は、５個の上側熱風噴出部４５および５個の下側熱風噴出部５１から供給される熱風の流量の総量である。５個の上側熱風噴出部４５からチャンバ４１内に噴出される熱風は、予熱部２０にて３つの通気ボックス２５を通過して導風管３５によって乾燥部４０に導かれた熱風であり、その総流量は図３に示す流量調整弁２６によって規定される。一方、５個の下側熱風噴出部５１からチャンバ４１内に噴出される熱風の総流量は５個の流量調整弁５４によって規定される。なお、５個の上側熱風噴出部４５から噴出される熱風の流量は、流量調整弁２６の後段である５個の流量調整弁３６によって規定するようにしても良い。

また、チャンバ４１から排気される気体の流量は、６個の上側排気ボックス５６および６個の下側排気ボックス５５によって排気される気体の流量の総量である。６個の上側排気ボックス５６によってチャンバ４１から排気される気体の総流量は６個の流量調整弁９１によって規定される。一方、６個の下側排気ボックス５５によってチャンバ４１から排気される気体の総流量は６個の流量調整弁９４によって規定される。

従って、流量調整弁２６（または３６），５４によってチャンバ４１内に供給する熱風の流量を調整するとともに、流量調整弁９１，９４によってチャンバ４１から排気する気体の流量を調整することにより、チャンバ４１に対する熱風供給流量よりも排気流量を大きくすることができる。

チャンバ４１には、基材５を搬送するための搬入口４１ａおよび搬出口４１ｂが設けられているため、チャンバ４１の内部は完全な密閉空間とはなり得ない。しかしながら、チャンバ４１の長さが約３０００ｍｍであるのに対して搬入口４１ａおよび搬出口４１ｂの大きさは約１０ｍｍと小さく、チャンバ４１の内部は外部との気体の出入りがある程度制約された半密閉空間となっている。このため、チャンバ４１に対する熱風供給流量よりも排気流量を大きくすれば、チャンバ４１内の気圧を大気圧よりも低くすることができる。チャンバ４１内を大気圧よりも低い減圧雰囲気として湿度を低下させることにより、溶剤の蒸発をさらに促進して塗布膜の乾燥効率をより高めることができる。すなわち、本実施形態の上側排気ボックス５６および下側排気ボックス５５は、単に溶剤の蒸気を含んだ熱風を排気するためだけの要素ではなく、チャンバ４１内を減圧雰囲気として積極的に塗布膜の乾燥を促す役割をも担っている。

特に、本実施形態では、上側熱風噴出部４５と上側排気ボックス５６との配列において、チャンバ４１の搬入口４１ａに最も近い位置に上側入口排気ボックス５６ａを設け、搬出口４１ｂに最も近い位置に上側出口排気ボックス５６ｆを設けている。同様に、下側熱風噴出部５１と下側排気ボックス５５との配列において、チャンバ４１の搬入口４１ａに最も近い位置に下側入口排気ボックス５５ａを設け、搬出口４１ｂに最も近い位置に下側出口排気ボックス５５ｆを設けている。このため、チャンバ４１の搬入口４１ａからチャンバ４１内に向けて流入した大気は上側入口排気ボックス５６ａおよび下側入口排気ボックス５５ａによって回収されてチャンバ４１の外部に排気される。一方、チャンバ４１の搬出口４１ｂからチャンバ４１内に向けて流入した大気は上側出口排気ボックス５６ｆおよび下側出口排気ボックス５５ｆによって回収されてチャンバ４１の外部に排気されることとなる。その結果、少なくともチャンバ４１の両端部を除く中央領域は確実に大気圧よりも低い減圧雰囲気とすることができ、その領域を通過する基材５に形成された塗布膜の乾燥を促進することができる。

また、流量調整弁９１，９４によってチャンバ４１から排気する気体の流量を調整するに際して、チャンバ４１の両端部における排気流量が大きくなるようにしている。具体的には、上側入口排気ボックス５６ａおよび上側出口排気ボックス５６ｆに対応する流量調整弁９１が規定する流量を他の上側排気ボックス５６ｂ〜５６ｅに対応する流量調整弁９１が規定する流量よりも大きくする。同様に、下側入口排気ボックス５５ａおよび下側出口排気ボックス５５ｆに対応する流量調整弁９４が規定する流量を他の下側排気ボックス５５ｂ〜５５ｅに対応する流量調整弁９４が規定する流量よりも大きくする。これにより、６個の上側排気ボックス５６のうち上側入口排気ボックス５６ａおよび上側出口排気ボックス５６ｆが吸引する排気流量が他の上側排気ボックス５６が吸引する排気流量より大きくなる。また、６個の下側排気ボックス５５のうち下側入口排気ボックス５５ａおよび下側出口排気ボックス５５ｆが吸引する排気流量が他の下側排気ボックス５５が吸引する排気流量よりも大きくなる。その結果、チャンバ４１の搬入口４１ａおよび搬出口４１ｂから流入した大気を確実に外部に排気し、そのような大気の流入がチャンバ４１の中央領域における減圧を阻害するのを防止することができる。

また、５個の下側熱風噴出部５１が基材５の下方より上方に向けて熱風を吹き付けることにより、塗布膜を間接加熱するとともに、熱風の風圧によって基材５に上向きに浮上する力が作用する。これにより、予熱部２０におけるのと同様に、乾燥部４０に固有のローラを設けなくとも、補助ローラ８３ｂと補助ローラ８３ｃとの間で基材５が撓むことなく、搬送系路ＰＬに沿って（−Ｘ）側から（＋Ｘ）側に向けて搬送される。すなわち、下側熱風噴出部５１は、基材５を浮上搬送させるという搬送機構８０の補助的役割も果たすこととなる。

さらに、５個の上側熱風噴出部４５と５個の下側熱風噴出部５１とが搬送経路ＰＬを挟んで相対向して配置されているため、下側熱風噴出部５１から基材５の下面に熱風が吹き付けられる位置の反対面側（上面側）に上側熱風噴出部４５から熱風が吹き付けられる。同じく、６個の上側排気ボックス５６と６個の下側排気ボックス５５とが搬送経路ＰＬを挟んで相対向して配置されているため、下側排気ボックス５５による気体吸引が行われる基材５の下面の位置の反対面側においても上側排気ボックス５６による気体吸引が行われる。このため、基材５の上下面の同じ位置に上下から熱風が吹き付けられるとともに、気体吸引が行われることとなり、基材５の波うちを防止して安定して基材５を搬送することができる。

ところで、本実施形態においては、予熱部２０にて３つの通気ボックス２５を通過した熱風を導風管３５によって乾燥部４０の上側熱風噴出部４５に導いている。そして、上側熱風噴出部４５は通気ボックス２５の通気部２３から排出された熱風を基材５に吹き付けている。すなわち、予熱部２０にてセラミックプレート２４を加熱して赤外線を放射させるのに使用された熱風を乾燥部４０にて基材５の塗布膜に直接吹き付けることによって、熱風を再利用しているのである。このため、予熱部２０および乾燥部４０におけるトータルとしての熱風消費量の増大を抑制することができる。

３つの通気ボックス２５を通過してから導風管３５を流れる過程で熱風の温度低下は避けられない。このため、熱風送風部２７が最も上流側の通気ボックス２５の通気部２３に送給する熱風の温度を熱風噴出部３１が基材５に吹き付ける熱風の温度よりも高温としている。具体的には、導風管３５に導かれて上側熱風噴出部４５から基材５に吹き付けられる熱風の温度が下側熱風噴出部５１から基材５に吹き付けられる熱風の温度と同程度となるような温度の熱風を熱風送風部２７が送給すれば良い。なお、下側熱風噴出部５１が基材５に吹き付ける熱風の温度は、熱風噴出部３１が基材５に吹き付ける熱風の温度と同じ５０℃〜３００℃程度である（塗布膜の材料に依存する）。

次に、図９はアニール部６０の構成を示す図である。アニール部６０は、両端に開口が形成されたチャンバ６４の内側に下側熱風噴出部６１、上側熱風噴出部６５、上側排気ボックス６６および下側排気ボックス６９を備える。また、アニール部６０は、下側熱風噴出部６１に熱風を送給する熱風送風部６３および上側熱風噴出部６５に熱風を送給する熱風送風部６８を備える。

チャンバ６４は、搬送機構８０によって基材５が搬送される搬送経路ＰＬを囲むように設けられている。チャンバ６４の両端には、基材５が通過するための開口が形成されている。チャンバ６４の内側において、搬送経路ＰＬの下側には、複数の下側熱風噴出部６１（本実施形態では３個）と複数の下側排気ボックス６９（本実施形態では４個）とが基材５の搬送方向（Ｘ方向）に沿って交互に設けられる。また、チャンバ６４の内側において、搬送経路ＰＬの上側には、複数の上側熱風噴出部６５（本実施形態では３個）と複数の上側排気ボックス６６（本実施形態では４個）とが基材５の搬送方向に沿って交互に設けられる。アニール部６０のチャンバ６４の長さは特に限定されるものではないが、本実施形態では約２０００ｍｍとしている。

搬送経路ＰＬの下側に設けられた３個の下側熱風噴出部６１のそれぞれは、乾燥部４０の下側熱風噴出部５１と同様に、図示を省略する複数の噴出孔を上側に向けて備えている。下側熱風噴出部６１は、配管６２を介して熱風送風部６３と連通接続されている。熱風送風部６３は、ヒータおよび送風機を備えており、加熱した空気を熱風として下側熱風噴出部６１に送給する。複数の下側熱風噴出部６１は、熱風送風部６３から送給された熱風を噴出孔から上側の搬送経路ＰＬに向けて噴出する。

搬送経路ＰＬの上側に設けられた３個の上側熱風噴出部６５のそれぞれは、乾燥部４０の上側熱風噴出部４５と同様のものである。すなわち、各上側熱風噴出部６５は、搬送経路ＰＬと平行な整流板に噴出ヘッドを連結して構成されている。また、各上側熱風噴出部６５の整流板の下面には、加熱されることによって赤外線を放射するセラミックプレートが設けられている。但し、アニール部６０においては、上側熱風噴出部６５が配管６７を介して熱風送風部６８と連通接続されている。熱風送風部６８は、ヒータおよび送風機を備えており、加熱した空気を熱風として上側熱風噴出部６５に送給する。複数の上側熱風噴出部６５は、熱風送風部６８から送給された熱風を下側の搬送経路ＰＬに向けて噴出する。

基材５の搬送方向（Ｘ方向）に沿って隣り合って配置された上側熱風噴出部６５の間に上側排気ボックス６６が設けられている。また、上側排気ボックス６６は、上側熱風噴出部６５の配列の両端にも設けられている。すなわち、３個の上側熱風噴出部６５に対して４個の上側排気ボックス６６が設けられており、チャンバ６４の両端開口に最も近い位置には上側排気ボックス６６が配置される。各上側排気ボックス６６は、乾燥部４０の上側排気ボックス５６と同様のものであり、図示を省略する排気部と連通接続されている。

一方、基材５の搬送方向に沿って隣り合って配置された下側熱風噴出部６１の間に下側排気ボックス６９が設けられている。下側排気ボックス６９は、下側熱風噴出部６１の配列の両端にも設けられている。すなわち、３個の下側熱風噴出部６１に対して４個の下側排気ボックス６９が設けられており、チャンバ６４の両端開口に最も近い位置には下側排気ボックス６９が配置される。各下側排気ボックス６９は、図示を省略する排気部と連通接続されている。

また、乾燥部４０と同様に、３個の上側熱風噴出部６５と３個の下側熱風噴出部６１とが搬送経路ＰＬを挟んで相対向して配置されるとともに、４個の上側排気ボックス５６と４個の下側排気ボックス６９とが搬送経路ＰＬを挟んで相対向して配置されている。これにより、基材５の上下面の同じ位置に上下から熱風が吹き付けられるとともに、気体吸引が行われることとなり、アニール部６０における基材５の搬送を安定させることができる。

乾燥部４０にて電極材料の塗布膜の乾燥処理が行われた基材５は、搬送機構８０によって搬送経路ＰＬに沿って乾燥部４０からアニール部６０に向けて搬送される。基材５がアニール部６０を通過する際に、塗布膜は上側熱風噴出部６５および下側熱風噴出部６１からの熱風噴出によってさらに加熱される。すなわち、熱風送風部６３から熱風が送給された下側熱風噴出部６１が基材５の下方より熱風を吹き付けることによって、直接的には基材５が加熱され、その基材５からの熱伝導によって電極材料の塗布膜が加熱される。下側熱風噴出部６１から基材５の下面に吹き付けられた熱風は、下側熱風噴出部６１の両隣に設けられた下側排気ボックス６９によって回収される。また、熱風送風部６８から熱風が送給された上側熱風噴出部６５が基材５の上方より熱風を吹き付けることによって、塗布膜が熱風により直接加熱される。上側熱風噴出部６５および下側熱風噴出部６１が基材５に吹き付ける熱風の温度は、乾燥部４０の上側熱風噴出部４５および下側熱風噴出部５１が吹き付ける熱風の温度よりも高温である。

上側熱風噴出部６５から基材５の上面に吹き付けられた熱風は、整流板と基材５との間をＸ方向に沿って流れ、上側熱風噴出部６５の両隣に設けられた排気ボックス６６に回収される。整流板と基材５との間を熱風が流れるため、基材５の上に形成された塗布膜は湿度の少ない熱風と接触し続けることとなり、効率良く塗布膜を加熱乾燥することができる。また、整流板と基材５との間を熱風が流れることによって、整流板の下面に設けられたセラミックプレートも加熱されることとなり、その結果、加熱されたセラミックプレートから赤外線が放射されて塗布膜が加熱される。

このような上側熱風噴出部６５および下側熱風噴出部６１からの熱風噴出、さらにはセラミックプレートからの赤外線放射によって基材５の上に形成された電極材料の塗布膜が上下から加熱されることにより、塗布膜は乾燥処理時よりもさらに高温に加熱され、乾燥部４０での乾燥処理で塗布膜中に発生した歪みおよび残留応力が除去される。また、塗布膜中に若干残留していた溶剤も完全に蒸発する。アニール部６０でも塗布膜に直接熱風を吹き付けることとなるが、既に乾燥された塗布膜に熱風を吹き付けているため、急速な乾燥に起因した亀裂等の不具合が生じるおそれはない。

また、乾燥部４０におけるのと同様に、チャンバ６４内に供給する熱風の流量よりもチャンバ６４から排気する気体の流量を大きくしている。具体的には、３個の上側熱風噴出部６５および３個の下側熱風噴出部６１から供給される熱風の流量の総量よりも４個の上側排気ボックス６６および４個の下側排気ボックス６９によって排気される気体の流量の総量が大きくなるように、それぞれに対応して設けられた流量調整弁（図示省略）を調整すれば良い。このようにすることによって、チャンバ６４内を大気圧よりも低い減圧雰囲気とすることができ、溶剤の蒸発を促進して塗布膜の乾燥効率をより高めることができる。

また、下側熱風噴出部６１が基材５の下方より上方に向けて熱風を吹き付けることにより、熱風の風圧によって基材５に上向きに浮上する力が作用する。これにより、予熱部２０および乾燥部４０におけるのと同様に、下側熱風噴出部６１は、基材５を浮上搬送させるという搬送機構８０の補助的役割も果たすこととなる。

次に、図１０は冷却部７０の構成を示す図である。冷却部７０は、乾燥処理後の基材５を冷却する。冷却部７０は、両端に開口が形成されたチャンバ７４の内側に下側冷風噴出部７１、上側冷風噴出部７５および排気ボックス７６を備える。また、冷却部７０は、下側冷風噴出部７１に常温のドライエアを送給する冷風送風部７３および上側冷風噴出部７５にドライエアを送給する冷風送風部７８を備える。

チャンバ７４は、搬送機構８０によって基材５が搬送される搬送経路ＰＬを囲むように設けられている。チャンバ７４の両端には、基材５が通過するための開口が形成されている。チャンバ７４の内側において、搬送経路ＰＬの下側には、複数の下側冷風噴出部７１（本実施形態では３個）が基材５の搬送方向（Ｘ方向）に沿って設けられる。また、チャンバ７４の内側において、搬送経路ＰＬの上側には、複数の上側冷風噴出部７５（本実施形態では３個）と複数の排気ボックス７６（本実施形態では４個）とが基材５の搬送方向に沿って交互に設けられる。冷却部７０のチャンバ７４の長さは特に限定されるものではないが、本実施形態では約１０００ｍｍとしている。

搬送経路ＰＬの下側に設けられた３個の下側冷風噴出部７１のそれぞれは、図示を省略する複数の噴出孔を上側に向けて備えている。下側冷風噴出部７１は、配管７２を介して冷風送風部７３と連通接続されている。冷風送風部７３は、送風機および除湿器を備えており、常温のドライエアを下側冷風噴出部７１に送給する。複数の下側冷風噴出部７１は、冷風送風部７３から送給されたドライエアを噴出孔から上側の搬送経路ＰＬに向けて噴出する。

一方、搬送経路ＰＬの上側に設けられた３個の上側冷風噴出部７５のそれぞれの構成は、乾燥部４０の上側熱風噴出部４５の構成と概ね同様である。すなわち、各上側冷風噴出部７５は、搬送経路ＰＬと平行な整流板に噴出ヘッドを連結して構成されている。但し、冷却部７０の上側冷風噴出部７５にはセラミックプレートは設けられていない。また、冷却部７０においては、上側冷風噴出部７５が配管７７を介して冷風送風部７８と連通接続されている。冷風送風部７８は、送風機および除湿器を備えており、常温のドライエアを上側冷風噴出部７５に送給する。複数の上側冷風噴出部７５は、冷風送風部７８から送給されたドライエアを下側の搬送経路ＰＬに向けて噴出する。

また、上側冷風噴出部７５と下側冷風噴出部７１とが搬送経路ＰＬを挟んで相対向して配置されている。これにより、基材５の上下面の同じ位置に上下から風圧が作用することとなり、冷却部７０における基材５の搬送を安定させることができる。

基材５の搬送方向（Ｘ方向）に沿って隣り合って配置された上側冷風噴出部７５の間に排気ボックス７６が設けられている。また、排気ボックス７６は、上側冷風噴出部７５の配列の両端にも設けられている。すなわち、３個の上側冷風噴出部７５に対して４個の排気ボックス７６が設けられている。各排気ボックス７６は、乾燥部４０の排気ボックス５６と同様のものである。

予熱部２０からアニール部６０にかけて電極材料の塗布膜の加熱処理が行われた基材５は、搬送機構８０によって搬送経路ＰＬに沿ってアニール部６０から冷却部７０に向けて搬送される。基材５が冷却部７０を通過する際に、高温の塗布膜は上側冷風噴出部７５および下側冷風噴出部７１からのドライエア噴出によって冷却される。すなわち、冷風送風部７３から常温のドライエアが送給された下側冷風噴出部７１が基材５の下方よりドライエアを吹き付けることによって、直接的には基材５が冷却され、塗布膜から基材５に熱伝導が生じることによって塗布膜が冷却される。また、冷風送風部７８から常温のドライエアが送給された上側冷風噴出部７５が基材５の上方よりドライエアを吹き付けることによって、塗布膜が直接冷却される。

上側冷風噴出部７５から基材５の上面に吹き付けられたドライエアは、整流板と基材５との間をＸ方向に沿って流れ、上側冷風噴出部７５の両隣に設けられた排気ボックス７６に回収される。整流板と基材５との間をドライエアが流れるため、基材５の上に形成された塗布膜は常温のドライエアと接触し続けることとなり、効率良く塗布膜を冷却することができる。

このような上側冷風噴出部７５および下側冷風噴出部７１からのドライエア噴出によって基材５の上に形成された電極材料の塗布膜が上下から冷却されることにより、乾燥処理後の塗布膜の温度が急速に低下する。上側冷風噴出部７５および下側冷風噴出部７１から噴出するドライエアの流量は、塗布膜に歪みが生じない程度の冷却速度とすれば良い。また、冷却部７０では、必ずしも基材５を常温まで冷却する必要はなく、巻き取りローラ８２が巻き取り可能な程度にまで冷却すれば足りる。

また、下側冷風噴出部７１が基材５の下方より上方に向けてドライエアを吹き付けることにより、ドライエアの風圧によって基材５に上向きに浮上する力が作用する。これにより、予熱部２０からアニール部６０におけるのと同様に、下側冷風噴出部７１は、基材５を浮上搬送させるという搬送機構８０の補助的役割をも果たすこととなる。冷却処理のなされた基材５は巻き取りローラ８２によって巻き取られる。なお、基材５の片面に対する電極材料の塗布膜形成が終了した後、その基材５を反転させて再び巻き出しローラ８１から塗布処理部１０、予熱部２０、乾燥部４０、アニール部６０、冷却部７０の順に搬送し、反対面に対する電極材料の塗布膜形成を行うようにしても良い。

本発明に係る乾燥装置である乾燥部４０においては、チャンバ４１内に供給する熱風の流量よりもチャンバ４１から排気する気体の流量を大きくし、チャンバ４１内を大気圧よりも低い減圧雰囲気としている。このため、塗布膜からの溶剤の蒸発を促進することができ、塗布膜の乾燥効率を高めて乾燥時間を短くすることができる。

以上、本発明の実施の形態について説明したが、この発明はその趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。例えば、上記実施形態の熱処理システム１においては、基材５の上に形成された電極材料の塗布膜を加熱する３つのゾーン（予熱部２０、乾燥部４０、アニール部６０）を設けていたが、塗布膜の乾燥処理という観点からは、アニール部６０は必ずしも必須の要素ではない。例えば、塗布膜の材料が乾燥処理時にほとんど歪み等が生じないものであれば、塗布膜の乾燥処理を行う乾燥装置としては予熱部２０および乾燥部４０を備えていれば足りる。

また、上記実施形態においては、予熱部２０にてセラミックプレート２４を加熱するのに使用された熱風を乾燥部４０の上側熱風噴出部４５に供給して再利用するようにしていたが、アニール部６０と同様に、上側熱風噴出部４５に専用の熱風送風部を設け、そこから上側熱風噴出部４５に熱風を送給するようにしても良い。このようにしても、チャンバ４１内に供給する熱風の流量よりもチャンバ４１から排気する気体の流量を大きくしてチャンバ４１内を減圧雰囲気とすることにより、溶剤の蒸発を促進して塗布膜の乾燥効率を高めることができる。

また、予熱部２０から乾燥部４０の上側熱風噴出部４５に導かれる熱風を温調する温調部を導風管３５に設けるようにしても良い。このような温調部としては、温調された空気を導風管３５に合流させる機構または熱交換器などを用いることができる。

また、アニール部６０において、乾燥部４０と同様に、チャンバ６４の両端部における排気流量が大きくなるようにしても良い。このようにすれば、チャンバ６４の両端開口から流入した大気を確実に外部に排気してチャンバ６４の中央領域を確実に大気圧よりも低い減圧雰囲気とすることができる。

また、上記実施形態においては、上側排気ボックス５６と同様に、下側入口排気ボックス５５ａおよび下側出口排気ボックス５５ｆが吸引する排気流量を他の下側排気ボックス５５が吸引する排気流量よりも大きくしていたが、６個の下側排気ボックス５５の排気流量は同じであっても良い。もっとも、乾燥部４０における基材５の搬送を安定させる観点からは、上側排気ボックス５６と同様に、両端の下側排気ボックス５５の排気流量を大きくするのが好ましい。

また、乾燥部４０に設けられる上側熱風噴出部４５、上側排気ボックス５６、下側熱風噴出部５１および下側排気ボックス５５の個数は上記実施形態の例に限定されるものではなく、乾燥部４０の長さ等に応じて適宜のものとすることができる。同様に、アニール部６０および冷却部７０に設けられる風噴出部の個数も上記実施形態の例に限定されるものではなく、適宜のものとすることができる。

また、本発明に係る技術を用いて乾燥処理を行う対象となる塗布膜はリチウムイオン二次電池の電極材料膜に限定されるものではなく、例えば太陽電池材料（電極材、封止材）の塗布膜または電子材料の絶縁膜や保護膜であっても良い。比較的粘度の高い材料を厚く塗布した塗布膜を乾燥させるのに本発明に係る技術を好適に適用することができる。よって、顔料や接着剤の塗布膜を乾燥させるのに、本発明に係る技術を用いるようにしても良い。

１ 熱処理システム
５ 基材
１０ 塗布処理部
１１ 塗布ノズル
２０ 予熱部
２１，４１，６４，７４ チャンバ
２３ 通気部
２４，４２ セラミックプレート
２５ 通気ボックス
２６，３６，５４，９１，９４ 流量調整弁
２７，３３，５３，６３，６８ 熱風送風部
３１ 熱風噴出部
３５ 導風管
４０ 乾燥部
４１ａ 搬入口
４１ｂ 搬出口
４３ 整流板
４５，６５ 上側熱風噴出部
４６ 噴出ヘッド
５０ 拡散防止板
５１，６１ 下側熱風噴出部
５５，６９ 下側排気ボックス
５６，６６ 上側排気ボックス
５８，９３ 排気部
６０ アニール部
７０ 冷却部
７１ 下側冷風噴出部
７５ 上側冷風噴出部
７３，７８ 冷風送風部
８０ 搬送機構
８３ａ〜８３ｅ 補助ローラ
ＰＬ 搬送経路

Claims (7)

1. 基材の上に形成された塗布膜の乾燥処理を行う乾燥装置であって、
   両端に搬入口および搬出口が形成されたチャンバと、
   塗布膜が形成された基材を前記チャンバ内にて前記搬入口から前記搬出口に向けて搬送する搬送手段と、
   前記チャンバ内に熱風を供給する熱風供給手段と、
   前記チャンバ内から気体を排気する排気手段と、
   を備え、
   前記排気手段による排気流量を前記熱風供給手段による熱風供給流量よりも大きくして前記チャンバ内の気圧を大気圧よりも低くしたことを特徴とする乾燥装置。
2. 請求項１記載の乾燥装置において、
   前記熱風供給手段は、前記搬送手段によって基材が搬送される搬送経路の上側に設けられて基材の上方より熱風を吹き付ける複数の上側熱風噴出部および前記搬送経路の下側に設けられて基材の下方より熱風を吹き付ける複数の下側熱風噴出部を含み、
   前記排気手段は、前記搬送経路の上側に設けられて基材の上方より気体を吸引する複数の上側吸引部および前記搬送経路の下側に設けられて基材の下方より気体を吸引する複数の下側吸引部を含み、
   前記複数の上側熱風噴出部と前記複数の上側吸引部とが前記搬送経路に沿って交互に配置されるとともに、前記複数の下側熱風噴出部と前記複数の下側吸引部とが前記搬送経路に沿って交互に配置されることを特徴とする乾燥装置。
3. 請求項２記載の乾燥装置において、
   前記複数の上側吸引部は、前記複数の上側熱風噴出部のいずれよりも前記搬入口に近い上側入口吸引部および前記複数の上側熱風噴出部のいずれよりも前記搬出口に近い上側出口吸引部を含み、
   前記複数の下側吸引部は、前記複数の下側熱風噴出部のいずれよりも前記搬入口に近い下側入口吸引部および前記複数の下側熱風噴出部のいずれよりも前記搬出口に近い下側出口吸引部を含むことを特徴とする乾燥装置。
4. 請求項３記載の乾燥装置において、
   前記複数の上側吸引部のうち前記上側入口吸引部および前記上側出口吸引部が吸引する排気流量は他の上側吸引部が吸引する排気流量よりも大きく、
   前記複数の下側吸引部のうち前記下側入口吸引部および前記下側出口吸引部が吸引する排気流量は他の下側吸引部が吸引する排気流量よりも大きいことを特徴とする乾燥装置。
5. 請求項２から請求項４のいずれかに記載の乾燥装置において、
   前記複数の上側熱風噴出部と前記複数の下側熱風噴出部とが相対向して配置されるとともに、
   前記複数の上側吸引部と前記複数の下側吸引部とが相対向して配置されることを特徴とする乾燥装置。
6. 請求項２から請求項５のいずれかに記載の乾燥装置において、
   前記複数の上側熱風噴出部のそれぞれは、
   前記搬送経路と平行に設けられた整流板と、
   前記整流板の下面に貼設され、加熱されることによって赤外線を放射するセラミックプレートと、
   を有することを特徴とする乾燥装置。
7. 基材の上に塗布液を塗布して塗布膜を形成する塗布処理部と、
   前記塗布膜の予熱を行う予熱部と、
   請求項１から請求項６のいずれかに記載の乾燥装置と、
   乾燥処理後の基材を冷却する冷却部と、
   を備えることを特徴とする熱処理システム。

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