CN105449157A - 烘干装置、涂敷膜形成装置以及烘干方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种烘干装置、涂敷膜形成装置以及烘干方法，能够一边限制需要的温度计的数量，一边高精度地判断烘干炉内的温度是否达到目标温度。该烘干装置具有向烘干炉的内部供给热风的热风供给机构、从烘干炉的内部排出气体的排气机构。另外，排气机构具有：从设于烘干炉内的多个排气口延伸至烘干炉的外部的排气管道；测量排气管道内的气体的温度的排气温度计。因此，基于排气温度计的测量值，能够高精度地判断烘干炉内的温度是否达到目标温度。当开始进行烘干处理时，在排气温度计的测量值达到预先设定的基准值之后，开始运送基材。由此，能够减少基材的烘干不良。
Description
技术领域
本发明涉及一种烘干装置、具有该烘干装置的涂敷膜形成装置以及一种烘干方法，该烘干装置烘干在长条形的基材的表面上涂敷的涂敷液，该烘干方法用于烘干在长条形的基材的表面上涂敷的涂敷液。
背景技术
在现有技术中，在锂离子(lithiumion)电池等化学电池的制造工序中，进行如下的处理，该处理是：在长条形的基材(例如金属箔)的表面上，形成成为电极膜的涂敷膜。在该处理中，首先，一边以所谓的卷对卷(rolltoroll)方式来运送基材，一边在基材的表面上涂敷含有电极材料的涂敷液。然后，一边进一步地运送基材，一边烘干在基材的表面上涂敷的涂敷液。针对烘干在基材的表面上涂敷而成的涂敷膜的现有的烘干装置，例如，在专利文献1中有记载。
专利文献1的烘干装置具有：基材通过的烘干炉、向烘干炉内吹出热风的机构、从烘干炉排气的机构(参照图1等)。另外，在专利文献1的烘干装置中，为了在烘干炉内达到一定的烘干状态，调整气体的温度，以使供给至烘干炉的气体的温度接近目标设定温度(参照权利要求1、权利要求3、权利要求5～8、图2等)。
专利文献1：日本特开2011-80718号公报
当烘干装置启动时，优选地，在开始向烘干炉供给热风之后，等到烘干炉内的温度上升至目标温度而达到稳定状态后，开始进行基材的运送。但是，通常烘干炉内的温度比向烘干炉供给热风的进气管道内的温度上升得慢。因此，如专利文献1那样，仅测量进气管道内的温度，即使该测量值上升至目标温度，烘干炉内的温度也未必上升至目标温度。若在烘干炉内的温度还没有上升至足够高的状态下，就开始进行基材的运送，则有发生涂敷液的烘干不良的危险。
为了高精度地测量烘干炉内的温度，例如，也考虑到在烘干炉内的各个地方设置温度计。但是，例如，在用于锂离子电池的制造工序的烘干装置中，烘干炉的长度有时会接近10米。若想要测量这样的大型烘干炉的内部整体的温度，必需在烘干炉内设置很多温度计，装置的制造成本会上升。
发明内容
本发明是鉴于这样的事情而提出的，其目的在于，提供一种烘干装置、涂敷膜形成装置以及烘干方法，能够既限制所需要的温度计的数量，又高精度地判断烘干炉内的温度是否达到目标温度。
为了解决上述问题，本申请的第1发明是一种烘干装置，用于烘干在长条形的基材的表面上涂敷的涂敷液，具有：运送机构，沿着规定的运送路径运送基材，烘干炉，所述运送路径的一部分配置于该烘干炉的内部，热风供给机构，向所述烘干炉的内部供给热风，排气机构，从所述烘干炉的内部排出气体；所述排气机构具有：排气管道，从设置于所述烘干炉内的多个排气口延伸至所述烘干炉的外部，排气温度计，测量所述排气管道内的气体的温度。
本申请的第2发明是第1发明的烘干装置，所述排气管道具有：多个单独管道，分别与所述多个排气口连接，集合管道，使所述多个单独管道内的气体汇合并流向下游侧；所述排气温度计测量所述集合管道内的气体的温度。
本申请的第3发明是第1发明的烘干装置，所述排气管道具有：多个单独管道，分别与所述多个排气口连接，集合管道，使所述多个单独管道内的气体汇合并流向下游侧；所述排气温度计测量所述单独管道内的气体的温度。
本申请的第4发明是第1发明的烘干装置，所述排气管道具有：炉内管道，位于所述烘干炉的内部，炉外管道，位于所述烘干炉的外部；所述排气温度计测量所述炉内管道内的气体的温度。
本申请的第5发明是第1发明的烘干装置，还具有控制部，该控制部控制所述热风供给机构以及所述运送机构，所述控制部在使所述热风供给机构开始工作之后，当所述排气温度计的测量值达到预先设定的基准值时，或者，当所述排气温度计的测量值的变化收敛于预先设定的范围内时，使所述运送机构开始工作。
本申请的第6发明是第5发明的烘干装置，所述控制部具有排气量计算单元，该排气量计算单元将所述排气温度计的测量值换算为所述排气管道内的排气量。
本申请的第7发明是第1发明的烘干装置，所述多个排气口包括：多个第一排气口，配置于所述烘干炉内的所述运送路径的上侧的空间，多个第二排气口，配置于所述烘干炉内的所述运送路径的下侧的空间。
本申请的第8发明是第1发明的烘干装置，所述热风供给机构具有：进气管道，与设置于所述烘干炉内的多个进气口连接，进气温度计，测量所述进气管道内的气体的温度。
本申请的第9发明是一种涂敷膜形成装置，用于在长条形的基材的表面形成涂敷膜，其具有：第1发明～第8发明中的任一个发明的烘干装置；涂敷装置，在所述运送路径上位于所述烘干炉的上游侧，用于在基材的表面上涂敷涂敷液。
本申请的第10发明是一种烘干方法，用于一边沿着规定的运送路径运送长条形的基材，一边在内部配置有所述运送路径的一部分的烘干炉内，烘干在基材的表面上涂敷的涂敷液，其包括：工序a，开始向所述烘干炉内供给热风，并且开始从所述烘干炉向排气管道排出气体，工序b，测量所述排气管道内的气体的温度，并监视测量值是否达到预先设定的基准值，或者，监视所述测量值的变化是否收敛于预先设定的范围内，工序c，当在所述工序b中判断为所述测量值达到所述基准值或者所述测量值的变化收敛于所述范围内时，开始运送基材。。
本申请的第11发明是第10发明的烘干方法，在所述工序a、所述工序b以及所述工序c中，从设置于所述烘干炉内的多个排气口向所述排气管道排出气体。
本申请的第12发明是第11发明的烘干方法，所述排气管道具有：多个单独管道，分别与所述多个排气口连接，集合管道，使所述多个单独管道内的气体汇合并流向下游侧；在所述工序b中，测量所述集合管道内的气体的温度。
本申请的第13发明是第11发明的烘干方法，所述排气管道具有：多个单独管道，分别与所述多个排气口连接，集合管道，使所述多个单独管道内的气体汇合并流向下游侧；在所述工序b中，测量所述单独管道内的气体的温度。
本申请的第14发明是第11发明的烘干方法，所述多个排气口包括：多个第一排气口，配置于所述烘干炉内的所述运送路径的上侧的空间，多个第二排气口，配置于所述烘干炉内的所述运送路径的下侧的空间。
本申请的第15发明是一种烘干方法，用于一边沿着规定的运送路径运送长条形的基材，一边在内部配置有所述运送路径的一部分的烘干炉内，烘干在基材的表面上涂敷的涂敷液，所述烘干方法包括：工序d，开始从进气管道向所述烘干炉内供给热风，并且开始从所述烘干炉向排气管道排出气体，工序e，测量所述排气管道内的气体的温度以及所述进气管道内的气体的温度，并监视测量值是否达到预先设定的基准值，或者，监视所述测量值的变化是否收敛于预先设定的范围内，工序f，当在所述工序e中判断为所述测量值达到所述基准值或者所述测量值的变化收敛于所述范围内时，开始运送基材。
若采用本申请的第1发明～第9发明，则能够测量从烘干炉排出的气体的温度。因此，能够基于该测量值，高精度地判断烘干炉内的温度是否达到目标温度。
特别地，若采用本申请的第2发明，则与分别测量多个单独管道内的温度的情况相比，能够减少排气温度计的数量。
特别地，若采用本申请的第3发明，则能够在排气管道中的集合管道的上游侧测量气体的温度。因此，能够得到接近烘干炉内的温度的测量值。
特别地，若采用本申请的第4发明，则在气体受到外部气体的影响而冷却之前，能够测量气体的温度。因此，能够得到接近烘干炉内的温度的测量值。
特别地，若采用本申请的第5发明，则能够在基于排气温度计的测量值来自动地检测出烘干炉内的温度达到目标温度之后，开始运送基材。由此，能够减少基材的烘干不良。
特别地，若采用本申请的第6发明，则能够基于排气温度计的测量值，来推断排气管道内的排气量。由此，能够检测从烘干炉的气体泄漏等出错。
特别地，若采用本申请的第7发明，则测量从烘干炉内的运送路径的上侧的空间和运送路径的下侧的空间这两者排出的气体的温度。因此，能够更加高精度地判断烘干炉内的温度是否达到目标温度。
特别地，若采用本申请的第8发明，则不仅能够测量从烘干炉排出的气体的温度，而且还能够测量向烘干炉内供给的气体的温度。由此，能够更加高精度地判断烘干炉内的温度是否达到目标温度。
另外，若采用本申请的第10发明，则基于从烘干炉排出的气体的温度，能够高精度地判断烘干炉内的温度是否达到目标温度。另外，通过在达到目标温度之后再开始运送基材，能够减少基材的烘干不良。
特别地，若采用本申请的第12发明，则与分别测量多个单独管道内的温度的情况相比，能够减少排气温度计的数量。
特别地，若采用本申请的第13发明，则能够在排气管道中的集合管道的上游侧测量气体的温度。因此，能够得到接近烘干炉内的温度的测量值。
特别地，若采用本申请的第14发明，则测量从烘干炉内的运送路径的上侧的空间和运送路径的下侧的空间这两者排出的气体的温度。因此，能够更加高精度地判断烘干炉内的温度是否达到目标温度。
另外，若采用本申请的第15发明，则基于从烘干炉排出的气体的温度以及向烘干炉内供给的气体的温度，能够高精度地判断烘干炉内的温度是否达到目标温度。另外，通过在达到目标温度之后再开始运送基材，能够减少基材的烘干不良。
附图说明
图1是示出涂敷膜形成装置的结构的图。
图2是示出涂敷膜形成装置内的各部分与控制部之间的连接结构的框图。
图3是示出烘干装置的结构的图。
图4是示出当涂敷膜形成装置开始进行涂敷、烘干处理时进行的初期动作流程的流程图。
图5是示出第一排气温度计或者第二排气温度计的测量值的例子的图。
图6是示出变形例的烘干装置的结构的图。
图7是示出变形例的烘干装置的结构的图。
图8是变形例的控制部的功能框图。
图9是示出变形例的烘干装置的结构的图。
其中，附图标记说明如下：
1涂敷膜形成装置
9基材
10运送机构
20涂敷装置
30烘干装置
31第一进气口
32进气口
33排气口
34排气口
40控制部
44排气量计算单元
50烘干炉
51运入口
52运出口
60第一热风供给机构
61第一进气管道
62第一进气鼓风机
63第一加热部
64第一进气温度计
70第二热风供给机构
71第二进气管道
72第二进气鼓风机
73第二加热部
74第二进气温度计
80第一排气机构
81第一排气管道
82第一排气鼓风机
83第一排气温度计
90第二排气机构
91第二排气管道
92第二排气鼓风机
93第二排气温度计
611第一共用管道
612第一分支管道
711第二共用管道
712第二分支管道
811第一单独管道
811a炉内管道
811b炉外管道
812第一集合管道
812a炉内管道
812b炉外管道
911第二单独管道
911a炉内管道
911b炉外管道
912第二集合管道
912a炉内管道
912b炉外管道
具体实施方式
以下，一边参照附图，一边针对本发明的实施方式进行说明。
＜1.涂敷膜形成装置的结构＞
图1是示出本发明的一个实施方式的涂敷膜形成装置1的结构的图。该涂敷膜形成装置1一边沿着长度方向运送长条形的基材9，一边在基材9的表面上涂敷含有作为电极材料的活性物质的涂敷液，然后烘干涂敷液，从而制造锂离子二次电池的电极。基材9例如使用铜箔或者铝箔等金属箔。如图1所示，涂敷膜形成装置1具有运送机构10、涂敷装置20、烘干装置30以及控制部40。
运送机构10是向沿着基材的长度方向的运送方向运送基材9的机构。本实施方式的运送机构10具有放卷辊11、多个运送辊12以及卷收辊13。基材9从放卷辊11放出，再通过多个运送辊12沿着规定的运送路径运送。各运送辊12通过以水平轴为中心进行旋转，来将基材9引导至运送路径的下游侧。另外，通过使基材9与多个运送辊12相接触，来对基材9施加张力。由此，防止在运送中基材9的松弛或者褶皱。运送后的基材9被回收至卷收辊13。此外，运送辊12的位置、数量也可以不与图1的相同。
涂敷装置20是在由运送机构10运送的基材9的表面上涂敷涂敷液的装置。基材9在运送路径上的烘干装置30的上游侧，被兼具运送辊的功能的支撑辊14支撑。支撑辊14是圆柱形状的辊，其与基材9的背面接触，并且以水平轴为中心进行旋转。涂敷装置20具有涂敷喷嘴21，涂敷喷嘴21与被支撑辊14支撑的基材9的表面相向。例如，涂敷喷嘴21使用具有沿着宽度方向延伸的狭缝状的喷出口的所谓的狭缝喷嘴。此外，宽度方向是指，与基材的长度方向正交的水平方向。
涂敷喷嘴21经由供液管道22与涂敷液供给源23连接。另外，在供液管道22上安装有开关阀24。因此，当打开开关阀24时，从涂敷液供给源23通过供液管道22向涂敷喷嘴21供给涂敷液。然后，从涂敷喷嘴21的喷出口向支撑辊14所支撑的基材9的表面喷出涂敷液。由此，在基材9的表面上涂敷涂敷液。
此外，涂敷喷嘴21并不一定要向支撑辊14所支撑的基材9的表面喷出涂敷液。例如，也可以向横跨相邻的辊之间的基材9的表面喷出涂敷液。
烘干装置30是烘干在基材9的表面上涂敷的涂敷液的装置。烘干装置30配置于运送路径上的涂敷装置20的下游侧。烘干装置30在烘干炉50内加热由运送机构10运送的基材9。由此，涂敷于基材9的表面上的涂敷液中的溶剂汽化。其结果，涂敷液烘干，形成涂敷膜。
控制部40是用于控制涂敷膜形成装置1内的各部分的动作的单元。如图1中概念性地示出地那样，控制部40由如下的计算机构成，该计算机具有CPU等运算处理部41、RAM等存储器42以及硬盘驱动器等存储部43。图2是示出涂敷膜形成装置1内的各部分与控制部40之间的连接结构的框图。如图2所示，控制部40分别与运送机构10、开关阀24、后述的第一进气鼓风机(blower)62、第一加热部63、第二进气鼓风机72、第二加热部73、第一排气鼓风机82、第一排气温度计83、第二排气鼓风机92以及第二排气温度计93电连接。
控制部40将存储部43中所存储的计算机程序、数据暂时地读出到存储器42，并使运算处理部41基于该计算机程序以及数据进行运算处理，由此控制涂敷膜形成装置1内的各部分的动作。由此，进行涂敷膜形成装置1中的涂敷、烘干处理。
＜2.烘干装置的结构＞
接下来，针对烘干装置30的更加详细的结构进行说明。
图3是示出烘干装置30的结构的图。如图3所示，烘干装置30具有烘干炉50、第一热风供给机构60、第二热风供给机构70、第一排气机构80以及第二排气机构90。此外，上述的运送机构10以及控制部40还发挥烘干装置30中的运送机构以及控制部的功能。
烘干炉50是在内部具有用于烘干涂敷液的处理空间的壳体。在烘干炉50的一侧端面上设有基材9的运入口51。另外，在烘干炉50的另一侧端面上设有基材9的运出口52。由运送机构10运送的基材9从运入口51运入烘干炉50的内部，在烘干炉50的内部接受烘干处理之后，再从运出口52运出至烘干炉50的外部。即，基材9的运送路径的一部分配置于烘干炉50的内部。
在本实施方式中，在烘干炉50的内部，以基材9的涂敷有涂敷液的处理面朝向上侧的状态，水平地运送基材9。但是，基材9在烘干炉50内的姿势不一定是水平的。
在烘干炉50的内部设有多个第一进气口31、多个第二进气口32、多个第一排气口33以及多个第二排气口34。多个第一进气口31以及多个第一排气口33配置于烘干炉50内的基材9的运送路径的上侧的空间。另外，多个第一进气口31以及多个第一排气口33与基材9的上表面相向。多个第二进气口32以及多个第二排气口34配置于烘干炉50内的基材9的运送路径的下侧的空间。另外，多个第二进气口32以及多个第二排气口34与基材9的下表面相向。
当烘干装置30运转时，如图3中的白色箭头所示，从多个第一进气口31以及多个第二进气口32向基材9喷出热风。另外，如图3中的带阴影的箭头所示，烘干炉50内的气体被吸入多个第一排气口33以及多个第二排气口34。由于这些进出气体所产生的压力，烘干炉50内的基材9在上浮规定的高度的状态下被运送。
此外，在本实施方式中，3个第一进气口31和1个第一排气口33沿着运送方向交替地配置。另外，多个第二进气口32沿着运送方向等间隔地排列，并且在其上游侧以及下游侧的端部附近分别配置有第二排气口34。但是，多个第一进气口31、多个第二进气口32、多个第一排气口33以及多个第二排气口34也可以配置于烘干炉50内的其他位置。例如，也可以是一个第一进气口31与一个第一排气口33沿着运送方向交替地配置。
第一热风供给机构60是用于经由多个第一进气口31向烘干炉50的内部供给热风的机构。如图3所示，第一热风供给机构60具有第一进气管道61、向第一进气管道61送入空气的第一进气鼓风机62。第一进气管道61具有一个第一共用管道611和多个第一分支管道612。第一共用管道611的上游侧的端部与第一进气鼓风机62连接。第一共用管道611的下游侧的端部与多个第一分支管道612的上游侧的端部相互连接。另外，多个第一分支管道612的下游侧的端部分别与多个第一进气口31连接。
另外，在第一共用管道611的路径上安装有第一加热部63。当第一进气鼓风机62以及第一加热部63启动时，从第一进气鼓风机62向第一共用管道611内送入空气。并且，该空气在第一加热部63被加热，变成热风。然后，热风分流至多个第一分支管道612，并从多个第一进气口31向基材9的上表面喷出。
第二热风供给机构70是用于经由多个第二进气口32向烘干炉50的内部供给热风的机构。如图3所示，第二热风供给机构70具有第二进气管道71、向第二进气管道71送入空气的第二进气鼓风机72。第二进气管道71具有一个第二共用管道711和多个第二分支管道712。第二共用管道711的上游侧的端部与第二进气鼓风机72连接。第二共用管道711的下游侧的端部与多个第二分支管道712的上游侧的端部相互连接。另外，多个第二分支管道712的下游侧的端部分别与多个第二进气口32连接。
另外，在第二共用管道711的路径上安装有第二加热部73。当第二进气鼓风机72以及第二加热部73启动时，从第二进气鼓风机72向第二共用管道711内送入空气。并且，该空气在第二加热部73被加热，变成热风。然后，热风分流至多个第二分支管道712，并从多个第二进气口32向基材9的下表面喷出。
第一排气机构80是用于经由多个第一排气口33从烘干炉50的内部排出气体的机构。如图3所示，第一排气机构80具有第一排气管道81、从第一排气管道81抽出气体的第一排气鼓风机82。第一排气管道81具有多个第一单独管道811、一个第一集合管道812。多个第一单独管道811的上游侧的端部分别与多个第一排气口33连接。另外，多个第一单独管道811分别从第一排气口33延伸至烘干炉50的外部。多个第一单独管道811的下游侧的端部与第一集合管道812的上游侧的端部相互连接。另外，第一集合管道812的下游侧的端部与第一排气鼓风机82连接。
当第一排气鼓风机82启动时，在第一排气管道81内产生负压，通过多个第一排气口33来将烘干炉50内的气体吸入多个第一单独管道811。另外，多个第一单独管道811内的气体向下游侧流动，并在第一集合管道812汇合。然后，第一集合管道812内的气体通过第一排气鼓风机82排出至工厂内的排气管线。
另外，如图3所示，在第一集合管道812的路径上设有第一排气温度计83。第一排气温度计83测量第一集合管道812内的气体的温度。然后，向控制部40发送表示得到的测量值的信号。控制部40通过监视从第一排气温度计83得到的测量值，能够得知从烘干炉50排出的气体的温度变化。此外，第一排气温度计83例如能够采用使用电阻值随着温度而变化的热敏电阻的温度传感器、使用热电偶的温度传感器或者双金属温度计等。
第二排气机构90是用于经由多个第二排气口34从烘干炉50的内部排出气体的机构。如图3所示，第二排气机构90具有第二排气管道91、从第二排气管道91抽出气体的第二排气鼓风机92。第二排气管道91具有多个第二单独管道911、一个第二集合管道912。多个第二单独管道911的上游侧的端部分别与多个第二排气口34连接。另外，多个第二单独管道911分别从第二排气口34延伸至烘干炉50的外部。多个第二单独管道911的下游侧的端部与第二集合管道912的上游侧的端部相互连接。另外，第二集合管道912的下游侧的端部与第二排气鼓风机92连接。
当第二排气鼓风机92启动时，在第二排气管道91内产生负压，通过多个第二排气口34来将烘干炉50内的气体吸入多个第二单独管道911。另外，多个第二单独管道911内的气体向下游侧流动，并在第二集合管道912汇合。然后，第二集合管道912内的气体通过第二排气鼓风机91向工厂内的排气管线排出。
另外，如图3所示，在第二集合管道912的路径上设有第二排气温度计93。第二排气温度计93测量第二集合管道912内的气体的温度。然后，向控制部40发送表示得到的测量值的信号。控制部40通过监视从第二排气温度计93得到的测量值，能够得知从烘干炉50排出的气体的温度变化。此外，第二排气温度计93例如能够采用使用电阻值随着温度而变化的热敏电阻的温度传感器、使用热电偶的温度传感器或者双金属温度计等。
＜3.针对涂敷膜形成装置的初期动作＞
接下来，针对涂敷膜形成装置1开始涂敷、烘干处理时进行的初期动作进行说明。
图4是示出该初期动作的流程的流程图。当涂敷膜形成装置1开始涂敷、烘干处理时，首先，控制部40启动第一进气鼓风机62、第一加热部63、第二进气鼓风机72、第二加热部73、第一排气鼓风机82以及第二排气鼓风机92。由此，涂敷膜形成装置1开始向烘干炉50内供给热风并且从烘干炉50向第一排气管道81以及第二排气管道91排出气体(步骤S1)。
以下，涂敷膜形成装置1一边继续向烘干炉50内供给热风并从烘干炉50排出气体，一边利用第一排气温度计83以及第二排气温度计93进行温度测量(步骤S2)。第一排气温度计83测量第一集合管道812内的气体的温度，并将表示得到的测量值的信号发送至控制部40。另外，第二排气温度计93测量第二集合管道912内的气体的温度，并将表示得到的测量值的信号发送至控制部40。
图5是示出第一排气温度计83或者第二排气温度计93的测量值的随时间的变化的例子的图。当开始向烘干炉50内供给热风时，烘干炉50内的温度慢慢地上升。因此，如图5所示，从烘干炉50排出的气体的温度也从开始供给热风的时刻t0开始慢慢地上升。不久，当烘干炉50内的气氛被置换为高温的空气时，烘干炉50内的温度达到并稳定在目标温度。则如图5所示，从烘干炉50排出的气体的温度变化也变小。
控制部40基于从第一排气温度计83接收到的信号，取得第一排气温度计83的测量值。另外，控制部40基于从第二排气温度计93接收到的信号，取得第二排气温度计93的测量值。然后，控制部40监视这些测量值是否达到预先设定的基准值(步骤S3、S4)。此外，考虑到第一排气管道81、第二排气管道91内的气体的温度下降，将基准值设定为略低于烘干炉50内的目标温度的温度。
若第一排气温度计83的测量值以及第二排气温度计93的测量值中至少有一者未达到上述的基准值，则控制部40判断为烘干炉50内的温度尚未达到目标温度，继续监视温度。不久，当第一排气温度计83的测量值与第二排气温度计93的测量值全都达到上述的基准值时，控制部40判断为烘干炉50内的温度达到目标温度，使运送机构10开始工作(步骤S5)。由此，开始运送基材9。然后，控制部40打开开关阀24，开始从涂敷喷嘴21喷出涂敷液(步骤S6)。
如这样地，在该涂敷膜形成装置1中，测量从烘干炉50排出的气体的温度，在该测量值达到基准值之后，开始运送基材9。通常，在第一进气管道61、第二进气管道71内的温度上升之后，烘干炉50内的温度上升，然后第一排气管道81、第二排气管道91内的温度上升。因此，若监视第一排气管道81、第二排气管道91内的温度，则与监视第一进气管道61、第二进气管道71内的温度的情况相比，能够更可靠地判断烘干炉50内的温度是否达到目标温度。即，能够避免在烘干炉50内的温度还未达到目标温度的状态下就开始进行烘干处理的状况。由此，能够抑制发生烘干不良。
另外，如本实施方式那样，若测量从烘干炉50排出的气体的温度，则即使在烘干炉50的内部空间很大的情况下，也不必在烘干炉50的内部设置很多温度计，就能够判断烘干炉50内的温度是否达到目标温度。
特别地，在本实施方式中，第一排气温度计83、第二排气温度计93并不是测量多个第一单独管道811、多个第二单独管道911内的气体的温度，而是测量第一集合管道812、第二集合管道912内的气体的温度。因此，与分别测量多个第一单独管道811、多个第二单独管道911内的温度的情况相比，能够减少第一排气温度计83、第二排气温度计93的数量。另外，由于发送至控制部40的测量值的数量也减少，所以控制部40的判断处理变得容易。
另外，在本实施方式中，利用第一排气温度计83测量烘干炉50的内部空间中从基材9的运送路径的上侧的空间排出的气体的温度，利用第二排气温度计93测量从基材9的运送路径的下侧的空间排出的气体的温度。然后，考虑这两者的测量结果，来判断烘干炉50内的温度是否达到目标温度。因此，与仅使用第一排气温度计83以及第二排气温度计93中的一者的测量结果的情况相比，能够更高精度地判断烘干炉50内的温度是否达到目标温度。
＜4.变形例＞
以上，针对本发明的一个实施方式进行了说明，但是本发明并不仅限定于上述的实施方式。
图6是示出一个变形例的烘干装置30的结构的图。在图6的例子中，在第一排气机构80的多个第一单独管道811上分别设有第一排气温度计83。第一排气温度计83测量第一单独管道811内的气体的温度，并将得到的测量值发送至控制部40。另外，在图6的例子中，在第二排气机构90的多个第二单独管道911上分别设有第二排气温度计93。第二排气温度计93测量第二单独管道911内的气体的温度，并将得到的测量值发送至控制部40。当从多个第一排气温度计83以及多个第二排气温度计93得到的各测量值全部都达到预先设定的基准值时，控制部40判断为烘干炉50内的温度达到目标温度，使运送机构10开始工作。
从烘干炉50排出的气体的温度受外部气温的影响，而在第一排气管道81、第二排气管道91内慢慢地下降。但是，如图6所示，若在第一单独管道811、第二单独管道911上设置第一排气温度计83、第二排气温度计93，则能够在第一排气管道81、第二排气管道91上的第一集合管道812、第二集合管道912的上游侧测量气体的温度。因此，能够得到更接近烘干炉50内的温度的测量值。
特别地，在图6的例子中，第一排气机构80的各第一单独管道811包括位于烘干炉50的内部的炉内管道811a、位于烘干炉50的外部的炉外管道811b。并且，第一排气温度计83测量炉内管道811a内的气体的温度。另外，在图6的例子中，第二排气机构90的各第二单独管道911包括位于烘干炉50的内部的炉内管道911a、位于烘干炉50的外部的炉外管道911b。并且，第二排气温度计93测量炉内管道911a内的气体的温度。
若这样做，则能够在从烘干炉50排出的气体受到外部气温的影响而冷却之前测量气体的温度。因此，能够得到更接近烘干炉50内的温度的测量值。
此外，在图6的例子中，在第一排气机构80的全部的第一单独管道811都设有第一排气温度计83，在第二排气机构90的全部的第二单独管道911都设有第二排气温度计93。但是，也可以只在一部分单独管道设置排气温度计。
图7是示出其他的变形例的烘干装置30的结构的图。在图7的例子中，第一排气机构80的多个第一单独管道811在烘干炉50的内部与第一集合管道812连接。因此，第一集合管道812包括位于烘干炉50的内部的炉内管道812a、位于烘干炉50的外部的炉外管道812b。并且，在炉内管道812a设有第一排气温度计83。第一排气温度计83测量炉内管道812a内的气体的温度，并将得到的测量值发送至控制部40。
另外，在图7的例子中，第二排气机构90的多个第二单独管道911在烘干炉50的内部与第二集合管道912连接。因此，第二集合管道912包括位于烘干炉50的内部的炉内管道912a、位于烘干炉50的外部的炉外管道912b。并且，在炉内管道912a设有第二排气温度计93。第二排气温度计93测量炉内管道912a内的气体的温度，并将得到的测量值发送至控制部40。
若这样做，则能够在从烘干炉50排出的气体受到外部气温的影响而冷却之前测量气体的温度，并且，与图6的例子相比，能够更加减少第一排气温度计83、第二排气温度计93的数量。
图8是其他的变形例的控制部40的功能框图。在图8的例子中，控制部40具有排气量计算单元44。排气量计算单元44将从第一排气温度计83以及第二排气温度计93得到的测量值T换算成第一排气管道81、第二排气管道91内的排气量V。例如，将测量值T代入气体的状态方程式，来计算排气量V。由此，图8的控制部40能够推断出第一排气管道81、第二排气管道91内的排气量。然后，通过监视推断出的排气量，能够检测气体从烘干炉50泄漏等出错。此外，排气量计算单元44的功能通过控制部40内的运算处理部41基于计算机程序进行工作来实现。
图9是示出其他的变形例的烘干装置30的结构的图。在图9的例子中，在第一热风供给机构60的第一共用管道611设有第一进气温度计64。第一进气温度计64测量第一共用管道611内的气体的温度，并将得到的测量值发送至控制部40。另外，在图9的例子中，在第二热风供给机构70的第二共用管道711设有第二进气温度计74。第二进气温度计74测量第二共用管道711内的气体的温度，并将得到的测量值发送至控制部40。
这样，若不仅在排气侧，在进气侧也设有温度计，则参考向烘干炉50内供给的空气的温度和从烘干炉50排出的气体的温度这两者，能够更加高精度地判断烘干炉50内的温度是否达到目标温度。具体地，例如，可以当第一进气温度计64、第二进气温度计74、第一排气温度计83以及第二排气温度计93的各测量值全部达到预先设定的基准值时使运送机构10开始工作。
另外，在上述的实施方式中，第一排气机构80的全部的第一单独管道811都与一个第一集合管道812连接。另外，在上述的实施方式中，第二排气机构90的全部的第二单独管道911都与一个第二集合管道912连接。但是，各排气机构80、90也可以具有多个集合管道。在这种情况下，例如，可以在各个集合管道都设置排气温度计，并且当各排气温度计的测量值全部达到预先设定的基准值时使运送机构10开始工作。
另外，在上述的实施方式中，多个第一进气口31、多个第二进气口32、多个第一排气口33以及多个第二排气口34全部与基材9的上表面或者下表面相向。但是，本发明的烘干装置也可以具有不与基材相向的进气口或者排气口。
另外，在上述的实施方式中，监视第一排气温度计83、第二排气温度计93的测量值是否达到预先设定的基准值，并且当该测量值达到基准值时，开始运送基板9。但是，在从第一热风供给机构60、第二热风供给机构70供给的气体的温度恒定的情况下，能够根据第一排气温度计83、第二排气温度计93的测量值的变化的减小，来推断出烘干炉50内的温度达到目标温度。因此，也可以监视第一排气温度计83、第二排气温度计93的测量值的变化是否收敛于预先设定的范围内(即，规定的时间内的测量值的变化是否收敛于规定的数值以下的值)，当该测量值的变化收敛于该范围内时，开始运送基板9。
另外，上述的实施方式的涂敷膜形成装置1是仅在基材9的一个表面进行涂敷、烘干处理的装置。但是，本发明的涂敷膜形成装置也可以对基材的双面进行涂敷、烘干处理。另外，本发明的烘干装置也可以对基材的双面进行烘干处理。
另外，在上述的实施方式中，向烘干炉50内供给加热过的空气来作为热风。但是，也可以使用空气以外的气体作为热风。例如，在防止基材或者涂敷膜的氧化的必要性高的情况下，也可以加热氮气、氩气等所谓的非活性气体来供给至烘干炉50内。
另外，在上述的实施方式中，取得了第一排气温度计83、第二排气温度计93的测量值的控制部40自动地判断烘干炉50内的温度是否达到目标温度。但是，也可以由操作者进行该判断。例如，也可以在液晶显示器等显示装置上显示第一排气温度计83、第二排气温度计93的测量值，并由操作者基于该显示来判断烘干炉50内的温度是否达到目标温度。在这种情况下，操作者只要在判断出烘干炉50内的温度达到目标温度之后对控制部40进行规定的操作，来使运送机构开始工作即可。
另外，上述的实施方式的涂敷膜形成装置1是制造锂离子蓄电池的电极的装置。但是，本发明的涂敷膜形成装置也可以用于除了锂离子蓄电池以外的各种电池的制造工序。例如，也可以在燃料电池的制造工序中，一边以卷对卷方式运送作为基材的电解质膜，一边在电解质膜的表面上涂敷催化油墨，并烘干该催化油墨。另外，本发明的涂敷膜形成装置也可以在用于半导体、液晶显示装置、太阳能电池面板、柔性设备等的各种柔性基材的表面上形成抗蚀剂膜等涂敷膜。
另外，在上述的实施方式、变形例中出现的各要素也可以在不产生矛盾的范围内适当地组合。
Claims (15)
1.一种烘干装置，用于烘干在长条形的基材的表面上涂敷的涂敷液，其特征在于，具有：
运送机构，沿着规定的运送路径运送基材，
烘干炉，所述运送路径的一部分配置于该烘干炉的内部，
热风供给机构，向所述烘干炉的内部供给热风，
排气机构，从所述烘干炉的内部排出气体；
所述排气机构具有：
排气管道，从设置于所述烘干炉内的多个排气口延伸至所述烘干炉的外部，
排气温度计，测量所述排气管道内的气体的温度。
2.如权利要求1所述的烘干装置，其特征在于，
所述排气管道具有：
多个单独管道，分别与所述多个排气口连接，
集合管道，使所述多个单独管道内的气体汇合并流向下游侧；
所述排气温度计测量所述集合管道内的气体的温度。
3.如权利要求1所述的烘干装置，其特征在于，
所述排气管道具有：
多个单独管道，分别与所述多个排气口连接，
集合管道，使所述多个单独管道内的气体汇合并流向下游侧；
所述排气温度计测量所述单独管道内的气体的温度。
4.如权利要求1所述的烘干装置，其特征在于，
所述排气管道具有：
炉内管道，位于所述烘干炉的内部，
炉外管道，位于所述烘干炉的外部；
所述排气温度计测量所述炉内管道内的气体的温度。
5.如权利要求1所述的烘干装置，其特征在于，
还具有控制部，该控制部控制所述热风供给机构以及所述运送机构，
所述控制部在使所述热风供给机构开始工作之后，当所述排气温度计的测量值达到预先设定的基准值时，或者，当所述排气温度计的测量值的变化收敛于预先设定的范围内时，使所述运送机构开始工作。
6.如权利要求5所述的烘干装置，其特征在于，
所述控制部具有排气量计算单元，该排气量计算单元将所述排气温度计的测量值换算为所述排气管道内的排气量。
7.如权利要求1所述的烘干装置，其特征在于，
所述多个排气口包括：
多个第一排气口，配置于所述烘干炉内的所述运送路径的上侧的空间，
多个第二排气口，配置于所述烘干炉内的所述运送路径的下侧的空间。
8.如权利要求1所述的烘干装置，其特征在于，
所述热风供给机构具有：
进气管道，与设置于所述烘干炉内的多个进气口连接，
进气温度计，测量所述进气管道内的气体的温度。
9.一种涂敷膜形成装置，用于在长条形的基材的表面形成涂敷膜，其特征在于，具有：
如权利要求1～8中的任一项所述的烘干装置，
涂敷装置，在所述运送路径上位于所述烘干炉的上游侧，用于在基材的表面上涂敷涂敷液。
10.一种烘干方法，用于一边沿着规定的运送路径运送长条形的基材，一边在内部配置有所述运送路径的一部分的烘干炉内，烘干在基材的表面上涂敷的涂敷液，其特征在于，包括：
工序a，开始向所述烘干炉内供给热风，并且开始从所述烘干炉向排气管道排出气体，
工序b，测量所述排气管道内的气体的温度，并监视测量值是否达到预先设定的基准值，或者，监视所述测量值的变化是否收敛于预先设定的范围内，
工序c，当在所述工序b中判断为所述测量值达到所述基准值或者所述测量值的变化收敛于所述范围内时，开始运送基材。
11.如权利要求10所述的烘干方法，其特征在于，
在所述工序a、所述工序b以及所述工序c中，从设置于所述烘干炉内的多个排气口向所述排气管道排出气体。
12.如权利要求11所述的烘干方法，其特征在于，
所述排气管道具有：
多个单独管道，分别与所述多个排气口连接，
集合管道，使所述多个单独管道内的气体汇合并流向下游侧；
在所述工序b中，测量所述集合管道内的气体的温度。
13.如权利要求11所述的烘干方法，其特征在于，
所述排气管道具有：
多个单独管道，分别与所述多个排气口连接，
集合管道，使所述多个单独管道内的气体汇合并流向下游侧；
在所述工序b中，测量所述单独管道内的气体的温度。
14.如权利要求11所述的烘干方法，其特征在于，
所述多个排气口包括：
多个第一排气口，配置于所述烘干炉内的所述运送路径的上侧的空间，
多个第二排气口，配置于所述烘干炉内的所述运送路径的下侧的空间。
15.一种烘干方法，用于一边沿着规定的运送路径运送长条形的基材，一边在内部配置有所述运送路径的一部分的烘干炉内，烘干在基材的表面上涂敷的涂敷液，其特征在于，包括：
工序d，开始从进气管道向所述烘干炉内供给热风，并且开始从所述烘干炉向排气管道排出气体，
工序e，测量所述排气管道内的气体的温度以及所述进气管道内的气体的温度，并监视测量值是否达到预先设定的基准值，或者，监视所述测量值的变化是否收敛于预先设定的范围内，
工序f，当在所述工序e中判断为所述测量值达到所述基准值或者所述测量值的变化收敛于所述范围内时，开始运送基材。
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