KR20160034796A - 건조 장치, 도공막 형성 장치, 및 건조 방법 - Google Patents

건조 장치, 도공막 형성 장치, 및 건조 방법 Download PDF

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drying furnace
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히데아키 구가이
준이치 야마고시
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가부시키가이샤 스크린 홀딩스
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Abstract

온도계의 필요수를 억제하면서, 건조로 내의 온도가 목표 온도에 도달했는지 어떤지를 정밀도 있게 판단할 수 있는 건조 장치, 도공막 형성 장치, 및 건조 방법을 제공한다.
이 건조 장치는, 건조로(50)의 내부에 열풍을 공급하는 열풍 공급 기구(60, 70)와, 건조로(50)의 내부로부터 기체를 배출하는 배기 기구(80, 90)를 구비하고 있다. 또, 배기 기구(80, 90)는, 건조로(50) 내에 설치된 복수의 배기구(33, 34)로부터 건조로(50)의 외부를 향해 연장되는 배기 배관(81, 91)과, 배기 배관(81, 91) 내의 기체의 온도를 계측하는 배기 온도계(83, 93)를 가진다. 이 때문에, 배기 온도계(83, 93)의 계측치에 의거하여, 건조로(50) 내의 온도가 목표 온도에 도달했는지 어떤지를 정밀도 있게 판단할 수 있다. 건조 처리를 개시할 때에는, 배기 온도계(83, 93)의 계측치가 미리 정해진 기준치에 도달한 후에, 기재(9)의 반송을 개시시킨다. 이것에 의해, 기재(9)의 건조 불량을 저감할 수 있다.

Description

건조 장치, 도공막 형성 장치, 및 건조 방법{DRYING APPARATUS, COATING FILM FORMATION APPARATUS, AND DRYING METHOD}
본 발명은, 긴 띠형상의 기재의 표면에 도포된 도공액을 건조시키는 건조 장치, 상기 건조 장치를 구비한 도공막 형성 장치, 및 긴 띠형상의 기재의 표면에 도포된 도공액을 건조시키는 건조 방법에 관한 것이다.
종래, 리튬 이온(lithium ion) 전지 등의 화학전지의 제조 공정에서는, 긴 띠형상의 기재(예를 들면 금속박)의 표면에, 전극막이 되는 도공막을 형성하는 처리가 행해진다. 상기 처리에 있어서는, 우선, 기재를 이른바 롤 투 롤(roll to roll) 방식으로 반송하면서, 기재의 표면에 전극 재료를 포함하는 도공액을 도포한다. 그 후, 기재를 더 반송하면서, 기재의 표면에 도포된 도공액을 건조시킨다. 기재의 표면에 도포된 도공막을 건조시키는 종래의 건조 장치에 대해서는, 예를 들면, 특허 문헌 1에 기재되어 있다.
특허 문헌 1의 건조 장치는, 기재가 통과하는 건조로와, 건조로 내에 열풍을 취출(吹出)하는 기구와, 건조로로부터의 배기를 행하는 기구를 가진다(도 1 등 참조). 또, 특허 문헌 1의 건조 장치에서는, 건조로 내에 있어서 일정한 건조 상태를 얻기 위해, 건조로에 공급하는 기체의 온도가 목표 설정 온도에 가까워지도록, 기체의 온도를 조정하고 있다(청구항 1, 청구항 3, 청구항 5~8, 도 2 등 참조).
일본국 특허공개 2011-80718호 공보
건조 장치의 기동 시에는, 건조로로의 열풍의 공급을 개시한 후, 건조로 내의 온도가 목표 온도까지 상승하여 안정 상태에 이르는 것을 기다리고, 기재의 반송을 개시하는 것이 바람직하다. 그러나, 통상, 건조로로 열풍을 공급하는 급기 배관 내의 온도보다, 건조로 내의 온도는 느리게 상승한다. 이 때문에, 특허 문헌 1과 같이, 급기 배관 내의 온도 만을 계측하는 구성에서는, 상기 계측치가 목표 온도까지 상승했다고 해도, 건조로 내의 온도가 반드시 목표 온도까지 상승하고 있다고는 할 수 없다. 건조로 내의 온도가 충분히 상승하고 있지 않는 상태인 채로, 기재의 반송을 개시하면, 도공액의 건조 불량이 발생할 우려가 있다.
건조로 내의 온도를 정밀도 있게 계측하기 위해서는, 예를 들면, 건조로 내의 각 처에 온도계를 설치하는 것도 생각할 수 있다. 그러나, 예를 들면, 리튬 이온 배터리의 제조 공정에 이용되는 건조 장치에서는, 건조로의 길이가 10미터 가까이 되는 경우도 있다. 이러한 대형의 건조로의 내부 전체의 온도를 계측하려고 하면, 건조로 내에 다수의 온도계를 설치할 필요가 있어, 장치의 제조 비용이 상승한다.
본 발명은, 이러한 사정을 감안하여 이루어진 것이며, 온도계의 필요수를 억제하면서, 건조로 내의 온도가 목표 온도에 도달했는지 어떤지를 정밀도 있게 판단할 수 있는 건조 장치, 도공막 형성 장치, 및 건조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 과제를 해결하기 위해, 본원의 제1 발명은, 긴 띠형상의 기재의 표면에 도포된 도공액을 건조시키는 건조 장치로서, 소정의 반송 경로를 따라 기재를 반송하는 반송 기구와, 상기 반송 경로의 일부분이 내부에 배치된 건조로와, 상기 건조로의 내부에 열풍을 공급하는 열풍 공급 기구와, 상기 건조로의 내부로부터 기체를 배출하는 배기 기구를 구비하고, 상기 배기 기구는, 상기 건조로 내에 설치된 복수의 배기구로부터 상기 건조로의 외부를 향해 연장되는 배기 배관과, 상기 배기 배관 내의 기체의 온도를 계측하는 배기 온도계를 가진다.
본원의 제2 발명은, 제1 발명의 건조 장치로서, 상기 배기 배관은, 상기 복수의 배기구에 접속된 복수의 개별 배관과, 상기 복수의 개별 배관 내의 기체를 합류시켜 하류측으로 보내는 집합 배관을 가지며, 상기 배기 온도계는, 상기 집합 배관 내의 기체의 온도를 계측한다.
본원의 제3 발명은, 제1 발명의 건조 장치로서, 상기 배기 배관은, 상기 복수의 배기구에 접속된 복수의 개별 배관과, 상기 복수의 개별 배관 내의 기체를 합류시켜 하류측으로 보내는 집합 배관을 가지며, 상기 배기 온도계는, 상기 개별 배관 내의 기체의 온도를 계측한다.
본원의 제4 발명은, 제1 발명의 건조 장치로서, 상기 배기 배관은, 상기 건조로의 내부에 위치하는 노내 배관과, 상기 건조로의 외부에 위치하는 노외 배관을 가지며, 상기 배기 온도계는, 상기 노내 배관 내의 기체의 온도를 계측한다.
본원의 제5 발명은, 제1 발명의 건조 장치로서, 상기 열풍 공급 기구 및 상기 반송 기구를 제어하는 제어부를 더 구비하고, 상기 제어부는, 열풍 공급 기구의 동작을 개시시킨 후, 상기 배기 온도계의 계측치가 미리 정해진 기준치에 도달하거나, 또는, 상기 배기 온도계의 계측치의 변화가 미리 정해진 범위 내에 수렴되면, 상기 반송 기구의 동작을 개시시킨다.
본원의 제6 발명은, 제5 발명의 건조 장치로서, 상기 제어부는, 상기 배기 온도계의 계측치를, 상기 배기 배관 내의 배기량으로 환산하는 배기량 연산 수단을 가진다.
본원의 제7 발명은, 제1 발명의 건조 장치로서, 상기 복수의 배기구는, 상기 건조로 내의 상기 반송 경로보다 상측의 공간에 배치된 복수의 제1 배기구와, 상기 건조로 내의 상기 반송 경로보다 하측의 공간에 배치된 복수의 제2 배기구를 가진다.
본원의 제8 발명은, 제1 발명의 건조 장치로서, 상기 열풍 공급 기구는, 상기 건조로 내에 설치된 복수의 급기구에 접속된 급기 배관과, 상기 급기 배관 내의 기체의 온도를 계측하는 급기 온도계를 가진다.
본원의 제9 발명은, 긴 띠형상의 기재의 표면에 도공막을 형성하는 도공막 형성 장치로서, 제1 발명 내지 제 8 발명 중 어느 하나의 발명의 건조 장치와, 상기 건조로보다 상기 반송 경로의 상류측에 있어서, 기재의 표면에 도공액을 도포하는 도공 장치를 구비한다.
본원의 제10 발명은, 긴 띠형상의 기재를 소정의 반송 경로를 따라 반송하면서, 상기 반송 경로의 일부분이 내부에 배치된 건조로 내에 있어서, 기재의 표면에 도포된 도공액을 건조시키는 건조 방법으로서, a) 상기 건조로 내로의 열풍의 공급과, 상기 건조로로부터 배기 배관으로의 기체의 배출을 개시시키는 공정과, b) 상기 배기 배관 내의 기체의 온도를 계측하고, 그 계측치가 미리 정해진 수치 범위에 도달했는지 어떤지, 또는, 상기 계측치의 변화가 미리 정해진 범위 이내로 수렴되었는지 어떤지를 감시하는 공정과, c) 상기 공정 b)에 있어서, 상기 계측치가 상기 수치 범위에 도달했거나, 또는, 상기 계측치의 변화가 상기 범위 이내로 수렴되었다고 판단하면, 기재의 반송을 개시시키는 공정을 가진다.
본원의 제11 발명은, 제10 발명의 건조 방법으로서, 상기 공정 a), 상기 공정 b), 및 상기 공정 c)에 있어서, 상기 건조로 내에 설치된 복수의 배기구로부터 상기 배기 배관으로 기체가 배출된다.
본원의 제12 발명은, 제11 발명의 건조 방법으로서, 상기 배기 배관은, 상기 복수의 배기구에 접속된 복수의 개별 배관과, 상기 복수의 개별 배관 내의 기체를 합류시켜 하류측으로 보내는 집합 배관을 가지며, 상기 공정 b)에서는, 상기 집합 배관 내의 기체의 온도를 계측한다.
본원의 제13 발명은, 제11 발명의 건조 방법으로서, 상기 배기 배관은, 상기 복수의 배기구에 접속된 복수의 개별 배관과, 상기 복수의 개별 배관 내의 기체를 합류시켜 하류측으로 보내는 집합 배관을 가지며, 상기 공정 b)에서는, 상기 개별 배관 내의 기체의 온도를 계측한다.
본원의 제14 발명은, 제11 발명의 건조 방법으로서, 상기 복수의 배기구는, 상기 건조로 내의 상기 반송 경로보다 상측의 공간에 배치된 복수의 제1 배기구와, 상기 건조로 내의 상기 반송 경로보다 하측의 공간에 배치된 복수의 제2 배기구를 포함한다.
본원의 제15 발명은, 긴 띠형상의 기재를 소정의 반송 경로를 따라 반송하면서, 상기 반송 경로의 일부분이 내부에 배치된 건조로 내에 있어서, 기재의 표면에 도포된 도공액을 건조시키는 건조 방법으로서, d) 급기 배관으로부터 상기 건조로 내로의 열풍의 공급과, 상기 건조로로부터 배기 배관으로의 기체의 배출을 개시시키는 공정과, e) 상기 배기 배관 내의 기체의 온도 및 상기 급기 배관 내의 기체의 온도를 계측하고, 그 계측치가 미리 정해진 기준치에 도달했는지 어떤지, 또는, 상기 계측치의 변화가 미리 정해진 범위 이내로 수렴되었는지 어떤지를 감시하는 공정과, f) 상기 공정 e)에 있어서, 상기 계측치가 상기 기준치에 도달했거나, 또는, 상기 계측치의 변화가 상기 범위 이내로 수렴되었다고 판단하면, 기재의 반송을 개시시키는 공정을 가진다.
본원의 제1 발명 내지 제9 발명에 의하면, 건조로로부터 배출되는 기체의 온도를 계측할 수 있다. 이 때문에, 상기 계측치에 의거하여, 건조로 내의 온도가 목표 온도에 도달했는지 어떤지를 정밀도 있게 판단할 수 있다.
특히, 본원의 제2 발명에 의하면, 복수의 개별 배관 내의 온도를 각각 계측하는 경우보다, 배기 온도계의 수를 줄일 수 있다.
특히, 본원의 제3 발명에 의하면, 집합 배관보다 배기 배관의 상류측에 있어서, 기체의 온도를 계측할 수 있다. 이 때문에, 건조로 내의 온도에 가까운 계측치를 얻을 수 있다.
특히, 본원의 제4 발명에 의하면, 외기(外氣)의 영향으로 기체가 냉각되기 전에, 기체의 온도를 계측할 수 있다. 따라서, 건조로 내의 온도에 보다 가까운 계측치를 얻을 수 있다.
특히, 본원의 제5 발명에 의하면, 배기 온도계의 계측치에 의거하여, 건조로 내의 온도가 목표 온도에 도달한 것을 자동적으로 검지한 후에, 기재의 반송을 개시시킬 수 있다. 이것에 의해, 기재의 건조 불량을 저감할 수 있다.
특히, 본원의 제6 발명에 의하면, 배기 온도계의 계측치에 의거하여, 배기 배관 내의 배기량을 추정할 수 있다. 이것에 의해, 건조로로부터 기체가 누출되는 등의 문제를 검지할 수 있다.
특히, 본원의 제7 발명에 의하면, 건조로 내의 반송 경로보다 상측의 공간과 반송 경로보다 하측의 공간 쌍방에서 배출된 기체의 온도를 계측한다. 이 때문에, 건조로 내의 온도가 목표 온도에 도달했는지 어떤지를, 보다 정밀도 있게 판단할 수 있다.
특히, 본원의 제8 발명에 의하면, 건조로로부터 배출되는 기체의 온도만이 아니라, 건조로 내로 공급되는 기체의 온도도 계측할 수 있다. 이것에 의해, 건조로 내의 온도가 목표 온도에 도달했는지 어떤지를, 보다 정밀도 있게 판단할 수 있다.
또, 본원의 제10 발명에 의하면, 건조로로부터 배출되는 기체의 온도에 의거하여, 건조로 내의 온도가 목표 온도에 도달했는지 어떤지를 정밀도 있게 판단할 수 있다. 또, 목표 온도에 도달한 후에 기재의 반송을 개시시킴으로써, 기재의 건조 불량을 저감할 수 있다.
특히, 본원의 제12 발명에 의하면, 복수의 개별 배관 내의 온도를 각각 계측하는 경우보다, 배기 온도계의 수를 줄일 수 있다.
특히, 본원의 제13 발명에 의하면, 집합 배관보다 배기 배관의 상류측에서, 기체의 온도를 계측할 수 있다. 이 때문에, 건조로 내의 온도에 가까운 계측치를 얻을 수 있다.
특히, 본원의 제14 발명에 의하면, 건조로 내의 반송 경로보다 상측의 공간과 반송 경로보다 하측의 공간 쌍방에서 배출된 기체의 온도를 계측한다. 이 때문에, 건조로 내의 온도가 목표 온도에 도달했는지 어떤지를, 보다 정밀도 있게 판단할 수 있다.
또, 본원의 제15 발명에 의하면, 건조로로부터 배출되는 기체의 온도 및 건조로 내로 공급되는 기체의 온도에 의거하여, 건조로 내의 온도가 목표 온도에 도달했는지 어떤지를 정밀도 있게 판단할 수 있다. 또, 목표 온도에 도달한 후에 기재의 반송을 개시시킴으로써, 기재의 건조 불량을 저감할 수 있다.
도 1은 도공막 형성 장치의 구성을 나타낸 도이다.
도 2는 도공막 형성 장치 내의 각 부와 제어부의 접속 구성을 나타낸 블럭도이다.
도 3은 건조 장치의 구성을 나타낸 도이다.
도 4는 도공막 형성 장치에 있어서 도공·건조 처리를 개시할 때에 행하는 초기 동작 흐름을 나타낸 플로차트이다.
도 5는 제1 배기 온도계 또는 제2 배기 온도계의 계측치의 예를 나타낸 도이다.
도 6은 변형예에 관련된 건조 장치의 구성을 나타낸 도이다.
도 7은 변형예에 관련된 건조 장치의 구성을 나타낸 도이다.
도 8은 변형예에 관련된 제어부의 기능 블럭도이다.
도 9는 변형예에 관련된 건조 장치의 구성을 나타낸 도이다.
이하, 본 발명의 실시 형태에 대해서, 도면을 참조하면서 설명한다.
＜1. 도공막 형성 장치의 구성＞
도 1은, 본 발명의 일실시 형태에 관련된 도공막 형성 장치(1)의 구성을 나타낸 도이다. 이 도공막 형성 장치(1)는, 긴 띠형상의 기재(9)를 길이 방향으로 반송하면서, 기재(9)의 표면에, 전극 재료인 활물질을 포함하는 도공액을 도포하고, 그 후에 도공액을 건조시켜, 리튬 이온 2차 전지의 전극을 제조하는 장치이다. 기재(9)에는, 예를 들면, 구리박이나 알루미늄박 등의 금속박이 이용된다. 도 1에 나타내는 바와 같이, 도공막 형성 장치(1)는, 반송 기구(10), 도공 장치(20), 건조 장치(30), 및 제어부(40)를 가진다.
반송 기구(10)는, 기재(9)를 그 길이 방향을 따르는 반송 방향으로 반송하는 기구이다. 본 실시 형태의 반송 기구(10)는, 권출 롤러(11), 복수의 반송 롤러(12), 및 권취 롤러(13)를 가진다. 기재(9)는, 권출 롤러(11)로부터 송출되어, 복수의 반송 롤러(12)에 의해 규정되는 반송 경로를 따라 반송된다. 각 반송 롤러(12)는, 수평축을 중심으로 하여 회전함으로써, 기재(9)를 반송 경로의 하류측으로 안내한다. 또, 복수의 반송 롤러(12)에 기재(9)가 접촉함으로써, 기재(9)에 장력이 부여된다. 이것에 의해, 반송 중에 있어서의 기재(9)의 느슨함이나 주름이 억제된다. 반송 후의 기재(9)는, 권취 롤러(13)로 회수된다. 또한, 반송 롤러(12)의 위치나 수는, 반드시 도 1 대로가 아니어도 된다.
도공 장치(20)는, 반송 기구(10)에 의해 반송되는 기재(9)의 표면에, 도공액을 도포하는 장치이다. 기재(9)는, 건조 장치(30)보다 반송 경로의 상류측에 있어서, 반송 롤러의 역할도 겸한 백업 롤러(14)에 지지된다. 백업 롤러(14)는, 원주형상의 롤러이며, 기재(9)의 이면에 접촉하면서, 수평축을 중심으로 하여 회전한다. 도공 장치(20)는, 백업 롤러(14)에 지지된 기재(9)의 표면에 대향하는 도공 노즐(21)을 가진다. 도공 노즐(21)에는, 예를 들면, 폭방향을 따라 연장되는 슬릿형상의 토출구를 가지는, 이른바 슬릿 노즐이 이용된다. 또한, 폭방향은 기재의 길이 방향에 직교하는 수평 방향이다.
도공 노즐(21)은, 급액 배관(22)을 통하여, 도공액 공급원(23)에 접속되어 있다. 또, 급액 배관(22)에는, 개폐 밸브(24)가 끼워져 있다. 이 때문에, 개폐 밸브(24)를 개방하면, 도공액 공급원(23)으로부터 급액 배관(22)을 지나 도공 노즐(21)에 도공액이 공급된다. 그리고, 도공 노즐(21)의 토출구로부터, 백업 롤러(14)에 지지된 기재(9)의 표면을 향해, 도공액이 토출된다. 이것에 의해, 기재(9)의 표면에 도공액이 도포된다.
또한, 도공 노즐(21)은, 반드시 백업 롤러(14)에 지지된 기재(9)의 표면에 대해, 도공액을 토출하는 것이 아니어도 된다. 예를 들면, 서로 이웃하는 롤러의 사이에 걸쳐진 기재(9)의 표면에 대해, 도공액을 토출하는 것이어도 된다.
건조 장치(30)는, 기재(9)의 표면에 도포된 도공액을 건조시키는 장치이다. 건조 장치(30)는, 도공 장치(20)보다 반송 경로의 하류측에 배치되어 있다. 건조 장치(30)는, 반송 기구(10)에 의해 반송되는 기재(9)를, 건조로(50) 내에 있어서 가열한다. 이것에 의해, 기재(9)의 표면에 도포된 도공액 중의 용제가 기화한다. 그 결과, 도공액이 건조되어, 도공막이 형성된다.
제어부(40)는, 도공막 형성 장치(1) 내의 각 부를 동작 제어하기 위한 수단이다. 도 1 중에 개념적으로 나타낸 바와 같이, 제어부(40)는, CPU 등의 연산 처리부(41), RAM 등의 메모리(42), 및 하드 디스크 드라이브 등의 기억부(43)를 가지는 컴퓨터에 의해 구성되어 있다. 도 2는, 도공막 형성 장치(1) 내의 각 부와 제어부(40)의 접속 구성을 나타낸 블럭도이다. 도 2에 나타내는 바와 같이, 제어부(40)는, 반송 기구(10), 개폐 밸브(24), 후술하는 제1 급기 블로어(blower)(62), 제1 가열부(63), 제2 급기 블로어(72), 제2 가열부(73), 제1 배기 블로어(82), 제1 배기 온도계(83), 제2 배기 블로어(92), 및 제2 배기 온도계(93)와, 각각 전기적으로 접속되어 있다.
제어부(40)는, 기억부(43)에 기억된 컴퓨터 프로그램이나 데이터를, 메모리(42)에 일시적으로 읽어내고, 상기 컴퓨터 프로그램 및 데이터에 의거하여, 연산 처리부(41)가 연산 처리를 행함으로써, 도공막 형성 장치(1) 내의 각 부를 동작 제어한다. 이것에 의해, 도공막 형성 장치(1)에 있어서의 도공·건조 처리가 진행된다.
＜2. 건조 장치의 구성＞
계속해서, 건조 장치(30)의 보다 상세한 구성에 대해서 설명한다.
도 3은, 건조 장치(30)의 구성을 나타낸 도이다. 도 3에 나타내는 바와 같이, 건조 장치(30)는, 건조로(50), 제1 열풍 공급 기구(60), 제2 열풍 공급 기구(70), 제1 배기 기구(80), 및 제2 배기 기구(90)를 가진다. 또한, 상기 서술한 반송 기구(10) 및 제어부(40)는, 건조 장치(30)에 있어서의 반송 기구 및 제어부로서도 기능한다.
건조로(50)는, 도공액을 건조시키기 위한 처리 공간을 내부에 가지는 하우징이다. 건조로(50)의 일방의 단면에는, 기재(9)의 반입구(51)가 설치되어 있다. 또, 건조로(50)의 타방의 단면에는, 기재(9)의 반출구(52)가 설치되어 있다. 반송 기구(10)에 의해 반송되는 기재(9)는, 반입구(51)로부터 건조로(50)의 내부로 반입되고, 건조로(50)의 내부에 있어서 건조 처리를 받은 후, 반출구(52)로부터 건조로(50)의 외부로 반출된다. 즉, 건조로(50)의 내부에는, 기재(9)의 반송 경로의 일부분이 배치되어 있다.
본 실시 형태에서는, 건조로(50)의 내부에 있어서, 기재(9)는, 도공액이 도포된 처리면을 상측을 향한 상태로, 수평으로 반송된다. 단, 건조로(50) 내에 있어서의 기재(9)의 자세는, 반드시 수평이 아니어도 된다.
건조로(50)의 내부에는, 복수의 제1 급기구(31), 복수의 제2 급기구(32), 복수의 제1 배기구(33), 및 복수의 제2 배기구(34)가 설치되어 있다. 복수의 제1 급기구(31) 및 복수의 제1 배기구(33)는, 건조로(50) 내의 기재(9)의 반송 경로보다 상측의 공간에 배치되어 있다. 또, 복수의 제1 급기구(31) 및 복수의 제1 배기구(33)는, 기재(9)의 상면에 대향한다. 복수의 제2 급기구(32) 및 복수의 제2 배기구(34)는, 건조로(50) 내의 기재(9)의 반송 경로보다 하측의 공간에 배치되어 있다. 또, 복수의 제2 급기구(32) 및 복수의 제2 배기구(34)는, 기재(9)의 하면에 대향한다.
건조 장치(30)의 가동 시에는, 도 2 중의 흰색 화살표와 같이, 복수의 제1 급기구(31) 및 복수의 제2 급기구(32)로부터 기재(9)를 향해, 열풍이 토출된다. 또, 도 2 중의 햇칭한 화살표와 같이, 건조로(50) 내의 기체가, 복수의 제1 배기구(33) 및 복수의 제2 배기구(34)로 흡입된다. 건조로(50) 내의 기재(9)는, 이들 급배기에 의해 발생하는 압력에 의해, 소정의 높이로 부상한 상태로 반송된다.
또한, 본 실시 형태에서는, 3개의 제1 급기구(31)와 1개의 제1 배기구(33)가, 반송 방향을 따라 교호로 배치되어 있다. 또, 복수의 제2 급기구(32)는, 반송 방향을 따라 등간격으로 배열되고, 그 상류측 및 하류측의 단부 부근에, 각각 제2 배기구(34)가 배치되어 있다. 단, 복수의 제1 급기구(31), 복수의 제2 급기구(32), 복수의 제1 배기구(33), 및 복수의 제2 배기구(34)는, 건조로(50) 내의 다른 위치에 배치되어 있어도 된다. 예를 들면, 제1 급기구(31)와 제1 배기구(33)가, 반송 방향을 따라 1개씩 교호로 배치되어 있어도 된다.
제1 열풍 공급 기구(60)는, 복수의 제1 급기구(31)를 통하여, 건조로(50)의 내부로 열풍을 공급하기 위한 기구이다. 도 3에 나타내는 바와 같이, 제1 열풍 공급 기구(60)는, 제1 급기 배관(61)과, 제1 급기 배관(61)으로 공기를 송입하는 제1 급기 블로어(62)를 가진다. 제1 급기 배관(61)은, 1개의 제1 공통 배관(611)과, 복수의 제1 분기 배관(612)을 가진다. 제1 공통 배관(611)의 상류측의 단부는, 제1 급기 블로어(62)에 접속되어 있다. 제1 공통 배관(611)의 하류측의 단부와, 복수의 제1 분기 배관(612)의 상류측의 단부는 서로 접속되어 있다. 또, 복수의 제1 분기 배관(612)의 하류측의 단부는, 복수의 제1 급기구(31)에, 각각 접속되어 있다.
또, 제1 공통 배관(611)의 경로 상에는, 제1 가열부(63)가 끼워져 있다. 제1 급기 블로어(62) 및 제1 가열부(63)를 동작시키면, 제1 급기 블로어(62)로부터 제1 공통 배관(611) 내에 공기가 송입된다. 그리고, 상기 공기가, 제1 가열부(63)에 있어서 가열되어 열풍이 된다. 그 후, 열풍은 복수의 제1 분기 배관(612)으로 분기하여 흐르며, 복수의 제1 급기구(31)로부터 기재(9)의 상면을 향해, 열풍이 토출된다.
제2 열풍 공급 기구(70)는, 복수의 제2 급기구(32)를 통하여, 건조로(50)의 내부로 열풍을 공급하기 위한 기구이다. 도 3에 나타내는 바와 같이, 제2 열풍 공급 기구(70)는, 제2 급기 배관(71)과, 제2 급기 배관(71)으로 공기를 송입하는 제2 급기 블로어(72)를 가진다. 제2 급기 배관(71)은, 1개의 제2 공통 배관(711)과, 복수의 제2 분기 배관(712)을 가진다. 제2 공통 배관(711)의 상류측의 단부는, 제2 급기 블로어(72)에 접속되어 있다. 제2 공통 배관(711)의 하류측의 단부와, 복수의 제2 분기 배관(712)의 상류측의 단부는 서로 접속되어 있다. 또, 복수의 제2 분기 배관(712)의 하류측의 단부는, 복수의 제2 급기구(32)에 각각 접속되어 있다.
또, 제2 공통 배관(711)의 경로 상에는, 제2 가열부(73)가 끼워져 있다. 제2 급기 블로어(72) 및 제2 가열부(73)를 동작시키면, 제2 급기 블로어(72)로부터 제2 공통 배관(711) 내에 공기가 송입된다. 그리고, 상기 공기가, 제2 가열부(73)에 있어서 가열되어 열풍이 된다. 그 후, 열풍은 복수의 제2 분기 배관(712)으로 분기하여 흐르며, 복수의 제2 급기구(32)로부터 기재(9)의 하면을 향해, 열풍이 토출된다.
제1 배기 기구(80)는, 건조로(50)의 내부로부터, 복수의 제1 배기구(33)를 통하여 기체를 배출하기 위한 기구이다. 도 3에 나타내는 바와 같이, 제1 배기 기구(80)는, 제1 배기 배관(81)과, 제1 배기 배관(81)으로부터 기체를 취출하는 제1 배기 블로어(82)를 가진다. 제1 배기 배관(81)은, 복수의 제1 개별 배관(811)과, 1개의 제1 집합 배관(812)을 가진다. 복수의 제1 개별 배관(811)의 상류측의 단부는, 복수의 제1 배기구(33)에 각각 접속되어 있다. 또, 복수의 제1 개별 배관(811)은, 각각, 제1 배기구(33)로부터 건조로(50)의 외부를 향해 연장되어 있다. 복수의 제1 개별 배관(811)의 하류측의 단부와, 제1 집합 배관(812)의 상류측의 단부는 서로 접속되어 있다. 또, 제1 집합 배관(812)의 하류측의 단부는, 제1 배기 블로어(82)에 접속되어 있다.
제1 배기 블로어(82)를 동작시키면, 제1 배기 배관(81) 내에 부압이 발생하여, 건조로(50) 내의 기체가, 복수의 제1 배기구(33)를 지나 복수의 제1 개별 배관(811)으로 흡입된다. 또, 복수의 제1 개별 배관(811) 내의 기체는, 하류측으로 흘러, 제1 집합 배관(812)으로 합류한다. 그 후, 제1 집합 배관(812) 내의 기체는, 제1 배기 블로어(82)에 의해, 공장 내의 배기 라인으로 배출된다.
또, 도 3에 나타내는 바와 같이, 제1 집합 배관(812)의 경로 상에는, 제1 배기 온도계(83)가 설치되어 있다. 제1 배기 온도계(83)는, 제1 집합 배관(812) 내의 기체의 온도를 계측한다. 그리고, 얻어진 계측치를 나타내는 신호를, 제어부(40)로 송신한다. 제어부(40)는, 제1 배기 온도계(83)로부터 얻어지는 계측치를 감시함으로써, 건조로(50)로부터 배출되는 기체의 온도 변화를 알 수 있다. 또한, 제1 배기 온도계(83)에는, 예를 들면, 온도에 따라 저항값이 변화하는 측온 저항체를 이용한 온도 센서, 열전대를 이용한 온도 센서, 혹은 바이메탈 온도계 등을 이용할 수 있다.
제2 배기 기구(90)는, 건조로(50)의 내부로부터, 복수의 제2 배기구(34)를 통하여 기체를 배출하기 위한 기구이다. 도 3에 나타내는 바와 같이, 제2 배기 기구(90)는, 제2 배기 배관(91)과, 제2 배기 배관(91)으로부터 기체를 취출하는 제2 배기 블로어(92)를 가진다. 제2 배기 배관(91)은, 복수의 제2 개별 배관(911)과, 1개의 제2 집합 배관(912)을 가진다. 복수의 제2 개별 배관(911)의 상류측의 단부는, 복수의 제2 배기구(34)에, 각각 접속되어 있다. 또, 복수의 제2 개별 배관(911)은, 각각, 제2 배기구(34)로부터 건조로(50)의 외부를 향해 연장되어 있다. 복수의 제2 개별 배관(911)의 하류측의 단부와, 제2 집합 배관(912)의 상류측의 단부는 서로 접속되어 있다. 또, 제2 집합 배관(912)의 하류측의 단부는, 제2 배기 블로어(92)에 접속되어 있다.
제2 배기 블로어(92)를 동작시키면, 제2 배기 배관(91) 내에 부압이 발생하여, 건조로(50) 내의 기체가, 복수의 제2 배기구(34)를 지나 복수의 제2 개별 배관(911)에 흡입된다. 또, 복수의 제2 개별 배관(911) 내의 기체는, 하류측으로 흘러, 제2 집합 배관(912)에 합류한다. 그 후, 제2 집합 배관(912) 내의 기체는, 제1 배기 블로어(82)에 의해, 공장 내의 배기 라인으로 배출된다.
또, 도 3에 나타내는 바와 같이, 제2 집합 배관(912)의 경로 상에는, 제2 배기 온도계(93)가 설치되어 있다. 제2 배기 온도계(93)는, 제2 집합 배관(912) 내의 기체의 온도를 계측한다. 그리고, 얻어진 계측치를 나타내는 신호를, 제어부(40)로 송신한다. 제어부(40)는, 제2 배기 온도계(93)로부터 얻어지는 계측치를 감시함으로써, 건조로(50)로부터 배출되는 기체의 온도 변화를 알 수 있다. 또한, 제2 배기 온도계(93)에는, 예를 들면, 온도에 따라 저항값이 변화하는 측온 저항체를 이용한 온도 센서, 열전대를 이용한 온도 센서, 혹은 바이메탈 온도계 등을 이용할 수 있다.
＜3. 도공막 형성 장치의 초기 동작에 대해서＞
계속해서, 도공막 형성 장치(1)에 있어서 도공·건조 처리를 개시할 때에 행하는 초기 동작에 대해서 설명한다.
도 4는, 상기 초기 동작의 흐름을 나타낸 플로차트이다. 도공막 형성 장치(1)에 있어서 도공·건조 처리를 개시할 때에는, 우선, 제어부(40)가, 제1 급기 블로어(62), 제1 가열부(63), 제2 급기 블로어(72), 제2 가열부(73), 제1 배기 블로어(82), 및 제2 배기 블로어(92)를 기동시킨다. 이것에 의해, 도공막 형성 장치(1)는, 건조로(50) 내로의 열풍의 공급과, 건조로(50)로부터 제1 배기 배관(81) 및 제2 배기 배관(91)으로의 기체의 배출을 개시한다(단계 S1).
다음에, 도공막 형성 장치(1)는, 건조로(50) 내로의 열풍의 공급과, 건조로(50)로부터의 기체의 배출을 계속하면서, 제1 배기 온도계(83) 및 제2 배기 온도계(93)에 의한 온도 계측을 행한다(단계 S2). 제1 배기 온도계(83)는, 제1 집합 배관(812) 내의 기체의 온도를 계측하고, 얻어진 계측치를 나타내는 신호를 제어부(40)로 송신한다. 또, 제2 배기 온도계(93)는, 제2 집합 배관(912) 내의 기체의 온도를 계측하고, 얻어진 계측치를 나타내는 신호를 제어부(40)로 송신한다.
도 5는, 제1 배기 온도계(83) 또는 제2 배기 온도계(93)의 계측치의 경시 변화의 예를 나타낸 도이다. 건조로(50) 내로의 열풍의 공급을 개시하면, 건조로(50) 내의 온도는 서서히 상승한다. 이 때문에, 도 5와 같이, 건조로(50)로부터 배출되는 기체의 온도도, 열풍의 공급을 개시한 시각 t0으로부터 서서히 상승한다. 결국, 건조로(50) 내의 분위기가 고온의 공기로 치환되면, 건조로(50) 내의 온도가 목표 온도에 도달하여 안정된다. 그렇게 하면, 도 5와 같이, 건조로(50)로부터 배출되는 기체의 온도 변화도 작아진다.
제어부(40)는, 제1 배기 온도계(83)로부터 수신한 신호에 의거하여, 제1 배기 온도계(83)의 계측치를 취득한다. 또, 제어부(40)는, 제2 배기 온도계(93)로부터 수신한 신호에 의거하여, 제2 배기 온도계(93)의 계측치를 취득한다. 그리고, 제어부(40)는, 이들 계측치가, 미리 설정된 기준치에 도달했는지 어떤지를 감시한다(단계 S3, S4). 또한, 기준치는, 배기 배관(81, 91) 내에 있어서의 기체의 온도 저하를 고려하여, 건조로(50) 내의 목표 온도보다 약간 낮은 온도로 설정된다.
제1 배기 온도계(83)의 계측치 및 제2 배기 온도계(93)의 계측치 중 적어도 일방이, 상기의 기준치에 도달하고 있지 않으면, 제어부(40)는, 건조로(50) 내의 온도가 아직 목표 온도에 도달하고 있지 않다고 판단하고, 온도의 감시를 계속한다. 결국, 제1 배기 온도계(83)의 계측치와, 제2 배기 온도계(93)의 계측치가, 모두 상기의 기준치에 도달하면, 제어부(40)는, 건조로(50) 내의 온도가 목표 온도에 도달했다고 판단하고, 반송 기구(10)의 동작을 개시시킨다(단계 S5). 이것에 의해, 기재(9)의 반송이 개시된다. 그 후, 제어부(40)는, 개폐 밸브(24)를 개방하고, 도공 노즐(21)로부터의 도공액의 토출을 개시시킨다(단계 S6).
이와 같이, 이 도공막 형성 장치(1)에서는, 건조로(50)로부터 배출되는 기체의 온도를 계측하고, 상기 계측치가 기준치에 도달한 후에, 기재(9)의 반송을 개시시킨다. 통상, 급기 배관(61, 71) 내의 온도가 상승한 후에, 건조로(50) 내의 온도가 상승하고, 그 후에 배기 배관(81, 91) 내의 온도가 상승한다. 이 때문에, 배기 배관(81, 91) 내의 온도를 감시하면, 급기 배관(61, 71) 내의 온도를 감시하는 경우보다 확실히, 건조로(50) 내의 온도가 목표 온도에 도달했는지 어떤지를 판단할 수 있다. 즉, 건조로(50) 내의 온도가 목표 온도에 도달하지 않은 채로, 건조 처리가 개시되는 상황을 회피할 수 있다. 이것에 의해, 건조 불량의 발생을 억제할 수 있다.
또, 본 실시 형태와 같이, 건조로(50)로부터 배출되는 기체의 온도를 계측하면, 건조로(50)의 내부 공간이 넓은 경우여도, 건조로(50)의 내부에 다수의 온도계를 설치하지 않고, 건조로(50) 내의 온도가 목표 온도에 도달했는지 어떤지를 판단할 수 있다.
특히, 본 실시 형태에서는, 배기 온도계(83, 93)는, 복수의 개별 배관(811, 911) 내의 기체의 온도가 아니라, 집합 배관(812, 912) 내의 기체의 온도를 계측한다. 이 때문에, 복수의 개별 배관(811, 911) 내의 온도를 각각 계측하는 경우보다, 배기 온도계(83, 93)의 수를 줄일 수 있다. 또, 제어부(40)로 송신되는 계측치의 수도 줄어 들기 때문에, 제어부(40)에 있어서의 판단 처리가 용이해진다.
또, 본 실시 형태에서는, 건조로(50)의 내부 공간 중, 기재(9)의 반송 경로보다 상측의 공간으로부터 배출되는 기체의 온도를 제1 배기 온도계(83)로 계측하고, 기재(9)의 반송 경로보다 하측의 공간으로부터 배출되는 기체의 온도를, 제2 배기 온도계(93)로 계측한다. 그리고, 이들 쌍방의 계측 결과를 고려하여, 건조로(50) 내의 온도가 목표 온도에 도달했는지 어떤지를 판단한다. 이 때문에, 제1 배기 온도계(83) 및 제2 배기 온도계(93)의 일방의 계측 결과 만을 이용하는 경우보다 정밀도 있게, 건조로(50) 내의 온도가 목표 온도에 도달했는지 어떤지를 판단할 수 있다.
＜4. 변형예＞
이상, 본 발명의 일실시 형태에 대해서 설명했지만, 본 발명은, 상기의 실시 형태에 한정되는 것은 아니다.
도 6은, 일 변형예에 관련된 건조 장치(30)의 구성을 나타낸 도이다. 도 6의 예에서는, 제1 배기 기구(80)의 복수의 제1 개별 배관(811)에, 각각 제1 배기 온도계(83)가 설치되어 있다. 제1 배기 온도계(83)는, 제1 개별 배관(811) 내의 기체의 온도를 계측하고, 얻어진 계측치를 제어부(40)로 송신한다. 또, 도 6의 예에서는, 제2 배기 기구(90)의 복수의 제2 개별 배관(911)에, 각각 제2 배기 온도계(93)가 설치되어 있다. 제2 배기 온도계(93)는, 제2 개별 배관(911) 내의 기체의 온도를 계측하고, 얻어진 계측치를 제어부(40)로 송신한다. 제어부(40)는, 복수의 제1 배기 온도계(83) 및 복수의 제2 배기 온도계(93)로부터 얻어진 각 계측치가, 모두, 미리 설정된 기준치에 도달하면, 건조로(50) 내의 온도가 목표 온도에 도달했다고 판단하고, 반송 기구(10)의 동작을 개시시킨다.
건조로(50)로부터 배출되는 기체의 온도는, 외기온의 영향에 의해, 배기 배관(81, 91) 내에 있어서 서서히 저하된다. 그러나, 도 6과 같이, 개별 배관(811, 911)에 배기 온도계(83, 93)를 설치하면, 집합 배관(812, 912)보다 배기 배관(81, 91)의 상류측에 있어서, 기체의 온도를 계측할 수 있다. 따라서, 건조로(50) 내의 온도에 보다 가까운 계측치를 얻을 수 있다.
특히, 도 6의 예에서는, 제1 배기 기구(80)의 각 제1 개별 배관(811)이, 건조로(50)의 내부에 위치하는 노내 배관(811a)과, 건조로(50)의 외부에 위치하는 노외 배관(811b)을 포함하고 있다. 그리고, 제1 배기 온도계(83)는, 노내 배관(811a) 내의 기체의 온도를 계측한다. 또, 도 6의 예에서는, 제2 배기 기구(90)의 각 제2 개별 배관(911)이, 건조로(50)의 내부에 위치하는 노내 배관(911a)과, 건조로(50)의 외부에 위치하는 노외 배관(911b)을 포함하고 있다. 그리고, 제2 배기 온도계(93)는, 노내 배관(911a) 내의 기체의 온도를 계측한다.
이와 같이 하면, 건조로(50)로부터 배출되는 기체가, 외기온의 영향으로 냉각되기 전에, 기체의 온도를 계측할 수 있다. 따라서, 건조로(50) 내의 온도에 보다 가까운 계측치를 얻을 수 있다.
또한, 도 6의 예에서는, 제1 배기 기구(80)의 모든 제1 개별 배관(811)에, 제1 배기 온도계(83)가 설치되고, 제2 배기 기구(90)의 모든 제2 개별 배관(911)에, 제2 배기 온도계(93)가 설치되어 있다. 그러나, 일부의 개별 배관에만, 배기 온도계를 설치해도 된다.
도 7은, 다른 변형예에 관련된 건조 장치(30)의 구성을 나타낸 도이다. 도 7의 예에서는, 제1 배기 기구(80)의 복수의 제1 개별 배관(811)이, 건조로(50)의 내부에 있어서, 제1 집합 배관(812)에 접속되어 있다. 따라서, 제1 집합 배관(812)은, 건조로(50)의 내부에 위치하는 노내 배관(812a)과, 건조로(50)의 외부에 위치하는 노외 배관(812b)을 포함하고 있다. 그리고, 노내 배관(812a)에, 제1 배기 온도계(83)가 설치되어 있다. 제1 배기 온도계(83)는, 노내 배관(812a) 내의 기체의 온도를 계측하고, 얻어진 계측치를 제어부(40)로 송신한다.
또, 도 7의 예에서는, 제2 배기 기구(90)의 복수의 제2 개별 배관(911)이, 건조로(50)의 내부에 있어서, 제2 집합 배관(912)에 접속되어 있다. 따라서, 제2 집합 배관(912)은, 건조로(50)의 내부에 위치하는 노내 배관(912a)과, 건조로(50)의 외부에 위치하는 노외 배관(912b)을 포함하고 있다. 그리고, 노내 배관(912a)에, 제2 배기 온도계(93)가 설치되어 있다. 제2 배기 온도계(93)는, 노내 배관(912a) 내의 기체의 온도를 계측하고, 얻어진 계측치를 제어부(40)로 송신한다.
이와 같이 하면, 건조로(50)로부터 배출되는 기체가, 외기온의 영향으로 냉각되기 전에, 기체의 온도를 계측할 수 있으며, 또한, 도 6의 예보다 배기 온도계(83, 93)의 수를 줄일 수 있다.
도 8은, 다른 변형예에 관련된 제어부(40)의 기능 블럭도이다. 도 8의 예에서는, 제어부(40)가, 배기량 연산 수단(44)을 가진다. 배기량 연산 수단(44)은, 제1 배기 온도계(83) 및 제2 배기 온도계(93)로부터 얻어지는 계측치 T를, 배기 배관(81, 91) 내의 배기량 V로 환산한다. 예를 들면, 계측치 T를, 기체의 상태 방정식에 대입하여, 배기량 V를 산출한다. 이것에 의해, 도 8의 제어부(40)는, 배기 배관(81, 91) 내의 배기량을 추정할 수 있다. 그리고, 추정된 배기량을 감시함으로써, 건조로(50)로부터 기체가 누출되는 등의 문제를 검지할 수 있다. 또한, 배기량 연산 수단(44)의 기능은, 제어부(40) 내의 연산 처리부(41)가, 컴퓨터 프로그램에 의거하여 동작함으로써 실현된다.
도 9는, 다른 변형예에 관련된 건조 장치(30)의 구성을 나타낸 도이다. 도 9의 예에서는, 제1 열풍 공급 기구(60)의 제1 공통 배관(611)에, 제1 급기 온도계(64)가 설치되어 있다. 제1 급기 온도계(64)는, 제1 공통 배관(611) 내의 기체의 온도를 계측하고, 얻어진 계측치를 제어부(40)로 송신한다. 또, 도 9의 예에서는, 제2 열풍 공급 기구(70)의 제2 공통 배관(711)에, 제2 급기 온도계(74)가 설치되어 있다. 제2 급기 온도계(74)는, 제2 공통 배관(711) 내의 기체의 온도를 계측하고, 얻어진 계측치를 제어부(40)로 송신한다.
이와 같이, 배기측 만이 아니라, 급기측에도 온도계를 설치하면, 건조로(50) 내에 공급되는 공기의 온도와, 건조로(50)로부터 배출되는 기체의 온도 쌍방을 가미하여, 건조로(50) 내의 온도가 목표 온도에 도달했는지 어떤지를, 보다 정밀도 있게 판단할 수 있다. 구체적으로는, 예를 들면, 제1 급기 온도계(64), 제2 급기 온도계(74), 제1 배기 온도계(83), 및 제2 배기 온도계(93)의 각 계측치가, 모두, 미리 설정된 기준치에 도달하면, 반송 기구(10)의 동작을 개시시키도록 하면 된다.
또, 상기의 실시 형태에서는, 제1 배기 기구(80)의 모든 제1 개별 배관(811)이, 1개의 제1 집합 배관(812)에 접속되어 있었다. 또, 상기의 실시 형태에서는, 제2 배기 기구(90)의 모든 제2 개별 배관(911)이, 1개의 제2 집합 배관(912)에 접속되어 있었다. 그러나, 각 배기 기구(80, 90)는, 복수의 집합 배관을 가지고 있어도 된다. 그 경우, 예를 들면, 집합 배관마다 배기 온도계를 설치하고, 각 배기 온도계의 계측치가 모두 미리 설정된 기준치에 도달하면, 반송 기구(10)의 동작을 개시시키도록 하면 된다.
또, 상기의 실시 형태에서는, 복수의 제1 급기구(31), 복수의 제2 급기구(32), 복수의 제1 배기구(33), 및 복수의 제2 배기구(34)가, 모두 기재(9)의 상면 또는 하면에 대향하고 있었다. 그러나, 본 발명의 건조 장치는, 기재에 대향하고 있지 않는 급기구 또는 배기구를 가지고 있어도 된다.
또, 상기의 실시 형태에서는, 배기 온도계(83, 93)의 계측치가 미리 설정된 기준치에 도달했는지 어떤지를 감시하고, 상기 계측치가 기준치에 도달하면, 기판(9)의 반송을 개시시키고 있었다. 그러나, 열풍 공급 기구(60, 70)로부터 공급되는 기체의 온도가 일정한 경우, 배기 온도계(83, 93)의 계측치의 변화가 작아진 것을 가지고, 건조로(50) 내의 온도가 목표 온도에 도달했다고 추정할 수 있다. 따라서, 배기 온도계(83, 93)의 계측치의 변화가 미리 설정된 범위 내에 수렴되었는지(즉, 소정의 시간 내에 있어서의 계측치의 변화가 소정의 수치 이하로 수습되어 있는지 어떤지)를 감시하여, 상기 계측치의 변화가 상기 범위 내에 수렴되면, 기판(9)의 반송을 개시시키도록 해도 된다.
또, 상기의 실시 형태의 도공막 형성 장치(1)는, 기재(9)의 일방의 면에만 도공·건조 처리를 행하는 장치였다. 그러나, 본 발명의 도공막 형성 장치는, 기재의 양면에 대해 도공·건조 처리를 행하는 것이어도 된다. 또, 본 발명의 건조 장치는, 기재의 양면에 대해 건조 처리를 행하는 것이어도 된다.
또, 상기의 실시 형태에서는, 건조로(50) 내에 열풍으로서 가열된 공기를 공급하고 있었다. 그러나, 열풍으로서 공기 이외의 기체를 이용해도 된다. 예를 들면, 기재 또는 도공막의 산화를 방지할 필요성이 높은 경우에는, 질소 가스나 아르곤 가스 등의 이른바 불활성 가스를 가열하여, 건조로(50) 내에 공급해도 된다.
또, 상기의 실시 형태에서는, 배기 온도계(83, 93)의 계측치를 취득한 제어부(40)가, 건조로(50) 내의 온도가 목표 온도에 도달했는지 어떤지를, 자동적으로 판단하고 있었다. 그러나, 상기 판단을 작업자가 행하도록 해도 된다. 예를 들면, 배기 온도계(83, 93)의 계측치를 액정 디스플레이 등의 표시 장치에 표시시키고, 상기 표시에 의거하여, 건조로(50) 내의 온도가 목표 온도에 도달했는지 어떤지를, 작업자가 판단해도 된다. 그 경우, 작업자는, 건조로(50) 내의 온도가 목표 온도에 도달했다고 판단한 후에, 제어부(40)에 대해 소정의 조작을 행함으로써, 반송 기구의 동작을 개시시키면 된다.
또, 상기의 실시 형태의 도공막 형성 장치(1)는, 리튬 이온 2차 전지의 전극을 제조하는 장치였다. 그러나, 본 발명의 도공막 형성 장치는, 리튬 이온 2차 전지 이외의 각종 전지의 제조 공정에 이용되는 것이어도 된다. 예를 들면, 연료 전지의 제조 공정에 있어서, 기재인 전해질막을 롤 투 롤 방식으로 반송하면서, 전해질막의 표면에 촉매 잉크를 도포하고, 상기 촉매 잉크를 건조시키는 장치여도 된다. 또, 본 발명의 도공막 형성 장치는, 반도체, 액정 표시 장치, 태양전지 패널, 플렉서블 디바이스 등에 이용되는 각종 플렉서블 기재의 표면에, 레지스터막 등의 도공막을 형성하는 것이어도 된다.
또, 상기의 실시 형태나 변형예에 등장한 각 요소를, 모순이 생기지 않는 범위에서, 적절히 조합해도 된다.
1: 도공막 형성 장치 9: 기재
10: 반송 기구 20: 도공 장치
30: 건조 장치 31: 제1 급기구
32: 급기구 33: 배기구
34: 배기구 40: 제어부
44: 배기량 연산 수단 50: 건조로
51: 반입구 52: 반출구
60: 제1 열풍 공급 기구 61: 제1 급기 배관
62: 제1 급기 블로어 63: 제1 가열부
64: 제1 급기 온도계 70: 제2 열풍 공급 기구
71: 제2 급기 배관 72: 제2 급기 블로어
73: 제2 가열부 74: 제2 급기 온도계
80: 제1 배기 기구 81: 제1 배기 배관
82: 제1 배기 블로어 83: 제1 배기 온도계
90: 제2 배기 기구 91: 제2 배기 배관
92: 제2 배기 블로어 93: 제2 배기 온도계
611: 제1 공통 배관 612: 제1 분기 배관
711: 제2 공통 배관 712: 제2 분기 배관
811: 제1 개별 배관 811a: 노내 배관
811b: 노외 배관 812: 제1 집합 배관
812a: 노내 배관 812b: 노외 배관
911: 제2 개별 배관 911a: 노내 배관
911b: 노외 배관 912: 제2 집합 배관
912a: 노내 배관 912b: 노외 배관

Claims (15)

  1. 긴 띠형상의 기재의 표면에 도포된 도공액을 건조시키는 건조 장치로서,
    소정의 반송 경로를 따라 기재를 반송하는 반송 기구와,
    상기 반송 경로의 일부분이 내부에 배치된 건조로와,
    상기 건조로의 내부에 열풍을 공급하는 열풍 공급 기구와,
    상기 건조로의 내부로부터 기체를 배출하는 배기 기구를 구비하고,
    상기 배기 기구는,
    상기 건조로 내에 설치된 복수의 배기구로부터 상기 건조로의 외부를 향해 연장되는 배기 배관과,
    상기 배기 배관 내의 기체의 온도를 계측하는 배기 온도계를 가지는, 건조 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 배기 배관은,
    상기 복수의 배기구에 접속된 복수의 개별 배관과,
    상기 복수의 개별 배관 내의 기체를 합류시켜 하류측으로 보내는 집합 배관을 가지며,
    상기 배기 온도계는 상기 집합 배관 내의 기체의 온도를 계측하는, 건조 장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 배기 배관은,
    상기 복수의 배기구에 접속된 복수의 개별 배관과,
    상기 복수의 개별 배관 내의 기체를 합류시켜 하류측으로 보내는 집합 배관을 가지며,
    상기 배기 온도계는 상기 개별 배관 내의 기체의 온도를 계측하는, 건조 장치.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 배기 배관은,
    상기 건조로의 내부에 위치하는 노내 배관과,
    상기 건조로의 외부에 위치하는 노외 배관을 가지며,
    상기 배기 온도계는 상기 노내 배관 내의 기체의 온도를 계측하는, 건조 장치.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 열풍 공급 기구 및 상기 반송 기구를 제어하는 제어부를 더 구비하고,
    상기 제어부는, 상기 열풍 공급 기구의 동작을 개시시킨 후, 상기 배기 온도계의 계측치가 미리 정해진 기준치에 도달하거나, 또는, 상기 배기 온도계의 계측치의 변화가 미리 정해진 범위 내에 수렴되면, 상기 반송 기구의 동작을 개시시키는, 건조 장치.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 제어부는, 상기 배기 온도계의 계측치를, 상기 배기 배관 내의 배기량으로 환산하는 배기량 연산 수단을 가지는, 건조 장치.
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 복수의 배기구는,
    상기 건조로 내의 상기 반송 경로보다 상측의 공간에 배치된 복수의 제1 배기구와,
    상기 건조로 내의 상기 반송 경로보다 하측의 공간에 배치된 복수의 제2 배기구를 가지는, 건조 장치.
  8. 청구항 1에 있어서,
    상기 열풍 공급 기구는,
    상기 건조로 내에 설치된 복수의 급기구에 접속된 급기 배관과,
    상기 급기 배관 내의 기체의 온도를 계측하는 급기 온도계를 가지는, 건조 장치.
  9. 긴 띠형상의 기재의 표면에 도공막을 형성하는 도공막 형성 장치로서,
    청구항 1 내지 청구항 8 중 어느 한 항에 기재된 건조 장치와,
    상기 건조로보다도 상기 반송 경로의 상류측에 있어서, 기재의 표면에 도공액을 도포하는 도공 장치를 구비한, 도공막 형성 장치.
  10. 긴 띠형상의 기재를 소정의 반송 경로를 따라 반송하면서, 상기 반송 경로의 일부분이 내부에 배치된 건조로 내에 있어서, 기재의 표면에 도포된 도공액을 건조시키는 건조 방법으로서,
    a) 상기 건조로 내로의 열풍의 공급과, 상기 건조로로부터 배기 배관으로의 기체의 배출을 개시시키는 공정과,
    b) 상기 배기 배관 내의 기체의 온도를 계측하고, 그 계측치가 미리 정해진 기준치에 도달했는지 어떤지, 또는, 상기 계측치의 변화가 미리 정해진 범위 이내로 수렴되었는지 어떤지를 감시하는 공정과,
    c) 상기 공정 b)에 있어서, 상기 계측치가 상기 기준치에 도달했거나, 또는, 상기 계측치의 변화가 상기 범위 이내로 수렴되었다고 판단하면, 기재의 반송을 개시시키는 공정을 가지는, 건조 방법.
  11. 청구항 10에 있어서,
    상기 공정 a), 상기 공정 b), 및 상기 공정 c)에 있어서, 상기 건조로 내에 설치된 복수의 배기구로부터 상기 배기 배관으로 기체가 배출되는, 건조 방법.
  12. 청구항 11에 있어서,
    상기 배기 배관은,
    상기 복수의 배기구에 접속된 복수의 개별 배관과,
    상기 복수의 개별 배관 내의 기체를 합류시켜 하류측으로 보내는 집합 배관을 가지며,
    상기 공정 b)에서는, 상기 집합 배관 내의 기체의 온도를 계측하는, 건조 방법.
  13. 청구항 11에 있어서,
    상기 배기 배관은,
    상기 복수의 배기구에 접속된 복수의 개별 배관과,
    상기 복수의 개별 배관 내의 기체를 합류시켜 하류측으로 보내는 집합 배관을 가지며,
    상기 공정 b)에서는, 상기 개별 배관 내의 기체의 온도를 계측하는, 건조 방법.
  14. 청구항 11에 있어서,
    상기 복수의 배기구는,
    상기 건조로 내의 상기 반송 경로보다도 상측의 공간에 배치된 복수의 제1 배기구와,
    상기 건조로 내의 상기 반송 경로보다도 하측의 공간에 배치된 복수의 제2 배기구를 포함하는, 건조 방법.
  15. 긴 띠형상의 기재를 소정의 반송 경로를 따라 반송하면서, 상기 반송 경로의 일부분이 내부에 배치된 건조로 내에 있어서, 기재의 표면에 도포된 도공액을 건조시키는 건조 방법으로서,
    d) 급기 배관으로부터 상기 건조로 내로의 열풍의 공급과, 상기 건조로로부터 배기 배관으로의 기체의 배출을 개시시키는 공정과,
    e) 상기 배기 배관 내의 기체의 온도 및 상기 급기 배관 내의 기체의 온도를 계측하고, 그 계측치가 미리 정해진 기준치에 도달했는지 어떤지, 또는, 상기 계측치의 변화가 미리 정해진 범위 이내로 수렴되었는지 어떤지를 감시하는 공정과,
    f) 상기 공정 e)에 있어서, 상기 계측치가 상기 기준치에 도달했거나, 또는, 상기 계측치의 변화가 상기 범위 이내로 수렴되었다고 판단하면, 기재의 반송을 개시시키는 공정을 가지는, 건조 방법.
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