CN103234328B - 一种基板减压干燥方法及装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了基板制造技术领域中的一种基板减压干燥方法及装置。首先将基板置于密封空间；然后将所述基板的待干燥面划分为设定个密封区；之后对所述密封区抽气减压；最后对所述密封区吹气干燥，从密封空间取出基板。本发明能对各种尺寸的基板进行减压干燥；最大限度地保证了压力和湿度的均匀，避免了减压干燥斑点的形成。

Description

一种基板减压干燥方法及装置

技术领域

本发明涉及基板制造技术领域，特别涉及一种基板减压干燥方法及装置。

背景技术

目前的减压干燥（VCD）设备的排气孔设置有两种方式，一种是中心排气，另一种是四周排气。但无论哪种排气方式，对于大尺寸的玻璃基板来说，会由于排气孔数量少及分布问题，造成排气不均匀，加上光刻胶本身的流动性较差，导致基板表面的气流不均，基板表面的湿度不同等原因，在减压干燥后，会产生减压干燥斑点，最常见的是类似月牙形的斑点。目前业内无法对减压干燥的斑点进行有效控制，增加了基板质量的误判率，不利于对基板质量的检测，影响了基板的品质，给后续工作带来不便。

发明内容

（一）要解决的技术问题

本发明要解决的技术问题是：如何提供一种基板减压干燥方法及装置，以解决现有基板减压干燥过程中存在的减压干燥斑点的问题。

（二）技术方案

为解决上述技术问题，本发明提供了一种基板减压干燥方法，其特征是，该方法包括以下步骤：

S1：将基板置于密封空间；

S2：将所述基板的待干燥面划分为设定个密封区；

S3：对所述密封区抽气减压；

S4：对所述密封区吹气干燥，从密封空间取出基板。

所述步骤S3具体为：

S31：选择一个所述密封区作为第一减压区进行抽气减压；当所述第一减压区内的压力小于设定压力值时进入步骤S32；

S32：若第一减压区有相邻的密封区，则将所述第一减压区和所述第一减压区相邻的一个密封区连通后形成的区域作为第一减压区，进入步骤S33；否则，第一减压区没有相邻的密封区，抽气结束；

S33：对此时的第一减压区进行抽气减压，当第一减压区内的压力小于所述设定压力值时，返回步骤S32。

在所述步骤S3之后还包括：将第一减压区重新划分为所述设定个密封区。

所述步骤S4具体为：

S41：选择一个所述密封区作为第一干燥区进行吹气干燥，当所述第一干燥区内的湿度小于设定湿度值时进入步骤S42；

S42：若第一干燥区有相邻的密封区，则将所述第一干燥区和所述第一干燥区相邻的一个密封区连通后形成的区域作为第一干燥区，进入步骤S43；否则，第一干燥区没有相邻的密封区，干燥结束，从密封空间取出基板；

S43：对此时的第一干燥区进行吹气干燥，当第一干燥区内的湿度小于所述设定湿度值时，返回步骤S42。

一种基板减压干燥装置，其特征是，该装置包括：

干燥仓，用于放置待干燥的基板；

密封盖，用于将所述干燥仓和外部空气隔绝；

控制板，位于所述干燥仓的下部，用于控制基板的干燥过程；

所述干燥仓包括第一挡板、第二挡板、第三挡板和底板；第一挡板、第二挡板、第三挡板、底板和控制板构成矩形槽。

所述控制板上间隔设置有槽。

所述第一挡板上对应所述控制板上的槽间隔设置有槽。

所述第二挡板上间隔设置有槽。

所述第三挡板对应所述第二挡板上的槽间隔设置有槽。

所述装置还包括隔离挡板，用于通过所述第一挡板上的槽和控制板上的槽或第二挡板上的槽和第三挡板上的槽划分所述矩形槽。

所述隔离挡板上设有连通隔离挡板两侧的压力控制阀。

所述控制板上的槽之间设有抽气端口。

所述控制板上的槽之间设有吹气端口。

所述控制板上的槽之间设有压力传感器。

所述控制板上的槽之间设有湿度传感器。

所述控制板上设有用于监控减压干燥过程的控制面板。

所述控制板内设有空气泵，所述空气泵的一端与所述控制面板连接；所述空气泵的另一端与所述抽气端口和吹气端口连接。

（三）有益效果

本发明具有以下优点：

1.将大尺寸的基板划分小的密封区进行减压干燥，降低了减压干燥过程的难度，易于实现；

2.对密封区逐个进行减压/干燥，最大限度地保证了压力和湿度的均匀，避免了减压干燥斑点的形成；

3.干燥仓可通过第一挡板、第二挡板、第三挡板、底板和控制板构成的矩形槽可根据基板的形状进行调整，能对各种尺寸的基板进行减压干燥；

4.第一挡板、第二挡板、第三挡板和控制板上对应设置有用于安装隔离挡板的槽，可以对密封区的大小灵活控制；

5.相邻的密封区通过压力控制阀进行连通控制，结构简单有效，过程容易控制，压力控制阀设置简单；

6.抽气端口和吹气端口可以通过一个端口实现，减少了成本，节约了控制流程；

7.控制板上的槽之间设有压力传感器和湿度传感器，能够实时对密封区内的压力值和湿度值进行监控；

8.本发明的方法和装置不仅适用于对基板的减压干燥，也适用于其他需要减压干燥的有平整平面的器件。

附图说明

图1是本发明的流程图；

图2是本发明的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。

为了解决现有基板减压干燥过程中存在的干燥斑的问题，本发明提出了一种基板减压干燥方法及装置。

本发明方法的流程图如图1所示，参照图示，该方法具体包括以下步骤：

S1：将基板置于密封空间；

S2：将所述基板的待干燥面划分为依次相邻的设定个密封区；

依次相邻是指根据基板的实际形状，按从左到右或从上到下等方式，将基板划分为简单的几何形密封区以便减压干燥。设定个是指根据实际的基板尺寸将基板要减压干燥的面划分为密封区的数量。

S3：对所述密封区抽气减压；

S31：选择一个所述密封区作为第一减压区进行抽气减压；当所述第一减压区内的压力小于设定压力值时进入步骤S32；

S32：若第一减压区有相邻的密封区，则将所述第一减压区和所述第一减压区相邻的一个密封区连通后形成的区域作为第一减压区，进入步骤S33；否则，第一减压区没有相邻的密封区，说明基板已经全部减压过了，抽气结束，将第一减压区重新划分为所述设定个密封区；重新划分密封区时，只要将此刻的第一减压区恢复成抽气减压前的设定个密封区即可。

此时，连通后形成的第一减压区内的压力会升高，然后再逐渐降低。最大限度地保证了压力和湿度的均匀，避免了减压干燥斑点的形成；

S33：对此时的第一减压区进行抽气减压，当第一减压区内的压力小于所述设定压力值时，返回步骤S32。

S4：对所述密封区吹气干燥，从密封空间取出基板；

S41：选择一个所述密封区作为第一干燥区进行吹气干燥，当所述第一干燥区内的湿度小于设定湿度值时进入步骤S42；

S42：若第一干燥区有相邻的密封区，则将所述第一干燥区和所述第一干燥区相邻的一个密封区连通后形成的区域作为第一干燥区，进入步骤S43；否则，第一干燥区没有相邻的密封区，说明基板已经全部干燥过了，干燥结束，从密封空间取出基板；此时，连通后形成的第一干燥区内的湿度会升高，然后再逐渐降低。

S43：对此时的第一干燥区进行吹气干燥，当第一干燥区内的湿度小于所述设定湿度值时，返回步骤S42；

一种实现上述方法的装置，如图2所示，该装置包括：

干燥仓（图中未示出），用于放置待干燥的基板；

密封盖（图中未示出），用于将所述干燥仓和外部空气隔绝；

控制板1，位于所述干燥仓的下部，用于控制基板的干燥过程。

所述干燥仓包括第一挡板2、第二挡板3、第三挡板4和底板11；第一挡板2、第二挡板3、第三挡板4、底板11和控制板1构成矩形槽，矩形槽和密封盖一起形成和外部空气隔绝的区域。第一挡板2、第二挡板3和第三挡板4在干燥仓内的位置可调，以适应基板的形状。

所述控制板1上间隔设置有槽；对应图2中控制板的边上和第一挡板2对应的边上设有槽6。

所述第一挡板2上对应所述控制板1上的槽间隔设置有槽6。

对应是指控制板1上的槽和第一挡板2上的槽之间平行设置，数量和间距也对应相等。所述第二挡板3上间隔设置有槽6。所述第三挡板4对应所述第二挡板3上的槽间隔设置有槽6。第二挡板3和第三挡板4之间的对应关系同控制板1和第一挡板2之间的对应关系。这样就将大尺寸的基板划分小的密封区进行减压干燥，降低了减压干燥过程的难度，易于实现。

所述装置还包括隔离挡板12，用于通过所述第一挡板2上的槽6和控制板1上的槽6或第二挡板3上的槽6和第三挡板4上的槽6划分所述矩形槽，以形成大小适当的区域进行干燥。

所述隔离挡板12上设有连通隔离挡板两侧的压力控制阀7，压力控制阀7开启时能连通隔离挡板12两侧的密封区。该压力控制阀7的压力值可控，可通过自动或手动方式调节。

所述控制板1上的槽6之间设有抽气端口13和吹气端口5。吹气端口13和抽气端5口可用一个端口实现。

所述控制板1上的槽6之间设有压力传感器9和湿度传感器10。压力传感器9和湿度传感器10可在控制板1上的槽6之间的每个间隔设置，也可选择几个间隔设置。

所述控制板1上设有用于监控减压干燥过程的控制面板8。

所述控制板1内设有空气泵（图中未示出），所述空气泵的一端与所述控制面板8连接；所述空气泵的另一端与所述抽气端口13和吹气端口5连接。当抽气减压时，吹气端口5封闭，抽气端口13和空气泵连通从基板内向外进行抽气；当吹气干燥时，抽气端口13封闭，吹气端口5和空气泵连通从外向基板内进行吹气。所述控制板1和外部电源连接。

本发明的具体实施过程为：

首先，打开密封盖，将基板放在干燥仓的底板上，需要减压干燥的面对应密封盖，并使基板的一个边靠紧控制板，调整第一挡板、第二挡板和第三挡板的位置和尺寸以适应基板的形状，能对各种尺寸的基板进行减压干燥，使得调整第一挡板、第二挡板、第三挡板、底板和控制板紧密接触（各部件连接处能隔绝空气）。按需要通过隔离挡板将基板划分为几个密封区（隔离挡板安装在控制板和第一挡板、第二挡板和第三挡板上的槽里），并调整隔离挡板上的压力控制阀的参数。最后，将密封盖盖上，此时，通过密封盖、第一挡板、第二挡板、第三挡板、底板和控制板形成了密封空间。隔离挡板又将密封空间划分为小的密封区。将大尺寸的基板划分小的密封区进行减压干燥，降低了减压干燥过程的难度，易于实现。

然后，对密封区进行抽气减压。通常选择干燥仓最外侧的密封区作为第一减压区进行抽气减压。若选择从中间的密封区进行减压，则需要将抽气端口和吹气端口移动到相应的密封区。当选择最外侧作为第一减压区抽气减压时，控制板上的控制面板通过控制板内的空气泵和抽气端口对第一减压区进行抽气，当第一减压区内的压力传感器检测到压力值小于设定的压力阈值时，控制第一减压区和第一减压区相邻的一个密封区之间的隔离挡板上的压力控制阀打开，使得第一减压区和该密封区形成联通区进行抽气减压，此时，第一减压区内的压力值会升高，和第一减压区相邻的密封区内的压力值会降低，最后两个区内的压力值相等并同时降低。当压力传感器测得压力值小于设定的压力阈值时，控制压力控制阀打开下一个相邻的密封区，以此类推，使得所有的密封区都连通进行减压抽气。最大限度地保证了压力和湿度的均匀，避免了减压干燥斑点的形成。相邻的密封区通过压力控制阀进行连通控制，结构简单有效，过程容易控制，压力控制阀设置简单。压力传感器和湿度传感器，能够实时对密封区内的压力值和湿度值进行监控。

抽气减压完成后，需要将各个密封区之间的隔离挡板上的压力控制阀闭合，重新构成密封区，之后再进行吹气干燥过程。

吹气干燥过程和抽气减压过程，此处不再赘述。

本发明通过采用将大尺寸的基板，分阶段的进行减压干燥，保证在每个阶段的小区域内排气均匀，通过改变减压干燥方式，避免了对高品质光刻胶的需求，降低了材料成本，同时该方式满足单件产品生产时间（tact time），极大降低了减压干燥斑点的产生，提高了产品品质。

以上实施方式仅用于说明本发明，而并非对本发明的限制，有关技术领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围的情况下，还可以做出各种变化和变型，因此所有等同的技术方案也属于本发明的范畴，本发明的专利保护范围应由权利要求限定。

Claims (8)

1.一种基板减压干燥方法，其特征是，该方法包括以下步骤：

S1：将基板置于密封空间；

S2：将所述基板的待干燥面划分为设定个密封区；

S3：对所述密封区抽气减压，具体为：

S31：选择一个所述密封区作为第一减压区进行抽气减压；当所述第一减压区内的压力小于设定压力值时进入步骤S32；

S32：若第一减压区有相邻的密封区，则将所述第一减压区和所述第一减压区相邻的一个密封区连通后形成的区域作为第一减压区，进入步骤S33；否则，抽气结束；

S33：对此时的第一减压区进行抽气减压，当第一减压区内的压力小于所述设定压力值时，返回步骤S32；

S4：对所述密封区吹气干燥，从密封空间取出基板，具体为：

S41：选择一个所述密封区作为第一干燥区进行吹气干燥，当所述第一干燥区内的湿度小于设定湿度值时进入步骤S42；

S42：若第一干燥区有相邻的密封区，则将所述第一干燥区和所述第一干燥区相邻的一个密封区连通后形成的区域作为第一干燥区，进入步骤S43；否则，干燥结束，从密封空间取出基板；

S43：对此时的第一干燥区进行吹气干燥，当第一干燥区内的湿度小于所述设定湿度值时，返回步骤S42；

其中，在所述步骤S3之后还包括：将第一减压区重新划分为所述设定个密封区。

2.一种实现权利要求1所述方法的装置，其特征是，该装置包括：

干燥仓，用于放置待干燥的基板；

密封盖，用于将所述干燥仓和外部空气隔绝；

控制板，位于所述干燥仓的下部，用于控制基板的干燥过程；

所述干燥仓包括第一挡板、第二挡板、第三挡板和底板；第一挡板、第二挡板、第三挡板、底板和控制板构成矩形槽；

其中，所述控制板上间隔设置有槽，所述第一挡板上对应所述控制板上的槽间隔设置有槽，所述第二挡板上间隔设置有槽，所述第三挡板对应所述第二挡板上的槽间隔设置有槽；

所述装置还包括隔离挡板，用于通过所述第一挡板上的槽和控制板上的槽划分所述矩形槽，或通过第二挡板上的槽和第三挡板上的槽划分所述矩形槽，所述隔离挡板上设有连通隔离挡板两侧的压力控制阀。

3.如权利要求2所述的装置，其特征是，所述控制板上的槽之间设有抽气端口。

4.如权利要求3所述的装置，其特征是，所述控制板上的槽之间设有吹气端口。

5.如权利要求4所述的装置，其特征是，所述控制板上的槽之间设有压力传感器。

6.如权利要求5所述的装置，其特征是，所述控制板上的槽之间设有湿度传感器。

7.如权利要求6所述的装置，其特征是，所述控制板上设有用于监控减压干燥过程的控制面板。

8.如权利要求7所述的装置，其特征是，所述控制板内设有空气泵，所述空气泵的一端与所述控制面板连接；所述空气泵的另一端与所述抽气端口和吹气端口连接。