JPH10110834A - 無摺動真空ゲートバルブ及び弁板 - Google Patents
無摺動真空ゲートバルブ及び弁板Info
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- JPH10110834A JPH10110834A JP26211096A JP26211096A JPH10110834A JP H10110834 A JPH10110834 A JP H10110834A JP 26211096 A JP26211096 A JP 26211096A JP 26211096 A JP26211096 A JP 26211096A JP H10110834 A JPH10110834 A JP H10110834A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 従来の無摺動真空ゲートバルブは、弁板内を
負圧にしたり、弁板内のばねによって弁板を縮小させる
構成が採用されていたため、開弁から閉弁させる時に大
きい力を発生させる付属の装置を必要とし、開閉動作時
間の低下となっていた。 【解決手段】 本発明による無摺動真空ゲートバルブ
は、弁板(4)の各弁板片(11,12)が、弁棒(3)内の作動ロ
ッド(5)に接続されたリンク部(9)によって拡張及び縮小
するため、極めて迅速にかつ無摺動で開口(2)の開閉弁
を行うことができる構成である。
負圧にしたり、弁板内のばねによって弁板を縮小させる
構成が採用されていたため、開弁から閉弁させる時に大
きい力を発生させる付属の装置を必要とし、開閉動作時
間の低下となっていた。 【解決手段】 本発明による無摺動真空ゲートバルブ
は、弁板(4)の各弁板片(11,12)が、弁棒(3)内の作動ロ
ッド(5)に接続されたリンク部(9)によって拡張及び縮小
するため、極めて迅速にかつ無摺動で開口(2)の開閉弁
を行うことができる構成である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、無摺動真空ゲート
バルブ及び弁板に関し、特に、大型のパネルやウェハー
を案内する開口の開閉を、大型の弁板で無摺動でかつス
ムーズに行うための新規な改良に関する。
バルブ及び弁板に関し、特に、大型のパネルやウェハー
を案内する開口の開閉を、大型の弁板で無摺動でかつス
ムーズに行うための新規な改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、用いられていたこの種の大型開口
用の無摺動真空ゲートバルブとしては、開口が矩形のゲ
ート弁としては特開平３−２０４４８３号公報、開口が
円形のゲート弁としては、特開平２−１８６７２号公
報、特開平４−３４７０８４号公報及び特開昭５５−５
４７７０号公報に開示されている。前者においては弁箱
の外部の駆動機構により弁板の無摺動の開閉動作を行っ
ており、後者では振り子式の動作と空圧やラックアンド
ピニオンさらにばねや負圧力等を併用して、無摺動の開
閉弁動作を行っている。
用の無摺動真空ゲートバルブとしては、開口が矩形のゲ
ート弁としては特開平３−２０４４８３号公報、開口が
円形のゲート弁としては、特開平２−１８６７２号公
報、特開平４−３４７０８４号公報及び特開昭５５−５
４７７０号公報に開示されている。前者においては弁箱
の外部の駆動機構により弁板の無摺動の開閉動作を行っ
ており、後者では振り子式の動作と空圧やラックアンド
ピニオンさらにばねや負圧力等を併用して、無摺動の開
閉弁動作を行っている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の無摺動真空ゲー
トバルブは、以上のように構成されていたため、次のよ
うな課題が存在していた。すなわち、これらの方法で
は、シール時におけるＯリングの粘着による剥離力の確
保のため過大なバネを必要としたり、負圧発生のための
付属機器を必要とする。また、ばねの場合Ｏリングがシ
ール面から離れる際、ばねは粘着力に打ち勝つ力が得ら
れるまで変位するため、Ｏリングがシール面からはずれ
ると、急激な速度で弁板が開弁位置まで移動し、衝撃音
や振動が起こる。衝撃衝撃は弁内部に付着している塵等
を剥離させることになり、無摺動ゲートバルブの特徴で
ある無発塵性が損なわれてしまう。また、弁板部の内部
を負圧にする方法においては、開閉動作において工程が
増えることになり、半導体製造装置等に使用するには開
閉動作時間の低下を招き、利便性が損なわれてしまうこ
とになっていた。また、特に、矩形開口の場合、閉弁時
に必要とする力を発生させる場所と弁板シール部とが離
れており、直進動作と傾斜動作の組合わせとなるため、
特に大型の弁になると、弁棒の強度とたわみ量の選定、
対反力支持のための軸受類の選定、あるいは傾斜動作に
より閉弁するので、均一にＯリングをつぶすためには弁
板に適度な傾斜角度を必要とするが、その選定がかなり
難しくなる等の問題が生じていた。
トバルブは、以上のように構成されていたため、次のよ
うな課題が存在していた。すなわち、これらの方法で
は、シール時におけるＯリングの粘着による剥離力の確
保のため過大なバネを必要としたり、負圧発生のための
付属機器を必要とする。また、ばねの場合Ｏリングがシ
ール面から離れる際、ばねは粘着力に打ち勝つ力が得ら
れるまで変位するため、Ｏリングがシール面からはずれ
ると、急激な速度で弁板が開弁位置まで移動し、衝撃音
や振動が起こる。衝撃衝撃は弁内部に付着している塵等
を剥離させることになり、無摺動ゲートバルブの特徴で
ある無発塵性が損なわれてしまう。また、弁板部の内部
を負圧にする方法においては、開閉動作において工程が
増えることになり、半導体製造装置等に使用するには開
閉動作時間の低下を招き、利便性が損なわれてしまうこ
とになっていた。また、特に、矩形開口の場合、閉弁時
に必要とする力を発生させる場所と弁板シール部とが離
れており、直進動作と傾斜動作の組合わせとなるため、
特に大型の弁になると、弁棒の強度とたわみ量の選定、
対反力支持のための軸受類の選定、あるいは傾斜動作に
より閉弁するので、均一にＯリングをつぶすためには弁
板に適度な傾斜角度を必要とするが、その選定がかなり
難しくなる等の問題が生じていた。
【０００４】本発明は、以上のような課題を解決するた
めになされたもので、特に、シール弁板部で力を発生さ
せ、かつ、十分な開弁力を発生させ、開閉弁をスムーズ
にかつ迅速に行うようにした無摺動真空ゲートバルブを
提供することを目的とする。
めになされたもので、特に、シール弁板部で力を発生さ
せ、かつ、十分な開弁力を発生させ、開閉弁をスムーズ
にかつ迅速に行うようにした無摺動真空ゲートバルブを
提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明による弁板は、弁
棒に接続された弁基体と、前記弁基体の両側に弁板用シ
ールベローズを介して作動自在に設けられた弁板片と、
前記各弁板片を作動させるためのリンク部と、前記弁棒
内に同軸配置されリンク駆動体に接続された作動ロッド
とを備え、前記作動ロッドの直動により前記リンク部を
介して前記各弁板片間の間隔の拡大及び縮小を行うよう
にした構成である。
棒に接続された弁基体と、前記弁基体の両側に弁板用シ
ールベローズを介して作動自在に設けられた弁板片と、
前記各弁板片を作動させるためのリンク部と、前記弁棒
内に同軸配置されリンク駆動体に接続された作動ロッド
とを備え、前記作動ロッドの直動により前記リンク部を
介して前記各弁板片間の間隔の拡大及び縮小を行うよう
にした構成である。
【０００６】本発明による無摺動真空ゲートバルブは、
弁箱の開口を、前記弁箱にその一端が設けられたシール
ベローズ及びシリンダを介して移動する弁棒に設けられ
た弁板で開閉するようにした無摺動真空ゲートバルブに
おいて、前記弁板は、前記弁棒に接続された弁基体と、
前記弁基体の両側に弁板用シールベローズを介して作動
自在に設けられた弁板片と、前記各弁板片を作動させる
ためのリンク部と、前記弁棒内に同軸配置されリンク駆
動体に接続された作動ロッドとよりなり、前記シリンダ
により前記弁棒及び作動ロッドを直動させる構成であ
る。
弁箱の開口を、前記弁箱にその一端が設けられたシール
ベローズ及びシリンダを介して移動する弁棒に設けられ
た弁板で開閉するようにした無摺動真空ゲートバルブに
おいて、前記弁板は、前記弁棒に接続された弁基体と、
前記弁基体の両側に弁板用シールベローズを介して作動
自在に設けられた弁板片と、前記各弁板片を作動させる
ためのリンク部と、前記弁棒内に同軸配置されリンク駆
動体に接続された作動ロッドとよりなり、前記シリンダ
により前記弁棒及び作動ロッドを直動させる構成であ
る。
【０００７】さらに詳細には、前記弁棒及び作動ロッド
は複数よりなり、前記各弁棒は、弁棒連結体、連結ばね
及びシリンダ連結体を介して前記シリンダに接続され、
前記シリンダ連結体は前記作動ロッドに接続され、前記
弁箱には前記弁棒連結体と当接するストッパが設けられ
ている構成である。
は複数よりなり、前記各弁棒は、弁棒連結体、連結ばね
及びシリンダ連結体を介して前記シリンダに接続され、
前記シリンダ連結体は前記作動ロッドに接続され、前記
弁箱には前記弁棒連結体と当接するストッパが設けられ
ている構成である。
【０００８】本発明による無摺動真空ゲートバルブは、
弁箱の開口を、前記弁箱にその一端が設けられたシール
ベローズ及びシリンダを介して移動する複数の弁棒に設
けられた弁板で開閉するようにした無摺動真空ゲートバ
ルブにおいて、前記弁板は、前記弁棒に接続された弁基
体と、前記弁基体の両側に弁板用シールベローズを介し
て作動自在に設けられた弁板片と、前記各弁板片を作動
させるためのリンク部と、前記弁棒内に同軸配置され前
記リンク駆動体に接続された作動ロッドとよりなり、前
記各弁棒を連結する弁棒連結体に設けられたリンク駆動
用シリンダは前記各シリンダのシリンダロッドに接続さ
れたシリンダ連結体に接続され、前記リンク駆動用シリ
ンダのリンク用ロッドは作動ロッド連結体を介して前記
作動ロッドに接続されている構成である。
弁箱の開口を、前記弁箱にその一端が設けられたシール
ベローズ及びシリンダを介して移動する複数の弁棒に設
けられた弁板で開閉するようにした無摺動真空ゲートバ
ルブにおいて、前記弁板は、前記弁棒に接続された弁基
体と、前記弁基体の両側に弁板用シールベローズを介し
て作動自在に設けられた弁板片と、前記各弁板片を作動
させるためのリンク部と、前記弁棒内に同軸配置され前
記リンク駆動体に接続された作動ロッドとよりなり、前
記各弁棒を連結する弁棒連結体に設けられたリンク駆動
用シリンダは前記各シリンダのシリンダロッドに接続さ
れたシリンダ連結体に接続され、前記リンク駆動用シリ
ンダのリンク用ロッドは作動ロッド連結体を介して前記
作動ロッドに接続されている構成である。
【０００９】本発明による無摺動真空ゲートバルブは、
弁箱の開口を、前記弁箱にシリンダを介して作動自在に
設けられた弁板によって開閉するようにした無摺動真空
ゲートバルブにおいて、前記弁板は、前記弁棒に接続さ
れた弁基体と、前記弁基体の両側に弁板用シールベロー
ズを介して作動自在に設けられた弁板片と、前記各弁板
片を作動させるためのリンク部と、前記弁棒内に同軸配
置されリンク駆動体に接続された作動ロッドとよりな
り、前記作動ロッドは前記弁棒に設けられたリンク駆動
用シリンダによって直動される構成である。
弁箱の開口を、前記弁箱にシリンダを介して作動自在に
設けられた弁板によって開閉するようにした無摺動真空
ゲートバルブにおいて、前記弁板は、前記弁棒に接続さ
れた弁基体と、前記弁基体の両側に弁板用シールベロー
ズを介して作動自在に設けられた弁板片と、前記各弁板
片を作動させるためのリンク部と、前記弁棒内に同軸配
置されリンク駆動体に接続された作動ロッドとよりな
り、前記作動ロッドは前記弁棒に設けられたリンク駆動
用シリンダによって直動される構成である。
【００１０】さらに詳細には、前記弁棒は、前記弁箱に
設けられた軸支部を介して回動自在に設けられている構
成である。
設けられた軸支部を介して回動自在に設けられている構
成である。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、図面と共に本発明による無
摺動真空ゲートバルブの好適な実施の形態について説明
する。まず、図１及び図２で示す構成は、本発明による
弁体を示すもので、図１は閉弁位置における開弁状態を
示し、図２は閉弁状態を示している。図１及び図２にお
いて符号１で示されるものは全体形状が箱型をなす弁箱
であり、この弁箱１にはこの弁箱１を貫通する状態で開
口２が形成されている。この弁箱１内には、弁棒３に接
続された弁板４が矢印Ａの方向に往復動自在に配設され
ており、この弁棒３内には作動ロッド５が同軸でかつ弁
棒３とは独立して作動自在に設けられている。前記弁棒
３は前記弁板４の弁基体６に接続され、この弁基体６の
空隙６ａ内には複数のリンク片７を軸支して有すると共
に前記作動ロッド５に接続されたリンク駆動体８が移動
自在に設けられている。従って、このリンク片７及びリ
ンク駆動体８によりリンク部９を構成している。
摺動真空ゲートバルブの好適な実施の形態について説明
する。まず、図１及び図２で示す構成は、本発明による
弁体を示すもので、図１は閉弁位置における開弁状態を
示し、図２は閉弁状態を示している。図１及び図２にお
いて符号１で示されるものは全体形状が箱型をなす弁箱
であり、この弁箱１にはこの弁箱１を貫通する状態で開
口２が形成されている。この弁箱１内には、弁棒３に接
続された弁板４が矢印Ａの方向に往復動自在に配設され
ており、この弁棒３内には作動ロッド５が同軸でかつ弁
棒３とは独立して作動自在に設けられている。前記弁棒
３は前記弁板４の弁基体６に接続され、この弁基体６の
空隙６ａ内には複数のリンク片７を軸支して有すると共
に前記作動ロッド５に接続されたリンク駆動体８が移動
自在に設けられている。従って、このリンク片７及びリ
ンク駆動体８によりリンク部９を構成している。
【００１２】前記弁板４の両側には前記開口２に対応す
る状態でＯリング１０を有する１対の弁板片１１，１２
が設けられ、各弁板片１１，１２は１対の輪状の弁板用
シールベローズ１３，１４を介して前記弁基体６に接続
されている。さらに、この弁体片１１，１２の接続部１
１ａ，１２ａには前記リンク片７が軸支部７ａを介して
作動自在に接続されている。次に、動作について述べ
る。まず、図１は、弁板４が弁箱１の閉弁位置に位置
し、かつ開弁状態であり、この状態で、作動ロッド５を
図１において下方側へ押して直動させることにより、各
リンク片７はハの字状に拡がり、同時に各弁板用シール
ベローズ１３，１４が伸びると共に各弁体片１１，１２
が図２で示すように外側に移動してその間隔が拡大し、
各Ｏリング１０が開口２の弁座２ａに接合し、各開口２
は閉弁され、各開口２に接続された各チャンバー（図示
せず）間は外気と遮断されてチャンバー間を同じ真空状
態で接続することができる。また、図２の閉弁状態から
図１の開弁状態とするには、作動ロッド５を上方へ移動
させることにより、リンク部９を介して各弁板片１１，
１２を図２から図１のようにその間隔が縮小して開弁さ
せることができる。
る状態でＯリング１０を有する１対の弁板片１１，１２
が設けられ、各弁板片１１，１２は１対の輪状の弁板用
シールベローズ１３，１４を介して前記弁基体６に接続
されている。さらに、この弁体片１１，１２の接続部１
１ａ，１２ａには前記リンク片７が軸支部７ａを介して
作動自在に接続されている。次に、動作について述べ
る。まず、図１は、弁板４が弁箱１の閉弁位置に位置
し、かつ開弁状態であり、この状態で、作動ロッド５を
図１において下方側へ押して直動させることにより、各
リンク片７はハの字状に拡がり、同時に各弁板用シール
ベローズ１３，１４が伸びると共に各弁体片１１，１２
が図２で示すように外側に移動してその間隔が拡大し、
各Ｏリング１０が開口２の弁座２ａに接合し、各開口２
は閉弁され、各開口２に接続された各チャンバー（図示
せず）間は外気と遮断されてチャンバー間を同じ真空状
態で接続することができる。また、図２の閉弁状態から
図１の開弁状態とするには、作動ロッド５を上方へ移動
させることにより、リンク部９を介して各弁板片１１，
１２を図２から図１のようにその間隔が縮小して開弁さ
せることができる。
【００１３】次に、前述の図１及び図２に示す弁体は、
図３及び図４で示す無摺動真空ゲートバルブに適用され
るものであり、以下に図３及び図４に基づいて本発明に
よる無摺動真空ゲートバルブの好適な実施の形態につい
て述べる。なお、図１及び図２と同一部分には同一符号
を付し、その説明は省略する。前記弁箱１の蓋１Ａ上に
は１対のエア型のシリンダ２０，２１が設けられ、各シ
リンダ２０，２１のピストン２０ａ，２１ａに接続され
たシリンダロッド２０ｂ，２１ｂはシリンダ連結体２２
によって連結され、前記弁箱１内に設けられ弁板４に接
続された１対の前記リンク部９の作動ロッド５は前記シ
リンダ連結体２２に直接接続され、この作動ロッド５に
同軸配置された弁棒３は弁棒連結体２３に接続され、こ
のシリンダ連結体２２と弁棒連結体２３とは、図３と上
下逆で用いた場合の弁板４の重量を支える作用を有する
連結ばね２４が設けられている。すなわち、弁体構成部
の内部は大気圧のままで使用され、弁箱１内は真空とな
るので、弁板４がその差圧で拡張しようとすることを前
記連結ばね２４で防止している。また、図５においては
リンク駆動用シリンダ５０，５１を備えているので、こ
のシリンダ５０，５１の力でこの作用を行っている。ま
た、リンクの動作で開弁時、作動ロッド５の動作が直接
リンクに作用するため、Ｏリングの粘着等の力に抗し
て、開弁することが出来る。さらに、リンクの動作にお
いて閉弁時ハの字に広げられるが、この角度をほぼ水平
の状態にすることにより、閉弁をメカニカルロックする
ことが出来る。
図３及び図４で示す無摺動真空ゲートバルブに適用され
るものであり、以下に図３及び図４に基づいて本発明に
よる無摺動真空ゲートバルブの好適な実施の形態につい
て述べる。なお、図１及び図２と同一部分には同一符号
を付し、その説明は省略する。前記弁箱１の蓋１Ａ上に
は１対のエア型のシリンダ２０，２１が設けられ、各シ
リンダ２０，２１のピストン２０ａ，２１ａに接続され
たシリンダロッド２０ｂ，２１ｂはシリンダ連結体２２
によって連結され、前記弁箱１内に設けられ弁板４に接
続された１対の前記リンク部９の作動ロッド５は前記シ
リンダ連結体２２に直接接続され、この作動ロッド５に
同軸配置された弁棒３は弁棒連結体２３に接続され、こ
のシリンダ連結体２２と弁棒連結体２３とは、図３と上
下逆で用いた場合の弁板４の重量を支える作用を有する
連結ばね２４が設けられている。すなわち、弁体構成部
の内部は大気圧のままで使用され、弁箱１内は真空とな
るので、弁板４がその差圧で拡張しようとすることを前
記連結ばね２４で防止している。また、図５においては
リンク駆動用シリンダ５０，５１を備えているので、こ
のシリンダ５０，５１の力でこの作用を行っている。ま
た、リンクの動作で開弁時、作動ロッド５の動作が直接
リンクに作用するため、Ｏリングの粘着等の力に抗し
て、開弁することが出来る。さらに、リンクの動作にお
いて閉弁時ハの字に広げられるが、この角度をほぼ水平
の状態にすることにより、閉弁をメカニカルロックする
ことが出来る。
【００１４】前記弁箱１と前記弁棒連結体２３との間に
は、前記各弁棒３の外周を覆う状態でシールベローズ２
５，２６が設けられ、各シールベローズ２５，２６の両
端は弁棒連結体２３と前記蓋１ＡにＯリング２７を介し
て密合状態で接続されている。前記蓋１Ａには、前記弁
棒連結体２３側に突出して設けられたストッパ２８が設
けられており、このストッパ２８には前記弁棒連結体２
３が当接するように構成されている。なお、弁板４及び
リンク部９の構成は前述の図１及び図２の構成と同一で
あるので、同一符号を付し、重複を避けるために説明は
省略する。
は、前記各弁棒３の外周を覆う状態でシールベローズ２
５，２６が設けられ、各シールベローズ２５，２６の両
端は弁棒連結体２３と前記蓋１ＡにＯリング２７を介し
て密合状態で接続されている。前記蓋１Ａには、前記弁
棒連結体２３側に突出して設けられたストッパ２８が設
けられており、このストッパ２８には前記弁棒連結体２
３が当接するように構成されている。なお、弁板４及び
リンク部９の構成は前述の図１及び図２の構成と同一で
あるので、同一符号を付し、重複を避けるために説明は
省略する。
【００１５】次に、動作について述べる。まず、図３及
び図４の（Ａ）の状態は、弁板４が開口２から上昇（図
３の上下逆として用いる場合は、下降となる）としてお
り、この状態において各シリンダ２０，２１を作動させ
ると、ピストン２０ａ，２１ａと共にシリンダロッド２
０ｂ，２１ｂがシリンダ連結体２２と共に降下するた
め、ばね２４及び作動ロッド５を介して接続された弁棒
連結体２３が図４の（Ｂ）の位置に降下し、各シールベ
ローズ２５，２６が圧縮されると共に弁棒連結体２３が
ストッパ２８に当接する。すなわち、この状態では、弁
板４は開口２に対応した位置（図４のＢ）に移動してい
る。前述の状態で、引続き各シリンダ２０，２１を作動
させると、弁棒連結体２３はストッパ２８に当接してい
るため、これ以上の降下は発生しないが、シリンダ連結
体２２がばね２４のばね力に抗して降下（図４のＢ，Ｃ
に示す移動分Ｄ）するため、各弁棒３内の作動ロッド５
のみが降下するため、リンク部９のリンク駆動体８が下
方へ降下されて各リンク片７が図１から図２すなわち図
４の（Ｂ）から（Ｃ）で示すように拡がり、各弁板片１
１，１２が横方向に拡張して図４の（Ｃ）で示すよう
に、開口２の閉弁が行われる。また、開口２の開弁を行
うには前述と逆の動作により開弁が行われる。
び図４の（Ａ）の状態は、弁板４が開口２から上昇（図
３の上下逆として用いる場合は、下降となる）としてお
り、この状態において各シリンダ２０，２１を作動させ
ると、ピストン２０ａ，２１ａと共にシリンダロッド２
０ｂ，２１ｂがシリンダ連結体２２と共に降下するた
め、ばね２４及び作動ロッド５を介して接続された弁棒
連結体２３が図４の（Ｂ）の位置に降下し、各シールベ
ローズ２５，２６が圧縮されると共に弁棒連結体２３が
ストッパ２８に当接する。すなわち、この状態では、弁
板４は開口２に対応した位置（図４のＢ）に移動してい
る。前述の状態で、引続き各シリンダ２０，２１を作動
させると、弁棒連結体２３はストッパ２８に当接してい
るため、これ以上の降下は発生しないが、シリンダ連結
体２２がばね２４のばね力に抗して降下（図４のＢ，Ｃ
に示す移動分Ｄ）するため、各弁棒３内の作動ロッド５
のみが降下するため、リンク部９のリンク駆動体８が下
方へ降下されて各リンク片７が図１から図２すなわち図
４の（Ｂ）から（Ｃ）で示すように拡がり、各弁板片１
１，１２が横方向に拡張して図４の（Ｃ）で示すよう
に、開口２の閉弁が行われる。また、開口２の開弁を行
うには前述と逆の動作により開弁が行われる。
【００１６】次に、前述の図１及び図２で示す弁板４を
用いた他のゲートバルブを図５及び図６で示す。なお、
図１から図４と同一部分については同一符号を付し、そ
の説明は省略する。また、図５及び図６の実施例におい
ては、リンク部９の各リンク片７の向きが逆に配置され
ているため、作動ロッド５を上方へ上昇させることによ
り各弁板片１１，１２が拡張するように構成されている
が、構成は図１及び図２と全く同一であるため、同一符
号を付し、その説明は省略し、図１から図４と異なる部
分についてのみ説明する。
用いた他のゲートバルブを図５及び図６で示す。なお、
図１から図４と同一部分については同一符号を付し、そ
の説明は省略する。また、図５及び図６の実施例におい
ては、リンク部９の各リンク片７の向きが逆に配置され
ているため、作動ロッド５を上方へ上昇させることによ
り各弁板片１１，１２が拡張するように構成されている
が、構成は図１及び図２と全く同一であるため、同一符
号を付し、その説明は省略し、図１から図４と異なる部
分についてのみ説明する。
【００１７】前記弁棒連結体２３上には複数のリンク駆
動用シリンダ５０，５１が設けられ、この各リンク駆動
用シリンダ５０，５１は連結軸５２，５３を介してシリ
ンダ連結体２２と一体結合され、この各リンク駆動シリ
ンダ５０，５１のリンク用ロッド５４，５５は前記連結
軸５２，５３と独立して作動すると共に前記作動ロッド
５が接続された作動ロッド連結体６０に接続されてい
る。
動用シリンダ５０，５１が設けられ、この各リンク駆動
用シリンダ５０，５１は連結軸５２，５３を介してシリ
ンダ連結体２２と一体結合され、この各リンク駆動シリ
ンダ５０，５１のリンク用ロッド５４，５５は前記連結
軸５２，５３と独立して作動すると共に前記作動ロッド
５が接続された作動ロッド連結体６０に接続されてい
る。
【００１８】前記弁箱１の蓋１Ａ上に立設された支持体
７０と前記弁棒連結体２３とは、周知の直動軸受７１を
介して接続されており、この直動軸受７１によって前記
弁棒連結体２３の上昇及び降下がスムーズに行われるよ
うに構成されている。
７０と前記弁棒連結体２３とは、周知の直動軸受７１を
介して接続されており、この直動軸受７１によって前記
弁棒連結体２３の上昇及び降下がスムーズに行われるよ
うに構成されている。
【００１９】次に動作について述べる。図５及び図６で
示す状態は、各シリンダ２０，２１を作動させてシリン
ダ連結体３３を各リンク駆動用シリンダ５０，５１と共
に下方に降下させて弁板４が開口２と対応した状態であ
り、この状態において、各リンク駆動用シリンダ５０，
５１を作動させると、作動ロッド連結体６０と共に各作
動ロッド５が上方に引き上げられるため、リンク部の各
リンク片７がハの字型に押上げられ、各弁板片１１，１
２が互いに外側に移動して拡張され、開口２の閉弁が行
われる。
示す状態は、各シリンダ２０，２１を作動させてシリン
ダ連結体３３を各リンク駆動用シリンダ５０，５１と共
に下方に降下させて弁板４が開口２と対応した状態であ
り、この状態において、各リンク駆動用シリンダ５０，
５１を作動させると、作動ロッド連結体６０と共に各作
動ロッド５が上方に引き上げられるため、リンク部の各
リンク片７がハの字型に押上げられ、各弁板片１１，１
２が互いに外側に移動して拡張され、開口２の閉弁が行
われる。
【００２０】次に、前述の図１及び図２で示す弁板４を
用いた他のゲートバルブを図７から図９で示す。なお、
図１及び図２と同一部分については同一符号を付し、そ
の説明は重複を避けるために省略する。前記弁板４の弁
棒３は、弁箱１の底１ｂに設けられた軸支部８０の支軸
８１を介して弁板４と共に図７、図８のように往復回動
自在に設けられており、この軸支部８０に設けられた箱
体８２の軸部８３には、前記底１ｂに設けられたシリン
ダ２０のシリンダロッド２０ｂはこの軸部８３に軸支結
合されている。従って、このシリンダ２０の作動によ
り、前記弁板４は支軸８１を支点として往復回動し、開
口２の開閉を行うことができるように構成されている。
用いた他のゲートバルブを図７から図９で示す。なお、
図１及び図２と同一部分については同一符号を付し、そ
の説明は重複を避けるために省略する。前記弁板４の弁
棒３は、弁箱１の底１ｂに設けられた軸支部８０の支軸
８１を介して弁板４と共に図７、図８のように往復回動
自在に設けられており、この軸支部８０に設けられた箱
体８２の軸部８３には、前記底１ｂに設けられたシリン
ダ２０のシリンダロッド２０ｂはこの軸部８３に軸支結
合されている。従って、このシリンダ２０の作動によ
り、前記弁板４は支軸８１を支点として往復回動し、開
口２の開閉を行うことができるように構成されている。
【００２１】前記弁棒３に同軸配置された作動ロッド５
は、前記箱体８２の後部に設けられたリンク駆動用シリ
ンダ５０のリンク用ロッド５４に接続されており、この
リンク駆動用シリンダ５０の作動により弁板４のリンク
部９の各リンク片７を下方へ引き込むことにより、各リ
ンク片７が拡張され各弁板片１１，１２が拡張されて開
口２の閉弁が行われる。
は、前記箱体８２の後部に設けられたリンク駆動用シリ
ンダ５０のリンク用ロッド５４に接続されており、この
リンク駆動用シリンダ５０の作動により弁板４のリンク
部９の各リンク片７を下方へ引き込むことにより、各リ
ンク片７が拡張され各弁板片１１，１２が拡張されて開
口２の閉弁が行われる。
【００２２】
【発明の効果】本発明は、以上のように構成されている
ため、次のような効果を得ることができる。すなわち、
弁板自体がリンク部の動作によって拡張及び縮小を行う
ことができ、弁板自体を弁箱と無摺動状態で開口に対応
させた後は、拡張動作のみで閉弁することができ、従来
よりも大型の開口の開閉弁を自在に、迅速に、確実に行
うことができる。
ため、次のような効果を得ることができる。すなわち、
弁板自体がリンク部の動作によって拡張及び縮小を行う
ことができ、弁板自体を弁箱と無摺動状態で開口に対応
させた後は、拡張動作のみで閉弁することができ、従来
よりも大型の開口の開閉弁を自在に、迅速に、確実に行
うことができる。
【図１】本発明による弁板を示す断面図である。
【図２】図１の動作断面図である。
【図３】図１の弁板を適用したゲートバルブを示す断面
図である。
図である。
【図４】図３の動作断面図である。
【図５】図３の他例を示す断面図である。
【図６】図５のＡ−Ａ断面図である。
【図７】図３の他例を示す断面図である。
【図８】図７の動作断面図である。
【図９】図７の要部の拡大断面図である。
１ 弁箱 ２ 開口 ３ 弁棒 ４ 弁板 ５ 作動ロッド ６ 弁基体 ９ リンク部 １１，１２ 弁板片 １３，１４ 弁板用シールベローズ ２０，２１ シリンダ ２２ シリンダ連結体 ２３ 弁棒連結体 ２４ 連結ばね ２８ ストッパ ５０，５１ リンク駆動用シリンダ ５４，５５ リンク用ロッド ６０ 作動ロッド連結体 ８０ 軸支部
Claims (6)
- 【請求項１】 弁棒(3)に接続された弁基体(6)と、前記
弁基体(6)の両側に弁板用シールベローズ(13,14)を介し
て作動自在に設けられた弁板片(11,12)と、前記各弁板
片(11,12)を作動させるためのリンク部(9)と、前記弁棒
(3)内に同軸配置され前記リンク駆動体(8)に接続された
作動ロッド(5)とを備え、前記作動ロッド(5)の直動によ
り前記リンク部(9)を介して前記各弁板片(11,12)間の間
隔の拡張及び縮小を行うように構成したことを特徴とす
る弁板。 - 【請求項２】 弁箱(1)の開口(2)を、前記弁箱(1)にそ
の一端が設けられたシールベローズ(25,26)及びシリン
ダ(20,21)を介して移動する弁棒(3)に設けられた弁板
(4)で開閉するようにした無摺動真空ゲートバルブにお
いて、前記弁板(4)は、前記弁棒(3)に接続された弁基体
(6)と、前記弁基体(6)の両側に弁板用シールベローズ(1
3,14)を介して作動自在に設けられた弁板片(11,12)と、
前記各弁板片(11,12)を作動させるためのリンク部(9)
と、前記弁棒(3)内に同軸配置されリンク駆動体(8)に接
続された作動ロッド(5)とよりなり、前記シリンダ(20,2
1)により前記弁棒(3)及び作動ロッド(5)を直動させる構
成としたことを特徴とする無摺動真空ゲートバルブ。 - 【請求項３】 前記弁棒(3)及び作動ロッド(5)は複数よ
りなり、前記各弁棒(5)は、弁棒連結体(23)、連結ばね
(24)及びシリンダ連結体(22)を介して前記シリンダ(20,
21)に接続され、前記シリンダ連結体(22)は前記作動ロ
ッド(5)に接続され、前記弁箱(1)には前記弁棒連結体(2
3)と当接するストッパ(28)が設けられていることを特徴
とする請求項２記載の無摺動真空ゲートバルブ。 - 【請求項４】 弁箱(1)の開口(2)を、前記弁箱(1)にそ
の一端が設けられたシールベローズ(25,26)及びシリン
ダ(20,21)を介して移動する複数の弁棒(3)に設けられた
弁板(4)で開閉するようにした無摺動真空ゲートバルブ
において、前記弁板(4)は、前記弁棒(3)に接続された弁
基体(6)と、前記弁基体(6)の両側に弁板用シールベロー
ズ(13,14)を介して作動自在に設けられた弁板片(11,12)
と、前記各弁板片(11,12)を作動させるためのリンク部
(9)と、前記弁棒(3)内に同軸配置されリンク駆動体(8)
に接続された作動ロッド(5)とよりなり、前記各弁棒(3)
を連結する弁連結体(23)に設けられたリンク駆動用シリ
ンダ(50,51)は前記各シリンダ(20,21)のシリンダロッド
に接続されたシリンダ連結体(22)に接続され、前記リン
ク駆動用シリンダ(50,51)のリンク用ロッド(54,55)は作
動ロッド連結体(60)を介して前記作動ロッド(5)に接続
されている構成よりなることを特徴とする無摺動真空ゲ
ートバルブ。 - 【請求項５】 弁箱(1)の開口(2)を、前記弁箱(1)にシ
リンダ(20)を介して回動自在に設けられた弁板(4)によ
って開閉するようにした無摺動真空ゲートバルブにおい
て、前記弁板(4)は、前記弁棒(3)に接続された弁基体
(6)と、前記弁基体(6)の両側に弁板用シールベローズ(1
3,14)を介して作動自在に設けられた弁板片(11,12)と、
前記各弁板片(11,12)を作動させるためのリンク部(9)
と、前記弁棒(3)内に同軸配置されリンク駆動体(8)に接
続された作動ロッド(5)とよりなり、前記作動ロッド(5)
は前記弁棒(3)に接続されたリンク駆動用シリンダ(50)
によって直動される構成としたことを特徴とする無摺動
真空ゲートバルブ。 - 【請求項６】 前記弁棒(3)は、前記弁箱(1)に設けられ
た軸支部(80)を介して回動自在に設けられていることを
特徴とする請求項５記載の無摺動真空ゲートバルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08262110A JP3138645B2 (ja) | 1996-10-02 | 1996-10-02 | 無摺動真空ゲートバルブ及び弁板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08262110A JP3138645B2 (ja) | 1996-10-02 | 1996-10-02 | 無摺動真空ゲートバルブ及び弁板 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10110834A true JPH10110834A (ja) | 1998-04-28 |
| JP3138645B2 JP3138645B2 (ja) | 2001-02-26 |
Family
ID=17371185
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP08262110A Expired - Fee Related JP3138645B2 (ja) | 1996-10-02 | 1996-10-02 | 無摺動真空ゲートバルブ及び弁板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3138645B2 (ja) |
Cited By (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11315939A (ja) * | 1998-05-08 | 1999-11-16 | Ckd Corp | ゲート式真空遮断弁 |
| JP2000257751A (ja) * | 1999-03-10 | 2000-09-19 | Shin Meiwa Ind Co Ltd | 真空ゲート弁 |
| JP2001182845A (ja) * | 1999-12-27 | 2001-07-06 | Japan Steel Works Ltd:The | ゲートバルブ |
| KR100322666B1 (ko) * | 1999-09-02 | 2002-02-07 | 정명식 | 쵸크형 도파관 밸브 |
| KR100472118B1 (ko) * | 2000-12-04 | 2005-03-08 | 이리에 고켕 가부시키가이샤 | 게이트 밸브 |
| KR100492099B1 (ko) * | 2000-12-14 | 2005-06-02 | 이리에 고켕 가부시키가이샤 | 게이트 밸브 |
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| WO2006066489A1 (fr) * | 2004-12-23 | 2006-06-29 | Pan, Shijun | Valve a double étanchéité |
| JP2006200709A (ja) * | 2005-01-24 | 2006-08-03 | Kyocera Corp | ゲートバルブ |
| JP2008025839A (ja) * | 2006-07-19 | 2008-02-07 | Vat Holding Ag | 真空バルブ |
| KR100900206B1 (ko) | 2006-09-27 | 2009-06-02 | 주식회사 에이티에스엔지니어링 | 양방향 게이트 밸브 |
| KR20110028434A (ko) * | 2008-06-12 | 2011-03-18 | 배트 홀딩 아게 | 슬라이드 밸브 |
| CN102261516A (zh) * | 2010-04-16 | 2011-11-30 | 亚威科股份有限公司 | 阀门、操作阀门的方法、以及真空处理设备 |
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| CN108755834A (zh) * | 2018-06-29 | 2018-11-06 | 安吉别样红花卉专业合作社 | 一种花卉种植大棚雨水收集装置 |
| CN109210224A (zh) * | 2018-10-10 | 2019-01-15 | 中冶南方工程技术有限公司 | 双向密封闸阀 |
-
1996
- 1996-10-02 JP JP08262110A patent/JP3138645B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3138645B2 (ja) | 2001-02-26 |
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