JP2008025839A - 真空バルブ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】バルブプレート8は開放位置ではバルブ開口部4を開放し、閉塞位置ではバルブシート6に密接し、中間位置ではバルブ開口部4を覆う一方でバルブシート6から離れている。横変位調節ユニット12により、バルブプレート8がバルブ開口部4の縦軸10に対して垂直な横変位方向16に開放位置と中間位置との間で動かされる。案内装置18により、横変位調節ユニット12がバルブボディ1に対して、縦変位方向17に平行に変位することができる。案内装置18は、バルブプレート8の中間位置から閉塞位置への変位および閉塞位置から中間位置への変位により、バルブボディ1に対して、縦変位方向17に平行に変位する。
【選択図】 図4
Description
Claims (16)
- 縦軸(10)を有するバルブ開口部(4)と該バルブ開口部(4)の周囲に設けられたバルブシート(6)とを有するバルブボディ(1)と、
前記バルブ開口部(4)が開放されている開放位置から、前記バルブ開口部(4)が覆われている一方で前記バルブシート(6)から離れている中間位置を経て、前記バルブシート(6)に密接する閉塞位置に変位可能であり、かつ、該閉塞位置から該中間位置を経て該開放位置に変位可能なバルブプレート(8)と、
前記バルブプレート(8)を支持するバルブロッド(11)と、
前記バルブ開口部(4)の前記縦軸(10)に垂直な横変位方向(16)に前記バルブプレート(8)を前記開放位置から前記中間位置に変位調節可能であり、かつ、該横変位方向(16)の反対方向に前記バルブプレート(8)を前記中間位置から前記開放位置に変位調節可能な横変位調節ユニット(12)と、
前記バルブ開口部(4)の前記縦軸(10)に平行な縦変位方向(17)に前記バルブプレート(8)を前記中間位置から前記閉塞位置に変位調節可能であり、かつ、該縦変位方向(17)の反対方向に前記バルブプレート(8)を前記閉塞位置から前記中間位置に変位調節可能な縦変位調節ユニット(13)と、
前記横変位調節ユニット(12)を前記バルブボディ(1)に対して、前記縦変位方向(17)に平行に変位可能とし、前記バルブプレート(8)の前記中間位置から前記閉塞位置への変位および前記閉塞位置から前記中間位置への変位により、前記バルブボディ(1)に対して、前記縦変位方向(17)に平行に変位する案内装置(18)とを備えていることを特徴とする真空バルブ。 - 請求項1記載の真空バルブにおいて、
前記バルブプレート(8)の前記中間位置から前記閉塞位置への変位および前記閉塞位置から前記中間位置への変位により、前記横変位調節ユニット(12)および前記バルブロッド(11)が、該バルブプレート(8)と一緒に前記縦変位方向にまたはその反対方向に変位することを特徴とする真空バルブ。 - 請求項1または2記載の真空バルブにおいて、
前記案内装置(18)が、前記バルブボディ(1)に対して前記横変位調節ユニット(12)を変位可能に案内するための平行四辺形案内装置であることを特徴とする真空バルブ。 - 請求項3記載の真空バルブにおいて、
前記案内装置(18)が前記バルブロッド(11)の両側に配置された案内部材(19)を備え、該案内部材(19)は前記横変位方向(16)および前記縦変位方向(17)に垂直な第1軸(20)および第2軸(21)のそれぞれのまわりに揺動可能なまたは湾曲可能であり、かつ、一方の側で前記バルブボディ(1)に取り付けられ、他方の側で前記横変位調節ユニット(12)に取り付けられていることを特徴とする真空バルブ。 - 請求項4記載の真空バルブにおいて、
前記案内部材(19)が板状に形成されていることを特徴とする真空バルブ。 - 請求項1〜5のうちいずれか1つに記載の真空バルブにおいて、
前記横変位調節ユニット(12)が少なくとも1つのピストンシリンダユニットを備えていることを特徴とする真空バルブ。 - 請求項1〜6のうちいずれか1つに記載の真空バルブにおいて、
真空バルブの真空領域の外側に配置された押圧要素(40)により、前記バルブプレート(8)が前記中間位置にあるときは前記横変位調節ユニット(12)がストッパ(41)に押し付けられ、前記バルブプレート(8)が前記閉塞位置にあるときは前記横変位調節ユニット(12)が該ストッパ(41)から離れることを特徴とする真空バルブ。 - 請求項7記載の真空バルブにおいて、
前記押圧要素(40)が少なくとも1つのバネにより構成されていることを特徴とする真空バルブ。 - 請求項7記載の真空バルブにおいて、
前記押圧要素(40)が少なくとも1つのピストンシリンダユニットにより構成されていることを特徴とする真空バルブ。 - 請求項1〜9のうちいずれか1つに記載の真空バルブにおいて、
前記縦変位調節ユニット(13)が前記バルブプレート(8)の内部空間(309に配置されたピストン(31)を備えていることを特徴とする真空バルブ。 - 請求項1〜9のうちいずれか1つに記載の真空バルブにおいて、
前記縦変位調節ユニット(13)が完全に真空バルブの真空領域の外側に配置され、かつ、前記横変位調節ユニット(12)に作用を及ぼすことを特徴とする真空バルブ。 - 請求項1〜11のうちいずれか1つに記載の真空バルブにおいて、前記バルブプレート(8)が、前記バルブボディ(7)の真空領域が形成された内部空間(7)に配置されていることを特徴とする真空バルブ。
- 請求項12記載の真空バルブにおいて、
前記バルブロッド(11)が、前記バルブボディ(7)の真空領域が形成された内部空間(7)の密閉状態を維持しながら、この内部空間(7)からその外側に案内されて前記横変位方向(16)および前記縦変位方向(17)に動くことができることを特徴とする真空バルブ。 - 請求項13記載の真空バルブにおいて、
前記バルブボディ(1)の内部空間(7)の密閉状態を維持したまま、この内部空間(7)からその外側に前記バルブロッド(11)を案内するために蛇腹部材(27)が設けられていることを特徴とする真空バルブ。 - 請求項13記載の真空バルブにおいて、
前記バルブボディ(1)の内部空間(7)の密閉状態を維持したまま、この内部空間(7)からその外側に前記バルブロッド(11)を案内するためのスライドシール要素(49)を備え、該バルブロッド(11)との隙間が塞がれるように該バルブロッド(11)が該スライドシール要素(49)を貫通して設けられることによって該バルブロッド(11)が該スライドシール要素(49)に対して軸方向に変位可能であり、該スライドシール要素(49)が前記バルブボディ(1)との隙間が塞がれるように傾倒要素(46)を介して前記バルブボディ(1)に連結されていることを特徴とする真空バルブ。 - 請求項1〜15のうちいずれか1つに記載の真空バルブにおいて、前記横変位調節ユニット(12)の変位位置を測定するためのセンサ(43)が真空バルブの真空領域の外側に配置されていることを特徴とする真空バルブ。
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