JP2013518224A - 扉機構 - Google Patents
扉機構 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013518224A JP2013518224A JP2012550264A JP2012550264A JP2013518224A JP 2013518224 A JP2013518224 A JP 2013518224A JP 2012550264 A JP2012550264 A JP 2012550264A JP 2012550264 A JP2012550264 A JP 2012550264A JP 2013518224 A JP2013518224 A JP 2013518224A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- door mechanism
- door
- chamber wall
- tilt
- door body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
- F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
- F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
- F16K3/16—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together
- F16K3/18—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together by movement of the closure members
- F16K3/188—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together by movement of the closure members by means of hydraulic forces
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
- F16K3/30—Details
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
- F16K3/30—Details
- F16K3/314—Forms or constructions of slides; Attachment of the slide to the spindle
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K51/00—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
- F16K51/02—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus specially adapted for high-vacuum installations
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Pressure Vessels And Lids Thereof (AREA)
- Specific Sealing Or Ventilating Devices For Doors And Windows (AREA)
- Sliding Valves (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
Abstract
【解決手段】閉塞要素(1)一又は複数のロッド(9)(9’)(9”)に固定され、開口部(2)を開放する開位置、開口部(2)を覆う一方で開口部を取り囲むシート(7)から離れている中間位置、及びシート(7)に対して押し付けられる閉位置のそれぞれに位置制御される。傾動アクチュエータ(25)(25’)(26)(26’)の内部空間(27)を画定する一又は複数のウォール(39)が、少なくとも延在領域において弾性又は柔軟性を有するように構成されている。傾動アクチュエータは、扉本体(10)の当接面(38)と、チャンバウォール(3)の当接面(37)若しくはチャンバウォール(3)に保持されている固定部材(21)と、のうち一方又は両方に支持されている。
【選択図】 図7
Description
ロッド9,9’及び9”は、相互に平行に配置されている縦軸線11に沿って変位可能に構成されている。軸線方向駆動用のロッドドライバ12が扉本体10の領域に配置されている。ロッドの他端は閉塞要素1に取り付けられている。
Claims (15)
- 真空チャンバ(4)のチャンバウォール(3)における開口部(2)を雰囲気から閉塞するための扉機構であって、
一又は複数のロッド(9)(9’)(9”)に固定され、前記開口部(2)を開放する開位置、前記開口部(2)を覆う一方で前記開口部を取り囲むシート(7)から離れている中間位置、及び前記シート(7)に対して押し付けられる閉位置のそれぞれに位置制御される閉塞要素(1)と、
前記一又は複数のロッド(9)(9’)(9”)及び前記閉塞要素(1)を支持するとともに、前記中間位置と前記閉位置との間で傾動軸線(20)回りに前記チャンバウォール(3)に対する前記閉塞要素(1)の傾動を制御する扉本体(10)と、
前記扉本体(10)を前記傾動軸線(20)回りに傾動させるため、圧縮気体が導入される内部空間(27)を有する一又は複数の傾動アクチュエータ(25)(25’)(26)(26’)と、を備え、
前記傾動アクチュエータ(25)(25’)(26)(26’)の前記内部空間(27)を画定する一又は複数のウォール(39)が、少なくとも延在領域において弾性又は柔軟性を有するように構成され、かつ、前記扉本体(10)の当接面(38)と、前記チャンバウォール(3)若しくは前記チャンバウォール(3)に保持されている固定部材(21)の当接面(37)と、のうち一方又は両方に支持されていることを特徴とする扉機構。 - 請求項1記載の扉機構において、
前記傾動アクチュエータ(25)(26)の前記内部空間(27)が全体的に弾性又は柔軟性を有するウォール(39)により画定され、前記ウォール(39)が、一方側で前記扉本体(10)の前記当接面(38)に支持され、かつ、他方側で前記チャンバウォール(3)の前記当接面(37)又は前記チャンバウォール(3)に保持されている前記固定部材(21)に支持されていることを特徴とする扉機構。 - 請求項2記載の扉機構において、
前記傾動アクチュエータ(25)(26)が、可膨張式ホースにより構成されていることを特徴とする扉機構。 - 請求項3記載の扉機構において、
可膨張式ホースにより構成されている前記傾動アクチュエータ(25)(26)の両端部が、前記固定部材(21)又は前記扉本体(10)の穴部に配置されていることを特徴とする扉機構。 - 請求項4記載の扉機構において、
前記傾動アクチュエータ(25)(26)の両端部が配置されている前記2つの穴部の中間領域において、可膨張式ホースとして構成されている前記固定部材(21)又は前記扉本体(10)が、前記固定部材(21)の前記当接面(37)及び前記扉本体(10)の前記当接面(38)に前記ホースの中間部分が支持されている領域において、溝部を有することを特徴とする扉機構。 - 請求項1記載の扉機構において、
前記ウォール(38)が、少なくともその延在領域において弾性又は柔軟性を有するように構成され、かつ、前記傾動アクチュエータ(25’)(26’)の堅固部分に連結されている弾性又は柔軟性の膜部材を備え、前記膜部材及び前記傾動アクチュエータ(25’)(26’)の当該堅固部分の間に、前記傾動アクチュエータ(25’)(26’)の前記内部空間(27)が配置されていることを特徴とする扉機構。 - 請求項6記載の扉機構において、
前記傾動アクチュエータ(25’)(26’)の前記堅固部分が、前記扉本体(10)により構成されていることを特徴とする扉機構。 - 請求項6又は7記載の扉機構において、
前記当接面(37)(38)に支持されている支持プレート(42)が、前記内部空間(27)の反対側に面している前記膜部材の表面に固定されていることを特徴とする扉機構。 - 請求項1〜8のうちいずれか1つに記載の扉機構において、
前記固定部材(21)に対して固定されている前記扉本体(10)が、前記傾動軸線(20)回りに傾動可能に前記チャンバウォール(3)に支持されていることを特徴とする扉機構。 - 請求項1〜9のうちいずれか1つに記載の扉機構において、
前記傾動アクチュエータ(25)(26)が、前記傾動軸線(20)を基準としてそれぞれ反対側に配置されることにより、前記内部空間(27)を画定する一又は複数のウォール(39)が、その延在領域において少なくとも部分的に弾性又は柔軟性を有するように構成され、かつ、前記扉本体(10)の当接面(38)と、前記チャンバウォール(3)若しくは前記チャンバウォール(3)に保持されている固定部材(21)の当接面(37)と、のうち一方又は両方に支持されていることを特徴とする扉機構。 - 請求項1〜10のうちいずれか1つに記載の扉機構において、
前記一又は複数のロッド(9)(9’)(9”)が、前記扉本体(10)において軸線に沿って案内されるように構成されていることを特徴とする扉機構。 - 請求項1〜11のうちいずれか1つに記載の扉機構において、
前記閉塞要素(1)を位置制御するための前記一又は複数のロッド(9)(9’)(9”)が、その縦軸線(11)の方向に前記開位置と前記中間位置との間でロッドドライバ(12)により変位可能に構成されていることを特徴とする扉機構。 - 請求項12記載の扉機構において、
前記ロッドドライバ(12)が、前記扉本体(10)のシリンダ空間(13)に配置され、かつ、前記一又は複数のロッド(9)(9’)(9”)が接続されている一又は複数のピストン(14)を備えていることを特徴とする扉機構。 - 請求項1〜13のうちいずれか1つに記載の扉機構において、
前記閉塞要素(1)が、前記チャンバウォール(3)の雰囲気側に配置されていることを特徴とする扉機構。 - 請求項1〜14のうちいずれか1つに記載の扉機構において、
前記ロッド(9)(9’)(9”)が、前記扉本体(10)に対してその縦軸線(11)回りの回動に対して回動耐性があることを特徴とする扉機構。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
AT1182010 | 2010-01-29 | ||
ATA118/2010 | 2010-01-29 | ||
PCT/AT2011/000032 WO2011091455A1 (de) | 2010-01-29 | 2011-01-18 | TÜR ZUM VERSCHLIEßEN EINER ÖFFNUNG |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013518224A true JP2013518224A (ja) | 2013-05-20 |
JP5882230B2 JP5882230B2 (ja) | 2016-03-09 |
Family
ID=43901025
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012550264A Expired - Fee Related JP5882230B2 (ja) | 2010-01-29 | 2011-01-18 | 扉機構 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8827241B2 (ja) |
JP (1) | JP5882230B2 (ja) |
KR (1) | KR101762984B1 (ja) |
CN (1) | CN102713388B (ja) |
SG (1) | SG182472A1 (ja) |
WO (1) | WO2011091455A1 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015209977A (ja) * | 2014-04-25 | 2015-11-24 | バット ホールディング アーゲー | バルブ |
JP5890929B1 (ja) * | 2015-07-01 | 2016-03-22 | 株式会社ブイテックス | ゲートバルブ |
JP2017512285A (ja) * | 2014-02-26 | 2017-05-18 | バット ホールディング アーゲー | 真空バルブ |
JP2017512946A (ja) * | 2014-03-18 | 2017-05-25 | バット ホールディング アーゲー | バルブロッド |
JP7089245B1 (ja) | 2020-12-22 | 2022-06-22 | Smc株式会社 | デュアルゲートバルブ |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103836218B (zh) * | 2012-11-22 | 2016-05-11 | 中国石油天然气集团公司 | 一种焦化塔用阀 |
GB2517904A (en) * | 2013-07-31 | 2015-03-11 | Ingegneria Ceramica S R L | An Improved Obturator and Method of Fabrication Thereof |
JP6584829B2 (ja) * | 2014-07-04 | 2019-10-02 | バット ホールディング アーゲー | バルブ |
JP6679594B2 (ja) * | 2014-12-19 | 2020-04-15 | バット ホールディング アーゲー | 真空チャンバのチャンバ壁内のチャンバ開口を閉鎖するドア |
CN107407443B (zh) | 2015-03-09 | 2019-05-10 | Vat控股公司 | 真空阀 |
KR101725250B1 (ko) * | 2015-05-04 | 2017-04-11 | 프리시스 주식회사 | 진공밸브용 블레이드 |
TWI705212B (zh) * | 2016-01-19 | 2020-09-21 | 瑞士商Vat控股股份有限公司 | 用於對壁中開口進行真空密封的密封裝置 |
EP3258149A1 (de) * | 2016-06-14 | 2017-12-20 | VAT Holding AG | Vakuumventil zur regelung eines flusses und zur unterbrechung eines fliessweges |
TWI740981B (zh) | 2016-08-22 | 2021-10-01 | 瑞士商Vat控股股份有限公司 | 真空閥 |
CN110364467A (zh) * | 2019-06-13 | 2019-10-22 | 上海提牛机电设备有限公司 | 空气阻隔装置、晶圆上料设备与空气阻隔控制方法 |
DE102019133555A1 (de) * | 2019-12-09 | 2021-06-10 | Vat Holding Ag | Vakuumventil oder Vakuumtür |
DE102021102283A1 (de) * | 2021-02-01 | 2022-08-04 | Vat Holding Ag | Verschlussvorrichtung zum vakuumdichten Verschließen einer Öffnung in einer Wand |
KR102411025B1 (ko) * | 2021-09-09 | 2022-06-23 | (주)에코파워텍 | 게이트 밸브 |
KR20230059635A (ko) * | 2021-10-26 | 2023-05-03 | 삼성전자주식회사 | 밸브 구조체 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 |
DE102021129883A1 (de) * | 2021-11-16 | 2023-05-17 | Vat Holding Ag | Ventilplatte |
DE102022114809A1 (de) * | 2022-06-13 | 2023-12-14 | Vat Holding Ag | Ventil |
DE102022114806A1 (de) * | 2022-06-13 | 2023-12-14 | Vat Holding Ag | Ventil |
KR102574233B1 (ko) * | 2023-03-14 | 2023-09-04 | 주식회사 에스알티 | U motion 게이트밸브 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS53118675A (en) * | 1977-03-24 | 1978-10-17 | Nakamura Seisakusho Kk | Diaphragm |
JPS62165004A (ja) * | 1986-01-14 | 1987-07-21 | Toshiba Corp | 駆動装置 |
JPS6322404U (ja) * | 1986-07-29 | 1988-02-15 | ||
JPH06241208A (ja) * | 1993-02-09 | 1994-08-30 | Bannoo Seiki Kk | ドライブ機構をコントロールする移動ダイヤフラム式アクチュエータ |
JP2002540612A (ja) * | 1999-03-29 | 2002-11-26 | ラム リサーチ コーポレーション | デュアル側面スロットバルブおよび同バルブを実施するための方法 |
JP2007107655A (ja) * | 2005-10-14 | 2007-04-26 | Nippon Valqua Ind Ltd | ゲート弁 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5016856A (en) * | 1990-05-08 | 1991-05-21 | Tartaglino Jerry J | Inflatable bladder for control of fluid flow |
DE19633798A1 (de) | 1996-08-22 | 1998-02-26 | Vat Holding Ag | Einrichtung zum Verschließen einer Öffnung in einem Behälter oder in einer Rohrleitung |
DE19746241C2 (de) | 1997-10-20 | 2000-05-31 | Vat Holding Ag Haag | Einrichtung zum Verschließen einer Öffnung |
US6416037B1 (en) | 2001-01-11 | 2002-07-09 | Vat Holding Ag | Vacuum pipe |
US6471181B2 (en) | 2001-01-11 | 2002-10-29 | Vat Holding Ag | Suspension of a valve plate of a vacuum valve |
US6899316B2 (en) | 2003-04-16 | 2005-05-31 | Vat Holding Ag | Closure device for vacuum closure of at least one opening in a wall |
US7086638B2 (en) * | 2003-05-13 | 2006-08-08 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for sealing an opening of a processing chamber |
US6916009B2 (en) | 2003-07-14 | 2005-07-12 | Vat Holding Ag | Load-lock device for introducing substrates into a vacuum chamber |
JP2005240883A (ja) | 2004-02-25 | 2005-09-08 | Nippon Valqua Ind Ltd | 真空用ゲート弁 |
US7195035B2 (en) | 2005-03-01 | 2007-03-27 | Gm Global Technology Operations, Inc. | In-tank hydrogen distribution valve |
KR20070113122A (ko) * | 2006-05-24 | 2007-11-28 | 배트 홀딩 아게 | 벽 내의 개구부의 진공 밀봉 폐쇄를 위한 폐쇄장치 |
TWI388754B (zh) | 2006-06-16 | 2013-03-11 | Vat Holding Ag | 真空閥 |
DE102007059039A1 (de) | 2007-12-06 | 2009-06-18 | Vat Holding Ag | Vakuumventil |
-
2011
- 2011-01-18 SG SG2012051157A patent/SG182472A1/en unknown
- 2011-01-18 CN CN201180007474.3A patent/CN102713388B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2011-01-18 WO PCT/AT2011/000032 patent/WO2011091455A1/de active Application Filing
- 2011-01-18 KR KR1020127015588A patent/KR101762984B1/ko active IP Right Grant
- 2011-01-18 JP JP2012550264A patent/JP5882230B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2011-01-18 US US13/575,411 patent/US8827241B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS53118675A (en) * | 1977-03-24 | 1978-10-17 | Nakamura Seisakusho Kk | Diaphragm |
JPS62165004A (ja) * | 1986-01-14 | 1987-07-21 | Toshiba Corp | 駆動装置 |
JPS6322404U (ja) * | 1986-07-29 | 1988-02-15 | ||
JPH06241208A (ja) * | 1993-02-09 | 1994-08-30 | Bannoo Seiki Kk | ドライブ機構をコントロールする移動ダイヤフラム式アクチュエータ |
JP2002540612A (ja) * | 1999-03-29 | 2002-11-26 | ラム リサーチ コーポレーション | デュアル側面スロットバルブおよび同バルブを実施するための方法 |
JP2007107655A (ja) * | 2005-10-14 | 2007-04-26 | Nippon Valqua Ind Ltd | ゲート弁 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017512285A (ja) * | 2014-02-26 | 2017-05-18 | バット ホールディング アーゲー | 真空バルブ |
JP2017512946A (ja) * | 2014-03-18 | 2017-05-25 | バット ホールディング アーゲー | バルブロッド |
JP2015209977A (ja) * | 2014-04-25 | 2015-11-24 | バット ホールディング アーゲー | バルブ |
JP5890929B1 (ja) * | 2015-07-01 | 2016-03-22 | 株式会社ブイテックス | ゲートバルブ |
JP7089245B1 (ja) | 2020-12-22 | 2022-06-22 | Smc株式会社 | デュアルゲートバルブ |
JP2022098925A (ja) * | 2020-12-22 | 2022-07-04 | Smc株式会社 | デュアルゲートバルブ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5882230B2 (ja) | 2016-03-09 |
KR101762984B1 (ko) | 2017-07-28 |
CN102713388B (zh) | 2014-05-07 |
SG182472A1 (en) | 2012-08-30 |
US8827241B2 (en) | 2014-09-09 |
KR20120106955A (ko) | 2012-09-27 |
US20120298899A1 (en) | 2012-11-29 |
CN102713388A (zh) | 2012-10-03 |
WO2011091455A1 (de) | 2011-08-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5882230B2 (ja) | 扉機構 | |
JP6358727B1 (ja) | 仕切弁 | |
US8800956B2 (en) | Non-sliding gate valve | |
JP5511677B2 (ja) | 真空バルブ | |
JP5592096B2 (ja) | 真空バルブ | |
TWI388754B (zh) | 真空閥 | |
JP3745427B2 (ja) | 真空圧制御用スロー排気バルブ | |
JP6860282B2 (ja) | バルブ | |
JP5905832B2 (ja) | 閉塞装置 | |
JP2012504212A (ja) | 真空バルブ | |
JP6679594B2 (ja) | 真空チャンバのチャンバ壁内のチャンバ開口を閉鎖するドア | |
JP2017129272A (ja) | 閉塞装置 | |
US20120280153A1 (en) | Valve with at least one closing body | |
JP2018523069A (ja) | 空気圧式バルブアクチュエータ | |
JP6154178B2 (ja) | バルブ | |
JP5006619B2 (ja) | 電磁弁及び空気圧式マッサージ装置 | |
JP6338351B2 (ja) | バルブ | |
JP2000074258A (ja) | 真空ゲ―ト弁 | |
US11420545B2 (en) | Manual valve device | |
JP2006046489A (ja) | 真空用ゲート弁 | |
JP4470201B2 (ja) | ゲートバルブ | |
JP2001355745A (ja) | ゲートバルブ | |
JP2020515776A (ja) | バルブ | |
KR20120124035A (ko) | 적어도 하나의 폐쇄부재를 가진 밸브 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20131212 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140925 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140930 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141223 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150526 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150817 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160112 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160203 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5882230 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |