KR20120124035A - 적어도 하나의 폐쇄부재를 가진 밸브 - Google Patents

Abstract

본 발명은 밸브, 특히 진공밸브에 관한 것이며, 상기 밸브는 상기 밸브의 적어도 하나의 관통 개구부 (2) 를 폐쇄하기 위한 적어도 하나의 폐쇄부재 (1), 및 상기 폐쇄부재 (1) 가 상기 관통 개구부 (2) 를 폐쇄하는 폐쇄위치와, 상기 폐쇄부재 (1) 가 상기 관통 개구부 (2) 를 적어도 일부 영역에서 개방시키는 적어도 하나의 개방위치 사이에서 상기 폐쇄부재 (1) 를 이동시키기 위한 드라이브 (3) 를 구비하고, 이때 상기 드라이브 (3) 는 상기 폐쇄부재 (1) 를 그의 폐쇄위치로 이동시키기 위한, 압력으로 가압될 수 있는 제 1 부피 (4), 및 상기 폐쇄부재 (1) 를 그의 개방위치로 이동시키기 위한, 압력으로 가압될 수 있는 적어도 하나의 그 밖의 부피 (5) 를 구비하며, 이때 상기 밸브는 추가적으로 탄성요소 (6) 를 구비하고, 상기 탄성요소는 상기 폐쇄부재 (1) 를 상기 폐쇄위치 또는 상기 개방위치의 방향으로 예비인장시킨다.

Description

적어도 하나의 폐쇄부재를 가진 밸브 {VALVE WITH AT LEAST ONE CLOSING MEMBER}

본 발명은 밸브, 특히 진공밸브 (vacuum valve) 에 관한 것으로, 상기 밸브는 상기 밸브의 적어도 하나의 관통 개구부를 폐쇄하기 위한 적어도 하나의 폐쇄부재, 및 상기 폐쇄부재가 상기 관통 개구부를 폐쇄하는 폐쇄위치와, 상기 폐쇄부재가 상기 관통 개구부를 적어도 일부 영역에서 개방시키는 적어도 하나의 개방위치 사이에서 상기 폐쇄부재를 이동시키기 위한 드라이브 (drive) 를 구비하며, 이때 상기 드라이브는 상기 폐쇄부재를 그의 폐쇄위치로 이동시키기 위한, 압력으로 가압될 수 있는 제 1 부피, 및 상기 폐쇄부재를 그의 개방위치로 이동시키기 위한, 압력으로 가압될 수 있는 적어도 하나의 그 밖의 부피를 구비하고 있다.

특히 진공기술을 위한 밸브가 선행기술에 다수의 구현형태로 공지되어 있다. 이는 드라이브의 유형에도 마찬가지로 적용된다.

동종 밸브에 있어서, 드라이브가 폐쇄부재를 폐쇄위치로 데려가야 하면 제 1 부피는 압력하에 놓이게 된다. 그 밖의 부피는, 상기 폐쇄부재를 다시 반대방향으로 그의 개방위치로 움직이기 위해 압력하에 놓이게 된다. 이러한 드라이브로서 복동 실린더를 사용하는 것이 선행기술에 공지되어 있다. 이러한 동종 선행기술은 예컨대 US 6,367,770 B1 에 나타나 있다. 이 동종 밸브에서의 문제는 드라이브가 무압인 상태이다. 이 상태에서, 상기 폐쇄부재는 정의된 위치를 갖지 않는다.

본 발명의 목적은, 폐쇄부재가 드라이브의 무압 (pressureless) 상태에서도, 정의된 위치 (defined position) 를 차지하도록 동종 밸브를 개선하는 것이다.

이를 위해, 본 발명에 따르면 밸브는 추가적으로 탄성요소 (elastic element) 를 구비하며, 상기 탄성요소는 폐쇄부재를 폐쇄위치 또는 개방위치의 방향으로 예비인장 (pretension) 시킨다.

그러므로, 본 발명의 기본 사상은 드라이브에 대해 추가적으로 탄성요소를 제공하는 것이며, 상기 탄성요소는 상기 폐쇄부재를 그의 폐쇄위치의 방향으로 또는 그의 개방위치의 방향으로 예비인장시킨다. 이로 인해, 상기 탄성요소가 상기 폐쇄부재를 상기 드라이브의 무압 상태에서도 상기 밸브의 적어도 하나의 시트면 (seat surface) 에 또는 개방되어 있는 휴식위치에 내리누르는 것이 가능해진다. 상기 탄성요소가 상기 폐쇄부재를 영구적으로 (permanently) 상기 폐쇄위치의 방향으로 또는 영구적으로 상기 개방위치의 방향으로 예비인장시키는 것이 가능하다.

특히 바람직하게는, 본 발명에 따른 밸브는 진공기술에서 이용될 수 있는 이른바 진공밸브에 관한 것이다. 진공기술에 있어서, 민감한 부품, 예컨대 반도체 요소 등은 클린룸 (clean room) 조건하에 저압챔버 안에서 가공된다. 진공밸브는 이러한 저압챔버 간의 연결부로서 사용되거나 또는 저압챔버 안으로의 유입 또는 유출 매체를 컨트롤하기 위해 사용된다. 저압챔버 안에서, 상응하는 저압이 인가되어 있는 작동상태에서 0.001 Millibar 또는 0.1 Pascal 보다 작은 압력이 존재하면 진공기술에 해당된다.

본 발명에 따른 이러한 밸브의 드라이브는 특히 진공기술에 있어서 바람직하게는 공압식이다. 즉, 드라이브의 부피 안의 과압 (overpressure) 및 저압 (underpressure) 은 가스형태 매체의 공급 및 인출을 통해 발생된다. 하지만, 액체 및 오일이 압력매체 (pressure medium) 로서 이용되는 유압식 드라이브를 가진 본 발명에 따른 밸브도 마찬가지로 가능하다.

청구항 제 1 항의 전제부에 사용된 부피 (volume) 라는 개념은 챔버 (chamber) 라는 개념으로 대체될 수도 있다. 부피는 결국 챔버에 관한 것이며, 상기 챔버의 내부 공간 안에서는 압력생성이 가능하다. 이를 위해 물론 상기 챔버 또는 부피는 상응하여 어떤 방식으로든 구현되어 있는 벽, 경우에 따라서는 상응하는 차단 가능성, 및 상응하는 압력원 (pressure source) 을 위한 이음부 및 압력을 분출하기 위한 이음부를 갖추고 있어야 한다. 이는 선행기술에 공지되어 있다. 이와 관련하여, 바람직한 구현형태에 따르면, 드라이브는 복동 실린더를 구비하거나 또는 상기 실린더로 구성되며, 이때 압력으로 가압될 수 있는 제 1 부피와 압력으로 가압될 수 있는 그 밖의 부피는 각각 상기 실린더의 압력챔버 (pressure chamber) 이고, 그리고 상기 압력챔버 사이에는, 상기 압력챔버 안의 압력차이 (pressure difference) 를 이용해 이동 가능한 적어도 하나의 피스톤이 배치되어 있다.

상기 드라이브에 대해 추가적으로 제공되어 있는 상기 탄성요소는 무엇보다도 상기 드라이브의 무압 상태에서 상기 폐쇄부재의 정의된 위치의 안전화를 위해 제공되어 있기 때문에, 상기 탄성요소를 이용해 단지 비교적 작은 힘이 상기 폐쇄부재에 가해지면 유리하다. 이는 또한 상기 폐쇄부재를 그의 개방위치로 또는 그의 폐쇄위치로 이동시키기 위한 드라이브가 불필요하게 많은 에너지를 필요로 하는 것을 막는다. 상기 탄성요소가 상기 폐쇄위치의 방향으로 작용하는 경우, 이와 관련하여 상기 폐쇄부재의 상기 폐쇄위치에서는 상기 폐쇄부재와 상기 밸브의 시트면 사이에 실링 (sealing) 이 배치되어 있으면, 그리고 상기 폐쇄위치에서 상기 탄성요소에 의해 상기 실링에 가해진 가압력 (pressing force) 이 상기 실링의 밀리미터 길이당 0.1 과 0.5 사이, 바람직하게는 0.1 과 0.2 사이의 뉴턴 (newton) 에 달하면 유리하다. 이 설계에 있어서, 상기 탄성요소에 의해 가해진 힘은, 드라이브의 무압 상태에서 상기 폐쇄부재를 그의 실링과 함께 상기 시트면에 갖다대기에 충분하다. 이때, 상기 관통 개구부를 이용해 연결된 챔버 또는 도관 사이의 압력차이가 없을시에도 밀봉이 아직 달성되지 않는다. 상기 언급된 압력차이가 없을시 그리고 드라이브의 무압 상태에서 상기 폐쇄부재를 밀봉적으로 상기 시트면에 내리누르도록 상기 탄성요소가 설계되어야 하면, 상기 폐쇄부재의 상기 폐쇄위치에서는 상기 폐쇄부재와 상기 밸브의 시트면 사이에 실링이 배치되어 있으면, 그리고 상기 폐쇄위치에서 상기 탄성요소에 의해 상기 실링에 가해진 가압력이 상기 실링의 밀리미터 길이당 1 과 5 사이, 바람직하게는 1 과 2 사이의 뉴턴에 달하면 유리하다.

상기 탄성요소의 구조적 구현을 위해 여러 가지 가능성이 있다. 상기 탄성요소는 인장 스프링 (tension spring) 또는 압축 스프링 (compression spring) 일 수 있다. 상기 탄성요소는 두 변형에서 예컨대 스파이럴 스프링 (spiral spring) 또는 판 스프링 (plate spring) 또는 가스 압력 스프링 또는 에어 스프링 (air spring) 또는 엘라스토머 바디 (elastomer body) 일 수 있거나 또는 이러한 부품을 구비할 수 있다. 이것의 조합도 가능하다.

상기 탄성요소는 초기 스프링 (initial spring) 이라고도 불리울 수 있다. 상기 초기 스프링이라는 개념 안에는, 상기 탄성요소가 본질적으로 드라이브의 무압 상태에서 상기 폐쇄부재의 정의된 위치를 안전하게 하기 위해 사용된다는 것이 나타나 있다.

본 발명의 그 밖의 특징과 상세 내용은 바람직한 구현형태에 대한 다음의 설명에 나타나 있다.

도 1 은 본 발명에 따른 제 1 실시형태의 개략적인 세로 방향 단면;
도 2 는 본 발명에 따른 제 2 실시형태의 상응하는 세로 방향 단면;
도 3 은 본 발명에 따른 제 3 실시형태의 상응하는 세로 방향 단면;
도 4 는 본 발명에 따른 제 4 밸브의 세로 방향 단면 그리고
도 5 는 상기 4개의 제 1 실시예와는 달리 탄성요소가 폐쇄부재를 개방위치로 예비인장시키는 본 발명의 제 5 실시예의 세로 방향 단면이다.

도 1 에 따른 제 1 실시 변형은 이른바 앵글밸브 (angle valve) 에 관한 것이다. 하지만 반드시 그럴 필요는 없다.

도시되어 있는 밸브 쪽으로, 그리고 상기 밸브로부터 멀리 안내하는 도관은 하우징 (11) 의 마운팅 플랜지 (mounting flange, 13) 에 이어져 있다. 관통 개구부 (2) 는 폐쇄부재 (1) 를 이용해 폐쇄되며, 상기 폐쇄부재는 여기에서는 밸브 디스크 (valve disk) 로서 설계되어 있다. 폐쇄위치에서, 도 1 에 도시되어 있는 바와 같이 실링 (sealing, 8) 은 폐쇄부재 (1) 를 시트면 (7) 에 대해 밀봉시킨다. 여기에서 스파이럴 스프링으로서 설계되어 있는 본 발명에 따른 탄성요소 (6) 는, 폐쇄부재 (1) 가 드라이브 (3) 의 무압 상태에서, 정의된 위치를 차지하도록 하며, 상기 상태에서 상기 폐쇄부재는 실링 (8) 을 이용해 시트 (seat, 7) 에 밀착한다. 이 경우, 탄성요소 (6) 가 폐쇄부재 (1) 에 비교적 작은 힘을 가하면 충분하다. 바람직하게는, 실링 (8) 과 관련하여, 탄성요소 (6) 에 의해 실링 (8) 에 가해진 가압력은 실링 (8) 의 밀리미터 길이당 0.1 과 0.5 사이, 바람직하게는 0.1 과 0.2 사이의 뉴턴에 달한다.

무압 드라이브 (3) 를 가진, 그리고 밸브로부터 멀리 그리고 상기 밸브 쪽으로 안내하는 도관 안에서의 압력차이가 없는 상황의 경우 탄성요소 (6) 를 이용해 밀봉이 달성되어야 하면, 탄성요소 (6) 에 의해 실링 (8) 에 가해진 가압력이 실링 (8) 의 밀리미터 길이당 1 과 5 사이, 바람직하게는 1 과 2 사이의 뉴턴에 달하는 것이 바람직하다.

관통 개구부 (2) 를 열기 위해, 폐쇄부재 (1) 는 드라이브 (3) 를 이용해 시트 (7) 로부터 들어내진다. 이를 위해, 이음부 (15) 를 통해 압력매체, 예컨대 상응하는 가스가 부피 (5) 안으로 넣어진다. 제 1 부피 (4) 는 이음부 (15) 를 통해 상응하여 배기된다. 그러면, 이로 인해 생성되는, 피스톤 (9) 으로의 상응하는 압력을 통해, 도 1 에 따른 폐쇄위치로부터 출발하여 폐쇄부재 (1) 는 시트 (7) 로부터 들어내지고, 그리고 그의 개방위치로 데려가진다. 행정의 크기는 두 부피 (4, 5) 안에서의 압력비를 통해 제어될 수 있다. 밸브를 닫기 위해서는, 즉 폐쇄부재 (1) 를 도 1 에 따른 그의 폐쇄위치로 움직이기 위해서는, 상응하여 압력매체가 제 1 부피 (4) 안으로 도입되며, 반면 제 2 부피 (5) 는 상응하여 배기된다. 상기 과정을 위해 이음부 (15) 에 인가되어야 하는, 그리고 이로써 부피 (4, 5) 안으로 도입되어야 하는 압력은 예컨대 2.5bar 와 8bar 사이, 바람직하게는 4bar 와 7bar 사이에 있을 수 있다. 상기 폐쇄위치에서의 드라이브 (3) 에 의해 실링 (8) 에 가해진 가압력은 이 실시예 또는 다른 실시예에서 탄성요소 (6) 에 의해 가해진 가압력의 바람직하게는 적어도 4배이다. 이 인수 (factor) 는 밸브의 관통 개구부 (2) 의 공칭 넓이 또는 지름 (14) 이 크면 클수록 더 크다.

간단한 구성의 의미에서 - 도 1 에 따른 구성처럼 - 탄성요소 (6) 는 바람직하게는 피스톤 로드 (piston rod, 10) 를 통해 폐쇄부재 (1) 에 작용한다. 복동 (double-acting) 실린더 (cylinder) 유형의 드라이브 (3) 의 도시되어 있는 실시예에서, 바람직하게는 피스톤 (9) 은 피스톤 로드 (10) 를 통해 폐쇄부재 (1) 와 연결되어 있으며, 이때 피스톤 로드 (10) 의 영역에서의, 피스톤 (9) 과 폐쇄부재 (1) 사이의 간격은 고정적으로 (fixed) 또는 변경할 수 없게 형성되어 있다. 폐쇄부재 (1) 는 강성적으로 (rigidly) 피스톤 로드 (10) 에 고정되어 있을 수 있다. 하지만 폐쇄부재 (1) 는 최적의 밀봉의 의미에서 관절식으로 또는 선회 가능하게 피스톤 로드 (10) 에 고정되어 있을 수도 있다.

반드시 복동 실린더일 필요는 없다. 예컨대, 두 부피 (4, 5) 는, 상응하여 그들 사이에 배치된 멤브레인 (membrane) 에 의해 서로 분리되어 있을 수 있고, 이때 상기 멤브레인의 변위는 적합한 조치, 예컨대 피스톤 로드 (5) 를 통해 폐쇄부재 (1) 에 전달된다.

완벽을 기하기 위해, 추가적인 실링 (12) 이 또한 언급되며, 상기 실링은 한편으로는 피스톤 로드 (10) 를 하우징 (11) 에 대해 그리고 다른 한편으로는 피스톤 (9) 을 하우징 (11) 에 대해 밀봉한다.

도 1 에 따른 도시되어 있는 제 1 실시예에서, 탄성요소 (6) 는 압력으로 가압될 수 있는 부피 (4, 5) 중 하나의 내부에 배치되어 있다. 도 1 에 따른 도시되어 있는 변형에서, 이는 제 1 부피 (4) 이며, 상기 제 1 부피는 폐쇄부재 (1) 를 폐쇄위치로 데려가기 위해 사용된다. 특히, 탄성요소 (6) 가 부피 (4, 5) 중 하나의 내부에 배치되어 있는 이러한 구현형태에서, 탄성요소 (6) 가 바로 (directly) 상기 피스톤에 작용하면 유리하다.

도 2 는 본 발명에 따른 다른 실시예를 보이고 있다. 여기에서, 밸브는 앵글밸브가 아니라 슬라이더 (slider) 로서 형성되어 있다. 도 1 에 따른 밸브 디스크 대신 쐐기형 폐쇄부재 (1) 가 제공되어 있다. 이것은 마찬가지로 마운팅 플랜지 (13) 사이에 배치된 관통 개구부 (2) 를 폐쇄한다. 이러한 쐐기형 폐쇄부재 (1) 는 그 자체가 공지되어 있으며, 그리고 더 이상 설명될 필요가 없다. 도시되어 있는 실시예에서, 폐쇄부재 (1) 는 어쨌든 도 2 에 도시되어 있는 폐쇄위치로부터 피스톤 로드 (10) 를 들어냄으로써, 여기에 도시되어 있지 않은 그의 개방위치로 데려가진다. 개방 및 폐쇄하기 위해, 이번에도 드라이브 (3) 가 제공되어 있다. 여기에서도, 제 1 실시예에서처럼 복동 실린더에 관한 것이며, 따라서 이는 여기에서 다시 설명될 필요가 없다. 제 2 실시예에서도, 탄성요소 (6) 는 드라이브 (3) 의 부피 중 하나 (4) 안에 배치되어 있다.

반드시 그럴 필요가 없다는 것을 다음의 실시예가 보이고 있다. 도 3 에는 본 발명의 제 3 변형이 도시되어 있으며, 여기에서는 또다시 앵글밸브에 관한 것이다. 이 변형에 있어서, 탄성요소는 폐쇄부재 (1) 를 향해 있는 쪽에서, 압력으로 가압될 수 있는 부피 (4, 5) 의 외부에 배치되어 있다. 여기에서도 탄성요소 (6) 는 초기 스프링으로서 사용되며, 상기 초기 스프링은 드라이브 (3) 의 무압 상태에서, 여기에서 다시 밸브 디스크로서 설계되어 있는 폐쇄부재 (1) 를 그의 실링 (8) 과 함께 시트면 (7) 에 대해 누른다. 도시되어 있는 실시예에서, 여기에서 또다시 코일 스프링으로서 형성되어 있는 탄성요소 (6) 둘레에는 탄성 (elastic) 벨로스 (bellows, 17) 가 배치되어 있으며, 상기 벨로스는 폐쇄부재 (1) 의 운동에 상응하여 압축되거나 또는 연장된다. 드라이브 (3) 는 다른 실시형태에서 기술한 바와 같이 기능을 수행하며, 그러므로 여기에서 다시 설명될 필요가 없다. 이는 이 제 3 실시예의 모든 그 밖의, 여기에 언급되지 않은 상세 내용에도 마찬가지로 적용된다.

도 4 는 본 발명에 따른 구현형태의 제 4 변형을 보이고 있다. 여기에 도시되어 있는 밸브는 또다시 쐐기형 폐쇄부재 (1) 를 가진 슬라이더에 관한 것이다. 이미 기술된 다른 실시변형과는 달리, 여기에서 탄성요소 (6) 는 폐쇄부재 (1) 로부터 멀리 향하는 쪽에서, 압력으로 가압될 수 있는 부피 (4, 5) 의 외부에 배치되어 있다. 여기에서도 초기 스프링으로서 사용되는 코일 스프링 형태의 탄성요소 (6) 는 피스톤 로드 (10) 의 상응하는 지지 어깨부 (16) 에 지지된다. 그 밖에, 상기 밸브의 작동 방식 및 그의 구성은 지금까지 나타내진 전술한 실시예의 설명으로부터 발생한다.

바람직하게는, 본 발명에 따른 밸브는 비교적 큰 관통 개구부 (2) 를 개방 및 폐쇄할 수 있는 것에 관한 것이면 이용된다. 원형 관통 개구부를 가진 본 발명에 따른 밸브에 있어서, 이 관통 개구부 (2) 의 지름 (14) 은 200mm 이상의 공칭 넓이를 가질 수 있다. 관통 개구부 (2) 가 원형 횡단면을 갖지 않는 경우에는, 상응하는 것이 이 지름으로부터 발생하는 관통 개구부 (2) 의 표면에 적용된다.

4개의 상기 제 1 실시예에서, 탄성요소 (6) 는 폐쇄부재 (1) 를 폐쇄위치의 방향으로 예비인장시킨다. 도 5 에 따른 제 5 실시예에서는, 탄성요소 (6) 는 폐쇄부재 (1) 를 그의 개방위치의 방향으로 예비인장시키기 위해 제공되어 있다.

폐쇄부재 (1) 를, 즉 여기에서는 슬라이더를 도시되어 있는 개방위치로부터 폐쇄위치로, 그리고 정반대로 움직이기 위해, 드라이브 (3) 의 두 부피 (4, 5) 는 여기에서도 상응하는 이음부 (15) 를 통해 번갈아서 압력하에 놓이고 그리고 배기된다. 여기에서 마찬가지로 코일 스프링으로서 형성되어 있는 탄성요소 (6) 는 드라이브 (3) 가 무압 상태이면, 즉 부피 중 어느 것 (4 또는 5) 안에도 각각의 경우에 있어 다른 부피에 대한 과압이 존재하지 않으면 폐쇄부재 (1) 를 도시되어 있는 개방위치로 데려간다. 이 실시예의 모든 그 밖의 특징은 따로 설명이 필요 없으며, 또는 이미 기술된 본 발명에 따른 변형과 유사하게 발생한다.

1 : 폐쇄부재 2 : 관통 개구부
3 : 드라이브 4 : 제 1 부피
5 : 그 밖의 부피 6 : 탄성요소
7 : 시트면 8 : 실링
9 : 피스톤 10 : 피스톤 로드
11 : 하우징 12 : 실링
13 : 마운팅 플랜지 14 : 지름
15 : 이음부 16 : 지지 어깨부
17 : 벨로스

Claims (13)

1. 밸브, 특히 진공밸브로서, 상기 밸브는 상기 밸브의 적어도 하나의 관통 개구부 (2) 를 폐쇄하기 위한 적어도 하나의 폐쇄부재 (1), 및 상기 폐쇄부재 (1) 가 상기 관통 개구부 (2) 를 폐쇄하는 폐쇄위치와, 상기 폐쇄부재 (1) 가 상기 관통 개구부 (2) 를 적어도 일부 영역에서 개방시키는 적어도 하나의 개방위치 사이에서 상기 폐쇄부재 (1) 를 이동시키기 위한 드라이브 (3) 를 구비하며, 이때 상기 드라이브 (3) 는 상기 폐쇄부재 (1) 를 그의 폐쇄위치로 이동시키기 위한, 압력으로 가압될 수 있는 제 1 부피 (4), 및 상기 폐쇄부재 (1) 를 그의 개방위치로 이동시키기 위한, 압력으로 가압될 수 있는 적어도 하나의 그 밖의 부피 (5) 를 구비한 밸브에 있어서, 상기 밸브는 추가적으로 탄성요소 (6) 를 구비하며, 상기 탄성요소는 상기 폐쇄부재 (1) 를 상기 폐쇄위치 또는 상기 개방위치의 방향으로 예비인장시키는 것을 특징으로 하는 밸브.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 탄성요소 (6) 는 상기 폐쇄부재 (1) 를 상기 드라이브 (3) 의 무압 상태에서도 예비인장시키며, 바람직하게는 상기 밸브의 적어도 하나의 시트면 (7) 에 내리누르고, 및/또는 상기 폐쇄부재 (1) 를 영구적으로 상기 폐쇄위치 또는 상기 개방위치의 방향으로 예비인장시키는 것을 특징으로 하는 밸브.
3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 폐쇄부재 (1) 의 상기 폐쇄위치에서는 상기 폐쇄부재 (1) 와 상기 밸브의 시트면 (7) 사이에 실링 (8) 이 배치되어 있으며, 그리고 상기 폐쇄위치에서 상기 탄성요소 (6) 에 의해 상기 실링 (8) 에 가해진 가압력은 상기 실링 (8) 의 밀리미터 길이당 0.1 과 0.5 사이, 바람직하게는 0.1 과 0.2 사이의 뉴턴에 달하는 것을 특징으로 하는 밸브.
4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 폐쇄부재 (1) 의 상기 폐쇄위치에서는 상기 폐쇄부재 (1) 와 상기 밸브의 시트면 (7) 사이에 실링 (8) 이 배치되어 있으며, 그리고 상기 폐쇄위치에서 상기 탄성요소 (6) 에 의해 상기 실링 (8) 에 가해진 가압력은 상기 실링 (8) 의 밀리미터 길이당 1 과 5 사이, 바람직하게는 1 과 2 사이의 뉴턴에 달하는 것을 특징으로 하는 밸브.
5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 탄성요소 (6) 는 압축 스프링 또는 인장 스프링 및/또는 스파이럴 스프링 및/또는 판 스프링 및/또는 가스 압력 스프링 및/또는 에어 스프링 및/또는 엘라스토머 바디 (elastomer body) 를 구비하거나 또는 그것인 것을 특징으로 하는 밸브.
6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 드라이브 (3) 는 복동 실린더를 구비하거나 또는 상기 실린더로 구성되며, 이때 압력으로 가압될 수 있는 제 1 부피 (4) 와 압력으로 가압될 수 있는 그 밖의 부피 (5) 는 각각 상기 실린더의 압력챔버 (pressure chamber) 이고, 그리고 상기 압력챔버 사이에는, 상기 압력챔버 안의 압력차이를 이용해 이동 가능한 적어도 하나의 피스톤 (9) 이 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 밸브.
7. 제 6 항에 있어서, 상기 피스톤 (9) 은 피스톤 로드 (10) 를 통해 상기 폐쇄부재 (1) 와 연결되어 있으며, 이때 상기 피스톤 로드 (10) 의 영역에서의, 상기 피스톤 (9) 과 상기 폐쇄부재 (1) 사이의 간격은 고정적으로 또는 변경할 수 없게 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 밸브.
8. 제 7 항에 있어서, 상기 폐쇄부재 (1) 는 강성적으로 (rigidly) 상기 피스톤 로드 (10) 에 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 밸브.
9. 제 7 항에 있어서, 상기 폐쇄부재 (1) 는 관절식으로 또는 선회 가능하게 상기 피스톤 로드 (10) 에 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 밸브.
10. 제 7 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 탄성요소 (6) 는 상기 피스톤 로드 (10) 를 통해 상기 폐쇄부재 (1) 에 작용하는 것을 특징으로 하는 밸브.
11. 제 1 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 탄성요소 (6) 는 압력으로 가압될 수 있는 부피 (4, 5) 중 하나의 내부에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 밸브.
12. 제 11 항에 있어서, 상기 탄성요소 (6) 는 바로 (directly) 피스톤 (9) 에 작용하는 것을 특징으로 하는 밸브.
13. 제 1 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 탄성요소 (6) 는, 바람직하게는 상기 폐쇄부재 (1) 를 향해 있는 또는 상기 폐쇄부재 (1) 로부터 멀리 향하는 쪽에서, 압력으로 가압될 수 있는 부피 (4, 5) 의 외부에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 밸브.

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