KR20120106955A

KR20120106955A - 개구부를 폐쇄하기 위한 도어

Info

Publication number: KR20120106955A
Application number: KR1020127015588A
Authority: KR
Inventors: 프리드리히 가이저; 안톤 노이마이어; 세드릭 바그너
Original assignee: 배트 홀딩 아게
Priority date: 2010-01-29
Filing date: 2011-01-18
Publication date: 2012-09-27
Also published as: CN102713388B; KR101762984B1; JP5882230B2; CN102713388A; SG182472A1; WO2011091455A1; US8827241B2; JP2013518224A; US20120298899A1

Abstract

진공 챔버 (4) 의 벽 (3) 안의 개구부 (2) 를 대기에 대해 폐쇄하기 위한 도어는 폐쇄 부재 (1) (상기 폐쇄 부재는 적어도 하나의 로드 (9, 9', 9'') 에 부착되어 있으며, 그리고 상기 폐쇄 부재는 그가 상기 개구부 (2) 를 개방시키는 개방위치와, 그가 상기 개구부 (2) 를 덮고 있으나 상기 개구부 (2) 를 둘러싸는 시트 (7) 로부터 들어내져 있는 중간위치와, 그리고 그가 상기 시트 (7) 에 내리눌려져 있는 폐쇄위치 사이에서 이동될 수 있다) 와, 도어 바디 (10) (상기 도어 바디는 상기 적어도 하나의 로드 (9, 9',9'') 및 상기 폐쇄 부재 (1) 를 받치고 있으며, 그리고 상기 폐쇄 부재 (1) 를 상기 중간위치와 상기 폐쇄위치 사이에서 이동시키기 위해 상기 벽 (3) 에 대해 틸트축 (20) 둘레로 틸팅될 수 있다) 와, 적어도 하나의 틸팅 액추에이터 (25, 25', 26, 26') (상기 틸팅 액추에이터는 내부 중공 공간 (27) 을 구비하며, 상기 중공 공간 안으로, 상기 도어 바디 (10) 를 상기 틸트축 (20) 둘레로 틸팅시키기 위해 압축가스가 도입될 수 있다) 를 포함한다. 상기 내부 중공 공간 (27) 을 한정하는 상기 틸팅 액추에이터 (25, 25', 26, 26') 의 적어도 하나의 벽 (39) 은 그의 연장부의 적어도 일 섹션에 걸쳐 탄성적으로 및/또는 플렉시블하게 형성되어 있다.

Description

개구부를 폐쇄하기 위한 도어 {DOOR FOR SEALING AN OPENING}

본 발명은 진공 챔버 (vacuum chamber) 의 챔버벽 (chamber wall) 안의 개구부를 대기에 대해 폐쇄하기 위한 도어에 관한 것이며, 상기 도어는 폐쇄 부재 (상기 폐쇄 부재는 적어도 하나의 로드 (rod) 에 부착되어 있으며, 그리고 상기 폐쇄 부재는 그가 상기 개구부를 개방시키는 개방위치와, 그가 상기 개구부를 덮고 있으나 상기 개구부를 둘러싸는 시트 (seat) 로부터 들어내져 있는 중간위치와, 그리고 그가 상기 시트에 내리눌려져 있는 폐쇄위치 사이에서 이동될 수 있다) 와, 도어 바디 (door body) (상기 도어 바디는 상기 적어도 하나의 로드 및 상기 폐쇄 부재를 받치고 있으며, 그리고 상기 도어 바디는 상기 폐쇄 부재를 상기 중간위치와 상기 폐쇄위치 사이에서 이동시키기 위해 상기 챔버벽에 대해 틸트축 (tilt axis) 둘레로 틸팅될 수 있다) 와, 적어도 하나의 틸팅 액추에이터 (tilting actuator) (상기 틸팅 액추에이터는 내부 중공 공간을 구비하며, 상기 중공 공간 안으로, 상기 도어 바디를 상기 틸트축 둘레로 틸팅시키기 위해 압축가스가 도입될 수 있다) 를 포함한다.

진공 챔버들 안의 개구부들을 진공 밀봉적으로 폐쇄하기 위한 도어들은 여러 가지 설계로 공지되어 있다. 이러한 도어들은 예컨대 공작물들을 로크 챔버 또는 로드 로크 챔버 안으로 도입시키기 위해 사용되며, 상기 로크 챔버로부터 공작물들은 상기 챔버의 펌핑 아웃 후 다른 챔버들 안으로 운반되고, 상기 챔버들 안에서 가공 단계들이 진공 조건하에 실행된다.

진공 도어들이 예컨대 US 6,056,266 에 공지되어 있다. 폐쇄 부재를 개구부를 둘러싸는 시트에 내리누르기 위해, 상기 폐쇄 부재의 원위치로 잡아당겨져 있는 개방위치 (상기 개방위치에서 상기 폐쇄 부재는 상기 개구부를 완전히 개방시킨다) 로부터 출발하여 L형 운동이 실행된다. 이때 지나가는 이동 경로의 제 1 섹션에서는, 상기 폐쇄 부재가 상기 개부부를 덮고 있으나 상기 시트로부터 들어내져 있을 때까지 상기 폐쇄 부재는 제 1 드라이브를 갖고 상기 개구부의 또는 상기 시트의 평면에 대해 평행으로 이동된다. 상기 이동 경로의 제 2 섹션에서는, 상기 폐쇄 부재가 상기 시트에 내리눌려져 있고, 밀봉면을 갖고 가압된 시일 (seal) 에 의해 상기 개구부가 진공 밀봉적으로 폐쇄될 때까지 상기 폐쇄 부재는 제 2 드라이브를 갖고 상기 개구부의 또는 상기 시트의 평면에 대해 직각으로 이동된다. 상기 제 1 및 제 2 드라이브는 피스톤-실린더 유닛들에 의해 형성된다. 상기 폐쇄 부재의 순서에 맞는 L 운동을 위한 시퀀스 제어 (sequence control) 를 형성하기 위해, 개방 방향으로 또는 폐쇄 방향으로 작용하는 피스톤-실린더 유닛들의 피스톤면들은 크기가 서로 다르다. 폐쇄 방향으로 작용하는 피스톤면은 피스톤-실린더 유닛들을 구동시키는 압축공기의 시스템 압력으로 영구적으로 가압된다. 상기 도어가 열려 있는 상태로부터 시작하여 닫혀져야 하면, 개방 방향으로 작용하는 제 1 및 제 2 드라이브의 피스톤면들은 무압 상태에 놓이고, 즉 상응하는 실린더 공간들이 배기된다. 상기 도어가 그의 닫힌 상태로부터 시작하여 열려져야 하면, 개방 방향으로 작용하는 피스톤면들은 압축공기의 시스템 압력으로 가압된다. 상기 도어의 개방 및 폐쇄시 L 운동의 순서에 맞는 실행을 위해, 단지 하나의 유일한 스위칭 밸브가 필요하다.

폐쇄 부재가 진공 도어들의 개방 및 폐쇄시 L형 운동을 실행하는 그 밖의 진공 도어들은 예컨대 US 6,899,316 B2, US 2007/0272888 A1 및 US 6,916,009 B2 에 공지되어 있다.

DE 196 33 798 A1 로부터는, 이동 경로의 제 1 섹션을 따른 이동이 마찬가지로 상기 기술된 방식으로 수행되는, 도입부에 언급된 유형의 진공 도어가 유래한다. 폐쇄 부재를 개구부를 덮는, 하지만 시트로부터 들어내져 있는 위치로부터 출발하여 상기 시트에 내리누르기 위해, 여기에서는 도어의 도어 바디가 로드들 (상기 로드들에는 상기 폐쇄 부재가 고정되어 있다) 에 의해 이동 가능하게 안내되어 있고, 개구부를 구비한 진공 챔버의 챔버벽에 대해 틸팅 가능하게 지지되어 있다. 피스톤-실린더 유닛들을 이용해, 상기 폐쇄 부재를 상기 시트에 내리누리기 위해 그리고 이로부터 들어내기 위해 상기 도어 바디는 틸트축 둘레로 틸팅된다. 상기 도어를 완전히 열기 위해, 상기 로드들이 피스톤-실린더 유닛들에 의해 축방향으로 이동됨으로써, 상기 시트로부터 들어내진 폐쇄 부재는 원위치로 잡아당겨진다.

WO 2009/070824 A1 으로부터는, 진공 도어로서의 이용이 기술되어 있는 진공 밸브가 유래한다. 이때, 폐쇄 부재는 진공 챔버의 외부에 배치되어 있을 수 있으며, 그리고 챔버벽 안의 개구부를 폐쇄하기 위해 제공되어 있다. 상기 폐쇄 부재의 개방 및 폐쇄는 단지 하나의 드라이브 (상기 드라이브는 액추에이터들로서 2개의 피스톤-실린더 유닛을 구비할 수 있다) 를 갖고 수행되며, 상기 드라이브에 의해 로드들 (상기 로드들에 상기 폐쇄 부재가 부착되어 있다) 은 축방향으로 이동된다. 상기 폐쇄 부재가 개구부를 완전히 개방시키는 개방위치로부터 출발하여, 상기 폐쇄 부재가 가이드 요소들 (상기 가이드 요소들은 상기 개구부의 양쪽에 배치되어 있으며, 그리고 상기 시트의 평면에 대해 직각으로 있는 가이드면들을 구비한다) 에 부딪칠 때까지, 상기 폐쇄 부재는 우선 상기 개구부의 또는 상기 개구부를 둘러싸는 시트의 평면에 대해 평행으로 이동된다. 이 가이드면들을 통해, 상기 폐쇄 부재가 시트에 갖다대지고 그리고 시일이 밀봉면에 내리눌려질 때까지, 상기 폐쇄 부재는 그의 폐쇄위치에 도달하기 전에 이동 경로의 마지막 섹션에 걸쳐 상기 시트의 평면에 대해 직각으로 이동된다.

US 6,471,181 B2 에는 밸브 로드에서의 밸브 플레이트의 고정이 공지되어 있으며, 상기 밸브 플레이트는, 상기 밸브 로드의 축에 대해 직각으로 있는 축 둘레로 틸팅될 수 있다.

US 2007/0290157 A1 으로부터는, 폐쇄 유닛이 밸브 개구부를 폐쇄하기 위한 밸브 플레이트를 포함한 진공 밸브가 유래한다. 상기 폐쇄 유닛의 내부에는 조정 피스톤이 배치되어 있으며, 상기 조정 피스톤에는 플런저들이 부착되어 있고, 상기 플런저들은 상기 밸브 플레이트를 밸브 시트에 내리누르기 위해 밸브 하우징에 지지된다. 상기 조정 피스톤을 이동시키기 위해 압축가스로 가압될 수 있는 상기 폐쇄 유닛의 적어도 하나의 작업공간은 멤브레인 시일에 의해 한정되어 있다.

본 발명의 목적은 간단하고 비용 절감적으로 형성될 수 있는, 도입부에 언급된 유형의 진공 도어를 제공하는 것이다.

이는 본 발명에 따르면 청구항 제 1 항의 특징들을 가진 도어를 통해 달성된다.

본 발명에 따른 도어에 있어서, 도어 바디를 틸트축 둘레로 틸팅시키기 위한 적어도 하나의 틸팅 액추에이터가 존재하며, 상기 틸팅 액추에이터는 내부 중공 공간을 구비하고, 상기 중공 공간 안으로 압축가스가 도입될 수 있다. 상기 내부 중공 공간을 한정하는 상기 틸팅 액추에이터의 적어도 하나의 벽은 우선 일부 영역에서 탄성적으로 및/또는 플렉시블하게 형성되어 있으며, 그리고 상기 도어 바디의 밀착면에 및/또는 상기 챔버벽의 또는 상기 챔버벽에 붙잡혀 있는 고정 부품 (fastening part) 의 밀착면에 지지된다. 압축가스를 상기 틸팅 액추에이터의 상기 내부 중공 공간 안으로 불어넣을 때, 상기 내부 중공 공간의 부피가 커지고, 이때 적어도 일부 영역에서 탄성적인 및/또는 플렉시블한 재료로 형성되어 있는 상기 벽은 상기 밀착면 (상기 밀착면에 상기 벽이 지지된다) 의 방향으로 팽창되며, 이를 통해 상기 틸팅 액추에이터는 상기 도어 바디를 상기 틸트축 둘레로 선회시킨다.

이러한 틸팅 액추에이터는 통틀어“인플레터블 요소 (inflatable element)”라고 불리울 수도 있다.

본 발명의 바람직한 실시형태에서, 상기 틸팅 액추에이터의 상기 내부 중공 공간은 완전히, 탄성적인 및/또는 플렉시블한 벽에 의해 한정된다. 바람직하게는, 이러한 인플레터블 요소는 인플레터블 튜브 (inflatable tube) 의 형태로 형성되어 있다.

바람직하게는, 상기 틸트축의 마주 보고 있는 쪽들에는 각각 하나의 틸팅 액추에이터가 배치되어 있으며, 상기 틸팅 액추에이터들은 각각, 그의 연장부의 적어도 일 부분에 걸쳐 탄성적인 및/또는 플렉시블한 벽을 구비하고, 상기 벽은 상기 틸팅 액추에이터의 상기 내부 중공 공간을 그의 둘레의 적어도 일 부분에 걸쳐 한정하며, 그리고 상기 도어 바디의 밀착면에 및/또는 상기 챔버벽의 또는 상기 챔버벽에 붙잡혀 있는 고정 부품의 밀착면에 지지된다. 상기 틸트축의 한쪽에 놓여 있는 틸팅 액추에이터는 한 선회방향으로의 밸브 바디의 틸팅을 초래하며, 이때 상기 폐쇄 부재는 그의 개방위치로부터 그의 중간위치로 이동되고, 그리고 상기 틸트축의 다른 쪽에 놓여 있는 틸팅 액추에이터는 다른 선회방향으로의 상기 틸트축 둘레의 상기 도어 바디의 틸팅을 초래하며, 이때 상기 폐쇄 부재는 그의 중간위치로부터 그의 폐쇄위치로 이동된다. 스프링 탄성적인 요소를 이용해 틸팅 방향들 중 하나로의 틸팅을 실행하는 것도 가능하다.

본 발명의 바람직한 실시형태에 따르면, 상기 도어 바디는 상기 챔버벽에 고정될 수 있는 고정 부품 (fastening device) 에, 상기 틸트축 둘레로 틸팅 가능하게 지지되어 있다. 이때, 적어도 하나의 틸팅 액추에이터가 상기 고정 부품에 또는 상기 도어 바디에 붙잡혀 있을 수 있다.

상기 폐쇄 부재를 그의 개방위치로부터 그의 중간위치로 이동시키기 위해, 상기 적어도 하나의 로드 (상기 로드에 상기 폐쇄 부재가 고정되어 있다) 는 바람직하게는 축방향으로 이동 가능하게 상기 도어 바디 안에 안내되어 있으며, 그리고 로드들-드라이브 (rods-drive) 에 의해, 바람직하게는 적어도 하나의 피스톤-실린더 유닛에 의해 그의 세로축의 방향으로 이동될 수 있다.

이하, 본 발명의 그 밖의 장점들 및 상세 내용들은 첨부된 도면을 근거로 설명된다.

도 1 은 폐쇄 부재의 폐쇄위치에서, 개구부를 구비한 진공 챔버의 챔버벽에 부착된 본 발명의 실시예에 따른 도어를 비스듬히 바라본 도면;
도 2 는 폐쇄 부재의 중간위치에서, 도 1 에 상응하는 비스듬히 바라본 도면;
도 3 은 폐쇄 부재의 개방위치에서, 도 1 에 상응하는 비스듬히 바라본 도면;
도 4 는 다른 시선 방향에서, 폐쇄 부재의 개방위치에서 비스듬히 바라본 도면;
도 5 은 폐쇄 부재의 폐쇄위치에서의 도면, 도 6 은 평면도;
도 7 은 도 5 의 선 (AA) 을 따른 단면;
도 8 은 도 5 의 선 (BB) 을 따른 단면;
도 9 는 폐쇄 부재의 중간위치에서, 도 7 에 상응하는 단면;
도 10 은 폐쇄 부재의 개방위치에서, 도 7 에 상응하는 단면 (진공 챔버의 다른 벽들이 개략적으로 암시되어 있다);
도 11 은 폐쇄 부재의 폐쇄위치에서 비스듬히 바라본 도면 (도어 바디와 고정 부품의 베어링 부품들은 제거되어 있다);
도 12 는 본 발명에 따른 도어의 제 2 실시형태의 도면;
도 13 은 도 12 의 도어를 비스듬히 바라본 도면 (압축공기를 공급하기 위한 도 12 에 도시되어 있는 접합관은 편의상 생략되어 있다);
도 14 는 도 12 의 선 (CC) 을 따른 단면;
도 15 는 도 14 의 일부를 확대시킨 도면;
도 16 은 도 12 의 선 (DD) 을 따른 단면;
도 17 은 도 12 의 선 (EE) 을 따른 단면;
도 18 은 본 발명에 따른 도어의 제 3 실시형태의 도면;
도 19 는 도 18 의 도어를 비스듬히 바라본 도면;
도 20 은 도 19 에 상응하여 비스듬히 바라본 도면 (도어 바디를 위한 커버는 생략되어 있다);
도 21 은 도 18 의 선 (FF) 을 따른 단면;
도 22 는 도 18 의 선 (GG) 을 따른 단면;
도 23 은 도 22 의 부분 (H) 을 확대시킨 도면 그리고
도 24 는 도 21 의 시선 방향 (I) 에서 바라본, 그에 의해 받쳐져 있는 폐쇄 부재 및 베어링 블록들을 가진 도어 바디의 도면이다.

본 발명에 따른 도어의 실시예는 도 1 내지 도 11 에 도시되어 있다. 상기 도어는 플레이트 모양의 폐쇄 부재 (1) 를 포함하며, 상기 폐쇄 부재는 그의 폐쇄위치에서 (도 1 및 도 5 내지 도 8 참조) 진공 챔버 (4) 의 챔버벽 (3) 안의 개구부 (2) 를 밀봉시킨다. 이를 위해, 상기 폐쇄 부재는 링 모양의 시일 (seal, 5) 을 구비하며, 상기 시일은 챔버벽 (3) 의 밀봉면 (6) 에 내리눌려져 있다. 그러므로, 개구부 (2) 를 둘러싸는 시트 (7) (폐쇄 부재 (1) 는 그의 폐쇄위치에서 상기 시트에 갖다대져 있다) 는 도시되어 있는 실시예에서 밀봉면 (6) 에 의해 형성된다. 시일 (5) 을 시트 (7) 에 배치시키고, 밀봉면 (6) 을 폐쇄 부재 (1) 에 배치시키는 것도 가능하다.

폐쇄 부재 (1) 는 연결 부품 (8) 을 통해 로드 (9) 에 고정되어 있다. 로드 (9) 는 그의 세로축 (11) 의 방향으로 이동 가능하게 도어 바디 (10) 안에 안내되어 있다.

그의 세로축 (11) 의 방향으로의 로드 (9) 의 축방향 이동을 위해, 로드 드라이브 (12) 가 사용되며, 상기 로드 드라이브는 여기에서 피스톤-실린더 유닛 (12) 으로서 설계되어 있다. 피스톤-실린더 유닛 (12) 은 도어 바디 (10) 안에 형성된 실린더 구멍 (13), 및 그 안에 배치된 피스톤 (14) 에 의해 형성되며, 상기 피스톤에는 로드 (9) 가 고정되어 있고, 상기 로드는 밀봉되어 실린더 구멍 (13) 밖으로 안내되어 있다. 도어 바디 (10) 의 마주 보고 있는 쪽에는, 마찬가지로 피스톤 (14) 에 고정된 가이드 로드 (guide rod, 15) 가 밀봉되어 실린더 구멍 (13) 밖으로 안내되어 있다. 도어 바디 (10) 의 외부에 놓여 있는 가이드 로드 (15) 의 단부에는 요크 (16) 가 고정되어 있으며, 상기 요크에는, 가이드 로드 (15) 의 양쪽에 비틀림 방지 로드들 (17, 18) 부착되어 있고, 상기 비틀림 방지 로드들은 도어 바디 (10) 의 보어들 (bores) 안으로 이동 가능하게 안내되어 있다. 이러한 방식으로, 로드 (9) 를 위한, 그리고 이로써 폐쇄 부재 (1) 를 위한 비틀림 방지가 형성된다.

비틀림 방지는 다른 방식으로도 형성될 수 있으며, 예컨대 로드 (9) 및/또는 가이드 로드 (15) 의 둥글지 않은 형태 및 도어 바디 (10) 안에서의 상응하는 안내를 통해 형성될 수 있다. 이 이외에, 폐쇄 부재 (1) 는 2개 이상의 로드 (9) 에 부착될 수도 있으며, 상기 로드들은 도어 바디 (10) 안에 이동 가능하게 안내되어 있고, 그리고 각각 하나의 피스톤-실린더 유닛에 의해 또는 하나의 공통의 피스톤-실린더 유닛에 의해 이동될 수 있다. 후자의 경우, 상기 로드들은 도어 바디 (10) 를 관통하여 안내되어 있을 수 있으며, 그리고 폐쇄 부재 (1) 로부터 멀리 향하는 그들의 단부들에서 요크를 통해 연결되어 있을 수 있고, 상기 요크에는 상기 피스톤-실린더 유닛의 피스톤 로드도 맞물리며, 바람직하게는 폐쇄 부재 (1) 를 받치고 있는 상기 두 로드 사이의 가운데에서 맞물린다.

챔버벽 (3) 에 의해 받쳐져 있는 도어 바디 (10) 는, 개구부 (2) 의 축 (19) 에 대해 직각으로 또는 시트 (7) 의 평면에 대해 평행으로 놓여 있는 틸트축 (20) 둘레로 선회 가능하게 또는 틸팅 가능하게 챔버벽 (3) 과 연결되어 있고, 이때 상기 도어 바디는 챔버벽 (3) 의 대기측에, 즉 진공 챔버 (4) 의 진공 영역의 외부에 배치되어 있다.

챔버벽 (3) 에 대한 도어 바디 (10) 의 선회 가능한 지지를 위해, 도시되어 있는 실시예에서는 챔버벽 (3) 에 고정된 고정 부품 (fastening part, 21) 이 사용되며, 상기 고정 부품은 도어 바디 (10) 를 틸트축 (20) 둘레로 틸팅 가능하게 지지한다. 예컨대, 고정 부품 (21) 은 지지 플레이트 (23) 에 나사결합된 베어링 블록들을 구비할 수 있으며, 상기 베어링 블록들은 축핀들을 구비하고, 상기 축핀들은 도어 바디 (10) 안의 보어들 안으로 돌출한다 (도 8 에서 이러한 보어 또는 부시 (24) 를 알아볼 수 있다).

고정 부품 (21) 에는 틸팅 액추에이터들 (25, 26) 이 붙잡혀 있고, 상기 틸팅 액추에이터들은 튜브 모양의 인플레터블 요소들의 형태로 형성되어 있다. 이 튜브 모양의 인플레터블 요소들은 챔버벽 (3) 을 향하는 쪽에서는 고정 부품 (21) 의 밀착면 (37) 에 밀착하고, 챔버벽 (3) 으로부터 멀리 향하는 쪽에서는 도어 바디 (10) 의 밀착면 (38) 에 밀착한다. 로드 (9) 의 세로축 (11) 의 방향과 관련하여, 틸트축 (20) 의 양쪽에 각각 하나의 틸팅 액추에이터 (25, 26) 가 배치되어 있다.

다른 틸팅 액추에이터 (25, 26) 가 무압으로 유지되면 (= 대기와 연결된) 두 틸팅 액추에이터 (25, 26) 중 하나 안으로 압축공기를 채워 넣음으로써, 도어 바디 (10) 는 틸트축 (20) 둘레로 한 회전방향으로 선회되고, 그리고 상기 한 틸팅 액추에이터 (25, 26) 가 무압으로 유지되는 동안 상기 다른 틸팅 액추에이터 (25, 26) 안으로 압축공기를 채워 넣음으로써 도어 바디 (10) 는 다른 회전방향으로 틸팅된다. 틸팅 액추에이터들 (25, 26) 을 위한 압축공기와 다른 충전 매체가 원칙적으로 가능하며, 하지만 압축공기가 선호된다.

각각의 틸팅 액추에이터 (25, 26) 는 내부 중공 공간 (27) 을 구비한다. 각각의 틸팅 액추에이터 (25, 26) 의 내부 중공 공간 (27) 안으로 압축공기를 채워 넣을 때 상기 내부 중공 공간 (27) 의 부피가 커지고, 이때 틸팅 액추에이터 (25, 26) 의 치수는 개구부 (2) 의 축 (19) 의 방향과 관련하여 커진다. 상기 압축공기를 빼낼 때, 중공 공간 (27) 의 부피 또는 각각의 틸팅 액추에이터 (25, 26) 의 축 (19) 의 방향으로의 치수가 다시 감소한다.

이 실시예에서, 각각의 틸팅 액추에이터 (25, 26) 의 내부 중공 공간 (27) 은 완전히 또는 전체 둘레에 걸쳐 탄성 벽 (39) 에 의해 둘러싸여 있고, 이 벽은 압축공기가 내부 중공 공간 (27) 안으로 채워 넣어지면 팽창된다.

탄성 벽 (39) 은 바람직하게는 고무 탄성 재료, 예컨대 바이톤 (viton) 으로 구성된다.

벽 (39) 을 탄성적으로 팽창 가능한 재료로 형성하는 대신, 상기 벽 (39) 을 플렉시블 (flexible) 재료로 형성하는 것도 가능하다. 도어 바디 (10) 를 틸팅시키기 위해, 또다시 압축공기는 상기 플렉시블한 벽에 의해 둘러싸인 상기 내부 중공 공간 (그의 부피는 우선 거의 영 (zero) 과 동일할 수 있다) 안으로 불어넣어지고, 이때 우선 서로 밀착하며 마주 보고 있는 벽 섹션들은 상기 내부 중공 공간 (27) 의 부피의 확대하에 펴질 수 있다. 벽 (39) 을 형성하는 재료의 탄성적으로 팽창 가능한 특성과 플렉시블한 특성의 조합도 이용될 수 있다. 탄성적으로 팽창 가능할 뿐만 아니라 플렉시블한 이러한 벽은 예컨대 테플론으로 구성될 수 있다. 고무 탄성 재료, 예컨대 바이톤의 이용도 여기에서 또다시 가능하다.

각각의 튜브 모양의 인플레터블 요소는 그의 두 단부와 함께 지지 플레이트 (22) 안의 보어들 안에 배치되어 있고, 이때 상기 요소는 한 단부에서는 닫혀 있고, 그리고 다른 단부에는, 압축공기 라인과 연결시키기 위한 이음부 (28) 를 구비한다. 지지 플레이트 (22) 는 상기 튜브 모양의 인플레터블 요소의 단부들이 배치되어 있는 두 보어 사이의 영역에 리세스 (recess) 를 구비하며, 상기 리세스를 통해, 상기 튜브 모양의 인플레터블 요소의 중앙 영역이 뻗어 있다.

상기 도어의 열린 상태에서 (상기 상태에서 폐쇄 부재 (1) 는 개방위치를 차지한다) (도 4 및 도 10 참조), 틸트축 (20) 에 대해 보다 가까이 개구부 (2) 곁에 놓여 있는 인플레터블 요소 (=틸팅 액추에이터 (25)) 는 부풀어져 있고, 그리고 다른 인플레터블 요소 (=틸팅 액추에이터 (26)) 는 무압 상태에 있다. 폐쇄 부재 (1) 는 개구부 (2) 로부터 원위치로 잡아당겨져 있으며, 따라서 상기 폐쇄 부재는 상기 개구부를 완전히 개방시키고, 즉 개구부 (2) 의 축 (19) 의 방향으로 볼 때 상기 개구부와 겹치지 않는다. 상기 도어를 닫기 위해, 우선 폐쇄 부재 (1) 는 로드 드라이브 (12) 를 이용해 그의 개방위치로부터 그의 중간위치 (도 2 및 도 9 참조) 로 이동되고, 상기 중간위치에서 상기 폐쇄 부재는 밸브 개구부 (2) 를 축 (19) 의 방향으로 볼 때 덮고 있으며, 하지만 시트 (7) 로부터 들어내져 있다. 그 후, 도어 바디 (10) 는 틸트축 (20) 둘레로 선회되고, 이때 공기는 틸트축 (20) 에 대해 보다 가까이 개구부 (2) 곁에 놓여 있는 인플레터블 요소 (=틸팅 액추에이터 (25)) 로부터 빼내지며, 즉 이 인플레터블 요소는 무압 상태에 놓이고 또는 대기와 연결되며, 반면 틸트축 (20) 에 대해 멀리 개구부 (2) 로부터 떨어져 있는 인플레터블 요소 (=틸팅 액추에이터 (26)) 는 부풀어지고, 즉 압력하에 놓인다. 이를 통해, 폐쇄 부재 (1) 는 시트 (7) 에 갖다대지고, 이때 탄성 시일 (5) 은 밀봉면 (6) 에 내리눌려진다. 폐쇄 부재 (1) 는 그의 폐쇄위치를 차지하고, 상기 도어는 그의 닫힌 상태에 있다. 상기 도어의 개방은 정반대의 방향으로 수행된다.

시일 (5) 은 일반적으로 탄성 진공 시일들을 위해 이용되는 고무 탄성 재료, 예컨대 바이톤으로 구성될 수 있다. 시일 (5) 은 폐쇄 부재 (1) 에 가황 처리되어 있을 수 있다. 폐쇄 부재 (1) 에 배치된 홈 안으로의 삽입도 가능하며, 이때 시일 (5) 은 특히 O 링의 형태로 형성되어 있을 수 있다.

상기 도어의 닫힌 상태에서, 진공 챔버 (4) 는 도 10 에 개략적으로 도시되어 있는 진공 펌프 (29) 를 이용해 펌핑 아웃되고 (pumped out), 그리고 진공하에 놓일 수 있다.

틸팅 액추에이터들 (25, 26) 로서의 상기 인플레터블 요소들을 이용함으로써 간단하고 비용 절감적인 구현형태가 달성된다. 도어 바디 (10) 와 고정 부품 (21) 간의 금속 대 금속 접촉이 저지되기 때문에, 파티클의 적은 생성이 달성될 수 있고, 이는 많은 적용에 있어서 바람직하다.

연결 부품 (8) 은 탄성적으로 형성되어 있을 수 있으며, 따라서 적어도 하나의 로드 (9) 의 세로축 (11) 에 대해 직각으로 그리고 시트 (7) 의 평면에 대해 평행으로 놓여 있는 틸트축 둘레의 폐쇄 부재 (1) 의 탄성적인 틸팅이 가능해진다. 이를 통해, 이 틸트축과 관련된 폐쇄 부재 (1) 의 정확하지 않은 위치에서도 시일 (5) 의 균일한 가압이 달성될 수 있다. 상기 적어도 하나의 로드 (9) 에 대한 폐쇄 부재 (1) 의 틸팅 능력은 다른 방식으로도 달성될 수 있으며, 예컨대 설명 도입부에 언급된 US 6,471,181 B2 에 따른 선행기술에 상응하여 달성될 수 있다.

특히, 폐쇄 부재 (1) 가 2개 이상의 로드에 부착되어 있는 구현형태에서는, 로드들-드라이브는 2개 이상의 액추에이터, 예컨대 피스톤-실린더 유닛들을 구비할 수 있고, 예컨대 각각의 로드를 위해 자기 자신의 피스톤-실린더 유닛을 구비할 수 있다.

본 발명의 제 2 실시예는 도 12 내지 도 17 에 도시되어 있다. 제 1 실시예와 동일한 부품들에게는 동일한 부호들이 사용된다. 이하, 제 1 실시예에 대한 차이들이 기술된다.

폐쇄 부재 (1) 는 이 실시예에서는 3개의 로드 (9, 9', 9'') 에 의해 받쳐지며, 상기 로드들에 의해 상기 폐쇄 부재는 그의 개방위치로부터 그의 중간위치를 거쳐 그의 폐쇄위치로 움직여지고, 그리고 정반대로 움직여진다.

로드들 (9, 9', 9'') 은 이번에도 서로 평행으로 놓여 있는 그들의 세로축 (11) 들의 방향으로 이동될 수 있다. 축방향 이동을 위해, 도어 바디 (10) 의 영역에 배치되어 있는 로드들-드라이브 (12) 가 사용된다. 상기 로드들의 다른 단부들은 폐쇄 부재 (1) 와 연결되어 있다. 상기 연결은 이번에도, 플레이트 모양의 상기 폐쇄 부재가 로드들 (9, 9', 9'') 의 세로축 (11) 에 대해, 상기 세로축 (11) 들에 대해 직각으로 그리고 폐쇄 부재 (1) 의 중앙 평면에 대해 평행으로 놓여 있는 축 둘레로 선회될 수 있도록 수행된다. 이를 위해, 베어링 부품들 (30, 31) 은 이 축 둘레로 선회 가능하게 폐쇄 부재 (1) 에 대해 지지되어 있다. 이를 위해, 상기 베어링 부품들은, 횡단면에 있어서 폐쇄 부재 (1) 의 중앙 평면에 대해 직각으로 볼 때 원호 모양인 베어링면 (32) 들을 구비하며, 상기 베어링면들은 폐쇄 부재 (1) 의 각각의 원호 모양 베어링면과 상호 작용한다. 베어링 부품들 (30, 31) 은 베어링면 (32) 을 구비하는 버섯 모양의 머리를 구비하며, 상기 머리는 폐쇄 부재 (1) 의 리세스 안에 놓여 있고, 상기 리세스는 베어링면 (32) 을 구비한다. 폐쇄 부재 (1) 에 나사결합된 커버 플레이트 (33) 는 (상기 커버 플레이트는 개구부를 구비하며, 상기 개구부를 통해 각각의 베어링 부품 (30, 31) 의 넥 (neck) 이 나온다), 베어링 부품 (30, 31) 이 폐쇄 부재 (1) 의 상기 리세스 밖으로 뽑아내지는 것을 저지한다. 상기 머리와 상기 베어링 부품 (30, 31) 의 넥 사이의 오프셋부와 커버 플레이트 (33) 사이에는, 탄성 재료로 만들어진 링 (34) 이 삽입되어 있다. 베어링 부품들 (30, 31) 에 대한 폐쇄 부재 (1) 의 선회는, 폐쇄 부재 (1) 의 중간 위치로 탄성적인 복원력을 가하는 이 링 (34) 에 대해 수행된다.

예컨대 2개의 베어링 부품 (30, 31) 이 존재하며, 상기 베어링 부품들은 상기 축 (상기 축 둘레로 폐쇄 부재 (1) 는 베어링 부품들 (30, 31) 에 대해 선회 가능하다) 의 방향으로 서로 간격을 두고 있다. 단지 하나의 베어링 부품 또는 2개보다 많은 베어링 부품이 가능하다.

커버 플레이트 (33) 밖으로 돌출하는 베어링 부품들 (30, 31) 의 단부들에는 연결 부품 (8) 이 고정되어 있으며, 상기 연결 부품에는 또한 로드들 (9, 9', 9'') 이 고정되어 있다. 예컨대, 상기 연결 부품은 - 이를 위해 도시되어 있는 바와 같이 - L 모양 횡단면을 갖도록 형성되어 있을 수 있으며, 이때 두 다리 (leg) 중 하나에는 베어링 부품들 (30, 31) 이 고정되어 있고, 다른 하나에는 로드들 (9, 9', 9'') 이 고정되어 있다.

로드들-드라이브 (12) 는 로드들 (9, 9', 9'') 각각을 위해 자기 자신의 액추에이터를 포함하며, 상기 액추에이터는 피스톤-실린더 유닛에 의해 형성되어 있다. 예컨대, 이를 위해 도어 바디 (10) 는 실린더 구멍 (13) 들을 구비하며, 상기 실린더 구멍들 안에는 각각 하나의 피스톤 (14) 이 배치되어 있다. 도어 바디 (10) 에 붙잡혀 있는 별도의 실린더들이 제공되어 있을 수 있다.

피스톤 (14) 들은 각각 단동식으로 형성되어 있으며, 즉 그들은 각각의 로드 (9, 9', 9'') 의 세로축 (11) 에 대해 평행하는 한 방향으로만 작용한다. 이때, 예컨대 중간 로드 (9) 와 상호 작용하는 피스톤 (14) 은 폐쇄 방향으로 작용하며, 즉 폐쇄 부재 (1) 를 그의 개방위치로부터 그의 중간위치로 이동시키는데 사용되고, 측부 로드들 (9', 9'') 과 상호 작용하는 두 피스톤 (14) 은 개방 방향으로 작용하며, 즉 상기 폐쇄 부재를 그의 중간위치로부터 그의 개방위치로 이동시키는데 사용된다. 그러므로, 개방 방향으로 작용하는 전체적인 피스톤면 (이것은 측부 로드들 (9, 9') 과 상호 작용하는 피스톤 (14) 들의 피스톤면들의 합계이다) 은, 폐쇄 방향으로 작용하는 피스톤면 (이것은 중간 로드 (9) 와 상호 작용하는 피스톤 (14) 의 피스톤면이다) 보다 크다.

틸팅 액추에이터들 (25, 26) 은 원칙적으로 제 1 실시예에서와 동일한 방식으로 형성되어 있을 수 있고, 하지만 그들은 여기에서는 도어 바디 (10) 에 고정되어 있다. 이때, 인플레터블 튜브들의 형태로 형성되어 있는 상기 틸팅 액추에이터들의 두 단부는 도어 바디 (10) 의 보어들 안에 배치되어 있으며, 그리고 이 두 단부 사이에 놓여 있는 중앙 영역에서는 상기 도어 바디의 리세스 안에 뻗어 있고, 이때 상기 틸팅 액추에이터들은 부풀어질 때 각각 이 리세스의 바닥 (상기 바닥은 도어 바디 (10) 의 밀착면 (38) 을 형성한다) 에 지지된다. 개방 방향으로 작용하는 틸팅 액추에이터 (25) 를 위해, 상기 리세스를 통해 뻗어 있는 이 중앙 영역은 도 13 에서 알아볼 수 있다. 이 이외에, 틸팅 액추에이터들은 챔버벽 (3) 에 부착된 고정 부품 (21) 에 지지되며, 보다 정확히 말하면 고정 부품 (21) 의 지지 블록들 (35, 36) 의 밀착면 (37) 들에 지지된다.

이 제 2 실시예의 변경에 따르면, 틸팅 액추에이터들 (25, 26) 이 바로 챔버벽 (3) 에 지지되는 것이 가능하다. 이 경우, 도어 바디 (10) 는, 바로 챔버벽 (3) 에 고정된 베어링 부품들을 통해 챔버벽 (3) 에 대해 선회 가능하게 형성되어 있을 수 있으며, 그리고 도어 바디 (10) 와 챔버벽 (3) 사이에 뻗어 있는 플레이트 모양의 고정 부품이 생략될 수 있다.

다른 한편으로는, 이 실시예는 틸팅 액추에이터들 (25, 26) 이 고정 부품 (21) 에 고정되어 있도록 변경될 수도 있다.

특히 도 14 에서 알아볼 수 있는 바와 같이, 틸트축 (20) 은 두 틸팅 액추에이터 (25, 26) 에 대해 비대칭적으로 놓여 있다. 이때, 개방 방향으로 작용하는 (즉, 폐쇄 부재 (1) 를 그의 폐쇄위치로부터 그의 중간위치로 이동시키는) 틸팅 액추에이터 (25) 의 레버암은, 폐쇄 방향으로 작용하는 (즉, 폐쇄 부재 (1) 를 그의 중간위치로부터 그의 폐쇄위치로 이동시키는) 틸팅 액추에이터 (26) 의 레버암보다 크다.

개방 방향으로의 피스톤면과 폐쇄 방향으로의 피스톤면의 서로 다른 크기들을 통해, 그리고 개방 방향으로의 또는 폐쇄 방향으로의 틸트축 (20) 둘레의 틸팅 액추에이터들 (25, 26) 의 서로 다른 토크들을 통해, 상기 도어의 개방 및 폐쇄시 폐쇄 부재 (1) 의 순서에 맞는 L 운동을 위한 시퀀스 제어가 간단한 방식으로 달성될 수 있다. 이때, 폐쇄 방향으로 작용하는 피스톤면과 폐쇄 방향으로 작용하는 틸팅 액추에이터 (26) 는 상기 액추에이터들을 구동시키는 압축공기의 시스템 압력으로 항상 가압되어 있을 수 있다. 상기 도어가 그의 열려 있는 상태로부터 시작하여 닫혀져야 하면, 개방 방향으로 작용하는 피스톤면들과 개방 방향으로 작용하는 틸팅 액추에이터 (25) 는 무압 상태에 놓이게 되고, 즉 대기 압력과 연결된다. 상기 도어가 그의 닫혀 있는 상태로부터 시작하여 열려져야 하면, 개방 방향으로 작용하는 피스톤면들과 개방 방향으로 작용하는 틸팅 액추에이터 (25) 는 압축공기로 가압된다. 각각 폐쇄 부재 (1) 의 순서에 맞는 L 운동이 발생하며, 이때 통틀어 단지 하나의 유일한 스위칭 밸브가 필요하고, 상기 스위칭 밸브는 개방 방향으로 작용하는 피스톤면들 및 개방 방향으로 작용하는 틸팅 액추에이터 (25) 로 압축공기를 안내하는 연결 라인을 상기 압축공기의 시스템 압력 또는 대기 압력과 연결시킨다. 이 시퀀스 제어는 설명 도입부에 언급된 US 6,056,266 에 상응하는 선행기술에 공지된 시퀀스 제어와 비슷하다.

개방 방향으로 또는 폐쇄 방향으로 작용하는 서로 다른 피스톤면들은 로드들-드라이브 (12) 를 위한 3개보다 많거나 또는 적은 액추에이터들에서도 가능하며 또는 로드들-드라이브 (12) 를 위한 복동식 피스톤에서도 가능하고, 이 경우 단지 하나의 유일한 피스톤-실린더 유닛이 이용될 수도 있다. 상기 기술된 시퀀스 제어는 이러한 구현형태들에서도 실현될 수 있고, 예컨대 본 발명의 맨 먼저 기술된 제 1 실시예에서도 실현될 수 있다.

폐쇄 부재 (1) 는 상기 3개의 도시되어 있는 로드 (9, 9', 9'') 보다 많거나 또는 적은 로드들에 의해 받쳐질 수도 있다.

시퀀스 제어 대신, L 운동은 상응하여 제어된 별도의 밸브들을 통해 달성될 수도 있다.

도 18 내지 도 24 에 도시되어 있는 제 3 실시예는 상기 기술된 제 2 실시예와는 본질적으로 틸팅 액추에이터들 (25', 26') 의 구현형태에 의해 구별된다. 각각의 틸팅 액추에이터 (25', 26') 의 내부 중공 공간 (27) 은 여기에서는 전체 둘레가 아니라 단지 한쪽에서만, 탄성적인 및/또는 플렉시블한 재료를 구비한 벽 (39) 에 의해 한정되어 있다. 그 밖에는, 내부 중공 공간 (27) 은 도어 바디 (10) 의 섹션들에 의해, 즉 강성 (rigid) 벽들에 의해 한정된다. 일부 영역에서 탄성적으로 팽창 가능한 및/또는 플렉시블한 벽 (39) 은 도어 바디 (10) 와 밀봉적으로 연결되어 있으며, 이때 상기 벽은 도어 바디 (10) 의 리세스를 덮는다. 도어 바디 (10) 와의 밀봉된 연결을 위해, 도시되어 있는 실시예에서는 주변 (peripheral) 프레임 (frame, 40) 이 사용되며, 이때 벽 (39) 의 탄성 멤브레인 (elastic membrane) 은 그의 가장자리 영역에 있어서 둘레에 걸쳐 도어 바디 (10) 와 프레임 (40) 사이에 끼어 넣여져 있다. 이를 위해, 프레임 (40) 은 나사 (41) 들을 이용해 도어 바디 (10) 와 나사결합되어 있다.

도어 바디 (10) 와 상기 탄성 멤브레인 간의 밀봉을 개선시키기 위해, 이 멤브레인은 그의 둘레 가장자리의 영역에 불룩 나온 두꺼운 부분을 지니고 있을 수 있으며, 상기 두꺼운 부분은 도어 바디 (10) 의 표면에 내리눌려져 있다 (상기 불룩 나온 두꺼운 부분은 도면들에는 가압되지 않은 상태로 도시되어 있으며, 따라서 상기 두꺼운 부분은 도어 바디 (10) 안으로 돌출되어 도시되어 있다).

상기 멤브레인과 도어 바디 (10) 간의 다른 밀봉 연결들도 또한 가능하며, 예컨대 상기 탄성 멤브레인은 도어 바디 (10) 에 가황 처리되어 있거나 또는 접착되어 있다.

내부 중공 공간 (27) 으로부터 멀리 향하는 상기 탄성 멤브레인의 외면에는 작은 지지 플레이트 (small support plate) 가 부착되어 있으며, 특히 가황 처리되어 있거나 또는 접착되어 있다. 작은 지지 플레이트 (42) 의 팽창을 통해, 상기 멤브레인의 탄성적인 팽창성, 그리고 이로써 유연성이 상기 작은 지지 플레이트에 의해 저지되고, 그리고 이로써 내부 중공 공간 (27) 을 한정하는 벽 (39) 은 이 영역에서 전체적으로 뻣뻣하다.

작은 지지 플레이트 (42) 를 통해, 적어도 일부 섹션에서 탄성적으로 및/또는 플렉시블하게 형성되어 있는 각각의 틸팅 액추에이터 (25', 26') 의 벽 (39) 은 고정 부품 (21) 의 각각의 지지 블록 (35, 36) 의 밀착면 (37) 에 지지된다.

각각의 틸팅 액추에이터 (25', 26') 를 작동시키기 위해, 압축공기가 내부 중공 공간 (27) 안으로 불어넣어진다. 이를 통해, 상기 중공 공간의 부피는 상기 탄성 멤브레인의 팽창을 통해 커지며, 이때 벽 (39) 은 챔버벽 (3) 을 향한 방향으로 이동된다.

틸팅 액추에이터 (26) 의 내부 중공 공간 (27) 은 채널 (43) 을 통해, 로드들 드라이브 (12) 의 폐쇄 방향으로 작용하는 실린더 공간과 연결되어 있으며, 이를 통해 시퀀스 제어가 형성될 수 있다. 틸팅 액추에이터 (26) 의 내부 중공 공간 (27) 안으로 압축공기를 채워 넣기 위한 별도의 채널도 가능하다.

이 제 3 실시예의 여러 가지 변경도 가능하다. 즉, (적어도 일부 섹션에서) 탄성적으로 팽창 가능한 및/또는 플렉시블한 각각의 틸팅 액추에이터 (25', 26') 의 벽 (39) 은 바로 챔버벽 (3) 에 지지될 수도 있다.

작은 지지 플레이트 (42) 는 생략될 수도 있으며, 따라서 벽 (39) 은 그의 전체 연장부에 걸쳐 탄성적이며 및/또는 플렉시블하다.

도어 바디 (10) 안에 틸팅 액추에이터들 (25', 26') 을 통합시키는 대신, 틸팅 액추에이터들 (25', 26') 은 고정 부품 (21) 안에 통합되어 있을 수 있으며, 이때 (적어도 일부 영역에서) 탄성적인 및/또는 플렉시블한 벽 (39) 은 도어 바디 (10) 의 밀착면 (37) 에 지지될 것이다.

벽 (39) 은 팽창 가능하지 않게 그리고 (적어도 일부 영역에서) 플렉시블하게만 형성되어 있을 수도 있다.

상기 기술된 실시예들에서 그러한 것처럼 상기 폐쇄 부재를 그의 개방위치로부터 그의 중간위치로 이동시키기 위해 로드 (9) 의 선형 이동이 선호될지라도, 모든 기술된 상기 실시형태들에서 상기 폐쇄 부재를 그의 개방위치와 그의 중간위치 사이에서 이동시키기 위해 상기 도어 바디에서의 상기 로드의 선회 가능한 지지, 및 상기 로드를 그의 선회축 둘레로 선회시키는 로드들-드라이브도 가능하다.

도어 바디 (10) 의 틸팅 가능한 지지는 기술된 바와 다른 방식으로도 수행될 수 있으며, 예컨대 베어링 블록 (23) 들이 바로 챔버벽 (3) 에 부착되어 있음으로써 수행될 수 있다. 그러므로, 지지 플레이트 (22) 는 생략될 수 있으며, 인플레터블 요소들로서 형성된 틸팅 액추에이터들 (25, 26) 은 한편으로는 도어 바디 (10) 에 지지되고, 다른 한편으로는 바로 챔버벽 (3) 에 지지된다.

회전 방향들 중 하나로 틸트축 (20) 둘레로 작용하는 단지 하나의 틸팅 액추에이터만 제공되어 있을 수 있으며, 상기 틸팅 액추에이터는 스프링 탄성적인 요소에 맞서 작용하고, 상기 요소는 충전 매체를 상기 틸팅 액추에이터 밖으로 빼낼 때 도어 바디 (10) 를 다시 원래대로 틸팅시킨다.

압축공기 대신 다른 압축가스, 특히 질소가 이용될 수도 있다.

1 : 폐쇄 부재 2 : 개구부
3 : 챔버벽 4 : 진공 챔버
5 : 시일 6 : 밀봉면
7 : 시트 8 : 연결 부품
9, 9', 9'' : 로드 10 : 도어 바디
11 : 세로축 12 : 로드들-드라이브
13 : 실린더 구멍 14 : 피스톤
15 : 가이드 로드 16 : 요크
17 : 비틀림 방지 로드 18 : 비틀림 방지 로드
19 : 축 20 : 틸트축
21 : 고정 부품 22 : 지지 플레이트
23 : 베어링 블록 24 : 보어
25, 25' : 틸팅 액추에이터 26, 26' : 틸팅 액추에이터
27 : 중공 공간 28 : 이음부
29 : 진공 펌프 30 : 베어링 부품
31 : 베어링 부품 32 : 베어링면
33 : 커버 플레이트 34 : 링
35 : 지지 블록 36 : 지지 블록
37 : 밀착면 38 : 밀착면
39 : 벽 40 : 프레임
41 : 나사 42 : 작은 지지 플레이트
43 : 채널

Claims

진공 챔버 (4) 의 챔버벽 (3) 안의 개구부 (2) 를 대기에 대해 폐쇄하기 위한 도어로서, 상기 도어는 폐쇄 부재 (1) (상기 폐쇄 부재는 적어도 하나의 로드 (9, 9', 9'') 에 부착되어 있으며, 그리고 상기 폐쇄 부재는 그가 상기 개구부 (2) 를 개방시키는 개방위치와, 그가 상기 개구부 (2) 를 덮고 있으나 상기 개구부 (2) 를 둘러싸는 시트 (7) 로부터 들어내져 있는 중간위치와, 그리고 그가 상기 시트 (7) 에 내리눌려져 있는 폐쇄위치 사이에서 이동될 수 있다) 와, 도어 바디 (10) (상기 도어 바디는 상기 적어도 하나의 로드 (9, 9', 9'') 및 상기 폐쇄 부재 (1) 를 받치고 있으며, 그리고 상기 도어 바디는 상기 폐쇄 부재 (1) 를 상기 중간위치와 상기 폐쇄위치 사이에서 이동시키기 위해 상기 챔버벽 (3) 에 대해 틸트축 (20) 둘레로 틸팅될 수 있다) 와, 적어도 하나의 틸팅 액추에이터 (25, 25', 26, 26') (상기 틸팅 액추에이터는 내부 중공 공간 (27) 을 구비하며, 상기 중공 공간 안으로, 상기 도어 바디 (10) 를 상기 틸트축 (20) 둘레로 틸팅시키기 위해 압축가스가 도입될 수 있다) 를 포함한, 개구부 (2) 를 폐쇄하기 위한 도어에 있어서,
상기 틸팅 액추에이터 (25, 25', 26, 26') 의 상기 내부 중공 공간 (27) 을 한정하는 상기 틸팅 액추에이터 (25, 25', 26, 26') 의 적어도 하나의 벽 (39) 은 그의 연장부의 적어도 일 섹션에 걸쳐 탄성적으로 및/또는 플렉시블하게 형성되어 있으며 그리고 상기 도어 바디 (10) 의 밀착면 (38) 에 및/또는 상기 챔버벽 (3) 의 또는 상기 챔버벽 (3) 에 붙잡혀 있는 고정 부품 (21) 의 밀착면 (37) 에 지지되는 것을 특징으로 하는, 개구부 (2) 를 폐쇄하기 위한 도어.
제 1 항에 있어서, 상기 틸팅 액추에이터 (25, 26) 의 상기 내부 중공 공간은 완전히, 탄성적으로 및/또는 플렉시블하게 형성된 벽 (39) 에 의해 한정되며, 상기 벽은 한편으로는 상기 도어 바디 (10) 의 밀착면 (38) 에 지지되고 그리고 다른 한편으로는 상기 챔버벽 (3) 의 또는 상기 챔버벽 (3) 에 붙잡혀 있는 상기 고정 부품 (21) 의 밀착면 (37) 에 지지되는 것을 특징으로 하는 도어.
제 2 항에 있어서, 상기 틸팅 액추에이터 (25, 26) 는 인플레터블 튜브로서 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 도어.
제 3 항에 있어서, 인플레터블 튜브의 형태로 형성되어 있는 상기 틸팅 액추에이터 (25, 26) 는 그의 두 단부와 함께 고정 부품 (21) 안의 또는 도어 바디 (10) 안의 보어들 안에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 도어.
제 4 항에 있어서, 상기 고정 부품 (21) 또는 상기 도어 바디 (10) 는 인플레터블 튜브로서 형성되어 있는 상기 틸팅 액추에이터 (25, 26) 의 상기 단부들이 배치되어 있는 두 보어 사이의 영역에 리세스 (recess) 를 구비하며, 상기 리세스의 영역에서, 상기 튜브의 중앙 섹션은 상기 고정 부품 (21) 의 밀착면 (37) 에 그리고 상기 도어 바디 (10) 의 밀착면 (38) 에 지지되는 것을 특징으로 하는 도어.
제 1 항에 있어서, 그의 형성부의 적어도 일 섹션에 걸쳐 탄성적으로 및/또는 플렉시블하게 형성된 상기 벽 (39) 은 탄성적인 및/또는 플렉시블한 멤브레인 (membrane) 을 구비하며, 상기 멤브레인은 상기 틸팅 액추에이터 (25', 26') 의 강성 (rigid) 섹션과 밀봉적으로 연결되어 있고, 이때 상기 틸팅 액추에이터 (25', 26') 의 상기 내부 중공 공간 (27) 은 상기 멤브레인과 상기 틸팅 액추에이터 (25', 26') 의 상기 강성 섹션 사이에 놓여 있는 것을 특징으로 하는 도어.
제 6 항에 있어서, 상기 틸팅 액추에이터 (25', 26') 의 상기 강성 섹션은 상기 도어 바디 (10) 에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 도어.
제 6 항 또는 제 7 항에 있어서, 상기 내부 중공 공간 (27) 으로부터 멀리 향하는 상기 멤브레인의 표면에는 작은 지지 플레이트 (42) 가 부착되어 있으며, 상기 작은 지지 플레이트는 상기 밀착면 (37, 38) 에 지지되는 것을 특징으로 하는 도어.
제 1 항 내지 제 8 항에 있어서, 상기 도어 바디 (10) 는 상기 챔버벽 (3) 에 고정될 수 있는 고정 부품 (fastening part, 21) 에, 틸트축 (20) 둘레로 틸팅 가능하게 지지되어 있는 것을 특징으로 하는 도어.
제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 틸트축 (20) 의 마주 보고 있는 쪽들에는 각각 하나의 틸팅 액추에이터 (25, 26) 가 배치되어 있으며, 상기 틸팅 액추에이터의 각각 상기 내부 중공 공간 (27) 을 한정하는 적어도 하나의 벽 (39) 은 그의 연장부의 적어도 일 섹션에 걸쳐 탄성적으로 및/또는 플렉시블하게 형성되어 있고, 상기 벽은 상기 도어 바디 (10) 의 밀착면 (38) 에 및/또는 상기 챔버벽 (3) 의 또는 상기 챔버벽 (3) 에 붙잡혀 있는 고정 부품 (21) 의 밀착면 (37) 에 지지되는 것을 특징으로 하는 도어.
제 1 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 로드 (9) 또는 상기 로드들 (9, 9', 9'') 중 적어도 하나는 축방향으로 이동 가능하게 상기 도어 바디 (10) 안에 안내되어 있는 것을 특징으로 하는 도어.
제 1 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 로드 (9, 9', 9'') 는 상기 폐쇄 부재 (1) 를 상기 개방위치와 상기 중간위치 사이에서 이동시키기 위해 로드들-드라이브 (12) 에 의해 그의 세로축 (11) 의 방향으로 이동될 수 있는 것을 특징으로 하는 도어.
제 12 항에 있어서, 상기 로드들-드라이브 (12) 는 상기 도어 바디 (10) 의 실린더 구멍 (13) 안에 배치된 적어도 하나의 피스톤 (14) 을 포함하며, 상기 로드 (9) 또는 상기 로드들 (9, 9', 9'') 중 적어도 하나는 상기 피스톤과 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 도어.
제 1 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 폐쇄 부재 (1) 는 상기 챔버벽 (3) 의 대기측에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 도어.
제 1 항 내지 제 14 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 로드 (9, 9', 9'') 는 상기 도어 바디 (10) 에 대해 그의 세로축 (11) 둘레의 비틀림에 대해, 비틀리지 않도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 도어.