CN102713388B - 用于封闭开口的门 - Google Patents

Abstract

一种用于使真空腔室（4）的腔室壁（3）中的开口（2）相对于大气封闭的门，其包括封闭部件（1）、门体（10）以及至少一个倾翻执行器（25，25’，26，26’），所述封闭部件安置在至少一个连杆（9，9’，9”）上，并且所述封闭部件能够在打开位置、中间位置以及闭合位置之间调整，在所述打开位置中所述封闭部件释放开口（2），在所述中间位置中所述封闭部件覆盖开口（2）但是从包围开口（2）的底座（7）中升起来，在所述闭合位置中所述封闭部件压紧到所述底座（7）上；所述门体承载有至少一个连杆（9，9’，9”）和所述封闭部件（1），并且所述门体为了在所述中间位置与所述闭合位置之间调整所述封闭部件（1）能够相对于所述腔室壁（3）围绕倾翻轴线（20）倾翻；所述倾翻执行器具有内部空腔（27），能够将压缩气体导入到所述空腔中，以使所述门体（10）围绕倾翻轴线（20）倾翻。所述倾翻执行器（25，25’，26，26’）的至少一个限定所述倾翻执行器（25，25’，26，26’）的内部空腔（27）的壁（39）至少在其伸展部的区段上弹性地和/或柔性地构造。

Description

用于封闭开口的门

技术领域

本发明涉及一种用于使真空腔室的腔室壁中的开口相对于大气封闭的门，其包括封闭部件、门体以及至少一个倾翻执行器，所述封闭部件安置在至少一个连杆上并且所述封闭部件可以在打开位置、中间位置与闭合位置之间调整，在所述打开位置中封闭部件释放开口，在所述中间位置中封闭部件覆盖开口但是从包围开口的底座中升起来，在所述闭合位置中封闭部件压紧在底座上；所述门体承载有至少一个连杆以及所述封闭部件，并且所述门体为了调整封闭部件在所述中间位置与闭合位置之间可以相对于腔室壁围绕倾翻轴线倾翻；所述倾翻执行器具有内部的空腔，可以将压缩气体导入到所述空腔中以使门体围绕倾翻轴线倾翻。

背景技术

以不同的实施例已知用于真空密封地封闭真空腔室中的开口的门。这种门例如用于将工件引入到闸门室(Schleusenkammer)或者说装载闸室(Load-Lock-Kammer)中，在抽空真空腔室后将工件从闸门室输送到另一个腔室，在所述另一个腔室中在真空条件下执行加工步骤。

例如由US 6，056，266已知一真空门。为了使封闭部件压紧到围绕开口的底座上，从封闭部件的拉回的打开位置开始执行L形运动，在该打开位置中封闭部件完全释放开口。在此执行的调整行程的第一区段中封闭部件通过第一驱动装置平行于开口或底座的平面移动，直到封闭部件覆盖开口，但是还从底座中升起。在调整行程的第二区段中封闭部件通过第二驱动装置垂直于开口或底座的平面移动，直到封闭部件压紧到底座上并且通过以密封面挤压的密封部来真空密封地封闭开口。第一和第二驱动装置由活塞气缸单元形成。为了对于封闭部件的合乎逻辑的L形运动形成顺序控制，活塞气缸单元的在打开方向和闭合方向上作用的活塞面是不同大小的。在闭合方向上作用的活塞面持续地加载驱动活塞气缸单元的压缩空气的系统压力。当门要从打开状态开始关闭时，则第一和第二驱动装置在打开方向上作用的活塞面处于无压力状态，也就是说相应的气缸室进行排气。当门要从其闭合位置开始打开时，则在打开方向上作用的活塞面加载压缩空气的系统压力。为了顺序正确地在打开和关闭门时执行L形运动，只需唯一的分配阀（Schaltventil）。

例如由US 6,899,316 B2，US 2007/0272888 A1和US 6,916,009 B2已知其它的真空门，其中封闭部件在打开和关闭真空门时执行L形运动。

由DE 196 33 798 A1已知一种开头提到的类型的真空门，其中同样以上述方式实现沿着调整行程的第一区段的调整。为了使封闭部件从覆盖开口的、但是从底座中升起的位置压紧到底座上，在这里门的门体相对于真空腔室的具有开口的腔室壁可倾翻地支承，由门可移动地引导连杆，在连杆上固定封闭部件。利用活塞气缸单元使门体围绕倾翻轴线倾翻，以便使封闭部件压紧到底座上并且从底座中升起。为了完全打开门，通过活塞气缸单元轴向移动连杆这种方式，拉回在底座中升起的封闭部件。

由WO 2009/070824 A1已知一种真空阀，其中也描述了作为真空门的使用。在此封闭部件也设置在真空腔室外部并且用于封闭腔室壁中的开口。仅仅利用一个驱动装置（它作为执行器可以具有两个活塞气缸单元）就可以打开和关闭封闭部件，由驱动装置轴向移动连杆，在连杆上安置封闭部件。从释放位置出发，在该位置中封闭部件完全释放开口，封闭部件首先平行于开口或者说平行于包围开口的底座的平面移动，直到封闭部件抵靠到导向部件上，所述导向部件布置在开口两侧并且具有与底座的平面成角度的导向面。通过这个导向面使封闭部件通过调整行程的末端区段在到达其闭合位置之前与底座的平面成角度地移动，直到封闭部件贴靠到底座上并且密封部压紧到密封面上。

由US 6,471,181 B2已知阀板在阀杆上的固定，其中阀板可以围绕轴线倾翻，该轴线与阀杆轴线成直角。

由US 2007/0290157 A1已知一种真空阀，其中封闭单元包括用于封闭阀孔的阀板。在封闭单元内部布置调整活塞，在所述调整活塞上安置顶杆，所述顶杆支撑在阀壳体上以将阀板压紧到阀座上。封闭单元的至少一个工作室由薄膜密封部限定，所述工作室可以加载压缩气体以移动调整活塞。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种开头提到的类型的真空门，它简单而且成本低廉地进行构造。

该目的按照本发明通过具有权利要求1的特征的门得以实现。

在按照本发明的门中存在至少一个倾翻执行器以使门体围绕倾翻轴线倾翻，所述倾翻执行器具有内部空腔，可以将压缩气体导入到所述内部空腔中。倾翻执行器的至少一个限定内部空腔的壁首先局部弹性地和/或柔性地构造并且支撑在门体的接触面上和/或腔室壁或者固定在腔室壁的固定零件上的接触面上。在将压缩气体充入到倾翻执行器的内部空腔中时，所述内部空腔的容积扩大，其中至少局部地由弹性和/或柔性材料构造的壁朝向接触面伸展，所述壁支承在所述接触面上，由此倾翻执行器使门体围绕倾翻轴线偏转。

这种倾翻执行器总体上也可以被称为“可充气的单元”。

在本发明的有利的实施方式中，所述倾翻执行器的内部空腔完全由弹性的和/或柔性的壁限定。这种可充气的单元优选以可充气的软管的形式构造。

优选在倾翻轴线的对置侧面上各布置一个倾翻执行器，所述倾翻执行器各具有一个至少在其伸展部的一部分上弹性的和/或柔性的壁，所述壁至少在其圆周的一部分上限定倾翻执行器的内部空腔，并且其支承在门体的接触面上和/或腔室壁或者固定在腔室壁上的固定零件的接触面上。位于倾翻轴线一侧上的倾翻执行器起到使阀体在偏转方向上倾翻的作用，其中所述封闭部件从其打开位置调整到中间位置，并且位于倾翻轴线另一侧上的倾翻执行器起到使门体围绕倾翻轴线在另一偏转方向上倾翻的作用，其中所述封闭部件从其中间位置调整到其闭合位置。原则上可以考虑并且实现的是：借助弹性的单元执行在倾翻方向其中之一上的倾翻。

本发明的一种有利的实施方式规定，所述门体围绕倾翻轴线可倾翻地支承在有待固定在腔室壁上的固定零件上。

为了使封闭部件在其打开位置与其中间位置之间进行调整，至少一个连杆有利地、可轴向移动地在门体中引导并且由连杆驱动装置、优选至少一个活塞气缸单元在其纵轴线的方向上移动，所述封闭部件固定在所述连杆上。

附图说明

下面借助于附图详细解释本发明的其它优点和细节。在附图示出：

图1是按照本发明实施例的、安置在具有开口的真空腔室的腔室壁上的门在封闭部件的闭合位置中的斜视图；

图2是根据图1的、在封闭部件的中间位置中的斜视图；

图3是根据图1的、在封闭部件的打开位置中的斜视图；

图4是由另一观察方向看去的、在封闭部件的打开位置的斜视图；

图5和图6是在封闭部件的闭合位置中的视图和俯视图；

图7是沿着图5的线AA的截面图；

图8是沿着图5的线BB的截面图；

图9是根据图7的、在封闭部件的中间位置中的截面图；

图10是根据图7的、在封闭部件的打开位置中的截面图，其简示出真空腔室的其它壁；

图11是在封闭部件的闭合位置中、去掉门体和固定零件的支承架的斜视图；

图12是按照本发明的门的第二实施例的视图；

图13是图12所示的门的斜视图，其为了简化去掉了在图12中示出的、用于供给压缩空气的连接管；

图14是沿着图12的线CC的截面图；

图15是图14的截取区段的放大图；

图16是沿着图12的线DD的截面图；

图17是沿着图12的线EE的截面图；

图18是按照本发明的门的第三实施例的视图；

图19是图18所示的门的斜视图；

图20是根据图19的斜视图，其去掉了用于门体的盖板；

图21是沿着图18的线FF的截面图；

图22是沿着图18的线GG的截面图；

图23是图22的细节H的放大图；以及

图24是具有由门体支承的封闭部件和支承架的门体沿着图21的观察方向I的视图。

具体实施方式

在图1至11中示出了按照本发明的门的实施例。所述门包括板状的封闭部件1，所述封闭部件在其闭合位置（参见图1和图5至8）中密封在真空腔室4的腔室壁3中的开口2。为此所述封闭部件具有环形的密封部5，所述密封部压紧到腔室壁3的密封面6上。因此在所示的实施例中由密封面6形成包围开口2的底座7，封闭部件1在其闭合位置中贴靠到所述底座上。也能够将密封部5布置在底座7上，并且将密封面6布置在封闭部件1上。

封闭部件1通过连接零件8固定在连杆9上。连杆9在门体10中在其纵轴线11的方向上可移动地引导。

连杆驱动装置12用于使连杆9在其纵轴线11的方向上轴向地移动，所述连杆驱动装置在这里实施为活塞气缸单元12。所述活塞气缸单元12由在门体10中构造的气缸孔13和布置在其中的活塞14构成，在所述活塞上固定连杆9，连杆密封地由气缸孔13中引导出来。在门体10的对置侧面上同样固定在活塞14上的导向连杆15密封地从气缸孔13中引导出来。在导向连杆15的位于门体10外部的端部上固定磁轭（Joch）16，在导向连杆15的两侧上防扭转杆17，18安置在所述磁轭上，所述防扭转杆在门体10的孔中可移动地引导。通过这种方式构造用于连杆9进而用于封闭部件1的防扭转装置。

也可以通过其它方式构造防扭转装置，例如通过连杆9和/或导向连杆15的非圆形的结构和在门体10中的相应的导向部。此外，封闭部件1也可以安置在两个或多个连杆9上，所述连杆在门体10中可移动地引导，并且可以分别被活塞气缸单元或共同的活塞气缸单元移动。在后一种情况下连杆可以穿过门体10引导并且在其离开封闭部件1的端部上通过磁轭来连接，在所述磁轭上、优选在支承封闭部件1的两个连杆之间在中心地也嵌接活塞气缸单元的活塞杆。

由腔室壁3支承的门体10与腔室壁3围绕与开口2的轴线19成直角或者说平行于底座7的平面放置的倾翻轴线20可偏转或者说可倾翻地连接，其中所述门体布置在腔室壁3的大气一侧，也就是说布置在真空腔室4的真空范围以外。

在所示的实施例中，固定在腔室壁3上的固定零件21用于相对于腔室壁3可偏转地支承门体10，固定零件围绕倾翻轴线20可倾翻地支承门体10。例如固定零件21在此可以具有旋紧在支撑小板23上的支承架，所述支承架具有轴螺栓，轴螺栓伸入到门体10中的孔中（在图8中可以看到这样的孔或套筒24）。

倾翻执行器25，26支撑在固定零件21上，所述倾翻执行器以软管形的可充气元件的形式构造。这种软管形的可充气元件在其指向腔室壁3的侧面上贴靠在固定零件21的接触面37上，并且在其背离腔室壁3的侧面上贴靠在门体10的接触面38上。关于连杆9的纵轴线11的方向，倾翻执行器25，26分别布置在倾翻轴线20的两侧。

通过将压缩空气充入到两个倾翻执行器25，26其中之一中，当另一个倾翻执行器25，26保持无压力时（相当于与大气连接）时，门体10围绕倾翻轴线20在一个旋转方向上偏转，并且通过将压缩空气充入到另一个倾翻执行器25，26中，而所述倾翻执行器25，26保持无压力，那么门体10在另一个旋转方向上倾翻。原则上可以考虑并且能够将其它填充介质作为用于倾翻执行器25，26的压缩空气，但是其中压缩空气是优选的。

各个倾翻执行器25，26具有内部空腔27。在将压缩空气充入到各个倾翻执行器25，26的内部空腔27中时扩大了内部空腔27的容积，其中倾翻执行器25，26的尺寸关于开口2的轴线19方向扩大。在压缩空气排气时空腔27的容积或者说尺寸在各个倾翻执行器25，26的轴线方向上又会缩小。

在这个实施例中，各个倾翻执行器25，26的内部空腔27完全地或者说整个圆周地被弹性壁39包围，当将压缩空气充入到内部空腔27中时，壁会伸展。

弹性的壁39优选由橡胶弹性的材料、例如氟橡胶（Viton）制成。

代替由可弹性伸展的材料制成的壁39的结构，也可以考虑并实现由柔性材料制成的壁39的结构。为了倾翻门体10可以再将压缩空气充入到由柔性壁包围的内部空腔（其容积初始可能接近等于零）中，其中首先相互贴靠对置的壁区段在扩大内部空腔27的容积的情况下可以相互折叠分开。也可以充分利用形成壁39的材料的可弹性伸展的和柔性的特性的组合。这种不仅可弹性伸展的而且柔性的壁例如可以由特氟龙（Teflon）制成。在这里也可以考虑并实现使用橡胶弹性的材料、例如氟橡胶。

各个可充气的软管形的元件利用其两个端部布置在托板22的孔中，其中所述元件在一端上封闭，并且在另一端上具有用于与压缩空气管道连接的接头28。托板22在两个孔之间的区域中具有凹部，软管形的可充气元件的端部布置在所述孔中，软管形的可充气元件的中间区域穿过所述凹部延伸。

在门的打开状态中，相对于倾翻轴线20接近开口2的可充气元件（相当于倾翻执行器25）充气，并且另一个可充气元件（相当于倾翻执行器26）无压力，在所述打开状态中封闭部件1占据打开位置（参见图4和10）。封闭部件1从开口2拉回，从而所述封闭元件完全释放所述开口，也就是说，沿着开口2的轴线19的方向看不与所述开口重叠。为了关闭门首先借助连杆驱动装置12使封闭部件1从其打开位置移动到其中间位置（参见图2和9），在所述中间位置中，所述封闭部件沿着轴线19的方向看覆盖阀开口2，但是从底座7中升起。接着围绕倾翻轴线20偏转门体10，其中将空气从相对于倾翻轴线20接近开口2的可充气元件（相当于倾翻执行器25）中排出，也就是说，将这个可充气元件设置成无压力的或者说与大气相连，而相对于倾翻轴线20进一步离开开口2的可充气元件（相当于倾翻执行器26）充气，也就是说，处于压力下。由此使封闭部件1贴靠在底座7上，其中弹性密封部5压紧到密封面6上。封闭部件1占据其闭合位置并且门处于其关闭状态。在相反的意义中将门打开。

密封部5可以由传统的、用于弹性的真空密封部的橡胶弹性的材料、例如氟橡胶制成。密封部5可以硫化到封闭部件1上。也能够插入到安置在封闭部件1上的槽中，其中密封部5尤其能够以O形环的形式构造。

在门的关闭状态中，可以借助在图10中示意性地示出的真空泵29泵空真空腔室4并且使其处于真空状态下。

通过使用可充气元件作为倾翻执行器25，26实现了简单而成本低廉的结构。因为避免了在门体10与固定零件21之间的金属与金属的接触，所以可以产生少量的颗粒，这在许多应用中是期望的。

连接零件8可以弹性地构造，从而实现封闭部件1围绕垂直于至少一个连杆9的纵轴线11并且平行于底座7的平面放置的倾翻轴线的弹性倾翻。由此在封闭部件1关于该倾翻轴线不精确地定位时也可以实现均匀地挤压密封部5。封闭部件1关于至少一个连杆9的可倾翻性也能够以其它方式、例如根据在说明书导言中提到的、按照US 6，471，181 B2的现有技术来实现。

尤其对于封闭部件1安置在两个或多个连杆上的这种结构来说，连杆驱动装置也可以具有两个或多个执行器、例如活塞气缸单元，例如对于每个连杆来说具有自身的活塞气缸单元。

在图12至17中示出了本发明的第二实施例。对于与第一实施例类似的零件来说使用相同的附图标记。下面描述与第一实施例的差别。

在这个实施例中封闭部件1由三个连杆9，9’，9”支承，由所述三个连杆使封闭部件从其打开位置经由其中间位置运动到其闭合位置，反之亦然。

连杆9，9’，9”仍然可以在其相互平行的纵轴线11的方向上移动。布置在门体10的区域中的连杆驱动装置12用于轴向移动。连杆的另一端与封闭部件1连接。仍然如此实现连接，从而使得板状的封闭部件可以相对于连杆9，9’，9”的纵轴线11围绕垂直于纵轴线11并且平行于封闭部件1的中间平面放置的轴线偏转。为此支承零件30，31围绕该轴线相对于封闭部件1可偏转地支承。为此支承零件在横截面中沿着垂直于封闭部件1的中间平面看去具有圆弧形支承面32，所述支承面与封闭部件1的相应的圆弧形支承面共同作用。支承零件30，31具有带有支承面32的蘑菇形头部，所述头部位于封闭部件1的凹部中，所述凹部具有支承面32。旋紧在封闭部件1上的、具有开口的盖板33防止支承零件30，31被从封闭部件1中的凹部中拉出来，各个支承零件30，31的颈部穿过所述开口。在头部与支承零件30，31的颈部之间的凸肩（Absatz）与盖板33之间嵌入由弹性材料制成的环34。封闭部件1相对于支承零件30，31朝向这个环34偏转，所述环施加弹性复位力到封闭部件1的中间位置中。

例如存在两个支承零件30，31，它们在轴线方向上相互间隔距离地布置，围绕所述轴线封闭部件1可以相对于支承零件30，31偏转。可以考虑并实现仅仅一个支承零件或多于两个支承零件。

在支承零件30，31的、从盖板33突出来的端部上固定连接零件8，在所述连接零件上还固定有连杆9，9’，9”。为此连接零件例如可以如图所示在横截面中构造成L形，其中在两个支腿其中之一上固定支承零件30，31并且在两个支腿的另一个上固定连杆9，9’，9”。

连杆驱动装置12对于每个连杆9，9’，9”来说包括自身的执行器，所述执行器由活塞气缸单元构成。为此门体10例如具有气缸孔13，在所述气缸孔中各布置一个活塞14。也可以设有单独的、支撑在门体10上的气缸。

活塞14总是简单作用地构造，也就是说，其只在平行于各个连杆9，9’，9”的纵轴线11的方向上起作用。在此，例如与中间的连杆9共同作用的活塞14在闭合方向上起作用，也就是说，用于使封闭部件1从其打开位置移动到其中间位置，而两个与侧面的连杆9’，9”共同作用的活塞14在打开方向上起作用，也就是说，用于使封闭部件从其中间位置移动到其打开位置。因此在打开方向上作用的总活塞面（它是指与侧面的连杆9’，9”共同作用的活塞14的活塞面的总和）大于在闭合方向上起作用的活塞面（它是指与中间连杆9共同作用的活塞14的活塞面）。

倾翻执行器25，26原则上能够以与第一实施例相同的方式构造，但是其中它们在这里固定在门体10上。在此以可充气的软管的形式构造的倾翻执行器的两个端部布置在门体10的孔中并且在所述门体的凹部中的、位于这两个端部之间的中间区域中延伸，其中它们在充气时分别支承在该凹部的底部上，所述底部形成门体10的接触面38。对于在打开方向上作用的倾翻执行器25来说，在图13中可以看到这个中间的、穿过凹部延伸的区域。倾翻执行器还支撑在安置在腔室壁13上的固定零件21上，也就是支撑在固定零件21的支撑块35，36的接触面37上。

可以如此考虑并实现该第二实施例的一种变型方案，从而使得倾翻执行器25，26直接支撑在腔室壁3上。在这种情况下门体10可以通过直接固定在腔室壁3上的支承零件相对于腔室壁3可偏转地构造，并且可以省略在门体10与腔室壁3之间延伸的板状的固定零件。

另一方面该实施例也可以如此变型，从而使得倾翻执行器25，26固定在固定零件21上。

倾翻轴线20与两个倾翻执行器25，26不对称，如同尤其由图14看到的那样。在此，在打开方向上起作用（也就是说使封闭部件1从其闭合位置调整到其中间位置）的倾翻执行器25的杠杆臂大于在闭合方向上起作用（也就是说使封闭部件1从其中间位置调整到其闭合位置）的倾翻执行器26的杠杆臂。

通过在打开方向和闭合方向上的活塞面的不同大小并且通过倾翻执行器25，26围绕倾翻轴线20在打开方向和闭合方向上的不同转矩，可以以简单的方式在打开和关闭门时实现用于封闭部件的合乎逻辑的L形运动的顺序控制（Folgesteuerung）。在此在闭合方向上起作用的活塞面和在闭合方向上起作用的倾翻执行器26能够持续地加载驱动执行器的压缩空气的系统压力。当所述门要从其打开状态出发而关闭时，则在打开方向上起作用的活塞面和在打开方向上起作用的倾翻执行器25处于无压力状态，也就是说与大气压力连接。当所述门要从其关闭状态出发而打开时，则在打开方向上起作用的活塞面和在打开方向上起作用的倾翻执行器25加载压缩空气。由此分别产生封闭部件1合乎逻辑的L形运动，其中总共仅仅需要唯一的换向阀，所述换向阀使连接管道与压缩空气的系统压力或者与大气压力连接，所述连接管道引导压缩空气到在打开方向上起作用的活塞面和在打开方向上起作用的倾翻执行器25。这种顺序控制与由现有技术已知的、根据在说明书导言中提到的US 6，056，266的顺序控制类似。

在打开方向和闭合方向上作用的、不同的活塞面在多于或少于三个用于连杆驱动装置12的执行器时也可以实现，或者说对于用于连杆驱动装置12的双重作用的活塞来说也可以实现，其中在这种情况下也可以仅仅使用唯一的活塞气缸单元。前述的顺序控制也可以在这些结构中实现，例如也在首先描述的、本发明第一实施例中实现。

封闭部件1也可以由多于或少于三个所示的连杆9，9’，9”支承。

代替顺序控制也可以通过单独的、相应地触发的阀门实现L形运动。

在图18至24中示出的第三实施例与前述的第二实施例的不同之处基本上在于倾翻执行器25’，26’的构造。在这里倾翻执行器25’，26’的内部空腔27不是全圆周地而是只在一个侧面上由具有弹性的和/或柔性的材料的壁39限定。其余的内部空腔27由门体10的区段限定，因此由刚性壁限定。可局部地弹性伸展的和/或柔性的壁39与门体10密封地连接，其中壁跨过门体10的凹部。在所示实施例中环绕的框架40用于与门体10密封地连接，其中壁39的弹性膜在其边缘区域中圆周地夹紧在门体10与框架40之间。框架40为此借助螺栓41与门体10旋紧。

为了改善门体10与弹性膜之间的密封可以使该膜在其圆周边缘的区域中设有凸起形的加厚部，所述加厚部压紧到门体10的表面上（在附图中以未挤压的状态示出凸起形的加厚部，从而示出了所述加厚部伸入到门体10中）。

同样能够实现在膜与门体10之间的其它密封的连接，例如弹性膜可以硫化（anvulkanisieren）或粘接到门体10上。

在弹性膜的背离内部空腔27的外表面上安置、尤其是硫化或粘接支撑小板。通过所述支撑小板42的伸展抑制弹性的可伸展性进而由此抑制膜的柔性，因此限定内部空腔27的壁39在这个区域中总体上是刚性的。

通过支撑小板42使各个倾翻执行器25’，26’的至少局部弹性和/或柔性地构造的壁39支撑在固定零件21的各个支撑块35，36的接触面37上。

为了操纵各个倾翻执行器25’，26’，将压缩空气充入到内部空腔27中。由此通过弹性膜的伸展扩大所述内部空腔的容积，其中壁39朝向腔室壁3移动。

倾翻执行器26的内部空腔27通过通道43与在连杆驱动装置12闭合方向上起作用的气缸室连接，由此可以构成顺序控制。也能够实现用于将压缩空气充入到倾翻执行器26的内部空腔27中的单独的通道。

能够实现该第三实施例的不同变型方案。因此各个倾翻执行器25’，26’的（至少局部地）弹性伸展的和/或柔性的壁39也可以直接支撑在腔室壁3上。

也可以省略支撑小板42，由此壁39在其整个伸长上是弹性的和/或柔性的。

代替将倾翻执行器25’，26’集成到门体10中也可以将倾翻执行器25’，26’集成到固定零件21中，其中（至少局部地）弹性的和/或柔性的壁39支撑在门体10的接触面37上。

壁39也可以是不可伸展的并且仅仅（至少局部地）柔性地构造。

尽管连杆9优选直线移动以使封闭部件从其打开位置调整到其中间位置，如在所述实施例中是这种情况，但是在所有所描述实施例中为了使封闭部件在其打开位置与其中间位置之间进行调整也可以实现门体上的连杆的可偏转的支承，并且实现使连杆围绕其旋转轴线偏转的连杆驱动装置。

例如通过将支承架23直接安置在腔室壁3上这种方式，也能够以与所描述的不同的方式实现门体10的可倾翻的支承。因此也可以省略托板22并且构造成可充气元件的倾翻执行器25，26能够一方面支撑在门体10上、另一方面直接支撑在腔室壁3上。

也可以仅仅设置一个在旋转方向其中之一上围绕倾翻轴线20作用的倾翻执行器，其朝弹簧弹性的元件作用，所述弹簧弹性的元件在填充介质从倾翻执行器中排出时再将门体10翻回。

代替压缩空气也可以使用其它的压缩气体、尤其是氮气。

附图标记清单

1  封闭部件

2  开口

3  腔室壁

4  真空腔室

5  密封部

6  密封面

7  底座

8  连接零件

9，9’，9”   连杆

10  门体

11  纵轴线

12  连杆驱动装置

13  气缸孔

14  活塞

15  导向连杆

16  磁轭

17  防扭转杆

18  防扭转杆

19  轴线

20  倾翻轴线

21  固定零件

22  托板

23  支承架

24  孔

25，25’   倾翻执行器

26，26’   倾翻执行器

27  空腔

28  接头

29  真空泵

30  支承零件

31  支承零件

32  支承面

33  盖板

34  环

35  支撑块

36  支撑块

37  接触面

38  接触面

39  壁

40  框架

41  螺栓

42  支撑小板

43  通道

Claims (15)

1.用于使真空腔室（4）的腔室壁（3）中的开口（2）相对于大气封闭的门，其包括

封闭部件（1），所述封闭部件安置在至少一个连杆（9，9’，9”）上，并且所述封闭部件能够在打开位置、中间位置以及闭合位置之间调整，在所述打开位置中所述封闭部件释放开口（2），在所述中间位置中所述封闭部件覆盖开口（2）但是从包围开口（2）的底座（7）中升起来，在所述闭合位置中所述封闭部件压紧到所述底座（7）上；

门体（10），所述门体承载有所述至少一个连杆（9，9’，9”）和所述封闭部件（1），并且所述门体为了在所述中间位置与所述闭合位置之间调整所述封闭部件（1）能够相对于所述腔室壁（3）围绕倾翻轴线（20）倾翻；以及

至少一个倾翻执行器（25，25’，26，26’），所述倾翻执行器具有内部空腔（27），能够将压缩气体导入到所述空腔中，以使所述门体（10）围绕倾翻轴线（20）倾翻，

其特征在于，所述倾翻执行器（25，25’，26，26’）的至少一个限定所述倾翻执行器（25，25’，26，26’）的内部空腔（27）的壁（39）至少在其伸展部的区段上弹性地和/或柔性地构造，并且支撑在所述门体（10）的接触面（38）上和/或支撑在所述腔室壁（3）或者固定在所述腔室壁（3）上的固定零件（21）的接触面（37）上。

2.按权利要求1所述的门，其特征在于，所述倾翻执行器（25，26）的内部空腔完全由弹性地和/或柔性地构造的壁（39）限定，所述壁一方面支撑在所述门体（10）的接触面（38）上、并且另一方面支撑在所述腔室壁（3）或者固定在所述腔室壁（3）上的固定零件（21）的接触面（37）上。

3.按权利要求2所述的门，其特征在于，所述倾翻执行器（25，26）构造成能够充气的软管。

4.按权利要求3所述的门，其特征在于，所述以能够充气的软管的形式构造的倾翻执行器（25，26）利用其两个端部布置在所述固定零件（21）中的孔中或者布置在所述门体（10）中。

5.按权利要求4所述的门，其特征在于，所述固定零件（21）或所述门体（10）在两个孔之间的区域中具有凹部，构造成能够充气的软管的倾翻执行器（25，26）的端部布置在所述孔中，所述软管的中间的区段在所述凹部的区域中支撑在所述固定零件（21）的接触面（37）以及所述门体（10）的接触面（38）上。

6.按权利要求1所述的门，其特征在于，所述至少在其伸展部的区段上弹性地和/或柔性地构成的壁（39）具有弹性的和/或柔性的薄膜，所述薄膜密封地与所述倾翻执行器（25’，26’）的刚性的区段连接，其中所述倾翻执行器（25，’26’）的内部空腔（27）位于所述薄膜与所述倾翻执行器（25’，26’）的刚性的区段之间。

7.按权利要求6所述的门，其特征在于，所述倾翻执行器（25’，26’）的刚性的区段由所述门体（10）构造。

8.按权利要求6或7所述的门，其特征在于，在背离所述内部空腔（27）的薄膜表面上安置支撑小板（42），所述支撑小板支撑在所述接触面（37，38）上。

9.按权利要求1所述的门，其特征在于，所述门体（10）围绕所述倾翻轴线（20）可倾翻地支承在固定在所述腔室壁（3）上的固定零件（21）上。

10.按权利要求1所述的门，其特征在于，在所述倾翻轴线（20）的对置的侧面上各布置一个倾翻执行器（25，26），所述倾翻执行器的至少一个限定所述内部空腔（27）的壁（39）至少在其伸展部的区段上分别弹性地和/或柔性地构造，所述壁支撑在所述门体（10）的接触面（38）上和/或支撑在所述腔室壁（3）或者固定在所述腔室壁（3）上的固定零件（21）的接触面（37）上。

11.按权利要求1所述的门，其特征在于，所述连杆（9）或所述连杆（9，9’，9”）中的至少一个能够轴向移动地在所述门体（10）中引导。

12.按权利要求1所述的门，其特征在于，所述至少一个连杆（9，9’，9”）能够由连杆驱动装置（12）在其纵轴线（11）的方向上移动以在所述打开位置与所述中间位置之间调整所述封闭部件（1）。

13.按权利要求12所述的门，其特征在于，所述连杆驱动装置（12）包括至少一个布置在所述门体（10）的气缸孔（13）中的活塞（14），所述连杆（9）或者所述连杆（9，9’，9”）中的至少一个与所述活塞连接。

14.按权利要求1所述的门，其特征在于，所述封闭部件（1）布置在所述腔室壁（3）的大气一侧。

15.按权利要求1所述的门，其特征在于，所述连杆（9，9’，9”）防止相对于所述门体（10）、相对于围绕连杆的纵轴线（11）的扭转。

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