JPS62165004A - 駆動装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （発明の技術分野〕 本発明の高真空容器内あるいは高純度ガス封入容器内に
設置される駆！ｌＪ装買に関する。

〔発明の技術的背景とその問題点〕

高真空容器内あるいは高純度ガス封入容器内に設置され
る装置は、装置自体からの放出ガス量を極力少なく、容
器内の真空度あるいはガス濃度を紐持可０ヒとするもの
でなりればならない。

例えば素粒子実験で使用される粒子検出装置の１つに第
３図に概略図を示すタイムプロジェクションチェンバー
がある。この装置は、圧力容器１６内に高純度のガスが
封入されており、衝突実験にＪこって発生した荷電粒子
が封入ガス中を通過すると、荷電粒子の飛跡に沿ってド
リフト部１７中に自由電子が生じ、この自由電子が圧力
容器１６内部の電場、磁場に応じてドリフト部１７中を
両端の粒子検出部１８まで浮遊していき（第３図矢印）
粒子が検出される仕組みになっている。このタイムプロ
ジェクションチェンバーでは、ｖＪ度よく粒子を測定す
るためには、高純度ガス中に発生した自由電子が、ドリ
フト部１７で電場、磁場の乱れで歪められることなくま
た酸素等の不純物に吸収されることなく粒子検出部１８
まで浮遊しなりれはならない。

このためドリフト部１７で一様電場、一様ｌａ場を確保
し、封入ガスの混合比を一定に保ち不純物の混入を防ぐ
必要がある。

一方粒子検出部１８には、検出器の比較矯正用として５
５　Ｆ　ｅ放射線源を埋込ｌνだ棒（リースロッド）１
９が組込まれており、この棒は駆動装置２０により矯正
時に５５１Ｔｅ照剣位置まで移動する。この駆動装着は
、電場、磁場を乱さないよう非磁性材で製作され、流体
圧力により作動する機（１４のものでな（プればならな
い。

さて、この駆動装置２０としてエアシリンダーを使用す
ると現在のエアーシリンダーは、送り込まれた気体を完
全に密封することができないため、時間の経過とともに
気体が漏れるという欠点かある。第２図に代表的なエア
ーシリンダーを示す。

エアーシリンダーは、シリンダチューブ７内に気体を送
り込むことによりピストン８が移動し、ピストンロッド
９が動く仕組みである。ピストン８にはピストンパツキ
ン１０が、ピストンロッド９にはロッドパツキン１１が
取付けられているが、これらパツキンにはＩ亨１察対策
上グリースが塗イ［されている。ロッドパツキン１１は
、シリンダチューブ７内の気体を封入する役割を果たす
が、厳密には完全に気体を封入できず時間経過とともに
封入気体か漏れ出す。この際、グリースからの蒸発成分
も、気体とともに粒子検出器の高純度ガス中に漏れ出す
。このため、高純度）Ｊス中に不純物が入り、自由電子
の）１遊の障害物となる。従って高純度ガス中で使用さ
れる駆動装置として、流体を完全に密封する構造のもの
が要求されている。

〔発明の目的〕

本発明の目的は長時間圧力を負荷してら流体を完全に密
封できる駆動装置を提供することにある。

〔発明のＷＸ要〕

上記目的を達成するために、本発明の駆動１は、ベロー
ズと、ベローズに取イ」けられベローズの一端の動きを
拘束する固定台と、ベローズのもう一端に取付けられた
可動フランジと、これら固定台と可動フランジの間をつ
なぎ、ベローズの伸縮による可動フランジの運動を案内
する案内棒から構成し、ベローズの中に流体を給排する
ことにより力を外部に伝達するようにする。

（発明の実施例〕 第１図に本発明の実施例の駆動装置の断面図を示す。ベ
ローズ１の一端に固定台２が、他の一端に可動フランジ
３がそれぞれ溶接されている。固定台２には、ベローズ
１内に気体を送り込む流路が聞いている。固定台２を拘
束した状態でベローズ１内に気体を送り込み圧力を上げ
るとベローズ１が伸び、可動フランジ３が移動する。固
定台２には案内棒４が取付けられており、可動フランジ
３は、この案内棒４に案内される形で移動する。

ベローズが伸びた状態では逆に封入気体を排出すること
によりベローズ１内の圧力が降下し、バネ６の力で自然
長までベローズ１を戻し、同時にフランジ３も戻る。外
部への力の伝達は、フランジ３を介して行う。

この実施例によれば、ベローズ３が固定台２とフランジ
３に溶接により完全に接合されているため気密（ず４造
であり、ベローズ１内に送り込まれた気体が、外部に漏
れることがない。従って使用環境中の気体の純度をおと
すことがない。

〔発明の効果〕

以上のように本発明によれば駆動機構として、ベローズ
内に気体を封入しその圧力によるベローズの伸縮を利用
しており、ベローズ両端が完全に密閉１１４造となって
いるため封入ガスが時間経過とともに漏れ出すことがな
い。従って駆動装置使用環境中の気体の純度が低下しな
いという効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の駆動装置を示す断面図、第
２図は従来の駆動装置を示ず断面図、第３図はタイムプ
ロジェクションチェンバーの概略図である。 １・・・ベローズ　　　　　２・・・固定台３・・・可
動フランジ　　　４・・・案内棒５・・・支持板　　　
　　　６・・・バネ７・・・シリンダデユープ　８・・
・ビス１〜ン９・・・ピストンロッド　　１０・・・ピ
ストンパツキン１１・・・ロッドパツキン　　１２・・
・ヘッドカバー１３・・・ブツシュ　　　　　１４・・
・バネ１５・・・ロックナラ１〜　　１６・・・圧力容
器１７・・・ドリフト部　　　　１８・・・粒子検出部
１９・・・リースロッド　　　２０・・・駆！ｌＩ装買
第　　１　　図 第３図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ベローズと、前記ベローズの一端に取付けられた固定台
   と、前記ベローズの他端に取付けられた可動フランジと
   、前記固定台と可動フランジの間をつなぎ可動フランジ
   の運動を案内する案内棒からなり、ベローズ内に流体を
   給排することによって外部に運動を伝達するようにした
   ことを特徴とする駆動装置。