JP7089245B1

JP7089245B1 - デュアルゲートバルブ

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Publication number: JP7089245B1
Application number: JP2020212602A
Authority: JP
Inventors: 洋己下田; 浩司小川; 格長尾
Original assignee: SMC Corp
Current assignee: SMC Corp
Priority date: 2020-12-22
Filing date: 2020-12-22
Publication date: 2022-06-22
Anticipated expiration: 2040-12-22
Also published as: EP4023915A1; JP2022098925A; US20220196156A1; CN114658873A; EP4023915B1; TW202233979A; US11668401B2; KR20220090434A

Abstract

【課題】弁箱の２つの開口を２つの弁板で開閉するゲートバルブを得る。
【解決手段】弁箱２の２つの開口３，３を開閉する２つの弁板４，４と、該２つの弁板４，４を支持するサポートバー５と、該サポートバー５に連結された１つの弁ロッド６と、該弁ロッド６を介して前記２つの弁板４，４を開閉操作する操作部７とを有し、前記サポートバー５及び弁板４は、前記弁ロッド６の中心軸Ｌと直交する横方向に真っ直ぐにしかも細長く延在し、前記サポートバー５の長手方向の中央部に前記弁ロッド６が連結され、該サポートバー５の長手方向の一端及び他端に、前記２つの弁板４，４の一方及び他方がそれぞれ弾性部材１２を介して傾動自在に取り付けられている。
【選択図】図４

Description

本発明は、弁箱の２つの開口を２つの弁板によって開閉するデュアルゲートバルブに関するものである。

半導体処理装置においては、真空チャンバに形成されたゲートの開閉にゲートバルブが使用される。このゲートバルブは、例えば特許文献１に開示されているように、操作部により操作される弁ロッドの先端に弁板を取り付け、この弁板を弁箱内に収容し、この弁箱を真空チャンバに取り付けて、該弁箱の側壁に前記ゲートに通じるように形成された開口を前記弁板で開閉するものである。

ところで、前記半導体処理装置においては、真空チャンバが２つのゲートを備えている場合もある。このような場合、通常は２台のゲートバルブが使用されるが、ゲートバルブを２台使用すると、コストがかかるだけでなく、前記２つのゲート間の距離によっては、２台のゲートバルブを並べて取り付けるのが困難な場合もある。

そこで、１台のゲートバルブの弁ロッドに２つの弁板を取り付け、該２つの弁板で、前記真空チャンバの２つのゲート、即ち弁箱に形成された２つの開口を、同時に開閉するように構成することが考えられる。

ところが、そのように構成した場合、前記２つのゲート間の距離が大きいと、前記弁箱に形成される２つの開口間の距離もそれに応じて大きくなるため、該２つの開口を前記２つの弁板によって均等に開閉するのが難しくなる。

特開２０１０－１２１６８２号公報

本発明の技術的課題は、弁箱の２つの開口を２つの弁板によって同時にしかも均等に開閉することができるゲートバルブを提供することにある。

前記課題を解決するため、本発明によれば、弁箱の２つの開口を個別に開閉する２つの弁板と、該２つの弁板を支持する１つのサポートバーと、該サポートバーに連結された１つの弁ロッドと、該弁ロッドを介して前記２つの弁板を開閉操作する操作部とを有し、前記サポートバー及び弁板は、前記弁ロッドの中心軸と直交する横方向に真っ直ぐにしかも細長く延在し、前記サポートバーの長手方向の中央部に前記弁ロッドが連結され、該サポートバーの長手方向の一端及び他端に、前記２つの弁板の一方及び他方がそれぞれ１つの弾性部材を介して該弁板の長手方向に傾動自在に取り付けられていることを特徴とするデュアルゲートバルブが提供される。

本発明において、前記弾性部材は、互いに平行をなす第１側壁及び第２側壁と、該第１側壁及び第２側壁の横幅方向の一端同士を連結する曲折部とを有し、該曲折部の凸面を前記サポートバーの長手方向外側に向けた姿勢に配設され、前記第１側壁が前記弁板の背面中央部に連結され、前記第２側壁が前記サポートバーの前面端部に連結されていても良い。

この場合、前記弾性部材の前記第１側壁は、前記弁板の背面に、前記第２側壁側から該第１側壁の螺子挿通孔を通して前記弁板の第１螺子孔に螺着した複数の第１螺子により連結され、前記第２側壁には、前記第１螺子に対向する位置に、該第１螺子を工具でねじ込む際に該工具が嵌合する複数の第２切欠部が形成されていることが好ましい。
また、前記弾性部材の前記第２側壁は、前記サポートバーの前面に、前記第１側壁側から前記第２側壁の螺子挿通孔を通して前記サポートバーの第２螺子孔に螺着した複数の第２螺子により連結され、前記第１側壁には、前記第２螺子に対向する位置に、該第２螺子を工具でねじ込む際に該工具が嵌合する複数の第１切欠部が形成されていることが好ましい。

あるいは、前記弾性部材の前記第２側壁は、前記サポートバーの前面に、該サポートバーの背面側から該サポートバーの螺子挿通孔を通して前記第２側壁の第２螺子孔に螺着した複数の第２螺子により連結されていても良い。

また、本発明において、前記弾性部材の第１側壁及び前記弁板のうち、何れか一方に少なくとも１つの第１位置決めピンが設けられると共に、他方に少なくとも１つの第１位置決め溝が設けられ、該第１位置決め溝に前記第１位置決めピンが嵌合することにより前記弾性部材と前記弁板とが相互に位置決めされ、前記弾性部材の第２側壁及び前記サポートバーのうち、何れか一方に少なくとも１つの第２位置決めピンが設けられると共に、他方に少なくとも１つの第２位置決め溝が設けられ、該第２位置決め溝に前記第２位置決めピンが嵌合することにより前記弾性部材と前記サポートバーとが相互に位置決めされていることが望ましい。

この場合、前記第１位置決めピンは、前記弁板の背面の上端部寄りの位置に設けられ、前記第１位置決め溝は、前記第１側壁の上端から下方に向けて一定深さ切り込まれた縦溝であっても良く、あるいは、前記第１位置決めピンは、前記第１側壁の下端寄りの位置に設けられ、前記第１位置決め溝は、前記弁板の下端から上方に向けて一定深さ切り込まれた縦溝であっても良い。

一方、前記第２位置決めピンは、前記第２側壁の高さ方向の中間位置に設けられるか又は前記サポートバーの前面の上下方向の中間位置に設けられ、前記第２位置決め溝は、前記サポートバーの前面の上下方向の中間位置又は前記第２側壁の高さ方向の中間位置において、前記サポートバーの側端部又は前記第２側壁の側端部から横向きに一定深さ切り込まれた横溝であっても良い。

また、本発明において、前記弁ロッドは、前記サポートバーの前面に連結されていることが好ましい。
更に、前記弾性部材の高さは、前記弁板の上下幅と同等か又はそれ以下であり、前記サポートバーの上下幅は、前記弁板の上下幅と同等か又はそれ以下であることが好ましい。

本発明によれば、弁ロッドの先端にサポートバーを取り付け、該サポートバーの一端及び他端に前記２つの弁板の一方及び他方を弾性部材を介して傾動自在に取り付けたので、前記弁ロッドによる操作力で前記サポートバーが少し湾曲し、該サポートバーによる押付力が前記弾性部材に斜めに作用したとしても、該弾性部材が弾性変形することによって前記押付力が弁板に斜めに作用するのが防止され、該弁板全体が前記弁シートに均等に押し付けられる。

第１実施形態のゲートバルブを前面側斜め上方から見た斜視図である。図１のゲートバルブを背面側斜め上方から見た斜視図である。図１のゲートバルブを１つの弁板の位置で断面にした要部縦断面図である。図１のゲートバルブの弁箱及び操作部を省略した状態の斜視図である。図４のゲートバルブを背面側から見た斜視図である。図４のゲートバルブの平面図である。図６をＶＩＩ－ＶＩＩ線で切断した拡大端面図である。弁ロッドとサポートバーとの連結部分を分解して示す斜視図である。図８を背面側から見た斜視図である。弁板とサポートバーとの連結部分を分解して示す斜視図である。図１０を背面側から見た斜視図である。第２実施形態のゲートバルブの弁箱及び操作部を省略した状態の斜視図である。図１２のゲートバルブの一部を分解した要部拡大斜視図である。図１３を背面側から見た斜視図である。

図１－図１１には第１実施形態のゲートバルブ１が示されている。このゲートバルブ１は、２つのゲートを有する不図示の真空チャンバに取り付けて使用するもので、図１－図３に示すように、前記真空チャンバの２つのゲートに個別に通じる２つの開口３，３を備えた弁箱２と、該弁箱２の内部に収容されて前記２つの開口３，３を個別に開閉する２つの弁板４，４と、該２つの弁板４，４を支持する１つのサポートバー５と、該サポートバー５に連結された１つの弁ロッド６と、該弁ロッド６を介して前記２つの弁板４，４を開閉操作する操作部７とを有している。そして、前記操作部７で前記弁ロッド６を操作することにより、図３に示すように、前記弁板４を、前記開口３を閉鎖する実線の閉鎖位置と、前記開口３を開放する鎖線の待避位置とに昇降させる。

なお、前記操作部７には、エアシリンダ等の駆動機構が設けられているが、該操作部７の構成及び作用は公知であるので、ここでの説明は省略するものとする。

前記弁箱２は、横に細長い矩形の箱形をしていて、該弁箱２の前壁２ａに、横に細長い矩形状をした前記２つの開口３，３と、各開口３の周りを取り囲む平面状の弁シート８とが形成され、前記弁板４の閉鎖位置において、各弁板４に取り付けられた弁シール９が該弁シート８に押し付けられることにより、前記２つの開口３，３が前記２つの弁板４，４によって同時に閉鎖される。
前記２つの開口３，３は、該開口３の長手方向（横方向）に間隔をおいて並列に配置されており、該２つの開口３，３の周りの２つの弁シート８，８は、互いに同一平面上に位置している。

前記弁箱２の後壁２ｂには、前記２つの開口３，３を取り囲むような大きさを有する１つの窓孔１０が形成され、この窓孔１０から、前記開口３を通じて、前記真空チャンバ内に半導体ウエハを搬入したり該真空チャンバ内の半導体ウエハを搬出したりする。

前記弁板４は、図４－図６から明らかなように、横に細長い矩形の板状をしていて、前記開口３側を向く前面４ａと、該前面４ａの反対側の背面４ｂとを有しており、前記前面４ａに前記弁シール９が取り付けられ、前記背面４ｂには、肉抜きのための窪み１１が複数設けられている。

また、前記サポートバー５も、横に細長い矩形の板状をした部材からなっていて、前記弁板４が取り付けられた側である前面５ａと、その反対側の背面５ｂとを有している。そして、該サポートバー５の長手方向の中央部に、前記弁ロッド６の上端部が連結され、該サポートバー５の長手方向の一端及び他端に、前記２つの弁板４，４の一方及び他方が、それぞれ弾性部材１２を介して該弁板４の長手方向に傾動自在なるように取り付けられている。

前記弁ロッド６を前記サポートバー５に連結するため、図７－図９からも明らかなように、前記サポートバー５の前面５ａの中央部には、凹溝１６を有する矩形の枠板１５が複数（図では８個）の枠板固定螺子１７により固定され、該枠板１５の前記凹溝１６と前記サポートバー５の前面５ａとの間に、該サポートバー５の短手方向（縦方向）に延びる矩形断面の連結孔１８が形成されている。

なお、本発明において、前記サポートバー５と弁ロッド６との連結、及び、該サポートバー５と前記弁板４との連結に使用されている螺子は、全て六角穴付きボルトであり、そのねじ込み操作を行う工具には六角棒レンチが使用される。

一方、前記弁ロッド６の先端部（上端部）には、円柱状をした該弁ロッド６の前面側及び背面側の一部をそれぞれ平面状に切除することにより、略矩形の断面形状を有する角柱状の連結部６ａが形成され、該連結部６ａが前記連結孔１８内に前記サポートバー５の下方側から挿入されている。そして、前記サポートバー５の背面５ｂ側から、複数（図では２個）のロッド連結螺子１９を、該サポートバー５に形成した複数の操作孔５ｃと、前記連結部６ａに形成した複数の螺子挿通孔６ｂとを通じて、前記枠板１５に形成した複数の螺子孔１５ａに螺着することにより、前記弁ロッド６の先端に前記サポートバー５が、前記弁ロッド６の中心軸Ｌ（図５参照）と直交する横方向に真っ直ぐ延在するように連結されている。このとき、前記ロッド連結螺子１９の頭部１９ａは、前記連結部６ａに形成された座繰り部６ｃ内で前記弁ロッド６に係止する。

このようにして前記弁ロッド６を、前記サポートバー５の前記弁板４が連結されている前面５ａ側に連結したことにより、前記枠板１５や弁ロッド６の連結部６ａ等が前記サポートバー５の背面５ｂ側に突出するのを避けることができ、その結果、前記弁箱２を含むゲートバルブ１全体の前後幅を小さくして小形化を図ることができる。

続いて、前記サポートバー５と各弁板４との連結について説明する。
図１０及び図１１に一方の弁板４とサポートバー５との連結について示すように、前記弾性部材１２は、均一厚さの金属板をＵ字形に曲折して形成した板ばねからなっていて、互いに平行をなす第１側壁１２ａ及び第２側壁１２ｂと、該第１側壁１２ａ及び第２側壁１２ｂの横幅Ｗ１（図６参照）方向の一端同士を連結する円弧状をした曲折部１２ｃとを有している。そして、前記弾性部材１２は、前記曲折部１２ｃの凸面１２ｄを前記サポートバー５の長手方向外側（弁ロッド６から離れる方向）に向けた姿勢に配置され、前記第１側壁１２ａが、前記弁板４の背面４ｂの中央部に２つの第１螺子２１，２１で連結されると共に、前記第２側壁１２ｂが、前記サポートバー５の前面５ａの端部に２つの第２螺子２２，２２で連結されている。

更に詳細に説明すると、前記弾性部材１２の前記第１側壁１２ａには、該第１側壁１２ａの横幅Ｗ１方向の中央よりも前記曲折部１２ｃ側に寄った位置に、前記第１螺子２１を挿通するための螺子挿通孔２３ａが上下に２つ形成されると共に、前記中央よりも該第１側壁１２ａの自由端側に寄った位置に、第１切欠部２４が上下相対する位置に２つ形成されている。前記螺子挿通孔２３ａは円形の孔であり、前記第１切欠部２４は、前記第１側壁１２ａの上端又は下端から下方又は上方に向けてそれぞれ一定の深さまで切り込まれた縦溝である。

前記第１切欠部２４は、前記第２側壁１２ｂを前記第２螺子２２で前記サポートバー５に連結する際に、該第２螺子２２を前記第２側壁１２ｂの螺子挿通孔２３ｂ内に挿入するためのものであると同時に、挿入した該第２螺子２２をねじ込むのに使用する六角棒レンチを通すためのものである。

一方、前記弾性部材１２の前記第２側壁１２ｂには、前記第１側壁１２ａの２つの前記第１切欠部２４，２４と対向する位置に、前記第２螺子２２を挿通するための前記螺子挿通孔２３ｂが上下に２つ形成されると共に、前記第１側壁１２ａの２つの前記螺子挿通孔２３ａ，２３ａと対向する位置に、２つの第２切欠部２５，２５が形成されている。前記螺子挿通孔２３ｂは円形の孔であり、前記第２切欠部２５は、前記第２側壁１２ｂの上端又は下端から下方又は上方に向けてそれぞれ一定の深さまで切り込まれた縦溝である。

前記第２切欠部２５は、前記第１側壁１２ａを前記第１螺子２１で前記弁板４に連結する際に、該第１螺子２１を前記第１側壁１２ａの前記螺子挿通孔２３ａ内に挿入するためのものであると同時に、挿入した該第１螺子２１をねじ込むのに使用する六角棒レンチを通すためのものである。

また、前記第２側壁１２ｂにおける前記２つの螺子挿通孔２３ｂ，２３ｂの中間の位置には、前記サポートバー５に設けられた第２位置決めピン２８が嵌合する第２位置決め溝２９が、前記第２側壁１２ｂの側端から横向きに延在するように形成されている。

これに対し、前記弁板４の背面４ｂには、該背面４ｂの長手方向の外側半部に凹段部３３が形成され、該凹段部３３の内側端寄りの位置に、前記第１側壁１２ａの２つの螺子挿通孔２３ａ，２３ａと対応するように上下２つの第１螺子孔３４，３４が形成されると共に、前記第１側壁１２ａの２つの第１切欠部２４，２４のうち上方の第１切欠部２４と対応する位置に、円柱状をした第１位置決めピン２６が１つ取り付けられている。

また、前記サポートバー５の前面５ａの端部には、前記弾性部材１２の第２側壁１２ｂが当接する凹段部３７が形成され、該凹段部３７に、前記２つの第２螺子２２，２２を螺着するための２つの第２螺子孔３８，３８が上下に形成されると共に、該２つの第２螺子孔３８，３８の中間の位置に前記第２位置決めピン２８が１つ取り付けられ、更に、該サポートバー５の短手方向の一端（上端）及び他端（下端）に、前記第２側壁１２ｂに形成された２つの前記第２切欠部２５，２５に個々に対応するように、断面円弧状をした溝からなる２つの第３切欠部３９，３９が形成されている。

そして、先ず、前記弾性部材１２の第２側壁１２ｂを前記サポートバー５の前面５ａに当接させた状態で、該弾性部材１２の内部側から前記第２側壁１２ｂの螺子挿通孔２３ｂに挿通した前記第２螺子２２を、六角棒レンチで前記サポートバー５の第２螺子孔３８に螺着することにより、該サポートバー５に前記弾性部材１２を連結する。このとき、前記六角棒レンチによる前記第２螺子２２のねじ込み操作は、前記第１側壁１２ａに形成された第１切欠部２４を通じて行われる。また、前記サポートバー５に取り付けられた第２位置決めピン２８が前記第２側壁１２ｂの第２位置決め溝２９に嵌合すると同時に、前記第２側壁１２ｂの側端部が前記凹段部３７の段壁３７ａに当接することにより、前記弾性部材１２とサポートバー５とが位置決めされる。

続いて、前記弾性部材１２の第１側壁１２ａを前記弁板４の背面４ｂに当接させ、該弾性部材１２の内部側から前記第１側壁１２ａの螺子挿通孔２３ａに予め挿通しておいた第１螺子２１を、六角棒レンチで前記弁板４の第１螺子孔３４に螺着することにより、該弁板４と前記弾性部材１２とを連結する。このとき、前記六角棒レンチによる前記第１螺子２１のねじ込み操作は、前記サポートバー５に形成された第３切欠部３９及び前記第２側壁１２ｂに形成された第２切欠部２５を通じて行われる。また、前記弁板４に取り付けられた前記第１位置決めピン２６が前記第１側壁１２ａの上端の前記第１切欠部２４に嵌合すると同時に、前記第１側壁１２ａの側端部が前記凹段部３３の段壁３３ａに当接することにより、前記弾性部材１２と弁板４とが位置決めされる。従って、前記第１切欠部２４は、前記第１位置決めピン２６が嵌合する第１位置決め溝２７を兼用するものである。

以上のようにして、前記サポートバー５の両端に、前記弁板４がそれぞれ取り付けられている。このとき、前記２つの弾性部材１２，１２の曲折部１２ｃの前記凸面１２ｄは、互いに逆方向を向いている。
また、前記２つの弾性部材１２，１２は、前記中心軸Ｌを含む平面に対して互いに対称をなす形状に形成されており、図示の例では互いに同一形状をなしている。

なお、前記第１側壁１２ａ及び第２側壁１２ｂの横幅Ｗ１は互いに同径であるが、前記第１側壁１２ａの横幅が前記第２側壁１２ｂの横幅より大きくても良く、あるいはその逆であっても構わない。
また、図３に示すように、前記弾性部材１２の高さＨ１は、前記弁板４の上下幅Ｈ２と同等か又はそれより少し小さく、また、前記サポートバー５の上下幅Ｈ３は、前記弁板４の上下幅Ｈ２と同等か又はそれより少し小さいことが好ましい。

前記構成を有するゲートバルブ１は、前記弁箱２を真空チャンバに取り付け、前記２つの弁板４，４で前記弁箱２の２つの開口３，３を開閉することにより、前記真空チャンバの２つのゲートを開閉するものである。そして、前記弁板４，４によって前記弁箱２の開口３，３を閉鎖するときは、図３に示すように、前記操作部７（図１及び図２参照）によって前記弁ロッド６及び弁板４，４を鎖線位置から実線位置まで上昇させると共に、前記サポートバー５を介して前記２つの弁板４，４の弁シール９，９を前記２つの開口３，３の弁シート８，８に同時に押し付ける。

このとき、前記弁ロッド６の操作力が前記サポートバー５の中央部に作用することにより、該サポートバー５が前面５ａ側に向けて凸の状態に撓み、該サポートバー５による押付力が前記弾性部材１２の第２側壁１２ｂに斜めに作用することがあっても、該弾性部材１２の曲折部１２ｃが弾性変形してその力を吸収し、第１側壁１２ａ側に斜めに作用するのを防止するため、該弁板４全体が前記弁シート８に均等に押し付けられる。この結果、前記２つの弁板４，４は、前記２つの開口３，３を常に均等にシールすることになる。
また、前記サポートバー５と前記弾性部材１２との間、及び、該弾性部材１２と前記弁板４との間に、互いに擦り合う部分がないので、発塵のおそれがない。

前記ゲートバルブ１の保守、点検等を行うために前記弁板４を弁箱２から取り出すときは、該弁箱２の背面の窓孔１０から該弁箱２内に六角棒レンチを挿入し、前記サポートバー５の背面５ｂ側から、前記弾性部材１２の第１側壁１２ａと前記弁板４とを連結している２つの第１螺子２１，２１を外したあと、前記弁板４を上方に持ち上げ、前記第１位置決めピン２６を前記第１位置決め溝２７（第１切欠部２４）から上方に脱出させることにより、該弁板４を前記弾性部材１２から完全に分離させる。そうすれば、該弁板４を前記窓孔１０から弁箱２の外部に取り出すことができる。前記弁箱２の上面に窓孔があれば、該上面から取り出すこともできる。

図示した例では、前記第１位置決めピン２６及び第２位置決めピン２８がそれぞれ１つずつ設けられているが、該第１位置決めピン２６及び第２位置決めピン２８はそれぞれ複数設けられていても良い。この場合、第１位置決め溝２７及び第２位置決め溝２９も複数設けられる。
また、前記第１位置決めピン２６を前記弾性部材１２に設け、前記第１位置決め溝２７を前記弁板４に設けても良く、同様に、前記第２位置決めピン２８を前記弾性部材１２に設け、前記第２位置決め溝２９を前記サポートバー５に設けても良い。

図１２－図１４には、第２実施形態のゲートバルブ１０１が、弁箱を省略した状態で示されている。このゲートバルブ１０１が前記第１実施形態のゲートバルブ１と相違する点は、弾性部材１１２の構成と、該弾性部材１１２によるサポートバー５と弁板４との連結に関連する構成であり、それ以外の構成は前記第１実施形態のゲートバルブ１と同じである。そのため、両者の相違する構成について以下に説明し、それ以外の構成については、両者の主要な同一構成部分に第１実施形態のゲートバルブ１と同じ符号を付してその説明は省略する。

前記弾性部材１１２の厚みは、前記第１実施形態における前記弾性部材１２の厚みより大きく、曲折部１１２ｃの凸面１１２ｄは、第１側壁１１２ａ及び第２側壁１１２ｂの外側面に直角に連なる平面をなしている。しかし、該曲折部１１２ｃの内側の凹面１１２ｅは円弧状をなしている。
そして、前記第１側壁１１２ａには、該第１側壁１１２ａの横幅方向の中央よりも前記曲折部１１２ｃ側に寄った位置に、第１螺子１２１を挿通するための螺子挿通孔１２３ａが上下に２つ形成されると共に、前記中央よりも前記第１側壁１１２ａの自由端側に寄った位置の下端部に、第１位置決めピン１２６が設けられている。

一方、前記弾性部材１１２の前記第２側壁１１２ｂには、前記第１側壁１１２ａの２つの螺子挿通孔１２３ａ，１２３ａと対向する位置に、縦溝からなる上下２つの第２切欠部１２５，１２５が形成されると共に、該第２側壁１１２ｂの横幅方向の中央よりも自由端側に寄った位置に、上下２つの第２螺子孔１３８，１３８が形成され、更に、該２つの第２螺子孔１３８，１３８の中間位置に、第２位置決めピン１２８が設けられている。

これに対し、前記弁板４の背面４ｂには、該背面４ｂの長手方向の外側半部に形成された凹段部３３の内側端寄りの位置に、前記第１側壁１１２ａの２つの螺子挿通孔１２３ａ，１２３ａと対応するように上下２つの第１螺子孔１３４，１３４が形成されると共に、前記弁板４の下端部寄りの位置に、前記第１側壁１１２ａの第１位置決めピン１２６が係合する第１位置決め溝１２７が形成されている。該第１位置決め溝１２７は、前記弁板４の下端部から上方に向けて一定の深さ切り込まれているが、前記弁板４を前後方向（厚さ方向）に貫通していない。

また、前記サポートバー５の前面５ａの端部には、前記弾性部材１１２の前記第２側壁１１２ｂに当接する凹段部３７が形成され、該凹段部３７に、前記弾性部材１１２の第２側壁１１２ｂに設けられた２つの第２螺子孔１３８，１３８に対応するように上下２つの螺子挿通孔１２３ｂ，１２３ｂが形成されると共に、該２つの螺子挿通孔１２３ｂ，１２３ｂの中間の位置に、前記第２位置決めピン１２８が係合する第２位置決め溝１２９が形成されている。

前記凹段部３７の横幅は、前記第２側壁１１２ｂの横幅より小さく、該第２側壁１１２ｂの自由端側の半部だけに当接する大きさであり、前記第２切欠部１２５までは達していない。
また、前記第２位置決め溝１２９は、前記サポートバー５の前面５ａに該サポートバー５の側端から横向きに一定の深さ切り込まれた横溝からなるもので、該サポートバー５を背面５ｂ側まで貫通していない。

そして、前記弾性部材１１２の第１側壁１１２ａを前記弁板４の背面４ｂに当接させ、該弾性部材１１２の内部側から前記第１側壁１１２ａの螺子挿通孔１２３ａに予め挿通した前記第１螺子１２１を、六角棒レンチで前記弁板４の第１螺子孔１３４に螺着することにより、該弁板４と前記弾性部材１１２とを連結する。前記六角棒レンチによる前記第１螺子１２１のねじ込み操作は、前記第２側壁１１２ｂに形成された第２切欠部１２５を通じて行われる。また、前記第１側壁１１２ａの下端部に設けられた前記第１位置決めピン１２６が前記弁板４の下端部に形成された第１位置決め溝１２７に係合すると共に、前記第１側壁１１２ａの側端部が前記凹段部３３の段壁３３ａに当接することにより、前記弾性部材１１２と弁板４とが位置決めされる。
なお、図示した例では、前記弁板４の背面４ｂの上端部に、前記第１位置決め溝１２７と同様の縦溝１２７ａが下向きに形成されているが、この縦溝１２７ａは特別な機能を持たない。

次に、前記弾性部材１１２の第２側壁１１２ｂを前記サポートバー５の前記凹段部３７の前面に当接させた状態で、該サポートバー５の背面５ｂ側から、第２螺子１２２を、該サポートバー５の螺子挿通孔１２３ｂを通じて前記第２側壁１１２ｂの第２螺子孔１３８にねじ込むことにより、該サポートバー５に前記弾性部材１１２を連結する。このとき、前記第２側壁１１２ｂの第２位置決めピン１２８が前記サポートバー５の第２位置決め溝１２９に嵌合すると共に、前記第２側壁１１２ｂの側端部が前記凹段部３７の段壁３７ａに当接することにより、前記弾性部材１１２とサポートバー５とが位置決めされる。

前記弾性部材１１２を介して前記サポートバー５と弁板４とを連結する順序は前述した説明と逆であっても良く、該弾性部材１１２を前記サポートバー５に取り付けた後、該弾性部材１１２に前記弁板４を取り付けることもできる。

前記第２実施形態のゲートバルブ１０１の作用は前記第１実施形態のゲートバルブ１と同じであるため、重複を避ける意味でその説明は省略する。

また、前記ゲートバルブ１０１の保守、点検等を行うに当たって前記弁板４を取り外すときは、前記サポートバー５の背面５ｂ側から、前記弾性部材１１２の第１側壁１１２ａと前記弁板４とを連結している２つの第１螺子１２１，１２１を六角棒レンチで取り外したあと、前記弁板４を上方に持ち上げれば、該弁板４の前記第１位置決め溝１２７が前記弾性部材１１２の第１位置決めピン１２６から外れるので、該弁板４を単独で取り外すことができる。

一方、前記弁板４を前記弾性部材１１２に連結した状態のまま該弾性部材１１２と一緒に取り外すときは、六角棒レンチで前記第２螺子１２２を取り外した後、前記弁板４と弾性部材１１２とを一緒に横移動させると、該弾性部材１１２の第２位置決めピン１２８が前記サポートバー５の第２位置決め溝１２９から抜け出すため、前記弁板４と前記弾性部材１１２とを一体となった状態で取り外すことができる。

１，１０１ゲートバルブ
２弁箱
３開口
４弁板
４ｂ背面
５サポートバー
５ａ前面
５ｂ背面
６弁ロッド
７操作部
１２，１１２弾性部材
１２ａ，１１２ａ第１側壁
１２ｂ，１１２ｂ第２側壁
１２ｃ，１１２ｃ曲折部
１２ｄ，１１２ｄ凸面
２１，１２１第１螺子
２２，１２２第２螺子
２３ａ，１２３ａ螺子挿通孔
２３ｂ，１２３ｂ螺子挿通孔
２４第１切欠部
２５，１２５第２切欠部
２６，１２６第１位置決めピン
２７，１２７第１位置決め溝
２８，１２８第２位置決めピン
２９，１２９第２位置決め溝
３４，１３４第１螺子孔
３８，１３８第２螺子孔
Ｌ中心軸
Ｈ１高さ
Ｈ２，Ｈ３上下幅

Claims

弁箱の２つの開口を個別に開閉する２つの弁板と、該２つの弁板を支持する１つのサポートバーと、該サポートバーに連結された１つの弁ロッドと、該弁ロッドを介して前記２つの弁板を開閉操作する操作部とを有し、
前記サポートバー及び弁板は、前記弁ロッドの中心軸と直交する横方向に真っ直ぐにしかも細長く延在し、前記サポートバーの長手方向の中央部に前記弁ロッドが連結され、該サポートバーの長手方向の一端及び他端に、前記２つの弁板の一方及び他方がそれぞれ１つの弾性部材を介して該弁板の長手方向に傾動自在に取り付けられている、
ことを特徴とするデュアルゲートバルブ。
前記弾性部材は、互いに平行をなす第１側壁及び第２側壁と、該第１側壁及び第２側壁の横幅方向の一端同士を連結する曲折部とを有し、該曲折部の凸面を前記サポートバーの長手方向外側に向けた姿勢に配設され、前記第１側壁が前記弁板の背面中央部に連結され、前記第２側壁が前記サポートバーの前面端部に連結されていることを特徴とする請求項１に記載のデュアルゲートバルブ。
前記弾性部材の前記第１側壁は、前記弁板の背面に、前記第２側壁側から該第１側壁の螺子挿通孔を通して前記弁板の第１螺子孔に螺着した複数の第１螺子により連結され、
前記第２側壁には、前記第１螺子に対向する位置に、該第１螺子を工具でねじ込む際に該工具が嵌合する複数の第２切欠部が形成されている、
ことを特徴とする請求項２に記載のデュアルゲートバルブ。
前記弾性部材の前記第２側壁は、前記サポートバーの前面に、前記第１側壁側から前記第２側壁の螺子挿通孔を通して前記サポートバーの第２螺子孔に螺着した複数の第２螺子により連結され、
前記第１側壁には、前記第２螺子に対向する位置に、該第２螺子を工具でねじ込む際に該工具が嵌合する複数の第１切欠部が形成されている、
ことを特徴とする請求項３に記載のデュアルゲートバルブ。
前記弾性部材の前記第２側壁は、前記サポートバーの前面に、該サポートバーの背面側から該サポートバーの螺子挿通孔を通して前記第２側壁の第２螺子孔に螺着した複数の第２螺子により連結されていることを特徴とする請求項３に記載のデュアルゲートバルブ。
前記弾性部材の第１側壁及び前記弁板のうち、何れか一方に少なくとも１つの第１位置決めピンが設けられると共に、他方に少なくとも１つの第１位置決め溝が設けられ、該第１位置決め溝に前記第１位置決めピンが嵌合することにより前記弾性部材と前記弁板とが相互に位置決めされ、
前記弾性部材の第２側壁及び前記サポートバーのうち、何れか一方に少なくとも１つの第２位置決めピンが設けられると共に、他方に少なくとも１つの第２位置決め溝が設けられ、該第２位置決め溝に前記第２位置決めピンが嵌合することにより前記弾性部材と前記サポートバーとが相互に位置決めされている、
ことを特徴とする請求項２から５の何れかに記載のデュアルゲートバルブ。
前記第１位置決めピンは、前記弁板の背面の上端部寄りの位置に設けられ、
前記第１位置決め溝は、前記第１側壁の上端から下方に向けて一定深さ切り込まれた縦溝からなる、
ことを特徴とする請求項６に記載のデュアルゲートバルブ。
前記第１位置決めピンは、前記第１側壁の下端寄りの位置に設けられ、
前記第１位置決め溝は、前記弁板の下端から上方に向けて一定深さ切り込まれた縦溝からなる、
ことを特徴とする請求項６に記載のデュアルゲートバルブ。
前記第２位置決めピンは、前記第２側壁の高さ方向の中間位置に設けられるか又は前記サポートバーの前面の上下方向の中間位置に設けられ、
前記第２位置決め溝は、前記サポートバーの前面の上下方向の中間位置又は前記第２側壁の高さ方向の中間位置において、前記サポートバーの側端部又は前記第２側壁の側端部から横向きに一定深さ切り込まれた横溝からなる、
ことを特徴とする請求項６に記載のデュアルゲートバルブ。
前記弁ロッドは、前記サポートバーの前面に連結されていることを特徴とする請求項１から９の何れかに記載のデュアルゲートバルブ。
前記弾性部材の高さは、前記弁板の上下幅と同等か又はそれ以下であり、前記サポートバーの上下幅は、前記弁板の上下幅と同等か又はそれ以下であることを特徴とする請求項１から１０の何れかに記載のデュアルゲートバルブ。