CN114658873A

CN114658873A - 双闸阀

Info

Publication number: CN114658873A
Application number: CN202111567860.XA
Authority: CN
Inventors: 下田洋己; 小川浩司; 长尾格
Original assignee: SMC Corp
Current assignee: SMC Corp
Priority date: 2020-12-22
Filing date: 2021-12-21
Publication date: 2022-06-24
Also published as: KR20220090434A; US20220196156A1; JP2022098925A; US11668401B2; JP7089245B1; TW202233979A; EP4023915A1

Abstract

本发明提供用两个阀板开闭阀箱的两个开口的闸阀。该闸阀具有：开闭阀箱(2)的两个开口(3、3)的两个阀板(4、4)；支承该两个阀板(4、4)的支撑杆(5)；与该支撑杆(5)连结的一个阀杆(6)；以及经由该阀杆(6)对上述两个阀板(4、4)进行开闭操作的操作部(7)，上述支撑杆(5)以及阀板(4)在与上述阀杆(6)的中心轴(L)正交的横向上笔直且细长地延伸，在上述支撑杆(5)的长边方向的中央部连结有上述阀杆(6)，在该支撑杆(5)的长边方向的一端以及另一端分别经由弹性构件(12)倾动自如地安装有上述两个阀板(4、4)中的一方以及另一方。

Description

双闸阀

技术领域

本发明涉及利用两个阀板开闭阀箱的两个开口的双闸阀。

背景技术

在半导体处理装置中，在形成于真空腔室的闸口的开闭中使用闸阀。该闸阀例如如专利文献1所公开的那样，在由操作部操作的阀杆的末端安装阀板，将该阀板收容于阀箱内，将该阀箱安装于真空腔室，利用上述阀板对以与上述闸口连通的方式形成于该阀箱的侧壁的开口进行开闭。

另外，在上述半导体处理装置中，也存在真空腔室具备两个闸口的情况。在这样的情况下，通常使用2台闸阀，但使用2台闸阀时，不仅花费成本，而且根据上述两个闸口间的距离不同，也有时难以并排安装2台闸阀。

因此，考虑构成为在1台闸阀的阀杆安装两个阀板，利用该两个阀板同时开闭上述真空腔室的两个闸口即形成于阀箱的两个开口。

但是，在这样构成的情况下，若上述两个闸口间的距离较大，则形成于上述阀箱的两个开口间的距离也随之变大，因此，难以利用上述两个阀板均等地开闭该两个开口。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2010-121682号公报

发明内容

发明所要解决的课题

本发明的技术课题在于提供一种闸阀，能够利用两个阀板同时且均等地开闭阀箱的两个开口。

用于解决课题的方案

为了解决上述课题，根据本发明，提供一种双闸阀，其特征在于，该双闸阀具有：两个阀板，开闭阀箱的两个开口；支撑杆，支承该两个阀板；一个阀杆，与该支撑杆连结；以及操作部，经由该阀杆对所述两个阀板进行开闭操作，所述支撑杆及阀板在与所述阀杆的中心轴正交的横向上笔直且细长地延伸，在所述支撑杆的长边方向的中央部连结有所述阀杆，在该支撑杆的长边方向的一端及另一端分别经由弹性构件而倾动自如地安装有所述两个阀板的一方及另一方。

在本发明中，也可以是，所述弹性构件具有相互平行的第一侧壁和第二侧壁、以及将该第一侧壁和第二侧壁的横向宽度方向的一端彼此连结的弯折部，以使该弯折部的凸面朝向所述支撑杆的长边方向外侧的姿势配设，所述第一侧壁与所述阀板的背面中央部连结，所述第二侧壁与所述支撑杆的前面端部连结。

在该情况下，优选的是，所述弹性构件的所述第一侧壁通过从所述第二侧壁侧穿过该第一侧壁的外螺纹件插通孔并与所述阀板的第一螺纹孔螺纹连接的多个第一外螺纹件而与所述阀板的背面连结，在所述第二侧壁，在与所述第一外螺纹件相向的位置，形成有在用工具拧入该第一外螺纹件时供该工具嵌合的多个第二切口部。

此外，优选的是，所述弹性构件的所述第二侧壁通过从所述第一侧壁侧穿过所述第二侧壁的外螺纹件插通孔并与所述支撑杆的第二螺纹孔螺纹连接的多个第二外螺纹件而与所述支撑杆的前面连结，在所述第一侧壁，在与所述第二外螺纹件相向的位置，形成有在用工具拧入该第二外螺纹件时供该工具嵌合的多个第一切口部。

或者，也可以是，所述弹性构件的所述第二侧壁通过从该支撑杆的背面侧穿过该支撑杆的外螺纹件插通孔并与所述第二侧壁的第二螺纹孔螺纹连接的多个第二外螺纹件而与所述支撑杆的前面连结。

此外，在本发明中，优选的是，在所述弹性构件的第一侧壁及所述阀板中的任一方设置有至少一个第一定位销，并且在另一方设置有至少一个第一定位槽，通过所述第一定位销与该第一定位槽嵌合，所述弹性构件与所述阀板被相互定位，在所述弹性构件的第二侧壁及所述支撑杆中的任一方设置有至少一个第二定位销，并且在另一方设置有至少一个第二定位槽，通过所述第二定位销与该第二定位槽嵌合，所述弹性构件与所述支撑杆被相互定位。

在该情况下，也可以是，所述第一定位销设置在所述阀板的背面的靠近上端部的位置，所述第一定位槽由从所述第一侧壁的上端朝向下方切入一定深度的纵槽构成，或者也可以是，所述第一定位销设置于所述第一侧壁的靠近下端的位置，所述第一定位槽由从所述阀板的下端朝向上方切入一定深度的纵槽构成。

另一方面，也可以是，所述第二定位销设置于所述第二侧壁的高度方向的中间位置或设置于所述支撑杆的前面的上下方向的中间位置，所述第二定位槽由在所述支撑杆的前面的上下方向的中间位置或所述第二侧壁的高度方向的中间位置从所述支撑杆的侧端部或所述第二侧壁的侧端部沿横向切入一定深度的横槽构成。

此外，在本发明中，优选的是，所述阀杆与所述支撑杆的前面连结。

而且，优选的是，所述弹性构件的高度小于等于所述阀板的上下宽度，所述支撑杆的上下宽度小于等于所述阀板的上下宽度。

发明的效果

根据本发明，在阀杆的末端安装支撑杆，在该支撑杆的一端及另一端经由弹性构件倾动自如地安装有上述两个阀板的一方及另一方，因此，即使上述支撑杆因由上述阀杆产生的操作力而稍微弯曲，由该支撑杆产生的按压力倾斜地作用于上述弹性构件，也能够防止因该弹性构件发生弹性变形而使上述按压力倾斜地作用于阀板，该阀板整体均等地按压于上述阀座。

附图说明

图1是从前面侧斜上方观察第一实施方式的闸阀的立体图。

图2是从背面侧斜上方观察图1的闸阀的立体图。

图3是在一个阀板的位置剖切图1的闸阀而成的主要部分纵剖视图。

图4是省略了图1的闸阀的阀箱以及操作部的状态的立体图。

图5是从背面侧观察图4的闸阀的立体图。

图6是图4的闸阀的俯视图。

图7是以VII-VII线切断图6而成的放大端面图。

图8是将阀杆与支撑杆的连结部分分解表示的立体图。

图9是从背面侧观察图8的立体图。

图10是将阀板与支撑杆的连结部分分解表示的立体图。

图11是从背面侧观察图10的立体图。

图12是省略了第二实施方式的闸阀的阀箱以及操作部的状态的立体图。

图13是将图12的闸阀的一部分分解后的主要部分放大立体图。

图14是从背面侧观察图13的立体图。

附图标记的说明

1、101闸阀；2阀箱；3开口；4阀板；4b背面；5支撑杆；5a前面；5b背面；6阀杆；7操作部；12、112弹性构件；12a、112a第一侧壁；12b、112b第二侧壁；12c、112c弯折部；12d、112d凸面；21、121第一外螺纹件；22、122第二外螺纹件；23a、123a外螺纹件插通孔；23b、123b外螺纹件插通孔；24第一切口部；25、125第二切口部；26、126第一定位销；27、127第一定位槽；28、128第二定位销；29、129第二定位槽；34、134第一螺纹孔；38、138第二螺纹孔；L中心轴；H1高度；H2、H3上下宽度。

具体实施方式

在图1-图11中示出第一实施方式的闸阀1。该闸阀1安装于具有两个闸口的未图示的真空腔室而使用，如图1-图3所示，具有：阀箱2，具备与上述真空腔室的两个闸口单独连通的两个开口3、3；两个阀板4、4，收容于该阀箱2的内部，单独开闭上述两个开口3、3；一个支撑杆5，支承该两个阀板4、4；一个阀杆6，与该支撑杆5连结；以及操作部7，经由该阀杆6对上述两个阀板4、4进行开闭操作。并且，通过利用上述操作部7操作上述阀杆6，如图3所示，使上述阀板4在封闭上述开口3的实线的封闭位置与开放上述开口3的点划线的避让位置之间升降。

另外，在上述操作部7设置有气缸等驱动机构，但该操作部7的结构及作用是公知的，因此，在此省略说明。

上述阀箱2呈横向细长的矩形的箱形，在该阀箱2的前壁2a形成有呈横向细长的矩形状的上述两个开口3、3和围绕各开口3的周围的平面状的阀座8，在上述阀板4的封闭位置，安装于各阀板4的阀密封件9被按压于该阀座8，由此上述两个开口3、3被上述两个阀板4、4同时封闭。

上述两个开口3、3在该开口3的长边方向(横向)上隔开间隔地并列配置，该两个开口3、3周围的两个阀座8、8相互位于同一平面上。

在上述阀箱2的后壁2b形成有具有围绕上述两个开口3、3那样的大小的一个窗孔10，从该窗孔10穿过上述开口3向上述真空腔室内搬入半导体晶圆或搬出该真空腔室内的半导体晶圆。

如从图4-图6可知，上述阀板4呈横向细长的矩形的板状，具有朝向上述开口3侧的前面4a和该前面4a的相反侧的背面4b，在上述前面4a安装有上述阀密封件9，在上述背面4b设置有多个用于减重的凹部11。

另外，上述支撑杆5也由呈横向细长的矩形的板状的构件构成，具有安装有上述阀板4的一侧即前面5a和其相反侧的背面5b。并且，在该支撑杆5的长边方向的中央部连结有上述阀杆6的上端部，上述两个阀板4、4中的一方及另一方分别经由弹性构件12以在该阀板4的长边方向上倾动自如的方式安装在该支撑杆5的长边方向的一端及另一端。

为了将上述阀杆6与上述支撑杆5连结，如从图7-图9可知，在上述支撑杆5的前面5a的中央部，通过多个(图中为8个)框板固定外螺纹件17固定有具有凹槽16的矩形的框板15，在该框板15的上述凹槽16与上述支撑杆5的前面5a之间，形成有沿该支撑杆5的短边方向(纵向)延伸的矩形截面的连结孔18。

另外，在本发明中，上述支撑杆5与阀杆6的连结、以及该支撑杆5与上述阀板4的连结所使用的外螺纹件全部是带六角孔的螺栓，进行其拧入操作的工具使用六角棒扳手。

另一方面，在上述阀杆6的末端部(上端部)，通过将呈圆柱状的该阀杆6的前面侧及背面侧的一部分分别以平面状切除，形成具有大致矩形的截面形状的棱柱状的连结部6a，该连结部6a从上述支撑杆5的下方侧插入到上述连结孔18内。而且，通过将多个(图中为两个)杆连结外螺纹件19从上述支撑杆5的背面5b侧穿过形成于该支撑杆5的多个操作孔5c和形成于上述连结部6a的多个外螺纹件插通孔6b，与形成于上述框板15的多个螺纹孔15a螺纹连接，从而上述支撑杆5以在与上述阀杆6的中心轴L(参照图5)正交的横向上笔直地延伸的方式连结于上述阀杆6的末端。此时，上述杆连结外螺纹件19的头部19a在形成于上述连结部6a的沉孔部6c内与上述阀杆6卡止。

这样，通过将上述阀杆6连结于上述支撑杆5的与上述阀板4连结的前面5a侧，能够避免上述框板15、阀杆6的连结部6a等向上述支撑杆5的背面5b侧突出，其结果，能够减小包括上述阀箱2在内的闸阀1整体的前后宽度而谋求小型化。

接着，对上述支撑杆5与各阀板4的连结进行说明。

如图10以及图11所示，如针对一方的阀板4与支撑杆5的连结所示，上述弹性构件12由将均匀厚度的金属板折弯成U字形而形成的板簧构成，具有相互平行的第一侧壁12a及第二侧壁12b、和将该第一侧壁12a及第二侧壁12b的横向宽度W1(参照图6)方向的一端彼此连结的呈圆弧状的弯折部12c。并且，上述弹性构件12以上述弯折部12c的凸面12d朝向上述支撑杆5的长边方向外侧(远离阀杆6的方向)的姿势配置，上述第一侧壁12a通过两个第一外螺纹件21、21与上述阀板4的背面4b的中央部连结，并且上述第二侧壁12b通过两个第二外螺纹件22、22与上述支撑杆5的前面5a的端部连结。

更详细地进行说明，在上述弹性构件12的上述第一侧壁12a，在比该第一侧壁12a的横向宽度W1方向的中央靠近上述弯折部12c侧的位置，上下形成有两个用于供上述第一外螺纹件21插通的外螺纹件插通孔23a，并且在比上述中央靠近该第一侧壁12a的自由端侧的位置，在上下相对的位置形成有两个第一切口部24。上述外螺纹件插通孔23a是圆形的孔，上述第一切口部24是从上述第一侧壁12a的上端或下端朝向下方或上方分别切入至一定深度的纵槽。

上述第一切口部24在利用上述第二外螺纹件22将上述第二侧壁12b与上述支撑杆5连结时，用于将该第二外螺纹件22插入到上述第二侧壁12b的外螺纹件插通孔23b内，同时用于供拧入所插入的该第二外螺纹件22所使用的六角棒扳手穿过。

另一方面，在上述弹性构件12的上述第二侧壁12b，在与上述第一侧壁12a的两个上述第一切口部24、24相向的位置，上下形成有两个用于供上述第二外螺纹件22插通的上述外螺纹件插通孔23b，并且在与上述第一侧壁12a的两个上述外螺纹件插通孔23a、23a相向的位置，形成有两个第二切口部25、25。上述外螺纹件插通孔23b是圆形的孔，上述第二切口部25是从上述第二侧壁12b的上端或下端朝向下方或上方分别切入至一定的深度的纵槽。

上述第二切口部25在利用上述第一外螺纹件21将上述第一侧壁12a与上述阀板4连结时，用于将该第一外螺纹件21插入到上述第一侧壁12a的上述外螺纹件插通孔23a内，同时用于供拧入所插入的该第一外螺纹件21所使用的六角棒扳手穿过。

另外，在上述第二侧壁12b的上述两个外螺纹件插通孔23b、23b的中间的位置，以从上述第二侧壁12b的侧端横向延伸的方式形成有供设置于上述支撑杆5的第二定位销28嵌合的第二定位槽29。

与此相对，在上述阀板4的背面4b，在该背面4b的长边方向的外侧半部形成有凹台阶部33，在该凹台阶部33的靠近内侧端的位置，以与上述第一侧壁12a的两个外螺纹件插通孔23a、23a对应的方式形成有上下两个第一螺纹孔34、34，并且在上述第一侧壁12a的两个第一切口部24、24中的与上方的第一切口部24对应的位置，安装有一个呈圆柱状的第一定位销26。

另外，在上述支撑杆5的前面5a的端部形成有供上述弹性构件12的第二侧壁12b抵接的凹台阶部37，在该凹台阶部37上，上下形成有用于螺纹连接上述两个第二外螺纹件22、22的两个第二螺纹孔38、38，并且在该两个第二螺纹孔38、38的中间的位置安装有一个上述第二定位销28，而且，在该支撑杆5的短边方向的一端(上端)及另一端(下端)，以与形成于上述第二侧壁12b的两个上述第二切口部25、25分别对应的方式形成有由截面呈圆弧状的槽构成的两个第三切口部39、39。

然后，首先，通过在使上述弹性构件12的第二侧壁12b与上述支撑杆5的前面5a抵接的状态下，用六角棒扳手将从该弹性构件12的内部侧插通于上述第二侧壁12b的外螺纹件插通孔23b的上述第二外螺纹件22与上述支撑杆5的第二螺纹孔38螺纹连接，将上述弹性构件12连结于该支撑杆5。此时，利用上述六角棒扳手进行的上述第二外螺纹件22的拧入操作穿过形成于上述第一侧壁12a的第一切口部24来进行。另外，在安装于上述支撑杆5的第二定位销28与上述第二侧壁12b的第二定位槽29嵌合的同时，上述第二侧壁12b的侧端部与上述凹台阶部37的台阶壁37a抵接，从而上述弹性构件12与支撑杆5被定位。

接着，通过使上述弹性构件12的第一侧壁12a与上述阀板4的背面4b抵接，并用六角棒扳手将从该弹性构件12的内部侧预先插通于上述第一侧壁12a的外螺纹件插通孔23a的第一外螺纹件21与上述阀板4的第一螺纹孔34螺纹连接，将该阀板4与上述弹性构件12连结。此时，利用上述六角棒扳手进行的上述第一外螺纹件21的拧入操作穿过形成于上述支撑杆5的第三切口部39和形成于上述第二侧壁12b的第二切口部25来进行。另外，在安装于上述阀板4的上述第一定位销26与上述第一侧壁12a的上端的上述第一切口部24嵌合的同时，上述第一侧壁12a的侧端部与上述凹台阶部33的台阶壁33a抵接，从而上述弹性构件12与阀板4被定位。因此，上述第一切口部24兼用作供上述第一定位销26嵌合的第一定位槽27。

如上所述，在上述支撑杆5的两端分别安装有上述阀板4。此时，上述两个弹性构件12、12的弯折部12c的上述凸面12d相互朝向相反方向。

另外，上述两个弹性构件12、12形成为相对于包括上述中心轴L在内的平面呈相互对称的形状，在图示的例子中彼此呈相同形状。

另外，上述第一侧壁12a和第二侧壁12b的横向宽度W1相互为相同直径，但上述第一侧壁12a的横向宽度可以大于上述第二侧壁12b的横向宽度，或者也可以相反。

另外，如图3所示，优选的是，上述弹性构件12的高度H1与上述阀板4的上下宽度H2相等或比其稍小，另外，上述支撑杆5的上下宽度H3与上述阀板4的上下宽度H2相等或比其稍小。

具有上述结构的闸阀1通过将上述阀箱2安装于真空腔室，并利用上述两个阀板4、4对上述阀箱2的两个开口3、3进行开闭，从而对上述真空腔室的两个闸口进行开闭。并且，在利用上述阀板4、4封闭上述阀箱2的开口3、3时，如图3所示，通过上述操作部7(参照图1及图2)使上述阀杆6及阀板4、4从点划线位置上升至实线位置，并且经由上述支撑杆5将上述两个阀板4、4的阀密封件9、9同时按压于上述两个开口3、3的阀座8、8。

此时，通过上述阀杆6的操作力作用于上述支撑杆5的中央部，即使该支撑杆5朝向前面5a侧挠曲成凸起的状态，由该支撑杆5产生的按压力倾斜地作用于上述弹性构件12的第二侧壁12b，该弹性构件12的弯折部12c也发生弹性变形而吸收该力，防止倾斜地作用于第一侧壁12a侧，因此，该阀板4整体均等地按压于上述阀座8。其结果，上述两个阀板4、4始终均等地密封上述两个开口3、3。

另外，由于在上述支撑杆5与上述弹性构件12之间以及该弹性构件12与上述阀板4之间没有相互摩擦的部分，所以不会产生扬尘。

在为了进行上述闸阀1、1B的保养、检查等而将上述阀板4从阀箱2取出时，从该阀箱2的背面的窗孔10向该阀箱2内插入六角棒扳手，从上述支撑杆5的背面5b侧卸下连结上述弹性构件12的第一侧壁12a和上述阀板4的两个第一外螺纹件21、21后，将上述阀板4向上方抬起，使上述第一定位销26从上述第一定位槽27(第一切口部24)向上方脱出，由此使该阀板4从上述弹性构件12完全分离。这样一来，能够将该阀板4从上述窗孔10取出到阀箱2的外部。若在上述阀箱2的上表面具有窗孔，则也能够从该上表面取出。

在图示的例子中，上述第一定位销26和第二定位销28分别设置有一个，但该第一定位销26和第二定位销28也可以分别设置有多个。在该情况下，第一定位槽27以及第二定位槽29也设置有多个。

另外，也可以将上述第一定位销26设置于上述弹性构件12，将上述第一定位槽27设置于上述阀板4，同样地，也可以将上述第二定位销28设置于上述弹性构件12，将上述第二定位槽29设置于上述支撑杆5。

在图12-图14中，第二实施方式的闸阀101以省略了阀箱的状态表示。该闸阀101与上述第一实施方式的闸阀1的不同点在于，弹性构件112的结构和与基于该弹性构件112的支撑杆5和阀板4的连结相关联的结构，除此以外的结构与上述第一实施方式的闸阀1相同。因此，以下对两者不同的结构进行说明，对于除此以外的结构，对两者的主要的相同结构部分标注与第一实施方式的闸阀1相同的附图标记并省略其说明。

上述弹性构件112的厚度大于上述第一实施方式中的上述弹性构件12的厚度，弯折部112c的凸面112d形成为与第一侧壁112a及第二侧壁112b的外侧面呈直角地相连的平面。但是，该弯折部112c的内侧的凹面112e呈圆弧状。

而且，在上述第一侧壁112a，在比该第一侧壁112a的横向宽度方向的中央靠近上述弯折部112c侧的位置，上下形成有两个用于供第一外螺纹件121插通的外螺纹件插通孔123a，并且在比上述中央靠近上述第一侧壁112a的自由端侧的位置的下端部，设置有第一定位销126。

另一方面，在上述弹性构件112的上述第二侧壁112b，在与上述第一侧壁112a的两个外螺纹件插通孔123a、123a相向的位置，形成有由纵槽构成的上下两个第二切口部125、125，并且在比该第二侧壁112b的横向宽度方向的中央靠近自由端侧的位置，形成有上下两个第二螺纹孔138、138，而且，在该两个第二螺纹孔138、138的中间位置设置有第二定位销128。

与此相对，在上述阀板4的背面4b，在形成于该背面4b的长边方向的外侧半部的凹台阶部33的靠近内侧端的位置，以与上述第一侧壁112a的两个外螺纹件插通孔123a、123a对应的方式形成有上下两个第一螺纹孔134、134，并且在靠近上述阀板4的下端部的位置形成有与上述第一侧壁112a的第一定位销126卡合的第一定位槽127。该第一定位槽127从上述阀板4的下端部朝向上方切入一定的深度，但未在前后方向(厚度方向)上贯通上述阀板4。

另外，在上述支撑杆5的前面5a的端部形成有与上述弹性构件112的上述第二侧壁112b抵接的凹台阶部37，在该凹台阶部37以与设置于上述弹性构件112的第二侧壁112b的两个第二螺纹孔138、138对应的方式形成有上下两个外螺纹件插通孔123b、123b，并且在该两个外螺纹件插通孔123b、123b的中间的位置，形成有与上述第二定位销128卡合的第二定位槽129。

上述凹台阶部37的横向宽度比上述第二侧壁112b的横向宽度小，是仅与该第二侧壁112b的自由端侧的半部抵接的大小，未到达上述第二切口部125。

另外，上述第二定位槽129由从该支撑杆5的侧端沿横向以一定的深度切入到上述支撑杆5的前面5a的横槽构成，不贯通到该支撑杆5的背面5b侧。

并且，通过使上述弹性构件112的第一侧壁112a与上述阀板4的背面4b抵接，并用六角棒扳手将从该弹性构件112的内部侧预先插通于上述第一侧壁112a的外螺纹件插通孔123a的上述第一外螺纹件121与上述阀板4的第一螺纹孔134螺纹连接，由此将该阀板4与上述弹性构件112连结。由上述六角棒扳手进行的上述第一外螺纹件121的拧入操作穿过形成于上述第二侧壁112b的第二切口部125进行。另外，设置于上述第一侧壁112a的下端部的上述第一定位销126与形成于上述阀板4的下端部的第一定位槽127卡合，并且上述第一侧壁112a的侧端部与上述凹台阶部33的台阶壁33a抵接，由此上述弹性构件112与阀板4被定位。

另外，在图示的例子中，在上述阀板4的背面4b的上端部向下形成有与上述第一定位槽127相同的纵槽127a，但该纵槽127a不具有特别的功能。

接着，在使上述弹性构件112的第二侧壁112b与上述支撑杆5的上述凹台阶部37的前面抵接的状态下，从该支撑杆5的背面5b侧穿过该支撑杆5的外螺纹件插通孔123b将第二外螺纹件122拧入上述第二侧壁112b的第二螺纹孔138，从而将上述弹性构件112与该支撑杆5连结。此时，上述第二侧壁112b的第二定位销128与上述支撑杆5的第二定位槽129嵌合，并且上述第二侧壁112b的侧端部与上述凹台阶部37的台阶壁37a抵接，由此上述弹性构件112与支撑杆5被定位。

经由上述弹性构件112将上述支撑杆5与阀板4连结的顺序也可以与上述的说明相反，也能够在将该弹性构件112安装于上述支撑杆5之后，将上述阀板4安装于该弹性构件112。

由于上述第二实施方式的闸阀101的作用与上述第一实施方式的闸阀1相同，因此在避免重复的意义上省略其说明。

另外，在为了进行上述闸阀101的保养、检查等而卸下上述阀板4时，若从上述支撑杆5的背面5b侧用六角棒扳手将连结上述弹性构件112的第一侧壁112a和上述阀板4的两个第一外螺纹件121、121卸下后将上述阀板4向上方抬起，则该阀板4的上述第一定位槽127从上述弹性构件112的第一定位销126脱离，因此，能够将该阀板4单独卸下。

另一方面，在将上述阀板4与上述弹性构件112连结的状态下与该弹性构件112一起卸下时，若在用六角棒扳手卸下上述第二外螺纹件122后使上述阀板4和弹性构件112一起横向移动时，则该弹性构件112的第二定位销128从上述支撑杆5的第二定位槽129拔出，因此，能够在上述阀板4和上述弹性构件112成为一体的状态下卸下。

Claims

1.一种双闸阀，其特征在于，

该双闸阀具有：两个阀板，开闭阀箱的两个开口；支撑杆，支承该两个阀板；一个阀杆，与该支撑杆连结；以及操作部，经由该阀杆对所述两个阀板进行开闭操作，

所述支撑杆及阀板在与所述阀杆的中心轴正交的横向上笔直且细长地延伸，在所述支撑杆的长边方向的中央部连结有所述阀杆，在该支撑杆的长边方向的一端及另一端分别经由弹性构件而倾动自如地安装有所述两个阀板的一方及另一方。

2.根据权利要求1所述的双闸阀，其特征在于，

所述弹性构件具有相互平行的第一侧壁和第二侧壁、以及将该第一侧壁和第二侧壁的横向宽度方向的一端彼此连结的弯折部，所述弹性构件以使该弯折部的凸面朝向所述支撑杆的长边方向外侧的姿势配设，所述第一侧壁与所述阀板的背面中央部连结，所述第二侧壁与所述支撑杆的前面端部连结。

3.根据权利要求2所述的双闸阀，其特征在于，

所述弹性构件的所述第一侧壁通过从所述第二侧壁侧穿过该第一侧壁的外螺纹件插通孔并与所述阀板的第一螺纹孔螺纹连接的多个第一外螺纹件而与所述阀板的背面连结，

在所述第二侧壁，在与所述第一外螺纹件相向的位置，形成有在用工具拧入该第一外螺纹件时供该工具嵌合的多个第二切口部。

4.根据权利要求3所述的双闸阀，其特征在于，

所述弹性构件的所述第二侧壁通过从所述第一侧壁侧穿过所述第二侧壁的外螺纹件插通孔并与所述支撑杆的第二螺纹孔螺纹连接的多个第二外螺纹件而与所述支撑杆的前面连结，

在所述第一侧壁，在与所述第二外螺纹件相向的位置，形成有在用工具拧入该第二外螺纹件时供该工具嵌合的多个第一切口部。

5.根据权利要求3所述的双闸阀，其特征在于，

所述弹性构件的所述第二侧壁通过从该支撑杆的背面侧穿过该支撑杆的外螺纹件插通孔并与所述第二侧壁的第二螺纹孔螺纹连接的多个第二外螺纹件而与所述支撑杆的前面连结。

6.根据权利要求2至5中任一项所述的双闸阀，其特征在于，

在所述弹性构件的第一侧壁及所述阀板中的任一方设置有至少一个第一定位销，并且在另一方设置有至少一个第一定位槽，通过所述第一定位销与该第一定位槽嵌合，所述弹性构件与所述阀板被相互定位，

在所述弹性构件的第二侧壁及所述支撑杆中的任一方设置有至少一个第二定位销，并且在另一方设置有至少一个第二定位槽，通过所述第二定位销与该第二定位槽嵌合，所述弹性构件与所述支撑杆被相互定位。

7.根据权利要求6所述的双闸阀，其特征在于，

所述第一定位销设置在所述阀板的背面的靠近上端部的位置，

所述第一定位槽由从所述第一侧壁的上端朝向下方切入一定深度的纵槽构成。

8.根据权利要求6所述的双闸阀，其特征在于，

所述第一定位销设置在所述第一侧壁的靠近下端的位置，

所述第一定位槽由从所述阀板的下端朝向上方切入一定深度的纵槽构成。

9.根据权利要求6所述的双闸阀，其特征在于，

所述第二定位销设置在所述第二侧壁的高度方向的中间位置或设置在所述支撑杆的前面的上下方向的中间位置，

所述第二定位槽由在所述支撑杆的前面的上下方向的中间位置或所述第二侧壁的高度方向的中间位置从所述支撑杆的侧端部或所述第二侧壁的侧端部沿横向切入一定深度的横槽构成。

10.根据权利要求1至5中任一项所述的双闸阀，其特征在于，

所述阀杆与所述支撑杆的前面连结。

11.根据权利要求1至5中任一项所述的双闸阀，其特征在于，

所述弹性构件的高度小于等于所述阀板的上下宽度，所述支撑杆的上下宽度小于等于所述阀板的上下宽度。