KR20080008243A

KR20080008243A - 진공 밸브 및 커넥팅 로드에 장착 가능한 차폐 디스크

Info

Publication number: KR20080008243A
Application number: KR1020070070838A
Authority: KR
Inventors: 베른하르트 리츠쳐
Original assignee: 배트 홀딩 아게
Priority date: 2006-07-18
Filing date: 2007-07-13
Publication date: 2008-01-23
Also published as: JP2008025835A; US20080017823A1; TW200813353A; CN101109450A

Abstract

본 발명은 유로(F)의 밀봉 차폐를 위한 진공 밸브(1)에 관한 것이다. 본 발명에 따른 진공 밸브(1)는, 적어도 하나의 로드 리세스(6)가 형성된 차폐 디스크(5)와 적어도 하나의 커넥팅 로드(8)를 구비한다. 커넥팅부(9)에 형성된 관통홀(15)을 관통하여 로드 리세스(6)에 형성된 나사홀(14)에 삽입되는 스크류(16)에 의해 커넥팅 로드(8)의 커넥팅부(9)를 로드 리세스(6) 안으로 위치시킴으로써, 차폐 디스크(5)는 커넥팅 로드(8)에 착탈 가능하게 설치된다. 본 발명에 따르면, 돌출부(17) 및 리세스(18)가, 로드 리세스(6)와 커넥팅부(9)의 결합 영역에 마련될 수 있다. 그리고, 커넥팅 로드 축(19)을 포함하는 평면 상에서 리세스(18)가 돌출부(17)를 둘러싸잡을 수 있도록, 돌출부(17) 및 리세스(18)가 형성될 수 있다. 또한, 차폐 디스크(5)와 커넥팅 로드(8)는, 운동 경로(F) 방향에서 맞물림 방식으로 서로 고정될 수 있다. 그리고, 스크류(16)가 초기에 견고하게 조여진 이후에, 운동 경로(11) 방향에서 커넥팅 로드(8)에 대한 차폐 디스크(5)의 자기-위치조절이 달성되어, 작동 중에 차폐 디스크(5)와 커넥팅 로드(8) 사이의 상대적인 운동이 방지될 수 있다.

진공 밸브, 게이트 밸브, 개구, 차폐 디스크, 차폐면, 시트면, 리세스

Description

진공 밸브 및 커넥팅 로드에 장착 가능한 차폐 디스크{VACUUM VALVE AND CLOSURE DISK WHICH CAN BE MOUNTED ON A CONNECTING ROD}

본 발명은 적어도 하나의 커넥팅 로드에 설치된 차폐 디스크에 의해 유로를 밀봉 차폐시키기 위한 진공 밸브 및 커넥팅 로드에 장착 가능한 차폐 디스크에 관한 것이다.

밸브 하우징(valve housing)의 개구에 형성된 유로(flow path)를 실질적으로 밀봉시키기 위한 진공 밸브(vacuum valve)들은 선행 기술로부터 다양한 예들이 알려진다. 진공 게이트 밸브(vacuum gate valve)는, 보호 분위기(protected atmosphere)에서 수행되어야 하는 IC 및 반도체 제조 분야에서 유용하게 사용되어지며, 이러한 진공 게이트 밸브가 사용되는 경우 오염시키는 파티클(particle)들이 가급적 없어야 한다. 예를 들어 반도체 웨이퍼 유닛 또는 액체 결정 기판을 제조함에 있어, 매우 민감한 반도체 또는 액체 결정 부품들은 복수의 챔버들을 통과하며, 그 챔버들 내에서 반도체 부품들은 각 챔버의 취급 장치에 의해 취급된다. 챔버 내에서 취급되는 동안 그리고 하나의 챔버에서 다른 챔버로 운동되는 동안, 매우 민감한 반도체 부품들은 항상 보호 분위기에 있어야만 한다. 특히, 진공으로 있어야 한다. 챔버들은 연결 통로 등에 의해 서로 연결되며, 챔버들은 이후의 취급을 위해 대상물을 전달할 수 있도록 진공 게이트 밸브에 의해 열렸다가 이후에 제조 공정을 수행하기 위해 밀봉 차폐될 수 있다. 그러한 진공 게이트 밸브는, 사용 분야에서 비롯되어 진공 전달 밸브라고 불리거나, 그것들의 직사각형의 개구 단면에서 비롯되어 직사각 게이트 밸브라고 불리기도 한다.

진공 밸브에 관하여, 특히 진공 밸브의 실링 및 구동 기술에 관하여 매우 많은 기술들이 알려진다. 구동 기술과 관련하여, 밸브 게이트 또는 직사각 게이트 밸브라고 불려지는 게이트 밸브와 셔틀 밸브 사이에는 차이점이 분명하게 나타나며, 이들 밸브들의 개폐는 일반적으로 두 공정으로 수행된다. 첫 번째 공정에 대해 살펴보면, 게이트 밸브의 경우에는 US 6,416,037(Geiser) 또는 US 6,056,266(Blecha) 등에서 개시된 바와 같이 차폐수단 특히 차폐 디스크(closure disk)는 밸브 시트(valve seat)와 실질적으로 평행한 방향으로 개구에 대해 직선으로 이동하며, 셔틀 밸브의 경우에는 US 6,089,537(Olmsted) 등에서 개시된 바와 같이 밸브 하우징의 밸브 시트와 차폐 디스크 사이가 접촉됨 없이 차폐 디스크는 개구에 대해 피봇축을 중심으로 피봇 운동한다. 두 번째 공정에서, 차폐 디스크는 그것의 차폐면에 의해 밸브 하우징의 밸브 시트 상에서 압력을 받게 되고, 이때 개구는 밀봉 차폐된다. 차폐 디스크의 차폐면 상에 배치되어 개구 주위에 마련된 밸브 시트에 의해 가압되는 실링용 링(sealing ring) 또는 밸브 시트 상에 배치되어 차폐 디스크의 차폐면에 의해 가압되는 실링용 링에 의해, 실링은 효과적으로 이루어질 수 있다.

차폐 및 실링 공정이 하나의 직선 운동에 의해 효과적으로 수행되는 게이트 밸브가 또한 알려진다. 그러한 밸브로써 스위스의 하그(Haag)에 있는 VAT Vakuumventile AG사의 전달 밸브(transfer valve)를 들 수 있고, 이러한 전달 밸브는 제품명 "MONOVAT 시리즈 02 그리고 03"으로 알려지며 직사각의 삽입 밸브(insert valve)로 제작되어진다. 그 밸브의 설계 및 작동 모드는 US 4,809,950(Geiser) 및 US 4,881,717(Geiser)에서 기술되어져 있다. 이들 문헌에 기술된 밸브는 그것의 하우징 내에, 밸브 통로의 축 방향에서 볼 때 앞뒤로 배치된 부분들과 외측으로 연장된 평평한 부분들로 이루어진 실링면을 갖는다. 이때, 복수의 부분들이 아닌 하나의 부분으로 이루어진, 실링면의 가상의 제너레이터들(generators)은 밸브 통로의 축에 평행하다. 차폐 부재는 폐곡 실링을 위해 실링면에 대응하는 접촉면을 갖는다. 좀더 구체적으로 설명하면, 소위 밸브 게이트는 게이트 하우징 및 평면 내에서 이동하는 차폐 부재에 의해 차폐될 수 있는 게이트 통로를 갖는다. 게이트 통로 영역에는, 차폐 부재의 차폐 위치에서 차폐 부재에 마련된 실링부재가 안착되는 실링면이 마련된다. 이때 실링면의 가상의 제너레이터들(generators)은 게이트 통로의 축에 평행하다. 폐곡의 실링부재는 다른 평면들 상에 존재하는 다른 길이 또는(및) 다른 형상의 부분들을 가지며, 실링부재의 두 개의 주요부는 게이트 통로의 축에 직교하며 서로 이격된 두 평면 상에 각각 존재한다. 이러한 두 개의 주요부는 측면부들에 의해 연결된다. 실링부재의 측면부들은 "U"자 형상이다. 이러한 U자 형상의 측면부들의 가지들(limbs)은 하나의 평면 상에 존재한다. 밸브 통로의 축 방향에서 볼 때 앞뒤로 배치되는 실링면의 주요부들은, 그것들이 밸브 통로의 축에 평행한 공통적이고 직선인 제너레이터들(generators)을 가지는 지역에서, 실링면의 주요부들을 만날 수 있도록 마련된 외측으로 연장된 평평한 측면부들이 된다. 이러한 평평한 부분들은 서로 평행하며 게이트 통로 축에 대해 평행한 평면들 상에 존재한다. 차폐 부재는 한 부분으로 이루어지기 때문에 큰 가속력을 받을 수 있게 되며, 따라서 신속한 그리고 긴급한 차폐를 위해 사용될 수 있다.

직선 운동에 의해 차폐될 수 있는 전달 밸브를 위한 적절한 드라이브가 JP 6,241,344(Buriida Fuuberuto)에 개시되어 있다. 이 문헌에 개시된 드라이브는 차폐 부재가 설치된 커넥팅 로드의 직선 운동을 위해 마련된 편심되어 설치된 레버들을 가진다.

전달 밸브는 특히 매우 민감한 반도체 부품들의 생산에 사용되므로, 밸브의 구동에 의해 야기되는 파티클 발생 및 밸브 공간에 존재하는 파티클의 수는 가능한 적게 유지되어야 한다. 파티클 발생은 대개 예를 들어 금속과 금속 간의 접촉에 의한 마찰과 같은 마찰에 의한 것이다. 그러한 마찰은 특히 밸브 차폐수단과 밸브 하우징 사이에서 또는 밸브 차폐수단과 밸브 시트에서 발생할 수 있고, 또한 밸브 차폐수단과, 밸브 차폐수단이 고정되어 드라이브에 연결되는 커넥팅 로드 사이에서 발생한다.

파티클 발생을 피하기 위한 방법 중 하나가, 밸브 드라이브의 커넥팅 로드와 밸브 차폐수단 특히, 차폐 디스크를 결합하는 것이다. 차폐 디스크는 하나 또는 둘 이상의 커넥팅 로드와 견고하게 결합되어야 한다. 그러면, 의도하지 않은 부재간의 접촉이 없이 또한 밸브가 차폐된 상태에서 차폐 디스크의 차폐 용량을 크게 유지하 면서, 밸브 하우징 내에서 차폐 디스크에 대한 간결한 안내가 가능해지며 밸브 시트 상에 가해지는 차폐 디스크의 압력을 정확하게 할 수 있다. 커넥팅 로드 상에서의 밸브 디스크의 의도치 않은 상대운동은, 물질 간의 마찰로 인해, 밸브 공간 내의 매우 깨끗한 공기를 오염시킬 수 있는 연삭 파티클을 발생시킬 수 있다. 그래서 종래에 커넥팅 로드와 차폐 디스크 사이의 접촉을 견고하게 하기 위한 노력이 있어 왔다. 반면, 유지보수 및(또는) 교체를 위해, 차폐 디스크는 가능한 큰 노력 없이 커넥팅 드에 대해 착탈 될 수 있어야 한다. 하지만 차폐 디스크가 착탈 가능하게 결합되어야 한다는 요구 사항은 파티클 발생이 피해져야 한다는 요구 사항과 충돌한다. 왜냐하면, 커넥팅 로드에 대해 차폐 디스크를 착탈시키는 동안 부재간의 마찰 및 파티클의 발생을 억제하는 것은 쉽지 않기 때문이다. 차폐 디스크와 커넥팅 로드 사이의 의도하지 않은 상대운동이 발생할 위험은 당연히 착탈되지 않는 결합 특히, 하나의 부재로 이루어진 경우보다 착탈 가능한 결합의 경우에 더 커지게 된다.

차폐 디스크의 후면(back) 상에 두 개의 커넥팅 로드를 위한 두 개의 열린 반원형의 리세스가 마련되어, 각각의 커넥팅 로드가 하나의 스크류에 의해 설치될 수 있으며, 스크류는 커넥팅 로드에 형성된 관통홀을 통하여 리세스(recess)에 형성된 나사홀에 삽입될 수 있다는 내용이 공지되어 있다. 축 방향에서의 커넥팅 로드에 대한 결합은, 스크류에 의해 가해져 커넥팅 로드와 리세스 사이에서 차폐 디스크에 수직으로 작용하는 힘에 의한 마찰 결합에 의해 그리고, 차폐 방향에서 작용하는 커넥팅 로드의 숄더(shoulder) 같은 부재에 의한 맞물림 결합(interlocking connection)에 의해, 효과가 증대된다. 이러한 숄더 같은 부재는, 차폐 디스크의 직선 운동과 밸브 시트에의 가압에 의하여 차폐 디스크의 차폐가 이루어진 경우, 반원형의 리세스의 상부 엣지(edge) 상의 커넥팅 로드를 지지한다.

이러한 고정방식은 제품명이 "MONOVAT 시리즈 02 그리고 03"이며 직사각형의 삽입 밸브인 VAT Vakuumventile AG사의 운동 밸브에 사용되어진다. 밸브 시트에 대하여 차폐 디스크의 정확한 위치조정(orientation)을 이루기 위해, 스크류는 차폐 디스크가 설치된 직후 단단히 조여지지 않는다. 그 결과, 커넥팅 로드와 차폐 디스크 사이의 상대 운동은 밸브가 차폐될 때 마찰이 극복되어 여전히 가능해진다. 이어서 밸브가 닫힌다. 커넥팅 로드와 차폐 디스크 사이에서의 고정이 여전히 견고하지 않으므로, 밸브 디스크는 밸브 시트를 향해 정확하게 위치조정된다. 더욱이, 초기에 직선의 운동 경로를 따르는 마찰 결합에 의해 붙들려진 커넥팅 로드는, 숄더 같은 부재가 반원형의 리세스의 상부 엣지 상에 견고하게 안착되어 맞물림에 의해 차폐력이 효과적이게 된 이후에야 차폐 디스크에 대해 상대적으로 운동하지 않는다. 후속 단계에서 스크류가 단단히 조여지고, 그리하여 커넥팅 로드에 대한 차폐 디스크의 상대운동을 더 이상 불가능해지게 된다. 두 커넥팅 로드의 두 숄더 같은 부재는 반원형의 리세스의 상부 엣지에 견고하게 안착되며 스크류를 단단하게 조임으로써 마찰력에 의해 상부 엣지에 고정된다. 커넥팅 로드와 차폐 디스크 사이의 결합 부위에 단지 직선의 차폐 방향에 대해서만 큰 힘이 작용하므로, 또한 이러한 큰 힘이 숄더 같은 부재에 의해 맞물림을 통하여 흡수되므로, 스크류의 견고한 조임에 의해, 커넥팅 로드와 차폐 디스크 사이에 어떠한 이동도 없게 된다. 그리하여 진공 밸브의 일반적인 위치조정이 이루어지는 동안 마찰에 의한 파티클의 발생이 상대적으로 낮게 유지된다. 스크류가 견고하게 조여지기 이전에 커넥팅 로드의 위치조정 중에 발생한 파티클은 청소하여 제거되어진다. 커넥팅 로드에 차폐 디스크를 고정시키기 때문에, 추가적인 파티클은 스크류가 풀리기 전에는 더 이상 발생하지 않는다.

이와 같은, 차폐 디스크와 커넥팅 로드 사이에서의 결합의 장점은, 커넥팅 로드에 대해 차폐 디스크를 착탈시키기 위해 요구되는 스크류의 조임과 풀림에 비교적 오래 관여할 수 있다는 것이다. 전술한, 차폐 디스크의 정확한 위치조정을 위한 스크류의 2단 조임은, 현재까지 알려진 결합에 의해 적절하게 해결될 수 없다는 문제점을 가지고 있다. 커넥팅 로드에 차폐 디스크를 설치한 직후에 물질 마찰 및 파티클의 발생을 방지하기 위해, 더 신속하고 더 편리하게 작동될 수 있으며 또한 차폐 디스크의 설치 직후 그리고 밸브의 최초 차폐 이전에 커넥팅 로드 상에 차폐 디스크를 정확하게 위치조정시킬 수 있는 연결 수단이 요구된다.

따라서 본 발명의 목적은, 단시간에 큰 노력을 들이지 않고, 자기-위치조정달(self-orientation)을 통하여 밸브 드라이브의 적어도 하나의 커넥팅 로드 상에 가능한 정확하게 설치되고 또 제거될 수 있는 진공 밸브의 차폐 디스크를 제공하여, 진공 밸브의 작동 중에 밸브 공간 안의 파티클의 양을 적게 유지하고자 하는 것이다.

이러한 목적은 독립 청구항들의 특징들을 실현함으로써 달성될 수 있다. 다른 방식으로 그리고 더 진보된 방식으로 본 발명을 더 발전시키는 특징들은 종속 청구항에서 기술된다.

본 발명의 진공 밸브는 유로의 밀봉 차폐를 돕는다. 이때 유로(flow path)란, 일반적으로 차폐될 수 있으며 두 지역 사이에 있는 통로를 뜻하며, 여기서 두 지역은, 반도체 제조를 위한 하나의 공정 챔버와, 다른 공정 챔버 또는 외부 중 어느 하나를 뜻한다. 예를 들어, 유로는 서로 연결된 두 공정 챔버들 사이의 통로이다. 여기서 공정 챔버는 어떤 챔버로부터 다음 챔버로 반도체 부품을 전달하기 위한 진공 밸브에 의해 열려질 수 있고 또한, 개별적인 제조 단계가 성취된 이후에 밀봉 차폐될 수 있다. 진공 밸브의 사용 분야에서 비롯되어 진공 밸브는 진공 전달 밸브로 불려지기도 하며, 일반적으로 직사각형의 열린 단면을 가지기 때문에 직사각형 게이트 밸브로 불리기도 한다. 물론, 유로를 실질적으로 밀봉 차폐하기 위한 본 발명에 따른 진공 밸브의 바람직한 다른 실시예가 가능하다. 개구를 예를 들면, 개구는 직사각형일 수 있고 또한 개구 영역에서 유로와 평행하고 또한 유로의 중심 을 따르는 중심축을 가질 수 있다. 이러한 개구 중심축은 개구에 의해 정의되는 면에 직교할 수 있다. 또한 개구는, 개구 중심축이 수직으로 관통하는 복수의 가상 평면들 안에서 개구를 곡선으로 둘러싸는 밸브 시트면(valve seat surface)에 의해 둘러싸인다.

진공 밸브는 적어도 하나의 커넥팅 로드를 포함할 수 있다. 커넥팅 로드는 개구 중심축에 대해 수직 방향으로 연장된 차폐 디스크의 가상의 평면 내에서 직선의 운동 경로를 따라 구동될 수 있고, 이때 그 운동 경로는 커넥팅 로드 축과 평행하다. 커넥팅 로드 축은 특히 일직선의 커넥팅 로드의 중심축과 평행하거나 동일 선상에 있다. 차폐 디스크 평면은 개구에 의해 정의되는 면에 평행하다. 밸브 드라이브(valve drive)는 선행기술로부터 알려진 밸브 드라이브로부터 형성될 수 있다. 직선 운동에 의해 차폐 가능한 진공 밸브를 위한 적합한 드라이브는 JP 6241344(Buriida Fuuberuto)에 개시된다. 이 문헌에 기술된 밸브 드라이브는 커넥팅 로드의 직선 운동을 위하여, 편심되도록 설치된 레버들(levers)을 구비한다. 커넥팅부의 중심에 배치된 배치된 가로방향의 관통홀을 가지는 커넥팅부는 커넥팅 로드의 일단부에 형성되며, 이때 관통홀은 차폐 디스크 평면에 직교한다.

진공 밸브는 적어도 하나의 커넥팅 로드 상에 착탈 가능하게 설치된다. 차폐 디스크는 밸브 시트면에 대응하는 차폐면을 가진다. 이러한 밸브 시트면과 차폐면이 대응한다는 것은 다음을 뜻한다. 즉, 개구 중심축에 실질적으로 직교하는 방향에서의 직선 운동에 의해 차폐면 상에 차폐 디스크가 가압되어 차폐면과 밸브 시트면 사이의 실링 접촉이 개구 주위에 형성되도록 차폐면과 밸브 시트면이 형성됨을 뜻한다. 개구로부터 이격된 차폐 디스크의 일측면 상에는, 적어도 하나의 오목한 그리고 반원형인 로드 리세스(rod recess)가 형성되며, 특히 커넥팅 로드가 둘일 때에는 두 개의 로드 리세스가 형성된다. 로드 리세스는 커넥팅 로드의 커넥팅부(connecting section)에 대응하여 마련되며, 이에 따라 커넥팅부를 로드 리세스에 커플링(coupling)하는 것이 가능해진다. 로드 리세스는 반원형의 채널 형상을 가지며, 이러한 채널에 실린더 형상이고 그 채널 형상에 들어맞는 커넥팅부가 배치될 수 있다. 더욱이, 차폐 디스크 평면에 실질적으로 직교하는 방향으로 로드 리세스의 중심에 배치된 나사홀이 차폐 디스크에 형성된다. 차폐 디스크 평면에 평행하게 배치되는 두 개의 커넥팅 로드와 두 개의 로드 리세스가 구비될 수 있다.

차폐 디스크는 스크류를 통하여 로드 리세스를 커넥팅부에 위치시킴으로써 적어도 하나의 커넥팅 로드에 착탈 가능하게 설치될 수 있다. 여기서 스크류는, 커넥팅 로드의 가로의 관통홀을 관통하여 차폐 디스크의 나사홀에 삽입되어 커넥팅부를 로드 리세스 측으로 가압한다.

부분적으로 굽어진 밸브 시트면에 대한 기하학적 수직면(geometrical normal) 및 차폐면에 대한 기하학적 수직면은 차폐 디스크 평면에 대해 실질적으로 평행하다. 차폐 디스크는 열린 위치와 밀봉 차폐된 위치 사이에서 운동 경로를 따라 밸브 드라이브에 의해 구동될 수 있다. 이때, 열린 위치에서는 개구가 전혀 봉쇄되지 않으며, 차폐된 위치에서는 차폐 디스크가 개구만큼 직선으로 이동하여 밸브 시트면 상에 운동 경로의 차폐 방향으로 가압한다. 기하학적 수직면은 밸브 시트면의 접촉면에 대해 그리고 차폐면의 접촉면에 대한 수직면을 뜻하며, 접촉면은 진공 밸브가 차폐된 상태에 있을 때 개구를 감싸게 된다. 접촉면은 차폐면 및 밸브 시트면의 실링 구간의 접촉면에 의해 형성될 수 있다. 일반적으로 이러한 정의로부터, 진공 밸브가 차폐되었을 경우 밸브 시트면에 대한 차폐면의 압력(즉, 압축력 방향)이 차폐 디스크 평면에 실질적으로 평행한 평면에서 가해져, 개구 중심축에 평행한 방향에서의 전단력(shear force)이 완전히 또는 실질적으로 피해지도록 밸브 시트면과 차폐면이 형성됨을 이해할 수 있다. 직선의 운동 경로는 차폐 디스크의 열린 위치와 닫힌 위치 사이의 직선이며, 바람직하게는 커넥팅 로드 축에 평행하다.

이와 같은 진공 밸브는 선행기술에 개시되는데, 예를 들어 그런 밸브로써 스위스의 하그(Haag)에 위치한 VAT Vakuumventile AG사에 의해 개발되어 제품명 "MONOVAT 시리즈 02 그리고 03"으로 판매된 직사각형의 삽입 밸브를 들 수 있다. 그 밸브의 설계 및 작동 모드는 US 4,809,950(Geiser) 및 US 4,881,717(Geiser)에서 기술되어져 있다.

본 발명에 따르면, 돌출부와 리세스는 로드 리세스와 커넥팅부 간의 결합 영역에 구비된다. 돌출부가 커넥팅부에 배치되고 리세스는 로드 리세스에 배치될 수 있으며, 그 반대의 경우도 가능하다. 더욱이, 커넥팅부와 로드 리세스가 각각 적어도 하나의 돌출부와 적어도 하나의 리세스를 구비하는 것도 가능하다. 돌출부와 리세스는, 돌출부가 커넥팅 로드 축이 놓인 평면 상에서 리세스에 의해 둘러싸잡히도록 형성될 수 있다. 그리고, 차폐 디스크 및 커넥팅 로드는 운동 경로 방향에서의 맞물림 결합에 의해 서로 고정되어진다. 그리하여, 차폐 디스크가 설치된 상태에서 맞물림 결합에 의해, 커넥팅 로드 축 방향과 평행한 두 방향 중 한 방향에서 커넥팅 로드에 대해 상대적으로 차폐 디스크를 이동시키는 것이 불가능해지며, 그 결과 부재간의 마찰 및 파티클의 발생이 방지될 수 있다. 이때, 스크류는 차폐 디스크를 로드 리세스 안으로 가압함으로써 돌출부를 리세스 안으로 가압한다. 결과적으로, 돌출부의 위치와 리세스의 위치에 의해 정의되는 위치에서, 차폐 디스크가 커넥팅 로드 축을 따라 커넥팅 로드에 대해 중심에 위치하게 된다. 차폐 디스크를 가압함에 의해 밸브 시트면에 작용하는 커넥팅 로드와 차폐 디스크 사이의 힘은, 돌출부와 리세스에 의한 마찰 결합에 의해 전달된다. 그리하여, 돌출부와 리세스는 두 가지 기능 즉, 힘의 전달 및 운동 경로 방향에서의 센터링(centering)을 수행한다. 그리하여, 차폐 디스크가 스크류에 의해 설치됨으로써, 운동 경로 방향에서의 차폐 디스크와 커넥팅 로드 사이의 거리 그리고 간접적으로 차폐 디스크와 밸브 드라이브 사이의 거리가 작동 중에 변하지 않게 된다.

본 발명에 따른 차폐 디스크와 커넥팅 로드 사이의 결합은, 단시간에 커넥팅 로드로부터 차폐 디스크를 분리하는 것과 커넥팅 로드에 차폐 디스크를 설치하는 것을 가능하게 한다. 본 발명에서는 스크류의 첫 번째 조임 이후 위치조정이 효과적으로 이루이지므로, 차폐 디스크의 정확한 위치조정을 위해 선행 기술에서 요구되는 전술한 스크류의 2단 조임은 생략될 수 있다. 차폐 디스크의 장착 직후 그리고 진공 밸브의 최초 차폐 이전에, 차폐 디스크는 커넥팅 로드에 정확히 위치조정되며, 이로 인하여 커넥팅 로드 상에 차폐 디스크를 장착한 직후 부재간의 마찰 및 파티클의 발생이 방지될 수 있다. 차폐 디스크가 자기-위치조정됨으로써 단시간에 그리고 적은 노력으로 정확하게 밸브 드라이브의 적어도 하나의 커넥팅 로드에 설치되고 또 분리될 수 있다. 그리고, 진공 밸브의 작동 중에 야기되는 밸브 공간 내의 파티클의 양이 적게 유지되어진다.

본 발명에 따른 리세스는 내측으로 테이퍼진(taperd) 단면을 가질 수 있다. 그리하여, 스크류에 의해 돌출부를 리세스 안으로 가압한 결과로써, 맞물림 방식에 의해 운동 경로 방향에서 차폐 디스크가 커넥팅 로드에 대해 중심에 위치한다. 돌출부와 리세스는 나사홀과 로드 리세스의 엣지 사이의 영역에 배치되는 것이 바람직하며, 이때 로드 리세스의 엣지는 인접한 밸브 드라이브를 위로 올려다보는 위치에 있다.

본 발명에 따른 리세스는 커넥팅 로드 축에 수직인 평면에 마련되는 그루브(groove)로 형성될 수 있다. 그루브는 "V"자 형상으로 마련되어 내측으로 테이퍼진 단면을 갖는다. 또한 리세스는 나사홀에 실질적으로 평행한 홈의 형상으로 마련될 수도 있다. 돌출부는, 그루브 또는 홈에 삽입되는 직선의 핀이나 다월 핀(dowel pin)과 같이 돌출 쐐기(peg)의 형상으로 마련될 수도 있다. 또한 돌출부는, 커넥팅 로드 축에 수직인 평면에 마련되어 그루브에 삽입되는 숄더(shoulder)일 수도 있다. 일반적으로 숄더는 플랜지(flange)와 같이 표면으로부터 돌출되어 신장되며 원주의 적어도 일부분에 연장된 영역을 의미한다. 예를 들어 숄더는, 커넥팅 로드와 밸브 차폐수단 사이에서 작용하는 축방향의 힘을 흡수하기 위한 칼라(collar), 스텝(step) 또는 베드(bead)일 수 있다. 숄더는 또한, "V"자 형상으로 마련되어 외측으로 테이퍼진 단면을 가질 수 있다. 그리고 숄더는, 스크류에 의해 그루브 안으로 가압되어 맞물려지는 방식을 통하여 차폐 디스크를 운동 경로 방향에서 커넥팅 로드에 대해 상대적으로 중심에 위치하도록 할 수 있다. 이처럼 숄더가 외측으로 테이퍼진 경우, 그루브도 숄더에 대응하여 내측으로 테이퍼진 단면을 갖는다.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시예들에 대해 더 상세히 설명하기로 한다.

도 1a는 본 발명의 제1 실시예에 따른 닫힌 위치에 있는 차폐 디스크 및 밸브 드라이브를 포함하는 진공 밸브의 사시도이다.

도 1b는 도 1a의 열린 위치에 있는 진공 밸브를 밸브 드라이브가 없는 상태로 도시한 정면도이다.

도 2a는 도 1a 및 도 1b의 진공 밸브에 구비된 차폐 디스크의 정면도이다.

도 2b는 도 2a에 도시된 로드 리세스 및 커넥팅부의 확대도이다.

도 2c는 도 2a에 도시된 로드 리세스 및 커넥팅부의 단면도이다.

도 3a는 본 발명의 제2 실시예에 따른 차폐 디스크의 정면도이다.

도 3b는 도 3a의 로드 리세스 및 커넥팅부에 대한 A-A선에 따른 단면도이다.

도 3c는 도 3a의 로드 리세스 및 커넥팅부에 대한 B-B선에 따른 단면도이다.

도 4a는 본 발명의 제3 실시예에 따른 차폐 디스크의 정면도이다.

도 4b는 도 4a의 로드 리세스 및 커넥팅부에 대한 A-A선에 따른 단면도이다.

도 4c는 도 4a의 로드 리세스 및 커넥팅부에 대한 B-B선에 따른 단면도이다.

도 1a 내지 도 2c는 바라보는 방향, 상태 또는 상세정도를 달리하여 본 발명의 제1 실시예를 도시하며, 경우에 따라 이들 도면들은 함께 기술된다. 도 3a 내지 도 3c는 본 발명의 제2 실시예에 따른 진공 밸브를 도시하며, 도 4a 내지 도 4c는 본 발명의 제3 실시예에 따른 진공 밸브를 도시한다. 각 실시예에서 도면 부호는 부분적으로만 다르기 때문에, 앞서서 설명된 도면 부호는 다시 반복하여 설명하지 않기로 한다.

도 1a 및 도 1b는 각각 사시도 및 정면도로서, 화살표 F 로 표시되는 유로를 가스가 세지 않도록 밀봉 차폐하는 직사각형 게이트 밸브 형상의 진공 밸브(1)를 도시한다. 도 2a, 2b 및 2c는, 도 1a 및 도 1b의 도시된 진공 밸브(1)의 구성 중에서 커넥팅 로드(8)의 단부들을 포함하는 차폐 디스크(5)를 도시한다.

이하에서는, 이들 다섯 개의 도면들을 참조하여 본 발명의 제1 실시예에 대하여 설명하기로 한다.

진공 밸브(1)는 유로(F)를 위한 개구(3)가 마련된 밸브 하우징(2)을 구비한다. 개구(3)는 꼭지점 부근이 둥근 직사각형 단면을 갖는다. 도 1a는 닫힌 위치(C)에 있는 진공 밸브(1)를 도시하며, 이때 개구(3)는 가려져서 보이지 않는다. 반면, 도 1b에서럼 진공 밸브(1)가 열린 위치(O)에 있는 경우 개구(3)는 명확히 보여진다. 개구(3)는, 유로(F)의 중심과 평행하게 연장되는 개구 중심축(12)을 갖는다. 이러한 개구 중심축(12)은 개구(3)에 의해 정의되는 가상의 면에 직교한다. 개구(3)는 밸브 시트면(4)에 의해 둘러싸이며, 이러한 밸브 시트면(4)은 개구 중심축(12)이 수직으로 통과하는 복수의 가상 평면들 안에서 개구(3) 주위를 곡면으로 둘러싼다. 밸브 시트면(4)은 밸브 드라이브(10) 방향인 상방향으로 부착되어 있다.

그리고, 진공 밸브(1)는 평판 형상의 차폐 디스크(5)를 포함한다. 이러한 차폐 디스크(5)는 밸브 시트면(4)에 대응하여 차폐면(7)을 갖는다. 이러한 차폐면(7)은 밸브 시트면(4)을 아래로 마주보는 위치에 설치되어 있으며, 도 2c의 차폐 디스 크(5)의 단면에서 보여지는 것처럼 밸브 시트면(4)과 마찬가지로 개구 중심축(12)이 수직으로 통과하는 복수의 가상의 평면들 안에서 개구(3) 주위를 곡면으로 둘러싼다. 반원형의 채널 형상을 갖는 두 개의 오목한 반원형의 로드 리세스(6)는, 개구(3)로부터 이격되어 있는 차폐 디스크(5)의 일측면(13) 상에 형성된다. 이러한 두 개의 로드 리세스(6)는 차폐 디스크 평면(E) 내에서 평행하게 마련된다. 도 2c에 도시된 바와 같이 차폐 디스크 평면(E)에 직교하는 나사홀(14)이 로드 리세스(6) 내부의 중앙에 마련되며, 참고로 도 2c는 도 2a에 따른 차폐 디스크(5)의 로드 리세스(6)의 A-A선에 따른 단면도이다.

차폐 디스크(5)는 두 개의 평행한 커넥팅 로드(8)에 착탈 가능하게 설치된다. 커넥팅부(9)를 갖는 커넥팅 로드(8)들은 로드 리세스(6)의 부분 단면에 대응하여 원형의 단면을 갖는다. 커넥팅 로드 축(19)에 평행한 직선의 운동 경로(11)를 따르는 밸브 드라이브(10)에 의해, 커넥팅 로드(8)는 개구 중심축(12)에 직교하는 차폐 디스크 평면(E) 상에서 직선으로 이동할 수 있다. 도 1a에서 가상의 차폐 디스크 평면(E)은, 직사각형으로 개략적으로 도시되며 평판 형상의 차폐 디스크(5)의 가운데 면(E)을 나타낸다. 커넥팅 로드(8) 각각에 마련된 커넥팅부(9)는, 그 중앙부에 배치되는 가로방향의 관통홀(15)을 갖는다. 도 2c를 참조하면, 관통홀(15)은 차폐 디스크 평면(E)에 실질적으로 직교한다.

차폐 디스크(5)는 두 개의 커넥팅 로드(8)에 착탈 가능하게 설치되며, 각각의 커넥팅 로드(8)에서의 설치는, 가로방향의 관통홀(15)을 관통하여 나사홀에 삽입되는 스크류(16)에 의해 로드 리세스(6)를 커넥팅부(9)에 위치시킴으로써 이루어 진다. 도 2c를 참조하면, 커넥팅부(9)는 스크류(16)에 의해 로드 리세스(6) 측으로 가압된다.

차폐 디스크 평면(E)은 개구(3)에 의해 정의되는 가상의 면에 평행하다. 일정거리 서로 이격된 밸브 시트면(4)과 차폐면(7)은, 그 거리가 밸브 드라이브(10)에 의해 조절되어 두 수직면이 서로 접촉될 수 있다. 도면 상에 도시되어 있지 않지만 두 수직면은 차폐 디스크 평면(E)에 평행하다. 그리하여, 직선의 운동 경로(11)를 따라 진공 밸브(1)를 차폐할 때 차폐 디스크 평면(E)에 실질적으로 평행한 평면에서 차폐면(7)의 압력이 밸브 시트면(4, 도 1a 참조) 상에 발생하도록, 밸브 시트면(4)과 차폐면(7)이 형성된다. 그 결과, 개구 중심축(12)에 평행한 방향의 전단력이 실질적으로 발생하지 않게 된다. 도 1a를 참조하면 차폐 디스크(5)는, 개구(3, 도 1b 참조)를 봉쇄하지 않은 열린 위치(O) 및 밀봉 차폐된 위치(C) 사이에서 운동 경로(11)를 따라 밸브 드라이브(10)에 의해 직선으로 구동되며, 차폐된 위치(C)에서는 차폐 디스크(5)가 개구(3)의 폭 만큼 이동되어 차폐되는 운동 경로(11)의 방향으로 차폐면(7)을 통하여 밸브 시트면(4)을 가압한다.

도 2a, 2b 및 2c를 참조하면, 커넥팅 로드(8)의 커넥팅부(9)에서, 돌출부(17)는 커넥팅 로드 축(19)에 직교하는 평면 상에서 커넥팅부(9) 둘레에 숄더(17a) 형상으로 마련된다. 도 2b 및 2c를 참조하면, 숄더(17a)는 커넥팅 로드(8)에 대하여 외측으로 테이퍼된 "V"자 형상의 단면을 갖는다. 도 2b 및 2c를 참조하면 로드 리세스(6)에는 그루브(18a) 형상의 리세스(18)가, 나사홀(14)과, 밸브 드라이브(10)를 올려다보는 위치에 있는 로드 리세스(6)의 에지(20) 사이의 영역에 배치된다. 이때 리세스(6)는, 돌출부(17)와 마찬가지로 커넥팅 로드 축(19)에 대해 직교하는 평면 상에 있게 된다. 그루브(18a)는 로드 리세스(6) 전체를 따라 원주 방향으로 형성된다. 숄더(17a)와 그루브(18a)는 동일 평면상에 즉, 커넥팅 로드(8)에 대해 동일 높이에 위치한다. 도 2c를 참조하면 숄더(170a) 형상의 돌출부(17) 및 그루브(18a) 형상의 리세스(18)는, 커넥팅 로드 축(19)이 포함된 가상의 평면 상에서 그루브(18a)가 숄더(17a)를 둘러싸잡는 방식으로 형성된다. 그리하여, 차폐 디스크(5) 및 커넥팅 로드(8)는 운동 경로(11) 방향에서 함께 맞물리는 방식으로 고정된다. 도 2b 및 2c를 참조하면, 그루브(18a)는 내측으로 테이퍼된 단면을 가지며, 그루브(18a)에 대응하여 숄더(17a)는 외측으로 테이퍼된 단면을 가진다. 그 결과, 스크류(16)에 의해 그루브(18a) 안으로 작용하는 숄더(17a)의 압력에 의해, 차폐 디스크(5)는 운동 경로(11) 방향에서 맞물림 방식을 통하여 커넥팅 로드(8)의 중심에 위치하게 된다. 그리하여 커넥팅 로드(8)와 차폐 디스크(5)는, 커넥팅 로드 축(19)의 방향에서 서로 고정되어 동작하게 된다.

스큐류(16)에 의한 초기의 견고한 조임에 의해, 운동 경로(11) 방향에서 커넥팅 로드(8)에 대한 차폐 디스크(5)의 위치조정이 이루어지게 된다. 차폐 디스크(5)의 설치 직후 그리고 진공 밸브(1)의 최초 차폐 이전에 차폐 디스크(5)가 정확하게 커넥팅 로드(8)에 위치조정되는 결과, 커넥팅 로드(8) 상에 차폐 디스크(5)를 설치한 이후 부재간의 마찰 및 파티클의 발생이 방지될 수 있다. 차폐 디스크(5)는 밸브 드라이브(5)의 커넥팅 로드(8) 상에 자기-위지초정에 의해 정확하게 설치될 수 있고 또한 다시 분리될 수 있다. 그리고 내측으로 압력을 가함으로써 이 루어지는 맞물림 고정에 의해 밸브 디스크(5)와 커넥팅 로드(8) 사이에 어떠한 상대적인 움직임도 일어날 수 없기 때문에, 진공 밸브(1)의 자기 고정 중에 야기될 수 있는 밸브 공간 내의 파티클들이 적게 발생하게 된다.

도 3a, 3b 및 3c는 본 발명에 따른 제2 실시예를 도시한다. 도 3b 및 3c는 각각 도 3a의 A-A선 및 B-B선에 따른 단면도로서, 도 3의 로드 리세스(6) 및 커넥팅 로드(8) 부근을 도시한다. 여기서, 리세스(18)는 로드 리세스(6, 도 3b 및 3c 참조) 안의 나사홀(14)에 실질적으로 평행한 요입홈(18b)의 형상으로 마련된다. 따라서 요입홈(18b) 및 나사홀(14)의 축들은 커넥팅 로드 축(19)를 포함하는 가상의 평면 상에 있게 된다. 돌출부(17)는, 도 3b 및 3c에 도시된 바와 같이, 커넥팅 로드(8)의 커넥팅부(9)에 고정되는 일직선으로 돌출된 핀(17b)으로 형성된 돌출 쐐기이다. 스크류(16)를 조이는 과정에서 일직선의 핀(17b)을 요입홈(18b) 안으로 안내함으로써 커넥팅 로드(8)와 차폐 디스크(5) 사이에는, 커넥팅 로드 축(19)에 대한 운동 경로(11)에서의 축방향의 맞물림 고정 및 반경 방향의 맞물림 고정이 이루어지게 된다. 그리하여, 운동 경로(11) 방향에서의 직선의 상대운동 및 커넥팅 로드 축(19)에 대한 회전 운동이 방지될 수 있다.

도 4a, 4b 및 4c는 본 발명에 따른 제3 실시예를 도시한다. 도 4b 및 4c는 각각 도 4a의 A-A선 및 B-B선에 따른 단면도로서, 도 4의 로드 리세스(6) 및 커넥팅 로드(8) 부근을 도시한다. 여기서, 리세스(18)는, 커넥팅 로드 축(19)에 직교하는 평면 상에서 형성된 낫-형상의 그루브(18c)로 형성된다. 돌출부(17)는 커넥팅 로드(8)의 커넥팅부(9)에 고정되는 다월 핀(17c, dowel pin)의 형상으로 마련된다. 스크류(16)를 조이는 과정에서 다월 핀(17c)을 낫-형상의(sickle-shaped) 그루브(18c) 안으로 안내함으로써, 커넥팅 로드 축(9)에 대한 운동 경로(11)에서 축방향의 맞물림 고정이 커넥팅 로드(8) 및 차폐 디스크(5) 사이에서 발생하게 되고, 따라서 운동 경로(11) 방향에서의 어떠한 직선의 상대운동도 일어나지 않게 된다. 다월 핀(17c) 대신에, 제2 실시예에서의 직선의 핀(17b)을 사용할 수 있고, 그 반대도 가능하다. 그리고, 낫-형상의 그루브(18c) 대신에, 제1 실시예에서 보여진 바와 같은 일반적인 그루브(18a)가 적용될 수도 있다.

Claims

유로(F)를 위한 개구(3)와, 상기 개구(3)를 둘러싸는 밸브 시트면(4)을 구비하는 밸브 하우징(2);

밸브 드라이브(10);

개구 중심축(12)에 직교하는 차폐 디스크 평면(E) 상에서 커넥팅 로드 축(19)에 평행한 직선의 운동 경로(11)를 따라 상기 밸브 드라이브(10)에 의해 조절되어지며, 상기 차폐 디스크 평면(E)에 실질적으로 직교하는 방향으로 커넥팅부(9)의 중심에 배치되는 가로방향의 관통홀(15)이 마련된 상기 커넥팅부(9);를 구비하는 적어도 하나의 커넥팅 로드(8); 및

상기 밸브 시트면(4)에 대응하는 차폐면(7);과, 상기 커넥팅부(9)에 대응하고 상기 개구(3)로부터 이격된 차폐 디스크(5)의 일측면(13) 상에 형성되며 반원형의 적어도 하나의 오목한 로드 리세스(6);와, 상기 차폐 디스크 평면(E)에 실질적으로 수직인 방향으로 상기 로드 리세스(6)의 중심에 배치되는 나사홀(14);을 구비하며, 상기 관통홀(15)을 관통하고 상기 나사홀(14)에 삽입되어 상기 커넥팅부(9)를 상기 로드 리세스(6) 안으로 가압하는 스크류(16)에 의해 상기 로드 리세스(6)가 상기 커넥팅부(9)에 위치됨으로써 적어도 하나의 상기 커넥팅 로드(8)에 착탈 가능하게 설치되고, 상기 밸브 시트면(4)과 상기 차폐면(7)에 대한 수직면들이 상기 차폐 디스크 평면(E)에 대해 실질적으로 평행하며, 상기 개구(3)가 봉쇄되지 않는 열린 위치(O)와 밀봉 차폐되며 차폐 디스크(5)가 상기 개구(3)에 대해 직선으로 이동하여 상기 차폐면(7)을 통하여 상기 운동 경로(11)의 차폐 방향으로 상기 밸브 시트면(4)을 가압하는 닫힌 위치(C) 사이에서, 상기 운동 경로(11)를 따라 상기 밸브 드라이브(10)에 의해 직선으로 구동되는 차폐 디스크(5);를 포함하며,

상기 로드 리세스(6)와 상기 커넥팅부(9)의 결합 영역에 돌출부(17) 및 리세스(18)가 형성되고,

상기 커넥팅 로드 축(19)을 포함하는 평면 내에서 상기 리세스(18)가 상기 돌출부(17)를 싸잡도록, 상기 로드 리세스(6) 및 상기 커넥팅부(9)가 형성되며,

상기 차폐 디스크(5) 및 상기 커넥팅 로드(8)는 상기 운동 경로(11) 방향에 대해 맞물림 방식에 의해 서로 고정되어진 것을 특징으로 하는 유로를 밀봉 차폐하기 위한 진공 밸브.
제 1항에 있어서,

상기 리세스(18)는,

상기 스크류(16)에 의해 상기 돌출부(17)를 상기 리세스(18) 안으로 가압함으로써 상기 운동 경로(11) 방향에서 상기 차폐 디스크(5)가 맞물림 방식으로 상기 커넥팅 로드(8)의 중심에 위치하도록, 테이퍼진 단면을 갖는 것을 특징으로 하는 유로를 밀봉 차폐하기 위한 진공 밸브.
제 1항 또는 제 2항에 있어서,

상기 돌출부(17) 및 상기 리세스(18)는,

상기 나사홀(14)과, 상기 밸브 드라이브(10)를 올려다보도록 위치한 상기 로드 리세스(6)의 엣지(20) 사이의 영역에 배치되는 것을 특징으로 하는 유로를 밀봉 차폐하기 위한 진공 밸브.
제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 돌출부(17)는 상기 커넥팅부(9)에 배치되고, 상기 리세스(18)는 상기 로드 리세스(6)에 배치되는 것을 특징으로 하는 유로를 밀봉 차폐하기 위한 진공 밸브.
제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 리세스(18)는,

상기 커넥팅 로드 축(19)에 수직인 평면에 위치하는 그루브(18a, 18c)로 형성되는 것을 특징으로 하는 유로를 밀봉 차폐하기 위한 진공 밸브.
제 5항에 있어서,

상기 그루브(18a)는,

"V"자 형상으로 마련되어 내측으로 테이퍼진 단면을 갖는 것을 특징으로 하는 유로를 밀봉 차폐하기 위한 진공 밸브.
제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 리세스(18)는,

상기 나사홀(14)에 실질적으로 평행한 요입홈(18b)으로 형성된 것을 특징으로 하는 유로를 밀봉 차폐하기 위한 진공 밸브.
제 5항 내지 제 7항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 돌출부(17)는,

일직선으로 돌출된 핀(17b) 또는 다월 핀(17c)일 수 있는 돌출 쐐기로 형성된 것을 특징으로 하는 유로를 밀봉 차폐하기 위한 진공 밸브.
제 5항 또는 제 6항에 있어서,

상기 돌출부(17)는,

상기 커넥팅 로드 축(19)에 수직인 평면에 위치하는 숄더(17a)로 형성된 것을 특징으로 하는 유로를 밀봉 차폐하기 위한 진공 밸브.
제 9항에 있어서,

상기 숄더(17a)는,

"V"자 형상으로 마련되며 외측으로 테이퍼진 단면을 갖는 것을 특징으로 하는 유로를 밀봉 차폐하기 위한 진공 밸브.
제 1항 내지 제 10항 중 어느 한 항에 따라, 유로(F)의 밀봉 차폐를 위하여, 유로(F)를 위한 개구(3)가 마련된 밸브 하우징(2)과 상기 개구(3)를 둘러싸는 밸브 시트면(4)을 구비하는 진공 밸브(1)에 구비된 차폐 디스크(5)로서,

상기 차폐 디스크(5)는, 상기 진공 밸브(1)의 상기 밸브 시트면(4)에 대응되어 마련된 차폐면(7);과, 로드 리세스(6);를 포함하며,

상기 로드 리세스(6)는, 그 연장 방향과 평행한 커넥팅 로드 축(19)을 갖는 커넥팅 로드(8)를 재치하기 위해 상기 개구(3)로부터 이격된 상기 차폐 디스크(5)의 일측면(13)에 형성되고, 차폐 디스크 평면(E)에 실질적으로 직교하는 상기 로드 리세스(6)의 중심에 배치된 나사홀(14)을 가지며,

상기 차폐 디스크(5)는, 상기 나사홀(14)에 삽입되어 상기 커넥팅부(9)를 상기 로드 리세스(6) 안으로 가압하는 스크류(16)에 의해 상기 커넥팅 로드(8)의 커넥팅부(9) 상에 상기 로드 리세스(6)를 위치시킴으로써 상기 커넥팅 로드(8)에 착탈 가능하게 설치되며,

상기 커넥팅 로드(8)는, 상기 진공 밸브(1)의 개구 중심축(12)에 직교하는 차폐 디스크 평면(E) 상에서, 상기 커넥팅 로드 축(19)에 평행한 직선의 운동 경로(F)를 따라 상기 밸브 드라이브(10)에 의해 구동되며,

적어도 부분적으로 굽어진 상기 밸브 시트면(4) 및 상기 차폐면(7)에 대한 수직면들(normals)은, 상기 차폐 디스크 평면(E)에 실질적으로 평행하며,

상기 차폐면(7)은, 상기 운동 경로(F)의 차폐 방향에서 상기 밸브 시트면(4) 상에 가압되어, 상기 차폐 디스크(5)가 상기 개구(3) 만큼 직선으로 이동하여 상기 개구(3)를 밀봉 차폐하는 위치(C)로 이동할 수 있으며,

상기 로드 리세스(6)에는, 상기 커넥팅부(9)의 돌출부(17)를 둘러싸잡기 위한 리세스(18)가 마련되며,

상기 리세스(18)는, 상기 커넥팅 로드 축(19)을 포함하는 평면 상에서 상기 돌출부(17)를 싸잡도록 형성되며,

상기 차폐 디스크(5) 및 상기 커넥팅 로드(8)는, 상기 운동 경로(11)의 방향에서 맞물림 방식으로 서로 고정될 수 있도록 마련된 것을 특징으로 하는 진공밸브에 구비된 차폐 디스크.
제 11항에 있어서,

상기 리세스(18)는,

상기 커넥팅 로드 축(19)에 직교하는 평면에 마련되는 그루브(18a, 18c)로 형성되는 것을 특징으로 하는 진공밸브에 구비된 차폐 디스크.
제 12항에 있어서,

상기 그루브(18a)는,

상기 로드 리세스(6) 전체를 따라 연장되는 것을 특징으로 하는 진공밸브에 구비된 차폐 디스크.
제 12항 또는 제 13항에 있어서,

상기 그루브(18a)는,

"V"자 형상으로 마련되어 내측으로 테이퍼진 단면을 갖는 것을 특징으로 하는 진공밸브에 구비된 차폐 디스크.
제 11항에 있어서,

상기 리세스(18)는,

상기 나사홀(14)에 실질적으로 평행한 요입홈(18b)으로 형성된 것을 특징으로 하는 진공밸브에 구비된 차폐 디스크.
제 11항 내지 제 15항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 돌출부(17)는,

상기 나사홀(14)과, 상기 밸브 드라이브(10)를 올려다보도록 위치한 상기 로드 리세스(6)의 엣지(20) 사이의 영역에 배치되는 것을 특징으로 하는 진공밸브에 구비된 차폐 디스크.