CN106030176A - 真空阀 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种真空阀(1)，包括：螺栓元件(9a；9b)，其用于将真空阀(1)的第一部件部分(10)机械联接地连接至第二部件部分(11)。螺栓元件(9a；9b)具有力传递表面部分(18)，其布置于具有第一螺纹(14a；14b)的螺纹表面部分(12)和布置于第一气体区域(5)中用于工具(17)的接合表面部分(15)之间。第一部件部分(10)和第二部件部分(11)能够通过第一螺纹(14a；14b)和关联至第二部件(11)的第二螺纹(21a；21b)之间的螺接接合以形状配合方式机械联接，该螺接接合通过第一部件(10)中的通孔(20)执行。螺栓元件(9a；9b)具有在螺纹表面部分(12)和接合表面部分(15)之间的密封表面部分(24)。在密封表面部分(24)和第一部件(10)的密封面(25)之间，密封用密封元件(26a；26b)布置成使得第一气体区域(5)以气密或者微粒不渗透方式与布置螺纹表面部分(12)的第三气体区域(27)分离。

Description

真空阀
本发明涉及一种根据权利要求1的前序部分所述的真空阀以及根据权利要求19的前序部分所述的用于真空阀的螺栓元件。
真空阀通常公知于现有技术的不同实施例，其用于基本气密地关闭引导通过形成在阀壳体中的开口的流动路径。
真空闸阀尤其使用在IC以及半导体制造领域，其必须发生在可能不存在污染微粒的保护气氛中。作为例子，在用于半导体晶片或者液晶基板的制造设备中，高灵敏度半导体或者液晶元件依次通过多个处理腔室，布置在处理腔室内的半导体元件借助机加工装置被机加工。在处理腔室内的机加工程序期间以及在从处理腔室传输至处理腔室期间，高灵敏度半导体元件必须始终处于保护气氛中，尤其处于真空中。
处理腔室作为例子经由连接通路彼此连接，其中，处理腔室能够借助真空闸阀打开以将部件从一个处理腔室传递至下一个处理腔室，然后能够以气密方式被关闭以实施特定制造步骤。由于本申请的描述的领域，该类型的阀还称为真空传递阀，由于它们的矩形开口截面还称为矩形闸阀。
因为使用传递阀，尤其在高灵敏度半导体元件的生产中使用传递阀，尤其因阀的致动以及因机械加载阀闭合件会引起粒子生成，阀腔室中自由粒子的数量还必须保持尽可能低。粒子生成主要是作为例子因金属间接触以及磨耗摩擦的结果。
取决于特定驱动技术，尤其闸阀(还称为阀闸或者矩形闸阀)和梭阀之间具有区别，其中，在现有技术中阀的关闭以及打开通常发生在两个步骤中。在第一步骤中，阀闭合件(尤其闭合盘)在闸阀的情形下，作为例子公知于US6,416,037(Geiser)或者公知于US6,056,266(Blecha)，尤其具有L类型，其线性移位越过大致平行于阀座的开口，或者在梭阀的情形下，正如作为例子公知于US6,089,537(Olmsted)，其绕枢转轴线枢转越过开口，而闭合盘和阀壳体的阀座之间没有任何接触。在第二步骤中，闭合盘借助其闭合侧被压靠阀壳体的阀座，使得开口以气密方式被关闭。例如经由布置在闭合盘的闭合侧的密封件或者经由阀座上的密封圈能够提供密封效应，所述密封件靠着绕开口运行的阀座被按压，闭合盘的闭合侧被压靠所述密封圈。密封件、尤其密封圈能够被保持和/或硫化在凹槽中。
不同的密封设备公知于现有技术，例如US6,629,682B2(Duelli)的例子。作为例子，用于真空阀中的密封圈以及密封的合适材料是氟化橡胶，还称为FKM，尤其氟橡胶公知为商标名称以及还称为全氟化橡胶，或者简称为FFKM。
在描述的两个阶段移动中，首先闭合件横向滑动越过开口而不密封接触阀座，然后闭合件大致垂直地被压靠阀座，除了精确调整流量的可能性之外，描述的两个阶段移动具有的主要优势在于，密封件实际上专门地垂直被按压而无任何密封件的横向或者纵向加载。为了该目的，使用单个驱动器或者多个驱动器(例如两个线性驱动器或者线性驱动器以及扩散驱动器)，单个驱动器能够使闭合件呈L状移动。
此外，闸阀是公知的，在闸阀中，关闭以及密封操作实际上经由单个线性移动执行，但是密封几何形状使得完全避免横向加载密封件。该类型的阀作为例子公知为产品名称“MONOVAT系列02和03”以及公知为瑞士哈格的VAT Vakuumteiler AG公司的传递阀，具体为矩形插阀。该类型阀的结构以及操作原理作为例子在US4,809,950(Geiser)和US4,881,717(Geiser)中被描述。
在这些专利中描述的阀在其壳体中具有密封面，密封面被认为在阀贯通开口的轴线方向上具有布置于其他部分后面的部分，并且密封面经由连续曲线过渡至横向向外延伸的扁平密封面部分，其中，该密封面形成在一件但是具有多个部分，该密封面的假想发生器平行于阀贯通开口的轴线。
在JP6241344(Buriida Fuuberuto)中提出了用于能够借助线性移动关闭的该类型传递阀的合适驱动器。该专利中描述的驱动器具有偏心安装的操作杆，用于线性移位连接杆，闭合件安装在连接杆上。
在上述提到的阀类型的普遍实施例中，闭合件和阀驱动器经由至少一个移位臂(尤其连接杆或者阀杆)连接。此处，刚性移位臂经由其一个端部刚性地连接至闭合件以及经由其另一端部刚性地连接至阀驱动器。在大多数阀中，闭合盘借助螺栓连接至至少一个连接杆。
CH699258B1描述了一种真空阀，其包括闭合盘和至少一个连接杆，至少一个杆插座形成在闭合盘中，闭合盘经由接合在杆插座中的连接杆的连接部分可移除地安装在至少一个连接杆上。杆插座形成为盲孔，连接杆经由其连接部分插入该盲孔中。闭合盘具有夹紧元件，夹紧元件以可移位方式突出至盲孔中，并且形成为使得夹紧连接存在于闭合盘和连接部分之间并且能够通过夹紧元件的移位被释放。密封粒子的密封圈布置于盲孔和连接杆之间，使得防止因夹紧连接产生的粒子离开盲孔，由此在阀腔室中因材料摩擦引起的不期望粒子的数量保持低，以及使得能够快速以及舒适地组装和分解至少一个连接杆上的闭合盘。
DE102008061315B4描述了借助相对于阀杆横向延伸的横杆将阀板安装在阀杆上。横杆尤其通过螺栓连接在阀杆的中间连接点处，并且尤其借助螺栓至少在布置于中间连接点的两侧的两个横向连接点处连接至阀板。横杆位于与中间部分的阀板一定距离处，中间部分包括中间连接点以及在两侧毗连所述连接点的横杆的部分。借助简单设计的该安装，例如在1°的区域中，借助扭转横杆能够实现阀板相对于阀杆绕与阀杆成直角的枢转轴线的特定枢转运动。因而能够实现非常简单的设计。横杆能够优选形成为一件，尤其完全由金属形成。
US6471181B2描述了一种类似装备。连接至阀杆的横杆包括第一板，第一板具有锥形开口，用于接收螺接至第一板的阀杆的端部。弹性支承块在阀杆的连接件的中间点的两侧附接至第一板，第二板附接至与第一板相对的所述支承块的侧面，所述第二板均螺接至阀板。借助这些弹性支承块，能够绕与阀杆布置成直角的轴线倾斜，使得实现将阀板的密封件更均匀地压靠阀座。
US2008/0066811A1描述了一种真空阀，其中，阀板连接至第一和第二横杆。横杆经由连接构件连接至阀板。连接构件具有连接臂，连接臂在横杆的纵向方向上在与横杆的连接点的两侧延伸，所述连接臂在它们的端部连接至连接肢，连接肢在横杆的纵向方向上共同延伸，所述连接肢在横杆的纵向方向上隔开的多个点上螺接至阀板。结果，实现在横杆的纵向方向上更均匀地传递力。
这些实施例的共同特征是，布置在真空阀的真空区域内的闭合件借助同样布置在该真空区域内的至少一个螺栓连接件直接连接至阀驱动器的移位臂，或者尤其经由横杆间接连接至阀驱动器的移位臂。
真空区域内的螺栓连接件造成的风险公知为虚拟内部真空泄漏，因为当内部阀腔室被抽空时螺栓连接件的螺纹的特定部分以气密方式以可变程度隔绝剩余的周围环境，因此某些情形下保留在螺纹中的气体随着抽空会慢慢泄漏并且污染内部阀腔室。基于该原因，在现有技术中已经创建了进入螺纹部分的连接通道以及狭槽，由此螺纹被排气。因而，在抽空的情形下没有气体能够保留在螺纹中。
换句话说，为了避免任何内部气体区域，在真空阀的情形下进行特定测量，内部气体区域布置在真空阀的真空区域内并且被真空区域封闭，尤其借助排放镗孔通过对这些内部气体区域进行排气，因而将它们连接至真空区域。在螺栓连接件的情形下，这借助所描述的连接通道或者狭槽进行。
该有意的螺纹排气公知于真空阀的真空区域内的螺栓连接件的情形下，并且已经使用在市场上发现的阀类型中。
但是，已经发现，为了避免虚拟内部真空泄漏，该有意创建的螺纹排气在特定程度上会是不利的，尤其借助螺栓连接件所连接的部分之间具有期望或者不期望最小相对移动，因为呈微粒形式的小摩擦粒子产生在螺纹内并且漏出排放通道或者狭槽并且污染阀的内部。在金属螺纹时尤其如此。这导致对制造处理的负面影响。但是，在真空区域的常规螺栓连接件的情形下，螺纹部分的相对移动如此低，使得粒子生成先前被认为是可以忽略的。
但是，在一些连接类型的情况下，螺纹的相对移动是不可避免的。尤其在DE102008061315B4中描述的以上类型的阀中，会导致螺纹中该类型的相对移动以及产生粒子生成，因为为了能够绕虚拟枢转轴线进行枢转运动，在该阀的情况下存在横杆的有意弹性变形。
真空阀的真空区域内的螺栓连接件通常造成的风险是，生成不期望的呈微粒形式的破坏处理的摩擦粒子，它们是螺纹之间的相对移动创建的结果。
因此，本发明的目的是提供一种真空阀，其在真空区域中具有螺栓元件，用于将真空阀的第一部件部分以机械联接方式连接至第二部件部分，并且还具有适合于该目的的螺栓元件，借助螺栓元件，在真空区域内，因在螺栓连接件的螺纹中的材料摩擦而产生的摩擦粒子的数量保持低。
该目的通过实现独立权利要求的特征而实现。能够从从属权利要求推论出以可替换或者有利方式进一步发展本发明的特征。
简而言之，本发明包括一种真空阀，其具有螺栓元件，用于将真空阀的第一部件部分以机械联接方式连接至第二部件部分。螺栓元件具有力传递表面部分，力传递表面部分在具有第一螺纹的螺纹表面部分以及用于工具的接合表面部分之间，所述接合表面部分布置在第一气体区域中。第一部件部分和第二部件部分能够通过第一螺纹和关联至第二部件部分的第二螺纹之间的螺接接合以形状配合方式机械联接，所述螺接接合通过第一部件部分中的通孔来执行。螺栓元件具有螺纹表面部分和接合表面部分之间的密封表面部分。
根据本发明，密封用密封元件以这种方式布置于第一部件部分的密封表面部分以及密封面之间，使得第一气体区域以密封气体或者粒子的方式与第三气体区域分离，螺纹表面部分布置于第三气体区域中。
为了避免阀内部被产生在布置于阀内部的螺栓连接件的螺纹中的摩擦粒子所污染，因而采取措施，该措施初始出现看起来与现有技术中的教导相反，根据现有技术的教导，为了避免虚拟内部真空泄漏应该要对螺纹进行排气。
根据本发明，布置在阀内部的螺栓连接件以气密或者不透粒子方式借助至少一个密封件被封装。因而螺栓连接件的螺接区域以与其余区域气密或者不透粒子的方式在阀内部被密封。在真空区域内，因而隔离区域被有意地创建以用于被封装的螺接连接件，以便防止粒子离开该区域。
根据本发明的真空阀包括闭合件，闭合件尤其形成为闭合板、闭合盘或者形成为闭合杆。
闭合件具有用于气密地关闭将第一气体区域连接至第二气体区域的开孔的闭合面。该闭合面尤其由闭合件的前侧形成。开口尤其形成在阀的阀壁或者壳体中。如果闭合件关闭开口，那么闭合件分离开口一侧的第一气体区域与开口另一侧的第二气体区域。在闭合件的打开位置，第一气体区域和第二气体区域实际上经由打开开口而彼此连接并且形成共同气体区域，但是，下文将考虑这两个气体区域，甚至在闭合件的打开位置，它们也作为几何上分离的气体区域，在闭合件的关闭位置，它们彼此在被闭合面横跨的几何界面处交接。
真空阀例如形成为传递阀，具有尤其大致矩形的开口截面，并且具有平面的、尤其同样大致矩形的闭合杆，其中，如上所述，闭合件能够借助一阶段或者两阶段移动而移位。
闭合件布置在至少一个移位臂上，移位臂尤其由线性延伸或者以弯曲方式延伸的连接杆形成，或者通过阀杆形成，并且尤其沿着几何移位轴线而延伸。
为了移位闭合件，驱动单元机械联接至该移位臂。该驱动单元以这种方式布置及设计，使得通过借助驱动单元移位所述移位臂，第一气体区域中的闭合件能够在打开位置和关闭位置之间来回移位。因而闭合件能够在第一气体区域内移动。在打开位置，闭合件释放开口，而在关闭位置，闭合件的闭合面以气密方式关闭开口，并且以气密方式分离第一气体区域与第二气体区域。尤其是，闭合面的边缘部分以气密方式搁置在围绕开口的阀座上，其中，用于产生气密接触的密封件固定在该边缘区域中或者固定在阀座上。
真空阀额外地具有螺栓元件，用于将真空阀的第一部件部分以机械联接方式连接至第二部件部分，第一部件部分至少局部布置在第一气体区域中。第一部件部分是真空阀的部件部分，而第二部件部分还能够被分配至另一单元(例如真空室)。但是，第二部件部分也能够是真空阀的部件部分。第一部件部分或者第二部件部分机械联接至驱动单元。尤其是，两个部件部分中的一个是能够由驱动单元机械移动或者驱动的部件部分。可替换地，两个部件部分中的一个间接或者直接机械联接至驱动单元的壳体。
尤其是，第一部件部分由移位臂形成，第二部件部分由闭合件形成，或者反之亦然，即第一部件部分由闭合件形成，第二部件部分由移位臂形成，其中，移位臂和闭合件借助螺栓元件连接。
螺栓元件的外表面，即几何上在外部限定螺栓元件的表面，被分成多个功能部分和/或结构部分，具体地至少分成螺纹表面部分、接合表面部分以及布置它们之间并且分离所述螺接以及接合表面部分的力传递表面部分。所有表面部分优选绕螺栓元件的第一轴线环形延伸。
绕几何第一轴线延伸的第一螺纹形成在螺纹表面部分上。该第一螺纹可以是外螺纹或者内螺纹。螺纹通常理解为意思是异形槽，也即是说螺栓元件中的螺纹圈，其绕螺旋体内部或外部的柱形壁以螺旋方式连续延伸。
接合部形成在接合表面部分上，使得螺栓元件能够尤其借助工具绕第一轴线旋转和/或以形状配合方式固定而不能绕第一轴线旋转，所述工具能够以形状配合方式接合在接合部中。布置在第一气体区域中的接合表面部分能够作为例子通过内或外多边形插口(尤其六边形或者正方形插口、多齿插口、12点插口或者具有多个倒圆边缘的插口以及狭槽或者十字槽)形成。换句话说，该接合表面部分以这种方式成型，使得绕螺栓元件的第一轴线的转矩能够借助螺栓元件以及接合在该接合表面部分中的接合元件之间的形状配合接合被传递。例如，该接合元件能够是工具或者抗旋转保护器件。
力传递表面部分布置于螺纹表面部分和接合表面部分之间，至少局部指向沿着第一轴线延伸的螺栓关闭方向。该力传递表面部分作为例子通过径向向外突出超过第一螺纹的台阶或者肩部形成。
第一部件部分具有沿着第一轴线延伸的通孔，尤其是贯通镗孔。通孔能够具有任何截面，尤其具有圆形截面。通孔被接触面围绕，尤其被接触面环形包围，接触面至少局部指向与螺栓关闭方向相反的螺栓打开方向。接触面和力传递表面部分形成用于相互接触以及在平行于第一轴线的方向上的力传递。
第一部件部分和第二部件部分能够或者通过如下以形状配合方式机械联接：通过通孔进行的螺栓元件的第一螺纹和关联至第二部件部分的第二螺纹之间的螺接接合；以及还通过将力传递表面部分搁置在第一部件部分的接触面上。换句话说，第一部件部分和第二部件部分能够或者以形状配合方式借助螺栓元件彼此连接，其中，经由螺栓元件的第一螺纹和机械联接至第二部件部分的第二螺纹之间的螺接接合断开连接。
根据本发明，螺栓元件具有密封表面部分。该密封表面部分布置于螺纹表面部分和接合表面部分之间，包围第一轴线，并且将螺纹表面部分和接合表面部分彼此分离。密封表面部分优选相对于第一轴线在轴向上位于螺纹表面部分和接合表面部分之间。
第一部件部分具有与接触面相邻的包围所述通孔的密封面。包围第一轴线的密封用密封元件布置于螺栓元件的密封表面部分和第一部件部分的密封面之间，使得第一气体区域与布置有螺纹表面部分的第三气体区域分离。换句话说，密封面和密封表面部分被设计以及布置成，使得固定在密封面或者密封表面部分上的中间密封元件以密封气体或者粒子的方式将第一气体区域与第三气体区域分离，螺栓元件的接合表面部分布置于第一气体区域中，螺纹表面部分布置于第三气体区域中。
因而绕着第一轴线环形延伸的密封元件形成密封表面部分和密封面之间的气密或者不透粒子式连接，使得该密封元件在第一气体区域和第三气体区域之间形成气密或者不透粒子式的分离。
借助第一气体区域(闭合件布置在第一气体区域中并且第一气体区域保持没有会对处理造成破坏的摩擦粒子)和第三气体区域(具有第一螺纹的螺纹表面部分布置于第三气体区域中)之间的该分离，通过螺栓元件的第一螺纹和分配至第二部件部分的第二螺纹之间的相对移动在第三气体区域内形成的摩擦粒子，被防止入侵第一气体区域。因而根据本发明能够保持布置在第一和第二气体区域中的较低数量的潜在破坏处理的摩擦粒子，这是因为这些摩擦粒子保留在第三气体区域中。
在一个实施例中，密封表面部分能够布置在力传递表面部分和接合表面部分之间，使得力传递表面部分在第三气体区域中。在该情况下，还防止因力传递表面部分和接触面之间的相对移动所创建的摩擦粒子渗入第一气体区域。可替换地，但是，密封表面部分还能够布置于力传递表面部分和螺纹表面部分之间。
本发明的一个变型提议第一部件部分具有内侧面，该内侧面至少局部向内指向第一轴线并且形成密封面。螺栓元件具有外侧面，其至少局部向外指向并且形成密封表面部分。外侧面和/或内侧面尤其具有几何形状，即几何直圆柱体侧面或者几何直圆锥体侧面。内侧面和外侧面优选具有共同的几何第一轴线。
在第一特殊变型中，内侧面具有的几何形状为几何直圆柱体侧面，其尤其由第一部件部分中的沉孔形成，所述沉孔轴向相邻于通孔布置并且绕着第一轴线延伸。在第二特殊变型中，内侧面具有的几何形状为几何直圆锥体侧面，其尤其由第一部件部分中的埋头孔形成，所述埋头孔轴向相邻于通孔布置并且绕着第一轴线延伸。
密封元件能够固定在螺栓元件的密封表面部分上。尤其是，密封元件能够形成为O形圈，其中，密封表面部分具有周向凹槽，该O形圈固定在周向凹槽中。可替换地，密封元件能够形成为硫化式密封件并且能够被硫化在密封表面部分上。
根据本发明，可替换地还存在密封元件固定在第一部件部分的密封面上的可能性。密封元件能够形成为O形圈，其中，密封面具有周向凹槽，O形圈固定在周向凹槽中，或者密封元件是被硫化在密封面上的密封件。
根据本发明，密封元件能够密封气体或者粒子。如果密封元件密封气体，那么密封元件布置于密封表面部分和密封面之间，使得第一气体区域以气密方式与第三气体区域分离。为了该目的，密封元件优选由适合于真空气密密封的材料组成。尤其是，密封元件基本由弹性体组成，尤其由橡胶组成。合适的橡胶尤其是氟化橡胶，还称为FKM或者全氟化橡胶，还称为FFKM。
在第一气体区域和第三气体区域之间气密分离的情形下，加载有粒子的第三气体区域和保持没有粒子的第一气体区域之间不存在气体交换，由此能够保持第一气体区域中的粒子负荷较低。但是，由于气密分离，压力差能够形成在第一气体区域和第三气体区域之间。因此气密密封件优选形成为，使得甚至在第一气体区域和第三气体区域之间具有主要压力差时也可确保气密分离，因而还确保不透粒子式分离。
但是，可替换地，根据本发明还存在设计密封元件以便密封粒子的可能性。在该情况下，密封元件被形成以便密封粒子，使得布置在第三气体区域中具有的粒子尺寸大于1微米或者0.1微米或者0.01微米的微粒基本上被密封元件阻挡，并且基本上被防止渗入第一气体区域。尤其是，该密封元件形成为过滤器，尤其作为HEPA过滤器，用于过滤具有的粒子尺寸大于1微米或者0.1微米或者0.01微米的微粒，尤其具有的分离程度大于85％或者95％或者99％或者99.5％或者99.95％。作为例子，密封元件由纤维材料或者金属材料组成，尤其由烧结或者编织的金属材料组成。尤其是，其由多孔材料组成，尤其由烧结的薄纤维或者纺织材料组成，尤其由多孔或者薄纤维材料组成，尤其由纺织聚四氟乙烯材料组成。但是，密封元件还能够由多孔金属过滤器形成。粒子尺寸尤其是几何或者物理等同直径的粒子。
该不透粒子(但不必须是气密分离)的一个优势是，借助第一气体区域和第三气体区域之间的过滤气体交换，能够避免这些气体区域之间的粒子交换以及压力差。通过避免压力差来降低阀内部的内部虚拟泄漏的风险。
但是，借助将第一气体区域和第三气体区域彼此连接的连接开口也能够获得相同效果，其中，过滤器元件布置在连接开口中或者布置在连接开口上。该过滤器元件被设计用于密封粒子，使得布置在第三气体区域中的具有的粒子尺寸大于1微米或者0.1微米或者0.01微米的微粒基本被过滤器元件阻挡并且基本被防止渗入第一气体区域。尤其是，过滤器元件被设计成过滤出具有的粒子尺寸大于1微米或者0.1微米或者0.01微米的微粒，尤其具有的分离程度大于85％或者95％或者99％或者99.5％或者99.95％，例如呈HEPA过滤器形式。
该过滤器元件能够由与密封粒子的上述密封元件相同的材料组成。当使用密封气体的密封元件时，压力补偿以及不透粒子的连接开口是特别有利的，以便避免第一气体区域和第三气体区域之间的压力差。
在特殊实施例中，连接开口和过滤器元件布置在螺栓元件中。
螺栓元件能够尤其形成为螺栓或者螺母。
如果螺栓元件是具有螺纹部分以及螺栓头部的螺栓，那么螺纹表面部分布置在被引导通过第一部件部分中的通孔的螺纹部分上。接合表面部分、力传递表面部分和密封表面部分布置在螺栓头部上。尤其是，螺栓元件的第一螺纹形成为第一外螺纹，关联至第二部件部分的第二螺纹形成为第二内螺纹，但是相反的设计也是可行的。作为例子，第二螺纹形成在第二部件部分中的盲孔中。尤其，螺栓头部形成为柱形螺栓头部。
如果螺栓元件是螺母，那么第二螺纹尤其形成在被引导通过通孔的第二部件部分的螺接销上。尤其，第一螺纹形成为第一内螺纹，第二螺纹形成为第二外螺纹。相反设计是可行的。作为例子，第一螺纹形成在螺母中的盲孔中，其中，螺母能够形成为盖形螺母。
在一个可能的实施例中，螺纹表面部分布置于第三气体区域中，所述第三气体区域布置在第一气体区域内，并且与第一气体区域尤其以气密或者不透粒子方式分离。因而该第三气体区域完全被第一气体区域封闭。但是，可替换地，还存在第三气体区域和第一气体区域彼此交界并且被密封元件分离的可能性。
在本发明的另一发展中，第二密封元件密封气体或者粒子并且尤其形成为第二O形圈，其密封地布置于第一部件部分和第二部件部分之间。该第二密封元件额外地在第一和第二部件部分之间的区域中以气密或者不透粒子方式分离第一气体区域和第三气体区域并且尤其封闭通孔。
在本发明的另一发展中，驱动单元以这种方式形成，使得通过借助驱动单元在平行于移位轴线的轴向方向上移位所述移位臂，闭合件能够在打开位置以及中间位置之间移位，以及借助驱动单元在横向于移位轴线的方向上移位所述移位臂，闭合件能够在中间位置和关闭位置之间移位。在打开位置，闭合件释放开口。在中间位置，闭合面覆盖开口并且与围绕开口的阀座隔开一距离以及相反于阀座。在关闭位置，闭合面以气密方式关闭开口并且以气密方式分离第一气体区域与第二气体区域。
横向于移位轴线延伸的横杆在中间连接点处连接至移位臂。在与闭合面相反的闭合件后侧，横杆在至少位于布置在中间连接点两侧的两个横向连接点处连接至闭合件。横杆在中间部分与后侧隔开一距离，中间部分包括中间连接点以及在其两侧上毗连该连接点的部分并且在横向连接点之间延伸。此外，横杆是弹性的，以这种方式，借助扭转横杆，闭合件能够相对于移位臂绕枢转轴线枢转，枢转轴线与移位轴线成直角布置，并且横杆尤其一件式形成。DE102008061315B4描述了借助横向于移位臂延伸的横杆将该类型闭合件安装在移位臂上。
本发明的另一发展提议的是，横杆的中间连接点包括描述的螺栓元件，其中，第一部件部分由移位臂形成，第二部件部分由横杆形成，或者反之亦然，即第一部件部分由横杆形成，第二部件部分由移位臂形成。
可替换地或者附加地，横向连接点能够均包括螺栓元件，其中，第一部件部分由闭合件形成，第二部件部分由横杆形成，或者第一部件部分由横杆形成，第二部件部分由闭合件形成。
但是，第一部件部分还能够由驱动单元形成，第二部件部分还能够由包括开口的壁形成，或者反之亦然。在该情况下，螺栓连接件使用在包括开口的壁与驱动单元之间。
此外，本发明包括螺栓元件，尤其螺栓或者螺母，用于根据本发明描述的真空阀。螺栓元件具有螺纹表面部分、接合表面部分、力传递表面部分以及端面部分。
螺纹表面部分具有绕着几何第一轴线延伸的第一螺纹。
接合部形成在接合表面部分上，使得螺栓元件能够绕第一轴线旋转和/或尤其借助工具以形状配合方式固定而不能绕第一轴线旋转，该工具以形状配合方式接合在接合部中。
力传递表面部分布置于螺纹表面部分和接合表面部分之间，并且至少局部指向沿着第一轴线延伸的螺栓关闭方向。
端面部分对置于接合表面部分并且至少局部指向螺栓关闭方向，其中，螺纹表面部分布置于端面部分和力传递表面部分之间。
根据本发明的螺栓元件具有密封表面部分，其布置于螺纹表面部分和接合表面部分之间。密封表面部分将螺纹表面部分和接合表面部分彼此分离并且封闭第一轴线。密封元件固定在螺栓元件的密封表面部分上。
密封元件优选基本由弹性体，尤其由橡胶、尤其由氟化橡胶或者全氟化橡胶组成。密封元件能够形成为O形圈，其中，密封表面部分具有周向凹槽，O形圈固定在周向凹槽中。可替换地，密封元件形成为硫化式密封件并且被硫化在密封表面部分上。
连接开口形成在接合表面部分和端面部分之间。过滤器元件布置在该连接开口中。正如上文已经结合真空阀所描述的，过滤器元件能够设计成过滤出具有的粒子尺寸大于1微米或者0.1微米或者0.01微米的粒子，尤其具有的分离程度大于85％或者95％或者99％或者99.5％或者99.95％，尤其呈HEPA过滤器的形式。过滤器元件由纤维材料或者金属材料组成，尤其由烧结或者编织金属材料组成。螺栓元件尤其具有外侧面，其至少局部向外指向并且形成密封表面部分，所述外侧面尤其具有的几何形状为几何直圆柱体侧面或者几何直圆锥体侧面。
下文将基于示意性地图示于附图的具体示范实施例，纯粹作为例子更详细地描述根据本发明的真空阀和根据本发明的螺栓元件。
在附图中，更具体来说：
图1a示出了从处于打开位置的真空阀的第一实施例的侧面来看的截面图；
图1b示出了从处于中间位置的真空阀的第一实施例的侧面来看的截面图；
图1c示出了从处于关闭位置的真空阀的第一实施例的侧面来看的截面图；
图2示出了从处于关闭位置的真空阀的第二实施例的侧面来看的截面图；
图3a示出了真空阀的第三实施例的闭合件、横杆以及移位臂的斜视图；
图3b示出了真空阀的第三实施例的斜视图；
图4a示出了从在联接状态中真空阀的第四实施例的第一部件部分、第二部件部分以及螺栓的侧面来看的详细截面图，O形圈固定在螺栓的周向凹槽中；
图4b示出了从在断开状态中真空阀的第四实施例的第一部件部分、第二部件部分以及螺栓的侧面来看的详细截面图，O形圈固定在螺栓的周向凹槽中；
图5a示出了从在联接状态中真空阀的第五实施例的第一部件部分、第二部件部分以及螺栓的侧面来看的详细截面图，O形圈固定在第一部件部分的沉孔的周向凹槽中；
图5b示出了从在断开状态中真空阀的第五实施例的第一部件部分、第二部件部分以及螺栓的侧面来看的详细截面图，O形圈固定在第一部件部分的周向凹槽的沉孔中；
图6a示出了从在联接状态中真空阀的第六实施例的第一部件部分、第二部件部分以及螺栓的侧面来看的详细截面图，O形圈固定在第一部件部分的通孔的周向凹槽中；
图6b示出了从在断开状态中真空阀的第六实施例的第一部件部分、第二部件部分以及螺栓的侧面来看的详细截面图，O形圈固定在第一部件部分的通孔的周向凹槽中；
图7a示出了从在联接状态中真空阀的第七实施例的第一部件部分、第二部件部分以及螺栓的侧面来看的详细截面图，连接开口以及过滤器元件位于螺栓中；
图7b示出了从在断开状态中真空阀的第七实施例的第一部件部分、第二部件部分以及螺栓的侧面来看的详细截面图；
图8a示出了从在联接状态中真空阀的第八实施例的第一部件部分、第二部件部分以及螺栓的侧面来看的详细截面图，埋头孔在第一部件部分中并且具有硫化至螺栓的密封；
图8b示出了从在断开状态中真空阀的第八实施例的第一部件部分、第二部件部分以及螺栓的侧面来看的详细截面图，埋头孔在第一部件部分中并且具有硫化至螺栓的密封；
图9a示出了从在联接状态中真空阀的第九实施例的第一部件部分、第二部件部分的螺接销以及螺母的侧面来看的详细截面图，O形圈固定在螺母的周向凹槽中；以及
图9b示出了从在断开状态中真空阀的第九实施例的第一部件部分、第二部件部分的螺接销以及螺母的侧面来看的详细截面图，O形圈固定在螺母的周向凹槽中。
附图示出了处于不同状态的根据本发明的真空阀的九个不同的实施例，从不同视图来看，以及具有不同的细节水平。彼此不同的实施例仅部分地关于特定特征，因此下文将连带地描述附图，在一些情形下将仅讨论实施例之间的差异。将不再次讨论任何先前的附图中已经解释的附图标记以及特征。
在图1a、图1b和图1c中，图示了呈传递阀形式的真空阀1。该传递阀是闸阀的特定形式。真空阀1具有矩形平面闭合件2，闭合件2具有闭合面3，用于以气密方式关闭开口4。开口4具有对应于闭合件2的截面并且形成在壁47中。开口4被阀座46围绕。
开口4将第一间隙区域5连接至第二气体区域6，第一间隙区域5布置在图1a、图1b和图1c中壁47的左边，第二气体区域6布置于壁47的右边。
闭合件2布置于移位臂7上，移位臂7是杆形并且沿着几何移位轴线38延伸。移位臂7机械联接至驱动单元8，借助驱动单元8，通过借助驱动单元8使移位臂7进行移位，壁47左边的第一气体区域5中的闭合件2能够从打开位置O(图1a)经由中间位置I(图1b)移位至关闭位置(图1c)。
如图1a所示，在打开位置O，闭合件2布置在开口4的突起区域的外侧并且完全释放所述开口。
通过在平行于移位轴线38和平行于壁47的轴向方向上对移位臂7移位，闭合件2能够借助驱动单元8从打开位置O被移位至中间位置I。
如图1b所示，在该中间位置I，闭合面3覆盖开口4并且布置成与围绕开口4的阀座46隔开一距离并且与阀座46对置。
通过在横向于移位轴线38的方向上，即在垂直于壁47以及垂直于阀座46的方向上对移位臂7移位，闭合件2能够从中间位置I被移位至关闭位置C。
在关闭位置C，闭合面3以气密方式关闭开口4并且以气密方式分离第一气体区域5与第二气体区域6。
因而作为闭合件2和移位臂7的L状移动的结果，真空阀1借助驱动单元8被打开以及关闭。因此示出的传递阀还称为L型阀。
如图在打开位置O，第一气体区域1和第二气体区域6实际上经由打开开口4彼此连接并且形成共同气体区域，但是下文中这两个气体区域1和6将被认为是几何气体区域，通过关闭位置C确定该几何气体区域的分离平面。因而第一气体区域1和第二气体区域6之间的分离平面在该情形下通过一几何平面形成，壁47的阀座46延伸越过该几何平面，如图1a所示。
闭合件2借助螺栓元件9a在其后侧39机械固定至移位臂7，其后侧39对置于闭合面3。螺栓元件由螺栓9a形成，螺栓9a被引导通过形成在闭合件2的后侧39的通孔并且接合在移位臂7的螺纹中。因而该螺栓连接件将闭合件2机械联接至移位臂7，闭合件2理论上形成第一部件部分10，移位臂7理论上形成第二部件部分11。部件部分10和部件部分11布置在第一气体区域5内，是真空阀1的部件部分，并且机械联接至驱动单元8。在当前情形中，第二部件部分11、具体来说移位臂7直接机械联接至驱动单元8，从而能够被移位。在螺栓9a附近的螺栓连接内，布置有第三气体区域27，第三气体区域27位于第一气体区域5内，从而完全被封闭。下文将更详细描述该螺栓连接件的精确结构以及第三气体区域27的布置。
在图1a、图1b和图1c中，真空阀额外地具有第二螺栓连接件，驱动单元8借助第二螺栓连接件机械联接至壁47。该螺栓连接件由螺栓9a形成，螺栓9a被引导通过形成在形成理论第一部件部分10的驱动单元8中的通孔并且接合在形成理论第二部件部分11的壁47的螺纹中，其中，相反布置也是可行的。在该情况下，第一部件部分10，具体地驱动单元8是真空阀1的部件部分，但是第二部件部分11、具体地壁47本身不必须是真空阀1的部件部分，而是能够被关联至另一单元，例如真空室。
类似于第一示范实施例的第二示范实施例图示于图2，处于关闭位置C。但是，该第二示范实施例与第一示范实施例的不同之处在于，螺栓9a被引导通过形成在移位臂7中的通孔并且接合在闭合件2的后侧39的螺纹中。因而该螺栓连接件将移位臂7机械联接至闭合件2，移位臂7理论上形成第一部件部分10，闭合件2理论上形成第二部件部分11。在当前情形中，第一部件部分10、具体地移位臂7直接机械联接至驱动单元8，从而能够被移位。第三气体区域27布置在螺栓9a附近的螺栓连接内，第三气体区域27位于第一气体区域5内，从而完全被封闭。下文还将更详细描述该螺栓连接件的精确结构以及第三气体区域27的布置。
闭合件2和移位臂7以及横杆40在图3a和图3b中示出，呈第三实施例的形式。横向于移位轴线38延伸的横杆40在中间连接点41处连接至移位臂7。该中间连接点41具有螺栓9a，螺栓9a被引导通过横杆40的沉孔28a和通孔20以及接合在移位臂7中的螺纹中，所述螺纹形成在盲孔36中。横杆40因而理论上形成第一部件部分10，移位臂7理论上形成第二部件部分11。
横杆40在两个横向连接点42处连接至闭合件2(在闭合件2的后侧39上)，后侧39与闭合面3对置，两个横向连接点42布置于中间连接点41的两侧。这些横向连接点42每个具有螺栓9a，螺栓均被引导通过通孔20并且接合在盲孔36的螺纹中，通孔20形成在横杆40中并且具有沉孔28a，所述螺纹形成在闭合件2的后侧39。因而横杆40理论上形成第一部件部分10，闭合件2理论上形成第二部件部分11。
中间部分43包括中间连接点41和在其任一侧毗连所述连接点的部分并且在横向连接点42之间延伸，如图3b所示，在中间部分43中，横杆40与后侧39隔开一距离44。换句话说，横杆40在中间部分43与后侧39间隔一定距离布置，并且不接触该区域中的闭合件2。换句话说，横杆40横跨闭合件2的后侧39，并且在闭合件2的后侧39上仅搁置在横向连接点42的区域中。
如图3b所示的，由金属形成为一体的横杆40是弹性的，以这种方式使得借助横杆40相对于移位臂7扭转，闭合件2能够绕枢转轴线45枢转，枢转轴线45与移位轴线38布置成直角并且平行于开口4和阀座46延伸。
真空阀1额外地具有位于壁47中的两个阀紧固孔51，联接至驱动单元8的壳体的壁47借助阀紧固孔51能够安装在一部件上，尤其能够安装在真空室上。根据本发明该紧固孔还能够借助螺栓连接件提供，其中，具有阀紧固孔51的壁47理论上形成第一部件部分10，所述部件形成第二部件部分11。
因而在图1a、图1b、图1c、图2、图3a和图3b中描述了多个不同的螺栓连接件，它们彼此的不同之处主要在于，理论第一部件部分10和理论第二部件部分11均由不同的部分形成。在图4a至图9b中，这些部件部分因此理论上指代为第一部件部分10以及指代为第二部件部分11，其中，这些部件部分能够由不同的部分形成，尤其由真空阀1的不同部分形成。下文将详细描述根据本发明的这些螺栓连接件的不同实施例。
图4a和图4b图示了第一部件部分10，尤其呈闭合件2的形式，第二部件部分11，尤其呈移位臂7和螺栓9a的形式。
螺栓9a由螺纹部分32和螺栓头部33组成，并且具有接合表面部分15、密封表面部分24、力传递表面部分18、螺纹表面部分12以及端面部分50。螺栓头部33是柱形螺栓头部。
接合表面部分15、力传递表面部分18和密封表面部分24布置在螺栓头部33上。
绕着几何第一轴线13延伸的第一螺纹14a形成在螺纹表面部分12上。螺纹是第一外螺纹14a。
接合部16以内六边形方式形成在接合表面部分15上，使得螺栓9a能够借助工具17绕第一轴线13旋转，工具17能够以形状配合方式接合在接合部中，具体地为外六边形。
径向延伸至第一轴线13的力传递表面部分18布置于螺纹表面部分12和接合表面部分15之间，并且指向沿着第一轴线13延伸的螺栓关闭方向19。
第一部件部分10具有沿着第一轴线13延伸的柱形通孔20。呈第二内螺纹21a形式的第二螺纹形成在第二部件部分11中。该第二螺纹21a形成在第二部件部分11中的盲孔36中。
如图4a所示，借助通孔20中发生的第一部件部分10的第一外螺纹14a和第二部件部分11的第二内螺纹21a之间的螺接接合，第一部件部分10和第二部件部分11以形状配合方式机械联接。螺纹表面部分12布置在被引导通过通孔20的螺纹部分32上。力传递表面部分18搁置在第一部件部分10的接触面23上。径向延伸至第一轴线13的该接触面23环绕通孔20并且指向与螺栓关闭方向19相反的螺栓打开方向22。
正如图4a示出的，螺栓9a的接合表面部分15布置在第一气体区域5中。
封闭第一轴线13的密封表面部分24布置于力传递表面部分18和接合表面部分15之间，并且将该力传递表面部分18和接合表面部分15彼此分离。
螺栓9a的螺栓头部33具有外侧面24，外侧面24向外指向并且形成密封表面部分24，所述外侧面具有的几何形状为几何直圆柱体侧面。内侧面25和外侧面24具有共同几何第一轴线13。
端面部分50与接合表面部分15对置，并且指向螺栓关闭方向19，其中，螺纹表面部分12布置于端面部分50和力传递表面部分18之间。
封闭通孔20的密封面25布置成邻近于接触面23。密封面25由向内指向朝向第一轴线13的内侧面形成。该内侧面25具有的几何形状为几何直圆柱体侧面，其由第一部件部分10中的柱形凹陷28a形成，该沉孔相邻于通孔20轴向布置并且绕着第一轴线13延伸。该沉孔28a的底部形成接触面23。
密封用密封元件26a布置于螺栓9a的密封表面部分24和第一部件10的密封面25之间。密封元件26a固定在螺栓9a的密封表面部分24上并且形成为O形圈26a。为了固定该O形圈26a，密封表面部分24具有周向凹槽30。该O形圈26a封闭第一轴线13，并且以这种方式布置，使得第一气体区域5与第三气体区域27分离，如图4a所示，螺纹表面部分12、力传递表面部分18和端面部分50布置于第三气体区域27中。
形成为第二O形圈的第二密封元件35密封气体或者粒子，并且密封地布置于第一部件部分10和第二部件部分11之间，以气密或者不透粒子方式分离第一气体区域5和第三气体区域27，并且包围通孔20。
螺纹表面部分12、力传递表面部分18和端面部分50布置于第三气体区域27中，因而该第三气体区域27布置在第一气体区域5内，并且借助O形圈26a和第二O形圈35以气密或者不透粒子方式与第一气体区域5分离并且完全被第一气体区域5封闭。
密封元件26a和第二密封元件35能够是气密式的，其中，密封元件26a和第二密封元件35以这种方式布置，使得第一气体区域5以气密方式与第三气体区域27分离。例如，合适的密封材料是弹性体，尤其是橡胶，尤其是氟化橡胶或者全氟化橡胶。在第三气体区域27和第一气体区域5之间气密分离的情形下，尤其因接触点的摩擦而在第三气体区域27中产生的微粒被保持在该第三气体区域27中并且不能够穿到第一气体区域5，由此后者保持没有任何破会处理的微粒。
可替换地，至少一个密封元件26a或者35密封粒子，以这种方式，使得布置在第三气体区域27中具有的粒子尺寸大于1微米或者0.1微米或者0.01微米的微粒基本被密封元件26a或者35阻挡，并且基本被防止渗入第一气体区域5。作为例子，密封元件26a或者35形成为过滤器，尤其作为HEPA过滤器，用于过滤出具有的粒子尺寸大于1微米或者0.1微米或者0.01微米的粒子，尤其具有的分离程度大于85％或者95％或者99％或者99.5％或者99.95％。尤其，密封元件26a或者35由纤维材料或者金属材料组成，尤其由烧结或者编织的金属材料组成。
在图5a和图5b示出的第五实施例中，与第四实施例相反，密封元件26a未固定在螺栓9a的密封表面部分24上的周向凹槽30中，而是被保持在第一部件部分10的密封面25上的圆形埋头孔28a中。呈O形圈26a形式的密封元件被保持在形成为柱形内侧面的密封面25的周向凹槽31中。密封表面部分24在该情况下是平滑的柱形外侧面。该实施例的优势在于，能够使用常规螺栓9a，其可以具有机加工的柱形外侧面。
在图示于图6a和图6b的第六示范实施例的情形下，与第四和第五实施例相反，螺栓9a的密封表面部分24不布置在螺栓头部33上，而是布置在螺纹部分32的无螺纹的柱形平滑部分上。密封表面部分24在该情况下是螺纹部分32上的平滑的柱形外侧面。换句话说，密封表面部分24位于螺纹表面部分12和力传递表面部分18之间。与第五实施例相反，密封元件26a不位于第一部件部分10的圆形埋头孔28a中，而是位于围绕螺纹部分32的平滑部分的通孔20的一部分中。呈O形圈26a形式的密封元件被保持在通孔20的该部分内，并且位于形成为柱形内侧面的密封面25的周向凹槽31中。
在图7a和图7b示出的第七示范实施例中，螺栓9a具有外侧面，其在螺栓头部33的上部分中局部向外指向，呈珠缘形式并且形成密封表面部分24，所述外侧面具有的几何形状为几何直圆锥体侧面。形成为O形圈的密封元件26a固定在第一部件10的圆形沉孔28a中的密封面25上，其中，O形圈26a被保持在密封面25的周向凹槽31中。
第七示范实施例的螺栓9a具有螺纹表面部分12，绕着几何第一轴线13延伸的第一螺纹以第一外螺纹14a方式形成在螺纹表面部分12中。该设计的接合部16形成在接合表面部分15上，使得螺栓9a能够借助工具17绕第一轴线13旋转，工具17能够以形状配合方式接合在该接合部中。力传递表面部分18布置于螺纹表面部分12和接合表面部分15之间，并且指向沿着第一轴线延伸的螺栓关闭方向19。端面部分50对置于接合表面部分15并且指向螺栓关闭方向19。螺纹表面部分12布置于端面部分50和力传递表面部分18之间。螺栓9a具有密封表面部分24，密封表面部分24布置于螺纹表面部分12和接合表面部分15之间，将螺纹表面部分12和接合表面部分15彼此分离，并且环绕第一轴线13。
呈通道形式、尤其呈柱形通道形式沿着第一轴线13延伸的连接开口48形成在接合表面部分15和端面部分50之间。过滤器元件49布置在连接开口48中。该过滤器元件49在螺栓头部侧在连接开口48的端部处固定在接合表面部分15和接合部16中。
如图7a所示，借助螺栓9a中的该连接开口48，第一气体区域5和第三气体区域27以不透粒子但是可透气体的方式彼此连接。
过滤器元件49设计成过滤具有的粒子尺寸大于1微米或者0.1微米或者0.01微米的粒子，尤其具有的分离程度大于85％或者95％或者99％或者99.5％或者99.95％，尤其呈HEPA过滤器形式。作为例子，过滤器元件49由纤维材料或者金属材料组成，尤其由烧结或者编织金属材料组成。
图4a和图4b示出的第四实施例的变型图示于图8a和8b，呈第八实施例的形式。螺栓9a具有外侧面，其向外指向并且形成密封表面部分24，所述外侧面具有的几何形状为几何直圆锥体侧面。第一部件10的内侧面25还具有的几何形状为几何直圆锥体侧面并且由第一部件部分10中的埋头孔28b形成，所述埋头孔相邻于通孔20轴向布置并且绕着第一轴线13。密封元件以气密硬化钢26b形式被硫化在螺栓9a的锥形外侧面24上。
第一气体区域5和第三气体区域27经由形成在第一部件部分10中的连接开口52彼此连接。如图8a和图8b所示，该连接开口52径向延伸至通孔49。过滤器元件49布置于连接开口52处。正如与在第七实施例中的情形一样的，过滤器元件49密封粒子，以这种方式使得布置在第三气体区域27中的微粒基本被过滤器元件49阻挡并且基本被防止渗入第一气体区域5。
而，虽然在先前的实施例中，螺栓元件始终形成为螺栓9a，但是在图9a和图9b的第九实施例中，螺栓元件由螺母9b形成。
在该情形下，第二部件部分11的第二螺纹21b形成在螺接销34上，螺接销34被引导通过通孔20并且关联至第二部件部分11。
螺栓元件9b的第一螺纹形成为第一内螺纹14b，第二部件部分11的螺接销34的第二螺纹形成为第二外螺纹21b。
如图9a和9b图示的，第一内螺纹14b形成在螺母9b中的盲孔37中，其中，螺母形成为盖形螺母9b。
第一部件部分10具有内侧面，其向内指向朝向第一轴线13并且形成密封面25。该内侧面25具有的几何形状为几何直圆柱体侧面，其由第一部件部分10的沉孔28a形成，该沉孔相邻于通孔20轴向布置并且绕着第一轴线13延伸。
盖形螺母9b具有外侧面，其向外指向并且形成密封表面部分24，所述外侧面具有的几何形状为几何直圆柱体侧面。密封元件26a固定在盖形螺母9b的外侧面24上。该密封元件形成为O形圈26a。外侧面24具有周向凹槽30，O形圈26a固定在周向凹槽30中。
所述实施例能够明显降低在第一气体区域中的微粒的数量，由此能够显著提高使用本发明的真空阀的真空应用的处理可靠性。

Claims (19)

1.一种真空阀(1)，该真空阀具有：
●闭合件(2)，该闭合件具有闭合面(3)，所述闭合面(3)用于气密地关闭将第一气体区域(5)连接至第二气体区域(6)的开口(4)，
●移位臂(7)，所述闭合件(2)布置在该移位臂上，
●驱动单元(8)，该驱动单元机械联接至所述移位臂(7)并且被设计成，使得通过借助所述驱动单元(8)使所述移位臂(7)移位，所述第一气体区域(5)中的所述闭合件(2)能够在打开位置(O)与关闭位置(C)之间来回移位：
-在所述打开位置中，所述闭合件(2)释放所述开口(4)，以及
-在所述关闭位置中，所述闭合面(3)以气密方式关闭所述开口(4)并且以气密方式将所述第一气体区域(5)与所述第二气体区域(6)分离开，
以及
●螺栓元件(9a；9b)，该螺栓元件用于将所述真空阀(1)的第一部件部分(10)以机械联接方式连接至第二部件部分(11)，所述第一部件部分至少局部布置于所述第一气体区域(5)中，其中，所述第一部件部分(10)或者所述第二部件部分(11)机械联接至所述驱动单元(8)，
其中，
●所述螺栓元件(9a；9b)具有：
-螺纹表面部分(12)，在该螺纹表面部分上形成有绕几何第一轴线(13)延伸的第一螺纹(14a；14b)，
-接合表面部分(15)，在该接合表面部分上形成有如此构成的接合部(16)，即，使得所述螺栓元件(9a；9b)尤其借助工具(17)能够绕所述第一轴线(13)旋转和/或以形状配合方式固定而不能绕所述第一轴线(13)旋转，所述工具(17)能够以形状配合方式接合在所述接合部中，以及
-力传递表面部分(18)，该力传递表面部分布置于所述螺纹表面部分(12)和所述接合表面部分(15)之间，并且至少局部指向沿着所述第一轴线(13)延伸的螺栓关闭方向(19)，
●所述第一部件部分(10)具有沿着所述第一轴线(13)延伸的通孔(20)，
●所述第一部件部分(10)和所述第二部件部分(11)通过如下方式能够以形状配合方式机械联接：
-所述螺栓元件(9a；9b)的所述第一螺纹(14a；14b)和关联至所述第二部件部分(11)的第二螺纹(21a；21b)之间的螺接接合，这通过所述通孔(20)执行，以及
-将所述力传递表面部分(18)搁置在所述第一部件部分(10)的围绕所述通孔(20)的接触面(23)上，并且至少局部指向与所述螺栓关闭方向(19)相反的螺栓打开方向(22)，
●所述螺栓元件(9a；9b)的所述接合表面部分(15)布置在所述第一气体区域(5)中，其特征在于，
●所述螺栓元件(9a；9b)具有密封表面部分(24)，
-所述密封表面部分(24)布置于所述螺纹表面部分(12)和所述接合表面部分(15)之间，以及
-所述密封表面部分(24)将所述螺纹表面部分(12)和所述接合表面部分(15)彼此分离，以及
-所述密封表面部分(24)包围所述第一轴线(13)，
●所述第一部件部分(10)具有与所述接触面(23)相邻的包围所述通孔(20)的密封面(25)，以及
●包围所述第一轴线(13)的密封用密封元件(26a；26b)在所述螺栓元件(9a；9b)的所述密封表面部分(24)和所述第一部件部分(10)的所述密封面(25)之间被布置成，使得所述第一气体区域(5)与第三气体区域(27)分离，所述螺纹表面部分(12)布置在所述第三气体区域(27)中。
2.根据权利要求1所述的真空阀(1)，其特征在于，
所述密封表面部分(24)在所述力传递表面部分(18)和所述接合表面部分(15)之间被布置成，使得所述力传递表面部分(18)在所述第三气体区域(27)中。
3.根据权利要求1或2所述的真空阀(1)，其特征在于，
●所述第一部件部分(10)具有内侧面，所述内侧面至少局部向内指向所述第一轴线(13)并且形成所述密封面(25)，
●所述螺栓元件(9a；9b)具有外侧面，所述外侧面至少局部向外指向并且形成所述密封表面部分(24)，所述外侧面尤其具有的几何形状为几何直圆柱体侧面或者几何直圆锥体侧面，以及
●所述内侧面(25)和所述外侧面(24)尤其具有共同的几何第一轴线(13)。
4.根据权利要求3所述的真空阀(1)，其特征在于，
所述内侧面(25)具有的几何形状为：
●几何直圆柱体侧面，其尤其由所述第一部件部分(10)中的沉孔(28a)形成，所述沉孔轴向相邻于所述通孔(20)布置并且绕着所述第一轴线(13)延伸，或者
●几何直圆锥体侧面，其尤其由所述第一部件部分(10)中的埋头孔(28b)形成，所述埋头孔轴向相邻于所述通孔(20)布置并且绕着所述第一轴线(13)延伸。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的真空阀(1)，其特征在于，
所述密封元件(26a；26b)固定在所述螺栓元件(9a；9b)的密封表面部分(24)上，尤其其中，
●所述密封元件形成为O形圈(26a)，所述密封表面部分(24)具有周向凹槽(30)，所述O形圈(26a)固定在所述周向凹槽(30)中，或者
●所述密封元件形成为硫化式密封件(26b)并且硫化在所述密封表面部分(24)上。
6.根据权利要求1至4中任一项所述的真空阀(1)，其特征在于，
所述密封元件(26a；26b)固定在所述第一部件部分(10)的密封面(25)上，尤其其中，
●所述密封元件形成为O形圈(26a)，所述密封面(25)具有周向凹槽(31)，所述O形圈(26a)固定在所述周向凹槽(31)中，或者
●所述密封元件形成为硫化式密封件(26b)并且硫化在密封面(25)上。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的真空阀(1)，其特征在于，
所述密封元件(26a；26b)
●是气密性的，并且
●在所述密封表面部分(24)和所述密封面(25)之间被布置成，使得所述第一气体区域(5)与所述第三气体区域(27)以气密方式分离，
尤其其中，所述密封元件(26a；26b)基本由弹性体组成，尤其由橡胶组成，尤其由氟化橡胶或者全氟化橡胶组成。
8.根据权利要求1至6中任一项所述的真空阀(1)，其特征在于，
所述密封元件(26a；26b)
●密封粒子，使得布置在所述第三气体区域(27)中的、具有的粒子尺寸大于1微米或者0.1微米或者0.01微米的微粒基本被所述密封元件(26a；26b)阻挡并且基本被防止渗入所述第一气体区域(5)，
●尤其所述密封元件(26a；26b)形成为过滤器，尤其作为HEPA过滤器，用于过滤具有的粒子尺寸大于1微米或者0.1微米或者0.01微米的粒子，尤其具有的分离程度大于85％或者95％或者99％或者99.5％或者99.95％，
●尤其所述密封元件(26a；26b)由纤维材料或者金属材料组成，尤其由烧结或者编织的金属材料组成。
9.根据权利要求1至8中任一项所述的真空阀(1)，其特征在于，
●所述第一气体区域(5)和所述第三气体区域(27)经由连接开口(48、52)彼此连接，以及
●过滤器元件(49)布置在所述第一连接开口(48、52)中或者布置在所述第一连接开口(48、52)处，
●所述过滤器元件(49)密封粒子，使得布置在所述第三气体区域(27)中的大于1微米或者0.1微米或者0.01微米的微粒基本被所述过滤器元件(49)阻挡并且基本被防止渗入所述第一气体区域(5)，
●尤其所述过滤器元件(49)被设计成用于过滤出大于1微米或者0.1微米或者0.01微米的粒子，尤其具有的分离程度大于85％或者95％或者99％或者99.5％或者99.95％，所述过滤器元件尤其呈HEPA过滤器的形式，
●尤其所述过滤器元件(49)由纤维材料或者金属材料组成，尤其由烧结或者编织的金属材料组成。
10.根据权利要求9所述的真空阀(1)，其特征在于，所述连接开口(48)和所述过滤器元件(49)布置在所述螺栓元件(9a；9b)中。
11.根据权利要求1至10中任一项所述的真空阀(1)，其特征在于，
●所述螺栓元件形成为螺栓(9a)，该螺栓具有螺纹部分(32)和螺栓头部(33)，
●所述螺纹表面部分(12)布置在被引导穿过所述通孔(20)的螺纹部分(32)上，
●所述接合表面部分(15)、所述力传递表面部分(18)和所述密封表面部分(24)布置在所述螺栓头部(33)上，
●尤其所述第一螺纹形成为第一外螺纹(14a)，所述第二螺纹形成为第二内螺纹(21a)，
●尤其所述第二螺纹(21a)形成在所述第二部件部分(11)中的盲孔(36)中，以及
●尤其所述螺栓头部(33)形成为柱形螺栓头部。
12.根据权利要求1至10中任一项所述的真空阀(1)，其特征在于，
●所述螺栓元件形成为螺母(9b)，
●所述第二螺纹(21b)形成在被引导穿过所述通孔(20)的所述第二部件部分(11)的螺接销(34)上，
●尤其所述第一螺纹形成为第一内螺纹(14b)，所述第二螺纹形成为第二外螺纹(21b)，
●尤其所述第一螺纹(14b)形成在所述螺母(9b)中的盲孔(37)中，以及
●尤其所述螺母形成为盖形螺母(9b)。
13.根据权利要求1至12中任一项所述的真空阀(1)，其特征在于，
其中布置有所述螺纹表面部分(12)的所述第三气体区域(27)
●布置在所述第一气体区域(5)内，并且尤其以气密或者不透粒子方式与所述第一气体区域(5)分离，以及
●被所述第一气体区域(5)完全封闭。
14.根据权利要求1至13中任一项所述的真空阀(1)，其特征在于，
第二密封元件(35)尤其形成为第二O形圈并且密封气体或者粒子，
●所述第二密封元件密封地布置于所述第一部件部分(10)和所述第二部件部分(11)之间，
●所述第二密封元件以气密或者不透粒子方式分离所述第一气体区域(5)和所述第三气体区域(27)，以及
●所述第二密封元件尤其封闭所述通孔(20)。
15.根据权利要求1至14中任一项所述的真空阀(1)，其特征在于，
●所述闭合件(2)是平面的，所述真空阀(1)尤其形成为传递阀，
●所述移位臂(7)是杆状的并且沿着几何移位轴线(38)延伸，以及
●所述驱动单元(8)形成为，使得通过借助所述驱动单元(8)在平行于所述移位轴线(38)的轴向方向上移位所述移位臂(7)，所述闭合件(2)能够在以下位置之间移位：
-所述打开位置(O)，和
-所述中间位置(I)，在所述中间位置，所述闭合面(3)覆盖所述开口(4)并且与围绕所述开口(4)的阀座(46)相反布置并隔开一距离，
并且所述闭合件(2)能够在横向于所述移位轴线(38)的方向上在以下位置之间移位：
-所述中间位置(I)；和
-所述关闭位置(C)。
16.根据权利要求1至15中任一项所述的真空阀(1)，其特征在于，
●所述第一部件部分(10)由所述移位臂(7)形成，并且
●所述第二部件部分(11)由所述闭合件(2)形成，
或者
●所述第一部件部分(10)由所述闭合件(2)形成，并且
●所述第二部件部分(11)由所述移位臂(7)形成，
以及
●所述移位臂(7)和所述闭合件(2)借助所述螺栓元件(9a；9b)连接。
17.根据权利要求15所述的真空阀(1)，其特征在于，
●横向于所述移位轴线(38)延伸的横杆(40)在中间连接点(41)处连接至所述移位臂(7)，
●所述横杆(40)：
-在所述闭合件(2)的与所述闭合面(3)相反的后侧(39)，至少在布置在所述中间连接点(41)两侧的两个横向连接点(42)处连接至所述闭合件(2)，
-在中间部分(43)中与所述后侧(39)隔开距离(44)布置，所述中间部分(43)包括所述中间连接点(41)以及在两侧毗连所述中间连接点且在所述横向连接点(42)之间延伸的部分，
-是弹性的，使得通过扭转所述横杆(40)，所述闭合件(2)能够相对于所述移位臂(7)绕与所述移位轴线(38)布置成直角的枢转轴线(45)枢转，以及
-尤其形成为一件，以及
所述中间连接点(41)包括所述螺栓元件(9a；9b)，所述第一部件部分(10)由所述移位臂(7)形成并且所述第二部件部分(11)由所述横杆(40)形成，或者所述第一部件部分(10)由所述横杆(40)形成并且所述第二部件部分(11)由所述移位臂(7)形成，
和/或
所述横向连接点(42)均包括螺栓元件(9a；9b)，所述第一部件部分(10)由所述闭合件(2)形成并且所述第二部件部分(11)由所述横杆(40)形成，或者所述第一部件部分(10)由所述横杆(40)形成并且所述第二部件部分(11)由所述闭合件(2)形成。
18.根据权利要求1至15中任一项所述的真空阀(1)，其特征在于，
●所述第一部件部分(10)由所述驱动单元(8)形成，所述第二部件部分(11)由包括所述开口(4)的壁(47)形成，或者
●所述第一部件部分(10)由包括所述开口(4)的所述壁(47)形成，所述第二部件部分(11)由所述驱动单元(8)形成。
19.一种用于根据权利要求1至18中任一项所述的真空阀(1)的螺栓元件，尤其是螺栓(9a)或者螺母(9b)，该螺栓元件具有
●螺纹表面部分(12)，绕着几何第一轴线(13)延伸的第一螺纹(14a；14b)形成在该螺纹表面部分上，
●接合表面部分(15)，一接合部(16)在该接合表面部分上形成为，使得所述螺栓元件(9a；9b)能够尤其借助能够以形状配合方式接合在所述接合部中的工具(17)绕所述第一轴线(13)进行旋转和/或以形状配合方式固定而不能绕所述第一轴线(13)旋转，
●力传递表面部分(18)，其布置于所述螺纹表面部分(12)和所述接合表面部分(15)之间，并且至少局部指向沿着所述第一轴线(13)延伸的螺栓关闭方向(19)，
●端面部分(50)，其与所述接合表面部分(15)对置并且至少局部指向所述螺栓关闭方向(19)，其中，所述螺纹表面部分(12)布置于所述端面部分(50)和所述力传递表面部分(18)之间，其特征在于，
●所述螺栓元件(9a；9b)具有密封表面部分(24)，
-所述密封表面部分(24)布置于所述螺纹表面部分(12)和所述接合表面部分(15)之间，以及
-所述密封表面部分(24)将所述螺纹表面部分(12)和所述接合表面部分(15)彼此分离，以及
-所述密封表面部分(24)包围所述第一轴线(13)，
●密封元件(26a；26b)固定在所述螺栓元件(9a；9b)的所述密封表面部分(24)上，尤其其中，
-所述密封元件(26a；26b)基本由弹性体组成，尤其由橡胶、尤其由氟化橡胶或者全氟化橡胶组成，
和/或
-所述密封元件形成为O形圈(26a)，所述密封表面部分(24)包括周向凹槽(30)，所述O形圈(26a)固定在所述周向凹槽(30)中，或者
-所述密封元件形成为硫化式密封件(26b)并且硫化在所述密封表面部分(24)上，
●连接开口(48)形成在所述接合表面部分(15)和所述端面部分(50)之间，
●过滤器元件(49)布置在所述连接开口(48)中，
●尤其所述过滤器元件(49)被设计成过滤大于1微米或者0.1微米或者0.01微米的粒子，尤其具有的分离程度大于85％或者95％或者99％或者99.5％或者99.95％，尤其呈HEPA过滤器的形式，
●尤其所述过滤器元件(49)由纤维材料或者金属材料组成，尤其由烧结或者编织的金属材料组成，以及
●尤其是所述螺栓元件(9a；9b)具有外侧面，所述外侧面至少局部向外指向并且形成所述密封表面部分(24)，所述外侧面尤其具有的几何形状为：
-几何直圆柱体侧面，或者
-几何直圆锥体侧面。
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