CH699258B1

CH699258B1 - Vakuumventil und Verschlussteller

Info

Publication number: CH699258B1
Application number: CH01107/06A
Authority: CH
Inventors: Bernhard Litscher
Original assignee: Vat Holding Ag
Priority date: 2006-07-11
Filing date: 2006-07-11
Publication date: 2010-02-15

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Vakuumventil (1) zum gasdichten Schliessen eines Fliesswegs (F), mit einem Verschlussteller (5), in welchem mindestens eine Stangenaufnahme (6) ausgeformt ist, und mindestens einer Schubstange (8), an welcher der Verschlussteller (5) über einen in die Stangenaufnahme (6) eingreifenden Verbindungsabschnitt der Schubstange (8) abnehmbar montiert ist. Erfindungsgemäss ist die Stangenaufnahme als ein Sackloch (6) ausgebildet, in welches die Schubstange (8) mit ihrem Verbindungsabschnitt eingeführt ist. Der Verschlussteller (5) weist ein in das Sackloch (6) verstellbar hineinragendes und derart ausgebildetes Klemmelement (13) auf, dass eine durch das Verstellen des Klemmelements (13) lösbare Klemmverbindung zwischen dem Verschlussteller (5) und dem Verbindungsabschnitt besteht. Ein partikeldichtender Dichtring ist zwischen dem Sackloch (6) und der Schubstange (8) derart angeordnet ist, dass durch die Klemmverbindung erzeugte Partikel am Austreten aus dem Sackloch (6) gehindert werden. Die Erfindung ermöglicht es, die Anzahl ungewollter, durch Materialreibung verursachter Partikel im Ventilraum gering zu halten und ermöglicht die schnelle und komfortable Montierbarkeit und Demontierbarkeit des Verschlusstellers (5) auf der mindestens einen Schubstange (8).

Description

[0001] Die Erfindung betrifft ein Vakuumventil zum gasdichten Schliessen eines Fliesswegs mittels eines auf mindestens einer Schubstange montierten Verschlusstellers nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 und einen Verschlussteller nach dem Oberbegriff des Anspruchs 11.

[0002] Vakuumventile zum im Wesentlichen gasdichten Schliessen eines Fliesswegs, der durch eine Öffnung in einem Ventilgehäuse führt, sind in unterschiedlichen Ausführungsformen aus dem Stand der Technik bekannt. Vakuumschieberventile kommen insbesondere im Bereich der IC- und Halbleiterfertigung, die in einer geschützten Atmosphäre möglichst ohne das Vorhandensein verunreinigender Partikel stattfinden muss, zum Einsatz. Beispielsweise durchlaufen in einer Fertigungsanlage für Halbleiter-Wafer oder Flüssigkristall-Substrate die hochsensiblen Halbleiter- oder Flüssigkristall-Elemente sequentiell mehrere Prozesskammern, in denen die innerhalb der Prozesskammer befindlichen Halbleiterelemente mittels jeweils einer Bearbeitungsvorrichtung bearbeitet werden.

Sowohl während des Bearbeitungsprozesses innerhalb der Prozesskammer als auch während des Transports von Prozesskammer zu Prozesskammer müssen sich die hochsensiblen Halbleiterelemente stets in geschützter Atmosphäre - insbesondere im Vakuum - befinden. Die Prozesskammern sind beispielsweise über Verbindungsgänge miteinander verbunden, wobei die Prozesskammern mittels Vakuumschieberventile zum Transfer der Teile von der einen zur nächsten Prozesskammer geöffnet und im Anschluss zur Durchführung des jeweiligen Fertigungsschritts gasdicht verschlossen werden können. Derartige Ventile werden aufgrund des beschriebenen Anwendungsgebiets auch als Vakuum-Transferventile und aufgrund ihres rechteckigen Öffnungsquerschnitts auch als Rechteckschieber bezeichnet.

[0003] Unterschiedlichste Ausführungsformen von Vakuumventilen, insbesondere deren Dichtungs- und Antriebstechnologien, sind aus dem Stand der Technik bekannt. Abhängig von den jeweiligen Antriebstechnologien wird insbesondere zwischen Schieberventilen, auch Ventilschieber oder Rechteckschieber genannt, und Pendelventilen unterschieden, wobei das Schliessen und Öffnen im Stand der Technik meist in zwei Schritten erfolgt.

In einem ersten Schritt wird ein Ventilverschluss, insbesondere ein Verschlussteller, im Falle eines Schieberventils, wie beispielsweise aus der US 6 416 037 (Geiser) oder der US 6 056 266 (Blecha) bekannt, linear über eine Öffnung im Wesentlichen parallel zum Ventilsitz verschoben oder im Falle eines Pendelventils, wie beispielsweise aus der US 6 089 537 (Olmsted) bekannt, um eine Schwenkachse über die Öffnung geschwenkt, ohne dass hierbei eine Berührung zwischen dem Verschlussteller und dem Ventilsitz des Ventilgehäuses stattfindet. In einem zweiten Schritt wird der Verschlussteller mit dessen Verschlussseite auf den Ventilsitz des Ventilgehäuses gedrückt, so dass die Öffnung gasdicht verschlossen wird.

Die Abdichtung kann z.B. entweder über einen auf der Verschlussseite des Verschlusstellers angeordneten Dichtungsring, der auf den die Öffnung umlaufenden Ventilsitz gepresst wird, erfolgen, oder über einen Dichtungsring auf dem Ventilsitz, gegen den die Verschlussseite des Verschlusstellers gedrückt wird.

[0004] Ausserdem sind Schieberventile bekannt, bei welchen der Schliess- und Dichtvorgang über eine einzige lineare Bewegung erfolgt. Ein solches Ventil ist beispielsweise das unter der Produktbezeichnung "MONOVAT Reihe 02 und 03" bekannte und als Rechteckinsertventil ausgestaltete Transferventil der Firma VAT Vakuumventile AG in Haag, Schweiz. Der Aufbau und die Funktionsweise eines solchen Ventils werden beispielsweise in der US 4 809 950 (Geiser) und der US 4 881 717 (Geiser) beschrieben.

Das dort beschriebene Ventil besitzt in seinem Gehäuse eine Dichtfläche, die, in Richtung der Achse der Ventildurchgangsöffnung gesehen, hintereinanderliegende Abschnitte besitzt, die in seitlich nach aussen verlaufende, ebene Dichtflächenabschnitte über stetig verlaufende Krümmungen übergehen, wobei die gedachten Erzeugenden dieser einteiligen, aber mehrere Abschnitte aufweisenden Dichtfläche parallel zur Achse der Ventildurchgangsöffnung liegen. Die Dichtfläche ist bearbeitet. Das Verschlussglied besitzt eine dazu korrespondierende Auflagefläche für die umfangsgeschlossene Dichtung. Detaillierter beschrieben besitzt der sogenannte Ventilschieber ein Schiebergehäuse und eine Schieberdurchgangsöffnung, die mit einem in seiner Ebene verschiebbaren Verschlussglied verschliessbar ist.

Im Bereich der Schieberdurchgangsöffnung ist eine Dichtfläche vorgesehen, an der in der Schliessstellung des Verschlussgliedes eine an diesem angeordnete, umfangsgeschlossene Dichtung anliegt, wobei die gedachten, geraden Erzeugenden der Dichtfläche parallel zur Achse der Schieberdurchgangsöffnung liegen. Die umfangsgeschlossene, einstückige Dichtung weist Abschnitte unterschiedlicher Längen und/oder Formen auf, die in verschiedenen Ebenen liegen, wobei zwei Hauptabschnitte der umfangsgeschlossenen Dichtung in Ebenen liegen, welche zur Achse der Schieberdurchgangsöffnung rechtwinklig stehen und voneinander distanziert sind. Die beiden Hauptabschnitte der Dichtung sind durch Seitenabschnitte verbunden. Das Verschlussglied besitzt zum Verlauf der Dichtfläche des Gehäuses eine korrespondierend verlaufende, die umfangsgeschlossene Dichtung tragende Fläche.

Die Seitenabschnitte der umfangsgeschlossenen Dichtung verlaufen U-förmig. Jeweils die Schenkel dieser U-förmig verlaufenden Seitenabschnitte liegen in einer Ebene. Die in Achsrichtung der Schieberdurchgangsöffnung gesehen hintereinander liegenden Abschnitte der Dichtfläche gehen für die Anlage der Hauptabschnitte der Dichtung in jenem Bereich, in dem sie eine gemeinsame, gerade, achsparallele Erzeugende besitzen, in seitlich nach aussen verlaufende ebene Dichtflächenabschnitte über. Diese ebenen Dichtflächenabschnitte liegen in zueinander und zur Achse der Schieberdurchgangsöffnung parallel liegenden Ebenen. Da das Verschlussglied einteilig ist, kann es hohen Beschleunigungskräften ausgesetzt werden, so dass dieses Ventil auch für Schnell- und Notverschlüsse verwendet werden kann.

Da das Schliessen und Dichten mittels einer einzigen linearen Bewegung erfolgen kann, ist ein sehr schnelles Schliessen und Öffnen des Ventils möglich.

[0005] Ein geeigneter Antrieb für ein solches, mittels einer linearen Bewegung verschliessbares Transferventil ist in der JP 6 241 344 (Buriida Fuuberuto) dargestellt. Der dort beschriebene Antrieb besitzt exzentrisch gelagerte Hebel zum linearen Verschieben der Schubstangen, auf welchen das Verschlussglied montiert ist.

[0006] Da Transferventile unter anderem bei der Herstellung hochsensibler Halbleiterelemente zum Einsatz kommen, muss die insbesondere durch die Betätigung des Ventils verursachte Partikelgenerierung und die Anzahl der freien Partikel im Ventilraum möglichst gering gehalten werden. Die Partikelgenerierung ist primär eine Folge von Reibung insbesondere zwischen dem Ventilverschluss und dem Ventilgehäuse oder dem Ventilsitz, und dem Ventilverschluss und den Schubstangen, auf welchen der Ventilverschluss befestigt und somit mit dem Antrieb verbunden ist.

[0007] Eine besondere Herausforderung zur Vermeidung der Partikelgenerierung ist die Verbindung zwischen den Schubstangen des Ventilantriebs und dem Ventilverschluss, insbesondere dem Verschlussteller. Der Verschlussteller muss derart fest mit der Schubstange oder den Schubstangen verbunden sein, dass ein präzises Führen im Ventilgehäuse und ein genaues Andrücken des Verschlusstellers auf den Ventilsitz ohne ungewollte Materialberührungen bei gleichzeitig hoher Belastbarkeit des Verschlusstellers im geschlossenen Zustand des Ventils möglich ist. Ein ungewolltes relatives Bewegen des Verschlusstellers auf den Schubstangen kann aufgrund der dadurch verursachten Materialreibung zu einer Erzeugung von Reibpartikeln führen, welche die hochreine Atmosphäre im Ventilraum verunreinigen könnte.

Daher wird im Stand der Technik stets ein spielfreier, fester Kontakt zwischen Schubstange und Verschlussteller angestrebt. Andererseits muss der Verschlussteller zur Wartung und/oder zum Austausch möglichst ohne grossen Demontageaufwand von der Schubstange abgenommen und wieder montiert werden können. Das somit erforderliche Schaffen einer lösbaren Verbindung steht jedoch in einem Zielkonflikt mit der gewünschten Vermeidung der Partikelgenerierung, da während der Demontage und Montage des Verschlusstellers von den Schubstangen eine reibende Materialberührung und die Erzeugung von Partikeln nur mit erheblichem Aufwand vermieden werden kann. Die Gefahr einer ungewollten relativen Bewegung zwischen dem Verschlussteller und den Schubstangen ist bei einer lösbaren Verbindung naturgemäss grösser als bei einer nichtlösbaren, insbesondere materialschlüssigen Verbindung.

[0008] Aus dem Stand der Technik ist bekannt, auf der Rückseite des Verschlusstellers zwei offene Ausbuchtungen für zwei Schubstangen vorzusehen und die Schubstangen mittels jeweils einer Schraube, die durch jeweils eine Querbohrung in der Schubstange geführt wird und in eine in der Ausbuchtung ausgebildete Gewindebohrung eingreift, zu montieren. Eine solche Befestigung wird beispielsweise bei dem unter der Produktbezeichnung "MONOVAT Reihe 02 und 03" bekannten und als Rechteckinsertventil ausgestalteten Transferventil der Firma VAT Vakuumventile AG in Haag, Schweiz, verwendet. Um ein exaktes Ausrichten des Verschlusstellers zum Ventilsitz zu ermöglichen, werden die Schrauben nach der Montage des Verschlusstellers zunächst nicht fest angezogen und das im Anschluss Ventil geschlossen.

Der Ventilteller richtet sich aufgrund der noch nicht fixierten Befestigung zwischen den Schubstangen und dem Verschlussteller exakt auf den Ventilsitz aus. In einem nächsten Schritt werden die Schrauben derart fest angezogen, dass ein relatives Bewegen des Verschlusstellers gegenüber den Schubstangen nicht mehr möglich ist. Die durch das Ausrichten auf den Schubstangen erzeugten Partikel werden mittels Reinigung entfernt. Aufgrund der Fixierung des Verschlusstellers auf den Schubstangen werden bis zum erneuten Lösen der Schrauben keine weiteren Partikel erzeugt.

[0009] Schraubverbindungen haben sich als Verbindungselemente in Vakuumventilen bewährt, jedoch stellt die Partikelgenerierung, die durch das Anziehen und Lösen einer Schraube einhergeht, ein generelles Problem dar, das durch entsprechend sorgfältige Reinigung nach Anziehen der Schraube oder durch Kapselung gelöst wird. Ein weiterer Nachteil der Schraubverbindung zwischen dem Verschlussteller und der Schubstange ist der mit dem Lösen und Anziehen der Schrauben verbundene, relativ grosse Zeitaufwand bei der Demontage und Montage des Verschlusstellers von bzw. auf die Schubstangen. Das oben beschriebene zweitstufige Festziehen der Schrauben zum exakten Ausrichten des Verschlusstellers ist ein weiteres Problem, das bisher durch Schraubverbindungen nicht hinreichend gelöst werden konnte.

Ein schneller und komfortabler bedienbares Verbindungselement, mittels welchem der Verschlussteller bereits nach der Montage und noch vor dem ersten Verschliessen des Ventils exakt auf der Schubstange ausgerichtet ist, wäre wünschenswert, jedoch bewirken gerade solche Verbindungselemente, beispielsweise lösbare Klemmverbindungen, eine noch grössere Partikelgenerierung und werden daher in der Vakuumventiltechnik nicht angewendet.

[0010] Es ist daher Aufgabe der Erfindung, einen Verschlussteller eines Vakuumventils zur Verfügung zu stellen, der ohne grossen Aufwand, insbesondere mittels eines einfach handhabbaren Standardwerkzeugs, innerhalb kurzer Zeit auf der mindestens einen Schubstange des Ventilantriebs möglichst exakt ausgerichtet montierbar und demontierbar ist, wobei sowohl während des Betriebs des Vakuumventils als auch durch das Montieren und Demontieren die durch allfällige Materialreibung verursachte Existenz freier Materialpartikel innerhalb des Ventilraums gering gehalten wird.

[0011] Diese Aufgabe wird durch die Verwirklichung der kennzeichnenden Merkmale der unabhängigen Ansprüche gelöst. Merkmale, die die Erfindung in alternativer oder vorteilhafter Weise weiterbilden, sind den abhängigen Patentansprüchen zu entnehmen.

[0012] Das Vakuumventil dient zum gasdichten Schliessen eines Fliesswegs, wobei unter dem Fliessweg allgemein ein zu schliessender Öffnungspfad zwischen zwei Bereichen - insbesondere zwischen einer Prozesskammer zur Halbleiterfertigung und entweder einer weiteren Prozesskammer oder der Aussenwelt - zu verstehen ist. Der Fliessweg ist beispielsweise ein Verbindungsgang zwischen zwei miteinander verbundenen Prozesskammern, wobei die Prozesskammern mittels des Vakuumventils zum Transfer der Halbleiterteile von der einen zur nächsten Prozesskammer geöffnet und im Anschluss zur Durchführung des jeweiligen Fertigungsschritts gasdicht verschlossen werden können. Derartige Ventile werden aufgrund des beschriebenen Anwendungsgebiets auch als Vakuum-Transferventile und aufgrund ihres meist rechteckigen Öffnungsquerschnitts auch als Rechteckschieber bezeichnet.

Selbstverständlich ist jedoch auch jede beliebige andere Anwendung des erfindungsgemässen Vakuumventils zum im Wesentlichen gasdichten Schliessen eines beliebigen Fliesswegs zu verstehen. Das Vakuumventil umfasst ein Ventilgehäuse mit einer Öffnung für den Fliessweg. Die Öffnung ist beispielsweise rechteckig ausgebildet und hat eine Mittelachse, die sich im Bereich der Öffnung in der Mitte des Fliesswegs parallel zu diesem erstreckt. Diese Öffnungsachse steht beispielsweise senkrecht auf der von der Öffnung aufgespannten Fläche. Die Öffnung wird von einer Ventilsitzfläche umschlossen, die sich rings um die Öffnung gekrümmt innerhalb mehrerer gedachter Ebenen, die von der Öffnungsachse senkrecht durchstossen werden, erstreckt.

[0013] Das Vakuumventil besitzt einen Verschlussteller, in welchem mindestens eine Stangenaufnahme - insbesondere zwei Stangenaufnahmen - ausgeformt ist bzw. sind. Der Verschlussteller hat eine mit der Ventilsitzfläche korrespondierende Verschlussfläche. Unter korrespondierend ist zu verstehen, dass die Verschlussfläche und die Ventilsitzfläche derart geformt sind, dass der Verschlussteller mittels einer linearen Bewegung, die im Wesentlichen senkrecht zur Öffnungsachse erfolgt, auf die Verschlussfläche derart gedrückt werden kann, dass um die Öffnung herum ein dichtender Kontakt zwischen der Verschlussfläche und der Ventilsitzfläche hergestellt werden kann.

[0014] Weiters umfasst das Vakuumventil mindestens eine Schubstange, insbesondere zwei Schubstangen, an welcher bzw. welchen der Verschlussteller über einen in die Stangenaufnahme eingreifenden Verbindungsabschnitt der Schubstange abnehmbar montiert ist. Die Schubstange ist über einen Ventilantrieb in eine lineare Verstellrichtung, die im Wesentlichen der Schubstangenrichtung entspricht, in einer sich senkrecht zu der Öffnungsachse ersteckenden gedachten Ebene des Verschlusstellers verstellbar. Die Schubstangenrichtung ist insbesondere parallel zu der Mittelachse der vorzugsweise geraden Schubstange. Die Ebene des Verschlusstellers ist im Wesentlichen parallel zu der von der Öffnung aufgespannten Fläche. Der Ventilantrieb wird beispielsweise von einem aus dem Stand der Technik bekannten Ventilantrieb gebildet.

Ein geeigneter Antrieb für ein solches, mittels einer linearen Bewegung verschliessbares Vakuumventil ist in der JP 6 241 344 (Buriida Fuuberuto) dargestellt. Der dort beschriebene Ventilantrieb besitzt exzentrisch gelagerte Hebel zum linearen Verschieben der Schubstangen, auf welchen der Verschlussteller montiert ist.

[0015] Insbesondere sind zwei Schubstangen und zwei Stangenaufnahmen vorgesehen, die in der Ebene des Verschlusstellers parallel verlaufend angeordnet sind.

[0016] Die geometrischen Flächennormalen der zumindest teilweise gekrümmten Ventilsitzfläche und der Verschlussfläche verlaufen im Wesentlichen parallel zu der Ebene des Verschlusstellers. Der Verschlussteller ist entlang der Verstellrichtung zwischen einer geöffneten, die Öffnung und somit den Fliessweg insbesondere vollständig freigebenden Position und einer im Wesentlichen gasdicht geschlossenen, über die Öffnung linear geschobenen und somit mit der Verschlussfläche im Wesentlichen in Verstellrichtung auf die Ventilsitzfläche drückenden Position linear verschiebbar. Unter den geometrischen Flächennormalen sind die Senkrechten auf der im geschlossenen Zustand des Vakuumventils rings um die Öffnung verlaufenden Berührungsfläche der Ventilsitzfläche und der Verschlussfläche zu verstehen.

Diese Berührungsfläche wird beispielsweise durch die Kontaktfläche eines Dichtungsbandes der Verschlussfläche und der Ventilsitzfläche gebildet. Unter dieser Definition sei allgemein zu verstehen, dass die Ventilsitzfläche und die Verschlussfläche derart ausgebildet sind, dass beim Schliessen des Vakuumventils entlang der linearen Schliessrichtung das Drücken, also die Richtung der Druckkräfte, der Verschlussfläche auf die Ventilsitzfläche im Wesentlichen in einer Ebene erfolgt, die im Wesentlichen parallel zu der Ebene des Verschlusstellers verläuft, so dass Scherkräfte in eine Richtung parallel zur Öffnungsachse ganz oder im Wesentlichen vermieden werden.

[0017] Ein derartiges Vakuumventil ist im Wesentlichen aus dem Stand der Technik, beispielsweise als das unter der Produktbezeichnung "MONOVAT Reihe 02 und 03" von der Firma VAT Vakuumventile AG in Haag, Schweiz, entwickelte und vertriebene Rechteckinsertventil, bekannt. Der Aufbau und die Funktionsweise eines solchen Ventils werden beispielsweise in der US 4 809 950 (Geiser) und der US 4 881 717 (Geiser) beschrieben.

[0018] Erfindungsgemäss ist die Stangenaufnahme als ein Sackloch ausgebildet, in welches die Schubstange mit ihrem Verbindungsabschnitt eingeführt ist. Unter einem Sackloch ist allgemein eine beliebig hergestellte Bohrung mit beliebigem, insbesondere kreisrundem Querschnitt zu verstehen, welche den Verschlussteller nicht vollständig durchdringt und eine bestimmte Tiefe hat. Das Sackloch erstreckt sich vorzugsweise entlang der Verstellrichtung der Schubstange. Es kann entweder von einer Aussparung in einem einstückigen Bereich des Verschlusstellers oder von mehreren Teilen des Verschlusstellers, beispielsweise von zwei Hälften mit halbzylinderartigen Aussparungen, gebildet werden. Der Verbindungsabschnitt der Schubstange ist unanhängig von dessen Ausformung allgemeine der gesamte oder ein Teil des Abschnitts der Schubstange, der zum Einführen in das Sackloch bestimmt ist.

[0019] Der Verschlussteller weist ein in das Sackloch verstellbar hineinragendes Klemmelement auf, so dass in einem bestimmten Bereich des Sacklochs dessen Querschnitt verstellbar ist. Das Klemmelement ist derart ausgebildet, dass eine durch das Verstellen des Klemmelements lösbare Klemmverbindung zwischen dem Verschlussteller und dem Verbindungsabschnitt herstellbar ist. Unter einer Klemmverbindung ist im Allgemeinen eine auch kraftschlüssige Verbindung zwischen zwei Teilen zu verstehen, die mittels Reibkraft erfolgt und durch Veränderung des Querschnitts zumindest eines Bereichs innerhalb des Sacklochs resultiert.

Selbstverständlich ist es möglich, dass die Verbindung nicht rein kraftschlüssig, sondern auch formschlüssig erfolgt, beispielsweise indem die über das Klemmelement erfolgende Querschnittsveränderung des Sacklochs in einem Bereich stattfindet, in welchem der eingeführte Verbindungsabschnitt einen anderen Querschnitt als in einem Abschnitt der Schubstange, der tiefer als der querschnittsveränderbare Bereich im Sackloch liegt, aufweist. Ein derartiger anderer Querschnitt kann von einer Verjüngung oder einer Abflachung im Verbindungsabschnitt der Schubstange gebildet werden. Es ist ebenfalls möglich, dass das Klemmelement einen Bestandteil des Sacklochs bildet, beispielsweise einen Wandabschnitt, der verstellbar ist.

Daher sei unter dem verstellbar hineinragenden Klemmelement abstrakt ein Abschnitt des Sacklochs zu verstehen, dessen Querschnitt gegenüber dem restlichen, insbesondere tiefer im Sackloch liegenden Querschnitt verkleinerbar ist, wobei es möglich ist, dass das Klemmelement in einem bestimmten Verstellzustand nicht in das Sackloch hineinragt, sondern erst durch das Verstellen das Hineinragen erfolgt.

[0020] Die Klemmverbindung ermöglicht es, insbesondere mittels eines einfach handhabbaren Standardwerkzeugs durch Verstellen des Klemmelements den Verschlussteller rasch von der Schubstange entfernen zu können, um diesen beispielsweise zu warten oder gegen einen neuen Verschlussteller zu ersetzen.

[0021] Somit ist der Verschlussteller ohne grossen Aufwand innerhalb kurzer Zeit auf der mindestens einen Schubstange des Ventilantriebs montierbar und demontierbar.

[0022] Die Klemmverbindung ist derart ausbildbar, dass auch eine Kraft in axiale Schubstangenrichtung wirkt, so dass die Schubstange durch das Klemmen in das Sackloch hineingezogen und auf einen Anschlag, insbesondere den Boden des Sacklochs, gedrückt wird. Hierdurch wird erreicht, dass die Schubstange durch Verstellen oder Schliessen des Klemmelements in axialer Richtung zwangsausgerichtet wird und ein Nachzentrieren oder Feinjustieren entfallen kann.

[0023] Eine derartige, durch Querschnittsveränderung in einem Sackloch hervorgerufene Klemmverbindung erscheint trotz der bekannten Vorteile der unkomplizierten Öffen- und Schliessbarkeit zunächst widersinnig, da Kraftschlussverbindungen auch oder im Wesentlichen durch Haftreibung gewährleistet werden, wobei die zu übertragenden Kräfte tangential zu den beteiligten Flächen der Verbindungspartner auftreten. Klemmverbindungen, die auch durch Haftreibung geschaffen werden, führen zwangsläufig zu einer Erzeugung von Reibpartikeln, sobald die beteiligten Flächen der Verbindungspartner eine, wenn auch sehr kleine, Relativbewegung zueinander machen.

Da eine derartige, geringe Relativbewegung im Falle einer Teileverbindung, die mittels Klemmung erfolgt, nicht gänzlich vermieden werden kann, werden aufgrund dieses bekannten technischen Vorurteils derartige Klemmverbindungen im Bereich der hochreinen Vakuumventiltechnik, in welcher die Partikelgenerierung innerhalb des Ventilraums möglichst gering zu halten ist, nicht verwendet und deren Verwendung für den oben beschriebenen Vakuumventiltypen nicht in Betracht gezogen.

[0024] Die Erfindung sieht jedoch weiters einen partikeldichtenden Dichtring zwischen dem Sackloch und der Schubstange vor. Der Dichtring ist derart angeordnet und ausgebildet, dass durch die Klemmverbindung erzeugte Partikel am Austreten aus dem Sackloch gehindert werden und im Sackloch verbleiben, so dass der Ventilraum und der Bereich des Fliesswegs partikelrein gehalten werden. Der Dichtring, insbesondere ein O-Ring, ist beispielsweise in einer inneren Umfangsnut im Sackloch angeordnet, die in einem randnahen Bereich des Sacklochs zwischen dem Abschnitt, in welchem sich das Klemmelement befindet, und dem Rand des Sacklochs ausgeformt ist. Alternativ ist es möglich, den Dichtring auf der Schubstange, beispielsweise in einer Nut, an entsprechender Stelle anzuordnen.

Weiters ist es selbstverständlich möglich, mehrere Dichtringe parallel als Partikelfalle in dem Sackloch und/oder auf der Schubstange anzuordnen, um das Austreten von Partikeln aus dem Sackloch weiter zu reduzieren.

[0025] Trotz der durch die Klemmverbindung allfällig erzeugten Partikel innerhalb des abgedichteten Sacklochs wird sowohl während des Betriebs des Vakuumventils als auch durch das Montieren und Demontieren die durch allfällige Materialreibung verursachte Existenz freier Materialpartikel innerhalb des Ventilraums gering gehalten.

[0026] Das erfindungsgemässe Verfahren und die erfindungsgemässe Vorrichtung werden nachfolgend anhand von in den Zeichnungen schematisch dargestellten konkreten Ausführungsbeispielen rein beispielhaft näher beschrieben.

[0027] Im Einzelnen zeigen
<tb>Fig. 1A<sep>eine Schrägansicht auf ein Vakuumventil mit einem Verschlussteller in geschlossener Position und einem Ventilantrieb;

<tb>Fig. 1B<sep>eine Frontansicht auf das Vakuumventil aus Fig. 1A mit dem Verschlussteller in geöffneter Position ohne Ventilantrieb;

<tb>Fig. 2A<sep>eine Schrägansicht auf einen Verschlussteller mit zwei Schubstangen;

<tb>Fig. 2B<sep>eine Frontansicht auf den Verschlussteller aus Fig. 2A

<tb>Fig. 3A<sep>eine Querschnittsansicht des Verschlusstellers aus Fig. 2A mit geschlossenen Klemmelementen;

<tb>Fig. 3B, 3C<sep>Detailansichten aus Fig. 3A;

<tb>Fig. 4A<sep>eine Querschnittsansicht des Verschlusstellers aus Fig. 2A mit geöffneten Klemmelementen;

<tb>Fig. 4B, 4C<sep>Detailansichten aus Fig. 4A;

<tb>Fig. 5<sep>eine Querschnittsansicht des Verschlusstellers aus Fig. 2A in einem von den Schubstangen abgenommenem Zustand; und

<tb>Fig. 6<sep>eine Querschnittsansicht auf das Klemmelement aus Fig. 3A.

[0028] Die Fig. 1A bis 6 zeigen im Wesentlichen eine einzige Ausführungsform der Erfindung in unterschiedlichen Ansichten, Zuständen und Detaillierungsgraden, wobei jedoch in den Fig. 1A und 1B beide Klemmelemente 13 aussen angeordnet sind, wohingegen in den restlichen Fig. 2A bis 6 sich ein Klemmelement 13 innen und das andere aussen befindet. Aus diesem Grunde werden die Figuren zum Teil gemeinsam beschrieben, wobei auf bereits erläuterte Bezugszeichen zum Teil nicht nochmals eingegangen wird.

[0029] In den Fig. 1A und 1B ist ein Vakuumventil 1 in Form eines Rechteckschiebers zum gasdichten Schliessen eines mittels des Pfeils F veranschaulichten Fliesswegs in einer Schrägansicht bzw. in einer Frontansicht dargestellt. Das Vakuumventil 1 besitzt ein Ventilgehäuse 2 mit einer Öffnung 3 für den Fliessweg F. Die Öffnung 3 hat einen rechteckigen Querschnitt mit abgerundeten Ecken. Die Fig. 1A zeigt das Vakuumventil 1 in einer geschlossenen Position C, weshalb die Öffnung 3 verdeckt und nicht sichtbar ist, während in der geöffneten Position 0 des Vakuumventils 1 in Fig. 1Bdie Öffnung 3 deutlich erkennbar ist. Die Öffnung 3 hat eine mittlere Öffnungsachse 12, die sich im Bereich der Öffnung 3 in der Mitte des Fliesswegs F parallel zu diesem erstreckt. Diese Öffnungsachse 12 steht senkrecht auf der von der Öffnung aufgespannten gedachten Fläche.

Die Öffnung 3 wird von einer Ventilsitzfläche 4 umschlossen, die sich rings um die Öffnung 3 gekrümmt innerhalb mehrerer gedachter Ebenen, die von der Öffnungsachse 12 senkrecht durchstossen werden, erstreckt. Die Ventilsitzfläche 4 weist nach oben in Richtung zum Ventilantrieb 10. Weiters umfasst das Vakuumventil 1 einen flachen Verschlussteller 5. Der Verschlussteller 5 hat eine mit der Ventilsitzfläche 4 korrespondierende Verschlussfläche 7, die in Richtung zur Ventilsitzfläche 4 nach unten weist und sich ebenfalls gekrümmt innerhalb mehrerer gedachter Ebenen, die von der Öffnungsachse 12 senkrecht durchstossen werden, erstreckt, wie in einem Querschnitt durch den Verschlussteller 5 in Fig. 6ersichtlich.

Auf der oberen, zum Ventilantrieb 10 weisenden Seite des Verschlusstellers 5, die der Seite mit der Verschlussfläche 7 am Verschlussteller 5 gegenüberliegt, sind zwei Stangenaufnahmen ausgeformt, die als Sackloch 6 ausgebildet sind. In Fig. 1Bsind die in dieser Ansicht von aussen nicht sichtbaren Sacklöcher 6 mittels gepunkteter Linien veranschaulicht. Der Verschlussteller 5 ist an zwei parallelen Schubstangen 8 über jeweils einen in die Stangenaufnahme 6 eingeführten Verbindungsabschnitt 9 der Schubstangen 8, siehe Fig. 3A, abnehmbar montiert. Die Schubstangen 8 mit deren Verbindungsabschnitte 9 und die Stangenaufnahmen 6 haben einen kreisrunden Querschnitt.

Die Schubstangen 8 sind über einen Ventilantrieb 10 in eine lineare Verstellrichtung 11, die der Schubstangenrichtung 19, siehe Fig. 2A, entspricht, in einer sich senkrecht zu der Öffnungsachse 12 ersteckenden Ebene E des Verschlusstellers 5 linear verstellbar. Die gedachte Ebene E ist schematisch in Form eines Rechtecks, das die mittlere Ebene E des flachen Verschlussteller 5 veranschaulicht, dargestellt. Die Ebene E liegt parallel zu der nicht dargestellten, durch die Öffnung 3 aufgespannten Fläche. Die nicht dargestellten Flächennormalen der gekrümmten Ventilsitzfläche 4 und der mittels des Ventilantriebs 10 verstellbar beabstandet und kontaktierbar gegenüberliegenden Verschlussfläche 7 verlaufen im Wesentlichen parallel zu der Ebene E des Verschlusstellers 5.

Somit sind die Ventilsitzfläche 4 und die Verschlussfläche 7 derart ausgebildet, dass beim Schliessen des Vakuumventils 1 entlang der linearen Verstellrichtung 11 das Drücken der Verschlussfläche 7 auf die Ventilsitzfläche 4 im Wesentlichen in einer Ebene erfolgt, die im Wesentlichen parallel zu der Ebene E des Verschlusstellers 5 verläuft, so dass Scherkräfte in eine Richtung parallel zur Öffnungsachse 12 ganz oder im Wesentlichen vermieden werden. Der Verschlussteller 5 ist entlang der Verstellrichtung 11 zwischen einer geöffneten, die Öffnung 3 freigebenden Position 0, siehe Fig. 1b, und einer gasdicht geschlossenen, über die Öffnung 3 linear geschobenen und somit mit der Verschlussfläche 7 in Verstellrichtung 11 auf die Ventilsitzfläche 4 drückenden Position C, siehe Fig. 1A, linear verschiebbar.

[0030] In dem Verschlussteller 5 sind zwei Klemmelemente in Form von Exzenterelementen 13 vorgesehen, die in die beiden Sacklöcher 6 verstellbar hineinragen und derart ausgebildet sind, dass eine durch das Verstellen des jeweiligen Exzenterelements 13 lösbare Klemmverbindung zwischen dem Verschlussteller 5 und dem Verbindungsabschnitt 9 herstellbar ist. Hierzu ist eine tangential zum dem jeweiligen Sackloch 6 und senkrecht zur Ebene des Verschlusstellers 5 verlaufende und teilweise das Sackloch 6 schneidende Tangentialbohrung 16 im Verschlussteller 5 ausgeformt.

In dem Ausführungsbeispiel in den Fig. 1A und 1B befindet sich die Tangentialbohrung 16 jeweils aussenliegend auf unterschiedlichen Seiten, wohingegen in den restlichen Figuren ein Ausführungsbeispiel mit jeweils auf der gleichen Seite liegender Tangentialbohrung 16, nämlich in der Frontansicht auf den Verschlussteller 5 links von dem jeweiligen Sackloch 6, gezeigt ist. Die beiden Ausführungsbeispiele werden gemeinsam beschrieben.

[0031] Das jeweilige Exzenterelement ist als Zylinderbolzen 13, der eine tangentiale Abflachung aufweist, ausgebildet. Der abgeflachte Zylinderbolzen 13 ist in der Tangentialbohrung 16 verdrehbar gelagert, wobei die Abflachung in dem Bereich vorgesehen ist, in welchem die Tangentialbohrung 16 das Sackloch 6 schneidet, so dass durch Verdrehen des Zylinderbolzens 13 und somit auch der Abflachung sein Hineinragen in das Sackloch 6 verstellbar ist. Die Drehachse 15 des Zylinderbolzens 13 verläuft senkrecht zur Ebene E des Verschlusstellers 5. Der abgeflachter Zylinderbolzen 13 ist mittels entsprechender Passung derart abgedichtet im Verschlussteller 5 gelagert, dass keine Partikel aus dem Sackloch über einen allfälligen Zwischenraum zwischen dem Zylinderbolzen 13 und der Tangentialbohrung 16 nach aussen entweichen können.

Zur Ermöglichung des Verdrehens weist der Zylinderbolzen 13 einen nach aussen weisenden Schraubenkopf 18 mit einem Innensechskant auf, wie in den Fig. 3B, 3C, 4Bund 4Cerkennbar.

[0032] Der Verbindungsabschnitt 9 der Schubstange 8 hat jeweils einen konkaven Abschnitt. Die in der Frontansicht linke Schubstange 8, siehe Fig. 3Bund 4B, besitzen im Verbindungsabschnitt 9 auf Höhe des Zylinderbolzens 13 eine ringsum laufende Verjüngung 9a mit einem reduzierten Durchmesser, wohingegen die rechte Schubstange 8, siehe Fig. 3C und 4C, eine Abflachung 9b auf Höhe und der Seite des Zylinderbolzens 13 haben. Beide Ausführungsformen sind möglich. Diese konkaven Abschnitte dienen zur klemmverbindenden Aufnahme des in dem Sackloch 6 verstellbar hineinragenden Zylinderbolzens 13. In den Fig. 3Abis 3Csind die Zylinderbolzen 13 im in das Sackloch 6 hineinragenden Zustand gezeigt, wobei die exzentrischen Zylinderbolzen 13 jeweils den Verbindungsabschnitt 9 der Schubstange 8 im Sackloch 6 durch Ausüben einer Kraft senkrecht auf die Schubstange 8 festklemmen.

Da das Festklemmen im Bereich der Verjüngung 9a bzw. Abflachung 9b des Verbindungsabschnitts erfolgt, wird neben der reibschlüssigen Verbindung auch eine formschlüssige Verbindung geschaffen, da der Zylinderbolzen auch in die Verjüngung 9a bzw. Abflachung 9b hineinragt. Durch das Festklemmen wirkt jedoch auch eine Kraft auf die Schubstangen 8 in axiale Schubstangenrichtung 19 in das Sackloch 6 hinein, so dass die Schubstangen 8 durch das Klemmen in das jeweilige Sackloch 6 hineingezogen und auf einen Anschlag, nämlich den Boden des Sacklochs 6, gedrückt werden. Hierdurch wird erreicht, dass die jeweilige Schubstange 8 durch das Verdrehen des Zylinderbolzens 13 in eine Drehrichtung, welche die Schubstange 8 in das Sackloch 6 hineinzieht, in axialer Schubstangenrichtung 19 zwangsausgerichtet wird und ein Nachzentrieren oder Feinjustieren entfallen kann.

[0033] Ein partikeldichtender Dichtring 14 ist zwischen dem Sackloch 6 und der Schubstange 8 derart angeordnet, dass durch die Klemmverbindung, insbesondere durch Reibung erzeugte Partikel am Austreten aus dem Sackloch 6 gehindert werden und im Sackloch verbleiben. Der Dichtring 14 ist als O-Ring ausgebildet und in einer inneren Umfangsnut 17 im randnahen Bereich des Sacklochs 6 oberhalb des Bereichs des Hineinragens des Zylinderbolzens 13 fixiert, wie in den Fig. 3Bund 3Cgezeigt. Durch Verdrehen des Zylinderbolzens 13 im Uhrzeigersinn kann die feste Verbindung zwischen den Schubstangen 8 und dem Verschlussteller 5 wieder gelöst werden.

[0034] In den Fig. 4A, 4B und 4Cwerden die Zylinderbolzen 13 im nicht in das Sackloch 6 und die Verjüngung 9a bzw. die Abflachung 9b hineinragenden Zustand gezeigt. Somit ist es möglich, den Verschlussteller 5 von den Schubstangen 8 in Schubstangenrichtung 19 abzuziehen und vom restlichen Vakuumventil 1 zu entfernen, wie in Fig. 5veranschaulicht.

[0035] Fig. 6 zeigt einen detaillierten Querschnitt des Verschlusstellers 5 entlang der Drehachse 15 des Zylinderbolzens 13 in der Tangentialbohrung 16. Der Zylinderbolzen 13 hat einen Schraubenkopf 18 in Form eines Innensechskants. Weiters ist der sich innerhalb mehrerer gedachter Ebenen, die parallel zur Ebene E des Verschlusstellers 5 liegen, erstreckende Verlauf der Verschlussfläche 7 erkennbar.

[0036] Ein Vorteil der jeweils auf der gleichen Seite zur Schubstange 8 positionierten Anordnung der Zylinderbolzens 13, wie in den Fig. 2A bis 6 gezeigt, besteht in der jeweils gleichen Rotationsrichtung der beiden Zylinderbolzens 13 zum Öffnen und Schliessen der Verbindung zu den Schubstangen 8. Bei der symmetrischen Anordnung gemäss Fig. 1A und 1Bmüssen die beiden Zylinderbolzen 13 zum Öffnen bzw. Schliessen jeweils unterschiedlich verdreht werden.

[0037] Die erläuterten konkreten Ausführungsbeispiele dienen lediglich zur exemplarischen Veranschaulichung der Erfindung anhand systematischer Darstellungen. Selbstverständlich beschränkt sich die Erfindung nicht auf diese Ausführungsbeispiele.

Claims

1. Vakuumventil (1) zum gasdichten Schliessen eines Fliesswegs (F), mit

- einem Ventilgehäuse (2) mit einer Öffnung (3) für den Fliessweg (F) und einer die Öffnung (3) gekrümmt geschlossen umschliessenden Ventilsitzfläche (4),

- einem Verschlussteller (5), in welchem mindestens eine Stangenaufnahme (6) ausgeformt ist und welche eine mit der Ventilsitzfläche (4) korrespondierende Verschlussfläche (7) aufweist,

- mindestens einer Schubstange (8),

- an welcher der Verschlussteller (5) über einen in die Stangenaufnahme (6) eingreifenden Verbindungsabschnitt (9) der Schubstange (8) abnehmbar montiert ist und

- die über einen Ventilantrieb (10) in eine lineare Verstellrichtung (11), die im Wesentlichen der Schubstangenrichtung (19) entspricht, in einer sich senkrecht zu der Öffnungsachse (12) ersteckenden Ebene (E) des Verschlusstellers (5) verstellbar ist,

wobei die Flächennormalen der zumindest teilweise gekrümmten Ventilsitzfläche (4) und der Verschlussfläche (7) im Wesentlichen parallel zu der Ebene (E) des Verschlusstellers (5) verlaufen und der Verschlussteller (5) entlang der Verstellrichtung (11) zwischen

- einer geöffneten, die Öffnung (3) freigebenden Position (0) und

<- >einer gasdicht geschlossenen, über die Öffnung (3) linear geschobenen und somit mit der Verschlussfläche (7) im Wesentlichen in Verstellrichtung (11) auf die Ventilsitzfläche (4) drückenden Position (C) linear verschiebbar ist,

dadurch gekennzeichnet, dass

- die Stangenaufnahme als ein Sackloch (6) ausgebildet ist, in welches die Schubstange (8) mit ihrem Verbindungsabschnitt (9) eingeführt ist,

- der Verschlussteller (5) ein in das Sackloch (6) verstellbar hineinragendes und derart ausgebildetes Klemmelement (13) aufweist, dass eine durch das Verstellen des Klemmelements (13) lösbare Klemmverbindung zwischen dem Verschlussteller (5) und dem Verbindungsabschnitt (9) besteht, und

- ein partikeldichtender Dichtring (14) zwischen dem Sackloch (6) und der Schubstange (8) derart angeordnet ist, dass durch die Klemmverbindung erzeugte Partikel am Austreten aus dem Sackloch (6) gehindert werden.

2. Vakuumventil (1) nach Anspruch 1, wobei das Klemmelement als ein im Verschlussteller (5) abgedichtet derart verdrehbar gelagertes Exzenterelement (13) ausgebildet ist, dass durch das Verdrehen das Hineinragen des Exzenterelements (13) in das Sackloch (6) verstellbar ist.

3. Vakuumventil (1) nach Anspruch 2, wobei das verdrehbar gelagerte Exzenterelement (13) derart ausgebildet ist, dass durch das Verdrehen des Exzenterelements (13) eine die Schubstange (8) in das Sackloch (6) - insbesondere auf dessen Boden - ziehende Kraft in axiale Schubstangenrichtung (19) auf die Schubstange (8) ausgeübt wird.

4. Vakuumventil (1) nach Anspruch 2 oder 3, wobei die Drehachse (15) des Exzenterelements (13) senkrecht zur Ebene (E) des Verschlusstellers (5) verläuft.

5. Vakuumventil (1) nach einem der Ansprüche 2 bis 4, wobei eine tangential zum dem Sackloch (6) verlaufende und teilweise das Sackloch (6) schneidende Tangentialbohrung (16) im Verschlussteller (5) ausgeformt ist und das Exzenterelement (13) in der Tangentialbohrung (16) verdrehbar gelagert ist.

6. Vakuumventil (1) nach einem der Ansprüche 2 bis 5, wobei das Exzenterelement als abgeflachter Zylinderbolzen (13), insbesondere mit einem Schraubenkopf (18), ausgebildet ist.

7. Vakuumventil (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei eine innere Umfangsnut (17), in welcher der Dichtring (14) angeordnet ist, im randnahen Bereich des Sacklochs (6) ausgebildet ist.

8. Vakuumventil (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 7, wobei das Sackloch (6) einen runden Querschnitt besitzt.

9. Vakuumventil (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 8, wobei der Verbindungsabschnitt (9) der Schubstange (8) einen konkaven Abschnitt, insbesondere eine Verjüngung (9a) oder eine Abflachung (9b), zur klemmverbindenden Aufnahme des in das Sackloch (6) verstellbar hineinragenden Klemmelements (13) aufweist.

10. Vakuumventil nach einem der Ansprüche 1 bis 9, mit

- zwei Schubstangen (8) und

- zwei Stangenaufnahmen (6), die in der Ebene (E) des Verschlusstellers (5) parallel verlaufend angeordnet sind.

11. Verschlussteller (5) für ein Vakuumventil (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 10, wobei das Vakuumventil (1) zum gasdichten Schliessen eines Fliesswegs (F) ein Ventilgehäuse (2) mit einer Öffnung (3) für den Fliessweg (F) und eine die Öffnung (3) gekrümmt geschlossen umschliessende Ventilsitzfläche (4) aufweist, mit

- mindestens einer Stangenaufnahme (6) zur Aufnahme einer Schubstange (8) des Vakuumventils (1), an welcher Schubstange (8) der Verschlussteller (5) über einen in die Stangenaufnahme (6) eingreifenden Verbindungsabschnitt (9) der Schubstange (8) abnehmbar montierbar ist und welche Schubstange (8) über einen Ventilantrieb (10) in eine lineare Verstellrichtung (11), die im Wesentlichen der Schubstangenrichtung (19) entspricht, in einer sich senkrecht zu der Öffnungsachse (12) des Vakuumventils (1) ersteckenden Ebene (E) des Verschlusstellers (5) verstellbar ist, und

- einer Verschlussfläche (7), die mit der Ventilsitzfläche (4) des Vakuumventils (1) korrespondiert, wobei die Flächennormalen der zumindest teilweise gekrümmten Ventilsitzfläche (4) und der Verschlussfläche (7) im Wesentlichen parallel zu der Ebene (E) des Verschlusstellers (5) verlaufen und die Verschlussfläche (7) derart ausgebildet ist, dass die Verschlussfläche (7) in Verstellrichtung (11) auf die Ventilsitzfläche (4) in eine gasdicht geschlossene, über die Öffnung (3) linear geschobene Position (C) drückbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass

- die Stangenaufnahme als ein Sackloch (6) ausgebildet ist, in welches die Schubstange (8) mit ihrem Verbindungsabschnitt (9) einführbar ist,

- der Verschlussteller (5) ein in das Sackloch (6) verstellbar hineinragendes und derart ausgebildetes Klemmelement (13) aufweist, dass eine durch das Verstellen des Klemmelements (13) lösbare Klemmverbindung zwischen dem Verschlussteller (5) und dem Verbindungsabschnitt (9) herstellbar ist, und

- ein partikeldichtender Dichtring (14) im Sackloch (6) zum Herstellen einer partikeldichten Verbindung zwischen dem Sackloch (6) und der Schubstange (8) derart angeordnet ist, dass durch die Klemmverbindung erzeugte Partikel am Austreten aus dem Sackloch (6) gehindert werden.

12. Verschlussteller (5) nach Anspruch 11, wobei das Klemmelement als ein im Verschlussteller (5) abgedichtet derart verdrehbar gelagertes Exzenterelement (13) ausgebildet ist, dassdurch das Verdrehen das Hineinragen des Exzenterelements (13) in das Sackloch (6) verstellbar ist.

13. Verschlussteller (5) nach Anspruch 12, wobei das verdrehbar gelagerte Exzenterelement (13) derart ausgebildet ist, dass durch das Verdrehen des Exzenterelements (13) eine die Schubstange (8) in das Sackloch (6) - insbesondere auf dessen Boden - ziehende Kraft in axiale Schubstangenrichtung (19) auf die Schubstange (8) ausgeübt wird.

14. Verschlussteller (5) nach Anspruch 12 oder 13, wobei die Drehachse (15) des Exzenterelements (13) senkrecht zur Ebene (E) des Verschlusstellers (5) verläuft.

15. Verschlussteller (5) nach einem der Ansprüche 12 bis 14, wobei eine tangential zum Sackloch (6) verlaufende und teilweise das Sackloch (6) schneidende Tangentialbohrung (16) im Verschlussteller (5) ausgeformt ist und das Exzenterelement (13) in der Tangentialbohrung (16) verdrehbar gelagert ist.

16. Verschlussteller (5) nach einem der Ansprüche 12 bis 15, wobei das Exzenterelement als abgeflachter Zylinderbolzen (13), insbesondere mit einem Schraubenkopf (18), ausgebildet ist.

17. Verschlussteller (5) nach einem der Ansprüche 11 bis 16, wobei eine innere Umfangsnut (17), in welcher der Dichtring (14) angeordnet ist, im randnahen Bereich des Sacklochs (6) ausgebildet ist.

18. Verschlussteller (5) nach einem der Ansprüche 11 bis 17, wobei das Sackloch (6) einen runden Querschnitt besitzt.

19. Verschlussteller (5) nach einem der Ansprüche 11 bis 18, mit zwei Stangenaufnahmen (6), die in der Ebene (E) des Verschlusstellers (5) parallel verlaufend angeordnet sind.