WO2012126704A1

WO2012126704A1 - Vakuumventil zum gasdichten schliessen eines fliesswegs mittels einer linearbewegung eines verschlussglieds

Info

Publication number: WO2012126704A1
Application number: PCT/EP2012/053434
Authority: WO
Inventors: Mathias Schön; Rico Rohner
Original assignee: Vat Holding Ag
Priority date: 2011-03-18
Filing date: 2012-02-29
Publication date: 2012-09-27
Also published as: CH704728A2

Abstract

Vakuum-Transferventil (1) mit einem Verschlussglied (5), das linear entlang einer zu der Öffnungsachse (4) quer verlaufenden Verstellachse (6) verschiebbar ist, einer ersten Dichtfläche (10) des Ventilgehäuses (2) und einer mit der ersten Dichtfläche (10) korrespondierenden zweiten Dichtfläche (11) des Verschlussglieds (5). Seitliche U-förmige Seitenabschnitte (14L, 14R) verbinden die Hauptabschnitte (12a, 12b) miteinander. Die jeweilige Basis (17L, 17R) verbindet den jeweiligen ersten Schenkel (15L, 15R) und zweiten Schenkel (16L, 16R) und überbrückt den geometrischen Versatz in Richtung der Öffnungsachse (4). Die linke Basis (17L) liegt auf einer linken ersten Ebene (18L) und die rechte Basis (17R) auf einer rechten ersten Ebene (18R). Die beiden Ebenen (18L, 8R) verlaufen jeweils nicht-parallel zu einer mittleren Horizontalebene (19), zu welcher die Verstellachse (6) eine geometrische Flächennormale bildet, und sind gegenüber dieser jeweils mit einem ersten Neigungswinkel (αL, αR) von mindestens 45° geneigt.

Description

Vakuumventil zum gasdichten Schliessen eines Fliesswegs mittels einer Linearbewegung eines Verschlussglieds

Die Erfindung betrifft ein Vakuum-Transferventil zum

gasdichten Schliessen eines Fliesswegs mittels einer

Linearbewegung nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 und ein entsprechendes Verschlussglied nach dem Oberbegriff des

Anspruchs 13. Vakuum-Transferventile nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 und Verschlussglieder nach dem Oberbegriff des Anspruchs 13 sind insbesondere in Form des als Rechteckinsertventil ausgestalteten Transferventils mit der Produktbezeichnung „MONOVAT Reihe 02 und 03" der Firma VAT Vakuumventile AG in Haag, Schweiz bekannt. Der Aufbau und die Funktionsweise eines solchen Ventils werden beispielsweise in der

US 4,809,950 (Geiser) und der US 4,881,717 (Geiser) in schematischer Weise beschrieben. Allgemein sind Vakuumventile zum im Wesentlichen gasdichten Schliessen eines Fliesswegs, der durch eine in einem

Ventilgehäuse ausgeformte Öffnung führt, in unterschiedlichen Aus führungs formen aus dem Stand der Technik bekannt.

Vakuumschieberventile kommen insbesondere im Bereich der IC- und Halbleiter- sowie insbesondere der OLED- und

Solarpanelfertigung, die in einer geschützten Atmosphäre möglichst ohne das Vorhandensein verunreinigender Partikel stattfinden muss, zum Einsatz. Beispielsweise durchlaufen in einer Fertigungsanlage für Halbleiter-Wafer oder

Flüssigkristall-Substrate die hochsensiblen Halbleiter- oder Flüssigkristall-Elemente sequentiell mehrere Prozesskammern, in denen die innerhalb der Prozesskammer befindlichen

Halbleiterelemente mittels jeweils einer

Bearbeitungsvorrichtung bearbeitet werden. Sowohl während des Bearbeitungsprozesses innerhalb der Prozesskammer, als auch während des Transports von Prozesskammer zu Prozesskammer müssen sich die hochsensiblen Halbleiterelemente stets in geschützter Atmosphäre - insbesondere im Vakuum - befinden. Die Prozesskammern sind beispielsweise über Verbindungsgänge miteinander verbunden, wobei die Prozesskammern mittels Vakuumschieberventile zum Transfer der Teile von der einen zur nächsten Prozesskammer geöffnet und im Anschluss zur Durchführung des jeweiligen Fertigungsschritts gasdicht verschlossen werden können. Derartige Ventile werden aufgrund des beschriebenen Anwendungsgebiets auch als Vakuum- Transferventile und aufgrund ihres rechteckigen

Öffnungsquerschnitts auch als Rechteckschieber bezeichnet.

Transferventile zeichnen sich durch einen verhältnismässig grossen, meist rechteckigen oder auch ovalen oder runden Öffnungsquerschnitt aus. Aufgrund des meist flachen und breiten Querschnitts von Halbleiter-Wafer-Platten oder

Flüssigkristall-Substrate, beispielsweise

Flüssigkristalldisplays, oder von Solar-Panelen haben

Transferventile meist einen langgestreckten, schlitzartigen Öffnungsquerschnitt, dessen Breite eine Vielfaches,

insbesondere mindestens das Doppelte, Dreifache, Fünffache oder Achtfache der Höhe beträgt. Insbesondere im

Forschungsbereich werden jedoch auch Transferventile mit einem runden Öffnungsquerschnitt eingesetzt.

Da Transferventile insbesondere bei der Herstellung

hochsensibler Halbleiterelemente zum Einsatz kommen, muss die insbesondere durch die Betätigung des Ventils verursachte Partikelgenerierung und die Anzahl der freien Partikel im Ventilraum möglichst gering gehalten werden. Die

Partikelgenerierung ist primär eine Folge von Reibung beispielsweise durch Metall-Metall-Kontakt und durch

Abrasion .

Die Anforderungen an die bei Vakuumventilen zum Einsatz kommenden Dichtungen sind sehr hoch. Einerseits muss im geschlossenen Zustand des Ventils die Dichtigkeit des Ventils gewährleistet sein. Dies ist vor allem aufgrund der im

Vakuumbereich hohen Differenzdrücke, insbesondere im Bereich von etwa 1 Bar, und der somit auftretenden grossen Kräfte, die auf den Ventilverschluss wirken, eine grosse

Herausforderung. Da die zum Einsatz kommenden Dichtungen bei übermässig hohen Verpressungen einem überdurchschnittlichen hohen Verschleiss unterliegen oder zerstört werden, muss der Aufbau des Ventils derart sein, dass die Differenzdruckkräfte nicht oder nur begrenzt auf die Dichtungen wirken können. Ausserdem sind Querbelastungen und Längsbelastungen auf die Dichtung möglichst gering zu halten. Vor allem bei

Querbelastungen quer zu der Längsrichtung der Dichtung besteht bei O-Ring-Dichtungen die Gefahr, dass sie aus ihrer Halterung, insbesondere der Nut, in welcher sie fixiert sind, gerissen werden. Auch aufvulkanisierte Dichtungen dürfen nur sehr begrenzten Querkräften ausgesetzt werden. Im geöffneten Zustand des Ventils sind die Dichtungen zum Teil aggressiven Medien ausgesetzt und müssen daher entweder derart beschaffen sein, dass sie den Einfüssen standhalten können, und/oder aus dem Fliessweg des Mediums, auch zur Vermeidung von Abrasion, herausbewegt werden. Ein übermässig hoher Verschleiss der Dichtung stellt einen Unsicherheitsfaktor für die

Prozesssicherheit dar und erfordert einen regelmässigen

Austausch der Dichtung, was wiederum zu erhöhten

Stillstandszeiten im Prozess führt.

Unterschiedliche Aus führungs formen von Vakuumventilen, insbesondere deren Dichtungs- und Antriebstechnologien, sind aus dem Stand der Technik bekannt, welche unter anderem als Ziel die Erhöhung der Lebensdauer der eingesetzten Dichtungen sowie eine verbesserte Prozesssicherheit haben. Abhängig von den jeweiligen Antriebstechnologien wird insbesondere zwischen Schieberventilen, auch Ventilschieber oder Rechteckschieber genannt, und Pendelventilen

unterschieden, wobei das Schliessen und Öffnen im Stand der Technik meistens in zwei Schritten erfolgt. In einem ersten Schritt wird ein Ventilverschlussglied, insbesondere ein Verschlussteller, im Falle eines Schieberventils, wie beispielsweise aus der US 6,416,037 (Geiser) oder der

US 6,056,266 (Blecha) bekannt, insbesondere des L-Typs, linear über eine Öffnung im Wesentlichen parallel zum

Ventilsitz verschoben oder im Falle eines Pendelventils, wie beispielsweise aus der US 6,089,537 (Olmsted) bekannt, um eine Schwenkachse über die Öffnung geschwenkt, ohne dass hierbei eine Berührung zwischen dem Verschlussteller und dem Ventilsitz des Ventilgehäuses stattfindet. In einem zweiten Schritt wird der Verschlussteller mit dessen Verschlussseite auf den Ventilsitz des Ventilgehäuses gedrückt, so dass die Öffnung gasdicht verschlossen wird. Die Abdichtung kann z.B. entweder über eine auf der Verschlussseite des

Verschlusstellers angeordnete Dichtung, die auf den die Öffnung umlaufenden Ventilsitz gepresst wird, erfolgen, oder über einen Dichtungsring auf dem Ventilsitz, gegen den die Verschlussseite des Verschlusstellers gedrückt wird. Die Dichtung insbesondere der Dichtungsring, kann in einer Nut gehalten und/oder aufvulkanisiert sein.

Unterschiedliche Dichtvorrichtungen sind aus dem Stand der Technik bekannt, beispielsweise aus der US 6, 629, 682 B2 (Duelli) . Ein geeignetes Material für Dichtungsringe ist beispielsweise das unter dem Handelsnamen Viton® bekannte elastische Dichtungsmaterial.

Die beschriebene zweistufige Bewegung, bei welcher das

Verschlussglied zuerst quer über die Öffnung geschoben wird, ohne dass es zu einer Berügung der Dichtung mit dem

Ventilsitz kommt, und das Verschlussglied im Anschluss im Wesentlichen senkrecht auf den Ventilsitz gedrückt wird, hat neben der Möglichkeit einer präzisen Regelung des

Durchflusses vor allem den Vorteil, dass die Dichtung nahezu ausschliesslich senkrecht verpresst wird, ohne dass es zu einer Quer- oder Längsbelastung der Dichtung kommt.

Nachteilig ist jedoch der verhältnismässig komplexe Aufbau des Antriebs, der insbesondere entweder von einem einzigen Antrieb, der eine L-förmige Bewegung des Verschlussglieds ermöglicht, oder von einer Mehrzahl an Antrieben,

beispielsweise zwei Linearantrieben oder einem Linear- und einem Spreizantrieb, gebildet wird. Spreizantriebe, welche meist unmittelbar hinter dem Verschlussteller angeordnet sind und diesen relativ zu dem Schaft, auf welchem sie sich befinden, in senkrechter Richtung auf den Ventilsitz

verstellen, haben ausserdem den Nachteil, dass eine Vielzahl an mechanischen Teilen, welche zueinander Relativbewegungen ausführen, im Ventilinneren angeordnet sind. Dies erhöht zu einen die Komplexität des Aufbaus und zum anderen die

Erzeugung von prozessschädigenden Reibpartikeln. Ein weiterer Nachteil der mehrstufigen Bewegung ist die begrenzte

Verstellgeschwindigkeit des Verschlussglieds zwischen dem vollständig geöffneten und dem vollständig geschlossenen Zustand. Keilventile, die lediglich linear verstellt werden, ermöglichen zwar eine hohe Verstellgeschwindigkeit, sie eignen sich jedoch aufgrund der Querbeanspruchung der

Dichtung zum Teil kaum für den Vakuumbereich, und wenn doch, dann für nur wenige Verstellzyklen. Dieses Problem wird mittels Schieberventilen gelöst, bei welchen der Schliess- und Dichtvorgang zwar über eine einzige lineare Bewegung erfolgt, jedoch die Dichtgeometrie derart ist, dass eine Querbeanspruchung der Dichtung weitgehend oder gänzlich vermieden wird. Ein solches Ventil ist

beispielsweise das unter der Produktbezeichnung „MONOVAT Reihe 02 und 03" bekannte und als Rechteckinsertventil ausgestaltete Transferventil der Firma VAT Vakuumventile AG in Haag, Schweiz. Der Aufbau und die Funktionsweise eines solchen Ventils werden beispielsweise in der US 4,809,950 (Geiser) und der US 4,881,717 (Geiser) beschrieben.

Das dort beschriebene Ventil besitzt in seinem Gehäuse eine Dichtfläche, die, in Richtung der Achse der

Ventildurchgangsöffnung gesehen, hintereinander liegende Abschnitte besitzt, die in seitlich nach aussen verlaufende, ebene Dichtflächenabschnitte über stetig verlaufende

Krümmungen übergehen, wobei die gedachten Erzeugenden dieser einteiligen, aber mehrere Abschnitte aufweisenden Dichtfläche parallel zur Achse der Ventildurchgangsöffnung liegen. Die Dichtfläche ist bearbeitet. Das Verschlussglied besitzt eine dazu korrespondierende Auflagefläche für die

umfangsgeschlossene Dichtung. Detaillierter beschrieben besitzt der so genannte Ventilschieber ein Schiebergehäuse und eine Schieberdurchgangsöffnung, die mit einem in seiner Ebene verschiebbaren Verschlussglied verschliessbar ist. Im Bereich der Schieberdurchgangsöffnung ist eine Dichtfläche vorgesehen, an der in der Schliessstellung des

Verschlussgliedes eine an diesem angeordnete,

umfangsgeschlossene Dichtung anliegt, wobei die gedachten, geraden Erzeugenden der Dichtfläche parallel zur Achse der Schieberdurchgangsöffnung liegen. Die umfangsgeschlossene, einstückige Dichtung weist Abschnitte unterschiedlicher Längen und/oder Formen auf, die in verschiedenen Ebenen liegen, wobei zwei Hauptabschnitte der umfangsgeschlossenen Dichtung in Ebenen liegen, welche zur Achse der

Schieberdurchgangsöffnung rechtwinklig stehen und voneinander distanziert sind. Die beiden Hauptabschnitte der Dichtung sind durch Seitenabschnitte verbunden. Das Verschlussglied besitzt zum Verlauf der Dichtfläche des

Gehäuses eine korrespondierend verlaufende, die

umfangsgeschlossene Dichtung tragende Fläche. Die

Seitenabschnitte der umfangsgeschlossenen Dichtung verlaufen U-förmig. Jeweils die Schenkel dieser U-förmig verlaufenden Seitenabschnitte liegen in einer Ebene. Die in Achsrichtung der Schieberdurchgangsöffnung gesehen hintereinander

liegenden Abschnitte der Dichtfläche gehen für die Anlage der Hauptabschnitte der Dichtung in enem Bereich, in dem sie eine gemeinsame, gerade, achsparallele Erzeugende besitzen, in seitlich nach aussen verlaufende ebene

Dichtflächenabschnitte über. Diese ebenen

Dichtflächenabschnitte liegen in zueinander und zur Achse der Schieberdurchgangsöffnung parallel liegenden Ebenen.

Ein geeigneter Antrieb für ein solches, mittels einer

linearen Bewegung verschliessbares Transferventil ist in der JP 6241344 (Buriida Fuuberuto) dargestellt. Der dort

beschriebene Antrieb besitzt exzentrisch gelagerte Hebel zum linearen Verschieben der Schubstangen, auf welchen das

Verschlussglied montiert ist.

Der aus dem Stand der Technik bekannte und in der

US 4,809,950 (Geiser) beschriebene Ventilschieber wird im

Folgenden anhand der Figuren 6a und 6b beschrieben. Der dort rein schematisch gezeigte Ventilschieber hat zur besseren Veranschaulichung des Verlaufs der Dichtflächen einen runden Öffnungsquerschnitt, während das unter der Produktbezeichnung „MONOVAT Reihe 02 und 03" bekannte und als

Rechteckinsertventil ausgestaltete Transferventil der Firma VAT Vakuumventile AG in Haag, Schweiz einen rechteckigen, schlitzartigen Öffnungsquerschnitt aufweist, dessen Breite wesentlich grösser ist als dessen Höhe.

Das Ventil 101 zum gasdichten Schliessen eines Fliesswegs mittels einer Linearbewegung besitzt ein Ventilgehäuse 102 mit einer Öffnung 103 für den Fliessweg, wobei die Öffnung 103 eine geometrische Öffnungsachse 104 entlang des

Fliesswegs aufweist, wie in Figur 6a gezeigt. Ein in Figur 6b dargestelltes Verschlussglied 105 ist linear entlang einer zu der Öffnungsachse 104 quer verlaufenden, geometrischen

Verstellachse 106 in einer Verschlussgliedebene 107 von einer die Öffnung 103 freigebenden, geöffneten Position in eine über die Öffnung 103 linear geschobene, geschlossene Position in eine Schliessrichtung 108 und umgekehrt zurück in eine Öffnungsrichtung 109 verschiebbar, wie in Figur 6a

dargestellt .

In den Figuren 6a und 6b sind das Ventilgehäuse 102 und das Verschlussglied 105 separat im auseinander gebauten Zustand dargestellt, wobei insbesondere die Verstellachse 106 die relative Lage und Verstellbarkeit der beiden Teile 102 und 105 verdeutlicht.

Eine gekrümmte erste Dichtfläche 110 umschliesst die Öffnung 103 des Ventilgehäuses 102. Auf dem Verschlussglied 105 ist eine mit der ersten Dichtfläche 110 korrespondierende zweite Dichtfläche 111 des Verschlussglieds 105, die eine der ersten Dichtfläche 110 entsprechende Form aufweist, angeordnet. Im Folgenden wird vor allem der Aufbau der ersten Dichtfläche 110 des Ventilgehäuses 102 beschrieben. Aufgrund des

entsprechenden, mit der ersten Dichtfläche 110 korrespondierenden Aufbaus kann auf eine detaillierte

Beschreibung der entsprechenden zweiten Dichtfläche 111 verzichtet werden. Vorzugsweise auf der zweiten Dichtfläche 111, und/oder auf der ersten Dichtfläche 110, ist eine nicht dargestellte

Dichtung, beispielsweise in Form einer auf ulkanisierten Dichtung oder eines O-Rings, angeordnet, die entlang der jeweiligen Dichtfläche, insbesondere der dargestellten

Strichpunktlinie verläuft. Zur Vereinfachung werden im

Folgenden die Dichtflächen 110 und 111 als dichtend wirkende Flächen, also die Dichtung bzw. der Ventilsitz betrachtet.

Die erste Dichtfläche 110 setzt sich aus unterschiedlich geformten, jeweils zu der Verstellachse 106 nichtparallelen Abschnitten 112a, 112b, 114a, 114b zusammen. Die

Flächennormalen 120 der Abschnitte 112a, 112b, 114a, 114b der ersten Dichtfläche 110 weisen Richtungskomponenten auf, die zu der Verstellachse 106 jeweils parallel sind. In anderen Worten weisen alle Flächennormalen 120 der ersten Dichtfläche 110 zumindest teilweise, also mit einer Richtungskomponente, in die Öffnungsrichtung 109, wie in Figur 6a anhand der mittels kurzer Striche veranschaulichten Flächennormalen 120 gezeigt. Wieder in anderen Worten weist die erste Dichtfläche 110 senkrecht oder schräg in die Öffnungsrichtung 109 und verläuft in keinem Abschnitt parallel zu der Verstellachse 106. Somit verläuft keine der Flächennormalen 120 der ersten Dichtfläche parallel zu einer geometrischen Normalebene, die von der Verstellachse 106 senkrecht durchstossen wird.

Ein erster Hauptabschnitt 112a der ersten Dichtfläche 110, Figur 6a, sowie ein korrespondierender erster Hauptabschnitt 112a' der zweiten Dichtfläche 111, Figur 6b, verlaufen entlang einer geometrischen ersten Hauptebene 113a. Die Flächennormalen 120 des ersten Hauptabschnitts 112a liegen in der ersten Hauptebene 113a. Ein zweiter Hauptabschnitt 112b der ersten Dichtfläche 110, Figur 6a, sowie ein

korrespondierender zweiter Hauptabschnitt 112b' der zweiten Dichtfläche 111, Figur 6b, verlaufen hingegen entlang einer geometrischen zweiten Hauptebene 113b. Die Flächennormalen 120 dieses zweiten Hauptabschnitts 112b liegen in der zweiten Hauptebene 113b. Die erste Hauptebene 113a und die zweite Hauptebene 113b sind zueinander beabstandet, verlaufen parallel zueinander und parallel zu der Verschlussgliedebene 107. Somit weisen der erste Hauptabschnitt 112a und der gegenüberliegende zweite Hauptabschnitt 112b zueinander einen geometrischen Versatz quer zu der Verstellachse 106 und in Richtung der Öffnungsachse 104 auf. Zwischen den beiden gegenüberliegenden Hauptabschnitten 112a und 112b in dem sich entlang der Verstellachse 106 erstreckenden Bereich ist die Öffnung 103 angeordnet.

Ein seitlicher erster U-förmiger Seitenabschnitt 114a der ersten Dichtfläche 110 verbindet den ersten Hauptabschnitt 112a und den zweite Hauptabschnitt 112b auf der einen Seite der ersten Dichtfläche 110, während ein seitlicher zweiter U- förmiger Seitenabschnitt 114b der ersten Dichtfläche 110 den ersten Hauptabschnitt 112a und den zweiten Hauptabschnitt 112b auf der anderen Seite der ersten Dichtfläche 110 verbindet .

Der erste U-förmige Seitenabschnitt 114a und der zweite U- förmige Seitenabschnitt 114b weisen jeweils einen dem ersten Hauptabschnitt 112a zugeordneten ersten Schenkel 115a, einen dem zweiten Hauptabschnitt 112b zugeordneten zweiten Schenkel 115b und eine Basis 115c auf. Die beiden ersten Schenkel 115a verlaufen jeweils entlang ersten Schenkelebenen, die jeweils zu der Verstellachse 6 parallel sind und die jeweils auf der ersten Hauptebene 113a liegen. In anderen Worten verlaufen die beiden ersten Schenkel 115a und der erste Hauptabschnitt 112a entlang einer Ebene, nämlich der ersten Hauptebene 113a, wobei die Flächennormalen der ersten Schenkel 115a und des ersten Hauptabschnitts 112a in dieser ersten Hauptebene 113a liegen. Die beiden zweiten Schenkel 115b verlaufen wiederum jeweils entlang zu der Verstellachse 6 parallelen zweiten Schenkelebenen, die jeweils auf der zweiten Hauptebene 113b liegen. In anderen Worten verlaufen die zweiten Schenkel 115b und der zweite Hauptabschnitt 112b entlang einer Ebene, nämlich der zweiten Hauptebene 113b, wobei die

Flächennormalen der beiden zweiten Schenkel 115b und des zweiten Hauptabschnitts 112b in dieser zweiten Hauptebene 113b liegen. Wie auch der erste Hauptabschnitt 112a und der zweite Hauptabschnitt 112b weisen somit die beiden ersten Schenkel 115a zu den beiden zweiten Schenkeln 115b einen geometrischen Versatz quer zu der Verstellachse 106 und in Richtung der Öffnungsachse 104 auf. Die jeweilige Basis 115c des ersten U-förmigen

Seitenabschnitts 114a und des zweiten U-förmigen

Seitenabschnitts 114b verbindet jeweils den ersten Schenkel 115a und den zweiten Schenkel 115b miteinander und überbrückt den geometrischen Versatz quer zu der Verstellachse 106 in Richtung parallel zu der Öffnungsachse 104. Die beiden Basen 115c liegen auf einer gemeinsamen geometrischen Ebene E, die von der Verstellachse 106 senkrecht durchstossen wird und parallel zu der Öffnungsachse 104 liegt. Die zweite Dichtfläche 111 kann durch lineares Verschieben des Verschlussgliedes 105 entlang der Verstellachse 106 in die Schliessrichtung 108 in die geschlossene Position

gebracht werden, in welcher die zweite Dichtfläche 111 auf die erste Dichtfläche 110 in die Schliessrichtung 8 drückt und somit in einem dichtenden Kontakt mit der ersten

Dichtfläche 110 steht, wodurch das Verschlussglied 105 mit seiner seitlichen Verschlussfläche 119 die Öffnung 103 gasdicht verschliesst .

Dieses aus dem Stand der Technik bekannte, mittels einer einzigen linearen Bewegung schliessbare Vakuumventil hat zahlreiche Vorteile gegenüber den mittels zweier Bewegungen schliessbaren Transferventilen, die einen verhältnismässig komplex aufgebauten Antrieb erfordern, oder gegenüber den Keilventilen, bei welchen die Dichtungen quer beansprucht werden. Da das Verschlussglied des oben beschriebenen

Vakuumventils einteilig ist, kann es hohen

Beschleunigungskräften ausgesetzt werden, so dass dieses Ventil auch für Schnell- und Notverschlüsse verwendet werden kann. Das Schliessen und Dichten kann mittels einer einzigen linearen Bewegung erfolgen, so dass ein sehr schnelles

Schliessen und Öffnen des Ventils möglich ist. Die umlaufende Dichtung findet in allen ihren Abschnitten eindeutig

reproduzierbare Verhältnisse bei den diversen

Schliessvorgängen vor. Da die Dichtung beim Schliessen und beim Auftreten des Schliessdruckes im Wesentlichen nur in Richtung der linearen Schliessbewegung in senkrechter

Richtung auf die Dichtung bzw. teilweise in Längsrichtung, nicht jedoch quer zu ihrer Längserstreckung beansprucht wird, so dass Querkräfte auf die Dichtung vermieden werden, eignet sich dieses Vakuumventil für hochqualifizierte Dichtaufgaben im Vakuum- und Hochvakuumbereich. Die Dichtflächen können ausserdem bearbeitet werden, um den hohen Dichtanforderungen zu genügen. Das Verschlussglied selbst besitzt möglichst wenig gegeneinander bewegte Teile, wodurch die Erzeugung von prozessschädlichen Partikeln, die insbesondere durch Reibung, vor allem durch Metallreibung und Abriebpartikel der Metall- und Kunststoffelemente, weitgehend vermieden werden kann. Wie aus den Figuren 6a und 6b ersichtlich, hat das beschriebene Ventil 101 jedoch den Nachteil, dass die beiden seitlich neben der Öffnung 103 angeordneten Seitenabschnitte 114a und 114b die Breite des Ventilgehäuses 102 im Verhältnis zu der Breite der Öffnung 103 erhöhen. Die U-förmigen

Übergangsbereiche der beiden Dichtflächen 110 und 111 erhöhen somit die Erstreckung des Ventilgehäuses 102 in die Breite. Im Vergleich zu Schieberventilen des L-Typs mit einem L- förmigen Bewegungsablauf ist das beschriebene, linear

verstellbare Ventil 101 verhältnismässig breit. Bei

zahlreichen Anwendungen ist dies unproblematisch, jedoch gibt es Einsatzbereiche insbesondere von Transferventilen, in welchen die Öffnungsbreite möglichst gross unter Beibehaltung einer vorgegebenen Gehäusebreite sein sollte.

Zwar wäre es möglich, die seitlichen Flanken der

Hauptabschnitte 112a und 112b noch wesentlich steiler

ansteigen zu lassen und somit den Winkel zwischen den

Flächennormalen 120 und der Verstellachse 106 im

Flankenbereich zu vergrössern, wodurch sich die Ausrichtungen der Dichtflächen 110 und 111 einer parallelen Ausrichtung zur Verstellachse 106 nähern, jedoch würde hierdurch die

Längsbelastung der Dichtung entlang ihres Längsverlaufs im Bereich der steilen Flanken in einer Richtung erhöht werden. Durch diese in eine Richtung erfolgende Längsbelastung der Dichtung entlang ihres Längsverlaufs im Bereich der steilen Flanken würde die Dichtung insbesondere im Bereich des

Übergangs von den Schenkeln 115a und 115b zur Basis 115c, die sich im Wesentlichen rechtwinklig zu den jeweiligen Schenkeln 115a und 115b erstreckt, erheblich belastet werden. Im jeweiligen Übergangsbereich von den Schenkeln 115a und 115b zur Basis 115c würde die sich dort zumindest in einer

Richtungskomponente parallel zur Öffnungsachse 104 erstreckende Dichtung querbelastet werden. Wiederum durch diese Querbelastung würde die Dichtung in diesem insbesondere bogenartigen Übergangsbereich erheblich belastet werden und einem massiven Verschleiss unterliegen. Die Baubreite des Ventils im Verhältnis zur Öffnungsbreite würde auf Kosten der Zuverlässigkeit der Ventils und der Lebensdauer der Dichtung reduziert werden.

Das in der US 4,809,950 (Geiser) beschriebene und

insbesondere in der unter der Produktbezeichnung „MONOVAT

Reihe 02 und 03" bekannten Ventilschieberserie der Firma VAT Vakuumventile AG in Haag, Schweiz verwirklichte

Dichtungskonzept hat sich auf dem Markt durchgesetzt und zeichnet sich insbesondere durch hohe Zuverlässigkeit, hohe Dichtigkeit, schnelle Verstellbarkeit und eine geringe

Partikelgenerierung aus. Eine Reduzierung des Baubreite des Ventils im Verhältnis zur Öffnungsbreite wäre jedoch für manche Anwendungen wünschenswert. In der CH 518474 (Von Roll AG) wird ein Flüssigkeits- Absperrschieber beschrieben, dessen Gehäuse einen

Durchflusskanal aufweist, welcher mit einem senkrecht zur Achse des Durchflusskanals bewegbaren Abschlusskörper

abschliessbar ist, wobei der Abschlusskörper mit einer

Dichtung zur dichtenden Auflage an im Durchflusskanal und im Gehäusehals angeordneten Dichtungsflächen versehen ist. Die Dichtungsflächen sind teilweise zu einer zur

Bewegungsrichtung des Abschlusskörpers senkrechten Ebene geneigt. Gemäss dieser Offenbarung muss der Abschlusskörper eines solchen Absperrschiebers zur vollständigen Dichtung mit seiner elastischen Dichtung auf Dichtungsflächen liegen, die quer zur Richtung des Durchflusskanales eine geschlossene Kontur bilden. Wird demgemäss die Kontur der elastischen Dichtung des Abschlusskörpers in unverformtem Zustand gleich der Kontur der Dichtungsflächen ausgeführt, so liegt die elastische Dichtung beim Schliessen des Absperrschiebers gleichzeitig an allen Dichtungsflächen an und beginnt

gleichzeitig abzudichten. Eine mangelhafte oder keine

Dichtung erfolgt hierbei in denjenigen Partien, die parallel zur Bewegungsrichtung des Abschlusskörpers liegen, wenn keine besonderen Massnahmen, wie beispielsweise das Verformen der elastischen Dichtung bei Verwendung eines zweiteiligen

Abschlusskörpers, vorgesehen werden.

Gemäss der Lehre der CH 518474 (Von Roll AG) kann man diese Erscheinung in bekannter Weise dadurch vermeiden, dass man parallel zur Bewegungsrichtung des Abschlusskörpers liegende Dichtungsflächen vermeidet und eine mehr gestreckte als runde Dichtungsflächenkontur verwendet, die keine parallel zur Bewegungsrichtung des Abschlusskörpers liegende Partien aufweist. Da die Abdichtung auf solchen

Dichtungsflächenpartien am besten sei, welche senkrecht zur Bewegungsrichtung liegen, sei man bestebt, eine niedere und langgestreckte Dichtungsflächenkontur quer zur Achse des Durchflusskanales zu verwenden. Diesem Bestreben seien aber Grenzen gesetzt, da bei starker Abweichung der

Dichtungsflächenkontur von der Querschnittsform des

Durchflusskanales oder bei starken Änderungen der

Querschnittsfläche ungünstige Strömungsverhältnisse und entsprechende Ablösung der Strömung auftreten. Ausserdem könne das Gehäuse an dieser Stelle nicht eine beliebige

Baubreite aufweisen. Ebenfalls gemäss der der CH 518474 (Von Roll AG) sei ein Absperrschieber bekannt, der in

Berücksichtigung dieser Gesichtspunkte einen Kompromiss bezüglich der Dichtungsflächenkontur darstellt. Er weise eine zu einer senkrecht zur Bewegungsrichtung des Abschlusskörpers und in der Achse des Durchflusskanales liegenden Bezugsebene symmetrische Dichtungsflächenkontur auf, deren Begrenzung durch in 45° zu dieser Ebene geneigte Dichtungsflächenpartien gebildet wird, die im Scheitel und im Grund durch Kreisbögen miteinander verbunden sind. Diese Dichtungsflächenkontur reiche zwar in der Breite erheblich über den eigentlichen Querschnitt des Durchflusskanals hinaus, weise jedoch nur zur genannten Ebene geneigte sowie im Scheitel und im Grund kreisbogenförmige Flächenpartien auf. Obwohl damit parallel zur Bewegungsrichtung des Abschlusskörpers liegende

Dichtungsflächen vermieden werden, seien die Verhältnisse für das Abdichten noch keineswegs ideal, insbesondere bei den zu der genannten Bezugsebene geneigten Flächen. In anderen Worten seien stark geneigte Dichtungsfläche, welche weniger als 45° zur Bewegungsrichtung geneigt sind, als problematisch zu betrachten, da die auf die Dichtung ausgeübte Presskraft in den geneigten Abschnitten der Dichtungsfläche entsprechend geringer ist als in den quer zur Bewegungsrichtung

verlaufenden Abschnitten der Dichtungsfläche. Nach Anliegen der elastischen Dichtung des Abschlusskörpers

an den Dichtungsflächen ist die Presskraft im Scheitel und im Grund der Dichtungsflächenkontur proportional dem Weg, um welchen der Abschlusskörper nach dem Anliegen an den

Dichtungsflächen weiterbewegt wird. Dies trifft jedoch bei den geneigten Dichtungsflächen nicht zu, da dort die Bewegung des Abschlusskörpers nicht senkrecht, sondern in einem Winkel zur geneigten Dichtungsfläche erfolgt, so dass die ausgeübte Presskraft nur proportional der Wegkomponente senkrecht zur Dichtungsfläche, also entsprechend geringer, als im Scheitel und im Grund der Dichtungsflächenkontur ist. Um

Dichtungskonturen mit stärker geneigten Abschnitten zu ermöglichen, sei es gemäss der Lehre der CH 518474 (Von Roll AG) erforderlich, die Kontur der Dichtungsflächen des

Gehäuses von der Kontur der Auflage der elastischen Dichtung des Abschlusskörpers in der Weise abweichen zu lassen, dass sich beim Schliessen des Schiebers geneigte Flächenpartien der Dichtungsflächenkontur und geneigte Auflagepartien der elastischen Dichtung vor den Partien im Scheitel und im Grund berühren. Dies könne damit erreicht werden, dass die

geneigten Auflagepartien gegenüber der Dichtungsflächenkontur des Gehäuses eine Materialzugabe aufweisen, oder die

geneigten Flächenpartien gegenüber der Auflagekontur der elastischen Dichtung eine Materialzugabe aufweisen. Die geneigten Dichtungsflächen sollen hierbei unterschiedliche Neigung aufweisen, wobei die Materialzugabe an den stärker geneigten Dichtungsflächen bzw. an den Auflagepartien der elastischen Dichtung grösser ist als an den schwächer

geneigten Dichtungsflächen bzw. Auflagepartien . Dadurch könne unabhängig von der Neigung der Dichtungsflächen an allen Stellen der Dichtungsflächenkontur eine gleichbleibende

Presskraft erreicht werden.

In der CH 518474 (Von Roll AG) wird ferner vorgeschlagen, dass zweckmässig die geneigten Dichtungsflächen im

Gehäusehals mittels einer Wölbung in die geneigten

Dichtungsflächen im Durchflusskanal übergehen, wobei die geneigten Dichtungsflächenpartien der Wölbung bzw. die mit diesen Partien zusammenwirkenden Auflagepartien der

elastischen Dichtung eine Materialzugabe aufweisen. Dadurch werde eine Unstetigkeitsstelle der Dichtungsflächenkontur vermieden und gleichzeitig eine gleichmässige Presskraft erreicht .

In anderen Worten lehrt die CH 518474 (Von Roll AG) , dass stärker geneigte Flächenpartien, insbesondere über 45° geneigte Flächenpartien, welche somit weniger als 45° zur Bewegungsrichtung geneigt sind, grundsätzlich zu vermeiden seien bzw. solche geneigte Flächenpartien für eine

ausreichende Abdichtung eine Materialzugabe an den stärker geneigten Dichtungsflächen bzw. an den Auflagepartien der elastischen Dichtung erfordern würden. Die Kontur der

Dichtungsflächen des Gehäuses müsse also von der Kontur der Auflage der elastischen Dichtung des Abschlusskörpers in der Weise abweichen, dass sich beim Schliessen des Schiebers geneigte Flächenpartien der Dichtungsflächenkontur und geneigte Auflagepartien der elastischen Dichtung vor den Partien im Scheitel und im Grund berühren. Wesentlich sei, dass die durch die Dichtungsflächen des Verschlusskörpers gebildete Dichtflächenkontur nicht mit der Kontur der

Dichtungspartien des Ventilsitzes übereinstimmt.

Gemäss der CH 518474 (Von Roll AG) wird also von eine

ausserordentlichen Verpressung und Verformung der Dichtung ausgegangen, wie dies bei Flüssigkeits- und Dampfventilen, die mit Drücke in der Grössenordnung von 4 bis über 8 Bar belastet werden, üblich ist. Die aufvulkanisierte

Freiformdichtung hat entlang ihrer Dichtungslinie vollkommen unterschiedliche Dichtungsbreiten und -dicken, was zu einer unterschiedlichen Verpressung führt. Die Dichtung weist auch querbelastete Abschnitte auf, die quer zur Verstellrichtung des Ventils weisen, wie dies ebenfalls bei

Flüssigkeitsventilen der Fall sein darf, da die

Partikelgenerierung auf diesem Gebiet der Technik als unkritisch zu betrachten ist und eine vakuumdichte Abdichtung nicht von Relevanz ist. Der Dichtkörper hat einen

linsenförmigen Querschnitt quer zur Verstellachse und zwei gegenüberliegende obere Dichtungsabschnitte, um den

Anforderungen an ein Flüssigkeits- und Dampfventilen gerecht zu werden. Weiters ist die Schaffung einer Konturdifferenz der Dichtung in der Praxis mit einem sehr hohen

Fertigungsaufwand verbunden, weshalb sich die Lehre gemäss der CH 518474 (Von Roll AG) nicht durchsetzen konnte. Aufgabe der Erfindung ist es, ein Vakuum-Transferventil der eingangs genannten Art sowie ein entsprechendes

Verschlussglied zu schaffen, das sich durch einen einfachen Aufbau, eine reduzierte Baubreite durch eine geringe Breite des Ventilgehäuses im Verhältnis zu der Breite der Öffnung, eine hohe Verstellgeschwindigkeit, eine geringe Beanspruchung der Dichtung und eine erhöhte Belastbarkeit auszeichnet.

Diese Aufgabe wird durch die Verwirklichung der Merkmale der unabhängigen Ansprüche gelöst. Merkmale, welche die Erfindung in alternativer oder vorteilhafter Weise weiterbilden, sind den abhängigen Patentansprüchen zu entnehmen.

Das erfindungsgemässe Vakuum-Transferventil zum gasdichten Schliessen eines Fliesswegs mittels einer Linearbewegung umfasst ein Ventilgehäuse mit einer Öffnung für den Fliessweg und ein linear entlang einer Verstellachse verschiebbares Verschlussglied. Ein derartiges Vakuum-Transferventil kommt insbesondere im Bereich der IC- und Halbleiter- sowie

insbesondere der OLED- und Solarpanelfertigung, die in einer geschützten Atmosphäre möglichst ohne das Vorhandensein verunreinigender Partikel stattfinden muss, zum Einsatz.

Unter dem Fliessweg ist allgemein ein zu schliessender

Öffnungspfad zwischen zwei Bereichen - insbesondere zwischen zwei Beschichtungsanlagen jeglicher Art, beispielsweise für Solar- oder sonstige Anwendungen, oder zwischen einer

Prozesskammer zur Halbleiterfertigung und entweder einer weiteren Prozesskammer oder der Aussenwelt - zu verstehen. Der Fliessweg ist beispielsweise ein Verbindungsgang zwischen zwei miteinander verbundenen Prozesskammern, wobei die

Prozesskammern mittels des Vakuumventils zum Transfer der Halbleiterteile von der einen zur nächsten Prozesskammer geöffnet und im Anschluss zur Durchführung des jeweiligen Fertigungsschritts gasdicht verschlossen werden können.

Derartige Ventile werden aufgrund ihres meist rechteckigen Öffnungsquerschnitts auch als Rechteckschieber bezeichnet. Selbstverständlich ist jedoch auch jede beliebige andere Anwendung des erfindungsgemässen Vakuumventils zum im

Wesentlichen gasdichten Schliessen eines beliebigen

Fliesswegs möglich. Die Öffnung kann einen beliebigen, insbesondere rechteckigen, ovalen oder runden Querschnitt aufweisen. Vorzugsweise ist das Vakuumventil als ein Transferventil mit einem länglichen, insbesondere im Wesentlichen rechteckigen Öffnungsquerschnitt ausgebildet, wobei die Breite der Öffnung senkrecht zu der Verstellachse vorzugsweise mindestens das Doppelte oder mindestens das Dreifache oder mindestens das Fünffache oder mindestens das Achtfache der Höhe der Öffnung parallel zu der Verstellachse beträgt. Die Öffnung hat eine Mittelachse in Form einer geometrischen Öffnungsachse, die sich im Bereich der Öffnung in der Mitte des Fliesswegs parallel zu diesem erstreckt. Diese

geometrische Öffnungsachse steht beispielsweise senkrecht auf der von der Öffnung aufgespannten Fläche und erstreckt sich entlang des Fliesswegs. Die geometrische Öffnungsachse liegt auf einer geometrischen mittleren Vertikalebene und einer zur mittleren Vertikalebene senkrechten geometrischen mittleren Horizontalebene. Die Schnittlinie der mittleren Vertikalebene und der mittleren Horizontalebene, die senkrecht aufeinander stehen, bildet die geometrische Öffnungsachse. Die Begriffe „horizontal" und „vertikal" sowie „Horizontalebene" und „Vertikalebene" sind nicht auf einen absoluten Horizont des Weltkoordinatensystems bezogen, sondern beziehen sich relativ auf das Ventilgehäuse, dessen Öffnung sowie das Verschlussglied und die jeweilige Breiten- bzw.

Höhenerstreckung selbiger Elemente.

Das Verschlussglied ist allgemein der Verschluss, mittels welchem die Öffnung gasdicht verschlossen werden kann. Das Verschlussglied, das als Ventilteller ausgebildet sein kann, ist das linear entlang einer zu der Öffnungsachse quer verlaufenden, geometrischen Verstellachse in einer

Verschlussgliedebene zwischen einer geöffneten Position und einer geschlossenen Position verschiebbar. Die geometrische Verstellachse liegt auf der mittleren Vertikalebene und bildet eine geometrische Normale zu der mittleren

Horizontalebene. In anderen Worten steht die Verstellachse senkrecht auf der mittleren Horizontalebene und verläuft auf der mittleren Vertikalebene. Somit verläuft die Verstellachse senkrecht zu der Öffnungsachse und liegt auf einer Ebene, die senkrecht von der Öffnungsachse durchstossen wird. Die geometrische Verstellachsel liegt auf der geometrischen

Verschlussgliedebene. Die Verschlussgliedebene kann parallel zu einer von dem Verschlussglied definierten Verschlussfläche verlaufen und ist vorzugsweise im Wesentlichen parallel zu der von der Öffnung aufgespannten Fläche. Die

Verschlussgliedebene ist allgemein als geometrische Ebene zu verstehen, auf welcher die Verstellachse liegt und zu welcher die Öffnungsachse eine Flächennormale bildet, unabhängig von der tatsächlichen Ausformung der Verschlussfläche, die nicht zwangsläufig eine Ebene bilden muss.

In der geöffneten Position des Verschlussgliedes gibt

selbiges die Öffnung teilweise oder vollständig frei, indem es teilweise bzw. vollständig ausserhalb des

Pro ektionsbereichs der Öffnung angeordnet ist. In der geschlossenen Position befindet sich das Verschlussglied vollständig im Projektionsbereich der Öffnung, wobei die Verschlussfläche des Verschlussglieds auf die Öffnung weist und diese vorzugsweise vollständig überdeckt. Die

Verstellrichtung des Verschlussglieds entlang der

Verstellachse von der geöffneten in die geschlossene Position wird als Schliessrichtung bezeichnet, wohingegen die

entgegengesetzte Verstellrichtung von der geschlossenen

Position in die geöffnete Position als Öffnungsrichtung definiert ist. Die Öffnung wird von einer zumindest teilweise gekrümmten ersten Dichtfläche, die dem Ventilgehäuse zugeordnet ist, umschlossen. Dies bedeutet, dass rings um die Öffnung eine erste Dichtfläche angeordnet ist. Auf dem Verschlussglied befindet sich eine zweite Dichtfläche, deren Form der ersten Dichtfläche entspricht. Die zweite Dichtfläche korrespondiert also mit der ersten Dichtfläche, wobei die Dichtflächen eine einander entsprechende Form haben, so dass die zweite

Dichtfläche auf der ersten Dichtfläche, vorzugsweise mit einem im Wesentlichen konstanten Spaltabstand in Richtung der Verstellachse, zum Liegen kommen kann, wobei die Dichtflächen entlang ihres Verlaufs einen im Wesentlichen oder exakt konstanten Abstand in Richtung parallel zur Verstellachse haben. Die zweite Dichtfläche des Verschlussglieds

umschliesst die Verschlussfläche des Verschlussglieds, welche derart dimensioniert ist, dass sie die Öffnung vollständig überdecken kann.

Die erste Dichtfläche und die zweite Dichtfläche liegen einander gegenüber, wobei der Abstand der Gegenüberlage durch Verstellen des Verschlussgliedes entlang der Verschlussachse verringert oder vergrössert werden kann.

In der geschlossenen Position des Verschlussglieds liegt die zweite Dichtfläche auf der ersten Dichtfläche auf, wobei durch ein Aufpressen der zweiten Dichtfläche auf die erste Dichtfläche in Schliessrichtung ein gasdichter Kontakt zwischen den Dichtflächen herrscht. Die erste Dichtfläche und die zweite Dichtfläche setzen sich jeweils aus unterschiedlich geformten, jeweils zu der

Verstellachse nichtparallelen Abschnitten zusammen. In anderen Worten weisen die Flächennormalen der Abschnitte der ersten Dichtfläche und der zweiten Dichtfläche jeweils

Richtungskomponenten auf, die zu der Verstellachse parallel sind. Somit weist die erste Dichtfläche senkrecht oder schräg in die Öffnungsrichtung und die zweite Dichtfläche senkrecht oder schräg in die Schliessrichtung. In einer speziellen Weiterbildung verlaufen die Flächennormalen der Abschnitte der ersten Dichtfläche parallel zur Verschlussgliedebene. Liegen die Dichtflächen in der geschlossenen Position

aufeinander und werden in Schliessrichtung aufeinander gedrückt, so wird die dazwischen liegende Dichtung nicht ausschliesslich längs oder gar quer beansprucht, sondern stets auch zumindest teilweise senkrecht verpresst. Die einzelnen Abschnitte der ersten und zweiten Dichtfläche entsprechen einander insofern, als dass sie in der

geschlossenen Position aufeinander aufliegen. Daher wird im Folgenden zu Teil nur der jeweilige Abschnitt der ersten Dichtfläche beschrieben.

Als Dichtflächen sind allgemein diejenigen Flächen des

Ventilgehäuses und des Verschlussgliedes zu verstehen, die in der geschlossenen Position aufeinander liegen und den

dichtenden Kontakt bilden. Die eine Dichtfläche kann somit von dem senkrecht nach aussen weisenden Abschnitt einer

Dichtung, insbesondere einer O-Ring-Dichtung oder einer aufvulkanisierten Dichtung, gebildet werden und die andere Dichtfläche von einem Ventilsitz, also einer Auflagefläche für die Dichtung. Die Dichtflächen sind somit diejenigen Flächen, die tatsächlich die gasdichte Abdichtung durch gegenseitigen Kontakt in der geschlossenen Position bewirken. Vorzugsweise ist die insbesondere elastische Dichtung auf der zweiten Dichtfläche des Verschlussgliedes angeordnet.

Alternativ befindet sich die Dichtung auf der ersten

Dichtfläche des Ventilgehäuses. Die Dichtung ist vorzugsweise schnurartig oder bandartig ausgebildet und/oder weist

vorzugsweise einen entlang der Dichtungslinie der Dichtung im Wesentlichen konstanten Querschnitt auf, der kreisrund, oval, eckig, lippenartig oder freigeformt sein kann. Diese Dichtung kann insbesondere entweder in einer Nut gehalten oder auf die Dichtungsfläche aufvulkanisiert sein.

Die erste Dichtfläche und die zweite Dichtfläche haben jeweils einen ersten Hauptabschnitt, der im Wesentlichen entlang einer geometrischen ersten Hauptebene verläuft. In anderen Worten erstreckt sich der erste Hauptabschnitt jeweils längs entlang der ersten Hauptebene. Der erste

Hauptabschnitt kann sich in der ersten Hauptebene oder im Wesentlichen entlang der ersten Hauptebene erstrecken.

Ausserdem verläuft der erste Hauptabschnitt im Wesentlichen geradlinig auf einer zu der mittleren Horizontalebene

parallelen ersten Horizontalebene. Der erste Hauptabschnitt muss nicht zwangsläufig geometrisch exakt in der ersten

Hauptebene und in der ersten Horizontalebene verlaufen. Es ist möglich, dass er lediglich im Wesentlichen entlang der ersten Hauptebene und der ersten Horizontalebene, also geometrisch nicht exakt parallel zur diesen Ebenen,

beispielsweise als langgestreckter, jedoch im Wesentlichen gerader Bogen entlang diesen Ebenen verläuft. Ausserdem haben die erste Dichtfläche und die zweite

Dichtfläche jeweils einen zweiten Hauptabschnitt, der in einer speziellen Aus führungs form dem ersten Hauptabschnitt in seiner Formgebung im Wesentlichen entsprechen kann. Es ist jedoch auch möglich, dass die ersten Hauptabschnitte und die zweiten Hauptabschnitte unterschiedliche Formen bzw. Längen aufweisen. Der jeweilige zweite Hauptabschnitt der ersten und zweiten Dichtfläche erstreckt sich entlang einer gemeinsamen geometrischen zweiten Hauptebene, wobei er ebenso wie der erste Hauptabschnitt entweder exakt in der zweiten Hauptebene liegt oder lediglich im Wesentlichen entlang dieser verläuft. Ausserdem verläuft der zweite Hauptabschnitt im Wesentlichen geradlinig auf einer zu der ersten Horizontalebene

beabstandet parallelen zweiten Horizontalebene.

Die geometrische erste Hauptebene und die geometrische zweite Hauptebene verlaufen im Wesentlichen zueinander parallel, wobei eine geringfügige Schieflage möglich ist, und haben zueinander einen Abstand. Die erste und zweite Hauptebene liegen im Wesentlichen parallel zu der Verschlussgliedebene, so dass die Öffnungsachse eine Flächennormale zu diesen

Hauptebenen bildet. Somit stehen die Hauptebenen senkrecht auf den Horizontalebenen und Vertikalebenen. Die

Verschlussachse verläuft somit im Wesentlichen parallel zu der ersten und zweiten Hauptebene. Aufgrund des Abstands der beiden Hauptebenen haben der erste Hauptabschnitt und der gegenüberliegende zweite Hauptabschnitt zueinander einen geometrischen Versatz quer zu der Verstellachse, und zwar im Wesentlichen in Richtung der Öffnungsachse.

Zur Verwirklichung des breitgestreckten, schlitzartigen

Öffnungsquerschnitts, dessen Breite wesentlich grösser ist als dessen Höhe, betragen die Länge des im Wesentlichen geradlinig auf der ersten Horizontalebene verlaufenden ersten Hauptabschnitts der ersten Dichtfläche und die Länge des im Wesentlichen geradlinig auf der zweiten Horizontalebene verlaufenden zweiten Hauptabschnitts der ersten Dichtfläche jeweils vorzugsweise mindestens 50%, insbesondere mindestens 75° der Breite der Öffnung.

Zwischen dem ersten Hauptabschnitt und dem gegenüberliegenden zweiten Hauptabschnitt der ersten Dichtfläche des

Ventilgehäuses ist in dem sich entlang der Verstellachse erstreckenden Bereich die Öffnung angeordnet. Zwischen dem ersten und dem zweiten Hauptabschnitt der zweiten Dichtfläche liegt die Verschlussfläche des Verschlussglieds.

Ein seitlicher linker im Wesentlichen U-förmiger

Seitenabschnitt der ersten Dichtfläche verbindet den ersten Hauptabschnitt und den zweite Hauptabschnitt auf der einen Seite der ersten Dichtfläche miteinander, während ein

seitlicher rechter im Wesentlichen U-förmiger Seitenabschnitt der ersten Dichtfläche den ersten Hauptabschnitt und den zweiten Hauptabschnitt auf der anderen Seite der ersten

Dichtfläche miteinander verbindet, wodurch die erste

Dichtfläche geschlossen wird. Entsprechende U-förmige

Seitenabschnitte sind auf der zweiten Dichtfläche angeordnet. Die Begriffe „links" und „rechts" dienen im Rahmen der

Erfindung lediglich zur Unterscheidung der einen Seite des Vakuum-Transferventils von der anderen Seite des Vakuum- Transferventils bzw. des Verschlussgliedes, wobei der Raum auf der einen Seite der mittleren Vertikalebenen generell als „links" und der Raum auf der anderen Seite der mittleren Vertikalebenen generell als „rechts", unabhängig von der jeweiligen Perspektive und Ansicht, definiert wird. Der erste U-förmige Seitenabschnitt und der zweite U-förmige Seitenabschnitt setzen sich jeweils aus einem ersten

Schenkel, einem zweiten Schenkel und einer Basis zusammen. Der erste Schenkel verläuft entlang der ersten Hauptebene verläuft und geht den ersten Hauptabschnitt über, während der zweite Schenkel entlang der zweiten Hauptebene verläuft und in den zweiten Hauptabschnitt übergeht. In anderen Worten verlaufen der linke erste Schenkel, der rechte erste Schenkel und der erste Hauptabschnitt entlang der ersten Hauptebene, während der linke zweite Schenkel, der rechte zweite Schenkel und der zweite Hauptabschnitt entlang der zweiten Hauptebene verlaufen. Somit haben die ersten Schenkel zu den jeweiligen zweiten Schenkeln zueinander im Wesentlichen den gleichen geometrischen Versatz in Richtung der Öffnungsachse wie die Hauptabschnitte. Wie auch im Falle der Hauptabschnitte ist es nicht zwangsläufig erforderlich, dass die ersten und zweiten Schenkel exakt auf der ersten bzw. zweiten Hauptebene liegen. Beispielsweise ist ein leicht gebogener Verlauf der Schenkel entlang der Hauptebenen möglich.

In die linke Basis gehen der linke erste Schenkel und der linke zweite Schenkel über. Die linke Basis erstreckt sich zumindest teilweise parallel zu der Öffnungsachse und

verbindet somit die in Richtung der Öffnungsachse

beabstandeten linken Schenkel miteinander, indem sie den geometrischen Versatz in Richtung der Öffnungsachse

überbrückt. Ebenso gehen der rechte erste Schenkel und der rechte zweite Schenkel in die rechte Basis über. Die rechte Basis erstreckt sich ebenfalls zumindest teilweise parallel zu der Öffnungsachse und verbindet somit die in Richtung der Öffnungsachse beabstandeten rechten Schenkel miteinander, indem sie den geometrischen Versatz in Richtung der

Öffnungsachse überbrückt. Die beiden Basen sind

beispielsweise als zweidimensionaler Bogen, insbesondere als Kreisbogen, dessen Enden in die Schenkel übergehen, oder als ebene Fläche, in welche die Schenken hineingeführt sind, oder als zumindest teilweise parallel zu der Öffnungsachse

verlaufender Steg ausgebildet. Die ebene linke Basis liegt auf einer linken ersten Ebene, während die ebene rechte Basis auf einer rechten ersten Ebene liegt.

Somit bilden der erste Hauptabschnitt, der daran angrenzende erste linke erste Schenkel, die daran angrenzende linke

Basis, der daran angrenzende linke zweite Schenkel, der daran angrenzende zweite Hauptabschnitt, der daran angrenzende rechte zweite Schenkel, die daran angrenzende rechte Basis und der daran angrenzende rechte erste Schenkel, der wiederum an den ersten Hauptabschnitt angrenzt, die in sich

geschlossene erste Dichtfläche auf dem Ventilgehäuse bzw. die in sich geschlossene zweite Dichtfläche auf dem

Verschlussglied .

Die beiden ersten Schenkel und die beiden zweiten Schenkel erstrecken sich zwischen der ersten Horizontalebene und der zweiten Horizontalebene und überbrücken somit zumindest teilweise den Abstand zwischen der ersten Horizontalebene und der zweiten Horizontalebene. Erfindungsgemäss verläuft die linke erste Ebene, in welcher sich die erste Basis erstreckt, nicht-parallel zu der

mittleren Horizontalebene und ist gegenüber dieser mit einem linken ersten Neigungswinkel von mindestens 45° geneigt. Auch die rechte erste Ebene, auf welcher sich die rechte Basis erstreckt, verläuft nicht-parallel zu der mittleren

Horizontalebene und ist gegenüber dieser mit einem rechten ersten Neigungswinkel von mindestens 45° geneigt. In anderen Worten sind die beiden ebenen Basen aus der mittleren

Horizontalebene herausgeklappt, und zwar um mindestens 45°. Es ist möglich, dass beide Basen auf die gleiche Seite geklappt sind, also beide nach oben oder beide nach unten, jedoch ist es erfindungsgemäss auch möglich, dass die beiden Basen auf unterschiedliche Seiten geklappt sind. Insbesondere beträgt der Neigungswinkel jeweils mindestens 55°,

insbesondere im Wesentlichen 70°.

Die geometrische Schnittlinie der linken ersten Ebene mit der mittleren Horizontalebene verläuft vorzugsweise parallel zu der Öffnungsachse. Ebenso verläuft die geometrische

Schnittlinie der rechten ersten Ebene mit der mittleren

Horizontalebene vorzugsweise parallel zu der Öffnungsachse.

Sofern die beiden Basen auf die gleiche Seite geklappt sind, verlaufen die linke erste Ebene und die rechte erste Ebene nicht-parallel zueinander und schneiden sich in einer

Schnittlinie, die vorzugsweise parallel zu der Öffnungsachse ist. Im Falle identischer erster Neigungswinkel beträgt der Schnittwinkel zwischen den beiden ersten Ebenen höchstens 90°, insbesondere höchstens 70°, insbesondere im Wesentlichen 40°. Ist der linke erste Neigungswinkel der linken ersten Ebenen gegenüber der mittleren Horizontalebene gleich dem rechten ersten Neigungswinkel der rechten ersten Ebene gegenüber der mittleren Horizontalebene, und sind die erste Dichtfläche des Ventilgehäuses und die zweite Dichtfläche des Verschlussglieds jeweils spiegelsymmetrisch zu der mittleren Vertikalebene ausgebildet, so liegt diese Schnittlinie auf der mittleren Vertikalebene. Durch die Neigung der ersten Ebenen, auf welchen sich die

Basen erstrecken, verringert sich die Breitenerstreckung des Übergangsbereichs der Dichtflächen von der ersten Hauptebene auf die zweite Hauptebene erheblich. Somit ist es möglich, bei gleich bleibender Ventilbreite eine grössere Öffnungsbreite umzusetzen. Durch die gewonnene Breite im Ventilgehäuse ist es zudem möglich, den seitlichen Bauraum zum Einbau des Linearantriebs zu nutzen. Der Linearantrieb wird somit aus dem kritischen Partikelbereich herausgeführt, so dass die Partikelgenerierung weiter reduziert wird. Das Ventil zeichnet sich durch diese Anordnung der Antriebe zudem durch eine kompakte Bauweise aus. Durch eine direkte

Bewegungsübertragung sind hohe Beschleunigungen möglich.

Überraschenderweise hat sich gezeigt, dass sich durch dieses Klappen der Basen nach oben bzw. unten noch zahlreiche weitere, erhebliche Vorteile ergeben. So erweist sich die beschriebene Erstreckung der Dichtfläche als eine besonders steife Ausgestaltung für das Verschlussglied und das

Ventilgehäuse, so dass es möglich ist, eine noch grössere Längenausdehnung umzusetzen, wobei Verformungen bei hohen Druckdifferenzen weitgehend vermieden werden können. Somit kann die Öffnungsbreite erheblich vergrössert werden, was vor allem bei Transferventilen für den Transfer von breiten

Halbleiter- und Substrateinheiten besonders vorteilhaft ist. Ausserdem bewirkt das Klappen der Basen nach oben bzw. unten, dass des Verschlussglied beim Schliessen des Ventils und Andrücken des Verschlussglieds auf die erste Dichtfläche quer zu der Öffnungsachse in der Breite zentriert und stabilisiert wird. Durch die geneigten Basen hängt sich das

Verschlussglied seitlich hakenartig ein und wird somit in Richtung der Flächennormalen zur mittleren Vertikalebene stabilisiert .

Durch die geneigte Schrägstellung der Basen wird die Dichtung im Übergangsbereich von der ersten Hauptebene zur zweiten Hauptebene zwangsläufig querbelastet. Dies erscheint zunächst von Nachteil zu sein, da Querbelastungen der Dichtungen möglichst zu vermeiden sind. Es hat sich jedoch überraschenderweise gezeigt, dass aufgrund der U-förmigen Ausgestaltung dieses geneigten Übergangsbereichs die

Querbelastung der Dichtung im U-Bereich durch die

Längsbelastung der Dichtung im angrenzenden Schenkelbereich kompensiert wird.

Ist die Basis, auf welcher die elastische Dichtung angeordnet ist, nach aussen geneigt, so dass die Dichtung im Bereich der Basis von der mittleren Vertikalebene weg weist, wird das elastische Dichtmaterial beim Verpressen der Dichtung durch die nach aussen erfolgende Längsbelastung des

Dichtungsmaterials in den Schenkeln beidseitig in den Bereich der Basis hineingeschoben. Im Bereich der Basis entsteht somit ein geringer Überschuss an Dichtungsmaterial. Durch die Querbelastung der Dichtung im Übergangsbereich zwischen den

Schenkeln wird die Dichtung nach aussen querbelastet und gibt geringfügig nach. Durch die Querbelastung vergrössert sich die Dichtungslänge im Bereich der Basis geringfügig, wobei der Überschuss an Dichtungsmaterial in der Basis, welcher durch die Längsbelastung in den Schenkeln entstanden ist, die durch die Querbelastung entstandene, vergrösserte

Dichtungslänge kompensiert. Somit kann die Dichtung aufgrund des durch die angrenzende Längsbelastung nachfliessenden Dichtmaterials der Querbelastung standhalten.

Umgekehrt verhält es sich, wenn die Basis, auf welcher die elastische Dichtung angeordnet ist, nach innen geneigt ist, so dass die Dichtung im Bereich der Basis auf die mittlere Vertikalebene weist. In diesem Fall wird das

Dichtungsmaterial im Bereich der Schenkel durch die

Längsbelastung aus der Basis herausgezogen. Durch die

Querbelastung im Übergangsbereich der Dichtung zwischen den Schenkeln wird die Dichtungslänge jedoch verkürzt, da die Dichtung durch die Querbelastung nach innen gedrückt wird. Somit kann das Dichtungsmaterial von dem Übergangsbereich der Basis in den Schenkelbereich nachfHessen .

Die geneigte Lage der Basen hat zur Folge, dass die in die jeweilige Basis hineinführenden beiden Schenkel asymmetrisch ausgebildet sind. Ein besonderer Vorteil der geneigten Lage der Basis besteht darin, dass einer der beiden Schenkel geradlinig in die Basis hineinlaufen kann und somit ein

Abschnitt des Schenkels und die Basis in einer gemeinsamen Ebene liegen, was zu reduzierten Fertigungskosten führt.

In einer entsprechenden Weiterbildung der Erfindung weist der linke erste Schenkel einen ebenen linken ersten

Schenkelabschnitt und einen bogenförmigen linken ersten

Krümmungsabschnitt auf. Der ebene linke erste

Schenkelabschnitt liegt auf der linken ersten Ebene der linken Basis und geht eben in die linke Basis über. In anderen Worten sind sowohl die linke Basis, als auch der linke erste Schenkelabschnitt eben ausgebildet und gegenüber der mittleren Horizontalebene mit dem linken ersten

Neigungswinkel, der mindestens 45° beträgt, geneigt. Der bogenförmige linke erste Krümmungsabschnitt verbindet den linken ersten Schenkelabschnitt mit dem ersten

Hauptabschnitt. Der linke erste Krümmungsabschnitt ist nach innen gekrümmt. Beispielsweise handelt es sich bei dem linken ersten Krümmungsabschnitt um einen kreisbogenförmigen

Abschnitt, der einen geglätteten Übergang zwischen der linken ersten Ebene und der ersten Horizontalebene bildet. Ausserdem oder alternativ hat der rechte erste Schenkel einen entsprechenden Aufbau, mit einem ebenen rechten ersten

Schenkelabschnitt, der auf der rechten ersten Ebene verläuft und eben in die rechte Basis übergeht, und einem

bogenförmigen rechten ersten Krümmungsabschnitt, welcher den rechten ersten Schenkelabschnitt mit dem ersten

Hauptabschnitt verbindet.

In einer Weiterbildung der Erfindung besitzt der linke zweite Schenkel einen ebenen linken zweiten Schenkelabschnitt, einen bogenförmigen linken zweiten Krümmungsabschnitt und einen bogenförmigen linken dritten Krümmungsabschnitt. Der ebene linke zweite Schenkelabschnitt verläuft auf einer linken zweiten Ebene. Diese linke zweite Ebene verläuft vorzugsweise nicht-parallel zu der mittleren Horizontalebene und ist gegenüber dieser jeweils mit einem linken zweiten

Neigungswinkel von mindestens 45°, insbesondere mindestens 55°, insbesondere im Wesentlichen 70°, in die

entgegengesetzte Richtung des jeweiligen ersten

Neigungswinkels geneigt. Somit weisen der ebene linke zweite Schenkelabschnitt des linken zweiten Schenkels und der ebene linke erste Schenkelabschnitt des ersten Schenkels in

entgegengesetzte vertikale Richtungen. Der bogenförmige linke zweite Krümmungsabschnitt des linken zweiten Schenkels verbindet den ebenen linken zweiten Schenkelabschnitt mit dem zweiten Hauptabschnitt. Beispielsweise stellt der

bogenförmige linke zweite Krümmungsabschnitt einen

insbesondere kreisbogenförmigen, geglätteten Übergang

zwischen der linken zweiten Ebene und der zweiten

Horizontalebene dar. Der bogenförmige linke dritte

Krümmungsabschnitt verbindet wiederum den linken zweiten Schenkelabschnitt mit der linken Basis. Beispielsweise stellt der bogenförmige linke dritte Krümmungsabschnitt einen insbesondere kreisbogenförmigen, geglätteten Übergang

zwischen der linken zweiten Ebene des linken zweiten

Schenkelabschnitts und der linken ersten Ebene der linken Basis dar. Der bogenförmige linke zweite Krümmungsabschnitt und der bogenförmige linke dritte Krümmungsabschnitt sind somit in unterschiedliche Richtungen gekrümmt, wobei der linke zweite Schenkelabschnitt zwischen diesen Krümmungen liegt. Hierbei ist der linke zweite Krümmungsabschnitt nach innen und der bogenförmige linke dritte Krümmungsabschnitt nach aussen gekrümmt. Die Länge des linken zweiten

Schenkelabschnitts kann auch auf Null reduziert sein, wobei in diesem Falle der Scheitel zwischen den beiden

Krümmungsabschnitten den linken zweiten Schenkelabschnitt bildet . Ausserdem oder alternativ hat der rechte zweite Schenkel einen entsprechenden Aufbau, mit einem ebenen rechten zweiten Schenkelabschnitt, der auf einer rechten zweiten Ebene verläuft, einem bogenförmigen rechten zweiten

Krümmungsabschnitt, welcher den rechten zweiten

Schenkelabschnitt mit dem zweiten Hauptabschnitt verbindet, und einem bogenförmigen rechten dritten Krümmungsabschnitt, welcher den rechten zweiten Schenkelabschnitt mit der rechten Basis verbindet. Auch diese rechte zweite Ebene verläuft vorzugsweise nicht-parallel zu der mittleren Horizontalebene und ist gegenüber dieser jeweils mit einem rechten zweiten Neigungswinkel von mindestens 45°, insbesondere mindestens 55°, insbesondere im Wesentlichen 70°, in die

entgegengesetzte Richtung des jeweiligen ersten

Neigungswinkels geneigt. Somit weisen der ebene rechte zweite Schenkelabschnitt des rechten zweiten Schenkels und der ebene rechte erste Schenkelabschnitt des ersten Schenkels in entgegengesetzte vertikale Richtungen.

Der bogenförmige linke dritte Krümmungsabschnitt und/oder der bogenförmige rechte dritte Krümmungsabschnitt verlaufen in einer Weiterbildung der Erfindung jeweils im Wesentlichen im Bereich der mittleren Horizontalebene, die mittig parallel zwischen der ersten Horizontalebene und der zweiten

Horizontalebene liegt. In einer speziellen Ausbildung sind der linke erste

Neigungswinkel, der rechte erste Neigungswinkel, der rechte zweite Neigungswinkel und der linke zweite Neigungswinkel im Wesentlichen gleich.

Sofern die beiden Basen auf die gleiche Seite geklappt sind, verlaufen auch die linke zweiten Ebene und die rechte zweite Ebene nicht-parallel zueinander und schneiden sich in einer Schnittlinie, die vorzugsweise parallel zu der Öffnungsachse ist. Im Falle identischer zweiter Neigungswinkel beträgt der Schnittwinkel zwischen den beiden zweiten Ebenen in der

Weiterbildung der Erfindung höchstens 90°, insbesondere höchstens 70°, insbesondere im Wesentlichen 40°. Ist der linke zweite Neigungswinkel der linken zweiten Ebenen

gegenüber der mittleren Horizontalebene gleich dem rechten zweiten Neigungswinkel der rechten zweiten Ebene gegenüber der mittleren Horizontalebene, und sind die erste Dichtfläche des Ventilgehäuses und die zweite Dichtfläche des

Verschlussglieds jeweils spiegelsymmetrisch zu der mittleren Vertikalebene ausgebildet, so liegt auch diese Schnittlinie auf der mittleren Vertikalebene. Vorzugsweise verlaufen die erste Schnittgerade der ersten Ebenen und die zweite

Schnittgerade der zweiten Ebenen auf gegenüberliegenden

Seiten des Ventilgehäuses, insbesondere auf der geometrischen mittleren Vertikalebene.

Die genannten Ausbildungen des linken ersten Schenkels, des rechten ersten Schenkels, des linken zweiten Schenkels und des rechten zweiten Schenkels können jeweils frei miteinander kombiniert werden.

In einer speziellen Weiterbildung der Erfindung sind die erste Dichtfläche des Ventilgehäuses und die zweite Dichtfläche des Verschlussglieds jeweils spiegelsymmetrisch zu der mittleren Vertikalebene ausgebildet, so dass der

Aufbau der linken Schenkel demjenigen der rechten Schenkel gespiegelt entspricht.

Ausserdem umfasst die Erfindung ein Verschlussglied,

insbesondere des eingangs beschriebenen erfindungsgemässen Vakuumventils. Da die Merkmale des Verschlussglieds und dessen zweiten Dichtfläche bereits in Zusammenhang mit dem Vakuumventil, dessen ersten Dichtfläche und dessen

unterschiedlichen erfindungsgemässen Weiterbildungen direkt oder indirekt beschrieben wurde, wird auf die oben gemachten Ausführungen verwiesen. Allgemein umfasst das für ein Vakuum-Transferventil der erfindungsgemässen Art ausgebildete Verschlussglied zum gasdichten Schliessen eines Fliesswegs mittels einer

Linearbewegung eine geometrischen Verstellachse, die auf einer geometrischen mittleren Vertikalebene liegt und die eine geometrische Flächennormale zu einer mittleren

Horizontalebene bildet, eine Verschlussgliedebene, auf welcher die geometrische Verstellachse liegt, und eine zweiten Dichtfläche. Die zweite Dichtfläche setzt sich aus unterschiedlich geformten, jeweils zu der Verstellachse nichtparallelen Abschnitten zusammen. Die Flächennormalen der Abschnitte der zweiten Dichtfläche haben zu der Verstellachse jeweils parallele Richtungskomponenten. Somit weist die zweite Dichtfläche senkrecht oder schräg in eine

Öffnungsrichtung der Verstellachse. Insbesondere verlaufen die Flächennormalen der Abschnitte der ersten Dichtfläche parallel zur Verschlussgliedebene. Es ist jedoch auch

möglich, dass sie zu dieser schräg verlaufen. Ein erster Hauptabschnitt der zweiten Dichtfläche verläuft entlang einer geometrischen ersten Hauptebene und im Wesentlichen geradlinig auf einer zu der mittleren Horizontalebene

parallelen ersten Horizontalebene. Weiters verläuft ein zweiter Hauptabschnitt der zweiten Dichtfläche entlang einer geometrischen zweiten Hauptebene und im Wesentlichen

geradlinig auf einer zu der ersten Horizontalebene

beabstandet parallelen zweiten Horizontalebene. Die erste Hauptebene und die zweite Hauptebene verlaufen zueinander beabstandet parallel zu der Verschlussgliedebene. Somit haben der erste Hauptabschnitt und der gegenüberliegende zweite Hauptabschnitt zueinander einen geometrischen Versatz senkrecht zu der Verstellachse. Zwischen den beiden

gegenüberliegenden Hauptabschnitten ist eine insbesondere im Wesentlichen parallel zu der Verschlussgliedebene verlaufende Verschlussfläche des Verschlussgliedes zum Verschliessen einer Öffnung eines Vakuum-Transferventils angeordnet.

Vorzugsweise beträgt die Breite der insbesondere einen im Wesentlichen rechteckigen Querschnitt aufweisenden

Verschlussfläche senkrecht zu der Verstellachse mindestens das Doppelte, insbesondere mindestens das Dreifache,

insbesondere mindestens das Fünffache, der Höhe der

Verschlussfläche parallel zu der Verstellachse.

Ein seitlicher linker im Wesentlichen U-förmiger

Seitenabschnitt der zweiten Dichtfläche verbindet den ersten Hauptabschnitt und den zweite Hauptabschnitt auf der einen Seite der zweiten Dichtfläche miteinander, während ein seitlicher rechter im Wesentlichen U-förmiger Seitenabschnitt der zweiten Dichtfläche den ersten Hauptabschnitt und den zweiten Hauptabschnitt auf der anderen Seite der zweiten Dichtfläche miteinander verbindet. Der linke U-förmige

Seitenabschnitt und der rechte U-förmige Seitenabschnitt haben jeweils einen ersten Schenkel, einen zweiten Schenkel und eine Basis. Der linke und rechte erste Schenkel verläuft jeweils entlang der ersten Hauptebene und geht in den ersten Hauptabschnitt über. Der linke und rechte zweite Schenkel verläuft jeweils entlang der zweiten Hauptebene und geht jeweils in den zweiten Hauptabschnitt über. In die linke und rechte Basis gehen der jeweilige erste Schenkel und der jeweilige zweite Schenkel über. Dabei verbindet die jeweilige Basis den jeweiligen ersten Schenkel und den jeweiligen zweiten Schenkel miteinander, so dass der geometrische

Versatz quer zu der Verstellachse überbrückt wird. Die beiden ersten Schenkel und die beiden zweiten Schenkel erstrecken sich zwischen der ersten Horizontalebene und der zweiten Horizontalebene und überbrücken den Abstand zwischen der ersten Horizontalebene und der zweiten Horizontalebene zumindest teilweise. Die linke Basis liegt auf einer linken ersten Ebene, während die rechte Basis auf einer rechten ersten Ebene liegt. Diese ersten Ebenen des Verschlussglieds stimmen mit den ersten Ebenen des Ventilgehäuses in der geschlossenen Position des Ventils im Wesentlichen überein. Mittels der zweiten Dichtfläche ist in einer geschlossenen Position des Verschlussglieds ein dichtender Kontakt mit einer ersten Dichtfläche eines Vakuum-Transferventils zum gasdichten Verschliessen einer Öffnung des Vakuum- Transferventils herstellbar, indem die zweite Dichtfläche linear auf die erste Dichtfläche in eine Schliessrichtung der Verstellachse gedrückt wird. Die erste Dichtfläche weist eine mit der zweiten Dichtfläche korrespondierende, eine der zweiten Dichtfläche entsprechende Form auf. In dieser

geschlossenen Position verschliesst das Verschlussglied mit einer Verschlussfläche die Öffnung gasdicht.

Erfindungsgemäss verlaufen die linke erste Ebene der linken Basis des Verschlussglieds und die rechte erste Ebene der rechten Basis der Verschlussglieds jeweils nicht-parallel zu der mittleren Horizontalebene und sind gegenüber dieser jeweils mit einem ersten linken Neigungswinkel bzw. einem ersten rechten Neigungswinkel von jeweils mindestens 45° geneigt. In anderen Worten sind die beiden ebenen Basen aus der mittleren Horizontalebene herausgeklappt, und zwar um mindestens 45°. Es ist möglich, dass beide Basen auf die gleiche Seite geklappt sind, also beide nach oben oder beide nach unten, jedoch ist es erfindungsgemäss auch möglich, dass die beiden Basen auf unterschiedliche Seiten geklappt sind. Insbesondere beträgt der Neigungswinkel jeweils mindestens 55°, insbesondere im Wesentlichen 70°.

Das Verschlussglied weist die gleichen erfindungsgemässen Weiterbildungsvarianten auf, welche bereits in Zusammenhang mit dem Vakuumventil beschrieben wurden. Es sei auf die

Ausführungen und Weiterbildungen der ersten Dichtfläche des Ventilgehäuses, die der zweiten Dichtfläche des

Verschlussglieds entspricht, verwiesen. In einer Weiterbildung des Verschlussglieds besitzt der linke erste Schenkel des Verschlussglieds einen ebenen linken ersten Schenkelabschnitt, der auf der linken ersten Ebene verläuft und eben in die linke Basis übergeht, und einen bogenförmigen linken ersten Krümmungsabschnitt, welcher den linken ersten Schenkelabschnitt mit dem ersten Hauptabschnitt verbindet. Alternativ oder zusätzlich hat der rechte erste Schenkel des Verschlussglieds einen ebenen rechten ersten Schenkelabschnitt, der auf der rechten ersten Ebene verläuft und eben in die rechte Basis übergeht, und einen

Hauptabschnitt verbindet. Eine Weiterbildung des erfindungsgemässen Verschlussglieds sieht ausserdem vor, dass der linke zweite Schenkel einen ebenen linken zweiten Schenkelabschnitt, der auf einer linken zweiten Ebene verläuft, einen bogenförmigen linken zweiten Krümmungsabschnitt, welcher den linken zweiten

Schenkelabschnitt mit dem zweiten Hauptabschnitt verbindet, und einen bogenförmigen linken dritten Krümmungsabschnitt, welcher den linken zweiten Schenkelabschnitt mit der linken Basis verbindet, aufweist. Alternativ oder zusätzlich kann auch der rechte zweite Schenkel entsprechend aufgebaut sein. In diesem Fall hat der rechte zweite Schenkel also einen ebenen rechten zweiten Schenkelabschnitt, der auf einer rechten zweiten Ebene verläuft, einen bogenförmigen rechten zweiten Krümmungsabschnitt, welcher den rechten zweiten

Schenkelabschnitt mit dem zweiten Hauptabschnitt verbindet, und einen bogenförmigen rechten dritten Krümmungsabschnitt, welcher den rechten zweiten Schenkelabschnitt mit der rechten Basis verbindet.

Weiterbildungen, die bereits in Zusammenhang mit dem Vakuum- Transferventil beschrieben wurden, werden ebenfalls von der Erfindung, die das Verschlussglied betrifft, umfasst und es wird auf die obigen Ausführungen verwiesen.

Die erfindungsgemässe Vakuumventil und das erfindungsgemässe Verschlussglied werden nachfolgend anhand von in den

Zeichnungen schematisch dargestellten konkreten

Ausführungsbeispielen rein beispielhaft näher beschrieben.

Im Einzelnen zeigen:

Figur 1 eine Schrägansicht auf das Vakuum-Transferventil sowie auf die Rückseite dessen Verschlussglieds im auseinander gebauten Zustand; Figur 2a eine Frontansicht des Vakuum-Transferventils aus Figur 1 im geschlossenen Zustand des

Verschlussglieds ;

Figur 2b eine Rückansicht des Vakuum-Transferventils aus

Figur 1 ;

Figur 3a eine Schrägansicht auf die Frontseite des

Verschlussglieds aus Figur 1 ;

Figur 3b eine Detail-Schrägansicht auf einen rechten

Abschnitt des Verschlussglieds aus Figur 3a mit einer zweiten Dichtfläche ;

Figur 4a eine schematische Frontansicht auf einen linken

Abschnitt des Ventilgehäuses des Vakuum- Transferventils aus Figur 1 mit einer ersten Dichtfläche ;

Figur 4b eine schematische Frontansicht auf einen rechten

Abschnitt des Ventilgehäuses des Vakuum- Transferventils aus Figur 1 mit der ersten

Dichtfläche ;

Figur 5a eine schematische Rückansicht auf einen linken

Abschnitt des Verschlussglieds aus Figur 1 mit de zweiten Dichtfläche ; und

Figur 5b eine schematische Seitenansicht auf den rechten

Abschnitt des Verschlussglieds des Vakuum- Transferventils aus Figur 1 mit der zweiten

Dichtfläche . Die Figuren 1 bis 5b zeigen jeweils eine gemeinsame,

exemplarische Aus führungs form eines erfindungsgemässen

Vakuum-Transferventils bzw. eines Verschlussglieds in

unterschiedlichen Zuständen, aus unterschiedlichen Ansichten und in unterschiedlichen Detaillierungsgraden. Daher werden diese Figuren gemeinsam beschrieben. Zum Teil wird auf bereits in vorangegangenen Figuren erläuterte Bezugszeichen und Merkmale nicht erneut eingegangen. Auf die Figuren 6a und 6b wurde bereits in Zusammenhang mit der Darstellung des Standes der Technik eingegangen.

In den Figuren 1 bis 5b ist eine mögliche Aus führungs form des Vakuumventils 1 und dessen Verschlussglieds 5 dargestellt. Mittels des Vakuumventils 1 kann ein Fliessweg F, der durch eine Öffnung 3 eines Ventilgehäuses 2 führt, mittels einer

Linearbewegung des Verschlussgliedes 5 gasdicht verschlossen werden. In dem Ventilgehäuse 2 ist die Öffnung 3 für den Fliessweg F in Form eines rechteckigen Durchgangs aufgeformt, wobei die Breite w der Öffnung 3 im gezeigten

Ausführungsbeispiel etwa das Fünffache der Höhe h der Öffnung 3 beträgt, wie in Figur 2b gezeigt. Das Vakuumventil 1 ist als ein Vakuum-Transferventil ausgebildet.

Die Öffnung 3 hat eine geometrische Öffnungsachse 4, die auf einer geometrischen mittleren Vertikalebene 23 und einer zur mittleren Vertikalebene 23 senkrechten geometrischen

mittleren Horizontalebene 19 liegt, wie in den Figuren 1 und 4a gezeigt. Die Öffnungsachse 4 erstreckt sich entlang des Verlaufs der Öffnung 3 mittig durch das Ventilgehäuse 2 sowie entlang dem Fliessweg F, wie in Figur 1 gezeigt.

Das Verschlussglied 5 ist linear entlang einer zu der

Öffnungsachse 4 quer verlaufenden, geometrischen

Verstellachse 6 von einer geöffneten Position 0, wie sie in Figur 1 dargestellt ist, und einer geschlossenen Position C, wie sie in Figur 2a gezeigt ist, in einer

Verschlussgliedebene 7 in eine Schliessrichtung 8

verstellbar. Die Verstellachse 6 liegt auf der mittleren Vertikalebene 23 und bildet eine geometrische Flächennormale zu der mittleren Horizontalebene 19, wie in den Figuren 1, 4a und 5a gezeigt. In der geöffneten Position 0 wird die Öffnung 3 freigegeben, während das Verschlussglied 5 in der

geschlossenen Position C über die Öffnung 3 linear in eine Schliessrichtung 8 geschoben ist. Umgekehrt kann das

Verschlussglied 5 zum Öffnen des Vakuum-Transferventils 1 in eine Öffnungsrichtung 9 von der geschlossenen Position C in die geöffnete Position 0 linear verschoben werden. Das

Verschieben kann mittels eines Linearantriebs, der in den Figuren nicht dargestellt ist, erfolgen.

Wie in Figur 2b gezeigt, beträgt die Breite w der Öffnung 3, die einen im Wesentlichen rechteckigen Querschnitt aufweist, senkrecht zu der Verstellachse 6 etwa das Fünffache der Höhe h der Öffnung 3 parallel zu der Verstellachse 6.

Die Öffnung 3 des Ventilgehäuses 2 wird von einer zumindest teilweise gekrümmten ersten Dichtfläche 10 des Ventilgehäuses 2 umschlossen, wie in den Figuren 1, 4 und 4b gezeigt. Das Verschlussglied 5 hat eine zu dieser ersten Dichtfläche 10 korrespondierende zweite Dichtfläche 11, die eine der ersten Dichtfläche 10 entsprechende Form hat, wie in den Figuren 1, 3a, 3b, 5a und 5b dargestellt. Zwischen der zweiten Dichtfläche 11 und der ersten

Dichtfläche 10 ist in der geschlossenen Position C ein gasdichter Kontakt herstellbar, indem die zweite Dichtfläche 11 in Schliessrichtung 8 auf die erste Dichtfläche 10 gedrückt wird, so dass das Verschlussglied 5 mit seiner Verschlussfläche 24, Figur 3a, die Öffnung 3 gasdicht

verschliesst , wie in Figur 2a gezeigt. Der dichtende Kontakt wird beispielsweise ermöglicht, indem eine der beiden

Dichtfläche als elastische Dichtung, beispielsweise als 0- Ring oder auf ulkanisiert Dichtung ausgebildet ist oder eine solche Dichtung trägt. Diese Dichtung kann entweder auf dem Verschlussglied 5, wie in den Figuren gezeigt, oder auf dem Ventilgehäuse 2 angeordnet sein. In anderen Worten kann entweder die erste Dichtfläche 10 die Dichtung und die zweite Dichtfläche 11 den Ventilsitz, auf welchem die Dichtfläche gasdichtend aufliegen kann, bilden, oder umgekehrt.

Unterschiedliche Dichtmaterialen und Dichtungstypen sind aus dem Stand der Technik bekannt um müssen an dieser Stelle nicht weiter erläutert werden. Im gezeigten

Ausführungsbeispiel ist die Dichtung 25, Figuren 3b und 5b, auf der zweiten Dichtfläche 11 in Form eines

aufvulkanisierten Dichtungsbands ausgebildet. Die Dichtung 25 ist schnurartig bzw. bandartig ausgebildet und weist einen entlang der Dichtungslinie der Dichtung im Wesentlichen konstanten Querschnitt auf, der kreisrund, oval, eckig, lippenartig oder freigeformt ist. Diese Dichtung 25 ist auf die Dichtungsfläche aufvulkanisiert .

Die erste Dichtfläche 10 des Ventilgehäuses 2 ist

spiegelsymmetrisch zu der mittleren Vertikalebene 23

ausgebildet, Figuren 1, 4a und 4b. Ebenso ist die zweite Dichtfläche 11 des Verschlussglieds 5 spiegelsymmetrisch zu der mittleren Vertikalebene 23 geformt, Figuren 1 und 5a. Die erste Dichtfläche 10 setzt sich aus unterschiedlich geformten, jeweils zu der Verstellachse 6 nichtparallelen Abschnitten 12a, 12b, 14L, 14R zusammen, wie in den Figuren 4a und 4b gezeigt. Die Flächennormalen der Abschnitte 12a, 12b, 14L, 14R der ersten Dichtfläche 10 besitzen zu der Verstellachse 6 jeweils parallele Richtungskomponenten. Somit weist die erste Dichtfläche 10 senkrecht oder schräg in die Öffnungsrichtung 9. Die Flächennormalen dieser Abschnitte 12a, 12b, 14L und 14R der ersten Dichtfläche 10 verlaufen parallel zur Verschlussgliedebene 7.

Auch die zweite Dichtfläche 11 setzt sich aus unterschiedlich geformten, jeweils zu der Verstellachse 6 nichtparallelen Abschnitten 12a' , 12b' , 141/ , 14R' zusammen, wobei die

Flächennormalen der Abschnitte 12a' , 12b' , 141/ , 14R' der zweiten Dichtfläche 11 zu der Verstellachse 6 jeweils parallele Richtungskomponenten aufweisen und somit die zweite Dichtfläche 11 senkrecht oder schräg in eine Öffnungsrichtung 9 der Verstellachse 6 weist, wie in den Figuren 3a, 3b und 5a gezeigt. Auch die Flächennormalen dieser Abschnitte 12a', 12b' , 141/ , 14R' der zweiten Dichtfläche 11 verlaufen

parallel zur Verschlussgliedebene 7.

Ein erster Hauptabschnitt 12a der ersten Dichtfläche 10 verläuft sowohl in einer Dimension entlang einer

geometrischen ersten Hauptebene 13a, als auch in einer weiteren Dimension im Wesentlichen geradlinig auf einer zu der mittleren Horizontalebene 19 parallelen ersten

Horizontalebene 19a, Figuren 4a, 4b und 5b. Die Länge L des im Wesentlichen geradlinig auf der ersten Horizontalebene 19a verlaufenden ersten Hauptabschnitts 12a der ersten

Dichtfläche 10 beträgt mindestens 50% der Breite w der

Öffnung 3, im vorliegenden Fall etwa 80% bis 90%. Ein zweiter Hauptabschnitt 12b der ersten Dichtfläche 10 erstreckt sich sowohl in einer Dimension entlang einer geometrischen zweiten Hauptebene 13b, als auch in einer weiteren Dimension im

Wesentlichen geradlinig auf einer zu der ersten

Horizontalebene 19a beabstandet parallelen zweiten

Horizontalebene 19b. Die Länge L des im Wesentlichen geradlinig auf der zweiten Horizontalebene 19b verlaufenden zweiten Hauptabschnitts 12b der ersten Dichtfläche 10 beträgt ebenfalls mindestens 50% der Breite w der Öffnung 3, im vorliegenden Fall ebenfalls etwa 80% bis 90%. Die erste

Hauptebene 13a und die zweite Hauptebene 13b verlaufen zueinander beabstandet parallel zu der Verschlussgliedebene 7, wie in Figur 5b veranschaulicht. Somit weisen der erste Hauptabschnitt 12a und der gegenüberliegende zweite

Hauptabschnitt 12b zueinander einen geometrischen Versatz in Richtung der Öffnungsachse 4 auf, wie in Figur 1 erkennbar. Zwischen den beiden gegenüberliegenden Hauptabschnitten 12a und 12b ist die Öffnung 3 angeordnet, Figuren 4a und 4b.

Ebenso verhält es sich mit dem Verschlussglied 5. Ein erster Hauptabschnitt 12a' der zweiten Dichtfläche 11 verläuft entlang der geometrischen ersten Hauptebene 13a und im

Wesentlichen geradlinig auf der zu der mittleren

Horizontalebene 19 parallelen ersten Horizontalebene 19a, wie in den Figuren 5a und 5b gezeigt. Ein zweiter Hauptabschnitt 12b' der zweiten Dichtfläche 11 erstreckt sich entlang der geometrischen zweiten Hauptebene 13b und liegt im

Wesentlichen geradlinig auf der zu der ersten Horizontalebene 19a beabstandet parallelen zweiten Horizontalebene 19b.

Zwischen den beiden gegenüberliegenden Hauptabschnitten 12a' und 12b' ist die im Wesentlichen parallel zu der

Verschlussgliedebene 7 verlaufende Verschlussfläche 24 des Verschlussgliedes 5 zum Verschliessen der Öffnung 3 des Vakuum-Transferventils 1 angeordnet, Figur 24. Die Breite w der einen im Wesentlichen rechteckigen Querschnitt

aufweisenden Verschlussfläche 24 senkrecht zu der

Verstellachse 6 beträgt etwa das Fünffache der Höhe h der Verschlussfläche 24 parallel zu der Verstellachse 6, wie in den Figuren 2b und 3a ersichtlich. Auch die Länge L des im Wesentlichen geradlinig auf der ersten Horizontalebene 19a verlaufenden ersten Hauptabschnitts 12a' der ersten

Dichtfläche 11 und die Länge L des im Wesentlichen geradlinig auf der zweiten Horizontalebene 19b verlaufenden zweiten Hauptabschnitts 12b' der zweiten Dichtfläche 11 betragen jeweils mindestens 50% der Breite w der Öffnung 3, im

vorliegenden Fall etwa 80 bis 90%, Figur 3a.

Ein seitlicher linker im Wesentlichen U-förmiger

Seitenabschnitt 14L der ersten Dichtfläche 10 verbindet den ersten Hauptabschnitt 12a und den zweite Hauptabschnitt 12b auf der einen Seite der ersten Dichtfläche 10, Figur 4a, während ein seitlicher rechter im Wesentlichen U-förmiger Seitenabschnitt 14R der ersten Dichtfläche 10 den ersten Hauptabschnitt 12a und den zweiten Hauptabschnitt 12b auf der anderen Seite der ersten Dichtfläche 10 verbindet, wie in

Figur 4b gezeigt. Der linke U-förmige Seitenabschnitt 14L und der rechte U-förmige Seitenabschnitt 14R haben jeweils einen ersten Schenkel 15L bzw. 15R, der entlang der ersten

Hauptebene 13a verläuft und in den ersten Hauptabschnitt 12a übergeht, einen zweiten Schenkel 16L bzw. 16R, der entlang der zweiten Hauptebene 13b verläuft und in den zweiten

Hauptabschnitt 12b übergeht, und eine Basis 17L bzw. 17R, in welche jeweils der erste Schenkel 15L bzw. 15R und der zweite Schenkel 16L bzw. 16R übergehen. Die jeweilige Basis 17L bzw. 17R verbindet den ersten Schenkel 15L bzw. 15R und den zweiten Schenkel 16L bzw. 16R miteinander und überbrückt somit den geometrischen Versatz in Richtung der Öffnungsachse 4. Die linke Basis 17L liegt auf einer linken ersten Ebene 18L, Figur 4a, wohingegen die die rechte Basis 17R auf einer rechten ersten Ebene 18R liegt, Figur 4b. Die beiden ersten Schenkel 15L und 15R sowie die beiden zweiten Schenkel 16L und 16R erstrecken sich zwischen der ersten Horizontalebene 19a und der zweiten Horizontalebene 19b und überbrücken den Abstand zwischen der ersten Horizontalebene 19a und der zweiten Horizontalebene 19b, wie in den Figuren 4a und 4b gezeigt .

Auch die zweite Dichtfläche 11 ist entsprechend ausgeformt. Ein seitlicher linker im Wesentlichen U-förmiger

Seitenabschnitt 141/ der zweiten Dichtfläche 11 verbindet den ersten Hauptabschnitt 12a' mit dem zweiten Hauptabschnitt 12b' auf der einen Seite der zweiten Dichtfläche 11, Figur 5a, während ein seitlicher rechter im Wesentlichen U-förmiger Seitenabschnitt 14R' der zweiten Dichtfläche 11 den ersten Hauptabschnitt 12a' und den zweiten Hauptabschnitt 12b' auf der anderen Seite der zweiten Dichtfläche 11 verbindet, Figur 3b. Der linke U-förmige Seitenabschnitt 141/ und der rechte U-förmige Seitenabschnitt 14R' haben jeweils einen ersten Schenkel 151/ bzw. 15R' , der entlang der ersten Hauptebene

13a verläuft und in den ersten Hauptabschnitt 12a' übergeht, einen zweiten Schenkel 161/ bzw. 16R', der entlang der zweiten Hauptebene 13b verläuft und in den zweiten

Hauptabschnitt 12b' übergeht, und jeweils eine Basis 171/ bzw. 17R' . Die linke Basis 171/ liegt auf der linken ersten Ebene 18L, während die rechte Basis 17R' auf einer rechten ersten Ebene 18R liegt. In die jeweilige Basis 171/ bzw. 17R' gehen jeweils der erste Schenkel 151/ bzw. 15R' und der zweite Schenkel 161/ bzw. 16R' über. Weiters verbindet die jeweilige Basis 171/ bzw. 17R' den ersten Schenkel 151/ bzw. 15R' und den zweiten Schenkel 161/ bzw. 16R', so dass der geometrische Versatz quer zu der Verstellachse 6 überbrückt wird, wie in den Figuren 3b, 5a und 5b dargestellt. Die beiden ersten Schenkel 151/ bzw. 15R' und die beiden zweiten Schenkel 161/ bzw. 16R' erstrecken sich zwischen der ersten Horizontalebene 19a und der zweiten Horizontalebene 19b, Figur 5a, und überbrücken somit den Abstand zwischen der ersten Horizontalebene 19a und der zweiten Horizontalebene 19b zumindest teilweise. Erfindungsgemäss verläuft sowohl die geometrische linke erste Ebene 18L, auf welcher die jeweilige linke Basis 17L bzw. 171/ liegt, als auch die geometrische rechte erste Ebene 18R, auf welcher die jeweilige rechte Basis 17R bzw. 17R' liegt, jeweils nicht-parallel zu der mittleren Horizontalebene 19. Die ersten Ebenen 18L und 18R sind jeweils gegenüber dieser mittleren Horizontalebene 19 mit einem ersten Neigungswinkel L bzw. R von mindestens 45° geneigt. In den Figuren 4a und 5a wird der linke erste Neigungswinkel aL und in Figur 4b der rechte erste Neigungswinkel aR gezeigt. Diese ersten

Neigungswinkel aL und aR betragen jeweils etwa 70° im

gezeigten Ausführungsbeispiel. In anderen Worten sind ersten Ebenen 18L und 18R gegenüber der mittleren Horizontalebene 19 um 60° geneigt, wobei die Schnittgeraden der ersten Ebenen 18L und 18R und der mittleren Horizontalebene 19 jeweils parallel zur Öffnungsachse 4 verlaufen.

Der linke erste Schenkel 15L der ersten Dichtfläche 10 des Ventilgehäuses 2, Figur 4a, hat einen ebenen linken ersten Schenkelabschnitt 15aL, der auf der linken ersten Ebene 18L verläuft und eben in die linke Basis 17L übergeht, und ausserdem einen bogenförmigen linken ersten

Krümmungsabschnitt 15bL, welcher den linken ersten

Schenkelabschnitt 15aL mit dem ersten Hauptabschnitt 12a verbindet. Auch der rechte erste Schenkel 15R, Figur 4b, besitzt einen ebenen rechten ersten Schenkelabschnitt 15aR, der auf der rechten ersten Ebene 18R verläuft und eben in die rechte Basis 17R übergeht, und einen bogenförmigen rechten ersten Krümmungsabschnitt 15bR, welcher den rechten ersten Schenkelabschnitt 15aR mit dem ersten Hauptabschnitt 12a verbindet . Der linke erste Schenkel 151/ der zweiten Dichtfläche 11 des Verschlussgliedes 5, Figur 5a, hat ebenfalls einen ebenen linken ersten Schenkelabschnitt 15aL' , der auf der linken ersten Ebene 18L verläuft und eben in die linke Basis 171/ übergeht, und einen bogenförmigen linken ersten

Krümmungsabschnitt 15bL' , welcher den linken ersten

Schenkelabschnitt 15aL' mit dem ersten Hauptabschnitt 12a' verbindet. Gleichermassen verhält es sich bei dem rechten ersten Schenkel 15R' , Figur 3b, der einen ebenen rechten ersten Schenkelabschnitt 15aR' , der auf der rechten ersten Ebene 18R verläuft und eben in die rechte Basis 17R'

übergeht, und einen bogenförmigen rechten ersten

Krümmungsabschnitt 15bR' , welcher den rechten ersten

Schenkelabschnitt 15aR' mit dem ersten Hauptabschnitt 12a' verbindet, aufweist.

Der linke zweite Schenkel 16L des linken U-förmigen

Seitenabschnitts 14L der ersten Dichtfläche 10 des

Ventilgehäuses 2 weist gemäss Figur 4a einen ebenen linken zweiten Schenkelabschnitt 16aL, der auf einer linken zweiten Ebene 20L verläuft, einen bogenförmigen linken zweiten

Krümmungsabschnitt 16bL, welcher den linken zweiten

Schenkelabschnitt 16aL mit dem zweiten Hauptabschnitt (12b) verbindet, und einen kreisbogenförmigen linken dritten

Krümmungsabschnitt 16cL, welcher den linken zweiten

Schenkelabschnitt 16aL mit der linken Basis 17L verbindet, auf. Auch der rechte zweite Schenkel 16R, Figur 4b, besitzt erstens einen ebenen rechten zweiten Schenkelabschnitt 16aR, der auf einer rechten zweiten Ebene 20R verläuft, zweitens einen bogenförmigen rechten zweiten Krümmungsabschnitt 16bR, welcher den rechten zweiten Schenkelabschnitt 16aR mit dem zweiten Hauptabschnitt 12b verbindet, sowie drittens einen kreisbogenförmigen rechten dritten Krümmungsabschnitt 16cR, welcher den rechten zweiten Schenkelabschnitt 16aR mit der rechten Basis 17R verbindet. Der bogenförmige linke dritte Krümmungsabschnitt 16cL und der bogenförmige rechte dritte Krümmungsabschnitt 16cR verlaufen jeweils im Wesentlichen im Bereich der mittleren Horizontalebene 19, die mittig parallel zwischen der ersten Horizontalebene 19a und der zweiten

Horizontalebene 19b liegt, wie in Figuren 4a und 4b

ersichtlich .

Dem Aufbau der ersten Dichtfläche 10 entsprechend hat auch der linke zweite Schenkel 161/ des linken U-förmigen

Seitenabschnitts 141/ der zweiten Dichtfläche 11 des

Verschlussglieds 5, Figur 5a, erstens einen ebenen linken zweiten Schenkelabschnitt 16aL', der auf der linken zweiten Ebene 20L verläuft, zweitens einen bogenförmigen linken zweiten Krümmungsabschnitt 16bL', welcher den linken zweiten Schenkelabschnitt 16aL' mit dem zweiten Hauptabschnitt 12b' verbindet, und drittens einen bogenförmigen linken dritten Krümmungsabschnitt 16cL', welcher den linken zweiten

Schenkelabschnitt 16aL' mit der linken Basis 171/. Aufgrund der zur mittleren Vertikalebene symmetrischen Ausbildung des Verschlussglieds 5 besitzt auch der rechte zweite Schenkel 16R' erstens einen ebenen rechten zweiten Schenkelabschnitt 16aR', der auf einer rechten zweiten Ebene 20R verläuft, zweitens einen bogenförmigen rechten zweiten

Krümmungsabschnitt 16bR', welcher den rechten zweiten

Schenkelabschnitt 16aR' mit dem zweiten Hauptabschnitt 12b' verbindet, und drittens einen bogenförmigen rechten dritten Krümmungsabschnitt 16cR', welcher den rechten zweiten

Schenkelabschnitt 16aR' mit der rechten Basis 17R' verbindet.

Sowohl die linke zweite Ebene 20L, als auch die rechte zweite Ebene 20R verlaufen jeweils nicht-parallel zu der mittleren Horizontalebene 19, wie in den Figuren 4a und 4b dargestellt. Beide zweiten Ebenen 20L und 20R sind gegenüber dieser mittleren Horizontalebene 19 jeweils mit einem zweiten

Neigungswinkel ßL und ßR von mindestens 45° in die

entgegengesetzte Richtung des jeweiligen ersten

Neigungswinkels L und R geneigt, Figuren 4a und 4b. Die beiden zweiten Neigungswinkel ßL und ßR betragen jeweils im Wesentlichen 70°.

In anderen Worten sind der linke erste Neigungswinkel aL, der rechte erste Neigungswinkel aR, der rechte zweite

Neigungswinkel ßR und der linke zweite Neigungswinkel ßL im gezeigten Ausführungsbeispiel im Wesentlichen gleich gross, nämlich etwa 70°, Figuren 4a, 4b und 5a.

Selbstverständlich ist es möglich, die einzelnen spezifischen Merkmale dieses Ausführungsbeispiel mit denen anderer

Ausführungsformen, und umgekehrt, zu kombinieren.

Insbesondere ist es möglich, lediglich eine der jeweils beiden ersten und zweiten Ebenen geneigt auszugestalten.

Ebenso ist es möglich, dass die linken und rechten Ebenen unterschiedliche Neigungswinkel, gegebenenfalls sogar

unterschiedliche Neigungsrichtungen aufweisen.

Claims

Vakuum-Transferventil (1) zum gasdichten Schliessen eines Fliesswegs (F) mittels einer Linearbewegung, mit

• einem Ventilgehäuse (2) mit einer Öffnung (3) für den Fliessweg (F), wobei die Öffnung (3) eine geometrische Öffnungsachse (4), die auf einer geometrischen

mittleren Vertikalebene (23) und einer zur mittleren Vertikalebene (23) senkrechten geometrischen mittleren Horizontalebene (19) liegt, entlang des Fliesswegs (F) aufweist,

• einem Verschlussglied (5), das linear entlang einer zu der Öffnungsachse (4) quer verlaufenden, geometrischen Verstellachse (6), die auf der mittleren Vertikalebene

(23) liegt und die eine geometrische Flächennormale zu der mittleren Horizontalebene (19) bildet, in einer Verschlussgliedebene (7) von

° einer die Öffnung (3) freigebenden, geöffneten

Position (0) in

° eine über die Öffnung (3) linear geschobene,

geschlossene Position (C) in eine Schliessrichtung

(8)

und umgekehrt zurück in eine Öffnungsrichtung (9) verschiebbar ist,

insbesondere wobei die Breite (w) der einen im

Wesentlichen rechteckigen Querschnitt aufweisenden Öffnung (3) senkrecht zu der Verstellachse (6)

mindestens das Doppelte, insbesondere mindestens das Dreifache, insbesondere mindestens das Fünffache, der Höhe (h) der Öffnung (3) parallel zu der Verstellachse (6) beträgt,

• einer die Öffnung (3) umschliessenden, zumindest

teilweise gekrümmten ersten Dichtfläche (10) des

Ventilgehäuses (2) und • einer mit der ersten Dichtfläche (10)

korrespondierenden, eine der ersten Dichtfläche (10) entsprechende Form aufweisenden zweiten Dichtfläche (11) des Verschlussglieds (5),

wobei

• sich die erste Dichtfläche (10) aus unterschiedlich

geformten, jeweils zu der Verstellachse (6)

nichtparallelen Abschnitten (12a, 12b, 14L, 14R) zusammensetzt,

· die Flächennormalen der Abschnitte (12a, 12b, 14L, 14R) der ersten Dichtfläche (10) zu der Verstellachse (6) jeweils parallele Richtungskomponenten aufweisen und somit die erste Dichtfläche (10) senkrecht oder schräg in die Öffnungsrichtung (9) weist,

· ein erster Hauptabschnitt (12a) der ersten Dichtfläche

(10) entlang einer geometrischen ersten Hauptebene (13a) und im Wesentlichen geradlinig auf einer zu der mittleren Horizontalebene (19) parallelen ersten

Horizontalebene (19a) verläuft,

· ein zweiter Hauptabschnitt (12b) der ersten Dichtfläche

(10) entlang einer geometrischen zweiten Hauptebene (13b) und im Wesentlichen geradlinig auf einer zu der ersten Horizontalebene (19a) beabstandet parallelen zweiten Horizontalebene (19b) verläuft,

· die erste Hauptebene (13a) und die zweite Hauptebene

(13b) zueinander beabstandet parallel zu der

Verschlussgliedebene (7) verlaufen und somit der erste Hauptabschnitt (12a) und der gegenüberliegende zweite Hauptabschnitt (12b) zueinander einen geometrischen Versatz in Richtung der Öffnungsachse (4) aufweisen,

• zwischen den beiden gegenüberliegenden Hauptabschnitten (12a, 12b) die Öffnung (3) angeordnet ist, ein seitlicher linker im Wesentlichen U-förmiger

Seitenabschnitt (14L) der ersten Dichtfläche (10) den ersten Hauptabschnitt (12a) und den zweite

Hauptabschnitt (12b) auf der einen Seite der ersten Dichtfläche (10) verbindet,

ein seitlicher rechter im Wesentlichen U-förmiger

Seitenabschnitt (14R) der ersten Dichtfläche (10) den ersten Hauptabschnitt (12a) und den zweiten

Hauptabschnitt (12b) auf der anderen Seite der ersten Dichtfläche (10) verbindet,

der linke U-förmige Seitenabschnitt (14L) und der rechte U-förmige Seitenabschnitt (14R) jeweils

° einen ersten Schenkel (15L, 15R) , der entlang der ersten Hauptebene (13a) verläuft und in den ersten Hauptabschnitt (12a) übergeht,

° einen zweiten Schenkel (16L, 16R), der entlang der zweiten Hauptebene (13b) verläuft und in den zweiten Hauptabschnitt (12b) übergeht, und

° eine Basis (17L, 17R) , in welche jeweils der erste Schenkel (15L, 15R) und der zweite Schenkel (16L, 16R) übergehen, welche den ersten Schenkel (15L, 15R) und den zweiten Schenkel (16L, 16R) verbindet und somit den geometrischen Versatz in Richtung der

Öffnungsachse (4) überbrückt,

aufweist,

sich die beiden ersten Schenkel (15L, 15R) und die beiden zweiten Schenkel (16L, 16R) zwischen der ersten Horizontalebene (19a) und der zweiten Horizontalebene

(19b) erstrecken und den Abstand zwischen der ersten Horizontalebene (19a) und der zweiten Horizontalebene

(19b) zumindest teilweise überbrücken,

die linke Basis (17L) auf einer linken ersten Ebene

(18L) liegt, • die rechte Basis (17R) auf einer rechten ersten Ebene (18R) liegt, und

• die zweite Dichtfläche (11) in der geschlossenen

Position (C) in einem auf die erste Dichtfläche (10) in die Schliessrichtung (8) drückenden, dichtenden Kontakt mit der ersten Dichtfläche (10) steht und das

Verschlussglied (5) mit einer Verschlussfläche (24) die Öffnung (3) gasdicht verschliesst ,

dadurch gekennzeichnet, dass

• die linke erste Ebene (18L) und die rechte erste Ebene (18R) jeweils nicht-parallel zu der mittleren

Horizontalebene (19) verlaufen und gegenüber dieser jeweils mit einem ersten Neigungswinkel ( L, R) von mindestens 45° geneigt sind.

2. Vakuum-Transferventil (1) nach Anspruch 1,

dadurch gekennzeichnet, dass

der erste Neigungswinkel (aL, aR) jeweils mindestens 55°, insbesondere im Wesentlichen 70° beträgt.

3. Vakuum-Transferventil (1) nach Anspruch 1 oder 2,

dadurch gekennzeichnet, dass

• der linke erste Schenkel (15L)

° einen ebenen linken ersten Schenkelabschnitt (15aL), der auf der linken ersten Ebene (18L) verläuft und eben in die linke Basis (17L) übergeht, und

° einen bogenförmigen linken ersten Krümmungsabschnitt (15bL), welcher den linken ersten Schenkelabschnitt (15aL) mit dem ersten Hauptabschnitt (12a) verbindet, aufweist und/oder

• der rechte erste Schenkel (15R) ° einen ebenen rechten ersten Schenkelabschnitt (15aR), der auf der rechten ersten Ebene (18R) verläuft und eben in die rechte Basis (17R) übergeht, und

° einen bogenförmigen rechten ersten Krümmungsabschnitt (15bR), welcher den rechten ersten Schenkelabschnitt

(15aR) mit dem ersten Hauptabschnitt (12a) verbindet, aufweist .

Vakuum-Transferventil (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass

• der linke zweite Schenkel (16L)

° einen ebenen linken zweiten Schenkelabschnitt (16aL), der auf einer linken zweiten Ebene (20L) verläuft,

° einen bogenförmigen linken zweiten Krümmungsabschnitt (16bL), welcher den linken zweiten Schenkelabschnitt (16aL) mit dem zweiten Hauptabschnitt (12b)

verbindet, und

° einen bogenförmigen linken dritten Krümmungsabschnitt (16cL), welcher den linken zweiten Schenkelabschnitt (16aL) mit der linken Basis (17L) verbindet,

aufweist und/oder

• der rechte zweite Schenkel (16R)

° einen ebenen rechten zweiten Schenkelabschnitt

(16aR), der auf einer rechten zweiten Ebene (20R) verläuft,

° einen bogenförmigen rechten zweiten

Krümmungsabschnitt (16bR), welcher den rechten zweiten Schenkelabschnitt (16aR) mit dem zweiten Hauptabschnitt (12b) verbindet, und

° einen bogenförmigen rechten dritten

Krümmungsabschnitt (16cR), welcher den rechten zweiten Schenkelabschnitt (16aR) mit der rechten Basis (17R) verbindet, aufweist .

5. Vakuum-Transferventil (1) nach Anspruch 4,

dadurch gekennzeichnet, dass

• der bogenförmige linke dritte Krümmungsabschnitt (16cL) und/oder

• der bogenförmige rechte dritte Krümmungsabschnitt

(16cR)

jeweils im Wesentlichen im Bereich der mittleren

Horizontalebene (19), die mittig parallel zwischen der ersten Horizontalebene (19a) und der zweiten

Horizontalebene (19b) liegt, verläuft.

6. Vakuum-Transferventil (1) nach Anspruch 4 oder 5,

dadurch gekennzeichnet, dass

• der bogenförmige linke dritte Krümmungsabschnitt (16cL) und/oder

• der bogenförmige rechte dritte Krümmungsabschnitt

(16cR)

jeweils als Kreisbogen ausgebildet sind.

7. Vakuum-Transferventil (1) nach einem der Ansprüche 4 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass

die linke zweite Ebene (20L) und/oder die rechte zweite Ebene (20R) jeweils nicht-parallel zu der mittleren

Horizontalebene (19) verlaufen und gegenüber dieser jeweils mit einem zweiten Neigungswinkel (ßL, ßR) von mindestens 45° in die entgegengesetzte Richtung des jeweiligen ersten Neigungswinkels ( L, R) geneigt sind.

8. Vakuum-Transferventil (1) nach Anspruch 7,

dadurch gekennzeichnet, dass

der zweite Neigungswinkel (ßL, ßR) jeweils mindestens 55°, insbesondere im Wesentlichen 70° beträgt.

9. Vakuum-Transferventil (1) nach einem der Ansprüche 1 bi 8, dadurch gekennzeichnet, dass

der linke erste Neigungswinkel ( L) , der rechte erste Neigungswinkel ( R) , der rechte zweite Neigungswinkel (ßR) und der linke zweite Neigungswinkel (ßL) im

Wesentlichen gleich sind. 10. Vakuum-Transferventil (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass

die erste Dichtfläche (10) des Ventilgehäuses (2) und die zweite Dichtfläche (11) des Verschlussglieds (5) jeweils spiegelsymmetrisch zu der mittleren Vertikalebene (23) ausgebildet sind.

11. Vakuum-Transferventil (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass

die Flächennormalen der Abschnitte (12a, 12b, 14L, 14R) der ersten Dichtfläche (10) parallel zur

Verschlussgliedebene (7) verlaufen.

Vakuum-Transferventil (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass

• die Länge (L) des im Wesentlichen geradlinig auf der ersten Horizontalebene (19a) verlaufenden ersten

Hauptabschnitts (12a) der ersten Dichtfläche (10) und

• die Länge (L) des im Wesentlichen geradlinig auf der zweiten Horizontalebene (19b) verlaufenden zweiten Hauptabschnitts (12b) der ersten Dichtfläche (10) jeweils mindestens 50% der Breite (w) der Öffnung (3) beträgt .

13. Verschlussglied (5) zum gasdichten Schliessen eines

Fliesswegs (F) mittels einer Linearbewegung, insbesondere für ein Vakuum-Transferventil (1) nach einem der

Ansprüche 1 bis 12, mit

· einer geometrischen Verstellachse (6), die auf einer geometrischen mittleren Vertikalebene (23) liegt und die eine geometrische Flächennormale zu einer mittleren Horizontalebene (19) bildet,

• einer Verschlussgliedebene (7), auf welcher die

geometrische Verstellachse (6) liegt, und

• einer zweiten Dichtfläche (11),

wobei

• sich die zweite Dichtfläche (11) aus unterschiedlich geformten, jeweils zu der Verstellachse (6)

nichtparallelen Abschnitten (12a', 12b', 141/ , 14R' ) zusammensetzt,

• die Flächennormalen der Abschnitte (12a', 12b', 141/, 14R' ) der zweiten Dichtfläche (11) zu der Verstellachse (6) jeweils parallele Richtungskomponenten aufweisen und somit die zweite Dichtfläche (11) senkrecht oder schräg in eine Öffnungsrichtung (9) der Verstellachse (6) weist,

• ein erster Hauptabschnitt (12a') der zweiten

Dichtfläche (11) entlang einer geometrischen ersten Hauptebene (13a) und im Wesentlichen geradlinig auf einer zu der mittleren Horizontalebene (19) parallelen ersten Horizontalebene (19a) verläuft,

• ein zweiter Hauptabschnitt (12b') der zweiten

Dichtfläche (11) entlang einer geometrischen zweiten Hauptebene (13b) und im Wesentlichen geradlinig auf einer zu der ersten Horizontalebene (19a) beabstandet parallelen zweiten Horizontalebene (19b) verläuft, die erste Hauptebene (13a) und die zweite Hauptebene (13b) zueinander beabstandet parallel zu der

Verschlussgliedebene (7) verlaufen und somit der erste Hauptabschnitt (12a') und der gegenüberliegende zweite Hauptabschnitt (12b') zueinander einen geometrischen Versatz senkrecht zu der Verstellachse (6) aufweisen, zwischen den beiden gegenüberliegenden Hauptabschnitten (12a', 12b') eine insbesondere im Wesentlichen parallel zu der Verschlussgliedebene (7) verlaufende

Verschlussfläche (24) des Verschlussgliedes (5) zum Verschliessen einer Öffnung (3) eines Vakuum- Transferventils (1) angeordnet ist,

insbesondere, die Breite (w) der einen im Wesentlichen rechteckigen Querschnitt aufweisenden Verschlussfläche (24) senkrecht zu der Verstellachse (6) mindestens das Doppelte, insbesondere mindestens das Dreifache, insbesondere mindestens das Fünffache, der Höhe (h) der Verschlussfläche (24) parallel zu der Verstellachse (6) beträgt,

ein seitlicher linker im Wesentlichen U-förmiger

Seitenabschnitt (141/) der zweiten Dichtfläche (11) den ersten Hauptabschnitt (12a') und den zweite

Hauptabschnitt (12b') auf der einen Seite der zweiten Dichtfläche (11) verbindet,

ein seitlicher rechter im Wesentlichen U-förmiger

Seitenabschnitt (14R') der zweiten Dichtfläche (11) den ersten Hauptabschnitt (12a') und den zweiten

Hauptabschnitt (12b') auf der anderen Seite der zweiten Dichtfläche (11) verbindet,

der linke U-förmige Seitenabschnitt (141/) und der rechte U-förmige Seitenabschnitt (14R') jeweils ° einen ersten Schenkel (151/, 15R' ) , der entlang der ersten Hauptebene (13a) verläuft und in den ersten Hauptabschnitt (12a') übergeht,

° einen zweiten Schenkel (161/, 16R'), der entlang der zweiten Hauptebene (13b) verläuft und in den zweiten Hauptabschnitt (12b') übergeht, und

° eine Basis (171/, 17R' ) , in welche jeweils der erste Schenkel (151/, 15R' ) und der zweite Schenkel (161/, 16R') übergehen, welche den ersten Schenkel (151/, 15R' ) und den zweiten Schenkel (161/, 16R') verbindet und somit den geometrischen Versatz quer zu der

Verstellachse (6) überbrückt,

aufweist,

sich die beiden ersten Schenkel (151/, 15R' ) und die beiden zweiten Schenkel (161/, 16R') zwischen der ersten Horizontalebene (19a) und der zweiten

Horizontalebene (19b) erstrecken und den Abstand zwischen der ersten Horizontalebene (19a) und der zweiten Horizontalebene (19b) zumindest teilweise überbrücken,

die linke Basis (171/) auf einer linken ersten Ebene (18L) liegt,

die rechte Basis (17R') auf einer rechten ersten Ebene (18R) liegt, und

mittels der zweiten Dichtfläche (11) in einer

geschlossenen Position (C) des Verschlussglieds (5) ein dichtender Kontakt mit einer ersten Dichtfläche (10) eines Vakuum-Transferventils (1) zum gasdichten

Verschliessen einer Öffnung (3) des Vakuum- Transferventils (1) durch lineares Drücken der zweiten Dichtfläche (11) auf die erste Dichtfläche (10) in eine Schliessrichtung (8) der Verstellachse (6) herstellbar ist, wobei die erste Dichtfläche (10) eine mit der zweiten Dichtfläche (11) korrespondierende, eine der zweiten Dichtfläche (11) entsprechende Form aufweist, und in einer geschlossenen Position (C) das

dadurch gekennzeichnet, dass

Verschlussglied (5) nach Anspruch 13,

dadurch gekennzeichnet, dass

• der linke erste Schenkel (151/)

° einen ebenen linken ersten Schenkelabschnitt (15aL'), der auf der linken ersten Ebene (18L) verläuft und eben in die linke Basis (171/) übergeht, und

° einen bogenförmigen linken ersten Krümmungsabschnitt (15bL'), welcher den linken ersten Schenkelabschnitt (15aL') mit dem ersten Hauptabschnitt (12a')

verbindet,

aufweist und/oder

• der rechte erste Schenkel (15R')

° einen ebenen rechten ersten Schenkelabschnitt

(15aR'), der auf der rechten ersten Ebene (18R) verläuft und eben in die rechte Basis (17R')

übergeht, und

° einen bogenförmigen rechten ersten Krümmungsabschnitt (15bR'), welcher den rechten ersten Schenkelabschnitt (15aR') mit dem ersten Hauptabschnitt (12a')

verbindet, aufweist .

Verschlussglied (5) nach Anspruch 13 oder 14, dadurch gekennzeichnet, dass

• der linke zweite Schenkel (161/)

° einen ebenen linken zweiten Schenkelabschnitt

(16aL'), der auf einer linken zweiten Ebene (20L) verläuft,

° einen bogenförmigen linken zweiten Krümmungsabschnitt (16bL'), welcher den linken zweiten Schenkelabschnitt (16aL') mit dem zweiten Hauptabschnitt (12b') verbindet, und

° einen bogenförmigen linken dritten Krümmungsabschnitt (16cL'), welcher den linken zweiten Schenkelabschnitt (16aL') mit der linken Basis (171/) verbindet, aufweist und/oder

• der rechte zweite Schenkel (16R')

° einen ebenen rechten zweiten Schenkelabschnitt

(16aR'), der auf einer rechten zweiten Ebene (20R) verläuft,

° einen bogenförmigen rechten zweiten

Krümmungsabschnitt (16bR'), welcher den rechten zweiten Schenkelabschnitt (16aR') mit dem zweiten Hauptabschnitt (12b') verbindet, und

° einen bogenförmigen rechten dritten

Krümmungsabschnitt (16cR'), welcher den rechten zweiten Schenkelabschnitt (16aR') mit der rechten Basis (17R') verbindet,

aufweist .