KR20180110380A - 반도체 제조 설비용 슬릿 밸브 - Google Patents

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Abstract

반도체 제조 설비용 슬릿 밸브는, 반도체 제조 설비의 챔버와 챔버 사이에 설치되는 반도체 제조 설비용 슬릿 밸브로서, 기판이 이송되는 개구부가 형성된 밸브 하우징, 밸브 하우징 내에 위치하고, 수직 및 수평 이동하면서 개구부를 개폐하는 게이트 플레이트, 게이트 플레이트의 둘레를 따라 형성되고, 게이트 플레이트가 개구부를 폐쇄할 때 기밀성을 보장하는 실링 부재 및 게이트 플레이트를 수직 및 수평 이동시키는 구동 수단을 포함하고, 게이트 플레이트는 제 1 분할 부재, 제 2 분할 부재 및 제 1 분할 부재와 제 2 분할 부재 사이에 개재된 탄성 부재를 포함하고, 제 1 분할 부재와 제 2 분할 부재는 탄성 부재를 사이에 두고 결합되어 있고, 게이트 플레이트가 개구부를 향해 수직 이동한 후 수평 이동하면서 개구부를 폐쇄할 때, 밸브 하우징의 내벽에 의해 탄성 부재에 압축력이 가해져서 완충 작용이 일어난다.

Description

반도체 제조 설비용 슬릿 밸브 {A SLIT VALVE FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT}
본 발명은 반도체 제조 설비용 슬릿 밸브에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 슬릿 밸브의 게이트 플레이트가 탄성 부재가 개재된 한쌍의 분할 부재로 이루어져 있는 반도체 제조 설비용 슬릿 밸브에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제조공정은 현상, 식각, 확산, 화학기상증착 및 금속증착 등의 공정을 반복 수행함으로써 이루어지게 된다. 이들 각 공정은 설계 상태에 적합하도록 반도체를 제작하는데 필요한 특정 조건으로 설정되며, 다수의 공정은 진공상태에서 공정이 진행된다. 이렇게 진공상태로 공정이 수행되는 공정 챔버 외에도 가공을 위한 웨이퍼를 로드 또는 언로드 하는 로드락 챔버, 그리고 공정 챔버와 로드락 챔버 사이에 설치되어 웨이퍼를 이송시키는 이송 챔버가 존재한다.
그리고, 이러한 각각의 챔버들 사이에는 웨이퍼를 통과시키기 위한 슬릿이 형성되어 있고, 슬릿에는 슬릿 밸브가 설치되어 슬릿의 개폐가 이루어지도록 되어 있다. 예를 들어, 슬릿 밸브는 이송 챔버와 공정 챔버 사이에 위치하며, 이송 로봇의 설정 동작 이후에 공정 챔버의 공정을 진행하기 위하여 완벽한 격리 기능의 목적을 가진 밸브를 말한다. 이러한 슬릿 밸브는 에어 실린더 및 기어 유니트의 업다운을 이용하여 내부 게이트 플레이트를 동작시켜 게이트(슬릿)의 개폐를 제어하는 방식으로 이루어진다.
한편, 슬릿 밸브의 게이트 플레이트에는 실링 부재가 형성되어 있어 게이트 플레이트가 슬릿을 폐쇄할 때 기밀 밀봉을 보장하게 된다. 그러나, 이러한 기능을 가지는 실링 부재는 사용 중에 주변 구조물과의 마찰에 의해 마모되기 쉬어 슬릿 밸브를 빈번하게 교체해야 한다는 문제점이 존재한다. 그러나, 종래의 반도체 제조 설비용 슬릿 밸브(한국 특허 출원 제 10-2011-0057542호)는 전술한 실링 부재의 문제점을 고려하고 있지 못하므로 실링 부재가 사용 중에 마찰에 의해 마모되는 문제점을 해결할 수 없게 되고 그 결과 슬릿 밸브의 유지 관리에 어려움이 있어왔다.
이러한 문제점을 해결하기 위하여, 실링 부재가 사용 중에 마찰에 의해 마모되는 것을 방지하여 슬릿 밸브의 교체 주기를 늘릴 수 있는 반도체 제조 설비용 슬릿 밸브의 필요성이 대두되고 있다.
본 발명이 해결하려는 과제는, 게이트 플레이트의 실링 부재가 사용 중에 주변의 구조물에 의해 마모되는 정도를 줄임으로써 슬릿 밸브를 빈번하게 교체할 필요가 없도록 하고 그 결과 슬릿 밸브의 유지 관리가 용이해지도록 하는 반도체 제조 설비용 슬릿 밸브를 제공하는 데 있다.
본 발명이 해결하려는 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조 설비용 슬릿 밸브는, 반도체 제조 설비의 챔버와 챔버 사이에 설치되는 반도체 제조 설비용 슬릿 밸브로서, 기판이 이송되는 개구부가 형성된 밸브 하우징, 밸브 하우징 내에 위치하고, 수직 및 수평 이동하면서 개구부를 개폐하는 게이트 플레이트, 게이트 플레이트의 둘레를 따라 형성되고, 게이트 플레이트가 개구부를 폐쇄할 때 기밀성을 보장하는 실링 부재 및 게이트 플레이트를 수직 및 수평 이동시키는 구동 수단을 포함하고, 게이트 플레이트는 제 1 분할 부재, 제 2 분할 부재 및 제 1 분할 부재와 제 2 분할 부재 사이에 개재된 탄성 부재를 포함하고, 제 1 분할 부재와 제 2 분할 부재는 탄성 부재를 사이에 두고 결합되어 있고, 게이트 플레이트가 개구부를 향해 수직 이동한 후 수평 이동하면서 개구부를 폐쇄할 때, 밸브 하우징의 내벽에 의해 탄성 부재에 압축력이 가해져서 완충 작용이 일어난다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 제조 설비용 슬릿 밸브는, 반도체 제조 설비의 챔버와 챔버 사이에 설치되는 반도체 제조 설비용 슬릿 밸브로서, 수평 및 수직 이동하면서 기판이 이송되는 챔버의 개구부를 개폐하는 게이트 플레이트, 게이트 플레이트의 둘레를 따라 형성되고, 게이트 플레이트가 개구부를 폐쇄할 때 기밀성을 보장하는 실링 부재 및 게이트 플레이트를 수직 및 수평 이동시키는 구동 수단을 포함하고, 게이트 플레이트는 제 1 분할 부재, 제 2 분할 부재 및 제 1 분할 부재와 제 2 분할 부재 사이에 개재된 탄성 부재를 포함하고, 제 1 분할 부재와 제 2 분할 부재는 탄성 부재를 사이에 두고 결합되어 있고, 게이트 플레이트가 개구부를 향해 수직 이동한 후 수평 이동하면서 개구부를 폐쇄할 때, 챔버의 외벽에 의해 탄성 부재에 압축력이 가해져서 완충 작용이 일어난다.
본 발명에 따르면, 실링 부재가 사용 중에 마찰에 의해 마모되는 것을 방지하여 슬릿 밸브의 교체 주기를 늘릴 수 있는 반도체 제조 설비용 슬릿 밸브를 제공할 수 있다.
도 1 은 본 발명에 따른 반도체 제조 설비의 챔버를 나타낸 도면이다.
도 2 는 본 발명에 따른 서로 다른 챔버 간에 기판이 이동되는 과정을 나타낸 도면이다.
도 3 및 4 는 본 발명의 일 실시예에 따른 슬릿 밸브의 게이트 플레이트를 나타낸 도면이다.
도 5 내지 7 은 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 플레이트가 개구부를 개폐하는 과정을 나타낸 도면이다.
도 8 은 본 발명의 다른 실시예에 따른 게이트 플레이트가 개구부를 개폐하는 과정을 나타낸 도면이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계 및 동작은 하나 이상의 다른 구성요소, 단계 및 동작의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
도 1 내지 7 을 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 슬릿 밸브를 설명한다. 도 1 은 본 발명에 따른 반도체 제조 설비의 챔버를 나타낸 도면이다. 도 2 는 본 발명에 따른 서로 다른 챔버 간에 기판이 이동되는 과정을 나타낸 도면이다. 도 3 및 4 는 본 발명의 일 실시예에 따른 슬릿 밸브의 게이트 플레이트를 나타낸 도면이다. 도 5 내지 7 은 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 플레이트가 개구부를 개폐하는 과정을 나타낸 도면이다.
우선, 본 발명의 일 실시예에 따른 슬릿 밸브(50)에 대한 이해를 돕기 위해서, 도 1 을 참조하여 반도체 제조 설비의 챔버(10, 20, 30)를 설명한다. 반도체 제조 설비에 사용되는 챔버(10, 20, 30)는 웨이퍼 내지 기판(80) 가공 공정이 수행되는 공정 챔버(Process Chamber; PC)(10), 가공을 위한 웨이퍼를 로드 또는 언로드 하는 로드락 챔버(LoadLock Chamber; LC)(30) 및 공정 챔버(10)와 로드락 챔버(30) 사이에 설치되어 웨이퍼를 이송하는 이송 챔버(Transfer Chamber; TC)(20)를 포함한다.
공정 챔버(10)는 통상 고진공상태를 유지하면서 웨이퍼에 대한 박막증착, 드라이 에칭, 식각 등의 공정을 수행하며, 이송 챔버(20)는 내부에 위치하는 이송 로봇(미도시)을 이용하여 이송 챔버(20)와 공정 챔버(10) 사이 또는 공정 챔버(10)와 로드락 챔버(30) 사이에서 웨이퍼를 이송하는 공간으로서 역시 진공 상태를 유지한다. 도 2 를 통해 알 수 있듯이, 이러한 진공을 유지하기 위해서 각 챔버(10, 20) 하부에는 공기 배출구(100, 110)가 존재할 수 있으며, 이 공기 배출구(100, 110)를 통해 챔버(10, 20) 내의 공기가 배출되어 챔버(10, 20)가 진공 상태를 유지할 수 있다. 한편, 공정 챔버(10)와 이송 챔버(20) 사이에는 웨이퍼의 통로 역할을 하는 슬릿 또는 개구부를 개폐하는 슬릿 밸브(50)가 설치된다.
이송부(40)는 EFEM(Equipment Front End Module)이라고도 하며 내부의 이송 로봇(미도시)을 통해 미처리 웨이퍼를 로드락 챔버(30)로 반입하거나 공정을 끝낸 웨이퍼를 로드락 챔버(30)로부터 외부로 반출하는 공간으로서 항상 대기압 상태를 유지한다. 이와 같이, 이송 챔버(20)는 진공상태이고 이송부(40)는 대기압 상태이므로 로드락 챔버(30)는 양자의 사이에서 완충 역할을 하며, 웨이퍼의 출입시에 진공상태와 대기압상태를 반복한다. 로드락 챔버(30)와 이송부(40) 및 이송 챔버(20)의 사이에도 웨이퍼의 통로 역할을 하는 슬릿를 개폐하는 슬릿 밸브(50)가 설치된다.
이와 같이 슬릿 밸브(50)는 서로 이웃하는 챔버(10, 20, 30) 사이에 마련되는 것으로 웨이퍼의 통로 역할을 하는 슬릿을 개폐하는 부재이다. 이하, 전술한 역할을 수행하는 본 발명의 일 실시예에 따른 슬릿 밸브(50)를 자세히 설명한다.
도 1 내지 7 을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 슬릿 밸브(50)는 밸브 하우징, 게이트 플레이트(120) 및 구동 수단(190)을 포함한다.
밸브 하우징은 슬릿 밸브(50)의 외관을 구성하는 부재로서 밸브 상부 하우징(60) 및 밸브 하부 하우징(70)을 포함한다. 밸브 상부 하우징(60)은 기판(80)이 이동하는 개구부를 개폐하는 게이트 플레이트(120)를 수용하고, 밸브 하부 하우징(70)은 게이트 플레이트(120)를 수직 및 수평 이동시키는 구동 수단(190)을 수용할 수 있다. 이러한 밸브 하우징은 챔버 사이, 예를 들어 이송 챔버(20)와 공정 챔버(10) 사이에 위치하면서 이송 챔버(20)와 공정 챔버(10) 간의 기판(80)의 이동을 제어하게 된다. 구체적으로, 밸브 상부 하우징(60)에는 기판(80)이 이송되는 개구부(150)가 형성되어 있으며, 도 2 에 도시된 바와 같이 밸브 상부 하우징(60)의 개구부(150)는 챔버(10, 20)에 형성된 개구부(90)에 일치할 수 있음으로 인해서 하나의 챔버(10) 내에 있던 기판(80)이 챔버의 개구부(90) 및 밸브 상부 하우징(60)의 개구부(150)를 거쳐서 다른 챔버(20)로 이송될 수 있다.
게이트 플레이트(120)는 밸브 상부 하우징(60) 내에 있으면서 밸브 상부 하우징(60)의 개구부(150)를 개폐함으로써 챔버 간의 기판(80) 이송을 차단하거나 가능하게 할 수 있다. 이를 위해 게이트 플레이트(120)는 구동 수단(190)에 의해 밸브 하우징 내에서 수직 및 수평 이동을 할 수 있는데, 구동 수단(190)은 우선 게이트 플레이트(120)를 상승시킴으로써 게이트 플레이트(120)가 밸브 상부 하우징(60)의 개부구(150) 쪽으로 이동되도록 하고, 또한 개구부(150)와 동일 선 상에 위치한 게이트 플레이트(120)를 밸브 상부 하우징(60)의 개구부(150)로 이동시켜 개구부(150)를 폐쇄할 수 있다.
도 3 및 4 를 통해 게이트 플레이트(120)의 구조를 보면, 게이트 플레이트(120)는 단일의 부재로 되어 있지 않으며 대신에 제 1 분할 부재(130) 및 제 2 분할 부재(135)로 구성되어 있고, 제 1 분할 부재(130)와 제 2 분할 부재(135) 사이에는 탄성 부재(145)가 개재되어 있다. 즉, 게이트 플레이트(120)의 제 1 분할 부재(130)와 제 2 분할 부재(135)는 탄성 부재(145)를 사이에 두고 결합되어 있다.
한편, 탄성 부재(145)의 개재 방식을 보면, 제 1 분할 부재(130) 및 제 2 분할 부재(135)의 마주보는 면에는 각각 홈(140)이 형성되어 있으며 탄성 부재(145)의 양단이 양쪽의 홈(140)에 위치함으로써 탄성 부재(145)는 제 1 분할 부재(130) 및 제 2 분할 부재(135) 사이에 개재될 수 있다. 이러한 탄성 부재(145)는 압축 스프링일 수 있으며, 압축 스프링은 게이트 플레이트(120)의 길이 방향을 따라 2열로 설치되어 있고, 각 열에는 3개의 압축 스프링이 존재할 수 있다. 그러나, 압축 스프링의 개수 및 설치 방식은 이에 제한되는 것은 아니며 다양하게 고려될 수 있다.
또한, 제 1 분할 부재(130)와 제 2 분할 부재(135)의 결합 방식은 나사 결합일 수 있으며, 제 1 분할 부재(130)와 제 2 분할 부재(135)를 나사 결합시키는 볼트(170)는 나사가 형성된 나사부(175), 나사부(175)로부터 연장되어 있으며 나사가 형성되지 않은 원통부(180) 및 나사 머리를 포함하고, 나사부(175)는 제 1 분할 부재(130)에 나사 결합되어 있고, 나사 머리는 제 2 분할 부재(135)의 나사 구멍에 걸려 있을 수 있다. 이렇게 볼트(170)의 나사부(175)만이 제 1 분할 부재(130)에 나사 결합되어 있고 제 1 분할 부재(130)와 제 2 분할 부재(135) 사이에는 탄성 부재(145)가 있는 바, 제 2 분할 부재(135)에 외력이 작용할 경우 제 2 분할 부재(135)는 소정량만큼 압축되어 제 1 분할 부재(130) 쪽으로 이동할 수 있고, 그 결과 게이트 플레이트(120)의 전체 폭은 줄어들 수 있다.
또한, 게이트 플레이트(120)의 외면에는 둘레를 따라 실링 부재(160)가 형성되어 있으며 이 실링 부재(160)는 게이트 플레이트(120)가 개구부(150)를 폐쇄할 때 기밀성을 보장하는 역할을 할 수 있다. 한편, 실링 부재(160)는 게이트 플레이트(120) 외면으로부터 외측으로 돌출되어 있는 바 게이트 플레이트(120)가 수직 및 수평 이동하면서 개구부(150)를 개폐하는 과정 중에 밸브 하우징의 내면과 마찰을 일으켜 마모되어 자주 교체해야 한다는 문제점이 있어왔다. 그러나, 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 플레이트(120)는 탄성 부재(145)가 개재된 두 개의 분할 부재(130, 135)로 되어 있으며, 외력에 의해 서로 다른 분할 부재(130, 135) 간의 거리가 좁혀지면서 완충 작용이 일어날 수 있는 바 밸브 하우징의 내면에 의해 실링 부재(160)가 마모되는 정도를 줄일 수 있다.
이렇게 양면에 실링 부재(160)가 형성된 게이트 플레이트(120)는 내부의 탄성 부재(160)가 압축되어 있지 않는 상태에서 D라는 전체 폭을 가질 수 있고 제 1 분할 부재(130)와 제 2 분할 부재(135) 사이의 거리는 H가 될 수 있다(도 3(c) 참조).
한편, 도 3 및 5 내지 8 에는 실링 부재(160)가 게이트 플레이트(120)의 양면에 형성되어 있는 것으로 도시되어 있으나, 경우에 따라서는 게이트 플레이트의 한면에만 실링 부재가 형성되어 있을 수 있다. 이럴 경우 실링 부재가 형성된 게이트 플레이트의 일면만이 개구부를 개폐하는 역할을 수행할 수도 있다. 또한, 도 4 에는 제 1 분할 부재(130)와 제 2 분할 부재(135)의 나사 결합 형태가 간략하게 도시되어 있는데 외력에 의해 탄성 부재(145)가 압축될 수 있고 제 1 분할 부재(130)와 제 2 분할 부재(135) 사이의 거리가 가까워질 수 있다면 나사 결합의 형태에 제한이 있는 것은 아니고, 나사 결합이외에 다른 결합 방식이 사용될 수도 있다.
도 5 내지 7 을 통해, 실링 부재(160)가 마모되는 정도를 줄일 수 있는 효과를 구체적으로 살펴보면, 도 5 에서와 같이 밸브 상부 하우징(60)의 개구부(150)가 개방되어 있을 때 게이트 플레이트(120)는 밸브 하우징의 내부에서 개구부(150)의 하부에 위치할 수 있다. 이후, 도 6 에서와 같이 구동 수단(190)에 의해 게이트 플레이트(120)는 상방으로 이동하게 되어 밸브 상부 하우징(60)의 개구부(150)와 동일 선 상에 위치할 수 있다.
최종적으로, 도 7 에서 알 수 있듯이, 구동 수단(190)은 개구부(150)와 동일 선 상에 위치한 게이트 플레이트(120)를 수평 이동시켜 개구부(150)로 이동시키고, 결과적으로 게이트 플레이트(120)는 개구부(150)를 폐쇄시킬 수 있다. 이 과정에서 밸브 하우징의 내벽은 접촉하고 있는 게이트 플레이트(120)의 실링 부재(160)에 소정의 외력을 가할 수 있다. 이러한 외력에 의해 게이트 플레이트(120)의 제 2 분할 부재(135)는 제 1 분할 부재(130) 쪽으로 이동하고 탄성 부재(145)는 수축하여 제 1 분할 부재(130)와 제 2 분할 부재(135)의 폭은 좁아지면서 완충 작용이 일어날 수 있으며, 그에 따라 게이트 플레이트(120)의 실링 부재(160)는 밸브 하우징의 내면에 의해 덜 마모되게 된다.
이렇게, 게이트 플레이트(120)의 실링 부재(160)가 종전에 비해서 덜 마모됨에 따라 게이트 플레이트(120)의 교체 주기기 길어지게 되고, 그에 따라 슬릿 밸브(50)를 자주 교체해야하는 번거로움이 덜해지고 슬릿 밸브(50)의 유지 관리가 용이해지는 효과가 발생한다.
구동 수단(190)은 밸브 하부 하우징(70)에 설치되어 게이트 플레이트(120)를 수직 및 수평으로 이동시키는 역할을 한다. 이를 위해, 구동 수단(190)은 공압 실린더와 피스톤으로 구성될 수 있으며, 공압 실린더 내부로 유입된 공압에 의해 피스톤이 게이트 플레이트(120)를 수직 및 수평으로 밀게 되어 게이트 플레이트(120)는 밸브 상부 하우징(60)의 개구부(150)를 폐쇄할 수 있다. 다만, 게이트 플레이트(120)를 수직 및 수평 이동시키는 구동 수단(190)은 전술한 방식으로만 한정되는 것은 아니며, 게이트 플레이트(120)를 수직 및 수평으로 이동시킬 수 있다면 그 형태에 제한이 없다.
이상 본 발명의 일 실시예에 따른 슬릿 밸브(50)를 설명하였으며, 이하 본 발명의 다른 실시예에 따른 슬릿 밸브를 설명한다. 도 8 은 본 발명의 다른 실시예에 따른 게이트 플레이트가 개구부를 개폐하는 과정을 나타낸 도면이다.
도 8 을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 슬릿 밸브는 본 발명의 일 실시예에 따른 슬릿 밸브(50)와는 다르게 게이트 플레이트(120)가 밸브 하우징에 의해 수용되어 있지 않고 개방되어 있다. 따라서, 반도체 제조 설비의 챔버와 챔버 사이에는 밸브 하우징이 마련되어 있지 않으며 게이트 플레이트(120)가 위치하고 있으면서, 챔버(10, 20)의 개구부(90)를 개폐하게 된다.
도 8 을 통해, 본 발명의 다른 실시예에 따른 슬릿 밸브의 실링 부재(160)가 마모되는 정도를 줄일 수 있는 효과를 구체적으로 살펴보면, 도 8(a) 에서와 같이 챔버(10, 20)의 개구부(90)가 개방되어 있을 때 게이트 플레이트(120)는 개구부(90)의 하부에 위치할 수 있다.
이 후, 도 8(b) 에서와 같이 구동 수단에 의해 게이트 플레이트(120)는 상방으로 이동하면서 개구부(90)와 동일 선 상에 위치하게 되고, 구동 수단은 개구부(90)와 동일 선 상에 위치한 게이트 플레이트(120)를 수평 이동시켜 개구부(90)로 이동시키고, 결과적으로 게이트 플레이트(120)는 개구부(90)를 폐쇄시킬 수 있다. 이 과정에서 챔버의 외벽은 접촉하고 있는 게이트 플레이트(120)의 실링 부재(160)에 소정의 외력을 가할 수 있다. 이러한 외력에 의해 게이트 플레이트(120)의 제 2 분할 부재(135)는 제 1 분할 부재(130) 쪽으로 이동하고 탄성 부재(145)는 수축하여 제 1 분할 부재(130)와 제 2 분할 부재(135)의 폭은 좁아지면서 완충 작용이 일어날 수 있으며, 그에 따라 게이트 플레이트(120)의 실링 부재(160)는 밸브 하우징의 내면에 의해 덜 마모되게 된다.
이렇게, 게이트 플레이트(120)의 실링 부재(160)가 종전에 비해서 덜 마모됨에 따라 게이트 플레이트(120)의 교체 주기기 길어지게 되고, 그에 따라 슬릿 밸브를 자주 교체해야하는 번거로움이 덜해지고 슬릿 밸브의 유지 관리가 용이해지게 된다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
10: 공정 챔버 20: 이송 챔버
30: 로드락 챔버 40: 이송부
50: 슬릿 밸브 60: 밸브 상부 하우징
70: 밸브 하부 하우징 80: 기판
90, 150: 개구부 100, 110: 공기 배출구
120: 게이트 플레이트 130: 제 1 분할 부재
135: 제 2 분할 부재 140: 홈
145: 탄성 부재 160: 실링 부재
170: 볼트 175: 나사부
180: 원통부 190: 구동 수단

Claims (14)

  1. 반도체 제조 설비의 챔버와 챔버 사이에 설치되는 반도체 제조 설비용 슬릿 밸브로서,
    기판이 이송되는 개구부가 형성된 밸브 하우징;
    상기 밸브 하우징 내에 위치하고, 수직 및 수평 이동하면서 상기 개구부를 개폐하는 게이트 플레이트;
    상기 게이트 플레이트의 둘레를 따라 형성되고, 상기 게이트 플레이트가 상기 개구부를 폐쇄할 때 기밀성을 보장하는 실링 부재; 및
    상기 게이트 플레이트를 수직 및 수평 이동시키는 구동 수단을 포함하고,
    상기 게이트 플레이트는 제 1 분할 부재, 제 2 분할 부재 및 상기 제 1 분할 부재와 제 2 분할 부재 사이에 개재된 탄성 부재를 포함하고, 상기 제 1 분할 부재와 제 2 분할 부재는 상기 탄성 부재를 사이에 두고 결합되어 있고,
    상기 게이트 플레이트가 상기 개구부를 향해 수직 이동한 후 수평 이동하면서 상기 개구부를 폐쇄할 때, 상기 밸브 하우징의 내벽에 의해 상기 탄성 부재에 압축력이 가해져서 완충 작용이 일어나는 반도체 제조 설비용 슬릿 밸브.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 분할 부재와 제 2 분할 부재를 나사 결합시키는 볼트는 나사가 형성된 나사부, 상기 나사부로부터 연장되어 있으며 나사가 형성되지 않은 원통부 및 나사 머리를 포함하고,
    상기 나사부는 상기 제 1 분할 부재에 나사 결합되어 있고, 상기 나사 머리는 상기 제 2 분할 부재의 나사 구멍에 걸려 있으면서, 외력에 의해 상기 제 2 분할 부재가 압축되어 상기 제 1 분할 부재 쪽으로 이동할 수 있는 반도체 제조 설비용 슬릿 밸브.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 분할 부재 및 제 2 분할 부재의 마주보는 면에는 각각 홈이 형성되어 있어 상기 탄성 부재의 양단은 양쪽의 홈에 위치하는 반도체 제조 설비용 슬릿 밸브.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 탄성 부재는 압축 스프링인 반도체 제조 설비용 슬릿 밸브.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 압축 스프링은 상기 게이트 플레이트의 길이 방향을 따라 2열로 설치되어 있고, 각 열에는 3개의 압축 스프링이 존재하는 반도체 제조 설비용 슬릿 밸브.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 실링 부재는 상기 게이트 플레이트의 한쪽 외면에 형성되어 있고, 상기 실링 부재가 형성된 외면이 상기 개구부를 개폐하는 반도체 제조 설비용 슬릿 밸브.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 챔버는 공정 챔버(Process Chamber; PC), 이송 챔버(Transfer Chamber; TC) 및 로드락 챔버(LoadLock Chamber; LC) 중 어느 하나인 반도체 제조 설비용 슬릿 밸브.
  8. 반도체 제조 설비의 챔버와 챔버 사이에 설치되는 반도체 제조 설비용 슬릿 밸브로서,
    수평 및 수직 이동하면서 기판이 이송되는 챔버의 개구부를 개폐하는 게이트 플레이트;
    상기 게이트 플레이트의 둘레를 따라 형성되고, 상기 게이트 플레이트가 상기 개구부를 폐쇄할 때 기밀성을 보장하는 실링 부재; 및
    상기 게이트 플레이트를 수직 및 수평 이동시키는 구동 수단을 포함하고,
    상기 게이트 플레이트는 제 1 분할 부재, 제 2 분할 부재 및 상기 제 1 분할 부재와 제 2 분할 부재 사이에 개재된 탄성 부재를 포함하고, 상기 제 1 분할 부재와 제 2 분할 부재는 상기 탄성 부재를 사이에 두고 결합되어 있고,
    상기 게이트 플레이트가 상기 개구부를 향해 수직 이동한 후 수평 이동하면서 상기 개구부를 폐쇄할 때, 상기 챔버의 외벽에 의해 상기 탄성 부재에 압축력이 가해져서 완충 작용이 일어나는 반도체 제조 설비용 슬릿 밸브.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 제 1 분할 부재와 제 2 분할 부재를 나사 결합시키는 볼트는 나사가 형성된 나사부, 상기 나사부로부터 연장되어 있으며 나사가 형성되지 않은 원통부 및 나사 머리를 포함하고,
    상기 나사부는 상기 제 1 분할 부재에 나사 결합되어 있고, 상기 나사 머리는 상기 제 2 분할 부재의 나사 구멍에 걸려 있으면서, 외력에 의해 상기 제 2 분할 부재가 압축되어 상기 제 1 분할 부재 쪽으로 이동할 수 있는 반도체 제조 설비용 슬릿 밸브.
  10. 제 8 항에 있어서,
    상기 제 1 분할 부재 및 제 2 분할 부재의 마주보는 면에는 각각 홈이 형성되어 있어 상기 탄성 부재의 양단은 양쪽의 홈에 위치하는 반도체 제조 설비용 슬릿 밸브.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 탄성 부재는 압축 스프링인 반도체 제조 설비용 슬릿 밸브.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 압축 스프링은 상기 게이트 플레이트의 길이 방향을 따라 2열로 설치되어 있고, 각 열에는 3개의 압축 스프링이 존재하는 반도체 제조 설비용 슬릿 밸브.
  13. 제 8 항에 있어서,
    상기 실링 부재는 상기 게이트 플레이트의 한쪽 외면에 형성되어 있고, 상기 실링 부재가 형성된 외면이 상기 개구부를 개폐하는 반도체 제조 설비용 슬릿 밸브.
  14. 제 8 항에 있어서,
    상기 챔버는 공정 챔버(Process Chamber; PC), 이송 챔버(Transfer Chamber; TC) 및 로드락 챔버(LoadLock Chamber; LC) 중 어느 하나인 반도체 제조 설비용 슬릿 밸브.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2024090756A1 (ko) * 2022-10-28 2024-05-02 주식회사 퓨젠 게이트 밸브 및 씰링 플레이트 체결 방법

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