CN107429857B - 真空阀 - Google Patents

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Abstract

一种真空阀，包括：封闭件(4)，该封闭件可平行于纵向移位方向(14)在打开位置与中间位置之间移位，该封闭件在打开位置将阀开口(2)释放，该封闭件在中间位置遮盖阀开口(2)，但从阀座(5)提升离开，并且，该封闭件可平行于横向移位方向(15)在中间位置与关闭位置之间移位，该封闭件在关闭位置贴靠在阀座(5)上；承载着封闭件(4)的阀杆(9)，该阀杆可平行于纵向移位方向(14)以及平行于横向移位方向(15)移动地安置；与阀杆(9)刚性地连接的移动部件(13)；和驱动电动机(25、26)，为了使得封闭件(4)在打开位置、中间位置和关闭位置之间移位，由该驱动电动机可使得传动轴(21、22)围绕平行于纵向移位方向(14)的旋转轴线(23)转动。传动轴(21、22)在第一区段中具有纵向移动凸轮传动机构的纵向移动凸轮件(31)，且在第二区段中具有横向移动凸轮传动机构的横向移动凸轮件(33、34、43)，为了使得封闭件在打开位置与中间位置之间移位，该纵向移动凸轮件与纵向移动凸轮传动机构的纵向移动接合件(32)配合作用，为了使得封闭件在中间位置与关闭位置之间移位，该横向移动凸轮件与横向移动凸轮传动机构的横向移动接合件(35、36、44)配合作用。

Description

真空阀
技术领域
本发明涉及一种真空阀，其包括：阀体，阀体带有被阀座包围的阀开口，阀开口具有轴线；封闭件，该封闭件可平行于纵向移位方向在打开位置与中间位置之间移位，该封闭件在打开位置将阀开口释放，该封闭件在中间位置遮盖阀开口，但从阀座提升离开，并且，该封闭件可平行于横向移位方向在中间位置与关闭位置之间移位，该封闭件在关闭位置贴靠在阀座上；承载着封闭件的阀杆，该阀杆可平行于纵向移位方向以及平行于横向移位方向移动地安置；与阀杆刚性地连接的移动部件；和驱动电动机，为了使得封闭件在打开位置、中间位置和关闭位置之间移位，由该驱动电动机可使得传动轴围绕平行于纵向移位方向的旋转轴线转动。
背景技术
对于一些真空阀而言，为了关闭真空阀，封闭件首先沿平行于阀杆的纵向移位方向从打开位置移动至中间位置，在该中间位置，封闭件遮盖阀开口，但从阀座提升离开，随后在垂直于纵向移位方向的横向移位方向上贴靠到阀座上，这种真空阀也称为L阀。
在L阀的非常规的构造方式情况下，阀杆围绕垂直于纵向移位方向的轴线可摆动地安置，以便能实现阀板从其中间位置移位至其关闭位置，反之亦然。为了使得阀杆围绕轴线摆动，这里可以采用滑槽引导件，这比如由US 6,237,892B1、US 7,066,443B2或US 2012/0258242 A1已知。
对于一些L阀而言，为了使得封闭件在中间位置与关闭位置之间移位，封闭件在与纵向移位方向形成夹角、特别是直角的横向移位方向上进行平行移动，根据通常的实施方式，把用来使得封闭件在中间位置与关闭位置之间移位的驱动元件设置在承载着封闭件的承载单元上，其中，该承载单元位于真空阀的阀壳体内部，并安置在从真空阀的真空区域伸出的阀杆上。L阀的这种设计例如由US 6,056,266A、US 6,899,316B2和US 7,611,122B2已知。
由WO 2010/034046 A1、US 7,762,527B2和WO 2014/075757 A1已知如下L阀，封闭件在中间位置与关闭位置之间进行直线移动，其中，无论用来使得封闭件在打开位置与中间位置之间移位的驱动件，还是用来使得封闭件在中间位置与关闭位置之间移位的驱动件，都设置在真空之外。承载着封闭件的阀杆在此既可在纵向移位方向上平行地移动，又可在横向移位方向上平行地移动。在此就WO 2014/075757 A1所公开的真空阀而言，在真空之外把传递部件安置在阀杆上，该阀杆可被杆状的引导部分沿纵向移位方向可移动地引导，其中，杆状的引导部分在垂直于纵向移位方向的横向移位方向上可移动。为了使得杆状的引导部分、进而使得阀杆在横向移位方向上移动，采用了气动的活塞-汽缸单元，这些单元作用在杆状的引导部分上。为了使得阀杆在纵向移位方向上移动，也采用了气动的活塞-汽缸单元，这些单元作用在传递部分上。
开篇所述类型的真空阀由EP 2 749 798 A1已知。为了打开和关闭真空阀，采用了驱动电动机，该驱动电动机使得以主轴形式构造的传动轴转动，该传动轴的旋转轴线平行于纵向移位方向。通过主轴的转动而在纵向移位方向上移位的移位件通过倾斜连接件、特别是倾斜面引导件或平行四边形引导件而与移动部件连接，确切地说，在真空区域之外连接，该移动部件本身刚性地与阀杆连接。移动部件通过引导件、特别是滑槽引导件，在第一位置与第二位置之间平行于纵向移位方向，且在第二位置与第三位置之间平行于横向移位方向可移动地被引导。在移动部件的第一、第二和第三位置，封闭件处于其打开位置、中间位置和关闭位置。因而就该真空阀而言，除了用来将传动力从驱动电动机传递到阀杆上的传动件外，还设置了相当繁琐地构造的引导元件，其特别是滑槽引导件的形式，以便在纵向移位方向和横向移位方向上引导这些运动。
发明内容
本发明的目的是，提出开篇所述类型的有利的真空阀，就该真空阀而已，采用合乎目的的方式实现了使得封闭件平行于纵向移位方向(在打开位置与中间位置之间)且平行于横向移位方向(在中间位置与关闭位置之间)运动。根据本发明，这通过一种具有权利要求1的特征的真空阀得以实现。
对于根据本发明的真空阀，为了打开和关闭真空阀而被驱动电动机转动的传动轴在第一区段中具有纵向移动凸轮传动机构的纵向移动凸轮件。为了使得封闭件在打开位置与中间位置之间移位，该纵向移动凸轮件与纵向移动凸轮传动机构的纵向移动接合件配合作用。在第二区段中，传动轴具有横向移动凸轮传动机构的横向移动凸轮件。为了使得封闭件在中间位置与关闭位置之间移位，该横向移动凸轮件与横向移动凸轮传动机构的横向移动接合件配合作用。纵向移动凸轮传动机构的纵向移动接合件与移动部件参照纵向移位方向(即平行于纵向移位方向)不可移动地连接，该移动部件刚性地与阀杆连接。横向移动凸轮传动机构的横向移动接合件与移动部件参照横向移位方向(即平行于横向移位方向)不可移动地连接。
因此，由传动轴既构造了用来使得封闭件平行于纵向移位方向移动的凸轮传动机构的曲形件、又构造了用来使得封闭件平行于横向移位方向移动的凸轮传动机构的曲形件。由此可以实现平行于纵向移位方向且平行于横向移位方向有利地引导阀杆的运动，进而引导封闭件的运动。
从封闭件的打开位置，通过至少一个传动轴的沿关闭转动方向的转动，纵向移动接合件可以由纵向移动凸轮件平行于纵向移位方向移动，其中，移动部件被带动，封闭件从打开位置朝向中间位置移动。从封闭件的中间位置出发，通过至少一个传动轴的沿关闭转动方向的转动，横向移动接合件可以由横向移动凸轮件平行于横向移位方向移动，其中，移动部件被带动，封闭件从中间位置朝向关闭位置移动。
阀杆的平行于纵向移位方向且平行于横向移位方向的可移动的安置可以有利地通过对刚性地与阀杆连接的移动部件的平行于这些方向的可移动的安置进行。
在一种可能的实施方式中，为此可以设置用于移动部件的至少一个纵向直线引导件，该纵向直线引导件使得移动部件平行于纵向移位方向可移动地安置。所述至少一个纵向直线引导件还可以通过至少一个横向直线引导件平行于横向移位方向可移动地安置。至少一个纵向移动凸轮传动机构的纵向移动接合件以及至少一个横向移动凸轮传动机构的横向移动接合件在此可以直接设置在移动部件上。
在一种替代的实施方式中，可以设置至少一个纵向直线引导件，其使得滑块平行于纵向移位方向可移动地安置。移动部件还可以相对于滑块平行于横向移位方向可移动地安置。至少一个纵向移动凸轮传动机构的纵向移动接合件在此可以有益地设置在滑块上，其中，移动部件相对于滑块参照纵向移位方向不可移动地被保持住。直接设置在移动部件上也是可考虑且可行的。至少一个横向移动凸轮传动机构的横向移动接合件可以直接设置在移动部件上。
为了使得封闭件既在从中间位置朝向关闭位置的方向上运动，又在相反的方向上运动，传动轴的第二区段可以有利地具有第一和第二横向移动凸轮件，这些凸轮件形成一种双凸轮盘，并与第一和第二横向移动接合件配合作用，这些横向移动接合件与移动部件参照横向移位方向不可移动地连接。由此在平行于横向移位方向的两个方向上形成一种强制引导。这种强制引导例如也可以通过横向移动接合件的槽引导形成。另一方面，横向移动凸轮传动机构也可以只有一个单独的凸轮盘，与该凸轮盘配合作用的横向移动接合件借助弹簧顶压在所述凸轮盘的外表面上。
有利地，由纵向移动凸轮件构成的凸轮具有无坡度的区段，纵向移动接合件位于该区段中，如果封闭件处于中间位置的话。当纵向移动接合件位于该区段中时，在传动轴转动情况下，阀杆并不平行于纵向移位方向进行移动，而利用横向移动凸轮传动机构使得纵向移动接合件相对于纵向移动凸轮件平行于横向移位方向移动也是可行的。
纵向移动凸轮传动机构尤其是一种汽缸凸轮传动机构。
一种有益的实施方式规定，真空阀还具有固定装置，可由该固定装置将传动轴的围绕旋转轴线的转动锁定。由此可以实现在驱动电动机的特别是由电能构成的工作媒介失效时将传动轴的转动位置固定，进而也实现将封闭件的位置固定，特别是固定在关闭位置或打开位置。
在本发明的一种有利的设计中，存在第一和第二传动轴，这些传动轴被相应的驱动电动机或共同的驱动电动机围绕相互平行的旋转轴线驱动，这些传动轴分别在第一区段中具有纵向移动凸轮传动机构的纵向移动凸轮件，且在第二区段中分别具有相应的横向移动凸轮传动机构的横向移动凸轮件，所述纵向移动凸轮件分别与相应的纵向移动凸轮传动机构的纵向移动接合件配合作用，所述横向移动凸轮件分别与相应的横向移动凸轮传动机构的横向移动接合件配合作用。
通过根据本发明的设计，也能实现简单地控制或调节封闭件的作用到阀座上的压紧力，其中，该压紧力能调节至不同的值。由此可以例如当不存在差压时减小弹性密封圈的载荷，从而可以优化使得封闭件相对于阀座密封的弹性密封圈的寿命。
附图说明
下面参照附图介绍本发明的其它优点和细节。其中：
图1和2为在封闭件的打开位置、根据本发明的真空阀的实施例的斜视图和视图；
图3至8为沿着图2中的线AA、BB、CC、DD、EE和FF剖切的剖视图；
图9和10为在封闭件的中间位置所述真空阀的斜视图和视图；
图11至15为沿着图10中的线GG、HH、II、JJ和KK剖切的剖视图；
图16为沿着图12中的线LL剖切的剖视图；
图17和18为在封闭件的关闭位置所述真空阀的斜视图和视图；
图19至23为沿着图18中的线MM、NN、OO、PP和QQ的剖视图；
图24和25为不同观察方向的分解视图；
图26为包括封闭件、阀杆和移动部件的单元的斜视图；
图27为移动部件的分解视图，其带有纵向移动和横向移动接合件；
图28为包括驱动电动机、传动部分和固定装置的传动单元的分解图；
图29示出横向移动凸轮传动机构的替代的实施方式；
图30以斜视图示出另一实施例；
图31为根据该另一实施例的真空阀的部分的分解图。
具体实施方式
在图1至28中示出了根据本发明的真空阀的一个实施例。
该真空阀具有阀体1，阀体具有壁，该壁具有带轴线3的阀开口2。在真空阀的关闭状态下，阀开口2被一个特别是板形地构造的封闭件4封闭，该封闭件于是处于其关闭位置。在封闭件4的关闭位置，该封闭件顶压到阀座5上，阀座在面向封闭件4的一侧包围阀开口2。在真空阀的打开状态下，封闭件4释放阀开口2，封闭件4于是处于其打开位置。封闭件4的在关闭位置与打开位置之间的移位经过中间位置进行，在阀开口2的轴线3的方向上观察，封闭件在中间位置遮盖阀开口2，也就是说，位于阀座5的对面，但提升离开(间隔开)阀座5。
为了在封闭件4的关闭位置在封闭件4与阀体1的具有阀开口2的壁之间密封，采用了设置在封闭件4上的弹性体的密封圈6(例如由FKM或FFKM构成)，并且，阀座5具有密封面，密封圈6顶压在该密封面上。原则上，密封圈6也可以设置在密封座上，并顶压到封闭件4的密封面上。
阀体1在该实施例中壳体式地构造，因而也可以称为阀壳体，封闭件4设置在阀体1的内腔7中。阀体1的该内腔7形成真空阀的真空区域(＝在其中可以存在真空的区域)。阀体1在另一壁中具有另一开口8，从而形成了穿过阀体1的贯通通道。该贯通通道在该实施例中直线地在轴线3的方向上伸展。
阀体1在该实施例中具有被顶盖部件45封闭的另一开口，通过该开口简化了维护。但该开口和顶盖部件45也可以省去。
阀体1可以与真空设备的其它部分例如真空腔和/或管路连接。于是，在封闭件4的打开位置，阀体1的内腔7通过阀开口2与真空设备的第一部分的内腔处于连接中，并且，内腔7通过开口8与真空设备的另一部分的内腔处于连接中。
真空阀原则上也可以构造成所谓的插件，其中，阀体1在真空阀的工作状态下在真空腔的内腔中设置在真空腔的壁上，并相对于它密封，从而阀开口2与在真空腔壁中的开口对齐。真空阀的带有开口8的对面的壁于是可以省去。封闭件4于是也设置在真空阀的真空区域中。
封闭件4被阀杆9承载，在该实施例中通过一方面固定在阀杆上、另一方面固定在封闭件上的连接件12承载。阀杆穿过阀体1中的开口从真空阀的真空区域中引导出，其中，该阀杆可在其纵轴线10的方向上运动，也可在与该方向垂直的方向上运动。为此在该实施例中采用了波纹管11。对此原则上也可以设置另一种形式的真空穿引件，例如另一种风箱或者一种直线穿引件，该直线穿引件本身在垂直于穿引件方向的方向上相对于阀体密封地可移动地安置。
在阀杆9上，在真空区域外部刚性地固定着移动部件13。在该实施例中多组件式地构造的移动部件13借助支撑机构平行于纵向移位方向14且平行于与纵向移位方向14垂直的横向移位方向15可移动地安置。通过使得移动部件13平行于纵向移位方向14移动，阀杆9进而封闭件4平行于纵向移位方向14移动。封闭件4的在打开位置与中间位置之间的移位通过移动部件13的平行于纵向移位方向14的这种移动来进行。
通过移动部件13的平行于横向移位方向15的移位，阀杆9进而封闭件4平行于横向移位方向15进行移动。封闭件4的在中间位置与关闭位置之间的移位通过移动部件13的平行于横向移位方向15的这种移动进行。
阀杆9的纵轴线10平行于纵向移位方向14，由此有利地实现使得阀杆9从真空区域中简单地引导出。
阀开口2的轴线3平行于横向移位方向15，阀座5位于与其垂直的平面上，由此有利地实现使得封闭件4平行地放置到阀座5上。但原则上可容忍与这种平行的放置有一定的偏差。
在所示实施例中，用来使得移动部件13平行于纵向移位方向14且平行于横向移位方向15可移动地安置的支撑机构包括纵向引导杆16，所述引导件穿过在移动部件13中的开口，在所述引导件中设置着用于形成滑动引导的引导套17。例如，存在两个设置在阀杆9两侧的纵向引导杆16。这些纵向引导杆16平行于纵向移位方向14，且本身平行于横向移位方向15可移动地引导。为此，在该实施例中，横向引导杆18穿过在纵向引导杆16上的设置在纵向引导杆16的两个端部区域中的开口，在所述纵向引导杆中设置着用于形成滑动引导的引导套19。横向引导杆平行于横向移位方向15，并安置在与阀体1刚性地连接的承载体20上。
纵向引导杆16与移动部件13的形成移动引导的部分一起由此形成用于移动部件13的纵向直线引导件，所述纵向直线引导件按照轴式引导件的方式构造。也可以设置至少一个采用其它方式构造的纵向直线引导件、例如轨式引导件或滑槽式引导件，用于使得移动部件13平行于纵向移位方向14可移动地安置。在轨式引导件的情况下，可以设置引导轨，滑块(其是移动部件的一部分)可移动地被这些引导轨引导。在滑槽式引导件的情况下，可以设置引导带，所述引导带由长孔、槽或凸起构成，相应的接合元件沿着其可移动地被其引导。
代替滑动引导，也可以规定滚动引导。
横向引导杆18与用于沿着横向引导杆18可移动地安置纵向引导杆16的部分一起构成横向直线引导件，所述横向直线引导件在该实施例中按照轴式引导件的方式构造。也可以设置至少一个采用其它方式构造的横向直线引导件、例如轨式引导件或滑槽式引导件，用于使得移动部件13平行于横向移位方向15可移动地引导。
代替滑动引导，也可以规定滚动引导。
传动轴21、22与移动部件13配合作用，以便使得移动部件13平行于纵向移位方向14以及平行于横向移位方向15运动。设置在阀杆9的相对侧的传动轴21、22分别围绕平行于纵向移位方向14的旋转轴线23可转动地安置。这种可转动的安置在该实施例中通过在承载体20对面的滚动轴承24进行。
驱动电动机25、26用于使得传动轴21、22围绕其旋转轴线23转动。利用相应的驱动电动机25、26对相应的传动轴21、22的驱动分别通过传动机构来进行，该传动机构在该实施例中包括齿轮27、28、29和30。
驱动电动机25、26是电马达，例如无刷或有刷的直流电动机，或者是同步电动机、异步电动机或步进电动机。在采用直流电动机、同步电动机或异步电动机时，对驱动电动机25、26的同步可以由控制机构(附图中未示出)借助相应的发送器(附图中未示出)例如自动同步发送器或霍尔传感器进行。在采用步进电动机的情况下，驱动电动机25、26同步地通过设定相同的步数来予以控制，和/或，为了同步，也可以采用相应的发送器。
代替电的驱动电动机25、26，原则上也可以采用其它驱动电动机，例如气动的或液压的电动机，可以由这些其它驱动电动机使得传动轴21、22围绕相应的旋转轴线23转动，其中，在多于一个传动轴21、22的情况下，且在用于驱动传动轴的分开的电动机情况下，需要使得这些传动轴的转动相应地同步。
也可以只存在一个驱动电动机，该驱动电动机通过相应的传动元件例如齿带使得两个传动轴21、22围绕其相应的旋转轴线23转动。在给每个传动轴采用自己的驱动电动机的情况下，采用这种方式的机械的同步是可考虑且可行的。
为了使得移动部件13进而使得阀杆9和封闭件4平行于纵向移位方向14移动，以便使得封闭件4在打开位置与中间位置之间移位，采用了纵向移动凸轮传动机构。这些纵向移动凸轮传动机构分别包括在相应的传动轴21、22的纵向延展的第一区段中构造的纵向移动凸轮件31，以及包括与相应的纵向移动凸轮件31配合作用的、设置在移动部件13上的纵向移动接合件32。在该实施例中，该纵向移动接合件由固定在移动部件13中的销32a构成，滚子32b围绕垂直于旋转轴线23的轴线可转动地安置在所述销上。原则上也可以省去滚子32b，销可以滑动地在纵向移动凸轮件31中引导。
相应的纵向移动凸轮件31由槽构成，该槽螺旋线形地围绕传动轴21、22的圆周伸展。滚子32b插入到该槽中，且可以在槽边沿上滚动，或者替代地插入销。代替这种凹槽凸轮(Nutkurve)，也可以存在凸起凸轮，相应地构造的接合件与该凸起凸轮配合作用。相应的纵向移动凸轮件31与同其配合作用的纵向移动接合件32一起形成了相应的汽缸凸轮传动机构。
由纵向移动凸轮件31构成的凸轮除了具有区段31a(该凸轮在该区段中相对于纵向移位方向14具有坡度)外，还具有无坡度的区段31b。如果纵向移动接合件32与区段31a处于接合中，则在传动轴21、22转动时，纵向移动接合件32平行于纵向移位方向14进行移动。如果纵向移动接合件与区段31b处于接合中，则传动轴21、22的转动并不引起纵向移动接合件32的平行于纵向移位方向14的移动。纵向移动接合件32进入到无坡度的区段31b中，如果封闭件4在其从打开位置朝向中间位置移位时在移位路程末端到达中间位置。
在该实施例中，由纵向移动凸轮件31构成的凸轮在区段31a内围绕传动轴21、22的圆周延展不到360°，其中该凸轮沿所述区段具有坡度。该凸轮(相对于纵向移位方向14)以一坡度沿着区段31a伸展，该区段31a例如延伸经过180°至320°。因此，为了使得封闭件4从打开位置移位至中间位置，需要使得相应的传动轴21、22转动不到360°。相应的传动轴21、22的该转动角度因而例如处于180°至320°的范围内。
为了使得移动部件13进而使得阀杆9和封闭件4平行于横向移位方向15移动，以便使得封闭件4在其中间位置与其关闭位置之间移位，采用了横向移动凸轮传动机构。在该实施例中，相应的横向移动凸轮传动机构包括在相应的传动轴21、22的纵向延展的第二区段中构造的第一和第二横向移动凸轮件33、34。设置在移动部件13上的第一和第二横向移动接合件35、36与第一和第二横向移动凸轮件33、34配合作用。
第一和第二横向移动凸轮件33、34构造成凸轮盘的形式，它们的外表面与横向移动接合件35、36配合作用，其中，横向移动凸轮件33、34的外表面在与横向移动接合件35、36配合作用的区域中改变其在围绕旋转轴线23的圆周方向上的距离。横向移动凸轮件33、34也可以称为凸轮盘。
第一横向移动凸轮件33与第一横向移动接合件35配合作用，以便使得封闭件4从中间位置移位至关闭位置。第二横向移动凸轮件34与第二横向移动接合件36配合作用，以便使得封闭件4从关闭位置移位至中间位置。
在第一横向移动凸轮件33与第一横向移动接合件35之间存在滚动接触，其中压紧力通过所述第一横向移动接合件传递，所述压紧力使得封闭件4在关闭位置顶压到阀座5上。为此，这些第一横向移动接合件35各有一个滚子35b，该滚子借助支座35a和保持在支座35a上的轴向销35c围绕平行于旋转轴线23的轴线可转动地安置。但也可以在相应的第一横向移动凸轮件33与相应的第一横向移动接合件35之间存在滑动接触。在所示实施例中，在相应的第二横向移动凸轮件34与相应的第二横向移动接合件36之间存在滑动接触。但也可以在这些部分之间形成滚动接触。
第一和第二横向移动接合件35、36因而分别形成双凸轮盘。但也可以分别仅设置一个单独的凸轮盘，该凸轮盘与一个单独的接合件配合作用，其中，凸轮件与接合件之间的接触通过弹簧得以保持，从而可以实现在平行于横向移位方向的两个方向上进行移位。该弹簧在此例如可以沿打开方向起作用。
封闭件4在打开状态下处于打开位置，为了从所述打开状态关闭真空阀，传动轴21、22沿相应的关闭转动方向38、39转动。在该实施例中，这些传动轴21、22的关闭转动方向相反地朝向。但这些传动轴21、22的关闭转动方向38、39也可以相同地朝向。
在封闭件4的打开位置，参照纵向移位方向14，第一横向移动接合件35与第一横向移动凸轮件33间隔开，以及第二横向移动接合件36与第二横向移动凸轮件34间隔开。在封闭件4的从打开位置到中间位置的移位路程快要结束时，第一横向移动接合件35才(参照纵向移位方向14)与第一横向移动凸轮件33处于搭叠中，第二横向移动接合件36才(参照纵向移位方向14)与第二横向移动凸轮件34处于搭叠中。在传动轴21、22沿相应的关闭转动方向38、39进一步转动时，封闭件4并不沿纵向移位方向14进行进一步的移位，因为纵向移动接合件32现在位于纵向移动凸轮件31的曲线的无坡度的区段31b的区域中。在传动轴21、22的沿相应的关闭转动方向38、39的这种进一步转动情况下，第一横向移动凸轮件33使得第一横向移动接合件35平行于横向移位方向15移动，由此使得封闭件4从中间位置移动至关闭位置，并顶压到阀座5上。
如果在封闭件4的关闭位置传动轴21、22分别沿与相应的关闭转动方向38、39之一相反的打开转动方向转动，则首先第二横向移动凸轮件34使得第二横向移动接合件36平行于横向移位方向15移动，由此使得封闭件4从关闭位置移位至中间位置。如已述，代替第二横向移动凸轮件34和第二横向移动接合件36，可以存在至少一个弹簧，在传动轴21、22的所述转动情况下，该弹簧使得纵向移动接合件32保持贴靠在纵向移动凸轮件31上，并使得封闭件4从关闭位置移位至中间位置。在传动轴21、22沿相应的打开转动方向进一步转动时，纵向移动接合件32进入到纵向移动凸轮件31的曲线的区段31a中，在这些区段中相对于纵向移位方向14存在坡度，并且，封闭件4进行从中间位置到打开位置的移位。
另一种可能的改型规定，省去第一横向移动凸轮件33和第一横向移动接合件35，并且，至少一个关闭弹簧使得第二横向移动接合件36保持贴靠在第二横向移动凸轮件34上，封闭件4从中间位置移位至关闭位置，如果传动轴21、22沿关闭转动方向转动的话。
如果纵向移动接合件32位于无坡度的区段31b中，也可以使得纵向移动凸轮件31相对于纵向移动接合件32平行于横向移位方向15相对移动。为此，在该方向上在传动轴21、22与移动部件13的被这些传动轴穿过的贯穿开口37之间设置了相应的间隙s，参见图6。
因而在中间位置、关闭位置和全部位于它们之间的位置，至少一个横向移动接合件35、36与指配的横向移动凸轮件33、34处于接合中。
也可考虑且可行的是，省去纵向移动凸轮件的无坡度的区段31b，纵向移动接合件32在封闭件4的从打开位置到中间位置的移位路程末端脱离与纵向移动凸轮件的接合。例如，纵向移动凸轮件31在此可以只具有沿区段31a伸展的凸起凸轮，纵向移动接合件32被沿打开方向起作用的弹簧顶压在所述凸起凸轮的一个侧边沿上，其中，移动部件13在封闭件4到达中间位置时借助卡锁机构被保持住，以防由该弹簧引起移动(但在此可沿横向移位方向15移动)，该卡锁机构在封闭件从关闭位置复位至中间位置时才又松开。
阀杆9参照纵向移位方向14在离开封闭件4朝向的方向上延伸越过移动部件13所在的区域。在其纵向延伸的该区段中，优选在其离开封闭件4的端部的区域中，阀杆9在封闭件4的关闭位置支撑在阀体固定地保持的支撑部件42上。支撑部件42参照横向移位方向15位于阀杆9的与阀座5相同的一侧。通过对阀杆9的这种支撑，作用到移动部件13的引导机构上的力矩减小了，优选至少基本上消除了(如果移动部件13位于阀杆9的中间，如优选的那样)。支撑部件42最好弹性地构造，优选具有类似于密封圈6的弹性。
在所示实施例中，对于相应的传动轴21、22还存在固定装置40，传动轴21、22的转动可以被该固定装置锁定。由此例如可以将传动轴21、22的转动锁定，如果封闭件4处于关闭位置的话。由此也可以在驱动电动机25、26的工作媒介失灵情况下将真空阀的关闭状态固定，所述工作媒介在该实施例中因而由电能构成。固定装置40在该实施例中具有齿轮41，该齿轮与传动机构的齿轮28处于啮合中。固定装置40的锁定件可以由驱动电动机25、26的工作媒介克服弹簧的力相距与齿轮41连接的轴保持间隔，且在工作媒介失灵时被弹簧顶压到轴上。这在附图中未具体示出。封闭件4因而可以在驱动电动机25、26的工作媒介失灵情况下固定在它刚刚所处的位置上。
这种固定装置也可以直接与被驱动电动机驱动的电动机轴配合作用。
原则上也可以存在两个以上的被至少一个驱动电动机驱动的传动轴21、22或者只有一个单独的被驱动电动机驱动的传动轴。如果只有一个单独的传动轴，则它有利地参照垂直于纵向移位方向14且垂直于横向移位方向15的方向相对于封闭件4居中地布置(即在该实施例中布置在阀杆9之前或之后)，以便可以将封闭件4的压紧力居中地施加到阀座5上。
代替一个单独的阀杆9，也可以设置两个或多个平行的阀杆9，这些阀杆共同地承载封闭件4。
至少一个驱动电动机也可以直接地、在无中间连接的传动机构情况下驱动至少一个传动轴。
在不偏离本发明的范畴情况下，所示实施例的不同的其它改型是可考虑且可行的。
图29示出横向移动凸轮传动机构的一种可能的改型的构造或相应的横向移动凸轮传动机构。该横向移动凸轮件43在此构造成带有引导槽43a的轮盘的形式，横向移动接合件44插入到该引导槽中，如果封闭件4参照纵向移位方向14移动至一位置，该封闭件在中间位置和关闭位置(且在所有位于其间的位置)处于该位置。横向移动接合件44可以由销构成，或者由带有可转动地安置于其上的滚子的销构成。
在封闭件从中间位置朝向打开位置移动时，横向移动接合件44又脱离与横向移动凸轮件43的接合。
在图30和31中示出了另一实施例。撇开下述区别不看，该设计相应于根据图1至28的实施例，此外，针对根据图1至28的实施例的说明也适用于根据图30和31的实施例，就像所述可能的变型一样。
在根据图1至28的实施例中，移动部件13通过平行于纵向移位方向14的引导件与平行于横向移位方向15的引导件连接，而在根据图30和31的实施例中，移动部件13通过平行于横向移位方向15的引导件与平行于纵向移位方向14的引导件连接。
在此，纵向引导杆16相对于承载体20固定，滑块45沿着纵向引导杆16平行于纵向移位方向14可移动地引导。由此，纵向引导杆16与滑块45的被这些引导杆沿着地引导的引导元件一起形成纵向直线引导件。滑块45本身平行于横向移位方向15引导着移动部件13。为此设置了相应的横向直线引导件。在根据图30和31的实施例中，这些横向直线引导件由刚性地与滑块45连接的、平行于横向移位方向15朝向的横向引导杆46构成，移动部件13的引导套47可移动地被所述横向引导杆引导。移动部件13在此参照纵向移位方向14相对于滑块45不可移动地被保持住。
也可以设置至少一个采用其它方式构造的纵向直线引导件和/或横向直线引导件。
与纵向移动凸轮件31处于接合中的纵向移动接合件在该实施例中设置在滑块45上。在图30和31中，这些纵向移动接合件看不到，但可以完全类似于根据图1至28的实施例中那样构造。
对于根据图1至28的实施例，横向移动接合件35、36设置在移动部件13上，其中，这里的两个横向移动接合件具有围绕轴向销可转动地安置的滚子。
通过根据图30和31的构造，可以平行于纵向移位方向和横向移位方向14、15非常稳定地引导移动部件13。
在该实施例中，当封闭件在中间位置与关闭位置之间移位时，滑块进而纵向移动接合件(其位于相应的纵向移动凸轮件31的无坡度的区段31b中)并不平行于横向移位方向进行移动。但在该实施例中，把纵向移动凸轮件直接设置在移动部件13上也是可考虑且可行的。
附图标记清单
1阀体 31a区段
2阀开口 31b区段
3轴线 32纵向移动接合件
4封闭件
5阀座 32a销
6密封圈 32b滚子
7内腔 33第一横向移动凸轮件
8开口
9阀杆 34第二横向移动凸轮件
10纵轴线
11波纹管 35第一横向移动接合件
12连接件
13移动部件 35a支座
14纵向移位方向 35b滚子
15横向移位方向 35c轴向销
16纵向引导杆 36第二横向移动接合件
17引导套
18横向引导杆 37贯穿开口
19引导套 38关闭转动方向
20承载体 39关闭转动方向
21传动轴 40固定装置
22传动轴 41齿轮
23旋转轴线 42支撑部件
24滚动轴承 43横向移动凸轮件
25驱动电动机 43a引导槽
26驱动电动机 44横向移动接合件
27齿轮
28齿轮 45滑块
29齿轮 46横向引导杆
30齿轮 47引导套
31纵向移动凸轮件

Claims (11)

1.一种真空阀，包括：
-阀体(1)，阀体带有被阀座(5)包围的阀开口(2)，阀开口具有轴线(3)；
-封闭件(4)，该封闭件能平行于纵向移位方向(14)在打开位置与中间位置之间移位，该封闭件在打开位置将阀开口(2)释放，该封闭件在中间位置遮盖阀开口(2)、但从阀座(5)提升离开，并且，该封闭件能平行于横向移位方向(15)在中间位置与关闭位置之间移位，该封闭件在关闭位置贴靠在阀座(5)上；
-承载着封闭件(4)的阀杆(9)，该阀杆能平行于纵向移位方向(14)以及平行于横向移位方向(15)移动地安置；
-与阀杆(9)刚性地连接的移动部件(13)；和
-驱动电动机(25、26)，为了使得封闭件(4)在打开位置、中间位置和关闭位置之间移位，由该驱动电动机能使得传动轴(21、22)围绕平行于纵向移位方向(14)的旋转轴线(23)转动，
其特征在于，所述传动轴(21、22)在第一区段中具有纵向移动凸轮传动机构的纵向移动凸轮件(31)，且在第二区段中具有横向移动凸轮传动机构的横向移动凸轮件(33、34、43)，其中，为了使得封闭件在打开位置与中间位置之间移位，该纵向移动凸轮件与纵向移动凸轮传动机构的纵向移动接合件(32)配合作用，纵向移动接合件与移动部件(13)平行于纵向移位方向(14)不可移动地连接，为了使得封闭件在中间位置与关闭位置之间移位，该横向移动凸轮件与横向移动凸轮传动机构的横向移动接合件(35、36、44)配合作用，横向移动接合件与移动部件(13)平行于横向移位方向(15)不可移动地连接。
2.如权利要求1所述的真空阀，其特征在于，为了使得阀杆(9)平行于纵向移位方向(14)且平行于横向移位方向(15)可移动地安置，将移动部件(13)相对于与阀体(1)刚性地连接的承载体(20)平行于纵向移位方向(14)且平行于横向移位方向(15)可移动地安置。
3.如权利要求2所述的真空阀，其特征在于，设置有用于移动部件(13)的至少一个纵向直线引导件，该纵向直线引导件使得移动部件(13)平行于纵向移位方向(14)可移动地安置，并通过至少一个横向直线引导件平行于横向移位方向(15)可移动地安置。
4.如权利要求2所述的真空阀，其特征在于，平行于横向移位方向(15)不可移动的滑块(45)借助至少一个纵向直线引导件平行于纵向移位方向(14)可移动地安置，该滑块使得移动部件(13)平行于横向移位方向(15)可移动地安置，其中，移动部件(13)相对于滑块(45)平行于纵向移位方向(14)不可移动地被保持住。
5.如权利要求1至4中任一项所述的真空阀，其特征在于，横向移动凸轮件(33、34)构造成带有外表面的凸轮盘的形式，用于引导横向移动接合件(35、36)，或者，横向移动凸轮件(43)具有引导槽(43a)，用于形成横向移动接合件(44)的槽引导。
6.如权利要求5所述的真空阀，其特征在于，传动轴(21、22)在第二区段中具有第一和第二横向移动凸轮件(33、34)，它们形成双凸轮盘，并与第一和第二横向移动接合件(35、36)配合作用。
7.如权利要求1至4中任一项所述的真空阀，其特征在于，由纵向移动凸轮件(31)构成的凸轮具有无坡度的区段(31b)，其中，在封闭件(4)的从打开位置到中间位置的移位结束时，纵向移动接合件(32)进入到所述无坡度的区段(31b)中。
8.如权利要求1至4中任一项所述的真空阀，其特征在于，纵向移动凸轮传动机构是汽缸凸轮传动机构。
9.如权利要求1至4中任一项所述的真空阀，其特征在于，所述真空阀具有由所述驱动电动机或者相应的驱动电动机(25、26)可围绕相应的旋转轴线(23)转动的第一和第二传动轴(21、22)，这些传动轴分别在第一区段中具有纵向移动凸轮传动机构的纵向移动凸轮件(31)，且在第二区段中分别具有相应的横向移动凸轮传动机构的横向移动凸轮件(33、34)，其中，该纵向移动凸轮件分别与相应的纵向移动凸轮传动机构的纵向移动接合件(32)配合作用，该横向移动凸轮件分别与相应的横向移动凸轮传动机构的横向移动接合件(35、36)配合作用。
10.如权利要求1至4中任一项所述的真空阀，其特征在于，所述阀杆(9)具有平行于纵向移位方向(14)的纵轴线(10)。
11.如权利要求1至4中任一项所述的真空阀，其特征在于，存在有固定装置(40)，能由该固定装置将传动轴(21、22)围绕旋转轴线(23)的转动锁定。
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