CN114616414A - 真空阀 - Google Patents

Abstract

一种真空阀，包括：阀体(1)；封闭构件(4)；至少一个承载所述封闭构件(4)的阀杆(9)；至少一个引导块(15a、15b)，所述至少一个阀杆(9)平行于所述纵向移调方向(13)可移动地被该引导块引导；纵向行程驱动器(17)，由该纵向行程驱动器可使得所述至少一个阀杆(9)相对于所述至少一个引导块(15a、15b)平行于所述纵向移调方向(13)移动；横向行程驱动器(23)；和至少一个不同于横向行程驱动器(23)的滑动部件(24)，该滑动部件由至少一个主级线性引导件(26)相对于所述阀体(1)可移动地予以引导，并且由至少一个次级线性引导件(27)相对于所述至少一个引导块(15a、15b)可移动地予以引导。所述主级和次级线性引导件(26、27)相对于所述纵向移调方向(13)分别具有小于45°的角度，并且，所述主级线性引导件(26)与所述次级线性引导件(27)夹成大于3°且小于45°的角度。

Description

真空阀

技术领域

本发明涉及一种真空阀，包括：阀体，该阀体带有被阀座包围的阀开口；封闭构件，该封闭构件在打开位置和中间位置之间平行于纵向移调方向可移调，并且在中间位置和关闭位置之间平行于横向移调方向可移调，封闭构件在打开位置打开阀开口，封闭构件在中间位置覆盖阀开口但抬离阀座，封闭构件在关闭位置抵靠在阀座上；至少一个阀杆，该阀杆承载封闭构件并且平行于纵向移调方向；至少一个引导块，所述至少一个阀杆平行于纵向移调方向可移动地被该引导块引导；纵向行程驱动器，为了使得封闭构件在打开位置和中间位置之间移调，由该纵向行程驱动器可使得至少一个阀杆相对于至少一个引导块平行于纵向移调方向移动；横向行程驱动器，为了使得封闭构件在中间位置和关闭位置之间移调，由该横向行程驱动器可使得至少一个引导块平行于横向移调方向移动。

背景技术

真空阀也称为L型阀，其中，为了关闭真空阀，封闭构件首先沿平行于阀杆的纵向移调方向从打开位置移动到中间位置，在该中间位置，封闭构件覆盖阀开口但仍抬离阀座，然后在与纵向移调方向成角度的横向移调方向上贴靠在阀座上。

在L型阀的非通用的构造方式中，阀杆围绕垂直于纵向移调方向的轴线可枢转地安置，以便能够实现使得阀板从其中间位置移调到其关闭位置和返回。为了使得阀杆围绕轴线枢转，这里可以采用连杆引导件，例如由US 6,237,892 B1,US 7,066,443 B2或US2012/0258242 A1已知。

在L型阀的情况下，为了使得封闭构件在中间位置和关闭位置之间移调，封闭构件在与纵向移调方向成角度的尤其是垂直的横向移调方向上进行平行移动，根据常规的实施方式，为了使得封闭构件在中间位置和关闭位置之间移调，在承载封闭构件的承载单元上设置了驱动部件，其中，承载单元位于真空阀的阀壳体内，并安置在从真空阀的真空区域中伸出的阀杆上。L型阀的这种设计例如从US 6,056,266 A、US 6,899,316 B2、US 7,611,122B2、US 6,056,266 A、US 7,611,122 B2和US 8,177,190 B2可知。

开篇所述类型的阀从WO 2010/034046 A1、WO 2015/139818 A1、WO 2014/075757A1和US 9,732,860 B2可知。它们是L型阀，封闭构件在中间位置和关闭位置之间线性地移动，其中，无论用于使得封闭构件在打开位置和中间位置之间移调的驱动器，还是用于使得封闭构件在中间位置和关闭位置之间移调的驱动器，均布置在真空阀的真空区域之外。

在由WO 2010/034046 A1已知的真空阀中，在真空区域之外有一个引导件，该引导件支撑阀杆，使得它可在纵向移调方向上移动，该引导块还具有用于纵向行程驱动器的活塞的气缸室，并且可在与纵向移调方向垂直的横向移调方向上线性地移动，其中，该直线移动通过在该方向上作用的活塞-气缸单元来进行。类似的真空阀从WO2015/139818A1中可知。

在从WO 2014/075757 A1已知的真空阀的情况下，在真空区域之外在阀杆上安置了块体，该块体在纵向移动方向上可移动地由具有杆状引导部件的引导块予以引导。这些杆状引导部件可在与纵向移调方向垂直的横向移调方向上移动，确切地说，借助由活塞-气缸单元形成的横向行程驱动器移动。与块体连接的活塞-气缸单元用于沿纵向移调方向移动阀杆。

US 7,762,527 B2还公开了L型阀的实施方式，其中，用于使得封闭构件在纵向移调方向和横向移调方向上线性移调的驱动器布置在真空阀的真空区域之外。一种可能的设计在此规定，用于使得封闭构件在纵向移调方向上移调的活塞-气缸单元，相对于阀体通过线性引导件在与纵向移调方向垂直的横向移调方向上可移动地安置。

由WO 2016/142150 A1可知一种真空阀，其中，在真空区域之外安置在阀杆上的块体，可通过安置在该块体两侧的线性引导件，平行于纵向移调方向移动，确切地说，通过作用在块体上的活塞-气缸单元移动。这些线性引导件本身由安置在它们两侧的相对于纵向和横向移调方向倾斜的另外的线性引导件可移动地予以引导，其中，这些另外的线性引导件的移动通过另外的活塞-气缸单位进行。类似的具有这种彼此相对倾斜的线性引导件的真空阀，也由US 10,234,059B2和US 9,957,745 B2可知，其中，在提到的第一个文献中，两个阀板可以交替地抵靠在相对的阀座上，以关闭相对的阀开口，而在提到的第二个文献中，只有一个驱动器，并且，这些线性引导件的运动耦合通过耦合弹簧来进行，这些耦合弹簧在安置于阀杆上的块体抵靠在止挡上之后被压在一起。

已知有其他类型的真空阀，这些真空阀具有在真空阀关闭时被压入阀座的楔形表面中的楔形封闭构件，例如参见WO 2011/088482 A1、DE 2013/006123 A1、US 9,664,293B2和WO 2017/025329 A1，或具有带有两个板的封闭构件，该两个板具有倾斜表面并且可通过与这些倾斜表面配合作用的部件而彼此相对扩张，例如参见US 4,560,141 A、US 4,052,036A和US 4,470,576 A。

由AT 511 372 A1可知一种真空阀，其中，封闭构件可在关闭方向上从打开位置直线地移调到关闭位置。安置在封闭构件两侧的阀杆在此从封闭构件沿关闭方向延伸，即封闭构件在打开位置处于阀开口的远离驱动器的一侧。

发明内容

本发明的目的是，提供一种开头所述类型的真空阀，其中，可按有利的方式施加相对大的关闭力。根据本发明，这通过一种具有权利要求1的特征的真空阀来实现。

在根据本发明的真空阀中，至少一根阀杆由至少一根引导块平行于纵向移调方向可直线移动地予以引导。纵向行程驱动器用于使得至少一个阀杆相对于至少一个引导块平行于纵向移调方向移动。横向行程驱动器用于使得至少一个引导块平行于横向移调方向直线移动，该横向移调方向与纵向移调方向成一定角度，优选成直角。为此设置了至少一个滑动部件，该滑动部件由主级线性引导件(Primaer-Linearfuehrung)相对于阀体可直线移动地予以引导，并且由次级线性引导件(Sekundaer-Linearfuehrung)相对于至少一个引导块可直线移动地予以引导。主级和次级线性引导件相对于纵向移调方向分别具有小于45°、优选小于25°的角度，并且彼此夹成大于3°、优选大于4°且小于45°、优选小于25°的角度。为了使得封闭构件在中间位置和关闭位置之间移调，由横向行程驱动器使得至少一个滑动部件移动。结果，至少一个引导块和因此至少一个阀杆平行于横向移调方向直线移动，由此将封闭构件压靠到阀座上。

由于本发明的真空阀可施加高的关闭力，真空阀可以有利地具有相对大的阀开口。

在本发明的有利实施方式中，封闭构件在打开位置中处于阀开口的远离纵向行程和横向行程驱动器的一侧。因此，封闭构件可以在中间位置和关闭位置中相对靠近至少一个引导块，由此在封闭构件压靠到阀座上时通过至少一个引导块的横向位移可以获得有利的杠杆比。

为了通过至少一个引导块可移动地引导至少一个阀杆，有益地规定，相应的阀杆穿过相应的引导块的开口。在一个有利的实施方式中，存在有两个阀杆，这些阀杆在它们的一端与封闭构件连接，优选地通过把这些阀杆连接起来的支撑架而连接，并且在它们的另一端通过轭连接。纵向行程驱动器有利地作用在该轭上，其中，纵向行程驱动器的至少一个可在纵向移调方向上运动的驱动部件优选地与轭连接，使得该驱动部件可相对于轭在横向移调方向上运动。纵向行程驱动器、即纵向行程驱动器的至少一个壳体部分，于是可以与阀体刚性连接。

有利地，主级线性引导件平行于纵向移调方向。横向行程驱动器，即横向行程驱动器的至少一个壳体部分，于是可以与阀体刚性连接。

在本发明的一个优选实施方式中，设置了两个滑动部件，这些滑动部件分别由主级线性引导件相对于阀体可移动地予以引导，以及分别由次级线性引导件相对于该引导块或相应的引导块可移动地予以引导，以及通过轭而连接，横向行程驱动器作用在该轭上。

为了在与封闭构件相对的端部区域中引导至少一个阀杆，有利地设置至少一个纵向线性引导件，该纵向线性引导件固定在阀体上并且平行于纵向移调方向。在此设置至少一个连接部件，其使得至少一个阀杆能够平行于横向移调方向运动。例如，该连接部件可以是板簧。该板簧的表面法线在此与纵向移调方向成直角。

如果在本文中谈到线性引导件的位置或线性引导件所处的角度，则这是指一个方向，平行于该方向，直性引导件的滑架可在线性引导件的引导部件中移动。

作为用于主级和/或次级线性引导件和/或纵向线性引导件的线性引导件，可以有利地采用导向轨，即滑架可沿其移动的引导部件由导轨构成。特别地，线性引导件的滑架可以相对于导轨安置在滚动体上，例如通过滚动体环绕引导件或通过安置在滚子保持架中的滚动体。原则上，滑架也可以相对于导轨滑动地引导。优选地，可以使用传统的线性引导件，其比如在机械制造中作为标准部件大量使用。这种线性引导件价格便宜、运行平稳，并且具有小的游隙或没有游隙(通过对它们予以预加载)。

也可设想且可行的是，使用以其它形式设计的线性引导件，例如波形引导件形式的设计，其中，引导部件由特别是圆形横截面的杆构成。使用至少一个引导轨道的设计也是可想到且可行的，至少一个引导凸起部(销或滚子)伸入到该引导轨道中，即采用连杆引导件方式的设计。引导轨道例如可以由长孔、槽或隆起构成。

附图说明

下面参照附图解释本发明的其它优点和细节。其中：

图1和图2是根据本发明的一个实施例的真空阀在封闭构件的打开位置从不同观察方向观察的斜视图；

图3和图4是在封闭构件的打开位置的正视图和侧视图；

图5是沿图4的A-A线的剖面图；

图6是沿图3的B-B线的剖面图；

图7是沿图5的C-C线的剖面图；

图8是沿图3的D-D线的剖面图；

图9至12是与图5至8的剖面图对应的剖面图，但处于封闭构件的中间位置；

图13至16是与图5至8的剖面图对应的剖面图，但处于封闭构件的关闭位置；

图17是分解图(为了清楚，省略了阀壳体和驱动器壳体的部分)；

图18、19和20是在封闭构件的打开位置、中间位置和关闭位置的斜视图，其中阀壳体被移除；

图21、22和23是类似于图18、19和20的从另一观察方向观察的斜视图。

具体实施方式

附图中示出了根据本发明的真空阀的实施例。

真空阀具有阀体1，该阀体具有壁1a，该壁具有带有轴线3的阀开口2。在真空阀的关闭状态下，阀开口2被尤其是板状构造的封闭构件4封闭，该封闭构件于是处于其关闭位置。在封闭构件4的关闭位置，它被压靠到阀座5上，该阀座在面向封闭构件4的一侧包围阀开口2。在真空阀的打开状态下，封闭构件4释放阀开口2，并且封闭构件4于是处于其打开位置。封闭构件4经由中间位置在关闭位置和打开位置之间移调，在该中间位置上，在阀开口2的轴线3的方向上看，封闭构件覆盖阀开口2、但抬离(＝远离)阀座5。

设置在封闭构件4上的弹性密封圈6(例如由FKM或FFKM制成)用于在封闭构件4的关闭位置在阀体1的封闭构件4与具有阀开口2的壁之间密封，并且阀座5具有密封面，密封圈6压靠在该密封面上。

原则上，密封圈6也可以设置在密封座上，并且压靠到封闭构件4的密封面上。

阀体1具有内部空间7，封闭构件4布置在该内部空间中。阀体1的该内部空间7构成了真空阀的真空区域(＝能够存在真空的区域)。阀体1在另一壁1b中具有另一开口8，从而形成贯穿阀体1的穿过内部空间7的贯通通道。在该实施例中，该贯通通道沿轴线3的方向直线延伸。

壁1a、1b和包围内部空间7的其他部分，尤其包括底部1c在内，在该实施例中于是共同形成阀体1的阀壳体，该阀壳体具有内部空间7。阀壳体与阀体1的驱动器壳体刚性连接，该驱动器壳体容纳阀驱动器的下述部件。驱动器壳体尤其具有侧颚ld、le。

阀体1可以与真空设备的其他部分例如真空腔和/或管道连接。于是在封闭构件4的打开位置，阀体1的内部空间7通过阀开口2与真空设备的第一部分的内部空间连通，并且内部空间7通过开口8与真空设备的另一部分的内部空间连通。

原则上，真空阀也可以设计成所谓的插入件，其中，阀体1在真空阀的工作状态下可以在真空腔的内部空间中设置在真空腔的壁上，并且相对于它密封，使得阀开口2与在真空腔壁中的开口对齐。于是可以省去真空阀的具有开口8的相对壁。封闭构件4于是也布置在真空阀的真空区域中。

封闭构件4由两个阀杆9承载，在该实施例中，通过把这些阀杆连接起来的支架12予以承载，封闭构件4固定在该支架上。阀杆9穿过在阀体1底部1c中的开口从真空阀的真空区域中引出，其中，这些阀杆在它们的相互平行的纵向轴线10(其平行于纵向移调方向13)的方向上可运动，以及在与其成一定角度的、特别是垂直的横向移调方向14上可运动。在本实施例中，为此使用了波纹管11。原则上也可以为此设置另一种类型的真空贯通件，例如另一种类型的波纹管或直线贯通件，其本身在横向移调方向14上相对于底部lc密封地可移动地安置。

阀杆9通过至少一个引导块15a、15b在其纵向轴线10的方向上、即平行于纵向移调方向13可移动地安置，该引导件位于真空阀的真空区域外，在该实施例中即位于阀壳体外。至少一个引导块15a、15b本身可在横向移调方向14上移调，如将在下面更详细地解释。

在该实施例中，两个阀杆7中的每一个都具有单独的引导块15a、15b。每个引导块15a、15b具有开口用于纵向引导相应阀杆9，相应的阀杆9延伸穿过该开口。引导块15a、15b例如也可以彼此一体地设计，或通过连接件彼此连接。

纵向行程驱动器17用于沿着和逆着纵向移调方向13移调阀杆9。在该实施例中，该纵向行程驱动器由两个活塞-气缸单元构成，它们的壳体刚性地与阀体1连接。例如，纵向行程驱动器也可以仅具有一个单独的活塞-气缸单元，或由以其它方式构造的致动器构成。

在该实施例中，阀杆9在其远离封闭构件4的端部处通过轭16彼此连接。在该实施例中，纵向行程驱动器17作用在轭16上。活塞-气缸单元例如可以配备无杆的活塞，如通常已知的，其中，活塞的运动传递到位于气缸壳体外侧的被驱动的驱动部件18上。连接部件20通过销19与这些驱动部件连接。连接部件20具有内凹20a(例如参见图17)，在轭16下侧上的突起16a(例如参见图6)插入到该内凹中。通过这种方式，可以实现在封闭构件4如下面更详细描述的那样从中间位置移调到关闭位置以及反过来时，使得轭16和因此阀杆9能够相对于纵向行程驱动器17的相应驱动部件18平行于横向移动方向14移动。

在该实施例中，纵向线性引导件21用于支持在纵向移调方向13上可移动地引导阀杆9。这些纵向线性引导件以其静止部分、在该实施例中为轨道形引导部件21a与阀体1刚性连接，并以其可运动的部分、在该实施例中为滑架21b分别通过连接部件22与阀杆9连接，确切地说，在该实施例中与轭16连接。在该实施例中，连接部件22是板簧。因此可以实现阀杆9平行于横向移调方向14移动。

与两个滑动部件24配合作用的横向行程驱动器23用于使得引导块15、15b以及因此也使得阀杆9和由这些阀杆承载的封闭构件4沿着和逆着横向移调方向移调，在该实施例中，横向移调方向平行于阀开口2的轴线3，如优选的那样。两个滑动部件25位于横向行程驱动器23的两侧，并通过轭25相互连接。在该实施例中，横向行程驱动器23由活塞-气缸单元构成，其中，气缸壳体与阀体1刚性地连接。该活塞-气缸单元的活塞杆与轭25连接。例如，也可以为横向行程驱动器23设置两个活塞-气缸单元或至少一个以其它方式设计的致动器。

如图中所示，横向行程驱动器23优选平行于纵向移调方向13起作用。在设计为活塞-气缸单元的情况下，至少一个活塞(在该实施例中存在两个活塞)因而可平行于纵向移调方向13行进。

相应的滑动部件24由相应的主级线性引导件26相对于阀体1线性可移动地予以引导。主级线性引导件的滑架(＝引导滑车)26b在此与滑动部件24刚性连接，并且主级线性引导件的直线伸展的引导部件26a与阀体1刚性连接。在该实施例中，引导部件26a为此固定在相应的侧颚1d、1e上。相反的设计也是可以想到和可能的，其中，引导部件26a与滑动部件24刚性连接，并且滑架24b与阀体刚性连接。

此外，相应的滑动部件24由相应的次级线性引导件27相对于相应的引导块15a、15b可线性移动地予以引导。在该实施例中，次级线性引导件的直线伸展的引导部件27为此与滑动部件24刚性连接，并且次级线性引导件的滑架(＝引导滑车)27b与相应的引导块15a、15b刚性连接。相反的设计也是可以想到和可能的，即滑架27b与滑动部件24刚性连接，并且引导部件27a与相应的引导块15a、15b刚性连接。

彼此平行的主级线性引导件26与彼此平行的次级线性引导件27夹成大于3°且小于45°的角度28(在图12中示出)。优选地，角度28在5°至20°的范围内。

主级线性引导件26和次级线性引导件27在此位于由纵向移调方向13和横向移调方向14张成的平面中。

主级和次级线性引导件26、27的引导方向因此彼此呈楔形，其中，该楔形的尖端优选地位于线性引导件26、27的面向封闭构件4的一侧上。

在该实施例中，主级线性引导件26平行于纵向移调方向13。

在修改的实施方式中，主级线性引导件26与纵向移调方向13成一定角度的朝向也是可以想到和可能的。于是，次级线性引导件27可以平行于纵向移调方向13布置，或同样与纵向移调方向13成一定角度地布置(但在任何情况下相对于主级线性引导件26呈楔形)。然而，主级和次级线性引导件26、27相对于纵向移调方向13布置的角度在任何情况下都小于45°，优选地小于25°。

在该实施例中，两个滑动部件24位于两个阀杆9之间。

为了关闭真空阀，从图1至8所示的打开位置开始，其中封闭构件4处于打开位置，封闭构件4通过纵向行程驱动器17首先在纵向移调方向13上移动，直到该封闭构件到达其在图9至图12中示出的中间位置。

在打开位置，在该实施例中，封闭构件4位于阀开口2的远离驱动器的一侧，即，阀杆9在纵向移调方向上从封闭构件4突出，在该纵向移调方向上，封闭构件从打开位置移调到中间位置。换言之，封闭构件4通过作用到阀杆9上的拉力从打开位置移调到中间位置，并且通过作用到阀杆9上的推力从中间位置移调到打开位置。

为了将封闭构件从中间位置移调到关闭位置，在该关闭位置，真空阀被关闭，并且该关闭位置在图13至16中示出，由横向行程驱动器23使得滑动部件24从起始位置线性地移动到终止位置。在此，通过滑动部件24的移动以及相对于彼此呈楔形的主级和次级线性引导件26、27，引导块15、15b在横向移调方向14上进行直线移动。在该实施例中，如已经提到的，滑动部件24相对于阀体1沿纵向移调方向13移动。在主级线性引导件26相对于阀体1倾斜时，滑动部件24相对于阀体1在与纵向移动方向成一定角度的倾斜移动方向上进行移动。

真空阀以相反的顺序打开。首先，由横向行程驱动器23使得滑动部件24从终止位置移动到起始位置，其中，引导块15a、15b逆着横向移调方向14进行线性移调，并且因此封闭构件4逆着横向移调方向14从关闭位置移调到中间位置。结果，阀杆9并且因此封闭构件4通过纵向行程驱动器17逆着纵向移调方向13移动，由此使得封闭构件4从中间位置移调到打开位置。

在不脱离本发明的范围的情况下，所示的该实施例的各种不同的其它修改是可以想到和可能的。于是，封闭构件4例如可以在打开位置处于阀开口2的面向驱动器的一侧(从而封闭构件在从打开位置移调到中间位置时被推动，并且在从中间位置移调到打开位置时被拉动)。

为了使得引导块15a、15b在横向移调方向14上移调，可以只存在一个由横向行程驱动器23加载的滑动部件24，其中，引导块15a、15b可以彼此刚性连接。于是，可以仅存在一个单独的主级线性引导件26和/或一个单独的次级线性引导件27，用于可移动地引导滑动部件26。

可以仅设置一根阀杆来保持封闭构件4，该阀杆可由引导块平行于纵向移动方向移动地安置，其中，可以仅存在一个与引导块配合作用的滑动部件24。

如所提到的，线性引导件21、26、27在该实施例中被设计为轨道引导件，这是优选的。滑架在此具有在两端和朝向纵向侧开口的通道，该通道包围导轨的加宽的头部区域。特别地，通道相对于垂直于导轨的纵向延伸段的横截面具有较大直径的区域(导轨的头部区域位于该区域中)和较小直径的区域(导轨的较窄的颈部区域延伸穿过该区域)。因此，滑架在与导轨的纵向延伸段成直角的所有方向上被形状配合地固定，以防止从导轨上被拉出。

在该实施例中，滑架通道的参照横截面与导轨的纵向延伸段成直角地开放的侧面在主级和次级线性引导件26、27中分别指向一个方向，该方向位于由纵向和横向移调方向13、14张成的平面中。替代地，该方向也可以与这个平面成是一定角度，特别是直角。

也可以设想并且可能的是，以不同方式设计个别的或全部的线性引导件21、26、27，例如设计成波形引导件(其中，设置特别是具有圆形横截面的杆，代替导轨)或连杆引导件的形式。

原则上，纵向线性引导件21也可以省略。

附图标记清单

1 阀体

1a 壁

1b 壁

1c 底部

1d 侧颚

1e 侧颚

2 阀开口

3 轴线

4 封闭构件

5 阀座

6 密封圈

7 内部空间

8 开口

9 阀杆

10 纵向轴线

11 波纹管

12 支架

13 纵向移调方向

14 横向移调方向

15a 引导块

15b 引导块

16 轭

16a 凸起

17 纵向行程驱动器

18 驱动部件

19 销

20 连接部件

20a 内凹

21 纵向线性引导件

21a 引导部件

21b 滑架

22 连接部件

23 横向行程驱动器

24 滑动部件

25 轭

26 主级线性引导件

26a 引导部件

26b 滑架

27 次级线性引导件

27a 引导部件

27b 滑架

28 角度

Claims (15)

1.一种真空阀，包括：

-阀体(1)，该阀体带有被阀座(5)包围的阀开口(2)；

-封闭构件(4)，该封闭构件能在打开位置和中间位置之间平行于纵向移调方向(13)移调，以及能在所述中间位置和所述关闭位置之间平行于横向移调方向(14)移调，所述封闭构件在所述打开位置处释放所述阀开口(2)，所述封闭构件在所述中间位置覆盖所述阀开口(2)、但抬离所述阀座(5)，所述封闭构件在所述关闭位置抵靠在所述阀座(5)上；

-至少一个阀杆(9)，该阀杆承载所述封闭构件(4)并且平行于所述纵向移调方向(13)；

-至少一个引导块(15a、15b)，所述至少一个阀杆(9)平行于所述纵向移调方向(13)可移动地被该引导块引导；

-纵向行程驱动器(17)，为了使得所述封闭构件(4)在所述打开位置和所述中间位置之间移调，能由该纵向行程驱动器使得所述至少一个阀杆(9)相对于所述至少一个引导块(15a、15b)平行于所述纵向移调方向(13)移动；

-横向行程驱动器(23)，为了使得所述封闭构件(4)在所述中间位置和所述关闭位置之间移调，能由该横向行程驱动器使得所述至少一个引导块(15a、15b)平行于所述横向移调方向(14)移调，

其特征在于，设置有至少一个滑动部件(24)，该滑动部件由至少一个主级线性引导件(26)相对于所述阀体(1)可移动地予以引导，并且由至少一个次级线性引导件(27)相对于所述至少一个引导块(15a、15b)可移动地予以引导，其中，所述主级和次级线性引导件(26、27)相对于所述纵向移调方向(13)分别具有小于45°的角度，并且，所述至少一个主级线性引导件(26)与所述至少一个次级线性引导件(27)夹成大于3°且小于45°的角度，其中，为了使得所述至少一个引导块(15a、15b)平行于所述横向移调方向(14)移调，能够由所述横向行程驱动器(23)使得所述至少一个滑动部件(24)移动。

2.根据权利要求1所述的真空阀，其特征在于，所述至少一个主级线性引导件(26)平行于所述纵向移调方向(13)，所述至少一个滑动部件(24)通过所述横向行程驱动器(23)平行于所述纵向移调方向(13)进行移动。

3.根据权利要求1或2所述的真空阀，其特征在于，所述纵向行程驱动器(17)与所述阀体(1)刚性连接，并且所述纵向行程驱动器(17)的至少一个可运动的驱动部件(18)在所述横向移调方向(14)上可运动地与所述至少一个阀杆(9)连接。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的真空阀，其特征在于，设置有两个阀杆(9)，所述阀杆承载所述封闭构件(4)，并且在远离所述封闭构件(4)的一端通过轭(16)相互连接，所述纵向行程驱动器(17)作用在该轭上。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的真空阀，其特征在于，所述至少一个引导块(15a、15b)分别具有被所述阀杆(9)穿过的开口，用于可移动地引导相应的阀杆(9)。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的真空阀，其特征在于，设置有第一和第二滑动部件(24)，它们各自由至少一个主级线性引导件(26)相对于所述阀体(1)可移动地予以引导，并且各自由至少一个次级线性引导件(27)相对于所述至少一个引导块(15a、15b)可移动地予以引导，并通过轭(25)连接，所述横向行程驱动器(23)作用在该轭上。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的真空阀，其特征在于，所述横向行程驱动器(23)与所述阀体(1)刚性地连接。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的真空阀，其特征在于，所述纵向行程驱动器(17)具有至少一个活塞-气缸单元，所述横向行程驱动器(23)具有至少一个活塞-气缸单元，并且所述纵向行程驱动器(17)和所述横向行程驱动器(23)的活塞-气缸单元彼此平行。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的真空阀，其特征在于，由所述至少一个次级线性引导件(27)规定的引导方向相对于由所述至少一个主级线性引导件(26)规定的引导方向呈楔形，其中，楔的尖端位于所述主级和次级线性导轨(26、27)的面向所述闭合构件(4)的一侧。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的真空阀，其特征在于，所述至少一个阀杆(9)在所述真空阀的真空区域之外由所述至少一个引导块(15a、15b)可移动地安置。

11.根据权利要求1至10中任一项所述的真空阀，其特征在于，所述封闭构件(4)在所述打开位置处于所述阀开口(2)的远离所述纵向行程和横向行程驱动器(17、23)的一侧。

12.根据权利要求1至11中任一项所述的真空阀，其特征在于，设置有至少一个纵向线性引导件(21)，用于在远离所述封闭构件(4)的端部区域中引导所述至少一个阀杆(9)，其中引导部件(21a)或滑架(21b)与所述阀体(1)刚性连接，并且这两个部件(21a，21b)中的另一个与所述至少一个阀杆(9)连接，其中，设置有至少一个连接部件(22)，该连接部件能够实现使得所述至少一个阀杆(9)平行于所述横向移调方向(14)运动。

13.根据权利要求12所述的真空阀，其特征在于，能够实现使得所述至少一个阀杆(9)平行于所述横向移调方向(14)运动的所述至少一个连接部件(22)是板簧，该板簧具有垂直于所述纵向移调方向的表面法线。

14.根据权利要求1至13中任一项所述的真空阀，其特征在于，所述至少一个主级线性引导件(26)和所述至少一个次级线性引导件(27)与所述纵向移调方向(13)夹成小于25°的角度。

15.根据权利要求14所述的真空阀，其特征在于，所述至少一个主级线性引导件(26)与所述至少一个次级线性引导件(27)夹成大于4°且小于25°的角度(28)。

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