TW202126943A

TW202126943A - 真空閥

Info

Publication number: TW202126943A
Application number: TW109134830A
Authority: TW
Inventors: 湯瑪士布雷夏
Original assignee: 瑞士商Ｖａｔ控股股份有限公司
Priority date: 2019-10-30
Filing date: 2020-10-07
Publication date: 2021-07-16
Also published as: US11815196B2; EP4051937A1; JP2022553905A; US20220373101A1; KR20220085780A; CN114616414A; WO2021083669A1; DE102019129344A1

Abstract

一種真空閥，其包括一閥體(1)、一閉合件(4)、至少一可承載閉合件(4)之閥桿(9)、至少一導引件(15a、15b)，藉由該導引件至少一閥桿(9)可平行於一縱向調節方向(13)進行移動導引、一縱向行程驅動裝置(17)，藉由該縱向行程驅動裝置至少一閥桿(9)可相對於至少一導引件(15a、15b)平行於縱向調節方向(13)進行移動、一橫向行程驅動裝置(23)及至少一可由橫向行程驅動裝置(23)移動之滑動部件(24)，該滑動部件可由至少一第一線性導引裝置(26)相對於閥體(1)進行移動導引，並可由至少一第二線性導引裝置(27)相對於至少一導引件(15a、15b)進行移動導引。第一及第二線性導引裝置(26、27)分別相對於縱向調節方向(13)之角度均小於45°，而第一線性導引裝置(26)與第二線性導引裝置(27)相交形成一夾角大於3°且小於45°之一角度。

Description

真空閥

本發明涉及一種真空閥，其包括一閥體，該閥體具有一由閥座包圍之閥門開口、一閉合件，當該閉合件在一打開位置及一中間位置之間平行於一縱向調節方向進行調節時，該閉合件可在打開位置打開所述閥門開口，而在中間位置可覆蓋該閥門開口且從該閥座上抬起，而當該閉合件在中間位置及關閉位置之間平行於一橫向調節方向進行調節時，該閉合件則可在關閉位置時置於閥座上、至少一可承載閉合件並平行於縱向調節方向之閥桿、至少一導引件，至少一閥桿可由該導引件平行於縱向調節方向進行移動導引、一縱向行程驅動裝置，藉由該縱向行程驅動裝置至少一閥桿可相對於至少一導引件平行於縱向調節方向移動，以利在打開位置及中間位置之間調節閉合件、一橫向行程驅動裝置，藉由該縱向行程驅動裝置其中至少一導引件可平行於橫向調節方向移動，以利在中間位置及關閉位置之間調節閉合件。

在該真空閥中，所述閉合件首先沿平行於閥桿之一縱向調節方向從打開位置移動到中間位置，在此位置上閉合件可覆蓋閥門開口，但仍從閥座上被抬起，隨後在與縱向調節方向成一特定角度之橫向調節方向放置於閥座上，亦可稱為L型閥。

在一非通用之L型閥設計中，閥桿可圍繞一垂直於縱向調節方向之軸線以可樞轉之方式進行安裝，如此可使閥板在其中間位置及關閉位置之間往返移動。為了使閥桿繞軸線樞轉，可使用滑軌導引裝置，例如已由US 6,237,892 B1、US 7,066,443 B2或US 2012/0258242 A1所揭露。

所述L型閥中，為利於在中間位置及關閉位置之間調節閉合件，閉合件可以一特定角度在橫向調節方向上平行移動，特別係與縱向調節方向垂直之方向上，而根據常規之設計，用於在中間位置及關閉位置之間調節閉合件之驅動裝置可配置在一承載閉合件之支撐元件上，該支撐元件位於真空閥之閥殼體內，並與一由真空閥之真空區域延伸之閥桿相接。此類L形閥之設計例如已由US 6,056,266 A、US 6,899,316 B2、US 7,611,122 B2、US 6,056,266 A、US 7,611,122 B2及US 8,177,190 B2所揭露。

所述之閥件類型已由WO 2010/034046 A1、WO 2015/139818 A1、WO 2014/075757 A1及US 9,732,860 B2揭露。此類閥件係一在中間位置及關閉位置之間可線性位移之L形閥，其中用於在打開位置及中間位置之間調節閉合件之驅動裝置，用於在中間位置及關閉位置之間調節閉合件之驅動裝置配置在真空閥之真空區域外。

由WO 2010/034046 A1所揭露之真空閥中，在真空區域之外具有一導引件，該導引件可支撐一閥桿，使其可在縱向調節方向上移動，並具有一用於縱向行程驅動裝置之活塞氣缸室，並且可在垂直於縱向調節方向之橫向調節方向上進行線性移動，此類線性位移可通過作用於該方向上之活塞氣缸單元而實現。WO 2015/139818 A1中亦已揭露類似之真空閥。

由WO 2014/075757 A1所揭露之真空閥中，在真空區域之外部在閥桿上安裝有一塊狀件，該塊狀件通過一具有桿狀導引部件之導引件在縱向調節方向上進行移動導引。所述桿狀導引部件可在垂直於縱向調節方向之橫向調節方向上，特別係通過一由活塞氣缸單元形成之橫向行程驅動裝置進行移動。而閥桿可通過連接至塊狀件之活塞氣缸單元沿縱向調節方向進行移動。

US 7,762,527 B2亦揭露一種L型閥之實施例，其中用於在縱向調節方向及橫向調節方向上對閉合件進行線性調節之驅動裝置，被配置在真空閥之真空區域之外。一種可實現之設計方式為，用於在相對於閥體之縱向調節方向上調節閉合件之活塞氣缸單元可通過一安裝在垂直於橫向調節方向之縱向調節方向上之一線性導引裝置進行移動。

WO 2016/142150 A1所揭露之一真空閥，其中安裝在真空區域外部之閥桿上之一塊狀件可通過安裝在其兩側之線性導引裝置，即通過一與該塊狀件接合之活塞氣缸單元，平行於縱向調節方向移動。此線性導引裝置亦可由從兩側附接至其上之其他線性導引裝置進行移動導引，該線性導引裝置在縱向及橫向調節方向上傾斜，而所述其他線性導引裝置可通過其他活塞氣缸單元進行移動。US 10,234,059 B2及US 9,957,745 B2中亦揭露具有類似此類傾斜之線性導引裝置之真空閥，其中在前者中，兩個閥板可交替放置在相對之閥座上，用於關閉相對之閥孔，而在後者中，僅具有一驅動裝置，所述線性導引裝置運動之聯接係通過聯結彈簧實現，該聯結彈簧在連接到閥桿之一塊狀件啟動後被壓靠在止動件上。

已知其他類型之真空閥，其具有楔形之閉合件，當真空閥關閉時，該楔形閉合件被壓入閥座之楔形表面中，可參見例如，WO 2011/088482 A1、DE 2013/006123 A1、US 9,664,293 B2及WO 2017/025329 A1，或具有兩個板件之閉合件，其中所述板件具有傾斜之表面，而該閉合件可通過與此類板件相互作用之元件而分開，可參見例如，US 4,560,141 A、US 4,052,036 A及US 4,470,576 A。

由AT 511 372 A1所揭露之一種真空閥，在該真空閥中，閉合件可沿關閉方向在直線上從打開位置移動至關閉位置。連接在閉合件兩側之閥桿從閉合件沿關閉方向延伸，即在打開位置上，閉合件位於閥門開口之遠離驅動裝置之一側。

本發明之目的係提供一種前述類型之真空閥，其中可用有利之方式施加較大之關閉作用力。根據本發明，可通過具有申請專利範圍第1項特徵之真空閥進行實現。

根據本發明之真空閥，至少一閥桿由至少一導引件導引，而可平行於縱向調節方向進行線性移動。一縱向行程驅動裝置可用於使至少一閥桿相對於至少一導引件平行於縱向調節方向移動。一橫向行程驅動裝置可用於使至少一平行於橫向調節方向之導引件移動，而橫向調節方向與縱向調節方向成一特定角度，較優為直角。為此，可配置至少一滑動部件，該滑動部件可通過一第一線性導引裝置相對於閥體進行線性移動導引，並通過一第二線性導引裝置相對於至少一導引件進行線性移動。第一及第二線性導引裝置分別相對於縱向調節方向呈現一小於45°之角度，較優為小於25°，且相互之間形成一大於3°，較優為大於4°，且小於45°之角度，較佳為小於25°之角度。為在中間位置及關閉位置之間調節閉合件，至少一滑動部件可通過橫向行程驅動裝置進行移動。因此，至少一導引件及至少一閥桿可平行於橫向調節方向進行線性移動，由此可將閉合件壓向閥座。

由於可在本發明之真空閥中施加較大之關閉作用力，而真空閥較有利地可因此具有較大之閥門開口。

本發明之一有利實施例中，閉合件在打開位置時，位於閥門開口中遠離縱向行程驅動裝置及橫向行程驅動裝置之一側。因此，閉合件可位在相對靠近至少一導引件之中間位置及關閉位置，由此當通過至少一導引件之橫向位移將閉合件壓靠在閥座上時，可實現有利之槓桿比。

為導引至少一閥桿移動穿過至少一導引件，較佳為相應之各閥桿穿過一相應之導引件之開口。一有利之實施例中，具有兩根閥桿，所述兩根閥桿之一端較優為通過連接所述閥桿之支撐架連接到所述閉合件，並在另一端通過一軛架相互連接。而在縱向行程驅動裝置中可在縱向調節方向上移動之至少一驅動部件較佳可由此方式與該軛架連接，使其可相對於軛架在橫向調節方向上移動。隨後，縱向行程驅動裝置，即縱向行程驅動裝置之至少一殼體部件，可固定連接至閥體。

第一線性導引裝置較佳為與縱向調節方向平行。隨後，橫向行程驅動裝置，即橫向行程驅動裝置之至少一殼體部件，可固定連接至閥體。

本發明之一優選實施例中，具有兩滑動部件，其分別通過一第一線性導引裝置相對於閥體進行移動導引，及分別通過一第二線性導引裝置相對於導引件或一任一導引件進行移動導引，並通過一與橫向行程驅動裝置相嚙合之軛架連接。

為在與閉合件相對之端部區域中導引至少一閥桿，可適當配置至少一縱向線性導引裝置，該縱向線性導引裝置可附接到閥體上並與縱向調節方向平行。在此設置至少一連接元件，而該連接元件可使至少一閥桿能平行於橫向調節方向進行移動。該連接元件例如可為一彈簧片。該彈簧片之表面與縱向調節方向成直角。

當在本申請文件中提及一線性導引裝置之位置或線性導引裝置所形成之一角度時，皆與線性導引裝置之一滑動件可在一線性導引裝置之導引部件中平行滑動相關。

線性導引裝置較優為可用作第一及/或第二線性導引裝置及/或縱向線性導引裝置之線性導軌，即滑動件可沿由一導軌所形成之導引部件進行移動。線性導引裝置之滑動件可特別相對於導軌安裝在滾動元件上，例如通過滾動循環導引裝置或通過安裝在保持架中之滾動元件。原則上，亦可實現滑架相對於導軌之滑動導引。可優選使用常規之線性導引裝置，因其在機械工程中被大量使用作為標準組件。此類線性導引裝置成本效益高、運行平穩且間隙小或幾乎無間隙(因已經過預緊)。

線性導引裝置亦可設計成不同形狀，例如設計成一波形導引裝置，其中，導引部件可特別由具有圓形截面之圓桿所形成。此外，亦可通過至少一導軌之設計，其中至少一導引延伸部(插銷或滾輪)與該導軌嚙合相接，即以一滑軌導引之方式進行設計。導軌可由例如一細長孔、一凹槽或一胎圈形成。

1:閥體

1a:壁體

1b:壁體

1c:底座

1d:側支撐壁

1e:側支撐壁

2:閥門開口

3:軸線

4:閉合件

5:閥座

6:密封環

7:內部空間

8:開口

9:閥桿

10:縱向軸線

11:伸縮管

12:托架

13:縱向調節方向

14:橫向調節方向

15a:導引件

15b:導引件

16:軛架

16a:突出部

17:縱向行程驅動裝置

18:驅動部件

19:插銷

20:連接部件

20a:凹部

21:縱向線性導引裝置

21a:導引部件

21b:滑動件

22:連接元件

23:橫向行程驅動裝置

24:滑動部件

25:軛架

26:第一線性導引裝置

26a:導引部件

26b:滑動件

27:第二線性導引裝置

27a:導引部件

27b:滑動件

28:角度

本發明之其他優點及細節可參照下列圖式進行說明：

第1圖及第2圖為本發明之實施例之一真空閥從閉合件在打開位置中不同觀察方向之斜視圖。

第3圖及第4圖為在閉合件之打開位置之正視圖及側視圖。

第5圖為第4圖中之A-A線之截面圖。

第6圖為第3圖中之B-B線之截面圖。

第7圖為第5圖中之C-C線之截面圖。

第8圖為第3圖中之D-D線之截面圖。

第9圖至第12圖之截面可對應於第5圖至第8圖之截面，而閉合件處於中間位置。

第13圖至第16圖之截面可對應於第5圖至第8圖之截面，而閉合件處於關閉位置。

第17圖為剖視圖(為清楚呈現，而省略閥殼體及驅動裝置殼體之一部分)。

第18圖、第19圖及第20圖為當閉合件在打開位置、中間位置及關閉位置之斜視圖，其中閥殼體已被移除。

第21圖、第22圖及第23為圖從一其他方向觀察與第18圖、第19圖及第20圖類似之斜視圖。

圖式所示為本發明之真空閥之一實施例。

真空閥具有一閥體1，該閥體具有壁體1a，該壁體具有一帶有一軸線3之閥門開口2。當真空閥在關閉狀態時，閥門開口2通過一特別呈板形之閉合件4而關閉，該閉合件隨後處於其關閉位置。閉合件4在關閉位置中被壓靠在一閥座5上，該閥座在面向閉合件4之一側上圍繞閥門開口2。當真空閥在打開狀態時，閉合件4打開閥門開口2，而閉合件4隨後處於其打開位置。閉合件4係通過一中間位置實現在關閉位置及打開位置之間之調節，在該中間位置中，可沿閥門開口2之軸線3方向觀察閉合件覆蓋閥門開口2，且從閥座5上被抬起(分離)。

一配置在閉合件4上之彈性密封環6(例如可由氟橡膠(FKM)或全氟化橡膠(FFKM)製成)作為閉合件4在關閉位置時，將閉合件4與閥體1中具有閥門開口2之壁體進行密封，而閥座5上具有一密封表面，密封環6可壓靠在該表面上。原則上，密封環6亦可配置在密封座上並且壓靠在閉合件4之一密封表面上。

閥體1具有一內部空間7，閉合件4可配置在該內部空間中。閥體1之內部空間7可形成真空閥之一真空區域(可存在真空之區域)。閥體1在一其他壁體1b中具有一其他開口8，從而在閥體1中形成一穿過內部空間7之貫穿通道。在實施例中，該貫穿通道在軸線3方向上沿直線延伸。

在實施例中，壁體1a、1b及包圍內部空間7之其他部件，包括：底座1c共同形成閥體1之一閥殼體，該閥殼體具有內部空間7。所述固定連接至閥體1之驅動裝置殼體，該驅動裝置殼體可容納下列所述之閥驅動裝置之元件，且亦具有側支撐壁1d、1e。

閥體1可以連接到真空系統之其他部件，例如真空室及/或管道。閥體1之內部空間7在閉合件4之打開位置上，可經由閥門開口2連接至真空系統之一第一部件之內部空間，並且內部空間7經由開口8連接至真空系統之一其他部件之內部空間。

真空閥原則上亦可設計成所謂之插入件，其中閥體1在真空閥之運作狀態下可配置於真空室內部空間之真空室壁體上並與之密封，從而使閥門開口2與真空室壁體上之一開口對齊。由此可省略真空閥中具有開口8之相對壁體。而閉合件4仍將配置在真空閥之一真空區域中。

閉合件4由兩閥桿9所承載，在此實施例中，閉合件4經由一與閥桿相接之托架12所固定。閥桿9可通過閥體1之底座1c中之開口從真空閥之真空區域中被引出，其中可沿相互平行之縱向軸線10(平行於縱向調節方向13)方向移動，亦可沿在此呈特定角度，特別係呈直角之橫向調節方向14移動。為此在實施例中使用一伸縮管11。原則上亦可為此目的提供一其他類型之真空穿通管，例如不同類型之波紋管或線性穿通管，此類穿通管可被安裝成與底座1c形成密封，並可在橫向調節方向14上進行移動。

閥桿9由至少一位於真空閥之真空區域外之導引件15a、15b所支撐，可在其縱向軸線10方向上，即平行於縱向調節方向13進行移動，所述導引件在實施例中位於閥殼體之外部。至少一導引件15a、15b本身可在橫向調節方向14上進行調節，如下文所述之詳細說明。

所述實施例中，兩閥桿7中分別具有一單一之導引件15a、15b。導引件15a、15b分別具有一用於縱向導引相應各閥桿9之開口，相應之閥桿9穿過該開口進行延伸。導引件15a、15b例如亦可設計成一體之結構或通過連接部件相連。

一縱向行程驅動裝置17用於調節閥桿9在縱向調節方向13中之順反方向。該裝置在實施例中，由兩活塞氣缸單元所組成，其殼體可與閥體1固定連接。而所述縱向行程驅動裝置例如亦可僅由一單一活塞氣缸單元或由其他方式所設計之致動器組成。

所述實施例中，閥桿9在其遠離閉合件4之端部通過一軛架16相互連接。在該實施例中，縱向行程驅動裝置17與軛架16嚙合相接。該活塞氣缸單元可如常規設計中已知之方式配備無桿之活塞，其中，該活塞之運動被傳送到位於氣缸殼體外側之從動之驅動部件18。而該連接可通過一插銷19與一連接部件20相連。連接部件20具有一凹部20a(參見第17圖)，而軛架16下側之一突出部16a(參見第6圖)與該凹槽相接合。由此方式，如下文所述，當閉合件4從中間位置移動到關閉位置時，可實現軛架16及閥桿9相對於縱向行程驅動裝置17之相應驅動部件18平行於橫向調節方向14之移動，或反之亦然。

所述實施例中，通過使用縱向線性導引裝置21支撐閥桿9在縱向調節方向13之移動導引。所述部件與其固定部件，在本實施例中為軌道式之導引部件21a，可與閥體1固定連接，並與其可移動之部件，在本實施例中為滑動件21b，分別通過連接元件22與閥桿9相互連接，而在該實施例中係與軛架16相互連接。在該實施例中，連接元件22可為彈簧片。因此閥桿9可平行於橫向調節方向14進行移動。

所述實施例中，優選可使用一橫向行程驅動裝置23，而該裝置與兩滑動部件24相互作用，用於調節導引件15及15b，並由此亦可調節閥桿9及由該閥桿所支撐之閉合件4，其中可調節該閉合件在橫向調節方向上之順反方向，而該方向平行於閥門開口2之軸線3。所述兩滑動部件25位於橫向行程驅動裝置23之兩側，並通過一軛架25相互連接。在實施例中，橫向行程驅動裝置23由一活塞氣缸單元所形成，其中該氣缸殼體可與閥體1 固定連接。而活塞氣缸單元之活塞桿則與軛架25相接。所述橫向行程驅動裝置23，亦可配置例如兩活塞氣缸單元或至少一以其他方式設計之致動器。

如圖所示，橫向行程驅動裝置23較優為平行於縱向調節方向13運作。當以活塞氣缸單元為構造之情況下，至少一活塞(所述實施例中具有兩活塞)可平行於縱向調節方向13進行移動。

各相應之滑動部件24可通過相應之第一線性導引裝置26相對於閥體1進行線性移動導引。第一線性導引裝置之滑動件(=導引滑架)26b與滑動部件24固定連接，而第一線性導引裝置之線性導引部件26a與閥體1固定連接。而在實施例中，導引部件26a與一相應之側支撐壁1d、1e固定連接。此外，亦可實現一種相反之設計，其中導引部件26a與滑動部件24固定連接，而滑動件24b與閥體固定連接。

相應之滑動部件24後續由相應之第二線性導引裝置27導引，從而可相對於各相應之導引件15a、15b進行線性移動。此實施例中，第二線性導引裝置之線性導引部件27與滑動部件24固定連接，而第二線性導引裝置之滑動件(=導引滑架)27b與相應之導引件15a、15b固定連接。此外，亦可實現一種相反之設計，即滑動件27b可與滑動部件24固定連接，而導引部件27a可與相應之導引件15a、15b固定連接。

相互平行之第一線性導引裝置26與相互平行之第二線性導引裝置27形成一大於3°且小於45°之角度28(如第12圖所示)。所述角度28較優為在5°至20°之範圍內。

第一線性導引裝置26及第二線性導引裝置27位於一由縱向調節方向13及橫向調節方向14所跨越之平面上。

因此，第一及第二線性導引裝置26、27之導引方向相互呈楔形，其中，該楔形之尖端較優可位於線性導引裝置26、27面向閉合件4之一側。

所述實施例中，第一線性導引裝置26平行於縱向調節方向13。

一改良之實施例中，第一線性導引裝置26亦可相對於縱向調節方向13成一特定角度。而後，第二線性導引裝置27可平行於縱向調節方向13進行配置，或亦可與縱向調節方向13成一特定角度進行配置(但仍須相對於第一線性導引裝置26呈楔形)。然而，第一及第二線性導引裝置26、27相對於縱向調節方向13所配置之角度在任何情況下均須小於45°，較優為小於25°。

所述實施例中，兩滑動部件24位於兩閥桿9之間。

從第1圖至第8圖所示之打開位置將真空閥關閉，首先閉合件4處於打開位置上，並通過縱向行程驅動裝置17在縱向調節方向13上移動閉合件4，直到其到達第9圖至第12圖所示之中間位置。

所述實施例之打開位置中，閉合件4位於閥門開口2中遠離驅動裝置之一側，而當閉合件4從打開位置移動到中間位置時，閥桿9沿縱向調節方向從閉合件4突出。即閉合件4通過作用於閥桿9之拉力從打開位置移動到中間位置，並通過作用於閥桿9上之推力從中間位置移動到打開位置。

為使閉合件從中間位置移動至如第13圖至第16圖所示關閉真空閥之關閉位置，滑動部件24由橫向行程驅動裝置23從一起始位置線性移動至一結束位置。導引件15、15b可藉由滑動部件24之位移及相互成楔形之第一及第二線性導引裝置26、27，而在橫向調節方向14上進行一線性移動。如前所述，滑動部件24在實施例中可相對於閥體1在縱向調節方向13進行移動。當第一線性導引裝置26相對於閥體1傾斜之情況下，滑動部件24將相對於閥體1與縱向移動方向呈一特定角度之傾斜進行移動。

真空閥之開啟過程則為相反之順序。首先，滑動部件24將由橫向行程驅動裝置23從結束位置移動到起始位置，其中導引件15a、15b相對於橫向調節方向14進行一線性調節，從而使閉合件4沿橫向調節方向14從關閉位置移動至中間位置。隨後，通過縱向行程驅動裝置17對閥桿9以及閉合件4沿縱向調節方向13進行移動，因此閉合件4可從中間位置移動至打開位置。

各類不同之改良實施例亦可在無違本發明之標的範圍內而實現。例如，在打開位置時，閉合件4可位於在閥門開口2面向驅動裝置之一側(如此可在調節過程中將閉合件從打開位置推入中間位置，並在調節過程中將其從中間位置拉至打開位置)。

僅需通過一由橫向行程驅動裝置23作用之滑動部件24，可實現在橫向調節方向14上調節導引件15a及15b，其中，導引件15a及15b為相互固定連接。隨後，僅需使用單一之第一線性導引裝置26及/或單一之第二線性導引裝置27可對滑動部件26進行移動導引。

而僅需配置一閥桿用以固定閉合件4，該閉合件通過一導引件進行安裝，使其可平行於縱向調節方向移動，從而僅需具有一與導引件相互作用之滑動部件24。

如前所述，在優選之實施例中，線性導引裝置21、26及27可設計為線性導軌。滑動件在此具有在兩端及在一縱向側邊上開放之通道，該通道圍繞一導軌中已加寬之頭部區域。特別可參照一與導軌之縱向延伸成直角之橫截面，包括一較大直徑之區域，而導軌之頭部區域位於其中，及一較小直徑之區域，而導軌之一較窄之頸部區域通過該區域進行延伸。因此，可確保滑動件在與導軌縱向延伸成直角之各方向上皆被鎖緊，防止其脫離導軌。

所述實施例中，滑動件通道之開口側，相對於與導軌之縱向延伸成直角之橫截面，在第一及第二線性導引裝置26及27分別指向一由縱向及橫向調節方向13、14所跨越之平面之方向。相反，該方向亦可與該平面形成一特定角度，特別係成直角。

此類線性導引裝置21、26、27亦可以不同之方式進行設計，例如設計成波形導引裝置(其中，導引部可特別由具有圓形截面之圓桿所形成，而非導軌)，或滑軌導引裝置。

縱向線性導引裝置21原則上亦可省略。