KR20220085780A

KR20220085780A - 진공밸브

Info

Publication number: KR20220085780A
Application number: KR1020227013282A
Authority: KR
Inventors: 토마스 블레하
Original assignee: 배트 홀딩 아게
Priority date: 2019-10-30
Filing date: 2020-10-14
Publication date: 2022-06-22
Also published as: WO2021083669A1; TW202126943A; US11815196B2; JP2022553905A; DE102019129344A1; CN114616414A; US20220373101A1; EP4051937A1

Abstract

진공밸브는 밸브 몸체 (1) 와, 폐쇄 부재 (4) 와, 상기 폐쇄 부재 (4) 를 받치고 있는 적어도 하나의 밸브 로드 (9) 와, 적어도 하나의 가이드 피스 (15a, 15b) 를 포함하고, 상기 적어도 하나의 가이드 피스에 의해 상기 적어도 하나의 밸브 로드 (9) 는 세로 이동방향 (13) 에 대해 평행으로 이동 가능하게 안내되고, 상기 진공밸브는 세로방향 행정-드라이브 (17) 를 포함하고, 상기 세로방향 행정-드라이브에 의해 상기 적어도 하나의 밸브 로드 (9) 는 상기 적어도 하나의 가이드 피스 (15a, 15b) 에 대해 상기 세로 이동방향 (13) 에 대해 평행으로 이동 가능하고, 상기 진공밸브는 가로방향 행정-드라이브 (23) 와, 상기 가로방향 행정-드라이브 (23) 에 의해 이동 가능한 적어도 하나의 슬라이딩 부품 (24) 을 포함하고, 상기 적어도 하나의 슬라이딩 부품은 적어도 하나의 일차-리니어 가이드 (26) 에 의해 상기 밸브 몸체 (1) 에 대해 이동 가능하게 안내되고, 상기 적어도 하나의 슬라이딩 부품은 적어도 하나의 이차-리니어 가이드 (27) 에 의해 상기 적어도 하나의 가이드 피스 (15a, 15b) 에 대해 이동 가능하게 안내된다. 상기 일차-리니어 가이드 (26) 와 상기 이차-리니어 가이드 (27) 는 상기 세로 이동방향 (13) 에 대해 각각 45°보다 작은 각도를 가지며, 상기 일차-리니어 가이드들 (26) 은 상기 이차-가이드 리니어들 (27) 과 함께 3°보다 큰 그리고 45°보다 작은 각도를 이룬다.

Description

진공밸브

본 발명은 진공밸브에 관한 것으로, 상기 진공밸브는 밸브 시트 (valve seat) 에 의해 둘러싸인 밸브 개구부 (valve opening) 를 갖는 밸브 몸체 (valve body) 를 포함하고, 상기 진공밸브는 폐쇄 부재 (closure member) 를 포함하고, 상기 폐쇄 부재는 상기 폐쇄 부재가 상기 밸브 개구부를 개방하는 개방위치와, 상기 폐쇄 부재가 상기 밸브 개구부를 덮는, 하지만 상기 밸브 시트로부터 들어내져 있는 중간위치 사이에서 세로 이동방향에 대해 평행으로 이동 가능하고, 상기 폐쇄 부재는 상기 중간위치와, 상기 폐쇄 부재가 상기 밸브 시트에 밀착하는 폐쇄위치 사이에서 가로 이동방향에 대해 평행으로 이동 가능하고, 상기 진공밸브는 상기 폐쇄 부재를 받치고 있는, 상기 세로 이동방향에 대해 평행으로 놓여 있는 적어도 하나의 밸브 로드 (valve rod) 를 포함하고, 상기 진공밸브는 적어도 하나의 가이드 피스 (guide piece) 를 포함하고, 상기 적어도 하나의 가이드 피스에 의해 상기 적어도 하나의 밸브 로드는 상기 세로 이동방향에 대해 평행으로 이동 가능하게 안내되고, 상기 진공밸브는 세로방향 행정-드라이브를 포함하고, 상기 세로방향 행정-드라이브에 의해, 상기 폐쇄 부재를 상기 개방위치와 상기 중간위치 사이에서 이동시키기 위해 상기 적어도 하나의 밸브 로드는 상기 적어도 하나의 가이드 피스에 대해 상기 세로 이동방향에 대해 평행으로 이동 가능하고, 상기 진공밸브는 가로방향 행정-드라이브를 포함하고, 상기 가로방향 행정-드라이브에 의해, 상기 폐쇄 부재를 상기 중간위치와 상기 폐쇄위치 사이에서 이동시키기 위해 상기 적어도 하나의 가이드 피스는 상기 가로 이동방향에 대해 평행으로 이동 가능하다.

진공밸브를 닫기 위해 폐쇄 부재가 우선 밸브 로드에 대해 평행으로 있는 세로 이동방향으로 개방위치로부터, 상기 폐쇄 부재가 밸브 개구부를 덮는, 하지만 밸브 시트로부터 아직 들어내져 있는 중간위치로 이동되고, 그 후 세로 이동방향에 대해 각을 이루며 있는 가로 이동방향으로 상기 밸브 시트에 밀착되는 진공밸브들은 L-밸브라고도 불린다.

L-밸브들의, 종류가 다른 구조에 있어서, 밸브 플레이트를 상기 밸브 플레이트의 중간위치로부터 상기 밸브 플레이트의 폐쇄위치로 그리고 반대로 이동시키는 것을 가능하게 하기 위해, 밸브 로드는 세로 이동방향에 대해 각을 이루며 있는 축 둘레로 선회 가능하게 설치된다. 이 경우 상기 축 둘레로 밸브 로드를 선회시키기 위해, 예컨대 US 6,237,892 B1, US 7,066,443 B2 또는 US 2012/0258242 A1로부터 알려져 있는 바와 같이, 슬로티드 가이드 (slotted guide) 가 사용될 수 있다.

폐쇄 부재를 상기 중간위치와 상기 폐쇄위치 사이에서 이동시키기 위해 상기 폐쇄 부재의 평행이동이 세로 이동방향에 대해 각을 이루며 있는, 특히 직각으로 있는 가로 이동방향으로 수행되는 L-밸브들에 있어서, 통례적인 실시형태에 따르면 상기 중간위치와 상기 폐쇄위치 사이에서 폐쇄 부재를 이동시키기 위한 드라이브 요소들은 상기 폐쇄 부재를 받치고 있는 지지 요소에 배열되고, 상기 지지 요소는 진공밸브의 밸브 하우징의 내부에 위치하고, 상기 진공밸브의 진공영역 밖으로 안내된 밸브 로드에 설치된다. L-밸브들의 이와 같은 실시들은 예컨대 US 6,056,266 A, US 6,899,316 B2, US 7,611,122 B2, US 6,056,266 A, US 7,611,122 B2 및 US 8,177,190 B2에 나타나 있다.

도입부에서 언급된 종류의 밸브들은 WO 2010/034046 A1, WO 2015/139818 A1, WO 2014/075757 A1 및 US 9,732,860 B2에 나타나 있다. 상기 중간위치와 상기 폐쇄위치 사이에서의 폐쇄 부재의 선형 이동을 갖는 L-밸브들에 관한 것이며, 상기 L-밸브들에 있어서 상기 개방위치와 상기 중간위치 사이에서 폐쇄 부재를 이동시키기 위한 드라이브 뿐만 아니라 상기 중간위치와 상기 폐쇄위치 사이에서 폐쇄 부재를 이동시키기 위한 드라이브도 진공밸브의 진공영역의 외부에 배열된다.

WO 2010/034046 A1로부터 알려져 있는 진공밸브에 있어서, 진공영역의 외부에, 밸브 로드를 세로 이동방향으로 이동 가능하게 지지하는 가이드 피스가 존재하고, 상기 가이드 피스는 세로방향 행정-드라이브의 피스톤을 위한 실린더 공간들도 구비하고, 세로 이동방향에 대해 직각으로 있는 가로 이동방향으로 선형으로 이동 가능하고, 이 선형 이동은 이 방향으로 작용하는 피스톤-실린더-유닛들을 이용해 수행된다. 유사한 진공밸브가 WO 2015/139818 A1에 나타나 있다.

WO 2014/075757 A1로부터 알려져 있는 진공밸브에 있어서, 밸브 로드에서 진공영역의 외부에 블록이 설치되고, 상기 블록은 로드 (rod) 모양의 가이드 부품들을 구비하는 가이드 피스에 의해 세로 이동방향으로 이동 가능하게 안내된다. 로드 모양의 가이드 부품들은 세로 이동방향에 대해 직각으로 있는 가로 이동방향으로 이동 가능하고, 보다 정확히 말하면 피스톤-실린더-유닛들에 의해 형성된 가로방향 행정-드라이브를 이용해 이동 가능하다. 세로 이동방향으로 밸브 로드를 이동시키기 위해, 상기 블록과 연결된 피스톤-실린더-유닛들이 사용된다.

US 7,762,527 B2도 L-밸브의 실시형태를 나타내고, 상기 실시형태에 있어서 세로 이동방향으로 그리고 가로 이동방향으로 폐쇄 부재를 선형으로 이동시키기 위한 드라이브들은 진공밸브의 진공영역의 외부에 배열되어 있다. 가능한 설계는, 밸브 몸체에 대해 세로 이동방향으로 폐쇄 부재를 이동시키기 위한 피스톤-실린더-유닛이 리니어 가이드 (linear guide) 를 이용해 세로 이동방향에 대해 직각으로 있는 가로 이동방향으로 이동 가능하게 설치되는 것을 제공한다.

WO 2016/142150 A1에 진공밸브가 나타나 있고, 상기 진공밸브에 있어서 밸브 로드에서 진공영역의 외부에 설치된 블록은, 양측에 상기 블록에 설치된 리니어 가이드들을 이용해 세로 이동방향에 대해 평행으로 이동 가능하고, 보다 정확히 말하면 상기 블록에 맞물리는 피스톤-실린더-유닛을 이용해 이동 가능하다. 이 리니어 가이드들은 그것들의 편에서 양측에 상기 리니어 가이드들에 설치된, 세로 이동방향과 가로 이동방향에 대해 비스듬히 있는 그 밖의 리니어 가이드들에 의해 이동 가능하게 안내되고, 이 그 밖의 리니어 가이드들의 이동은 그 밖의 피스톤-실린더-유닛들을 이용해 수행된다. 유사한, 이와 같은 서로 비스듬히 있는 리니어 가이드들을 구비하는 진공밸브들은 US 10,234,059 B2 및 US 9,957,745 B2에 나타나 있고, 상기 첫번째로 언급된 문헌에서는 마주 보고 있는 밸브 개구부들을 폐쇄하기 위해 2개의 밸브 플레이트들은 교대로 마주 보고 있는 밸브 시트들에 밀착될 수 있고, 상기 두 번째로 언급된 문헌에서는 하나의 드라이브만 존재하고, 커플링 스프링들을 통하여 리니어 가이드들의 운동들의 커플링이 수행되고, 상기 커플링 스프링들은 밸브 로드에 설치된 블록의 작동 후 스톱에서 압축된다.

진공밸브들의 다른 종류도 알려져 있고, 상기 진공밸브들은 쐐기 모양의 폐쇄 부재들을 구비하고, 상기 폐쇄 부재들은 진공밸브를 닫을 때 밸브 시트들의 쐐기 모양의 표면 안으로 밀어 넣어지고 (예컨대 WO 2011/088482 A1, DE 2013/006123 A1, US 9,664,293 B2 및 WO 2017/025329 A1 참조), 또는 상기 폐쇄 부재들은 2개의 플레이트를 구비하고, 상기 플레이트들은 비스듬한 표면들을 가지며, 상기 비스듬한 표면들과 함께 작용하는 요소들을 이용해 서로 벌려질 수 있다 (예컨대 US 4,560,141 A, US 4,052,036 A 및 US 4,470,576 A 참조).

AT 511 372 A1에 진공밸브가 나타나 있고, 상기 진공밸브에 있어서 폐쇄 부재는 직선으로 폐쇄방향으로 개방위치로부터 폐쇄위치로 이동 가능하다. 양측에 상기 폐쇄 부재에 설치된 밸브 로드들은 상기 폐쇄 부재로부터 폐쇄방향으로 연장되고, 즉 상기 폐쇄 부재는 개방위치에서 밸브 개구부의, 드라이브로부터 멀리 떨어진 측에 놓여 있다.

본 발명의 목적은, 유리한 방식으로 비교적 큰 폐쇄력이 가해질 수 있는, 도입부에서 언급된 종류의 진공밸브를 제공하는 것이다.

이는 본 발명에 따르면 청구항 1 항의 특징들을 갖는 진공밸브를 통해 달성된다.

본 발명에 따른 진공밸브에 있어서, 적어도 하나의 밸브 로드는 적어도 하나의 가이드 피스에 의해 세로 이동방향에 대해 평행으로 선형으로 이동 가능하게 안내된다. 세로방향 행정-드라이브는 세로 이동방향에 대해 평행으로 상기 적어도 하나의 가이드 피스에 대해 상기 적어도 하나의 밸브 로드를 이동시키기 위해 사용된다. 가로방향 행정-드라이브는 상기 세로 이동방향에 대해 각을 이루며 있는, 바람직하게는 직각으로 있는 가로 이동방향에 대해 평행으로 상기 적어도 하나의 가이드 피스를 선형으로 이동시키기 위해 사용된다. 이를 위해 적어도 하나의 슬라이딩 부품 (sliding part) 이 제공되고, 상기 적어도 하나의 슬라이딩 부품은 일차-리니어 가이드 (primary linear guide) 에 의해 밸브 몸체에 대해 선형으로 이동 가능하게 안내되고, 이차-리니어 가이드 (secondary linear guide) 에 의해 상기 적어도 하나의 가이드 피스에 대해 선형으로 이동 가능하게 안내된다. 상기 일차-리니어 가이드와 상기 이차-리니어 가이드는 상기 세로 이동방향에 대해 각각 45°보다 작은, 바람직하게는 25°보다 작은 각도를 가지며, 서로 3°보다 큰, 바람직하게는 4°보다 큰, 그리고 45°보다 작은, 바람직하게는 25°보다 작은 각도를 이룬다. 중간위치와 폐쇄위치 사이에서 폐쇄 부재를 이동시키기 위해 상기 적어도 하나의 슬라이딩 부품은 상기 가로방향 행정-드라이브에 의해 이동된다. 이를 통해, 상기 적어도 하나의 가이드 피스 그리고 이로써 상기 적어도 하나의 밸브 로드는 가로 이동방향에 대해 평행으로 선형으로 이동되고, 이를 통해 폐쇄 부재가 밸브 시트에 밀어붙여진다.

본 발명의 진공밸브에 있어서 가해질 수 있는 높은 폐쇄력을 통해, 상기 진공밸브는 유리하게는 비교적 큰 밸브 개구부를 구비할 수 있다.

본 발명의 유리한 실시형태에서, 폐쇄 부재는 개방위치에서, 밸브 개구부의 상기 세로방향 행정-드라이브로부터 그리고 상기 가로방향 행정-드라이브로부터 멀리 떨어진 측에 위치한다. 상기 폐쇄 부재는 이를 통해 중간위치에서 그리고 폐쇄위치에서 상기 적어도 하나의 가이드 피스에 비교적 가까이 위치할 수 있고, 이를 통해 상기 적어도 하나의 가이드 피스의 가로방향 이동을 통해 밸브 시트에 상기 폐쇄 부재를 밀어붙일 때 유리한 레버 비가 달성될 수 있다.

유리하게는, 상기 적어도 하나의 가이드 피스를 통해 상기 적어도 하나의 밸브 로드를 이동 가능하게 안내하기 위해, 각각의 밸브 로드가 상기 각각의 가이드 피스의 개구부를 관통하는 것이 제공된다. 유리한 실시형태에서 2개의 밸브 로드가 존재하고, 상기 밸브 로드들은 상기 밸브 로드들의 한 단부들에서는 상기 폐쇄 부재와 연결되고, 바람직하게는 상기 밸브 로드들을 연결하는 지지 브래킷을 통하여 연결되고, 상기 밸브 로드들은 상기 밸브 로드들의 다른 단부들에서는 요크 (yoke) 를 통해 연결된다. 상기 요크에 유리하게는 상기 세로방향 행정-드라이브가 맞물리고, 상기 세로 이동방향으로 움직일 수 있는 상기 세로방향 행정-드라이브의 적어도 하나의 드라이브 부품은 바람직하게는, 상기 적어도 하나의 드라이브 부품이 상기 요크에 대해 상기 가로 이동방향으로 움직일 수 있는 식으로 상기 요크와 연결된다. 그러면 상기 세로방향 행정-드라이브, 즉 상기 세로방향 행정-드라이브의 적어도 하나의 하우징 부품은 밸브 몸체와 강성적으로 (rigidly) 연결될 수 있다.

유리하게는, 상기 일차-리니어 가이드는 상기 세로 이동방향에 대해 평행으로 놓여 있다. 그러면 상기 가로방향 행정-드라이브, 즉 상기 가로방향 행정-드라이브의 적어도 하나의 하우징 부품은 밸브 몸체와 강성적으로 연결될 수 있다.

본 발명의 바람직한 실시형태에서 2개의 슬라이딩 부품이 제공되고, 상기 슬라이딩 부품들은 각각 일차-리니어 가이드에 의해 상기 밸브 몸체에 대해 이동 가능하게 안내되고, 각각 이차-리니어 가이드에 의해 상기 가이드 피스에 대해 또는 각각의 가이드 피스에 대해 이동 가능하게 안내되고, 상기 슬라이딩 부품들은 요크를 통해 연결되고, 상기 요크에 상기 가로방향 행정-드라이브가 맞물린다.

상기 폐쇄 부재와 마주 보고 있는 단부영역에서 상기 적어도 하나의 밸브 로드를 안내하기 위해, 유리하게는 적어도 하나의 세로방향-리니어 가이드가 제공되고, 상기 적어도 하나의 세로방향-리니어 가이드는 상기 밸브 몸체에 고정되고, 상기 세로 이동방향에 대해 평행으로 놓여 있다. 이 경우 적어도 하나의 연결 요소가 제공되고, 상기 적어도 하나의 연결 요소는 상기 가로 이동방향에 대해 평행으로 상기 적어도 하나의 밸브 로드의 이동성을 가능하게 한다. 예컨대, 이 연결 요소는 리프 스프링 (leaf spring) 일 수 있다. 이 리프 스프링 위로의 면법선 (face normal) 은 이 경우 상기 세로 이동방향에 대해 직각으로 있다.

이 문헌에서, 상기 리니어 가이드가 놓여 있는 상기 리니어 가이드의 위치 또는 각도가 언급되면, 이것은 방향과 관련되며, 상기 방향에 대해 평행으로 상기 리니어 가이드의 슬라이드 (slide) 가 상기 리니어 가이드의 가이드 부품 안에서 이동 가능하다.

상기 일차-리니어 가이드 및/또는 상기 이차-리니어 가이드를 위한 리니어 가이드들로서는, 유리하게는 레일 가이드들이 이용될 수 있고, 즉 가이드 부품은 가이드 레일에 의해 형성되고, 상기 가이드 부품을 따라 슬라이드가 이동 가능하다. 특히, 상기 리니어 가이드의 슬라이드는 상기 가이드 레일에 대해 롤링 몸체에 의해 지지될 수 있고, 예컨대 롤링 몸체 회전 가이드들을 이용해 또는 런닝 케이지 안에 설치된 롤링 몸체를 이용해 지지될 수 있다. 상기 가이드 레일에 대한 상기 슬라이드의 미끄럼 가이드도 가능하다. 바람직하게는, 기계 제작에서 표준 부품들로서 많이 사용되는 바와 같이, 통례적인 리니어 가이드들이 이용될 수 있다. 이러한 리니어 가이드들은 비용절감적이고, 쉽고, 보다 작은 유격을 가지며 또는 유격을 가지지 않는다 (상기 리니어 가이드들이 예비인장됨으로써).

다른 형태로 형성된 리니어 가이드들의 이용, 예컨대 샤프트 가이드 형태의 설계도 생각할 수 있고 가능하며, 상기 샤프트 가이드들에 있어서 가이드 부품들은 횡단면에 있어서 특히 둥근 로드에 의해 형성된다. 적어도 하나의 가이드 경로를 이용한 설계도 생각할 수 있고 가능하며, 상기 가이드 경로와 적어도 하나의 가이드 돌기 (핀 또는 롤러) 가 맞물리고, 즉 슬로티드 가이드 방식에 따른 설계이다. 상기 가이드 경로는 예컨대 장방형 구멍, 그루브 (groove) 또는 벌지부 (bulge) 에 의해 형성될 수 있다.

이하, 본 발명의 그 밖의 장점들과 상세내용들은 첨부된 도면을 근거로 설명된다.

도 1 및 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 진공밸브의 사투상도들을 폐쇄 부재의 개방위치에서 서로 다른 시선방향들로부터 나타내고;
도 3 및 도 4는 상기 폐쇄 부재의 개방위치에서 정면도 및 측면도를 나타내고;
도 5는 도 4의 선 A-A를 따른 단면을 나타내고;
도 6은 도 3의 선 B-B를 따른 단면을 나타내고;
도 7은 도 5의 선 C-C를 따른 단면을 나타내고;
도 8은 도 3의 선 D-D를 따른 단면을 나타내고;
도 9 내지 도 12는 도 5 내지 도 8의 단면들에 상응하는, 하지만 상기 폐쇄 부재의 중간위치에서 단면들을 나타내고;
도 13 내지 도 16은 도 5 내지 도 8의 단면들에 상응하는, 하지만 상기 폐쇄 위치의 폐쇄위치에서 단면들을 나타내고;
도 17은 분해도 (밸브 하우징의 부품과 드라이브 하우징의 부품은 명료하게 하기 위해 생략된다) 를 나타내고;
도 18, 도 19 및 도 20은 제거된 밸브 하우징에 있어서 상기 폐쇄 부재의 개방위치에서, 중간위치에서 그리고 폐쇄위치에서 사투상도들을 나타내고;
도 21, 도 22 및 도 23은 도 18, 도 19 및 도 20과 유사한 사투상도들을 다른 시선방향으로부터 나타낸다.

본 발명에 따른 진공밸브의 실시예가 도면들에 도시된다.

상기 진공밸브는 벽 (1a) 을 갖는 밸브 몸체 (1) 를 구비하고, 상기 벽은 축 (3) 을 갖는 밸브 개구부 (2) 를 구비한다. 상기 진공밸브의 닫힌 상태에서 상기 밸브 개구부 (2) 는, 특히 판 모양으로 형성된, 폐쇄 부재 (4) 에 의해 폐쇄되고, 그러면 상기 폐쇄 부재는 상기 폐쇄 부재의 폐쇄위치를 차지한다. 상기 폐쇄 부재 (4) 의 상기 폐쇄위치에서 상기 폐쇄 부재는, 밸브 개구부 (2) 를 폐쇄 부재 (4) 를 향한 측에서 둘러싸는 밸브 시트 (5) 에 밀어붙여진다. 상기 진공밸브의 열린 상태에서 폐쇄 부재 (4) 는 밸브 개구부 (2) 를 개방하고, 그러면 폐쇄 부재 (4) 는 상기 폐쇄 부재의 개방위치를 차지한다. 상기 폐쇄위치와 상기 개방위치 사이에서의 폐쇄 부재 (4) 의 이동은 중간위치를 거쳐 수행되고, 상기 중간위치에서 상기 폐쇄 부재는, 밸브 개구부 (2) 의 축 (3) 의 방향으로 볼 때, 밸브 개구부 (2) 를 덮고, 하지만 밸브 시트 (5) 로부터 들어내져 있다 (=거리를 두고 있다).

폐쇄 부재 (4) 의 상기 폐쇄위치에서 폐쇄 부재 (4) 와, 밸브 개구부 (2) 를 구비하는 밸브 몸체 (1) 의 벽 사이를 밀봉하기 위해, 폐쇄 부재 (4) 에 배열된 탄성적 밀봉링 (6) (예컨대 FKM 또는 FFKM으로 만들어진) 이 사용되고, 밸브 시트 (5) 는 밀봉면을 구비하고, 상기 밀봉면에 밀봉링 (6) 이 밀어붙여진다.

원칙적으로, 밀봉링 (6) 은 밀봉 시트에도 배열되고 폐쇄 부재 (4) 의 밀봉면에 밀어붙여질 수 있다.

밸브 몸체 (1) 는 내부 공간 (7) 을 가지며, 상기 내부 공간에 폐쇄 부재 (4) 가 배열된다. 밸브 몸체 (1) 의 이 내부 공간 (7) 은 상기 진공밸브의 진공영역 (= 진공이 존재할 수 있는 영역) 을 형성한다. 밸브 몸체 (1) 는 그 밖의 벽 (1b) 안에 그 밖의 개구부 (8) 를 가지며, 따라서 내부 공간 (7) 을 관통하는 관통채널이 밸브 몸체 (1) 를 통해 형성된다. 이 관통채널은 실시예에서 직선으로 축 (3) 의 방향으로 연장된다.

즉, 벽들 (1a, 1b) 과, 특히 바닥 (1c) 을 포함하는, 내부 공간 (7) 을 에워싸는 그 밖의 부분들은 실시예에서 함께, 내부 공간 (7) 을 구비하는 밸브 몸체 (1) 의 밸브 하우징을 형성한다. 상기 밸브 하우징은 밸브 몸체 (1) 의 드라이브 하우징과 강성적으로 연결되고, 상기 드라이브 하우징은 하기에서 기술되는 밸브 드라이브의 요소들을 수용한다. 특히, 상기 드라이브 하우징은 측벽 (1d, 1e) 을 구비한다.

밸브 몸체 (1) 는 진공 시설의 다른 부품들에, 예컨대 진공챔버들 및/또는 관 라인들에 연결될 수 있다. 그러면 밸브 개구부 (2) 를 통하여 밸브 몸체 (1) 의 내부 공간 (7) 은 폐쇄 부재 (4) 의 상기 개방위치에서 상기 진공 시설의 제 1 부품의 내부 공간과 연결되고, 개구부 (8) 를 통하여 내부 공간 (7) 은 상기 진공 시설의 그 밖의 부품의 내부 공간과 연결된다.

상기 진공밸브는 원칙적으로 이른바 인서트 (Insert) 로서도 형성될 수 있고, 이때 밸브 몸체 (1) 는 상기 진공밸브의 작동상태에서 진공챔버의 내부 공간에서 상기 진공챔버의 벽에 그리고 상기 벽에 대해 밀봉되어 배열될 수 있고, 따라서 밸브 개구부 (2) 는 상기 진공챔버의 벽 안의 개구부와 일직선으로 늘어선다. 그러면 개구부 (8) 를 갖는 마주 보고 있는 상기 진공밸브의 벽은 생략될 수 있다. 그러면 폐쇄 부재 (4) 는 상기 진공밸브의 진공영역에 배열된다.

폐쇄 부재 (4) 는 2개의 밸브 로드 (9) 에 의해 받쳐지고, 실시예에서 상기 밸브 로드들을 연결하는 브래킷 (12) 을 통하여 받쳐지고, 상기 브래킷에 폐쇄 부재 (4) 가 고정된다. 밸브 로드들 (9) 은 밸브 몸체 (1) 의 바닥 (1c) 안의 개구부들을 통해 진공밸브의 진공영역 밖으로 안내되고, 이때 상기 밸브 로드들은 상기 밸브 로드들의 서로 평행으로 있는 세로축들 (10) 의 방향으로 (상기 세로축들은 세로 이동방향 (13) 에 대해 평행으로 있다) 그리고 이에 대해 각을 이루며 있는, 특히 직각으로 있는 가로 이동방향 (14) 으로도 움직일 수 있다. 이를 위해 실시예에서 폴딩 벨로스 (folding bellows, 11) 가 사용된다. 진공 피드스루의 다른 종류도 이를 위해 원칙적으로 제공될 수 있고, 예컨대 벨로스의 다른 종류 또는 리니어 피드스루가 제공될 수 있고, 상기 리니어 피드스루 자체는 가로 이동방향 (14) 으로 바닥 (1c) 에 대해 밀봉되어 이동 가능하게 설치된다.

밸브 로드들 (9) 은 상기 진공밸브의 진공영역의 외부에, 즉 실시예에서 상기 밸브 하우징의 외부에, 놓여 있는 적어도 하나의 가이드 피스 (15a, 15b) 를 통해 상기 밸브 로드들의 세로축들 (10) 의 방향으로, 즉 세로 이동방향 (13) 에 대해 평행으로 이동 가능하게 설치된다. 상기 적어도 하나의 가이드 피스 (15a, 15b) 는 하기에서 보다 자세히 설명되는 바와 같이 스스로 가로 이동방향 (14) 으로 이동 가능하다.

실시예에서 두 밸브 로드들 (7) 을 위해 각각 분리된 가이드 피스 (15a, 15b) 가 존재한다. 가이드 피스들 (15a, 15b) 각각은 각각의 밸브 로드 (9) 를 세로방향으로 안내하기 위해 개구부를 구비하고, 상기 개구부를 통해 각각의 밸브 로드 (9) 가 연장된다. 가이드 피스들 (15a, 15b) 은 예컨대 서로 일체로 형성될 수도 있고 또는 연결 부품을 통해 서로 연결된다.

세로 이동방향 (13) 으로 또는 상기 세로 이동방향과 반대로 밸브 로드 (9) 를 이동시키기 위해 세로방향 행정-드라이브 (17) 가 사용된다. 실시예에서 상기 세로방향 행정-드라이브는 2개의 피스톤-실린더-유닛들에 의해 형성되고, 상기 피스톤-실린더-유닛들의 하우징들은 밸브 몸체 (1) 와 강성적으로 연결된다. 예컨대, 상기 세로방향 행정-드라이브는 단지 하나의 개별적인 피스톤-실린더-유닛을 구비할 수도 있고 또는 다른 방식으로 형성된 액추에이터에 의해 형성될 수 있다.

폐쇄 부재 (4) 로부터 멀리 떨어진 상기 밸브 로드들의 단부들에서 밸브 로드들 (9) 은 실시예에서 요크 (16) 를 통해 서로 연결된다. 실시예에서 세로방향 행정-드라이브 (17) 는 요크 (16) 에 맞물린다. 피스톤-실린더-유닛들은 예컨대, 통례적으로 알려져 있는 바와 같이, 로드가 없는 피스톤들을 갖추고 있을 수 있고, 상기 피스톤들의 운동은 실린더 하우징들의 외면에 놓여 있는 구동된 드라이브 부품들 (18) 로 전달된다. 핀 (19) 을 통하여 연결 부품 (20) 은 상기 드라이브 부품들과 연결된다. 연결 부품 (20) 은 오목부 (20a) 를 구비하고 (예컨대 도 17 참조), 요크 (16) 의 밑면에서의 돌출부 (16a) (예컨대 도 6 참조) 는 상기 오목부와 맞물린다. 이러한 방식으로, 폐쇄 부재 (4) 가, 하기에서 보다 자세히 기술되는 바와 같이, 상기 중간위치로부터 상기 폐쇄위치로 그리고 반대로 이동되면, 가로 이동방향 (14) 에 대해 평행으로 세로방향 행정-드라이브 (17) 의 각각의 드라이브 부품 (18) 에 대한 요크 (16) 의 이동 그리고 이로써 밸브 로드 (9) 의 이동이 가능해진다.

세로 이동방향 (13) 으로의 밸브 로드들 (9) 의 이동 가능한 안내를 돕기 위해 실시예에서 세로방향-리니어 가이드들 (21) 이 사용된다. 상기 세로방향-리니어 가이드들은 상기 세로방향-리니어 가이드들의 정지해 있는 부품과 함께, 실시예에서 레일 모양의 가이드 부품 (21a) 과 함께, 강성적으로 밸브 몸체 (1) 와 연결되고, 상기 세로방향-리니어 가이드들의 움직일 수 있는 부품과 함께, 실시예에서 슬라이드 (21b) 와 함께, 각각 연결 요소 (22) 를 통하여 밸브 로드들 (9) 과 연결되고, 보다 정확히 말하면 실시예에서 요크 (16) 와 연결된다. 연결 요소들 (22) 은 실시예에서 리프 스프링들이다. 이로써, 가로 이동방향 (14) 에 대해 평행으로 밸브 로드 (9) 의 운동이 가능해진다.

실시예에서 밸브 개구부 (2) 의 축 (3) 에 대해 평행으로 있는 가로 이동방향으로 그리고 상기 가로 이동방향과 반대로 가이드 피스들 (15, 15b) 을 그리고 이로써 밸브 로드들 (9) 을 그리고 상기 밸브 로드들에 의해 받쳐져 있는 폐쇄 부재 (4) 를 이동시키기 위해, 바람직한 바와 같이, 가로방향 행정-드라이브 (23) 가 사용되고, 상기 가로방향 행정-드라이브는 2개의 슬라이딩 부품 (24) 과 함께 작용한다. 두 슬라이딩 부품들 (25) 은 가로방향 행정-드라이브 (23) 의 양측에 놓여 있고, 요크 (25) 를 통해 서로 연결된다. 가로방향 행정-드라이브 (23) 는 실시예에서 피스톤-실린더-유닛에 의해 형성되고, 실린더 하우징은 밸브 몸체 (1) 와 강성적으로 연결된다. 이 피스톤-실린더-유닛들의 피스톤 로드는 요크 (25) 와 연결된다. 가로방향 행정-드라이브 (23) 를 위해 예컨대 2개의 피스톤-실린더-유닛들, 또는 다른 방식으로 형성된 적어도 하나의 액추에이터도 제공될 수 있다.

바람직하게는, 가로방향 행정-드라이브 (23) 는 도면들에 도시된 바와 같이 세로 이동방향 (13) 에 대해 평행으로 작용한다. 즉, 피스톤-실린더-유닛으로서의 설계의 경우, 적어도 하나의 피스톤 (실시예에서 2개의 피스톤이 존재한다) 은 세로 이동방향 (13) 에 대해 평행으로 이동 가능하다.

각각의 슬라이딩 부품 (24) 은 밸브 몸체 (1) 에 대해 각각의 일차-리니어 가이드 (26) 를 통해 선형으로 이동 가능하게 안내된다. 상기 일차-리니어 가이드의 슬라이드 (=가이드 캐리지) 는 이 경우 슬라이딩 부품 (24) 과 강성적으로 연결되고, 상기 일차-리니어 가이드의 직선으로 연장되는 가이드 부품 (26a) 은 밸브 몸체 (1) 와 강성적으로 연결된다. 실시예에서 가이드 부품 (26a) 은 이를 위해 측벽들 (1d, 1e) 중 각각 하나에 고정된다. 가이드 부품 (26a) 이 슬라이딩 부품 (24) 과 강성적으로 연결되고 슬라이드 (24b) 가 상기 밸브 몸체와 강성적으로 연결되는 반대의 설계도 생각할 수 있고 가능하다.

각각의 슬라이딩 부품 (24) 은 또한 각각의 이차-리니어 가이드 (27) 에 의해 각각의 가이드 피스 (15a, 15b) 에 대해 선형으로 이동 가능하게 안내된다. 실시예에서 이를 위해 상기 이차-리니어 가이드의 직선으로 연장되는 가이드 부품 (27) 은 슬라이딩 부품 (24) 과 강성적으로 연결되고, 상기 이차-리니어 가이드의 슬라이드 (=가이드 캐리지) (27b) 는 각각의 가이드 피스 (15a, 15b) 와 강성적으로 연결된다. 반대의 설계, 즉 슬라이딩 부품 (24) 과 슬라이드 (27b) 와의 강성적 연결 및 각각의 가이드 피스 (15a, 15b) 와 가이드 부품 (27a) 과의 강성적 연결도 생각할 수 있고 가능하다.

서로 평행으로 놓여 있는 일차-리니어 가이드들 (26) 은 서로 평행으로 놓여 있는 이차-리니어 가이드들 (27) 과 함께 3°보다 큰 그리고 45°보다 작은 각도 (28) (도 12 에 도시됨) 를 이룬다. 바람직하게는, 각도 (28) 는 5°내지 20°의 범위에 있다.

일차-리니어 가이드들 (26) 과 이차-리니어 가이드들 (27) 은 이때 세로 이동방향 (13) 과 가로 이동방향 (14) 에 의해 펼쳐지는 평면에 놓여 있다.

즉, 일차-리니어 가이드들 (26) 의 가이드 방향과 이차-리니어 가이드들 (27) 의 가이드 방향은 서로 쐐기 모양으로 있고, 이 쐐기의 뾰족한 끝은 바람직하게는 리니어 가이드들 (26, 27) 의 폐쇄 부재 (4) 를 향한 측에 놓여 있다.

일차-리니어 가이드들 (26) 은 실시예에서 세로 이동방향 (13) 에 대해 평행으로 놓여 있다.

변경된 실시형태에서, 세로 이동방향 (13) 에 대해 각을 이룬 일차-리니어 가이드 (26) 의 정렬도 생각할 수 있고 가능하다. 그러면 이차-리니어 가이드들 (27) 은 세로 이동방향 (13) 에 대해 평행으로 또는 마찬가지로 세로 이동방향 (13) 에 대해 각을 이루며 (하지만 어쨌든 일차-리니어 가이드들 (26) 에 대해 쐐기 모양으로) 배열될 수 있다. 하지만 일차-리니어 가이드들 (26) 과 이차-리니어 가이드들 (27) 이 세로 이동방향 (13) 에 대해 배열되어 있는 각도들은 어쨌든 45°미만이고, 바람직하게는 25°미만이다.

실시예에서 두 슬라이딩 부품들 (24) 은 두 밸브 로드들 (9) 사이에 놓여 있다.

폐쇄 부재 (4) 가 개방위치에 있는 도 1 내지 도 8에 도시된 개방위치로부터 시작하여 상기 진공밸브를 닫기 위해, 폐쇄 부재 (4) 는 상기 폐쇄 부재가 도 9 내지 도 12에 도시된 중간위치에 도달할 때까지 세로방향 행정-드라이브 (17) 를 이용해 우선 세로 이동방향 (13) 으로 이동된다.

상기 개방위치에서 폐쇄 부재 (4) 는 실시예에서 밸브 개구부 (2) 의, 드라이브로부터 멀리 떨어진 측에 위치하고, 즉 밸브 로드들 (9) 은 폐쇄 부재 (4) 로부터 세로 이동방향으로 떨어져 있고, 상기 폐쇄 부재의 이동은 상기 개방위치로부터 상기 중간위치로 상기 세로 이동방향으로 수행된다. 다른 말로 하자면, 폐쇄 부재 (4) 는 밸브 로드들 (9) 에 작용하는 인장력을 통해 상기 개방위치로부터 상기 중간위치로 이동되고, 밸브 로드들 (9) 에 작용하는 추력을 통해 상기 중간위치로부터 상기 개방위치로 이동된다.

상기 중간위치로부터, 상기 진공밸브가 닫히는 그리고 도 13 내지 도 16에 도시된 폐쇄위치로 상기 폐쇄 부재를 이동시키기 위해, 슬라이딩 부품들 (24) 은 가로방향 행정-드라이브 (23) 에 의해 시작 위치로부터 마지막 위치로 선형으로 이동된다. 슬라이딩 부품들 (24) 의 이동, 및 서로 쐐기 모양으로 있는 일차-리니어 가이드 (26) 와 이차-리니어 가이드 (27) 를 통해, 이때 가로 이동방향 (14) 으로의 가이드 피스들 (15, 15b) 의 선형 이동이 수행된다. 실시예에서 슬라이딩 부품들 (24) 은 이미 언급된 바와 같이 밸브 몸체 (1) 에 대해 세로 이동방향 (13) 으로 이동된다. 밸브 몸체 (1) 에 대한 일차-리니어 가이드들 (26) 의 비스듬한 위치에 있어서, 밸브 몸체 (1) 에 대한 슬라이딩 부품들 (24) 의 이동은 상기 세로 이동방향에 대해 각을 이루며 있는 비스듬한-이동방향으로 수행된다.

상기 진공밸브의 개방은 반대의 순서로 수행된다. 우선 슬라이딩 부품들 (24) 은 가로방향 행정-드라이브 (23) 에 의해 마지막 위치들로부터 시작 위치들로 이동되고, 이때 가이드 피스들 (15a, 15b) 의 선형 이동은 가로 이동방향 (14) 과 반대로 수행되고, 이로써 가로 이동방향 (14) 과 반대로 상기 폐쇄위치로부터 상기 중간위치로의 폐쇄 부재 (4) 의 이동이 수행된다. 그 후, 밸브 로드들 (9) 그리고 이로써 폐쇄 부재 (4) 는 세로방향 행정-드라이브 (17) 를 통해 세로 이동방향 (13) 과 반대로 이동되고, 이를 통해 폐쇄 부재 (4) 는 상기 중간위치로부터 상기 개방위치로 이동된다.

본 발명의 범위에서 벗어나지 않으면서, 도시된 실시예의 여러 가지 그 밖의 변경들을 생각할 수 있고 가능하다. 이렇게, 예컨대 폐쇄 부재 (4) 는 상기 개방위치에서 밸브 개구부 (2) 의, 드라이브를 향한 측에 놓여 있을 수 있다 (따라서 상기 폐쇄 부재는 상기 개방위치로부터 상기 중간위치로의 이동시 밀어지고, 상기 중간위치로부터 상기 개방위치로의 이동시 당겨진다).

가로 이동방향 (14) 으로 가이드 피스들 (15a, 15b) 을 이동시키기 위해, 가로방향 행정-드라이브 (23) 에 의해 가압된 한 슬라이딩 부품 (24) 만 존재할 수 있고, 가이드 피스들 (15a, 15b) 은 서로 강성적으로 연결될 수 있다. 그러면 슬라이딩 부품 (26) 을 이동 가능하게 안내하기 위한 하나의 개별적인 일차-리니어 가이드 (26) 만 그리고/또는 하나의 개별적인 이차-리니어 가이드 (27) 만 존재할 수 있다.

폐쇄 부재 (4) 를 고정시키기 위한 하나의 밸브 로드만 존재할 수 있고, 상기 밸브 로드는 가이드 피스에 의해 세로 이동방향에 대해 평행으로 이동 가능하게 설치되고, 하나의 슬라이딩 부품 (24) 만 존재할 수 있고, 상기 슬라이딩 부품은 상기 가이드 피스와 함께 작용한다.

리니어 가이드들 (21, 26, 27) 은 실시예에서 언급된 바와 같이, 바람직한 바와 같이 레일 가이드들로서 형성된다 이 경우 슬라이드들은, 두 단부에서 그리고 한 세로방향측으로 열린 채널을 구비하고, 상기 채널은 가이드 레일의 확장된 헤드 영역을 빙 둘러싼다. 특히, 상기 채널은 가로방향 단면과 관련하여 가이드 레일의 세로방향 연장에 대해 직각으로, 보다 큰 지름을 갖는 영역을 구비하고, 상기 보다 큰 지름을 갖는 영역 안에 상기 가이드 레일의 헤드 영역 (head area) 이 놓여 있고, 상기 채널은 보다 작은 지름을 갖는 영역을 구비하고, 상기 보다 작은 지름을 갖는 영역을 통해 상기 가이드 레일의 보다 가느다란 넥 영역 (neck area) 이 연장된다. 이로써 슬라이드는 가이드 레일의 세로방향 연장에 대해 직각인 모든 방향으로 상기 가이드 레일로부터 잡아빼지지 않도록 형상 결합으로 안전해진다.

횡단면과 관련하여 가이드 레일의 세로방향 연장에 대해 직각으로, 슬라이드의 채널의 열려 있는 측은 실시예에서 일차-리니어 가이드들 (26) 과 이차-리니어 가이드들 (27) 에 있어서 각각 한 방향을 가리키고, 상기 방향은 세로 이동방향 (13) 과 가로 이동방향 (14) 에 의해 펼쳐진 평면에 있다. 그 대신에 이 방향은 이 평면에 대해 각을 이루며, 특히 직각으로 있을 수도 있다.

이 리니어 가이드들 (21, 26, 27) 중 개별적인 또는 모든 리니어 가이드들이 다른 방식으로 형성되는 것도, 예컨대 샤프트 가이드의 형태로 (상기 샤프트 가이드에 있어서, 특히 둥근 횡단면을 갖는, 로드가 레일 대신에 제공된다) 또는 슬로티드 가이드 형태로, 생각할 수 있고 가능하다.

세로방향-리니어 가이드들 (21) 은 원칙적으로 생략될 수도 있다.

1 : 밸브 몸체 1a : 벽
1b : 벽 1c : 바닥
1d : 측벽 1e : 측벽
2 : 밸브 개구부 3 : 축
4 : 폐쇄 부재 5 : 밸브 시트
6 : 밀봉링 7 : 내부 공간
8 : 개구부 9 : 밸브 로드
10 : 세로축 11 : 폴딩 벨로스
12 : 브래킷 13 : 세로 이동방향
14 : 가로 이동방향 15a : 가이드 피스
15b : 가이드 피스 16 : 요크
16a : 돌출부 17 : 세로방향 행정-드라이브
18 : 드라이브 부품 19 : 핀
20 : 연결 부품 20a : 오목부
21 : 세로방향-리니어 가이드 21a : 가이드 부품
21b : 슬라이드 22 : 연결 요소
23 : 가로방향 행정-드라이브 24 : 슬라이딩 부품
25 : 요크 26 : 일차-리니어 가이드
26a : 가이드 부품 26b : 슬라이드
27 : 이차-리니어 가이드 27a : 가이드 부품
27b : 슬라이드 28 : 각도

Claims

진공밸브로서,
- 상기 진공밸브는 밸브 시트 (valve seat, 5) 에 의해 둘러싸인 밸브 개구부 (valve opening, 2) 를 갖는 밸브 몸체 (1) 를 포함하고,
- 상기 진공밸브는 폐쇄 부재 (4) 를 포함하고, 상기 폐쇄 부재는 상기 폐쇄 부재가 상기 밸브 개구부 (2) 를 개방하는 개방위치와, 상기 폐쇄 부재가 상기 밸브 개구부 (2) 를 덮는, 하지만 상기 밸브 시트 (5) 로부터 들어내져 있는 중간위치 사이에서 세로 이동방향 (13) 에 대해 평행으로 이동 가능하고, 상기 폐쇄 부재는 상기 중간위치와, 상기 폐쇄 부재가 상기 밸브 시트 (5) 에 밀착하는 폐쇄위치 사이에서 가로 이동방향 (14) 에 대해 평행으로 이동 가능하고,
- 상기 진공밸브는 상기 폐쇄 부재 (4) 를 받치고 있는, 상기 세로 이동방향 (13) 에 대해 평행으로 놓여 있는 적어도 하나의 밸브 로드 (valve rod, 9) 를 포함하고,
- 상기 진공 밸브는 적어도 하나의 가이드 피스 (guide piece, 15a, 15b) 를 포함하고, 상기 적어도 하나의 가이드 피스에 의해 상기 적어도 하나의 밸브 로드 (9) 는 상기 세로 이동방향 (13) 에 대해 평행으로 이동 가능하게 안내되고,
- 상기 진공밸브는 세로방향 행정-드라이브 (17) 를 포함하고, 상기 세로방향 행정-드라이브에 의해, 상기 폐쇄 부재 (4) 를 상기 개방위치와 상기 중간위치 사이에서 이동시키기 위해 상기 적어도 하나의 밸브 로드 (9) 는 상기 적어도 하나의 가이드 피스 (15a, 15b) 에 대해 상기 세로 이동방향 (13) 에 대해 평행으로 이동 가능하고,
- 상기 진공밸브는 가로방향 행정-드라이브 (23) 를 포함하고, 상기 가로방향 행정-드라이브에 의해, 상기 폐쇄 부재 (4) 를 상기 중간위치와 상기 폐쇄위치 사이에서 이동시키기 위해 상기 적어도 하나의 가이드 피스 (15a, 15b) 는 상기 가로 이동방향 (14) 에 대해 평행으로 이동 가능하고,
적어도 하나의 슬라이딩 부품 (sliding part, 24) 이 제공되고, 상기 적어도 하나의 슬라이딩 부품은 적어도 하나의 일차-리니어 가이드 (primary linear guide, 26) 에 의해 상기 밸브 몸체 (1) 에 대해 이동 가능하게 안내되고, 상기 적어도 하나의 슬라이딩 부품은 적어도 하나의 이차-리니어 가이드 (secondary linear guide, 27) 에 의해 상기 적어도 하나의 가이드 피스 (15a, 15b) 에 대해 이동 가능하게 안내되고, 상기 일차-리니어 가이드 (26) 와 상기 이차-리니어 가이드 (27) 는 상기 세로 이동방향 (13) 에 대해 각각 45°보다 작은 각도를 가지며, 상기 적어도 하나의 일차-리니어 가이드 (26) 는 상기 적어도 하나의 이차-리니어 가이드 (27) 와 함께 3°보다 큰 그리고 45°보다 작은 각도를 이루고, 상기 가로 이동방향 (14) 에 대해 평행으로 상기 적어도 하나의 가이드 피스 (15a, 15b) 를 이동시키기 위해 상기 적어도 하나의 슬라이딩 부품 (24) 은 상기 가로방향 행정-드라이브 (23) 에 의해 이동 가능한 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 1 항에 있어서,
상기 적어도 하나의 일차-리니어 가이드 (26) 는 상기 세로 이동방향 (13) 에 대해 평행으로 놓여 있고, 상기 가로방향 행정-드라이브 (23) 를 통한 상기 적어도 하나의 슬라이딩 부품 (24) 의 이동은 상기 세로 이동방향 (13) 에 대해 평행으로 수행되는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 세로방향 행정-드라이브 (17) 는 상기 밸브 몸체 (1) 와 강성적으로 (rigidly) 연결되고, 상기 세로방향 행정-드라이브 (17) 의 움직일 수 있는 적어도 하나의 드라이브 부품 (18) 은 상기 가로 이동방향 (14) 으로 움직일 수 있게 상기 적어도 하나의 밸브 로드 (9) 와 연결되는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
2개의 밸브 로드 (9) 가 제공되고, 상기 밸브 로드들은 상기 폐쇄 부재 (4) 를 받치고 있고, 상기 밸브 로드들은 상기 폐쇄 부재 (4) 로부터 멀리 떨어진 단부에서 요크 (yoke, 16) 를 통해 서로 연결되고, 상기 요크에 상기 세로방향 행정-드라이브 (17) 가 맞물리는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
각각의 밸브 로드 (9) 를 이동 가능하게 안내하기 위한 상기 적어도 하나의 가이드 피스 (15a, 15b) 는 각각 상기 밸브 로드 (9) 에 의해 관통된 개구부를 구비하는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
제 1 슬라이딩 부품과 제 2 슬라이딩 부품 (24) 이 제공되고, 상기 슬라이딩 부품들은 각각 적어도 하나의 일차-리니어 가이드 (26) 에 의해 상기 밸브 몸체 (1) 에 대해 이동 가능하게 안내되고, 각각 적어도 하나의 이차-리니어 가이드 (27) 에 의해 상기 적어도 하나의 가이드 피스 (15a, 15b) 에 대해 이동 가능하게 안내되고, 상기 슬라이딩 부품들은 요크 (25) 를 통해 연결되고, 상기 요크에 상기 가로방향 행정-드라이브 (23) 가 맞물리는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 가로방향 행정-드라이브 (23) 는 상기 밸브 몸체 (1) 와 강성적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 세로방향 행정-드라이브 (17) 는 적어도 하나의 피스톤-실린더-유닛을 구비하고, 상기 가로방향 행정-드라이브 (23) 는 적어도 하나의 피스톤-실린더-유닛을 구비하고, 상기 세로방향 행정-드라이브 (17) 와 상기 가로방향 행정-드라이브 (23) 의 상기 피스톤-실린더-유닛들은 서로 평행으로 놓여 있는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 적어도 하나의 이차-리니어 가이드 (27) 를 통해 미리 정해져 있는 가이드 방향은 상기 적어도 하나의 일차-리니어 가이드 (26) 를 통해 미리 정해져 있는 가이드 방향에 대해 쐐기 (wedge) 모양으로 있고, 상기 쐐기의 뾰족한 끝은 상기 일차-리니어 가이드 (26) 와 상기 이차-리니어 가이드 (27) 의 상기 폐쇄 부재 (4) 를 향한 측에 놓여 있는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 적어도 하나의 밸브 로드 (9) 는 상기 진공밸브의 진공영역의 외부에, 상기 적어도 하나의 가이드 피스 (15a, 15b) 에 의해 이동 가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 1 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 폐쇄 부재 (4) 는 상기 개방위치에서 상기 밸브 개구부 (2) 의 상기 세로방향 행정-드라이브 (17) 로부터 그리고 상기 가로방향 행정-드라이브 (23) 로부터 멀리 떨어진 측에 놓여 있는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 1 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 적어도 하나의 밸브 로드 (9) 를 안내하기 위해 상기 폐쇄 부재 (4) 로부터 멀리 떨어진 단부영역에서 적어도 하나의 세로방향-리니어 가이드 (21) 가 제공되고, 상기 적어도 하나의 세로방향-리니어 가이드의 가이드 부품 (21a) 또는 슬라이드 (21b) 는 상기 밸브 몸체 (1) 와 강성적으로 연결되고, 이 두 부품 (21a, 21b) 중 다른 것은 상기 적어도 하나의 밸브 로드 (9) 와 연결되고, 상기 가로 이동방향 (14) 에 대해 평행으로 상기 적어도 하나의 밸브 로드 (9) 의 이동성을 가능하게 하는 적어도 하나의 연결 요소 (22) 가 제공되는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 12 항에 있어서,
상기 가로 이동방향 (14) 에 대해 평행으로 상기 적어도 하나의 밸브 로드 (9) 의 이동성을 가능하게 하는 상기 적어도 하나의 연결 요소 (22) 는 리프 스프링 (leaf spring) 이고, 상기 리프 스프링은 상기 세로 이동방향에 대해 직각으로 있는 면 법선 (face normal) 을 구비하는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 1 항 내지 제 13 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 적어도 하나의 일차-리니어 가이드 (26) 와 상기 적어도 하나의 이차-리니어 가이드 (27) 는 상기 세로 이동방향 (13) 과 함께 25°보다 작은 각도를 이루는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 14 항에 있어서,
상기 적어도 하나의 일차-리니어 가이드 (26) 는 상기 적어도 하나의 이차-리니어 가이드 (27) 와 함께 4°보다 큰 그리고 25°보다 작은 각도 (28) 를 이루는 것을 특징으로 하는 진공밸브.