JP6912203B2 - 閉塞装置 - Google Patents

Description

本発明は、隔壁の開口部を閉塞するための閉塞装置に関する。

隔壁に形成された開口部を真空気密に閉塞するための閉塞装置は真空バルブと呼ばれる。真空チャンバの隔壁に開口部が配置され、閉塞要素が真空チャンバを取り囲む周囲空間においてチャンバ隔壁の外側に設けられている場合、この真空バルブは真空ドアと呼ばれる。真空ドアの形態の閉塞装置は、単一方向に作用する差圧に対処するために設計される。他のタイプの真空バルブは、通常、両方向に作用する差圧に対処するために設計される。このような閉塞装置によれば、閉塞要素は一般的に、閉塞要素により閉塞可能な開口部を有するバルブハウジングの内部に配置されている。

開口部を閉塞するための閉塞装置によれば、閉塞要素が、ロッドに対して平行に延在する縦変位方向について開位置から中間位置（閉塞要素が開口部を覆っている一方で隔壁から離間している位置）まで動かされる。続いて、Ｌ−バルブと同様に、閉塞要素が、縦変位方向に対して実質的に垂直な横方向について動かされて隔壁に押し付けられる。

Ｌ−バルブの１つの一般的ではない構成によれば、閉塞要素をロッドが縦変位方向に対して垂直な軸線まわりに揺動可能に配置されている。軸線のまわりにロッドを揺動させるため、リンクガイドを用いることが提案されている（特許文献１〜３参照）。

縦変位方向に対して傾斜してまたは垂直に延在している横変位方向について閉塞要素を中間位置および閉位置の間で変位させるＬ−バルブによれば、閉塞要素を中間位置および閉位置の間で往復させるための駆動要素が、閉塞要素を支持する支持ユニットに配置され、支持ユニットはロッドに取り付けられている。真空ドアの形態のＬ−バルブが提案されている（特許文献４〜６参照）。ピストンシリンダユニットの正確な動作を確保するためのシーケンス制御方法が提案されている（特許文献７〜８参照）。Ｌ−バルブ用の他のシーケンス制御方法も提案されている（特許文献９参照）。

縦変位方向にロッドを変位可能に配置され、ロッドを縦変位方向に変位させるための駆動装置が取り付けられているブロックが、縦変位方向に対して垂直な横変位方向に直線的に変位可能なＬ−バルブが提案されている（特許文献１０参照）。この直線変位は、当該方向に作用するピストンシリンダユニットにより実現される。

閉塞要素を縦変位方向に変位させるためにピストンシリンダユニットが用いられ、バルブハウジングに対して縦変位方向に垂直に延在する横変位方向に変位させるリニアガイドが配置されているＬ−バルブが提案されている（特許文献１１参照）。

閉塞要素を支持するロッドが、縦直線方向に直線的に変位可能に案内されるバルブが提案されている（特許文献１２参照）。この目的のため、バルブロッドに連結され、ロッド上に形成されたガイド部材に沿って縦変位方向に変位可能に案内される支持部材が設けられている。ロッド状のガイド部材は、縦変位方向に対して垂直に延在する横変位方向に変位可能であり、かつ、気圧式ピストンシリンダユニットによって横変位方向に変位可能である。ロッドを縦変位方向に変位させるため、ピストンロッドに対して伝動部材を横方向に変位可能にするように、ピストンロッドに対して支持部材が連結された気圧式ピストンシリンダユニットが用いられる。

前述と同様のタイプの閉塞装置が提案されている（特許文献１３参照）。閉塞要素はバルブハウジングの内部に配置され、閉位置においてバルブハウジングの開口部を閉塞する。閉塞装置を開閉するため、中継ユニットは、縦変位方向に離間している左カムおよび右カム溝が固定されているヨークによって構成されている。各カムには、縦変位方向に延在する第１カム溝および斜辺変位方向に延在する第２カム溝が設けられている。第１カム溝には、ハウジングに固定された制御カムが係合している。第２カム溝には、閉塞要素を支持するロッドに対して堅固に連結されている支持部材に配置されている制御カムが係合している。中継ユニットのヨークと支持部材との間にばねが配置されている。このばねは、中継ユニットを始端位置から中腹位置まで変位させる際、支持部材に作用する。中継ユニットが中腹位置から終端位置に向かってさらに変位する際、支持部材の縦変位方向へのさらなる変位が防止され、支持部材は縦変位方向に対して垂直な横変位方向に変位する。これにより、閉塞要素を閉位置に変位させるために、ロッドが閉塞要素とともに横変位方向に平行に動かされる。この閉塞装置によれば、設計上の多大な努力をせずに、ほとんど遊びが生じない円滑な動作を実現することは困難である。

同様の閉塞装置が提案されている（特許文献１４参照）。中継ユニットが中腹位置から終端位置に変位する際、閉塞要素を支持するロッドが、縦変位方向に対して垂直に延在する軸線まわりに揺動する。このような揺動は、閉塞要素の平行移動にとっては、閉位置における閉塞要素のシール部材を均等に押圧する等の観点から欠点がある。

構成が類似する閉塞装置が提案されている（特許文献１５〜１６参照）。相互に対向する隔壁の開口部を交互に閉塞可能な第１閉塞要素および第２閉塞要素が設けられている。

縦方向に作用する駆動装置によって閉塞装置が開位置から中間位置を経て閉位置に駆動される閉塞装置が提案されている（特許文献１７参照）。閉塞要素を中間位置から閉位置に変位させる際、閉塞要素が取り付けられているバルブロッドが揺動され、縦方向に平行に延在する第１縦穴に沿って第１カムが動かされ、縦方向に対して斜方に延在する第２縦穴に沿って第２カムが動かされる。

米国特許公報 ＵＳ６２３７８９２Ｂ１ 米国特許公報 ＵＳ７０６６４４３Ｂ２ 米国特許公開公報 ＵＳ２０１２／０２５８２４２Ａ１ 米国特許公報 ＵＳ６０５６２６６Ａ 米国特許公報 ＵＳ６８９９３１６Ｂ２ 米国特許公報 ＵＳ７６１１１２２Ｂ２ 米国特許公報 ＵＳ６０５６２６６Ａ 米国特許公報 ＵＳ７６１１１２２Ｂ２ 米国特許公報 ＵＳ８１７７１９０Ｂ２ 国際特許公開公報 ＷＯ２０１０／０３４０４６Ａ１ 米国特許公報 ＵＳ７７６２５２７Ｂ２ 国際特許公開公報 ＷＯ２０１４／０７５７５７Ａ１ 米国特許公開公報 ＵＳ２０１３／０１１２９０６Ａ１ 欧州特許公報 ＥＰ１０６１３０１Ａ２ 米国特許公開公報 ＵＳ２０１５／００１４５５６Ａ１ 米国特許公開公報 ＵＳ２０１３／０１１２９０６Ａ１ 日本国特許公開公報 ＪＰＨ１１−２３６０Ａ

本発明の目的は、製造が容易である点で有利な前述のタイプの閉塞装置を提供することにある。

本発明は、隔壁の開口部を真空閉塞するための閉塞装置であって、縦変位方向に平行な方向について、前記閉塞装置が開状態にある開位置から中間位置に閉塞要素を駆動し、かつ、前記縦変位方向に対して垂直な横変位方向について、前記中間位置から前記閉塞装置が閉状態にある閉位置まで前記閉塞要素を駆動し、かつ、前記縦変位方向に対して平行に延在する縦軸線を有し、かつ、前記閉塞装置のハウジングの外側に案内されて支持部材に対して固定されている少なくとも１つのロッドを有している閉塞ユニットと、前記閉塞要素が開位置、中間位置および閉位置のそれぞれにある際の始端位置、中腹位置および終端位置の間で、前記縦変位方向に対して平行な方向について変位可能な中継ユニットと、前記中継ユニットおよび前記支持部材の間に配置され、前記中継ユニットが始端位置から中腹位置に変位する際に前記支持部材を連動させ、これにより前記支持部材を縦変位方向について前記ハウジングに対して変位させる少なくとも１つのばねと、前記中継ユニットが中腹位置から終端位置に変位する際に前記支持部材を縦変位方向に平行な方向についてさらに変位することを防止し、これにより前記支持部材が前記ハウジングに対して横変位方向について変位させる制動装置と、を備えている閉塞装置に関する。

本発明の閉塞装置は、前記閉塞装置が、ガイドレールおよび前記ガイドレールに沿って変位可能に配置されているキャリッジを有する少なくとも１つの縦リニアガイドおよび少なくとも１つの斜方リニアガイドを備え、前記縦リニアガイドの前記ガイドレールが縦変位方向に対して平行に配置され、前記斜方リニアガイドの前記ガイドレールが斜方変位方向に対して平行に配置され、縦変位方向および横変位方向に広がる平面が縦変位方向および横変位方向のそれぞれに対して傾斜して配置され、前記中継ユニットが前記少なくとも１つの縦リニアガイドにより前記ハウジングに対して縦変位方向に変位可能に案内され、かつ、前記支持部材が前記少なくとも１つの斜方リニアガイドにより前記中継ユニットに対して斜方変位方向に変位可能に案内されることを特徴とする。

本発明の閉塞装置によれば、工業分野において標準的コンポーネントとして多数用いられている従来のリニアガイドが、少なくとも１つの縦リニアガイドおよび少なくとも１つの斜方リニアガイドのために有利に用いられる。このようなリニアガイドは低コストかつ簡便であり、（リニアガイドに対して規定されている）遊びがわずかまたは皆無である。特に、このタイプのリニアガイドのキャリッジは、転回ガイドまたは筒状ケージに格納されている転動体などによってガイドレールによって転動するように格納される。ガイドレールに対してキャリッジの相対的なスライドガイドが可能である。

閉塞装置の閉塞に際して、中継ユニットが中腹位置に到達した場合、制動装置によって閉塞ユニットが制動または減速される。この制動を減衰させるため、制動装置は当接ばねを備えていることが好ましい。制動装置の作動時に当接ばねに当接する停止部によって当接ばねが基底位置から作用位置に変形される。当接ばねが、閉塞装置の閉塞に際して実現される閉塞ユニットの制動を減衰させ、当接ばねに対して当接する停止部によるばね変形を通じて撓むばね脚を備え、当接ばねの基底位置において、ばね脚が、少なくとも閉塞装置の閉塞に際してばね脚に対して停止部が当接するところの部分において、堅固な支持部から離間し、当接ばねの作用位置において、ばね脚が、当該部分において支持部に接触することが好ましい。停止部は、例えばロッドの一部（支持部材の閉塞要素に対向する箇所において支持部材から離間している部分）に取り付けられているボルトであってもよい。これは、閉塞装置の制動の簡易かつ効率的な減衰によって達成される。

本発明の一実施形態において、閉塞装置は真空ドアとして構成される。閉塞装置は、真空チャンバのチャンバ隔壁の外側に取り付けられ、真空チャンバを取り囲む周囲空間において真空チャンバの外側に配置される。閉塞装置の閉状態において、閉塞要素は、開口部を囲む領域においてチャンバ隔壁に対して押し付けられる。このような真空ドアは、周囲空間から真空チャンバの内部空間に向かう方向に作用する差圧を封止または遮断するように構成されていてもよい。これに代えて、閉塞装置が、閉塞要素がバルブハウジングに配置されている真空バルブとして構成されていてもよい。この場合、閉塞装置は（大気圧に至るまで）両方向の差圧に耐えることができる。

本発明のさらなる利点および詳細は、添付図面を用いて説明される。

本発明の一実施形態としての閉塞装置の一の斜視図。 本発明の一実施形態としての閉塞装置の他の斜視図。 閉塞要素の開位置において、ハウジングキャップが省略された隔壁に組み付けられた閉塞装置の上面図。 図３のＡ−Ａ線に沿った断面図。 図３のＢ−Ｂ線に沿った断面図。 図３のＣ−Ｃ線に沿った断面図。 図６のＮ部分の拡大詳細図。 閉塞要素の中間位置における図３の対応図。 図８のＤ−Ｄ線に沿った断面図。 図８のＥ−Ｅ線に沿った断面図。 図８のＦ−Ｆ線に沿った断面図。 図１１のＰ部分の拡大詳細図。 閉塞要素の閉位置における図３の対応図。 図１３のＧ−Ｇ線に沿った断面図。 図１３のＨ−Ｈ線に沿った断面図。 図１３のＫ−Ｋ線に沿った断面図。 図１６のＲ部分の拡大詳細図。 閉塞要素の開位置における隔壁に組み付けられた閉塞装置の下面図。 図１８のＬ−Ｌ線に沿った断面図。 図１９のＭ部分の拡大詳細図。 閉塞要素の中間位置における図１９の対応図。 図２１のＵ部分の拡大詳細図。 閉塞要素の閉位置における図１９の対応図。 図２３のＶ部分の拡大詳細図。 閉塞要素の開位置においてハウジングカバーが省略された状態の隔壁に組み付けられた閉塞装置の斜視図。 閉塞要素の中間位置においてハウジングカバーが省略された状態の隔壁に組み付けられた閉塞装置の斜視図。 閉塞要素の閉位置においてハウジングカバーが省略された状態の隔壁に組み付けられた閉塞装置の斜視図。 一の方向から見た分解図。 他の方向から見た分解図。 相互に可動な部分がユニットとして（ハウジングカバーを除いて）分解されていない形で示されていると図２８と同じ方向から見た分解図。 部分的に破断されたキャリッジおよびリニアガイドの変形実施形態の部分説明図。

本発明の閉塞装置の一実施形態が図１〜図３０に示されている。

閉塞装置は例えば平板状に形成されている閉塞要素１を備え、これはロッド２により支持されている。本実施形態では、ロッド２および閉塞要素１が連結部材３により連結されている。ロッド２および閉塞要素１が直接的に固定されてもよい。

閉塞装置の閉状態において、閉塞要素１により隔壁６に形成された開口部４が封止または閉塞され、開状態において閉塞装置が開放される。隔壁６は、例えば図示されていない真空チャンバの一部を構成する。閉塞装置は、ハウジング８の中空空間の反対側にある隔壁６の外側に固定されている。この固定に際して、例えば閉塞装置のハウジング８を貫通し、ブラインドホールにおいて当該隔壁６に形成された雌ねじに螺着されるねじ７が用いられる。

以下で詳細に説明するように、閉塞装置の開状態において閉塞要素１が存在する開位置から中間位置に達するまで、閉塞要素１が縦変位方向９について直線的に変位する。続いて、閉塞装置が閉状態となる閉位置に達するまで、閉塞要素１が縦変位方向９に対して垂直な横変位方向１０について直線的に変位する。

閉塞要素１は中間位置において、開口部４の軸線５の方向から見て開口部４を覆い、かつ、隔壁６から浮いている（＝離間している）。閉塞要素１は閉位置において開口部４の周辺のシート１１に対して押し付けられる。このシート１１は、本実施形態では閉塞要素１に配置されている（例えばＦＫＭまたはＦＦＫＭからなる）弾性シールリング１２が押し付けられるシール面により構成されている。基本的に、シールリング１２は、シート１１および閉塞要素１のシール面に配置されうる。

ロッド２は、縦変位方向９に対して平行に延在する縦軸線１３を有している。ロッドがその軸線１３に対して平行な方向に変位することにより、閉塞要素１が開位置から中間位置に変位する。

閉塞要素１の閉位置において、開口部４は真空状態が維持されるように気密に閉塞または封止される。これは、隔壁６の閉塞要素１とは反対側にあって、開口部４から隔絶されている真空領域において、閉塞要素１の閉状態で１時間以上などの長時間にわたり、０．１Ｐａ以下の状態などの真空状態が維持されうることを意味する。

ロッド２は支持部材１４に対して堅固に連結されている。支持部材１４、ロッド２、閉塞要素１および連結部材３は、閉塞ユニット２６を構成し（図３０参照）、閉塞装置の開閉に際して相対的に動く部位を構成する。

閉塞装置の開閉のため、本実施形態では２つの気圧式ピストンシリンダユニットによって構成されている駆動装置１５が用いられる。駆動装置１５は、中継ユニット１８に対して作用する。中継ユニット１８は、第１および第２のリニアガイド１９によってハウジング８に対して縦変位方向９に平行に可動に案内される。中継ユニット１８を縦変位方向９に平行に変位可能に案内するリニアガイドを縦リニアガイド１９という。中継ユニット１８は、駆動装置１５によって縦変位方向９に始端位置から中腹位置を経て終端位置まで直線的に駆動されうる。

中継ユニット１８の始端位置において閉塞要素１は開位置にあり、中継ユニット１８の終端位置において閉塞要素１は閉位置にある。中継ユニット１８が始端位置から中腹位置に変位する間に、閉塞要素１が開位置から中間位置に変位する。中継ユニット１８が中腹位置から終端位置に変位する間に、閉塞要素１が中間位置から閉位置に変位する。これは後で詳細に説明する。

中継ユニット１８は、本実施形態では２つの側部１８ａ、１８ｂおよび連結部１８ｃにより構成され、ピストンシリンダユニットのピストンロッド１６が当該２つの側部１８ａ、１８ｂに当接している。ピストンロッド１６および２つの側部１８ａ、１８ｂが一体化される等、組み付けられていてもよい。

支持部材１４は、第１および第２のリニアガイド２０により中継ユニット１８に対して斜方変位方向２１に平行に（図６参照）変位可能に案内される。支持部材１４を中継ユニット１８に対して斜方変位方向２１に平行に変位可能に案内するリニアガイドが斜方リニアガイド２０という。

縦リニアガイド１９および斜方リニアガイド２０は、レールガイドのような従来方式のガイドまたは案内部材として構成され、直線状に延在するガイドレール２２およびガイドレール２２の延在方向に沿って変位可能に案内されるキャリッジ２３（＝案内車）を有している。キャリッジ２３は、ガイドレール２２の拡張されたヘッダ２２ａと係合する凹部を有している。キャリッジ２３は、ガイドレール２２の延在方向に対して垂直な横断面においてＣ字形状の凹部または窪みを有する。キャリッジ２３は、ガイドレール２２の延在方向に対して垂直なすべての方向についてガイドレール２２から離間して固定されている。図１〜図３０に示されている一実施形態におけるように、縦リニアガイド１９および斜方リニアガイド２０に対してわずかに組み付けられて構成されているリニアガイドの一部が、図３１（キャリッジ２３が部分的に切り欠かれて示されている。）に示されているように、縦リニアガイド１９および斜方リニアガイド２０に代えて用いられてもよい。ここでは球状の転動体３２の形態である。球状に代えて、例えばころ用の転動体としてロールが設けられていてもよい。キャリッジ２３が転動体３２によってガイドレール２２に対して変位可能に収納されてもよい。例えば、ボール状またはローラ状の回転体が設けられてもよく、ケージに配置されたボールまたはロール（＝ローラ）が転動体として用いられてもよい。

縦リニアガイド１９および斜方リニアガイド２０のうち一方または両方のキャリッジ２３は、転動体３２によってそれぞれのガイドレール２２に弾性的に支持されてもよい。

縦リニアガイド１９および斜方リニアガイド２０のうち一方または両方のキャリッジ２３が転動体３２により変位可能に案内される場合、それぞれのキャリッジ２３が転動体３２によりそれぞれのガイドレール２２に対して弾性的に支持されてもよい。これは遊びまたは間隙によって省略されてもよい。

本実施形態では縦リニアガイド１９によりガイドレール２２がハウジング８に対して取り付けられ、キャリッジ２３が中継ユニット１８、特に中継ユニット１８の側部１８ａ、１８ｂのそれぞれに対して取り付けられ、閉塞装置のコンパクトな設計にとって有利である。原理的には、ガイドレール２２が中継ユニット１８に取り付けられていてもよく、キャリッジ２３がハウジング８に取り付けられていてもよい。

本実施形態における斜方リニアガイド２０により、ガイドレール２２が中継ユニット１８、特に中継ユニット１８の２つの側部１８ａ、１８ｂに取り付けられ、キャリッジ２３が支持部材１４に取り付けられている。原理的には、ガイドレール２２が支持部材１４に取り付けられていてもよく、キャリッジ２３が中継ユニット１８に取り付けられていてもよい。

本実施形態では縦リニアガイド１９のキャリッジ２３の開放側および斜方リニアガイド２０のキャリッジ２３の開放側は相互に垂直な方向に向いている。縦リニアガイド１９のキャリッジ２３の開放側は隔壁６の方向に向かっている。斜方リニアガイド２０のキャリッジ２３の開放側は、縦変位方向９および横変位方向１０に広がっている平面に垂直な方向に向いている。本実施形態では縦リニアガイド１９のキャリッジ２３の開放側および斜方リニアガイド２０のキャリッジ２３の開放側は相互に同一な方向または逆の方向に向いていてもよい。

斜方リニアガイド２０は、縦変位方向９と横変位方向１０に広がっている平面（＝縦変位方向９および横変位方向１０の両方が配置されている平面）に延在している。斜方変位方向２１は、縦変位方向９に対して傾斜し、かつ、横変位方向１０に対して傾斜している。すなわち、縦変位方向９および横変位方向１０が０°ではない角度２４をなす（図６参照）。斜方変位方向２１は、縦変位方向９に対して好ましくは４°以上かつ４５°以下の角度２４をなしている。角度２４は、５°〜２０°の範囲にあることが好ましい。

中継ユニット１８および支持部材１４の間にはばね２５が配置され、このばね２５は、閉塞装置の閉塞に際して支持部材１４を中継ユニット１８に結合させるので、「結合ばね」と呼ばれる場合がある。閉塞装置の閉塞に際してばね２５は圧力を作用させるため、押圧ばねとして機能する。ばね２５が引張ばねとして構成されていてもよい。

本実施形態では２つのばね２５が設けられている。単一のばね２５が設けられてもよく、あるいは２より多数のばね２５が設けられてもよい。

少なくとも１つのばね２５は、長手方向が傾き変位方向２１に対して平行に延在しているコイルばねにより構成されている。ばねワッシャのパケットにより構成されていてもよい。

図３〜図６、図１９および図２５に示されている中継ユニット１８の始端位置において、後述するように閉塞要素１は開位置にある。閉塞装置を閉塞するため、中継ユニット１８は駆動装置１５によって縦変位方向９に対して平行に始端位置から終端位置に向かって駆動される。ここで、支持部材１４は少なくとも１つのばね２５によって連行される。すなわち、支持部材１４は、縦変位方向９に対して平行に中継ユニット１８と同等に駆動される。中継ユニット１８が中腹位置に到達した際、閉塞要素１はその中間位置にある。中継ユニット１８のこの状態は、図８〜図１１、図２１および図２６に示されている。

中継ユニット１８が駆動装置１５によって中腹位置を超えて終端位置に向かって縦変位方向９に対して平行に駆動される場合、支持部材１４が縦変位方向９にさらに変位することが後述する制動装置２８、２９によって防止される。これにより、支持部材１４に対して中継ユニット１８が相対的に変位し、ばね２５が圧縮される（少なくとも１つのばね２５が引張ばねとして構成されている他の実施形態において、ばねは伸長される）。中継ユニット１８に対する支持部材１４の相対的な変位は、斜方リニアガイド２０によって実現される。中継ユニット１８が中腹位置から終端位置に変位する際、斜方リニアガイド２０のキャリッジ２３が、斜方リニアガイド２０のレール２２に沿って変位する。これにより支持部材１４、ひいては閉塞ユニット２６がハウジング８に対して横変位方向１０について変位する。閉塞要素１は隔壁６に向かう方向に駆動され、かつ、開口部４を閉塞するために隔壁６に押し付けられる。中継ユニット１８の終端位置は、図１３〜図１６、図２３および図２７に示されている。

中継ユニット１８が始端位置から終端位置まで直線的に変位することにより、真空バルブが全体的に閉塞される。中継ユニット１８が始端位置から中腹位置に変位する際、支持部材１４および中継ユニット１８の間に相対変位がない。中継ユニット１８が中間位置に終端位置に変位する際、支持部材１４が中継ユニット１８に対して斜方リニアガイド２０に沿っている斜方変位方向２１に相対的に動かされる。

前述と反対方向の移動過程を経ることにより閉塞装置が開放される。中継ユニット１８が終端位置から中腹位置に到達した際、中継ユニット１８に対する支持部材１４の変位を制限するように機能する制動機構が設けられている。この制動機構は、本実施形態では、斜方リニアガイド２０のキャリッジ２３が当接する中継ユニット１８の凸部２７により構成されている。この制動機構は、例えばそれぞれの斜方リニアガイド２０のガイドレール２２およびキャリッジ２３の間など、他の形態で構成されていてもよい。原則的にこのような制動機構が省略され、閉塞装置の開放に際して引張ばねとして機能する少なくとも１つのばね２５が支持部材１４に作用してもよい。

図３０において、相互に動く要素が相互に連結された状態で示されている。このため、閉塞ユニット２６の部分と、支持部材１４に取り付けられている斜方リニアガイド２０のキャリッジ２３とがユニットとして示されている。中継ユニット１８およびこれに取り付けられている縦リニアガイド１９のキャリッジ２３、さらにはこれに取り付けられている斜方リニアガイド２０のガイドレール２２およびこれに取り付けられているピストンロッド１６もユニットとして示されている。縦リニアガイド１９のガイドレール２２はシリンダ１７と同様にハウジング８に取り付けられて示されている。

閉塞ユニット２６の減速を緩和するため（すなわち発生する衝撃を遅延または低減するため）、制動装置が当接ばね２８を備えている。閉塞要素１の開位置において、当接ばね２８は、無負荷であって変形していない基底位置にある。閉塞装置が閉塞される際、停止部２９が当接ばね２８に当接して作用位置において変形させ、中継ユニット１８の始端位置から中腹位置までの行程の最後の部分において当該停止および当該変形が実現される。

当接ばね２８は、停止部２９と相互作用するばね脚２８ａを有している。ばね脚２８ａはその伸縮過程で停止部２９によって撓ませる（または偏向させる）ことができる。当接ばね２８の基底位置において、その延在範囲のうち閉塞装置の閉塞に際して停止部２９が停止する少なくとも一部が、堅固な支持部３０から離間している。当接ばね２８の作用位置において、ばね脚２８ａが停止部２９により撓ませられた場合、ばね脚２８ａの当該部分が支持部３０に当接する。ばね脚２８ａの撓み（または偏向）は支持部３０により制限される。

本実施形態では、当接ばね２８は支持部３０のそれぞれに対応する２つのばね脚２８ａを有している。当接ばね２８が、一方の支持部３０に対応する単一のばね脚２８ａが設けられてもよく、または、支持部３０に対応する２より多数のばね脚２８ａが設けられてもよい。本実施形態では、支持部３０がハウジング８の底隔壁に取り付けられ、かつ、そこから突出しているボルトにより構成されているが、支持部３０が他の形態で構成されてもよく、複数のばね脚２８ａのための共通の支持部材として構成されてもよい。少なくとも１つのばね脚２８ａは、（当接ばね２８の基底位置および作用位置の両方において）縦変位方向９と４５°以上の角度をなしている。

他の実施形態において、当接ばね２８が少なくとも１つのばね脚２８ａに湾曲部を介して連結されている板状のベース２８ｂが設けられていてもよい。板状のベース２８ｂは、ハウジング８に直接的にねじ止めされてもよい。当接ばね２８の基底状態において、ばね脚２８ａは基部２８ｂと４５°〜８０°の範囲にある角度をなすことが好ましい。当接ばね２８の作用位置において、ばね脚２８ａは停止部２９に当接し、当該角は例えば９０°になる。

本実施形態では、停止部２９はロッド２において閉塞要素１とは反対側にあって支持部材１４がそこから延在している箇所、特にロッドの自由端箇所に配置されている。停止部２９は、ロッド２を貫通するボルトにより構成されているが、他の形態で構成されていてもよい。他の実施形態において、停止部２９が支持部材１４に配置され、ハウジング８の対応箇所に設置された停止ばねと相互作用してもよい。

ハウジング８は、ロッド２が導出されている内部空間を有している。この導出は、本実施形態ではベローズ３１により遮断または封止されている（中間部分は示されていない）。このため、ハウジングの内部で生じたパーティクルがロッド２のための開口部を通じてハウジング内部から隔壁６の開口部４の領域に到達することが回避される。

中継ユニット１８、支持部材１４およびリニアガイド１９、２０、好ましくはさらに駆動装置１５がハウジング８の内部に配置されている。ハウジング８は、周囲空間から遮断されていてもよく、または、ハウジング８の内部からのパーティクルを除去するフィルタを介して周囲空間に接続されていてもよい。閉塞装置は、特にクリーンルーム環境で適切に使用されうる。

本発明の技術的思想を逸脱することなく、本発明の実施形態が様々に変更されてもよい。例えば、変形実施形態において、駆動装置として単一のピストンシリンダユニットが設けられてもよく、あるいは、３より多数のピストンシリンダユニットが設けられてもよい。例えば電動式の駆動装置など、気圧式ピストンシリンダユニットとは異なる他のアクチュエータを有する駆動装置が用いられてもよい。

駆動装置が同じ変位方向に作用する複数の駆動要素（＝アクチュエータ）を備えていてもよい。

中継ユニット１８が駆動装置（例えば同期された複数のアクチュエータ）によって同期して駆動される２つの別個の部品から構成されていてもよい。

閉塞ユニットは、共通の支持部材に堅固に連結されている複数のロッドを有していてもよい。各ロッドが別個の支持部材のそれぞれに対して堅固に連結されてもよい。

中継ユニット１８の直線的に変位可能なガイドのため、原理的に単一のまたは２より多数の縦リニアガイドが設けられていてもよい。

中継ユニット１８に対する支持部材１４の直線的に変位可能なガイドのために単一のまたは２より多数の斜方リニアガイドが設けられていてもよい。

本実施形態では、閉塞装置は真空ドアの形態であったが、真空バルブの形態であってもよい。例えば、２つの真空チャンバの間に配置される真空バルブであってもよい。閉塞装置が、閉塞要素１が内部に配置されたバルブハウジングを備え、ロッド２がバルブハウジングから外側に、ベローズ等によって気密に案内されていてもよい。この場合、開口部４がバルブハウジングの隔壁に形成され、バルブハウジングが例えば当該隔壁に対向する隔壁に第２の開口部を有していてもよい。

１‥閉塞要素、２‥ロッド、３‥連結部材、４‥開口部、５‥軸線、６‥隔壁、７‥ネジ、８‥ハウジング、９‥縦変位方向、１０‥横変位方向、１１‥シート、１２‥シール、１３‥縦軸線、１４‥支持部材、１５‥駆動装置、１６‥ピストンロッド、１７‥シリンダ、１８‥中継ユニット、１８ａ‥側部、１８ｂ‥側部、１８ｃ‥連結部、１９‥縦リニアガイド、２０‥斜方リニアガイド、２１‥斜方変位方向、２２‥ガイドレール、２２ａ‥ヘッダ、２３‥キャリッジ、２４‥角度、２５‥ばね、２６‥閉塞ユニット、２７‥凸部、２８‥当接ばね、２８ａ‥ばね脚、２８ｂ‥ベース、２９‥停止部、３０‥支持部、３１‥ベローズ、３２‥転動体。

Claims (10)

1. 隔壁（６）の開口部（４）を真空閉塞するための閉塞装置であって、
   縦変位方向（９）に平行な方向について、前記閉塞装置が開状態にある開位置から中間位置に閉塞要素（１）を駆動し、かつ、前記縦変位方向（９）に対して垂直な横変位方向（１０）について、前記中間位置から前記閉塞装置が閉状態にある閉位置まで前記閉塞要素（１）を駆動し、かつ、前記縦変位方向（９）に対して平行に延在する縦軸線を有し、かつ、前記閉塞装置のハウジング（８）の外側に案内されて支持部材（１４）に対して固定されている少なくとも１つのロッド（２）を有している閉塞ユニット（２６）と、
   前記閉塞要素（１）が開位置、中間位置および閉位置のそれぞれにある際の始端位置、中腹位置および終端位置の間で、前記縦変位方向（９）に対して平行な方向について変位可能な中継ユニット（１８）と、
   前記中継ユニット（１８）および前記支持部材（１４）の間に配置され、前記中継ユニット（１８）が始端位置から中腹位置に変位する際に前記支持部材（１４）を連動させ、これにより前記支持部材（１４）を縦変位方向（９）について前記ハウジング（８）に対して変位させる少なくとも１つのばね（２５）と、
   前記中継ユニット（１８）が中腹位置から終端位置に変位する際に前記支持部材（１４）を縦変位方向に平行な方向についてさらに変位することを防止し、これにより前記支持部材（１４）が前記ハウジング（８）に対して横変位方向（１０）について変位させる制動装置と、を備え、
   前記閉塞装置が、ガイドレール（２２）および前記ガイドレール（２２）に沿って変位可能に配置されているキャリッジ（２３）を有する少なくとも１つの縦リニアガイド（１９）および少なくとも１つの斜方リニアガイド（２０）を備え、
   前記縦リニアガイド（１９）の前記ガイドレール（２２）が縦変位方向（９）に対して平行に配置され、前記斜方リニアガイド（２０）の前記ガイドレール（２２）が、縦変位方向（９）および横変位方向（１０）のそれぞれに対して傾斜して配置されている平面に沿っている斜方変位方向（２１）に対して平行に配置され、
   前記中継ユニット（１８）が前記少なくとも１つの縦リニアガイド（１９）により前記ハウジング（８）に対して縦変位方向（９）に変位可能に案内され、かつ、前記支持部材（１４）が前記少なくとも１つの斜方リニアガイド（２０）により前記中継ユニット（１８）に対して斜方変位方向（２１）に変位可能に案内されることを特徴とする閉塞装置。
2. 請求項１記載の閉塞装置において、前記キャリッジ（２３）が、転動体により前記ガイドレール（２２）に対して変位可能に配置されていることを特徴とする閉塞装置。
3. 請求項１または２記載の閉塞装置において、前記制動装置が、前記閉塞要素（１）の開位置において無負荷になって基底位置にあり、前記閉塞装置の閉塞に際して実現される前記閉塞ユニット（２６）の制動を減衰させて作用位置で変形する当接ばね（２８）を備えていることを特徴とする閉塞装置。
4. 請求項３記載の閉塞装置において、前記当接ばね（２８）が、前記閉塞装置の閉塞に際して実現される前記閉塞ユニット（２６）の制動を減衰させ、前記当接ばね（２８）に対して当接する停止部（２９）によるばね変形を通じて撓むばね脚（２８ａ）を備え、前記当接ばね（２８）の基底位置において、前記ばね脚（２８ａ）が、少なくとも前記閉塞装置の閉塞に際して前記ばね脚（２８ａ）に対して前記停止部（２９）が当接するところの部分において、堅固な支持部（３０）から離間し、前記当接ばね（２８）の作用位置において、前記ばね脚（２８ａ）が、当該部分において前記支持部（３０）に接触することを特徴とする閉塞装置。
5. 請求項１〜４のうちいずれか１つに記載の閉塞装置において、前記斜方変位方向（２１）が前記縦変位方向（９）と４５°以下の角度（２４）をなしていることを特徴とする閉塞装置。
6. 請求項１〜５のうちいずれか１つに記載の閉塞装置において、前記斜方変位方向（２１）が前記縦変位方向（９）と４°以上の角度（２４）をなしていることを特徴とする閉塞装置。
7. 請求項１〜６のうちいずれか１つに記載の閉塞装置において、前記斜方変位方向（２１）が前記縦変位方向（９）と５°〜２０°の範囲の角度（２４）をなしていることを特徴とする閉塞装置。
8. 請求項１〜７のうちいずれか１つに記載の閉塞装置において、前記ロッド（２）が前記縦変位方向（９）に対して平行な縦軸線（１３）を有していることを特徴とする閉塞装置。
9. 請求項１〜８のうちいずれか１つに記載の閉塞装置において、前記ロッド（２）の縦軸線（１３）の両側のそれぞれに縦リニアガイド（１９）および斜方リニアガイド（２０）が配置されていることを特徴とする閉塞装置。
10. 請求項１〜９のうちいずれか１つに記載の閉塞装置において、前記中継ユニット（１８）、前記支持部材（１４）、前記少なくとも１つの縦リニアガイド（１９）および前記少なくとも１つの斜方リニアガイド（２０）が、前記ハウジング（８）の中空空間に配置されていることを特徴とする閉塞装置。
    

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