TW202334567A - 閘閥 - Google Patents

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西川武志
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Abstract

[課題] 本發明提供一種閘閥，用於使通過彼此鄰接之腔室的各開口部彼此連通或個別地開合，可謀求閘閥整體的高度尺寸的小型化。 [解決手段] 本發明是設置使第1開合機構(40)與第2開合機構(45)分別可個別地動作，該第1開合機構(40)，包括第1凸輪槽(41)及第1凸輪輥(42)，使閥組合體(10)在中間位置與第1封閉位置之間往返移動，該第1開合機構(45)，包括第2凸輪槽(46)及第2凸輪輥(47)，使得該閥組合體(10)在上述中間位置與第2封閉位置之間往返移動，在閘閥1的厚度方向(D)彼此鄰接配置該等第1及第2開合機構。

Description

閘閥
本發明是關於在半導體製造裝置等之中，用於配置在一對的腔室間的閘閥，更詳細而言，配設在彼此鄰接的料腔等的第1腔室與處理腔等的第2腔室之間，使得與上述第1腔室連通的第1開口部與上述第2腔室連通的第2開口部彼此連通，或個別地開合用的閘閥。
作為上述閘閥，例如已知有專利文獻1及專利文獻2所揭示。該習知的閘閥，具有：閥組裝體，具備一對閥板；閥軸，在前端部安裝上述閥組裝體；及驅動機構，連結於該閥軸。並且，以上述驅動機構使閥軸動作，藉以使上述閥組裝體，可在以下的位置依序移動，即上述第1開口部及第2開口部彼此連通的退避位置，及將上述一對閥板個別地抵接於上述第1開口部及第2開口部而氣密地封閉該開口部的第1封閉位置及第2封閉位置。
由於，如上述習知的閘閥的驅動機構中，從其左右兩側引導使上述閥組裝體朝上述各位置移動的上述閥軸的動作，因此在該閥軸的左右兩側分別使1條凸輪槽朝上下方向，亦即，沿著上述閥軸的軸的高度方向延設。
但是，如上述，在以朝上下方向延伸的1條凸輪槽實現相對於上述各位置之上述組裝體的一連續的移動時，上述驅動機構的高度尺寸，以至於閘閥整體的高度尺寸變大。
如上述，閘閥整體的高度尺寸一旦大型化時，在一對腔室間與閘閥的設置用空間的關係上，會有不能設置該閘閥的場合，又，從設備整體的小型化的觀點，以盡可能使閘閥整體的高度尺寸小型化為佳。 [先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本特開2004-197769號公報 [專利文獻2]日本特開2015-017655號公報
[發明所欲解決之課題]
為此，本發明的技術課題為提供一種閥軸，用於配置在彼此鄰接的腔室間，以驅動機構使閥軸動作移動安裝於該閥軸的一對閥板，藉以使得與該等腔室連通的各開口部彼此連通或個別地開合，可謀求閘閥整體的高度尺寸的小型化。 [用於解決課題的手段]
為解決上述課題，本發明相關的閘閥，係將配設在彼此鄰接的第1腔室與第2腔室之間，與上述第1腔室連通的第1開口部，及與上述第2腔室連通的第2開口部彼此連通，或個別地開合用的閘閥，其特徵為：該閘閥，具有：閥帽，區隔上方側與下方側；1支閥軸，在朝上下延伸的軸向上貫穿上述閥帽，在該閥帽的上方側及下方側配設前端部及基端部；閥組裝體，使第1閥板及第2閥板彼此背向地安裝於上述閥軸的前端部所形成；及閥驅動機構，連結於上述閥軸的基端部，藉由使該閥軸動作來移動上述閥組裝體，上述閥驅動機構，具有：汽缸部，具備：可個別地驅動的第1驅動桿及第2驅動桿，相對於上述閥帽固定地設置，及動力傳達機構，連結上述第1驅動桿及第2驅動桿與上述閥軸之間，將上述汽缸部的驅動力傳達至上述閥軸，藉此，將上述閥組裝體朝著與上述軸向及與該軸正交的厚度方向移動，可在以上述第1閥板封閉上述第1開口部用的第1封閉位置、以上述第2閥板封閉上述第2開口部用的第2封閉位置及該等開口部彼此連通用的退避位置移動，上述動力傳達機構，具有：第1凸輪架，連結於上述第1驅動桿與該第1驅動桿一起動作；第2凸輪架，連結於上述第2驅動桿與該第2驅動桿一起動作；操作桿構件，安裝於上述閥軸的基端部；及第1開合機構與第2開合機構，使上述閥組裝體相對於上述厚度方向個別地往返移動，上述第1開合機構，具有：第1凸輪槽，設置在上述第1凸輪架及上述操作桿構件之中的任一方，及第1凸輪輥，設置在其中的任一另外方，自由滑動地嵌合於上述第1凸輪槽，上述第2開合機構，具有：第2凸輪槽，設置在上述第2凸輪架及上述操作桿構件之中的任一方，及第2凸輪輥，設置在其中的任一另外方，自由滑動地嵌合於上述第2凸輪槽，伴隨上述第1驅動桿的往返移動使上述第1凸輪輥仿上述第1凸輪槽往返移動，藉此，上述閥組裝體可在上述厚度方向於上述退避位置佔有的位置與上述第1封閉位置佔有的位置之間往返移動，並且，伴隨上述第2驅動桿的往返移動使上述第2凸輪輥仿上述第2凸輪槽往返移動，藉此，上述閥組裝體可在上述厚度方向於上述退避位置佔有的位置與上述第2封閉位置佔有的位置之間往返移動。
本發明中，較理想為上述閘閥具有與上述軸向及上述厚度方向的雙方正交的寬度方向，第1開合機構及第2開合機構中，將上述第1及第2凸輪架配設於上述寬度方向的上述操作構件的兩側，並且，上述操作桿構件的兩側中，在上述厚度方向並設上述第1及第2凸輪架。更理想是在上述第1凸輪槽，形成有：上述閥組裝體移動至上述第2封閉位置時，使上述第1凸輪輥退避用的第1餘隙部，在上述第2凸輪槽，形成有：上述閥組裝體移動至上述第1封閉位置時，使上述第2凸輪輥退避用的第2餘隙部。
又本發明中，例如，上述閥組裝體是在上述軸向，可朝著設置在上述退避位置佔有的位置與上述第1及第2封閉位置佔有的位置之間的中間位置進一步地移動，上述動力傳達機構具有：隔設於上述第1驅動桿及第2驅動桿與上述操作桿構件之間的第1彈簧構件及第2彈簧構件，將上述第1驅動桿的驅動力通過上述第1彈簧構件傳達至上述操作桿構件，將上述第2驅動桿的驅動力通過上述第2彈簧構件傳達至上述操作桿構件，並且，上述動力傳達機構具有：在上述閥組裝體藉著上述汽缸部的驅動而從上述退避位置到達中間位置時，停止上述操作桿構件朝上述軸向的動作，並容許藉上述開合機構的該操作桿構件朝厚度方向的動作的制動部，在上述操作桿構件藉上述制動部停止朝著軸向動作的狀態下，個別地驅動上述第1及第2驅動桿，藉此構成上述開合機構使上述閥組裝體在上述中間位置與上述第1及第2封閉位置之間個別地往返移動。
此時，較理想為上述中間位置是於上述軸向，設置在上述第1及第2封閉位置佔有的位置。又，較理想是上述閘閥具有與上述軸向及上述厚度方向的雙方正交的寬度方向，第1開合機構及第2開合機構是將上述第1及第2凸輪架分別配設在上述寬度方向的上述操作桿構件的兩側，並在上述操作桿構件的兩側分別將上述第1及第2凸輪架並設於上述厚度方向，並且，在上述第1驅動桿及第2驅動桿安裝有可相對移動連結於上述操作桿構件的第1支架及第2支架，將上述一對第1凸輪架從上述第1支架朝上述軸向立設，並在上述寬度方向的上述一對第1凸輪架間，以該第1彈簧構件連接上述第1支架與上述操作桿構件，並且，將上述一對第2凸輪架從上述第2支架朝上述軸向立設，並在上述寬度方向的上述一對第2凸輪架間，以該第2彈簧構件連接上述第2支架與上述操作桿構件。
並且，更理想是在上述第1凸輪槽，形成有上述閥組裝體從上述中間位置移動至上述第2封閉位置時，使上述第1凸輪輥退避用的第1餘隙部，在上述第2凸輪槽，形成有上述閥組裝體從上述中間位置移動至上述第1封閉位置時，使上述第2凸輪輥退避用的第2餘隙部。
並且，本發明中，上述動力傳達機構，進一步具有：相對於上述閥帽固定地設置的導框，及設置在該導框與上述第1及第2凸輪架之間，引導該等凸輪架朝著上述軸向移動的第1及第2引導機構，上述第1引導機構，也可具有：沿著上述軸設置在上述導框及上述第1凸輪架的其中任一方的第1導槽，及設置在其中任一另外方，自由滑動地嵌合於上述第1凸輪槽的第1導輥，上述第2引導機構，也可具有：沿著上述軸設置在上述導框及上述第2凸輪架的其中任一方的第2導槽，及設置在其中任一另外方，自由滑動地嵌合於上述第2凸輪槽的第2導輥。
此時，較理想是將上述導框，在上述操作桿構件的上述寬度方向兩側，分別配設於並設在上述厚度方向的上述第1及第2凸輪架的上述寬度方向外側。又，更理想為在上述操作桿構件的上述寬度方向兩側，使上述汽缸部從上述閥帽沿著上述軸分別垂下，並在該等汽缸部的上述寬度方向內側分別配有上述導框，在上述一對汽缸部分別將上述第1驅動桿及第2驅動桿並設於上述厚度方向，在上述第1支架的兩端部分別安裝上述一對汽缸部的第1驅動桿，在上述第2支架的兩端部分別安裝上述一對汽缸部的第2驅動桿。 [發明效果]
本發明相關的閘閥是在厚度方向，為了使閥組裝體在退避位置佔有的位置與第1封閉位置佔有位置之間，及在上述退避位置佔有的位置與第2封閉位置佔有位置之間，個別地往返移動，具有第1開合機構及第2開合機構，該等開合機構具備分別個別地的凸輪槽。因此，根據本發明，可抑制具備上述各凸輪槽之第1及第2凸輪架的高度尺寸，其結果，可謀求閘閥整體之高度尺寸的小型化。
本發明之一實施形態的圖1表示的閘閥1是如圖5~圖12表示，例如半導體製造裝置中，配置在彼此鄰接的料腔(第1腔室)2與處理腔(第2腔室)3之間，藉此用於使得與上述第1腔室2連通的第1開口部4a及與上述第2腔室3連通的第2開口部4b彼此連通，或個別地開合。
上述閘閥1具有：閥帽5，形成上方側區域U及下方側區域B的邊界區隔兩區域U、B；1支閥軸6，將上述閥帽5貫穿上下延伸的軸L方向，在該閥帽5的上方側區域U配置前端部6a，在下方側區域B配置基端部6b；閥組裝體10，將第1閥板11及第2閥板12彼此背向並設於上述閥軸6的前端部6a所形成；及閥驅動機構20，連接於上述閥軸6的基端部6b，藉著該閥軸6的動作使上述閥組裝體10移動。
上述閥帽5是以長的大致矩形的金屬製板形成在與上述軸L正交的寬度方向W，具有鄰接上方側區域U的第1面(上面)5a與鄰接下方側區域B的第2面(下面)5b，及上述閥軸6插穿的貫穿孔5c。此閥帽5是如圖5~圖12表示，形成下方開口的中空狀的閥箱7的底壁。該閥箱7具有圍繞軸L周圍的四方的側壁8，將上述閥帽5可拆裝地安裝於該側壁8的軸L方向下端部，可氣密地封閉該側壁8的下端側開口部。
如上述，此閥帽5安裝於上述閥箱7，藉此將安裝於上述閥軸6的前端部6a的閥組裝體10收容於該閥箱7內。又，上述貫穿孔5c容許相對於上述閥組裝體10之軸L方向的移動，及相對於該軸L方向及與上述寬度方向W正交的厚度方向D(亦即，該閥組裝體10之第1及第2閥板11、12的並設方向)的移動，因此具有比上述閥軸6的外徑若干大的內徑，貫穿設置在上述閥帽5的中央。
上述閥組裝體10具有：在上述寬度方向W形成長的大致矩形的上述第1及第2閥板11、12，及將該等閥板11、12可拆裝地固定在上述閥軸6的前端部6a用的第1及第2夾持構件13、14。上述第1及第2閥板11、12是在厚度方向D彼此背向，並且，具有彼此成平行的第1密封面11a及第2密封面12a，該等密封面11a、12a的外圍部分安裝有O環等的環狀的閥密封構件11b、12b。並且，上述一對閥密封面11a、12b也可不成為平行。
上述第1夾持構件13是從上方，跨上述第1閥板11與閥軸6的前端，及上述第2閥板12與閥軸6的前端凹凸卡合於上述閥組裝體10的寬度方向W的中央部的2處。又，上述第2夾持構件14是從上方，跨上述第1閥板11與上述第2閥板12凹凸卡合於上述閥組裝體10的寬度方向W的兩端部。此時，在上述第2夾持構件14的下方的上述第1及第2閥板11、12之間，藉上述一對閥板11、12的內面夾持間隔構件15(圖5~圖12)。
並且，以上述第1及第2閥板11、12從上方凹凸卡合於上述前端部6a的基端側端部的狀態，從上方藉緊固螺栓13a將上述第1夾持構件13固定於上述閥軸6的前端時，在上述各凹凸卡合部分，壓接不同斜度的傾斜面彼此。其結果，上述閥組裝體10的寬度方向W的中央部，在以上述第1及第2閥板11、12的內面夾持上述閥軸6的前端部6a的狀態，使該等閥板11、12與閥軸6在上述厚度方向D彼此緊固。
其另一方面，在上述閥組裝體10的寬度方向W的兩端部，將上述第1及第2閥板11、12從上方凹凸卡合於上述第2夾持構件14的基端側端部的狀態，從上方藉緊固螺栓14a將上述第2夾持構件14固定於上述間隔構件15的前端時，在上述各凹凸卡合部分，壓接不同斜度的傾斜面彼此。其結果，上述閥組裝體10的寬度方向W的兩端部，在以上述第1及第2閥板11、12的內面夾持上述間隔構件15的狀態，使該等閥板11、12與上述間隔構件15在上述厚度方向D彼此緊固。
並且，針對相對於如上述閥軸6的第1及第2閥板11、12的具體安裝構造是在本案申請人先前申請的日本申請案(特願2021-168188號)所記載，並且，本申請案中，相對於上述閥組裝體10的構造或閥軸6的閥板11、12的安裝構造不限於上述構造，可採用習知的各種構造。因此，在此由於與其相關而省略具體的說明。
但是，上述閥箱7是如圖5~圖12表示，安裝在上述第1腔室2與第2腔室3之間，在軸L方向的該側壁8的上端側開口部，可拆裝地安裝氣密封閉該開口部的頂壁9所形成。如以上相對於上述側壁8自由拆裝地安裝頂壁9，在各閥板11、12之閥密封構件11b、12b的更換等，實施閥組裝體10的維護時，可通過上述側壁8的上端側開口進行各閥板11、12的安裝卸下等的各種作業。
又，上述閥箱的側壁8是在上述厚度方向D，具有間隔軸L彼此成平行相對的第1內側面8a及第2內側面8b。在上述第1內側面8a開設與上述第1腔室2連通的上述第1開口部4a，在上述第2內側面8b開設與上述第2腔室3連通的上述第2開口部4b，該等第1開口部4a及第2開口部4b是配置在上述厚度方向D彼此相對。並且，在該第1及第2內側面8a、8b的上述第1及第2開口部4a、4b的周圍，以圍繞著該等開口部4a、4b的方式形成有使上述閥組裝體10的第1及第2密封面11a、12a的各閥密封構件11b、12b接離用的閥座部4c。
並且，裝設在如以上閥箱7的上述閘閥1是以上述閥驅動機構20使閥軸6動作，藉此在閥箱7內將上述閥組裝體10配設在上述軸L上，可在彼此連通上述第1開口部4a與第2開口部4b用的退避位置(圖5、圖6)；以上述第1閥板11氣密地封閉上述第1開口部4a用的第1封閉位置(圖9、圖10)；以上述第2閥板12氣密地封閉上述第2開口部4b用的第2封閉位置(圖11、圖12)；及在上述軸L上設定成與上述第1及第2封閉位置佔有的高度位置相同的高度位置的中間位置(圖7、圖8)移動。並且，在此中間位置，上述閥驅動體10是從上述第1及第2開口部4a、4b的雙方分開。
使上述閥組裝體10如以上動作的上述閥驅動機構20是如圖1~圖3表示，具有：汽缸部21，具備可個別地驅動的第1驅動桿22a及第2驅動桿23a，及動力傳達機構30，連結上述第1驅動桿22a及第2驅動桿23a與上述閥軸6的基端部之間，將上述汽缸部21的驅動力傳達至上述閥軸6。
上述汽缸部21是如圖3表示，具有：1個汽缸體24；在該汽缸體24內沿著上述軸L延設的第1及第2汽缸孔22b、23b；及分別自由滑動地設置在該等一對汽缸孔22b、23b內的活塞22c、23c，在上述一對活塞22c、23c固定上述第1及第2驅動桿22a、23a的基端部。並且，上述汽缸部21是將上述汽缸體24的頭側端部固定地安裝在上述閥帽5的朝下方的第2面5b，藉此從該閥帽5沿著上述軸L垂下。
藉此，使上述第1及第2驅動桿22a、23a的前端側從汽缸體24的桿側端部向下方可進退地延伸出。又，相對於上述第1及第2汽缸孔22b、23b是可個別地進行氣體的供排，因此，可個別地驅動上述第1驅動桿22a及第2驅動桿23a。
如圖2及圖4表示，上述動力傳達機構30具有：安裝於上述第1驅動桿22a及第2驅動桿23a的第1支架31及第2支架32；固定地安裝於該等第1及第2支架31、32並沿著上述軸L延伸的第1凸輪架33及第2凸輪架34；固定地安裝於上述閥軸6的基端部6b並與該閥軸6一體動作的操作桿構件35；及可使上述第1及第2支架31、32與上述操作桿構件35相對位移地連接的第1彈簧構件36及第2彈簧構件37。並且，如以下的說明，尤其此動力傳達機構30是在包括軸L朝寬度方向W延伸的中心面成對稱地形成於厚度方向D，此外，在包括軸L朝厚度方向D延伸的中心面也成對稱地形成於寬度方向W。又，本實施形態中，針對閘閥1整體也同樣實質地成對稱地形成於寬度方向W及厚度方向D。
如上述，在上述第1及第2支架31、32與上述操作桿構件35之間分別隔設(具體為縮設)上述第1及第2彈簧構件36、37，藉以使上述第1及第2驅動桿22a、23a的驅動力通過上述第1及第2彈簧構件36、37個別地傳達至上述操作桿構件35，其結果，可以使上述第1及第2驅動桿22a、23a各別與上述操作桿構件35相對地動作。
進一步具體說明時，本實施形態中，上述汽缸部21是在將上述第1汽缸孔22b及其活塞22c與上述第1驅動桿22a配設在上述第1封閉位置側，並將上述第2汽缸孔23b及其活塞23c與上述第2驅動桿23a配設在上述第2封閉位置側的狀態，固定地安裝於上述閥帽5。亦即，上述第1及第2驅動桿22a、23a是在厚度方向D，將第1驅動桿22a配設於第1封閉位置側，將第2驅動桿23a配設於第2封閉位置側，彼此鄰接。並且，如上述之汽缸部21的一對是配設在上述寬度方向W之間隔上述閥軸6(亦即，間隔軸L)的兩側。但是，上述汽缸部21的數量或配置不限於本實施形態。
上述第1及第2支架31、32是在上述寬度方向W以長的金屬製板所形成，上述寬度方向W中，在間隔上述第1支撐板31的上述軸L的兩端部，安裝上述一對汽缸部21之第1驅動桿22a的各前端部，在間隔上述第2支撐板32的上述軸L的兩端部，安裝上述一對汽缸部21之第2驅動桿23a的各前端部。
因此，厚度方向D中，上述第1及第2支架31、32是將上述第1支架31配設在上述第1封閉位置側，並將上述第2支架32配設在上述第2封閉位置側，使彼此並排設置。並且，在該等支架31、32的上述寬度方向W的各中央部凹設彈簧座31a、32a，該等彈簧座31a、32a承接上述第1彈簧構件36及第2彈簧構件37的軸L方向的下端部。
上述第1及第2凸輪架33、34具有一起以金屬製板所形成，朝著軸L方向及厚度方向D延伸且彼此背向的內面33a、34a及外面33b、34b。並且，上述第1凸輪架33的一對是在上述一對的汽缸部21間，從上述第1支架31間隔上述軸L的兩側部分，向上方固定地立設，同樣地，上述第2凸輪架34的一對是在上述一對的汽缸部21間，從上述第2支架32間隔上述軸L的兩側部分，向上方固定地立設。
因此，在厚度方向D中，上述第1及第2凸輪架33、34將上述第1凸輪架33配設於上述第1封閉位置側，並將上述第2輪架34配設於上述第2封閉位置側，使彼此並排設置。並且，該等彼此鄰接的凸輪架33、34是在包括上述軸L朝軸向W延伸的中心面成對稱地形成於厚度方向D。另一方面，上述第1及第2凸輪架33、34的各對是使上述內面33a、34a互相彼此相對，並使上述外面33b、34b互相彼此背向。並且，該等一對第1凸輪架33及一對第2凸輪架34是在包括上述軸L朝厚度方向D延伸的中心面成對稱地配置於寬度方向W。
上述操作桿構件35是在正面顯示藉成為H形狀的金屬製塊體所形成，在其軸L方向的上端側，具有形成於上述寬度方向W的中央部的上側凹部35a，及凸設於其兩側部的一對上側凸部35b，在其軸L方向的下端側，具有形成於上述寬度方向W的中央部的下側凹部35c，及凸設於其兩側部的一對下側凸部35d。並且，在上述寬度方向W的兩端具有彼此背向的一對側面35e。
並且，在上述上側凹部35a固定地安裝上述閥軸6的基端部6b，在此操作桿構件35的上側凹部35a與上述閥帽5的貫穿孔5c之間，藉圓筒狀的波紋管6c氣密地圍繞上述閥軸6的周圍。並且，在上述下側凹部35c，安裝著上述第1及第2彈簧構件36、37的軸L方向的上端部。
上述第1及第2彈簧構件36、37是藉金屬製的螺旋彈簧形成，具有可支撐上述閥組裝體10及操作桿構件35的重量的彈簧力(彈簧剛性)。因此，在上述組裝體10從上述退避位置(圖5、圖6)朝上述中間位置(圖7、圖8)沿著軸L移動的行程是可以上述彈簧構件36、37的彈簧力，使上述汽缸部21的驅動桿22a、23a與上述閥組裝體10一體地動作。
並且，在藉後述的開合機構40、45，使上述閥組裝體10從上述中間位置朝著上述第1及第2封閉位置在上述厚度方向D移動的行程是以上述驅動桿22a、23a的驅動力壓縮上述彈簧構件36、37而變形。其結果，可以使上述閥組裝體10與上述驅動桿22a、23a相對地移動，朝著與上述驅動桿22a、23a的動作方向(軸L方向)正交的上述厚度方向D移動。
另外，上述動力傳達機構30具有：第1開合機構40及第2開合機構45，提供上述閥軸6及閥組裝體10相對於上述厚度方向D的動作，在上述厚度方向D中，使上述閥組裝體10在上述退避位置佔有的位置與上述第1封閉位置佔有的位置之間，及上述退避位置佔有的位置與上述第2封閉位置佔有的位置之間，個別地往返移動；第1引導機構50及第2引導機構55，提供相對於上述軸L方向引導上述第1及第2凸輪架33、34的往返移動，並在上述軸L方向中，在上述退避位置佔有的位置與上述中間位置佔有的位置之間，引導該等凸輪架33、34的往返移動；及制動部60，將上述操作桿構件35在上述中間位置抵接於上述閥帽5的第2面5b，與該操作桿構件35一起阻止上述閥軸6及上述閥組裝體10朝上述軸L方向的移動的同時，容許朝上述厚度方向D的移動。
上述第1及第2開合機構40、45是跨上述第1及第2凸輪架33、34，及配設在該凸輪架33、34間的上述操桿構件35形成，具體而言，設置在上述第1及第2凸輪架33、34的各內面33a、34a，及與該內面33a、34a相對的上述操作桿構件35的側面35e之間。又，該等開合機構40、45是在上述厚度方向D，將上述第1開合機構40配設於上述第1封閉位置，將上述第2開合機構45配設於上述第2封閉位置，使彼此並排設置。
上述第1開合機構40具有：凹設於上述第1凸輪架33的內面33a的第1凸輪槽41，及設置在與此相對之上述操作桿構件35的側面35e的第1凸輪輥42，將該第1凸輪輥42自由滑動地嵌合於上述第1凸輪槽41內。在其另一方面，上述第2開合機構45具有：凹設於上述第2凸輪架34的內面34a的第2凸輪槽46，及設置在與此相對之上述操作桿構件35的側面35e的第2凸輪輥47，將該第2凸輪輥47自由滑動地嵌合於上述第2凸輪槽46內。本實施形態是將如以上的第1及第2開合機構40、45分別成對設置在操作桿構件35的兩側面35e側。
上述第1凸輪槽41具有軸L方向上端側的起始端位置S1與軸L方向下端側的終端位置E1，在厚度方向D，上述終端位置E1是較起始端位置S1配設在上述第1封閉位置側。亦即，此第1凸輪槽41具有從上端側的起始端位置S1向下端側的終端位置E1，朝上述第1封閉位置側傾斜的輪廓。並且，在上述第1凸輪輥42位於上述起始端位置S1時將上述組裝體10配置在軸L上，位於上述終端位置E1時將上述組裝體10配置在上述第1封閉位置。本實施形態中，具有相同形狀的2個上述第1凸輪槽41是形成於上述第1凸輪架33的上端部與下端部，該等之中，配設在上端側的第1凸輪槽41是於上述起始端位置S1，在上述第1凸輪架33的上端面開口。
另一方面，上述第2凸輪槽46具有軸L方向上端側的起始端位置S2與軸L方向下端側的終端位置E2，在厚度方向D，上述終端位置E2是較起始端位置S2配設在上述第2封閉位置側。亦即，此第2凸輪槽46具有從上端側的起始端位置S2向下端側的終端位置E2，朝上述第2封閉位置側傾斜的輪廓。並且，在上述第2凸輪輥47位於上述起始端位置S2時將上述組裝體10配置在軸L上，位於上述終端位置E2時將該組裝體10配置在上述第2封閉位置。本實施形態中，具有相同形狀的2個上述第2凸輪槽46是形成於上述第2凸輪架34的上端部與下端部，該等之中，配設在上端側的第2凸輪槽46是於上述起始端位置S2，在上述第2凸輪架34的上端面開口。
如上述，上述第1及第2凸輪架33、34的其中任一方相對於上述操作桿構件35在軸L方向上方相對地移動時，使嵌合於其移動之凸輪架的凸輪槽仿其凸輪槽從上述起始端位置S朝上述終端位置E移動。如此一來，上述操作桿構件35會在厚度方向D，朝著上述第1封閉位置側及第2封閉位置側的其中任一方位移，與此同時，嵌合於其他另外方的凸輪架的凸輪輥，也有相對於厚度方向D成相同長度位移的必要性。
因此，在此閘閥1中，形成於上述第1凸輪架33的所有(上下2個)凸輪槽41是在厚度方向D，具有從上述起始端位置S1朝上述第2封閉位置側凹設的第1餘隙部41a，形成於上述第2凸輪架34的所有(上下2個)凸輪槽46是在厚度方向D，具有從上述起始端位置S2朝上述第1封閉位置側凹設的第2餘隙部46a。
又，該等第1及第2凸輪架33、34的內面33a、34a，在上下分別設有以樹脂材料形成並與上述操作桿構件35的兩側面35e滑動用滑動構件33c、34c。另一方面，該等第1及第2凸輪架33、34的外面33b、34b，也在上下分別設有以樹脂材料形成並與後述的導框25的引導面25a滑動用的滑動構件33c、34c。但是，該等滑動構件33c、34c的數量或位置不限於此。
並且，上述動力傳達機構30是在上述汽缸部21與上述凸輪架33、34之間，固定地安裝於上述閥帽5，具有由其第2面5b垂下的導框25，該導框25具有與上述凸輪架33、34的外面33b、34b相對的引導面25a。本實施形態是將如以上的導框25成對配置在寬度方向W間隔上述軸L的兩側，寬度方向W中，該導框25是和與其鄰接的上述汽缸部21的汽缸體24一體形成。
並且，上述第1及第2引導機構50、55是跨上述導框25，及與其鄰接的第1及第2凸輪架33、34所形成，具體而言，設置在上述導框25的引導面25a，及與該引導面25a相對的第1及第2凸輪架33、34的各外面33b、34b之間。亦即，該等引導機構50、55是在上述厚度方向D，將上述第1引導機構50配設在上述第1封閉位置側，並將上述第2引導機構55配設在上述第2封閉位置側，使彼此並排設置。
上述第1引導機構50具有：凹設於上述第1凸輪架33的外面33b的第1導槽51，及設置在與其相對的上述導框25之引導面25a的第1導輥52，將該第1導輥52自由滑動嵌合於上述第1導槽51內。其另一方面，上述第2引導機構55具有：凹設於上述第2凸輪架34的外面34b的第2導槽56，及設置在與其相對的上述導框25之引導面25a的第2導輥57，將該第2導輥57自由滑動嵌合於上述第2導槽56內。本實施形態中，上述第1引導機構50是分別設置在上述一對第1凸輪架33的兩外面33b側，上述第2引導機構55是分別設置在上述一對第2凸輪架34的兩外面34b側。
上述第1導槽51是沿著軸L從上述第1凸輪架33的上端部成直線狀延設至下端部，本實施形態中，該導槽51的上端是在上述第1凸輪架33的上端面開口。並且，上述第2導槽56也同樣地，沿著軸L從上述第2凸輪架34的上端部成直線狀延設至下端部，本實施形態中，該導槽56的上端是在上述第2凸輪架34的上端面開口。並且，該等導槽51、56在軸L方向具有相同的長度。另外，設分別形成在上述凸輪架33、34的上述凸輪槽41、46及導槽51、56的深度的和較上述凸輪架33、34的上述內面33a、34a與外面33b、34b之間的長度小，在上述厚度方向D部分重疊地配置上述凸輪槽41、46及導槽51、56。因此，抑制上述厚度方向D之上述閥驅動機構20及動力傳達機構30的尺寸的增大。
上述第1導輥52是在上述導框25的上述引導面25a的上述第1封閉位置側，沿著軸L上下設置2個，上述第2導輥57是在該引導面25a的上述第2封閉位置側，同樣沿著軸L上下設置2個。並且，上下一對第1導輥52的軸L方向距離形成比上述第1導槽51的軸L方向長度小，同樣地上下一對第2導輥57的軸L方向距離形成比上述第2導槽56的軸L方向長度小。又，該等第1及第2導槽51、56的軸L方向長度成為比上述退避位置及上述中間位置之間的軸L方向距離，及上述凸輪槽41、46的上述起始端位置S1、S2與上述終端位置E1、E2之間的軸L方向距離的和大。
上述制動部60是分別設置在上述操作桿構件35的上述一對上側凸部35b的上端面35f上，具有可相對於上述厚度方向D轉動的止動輥61，及設置在閥帽5的第2面(下面)與上述各止動輥61相對的部分緩衝器62(圖5、圖6)。亦即，在寬度方向W，將該止動輥61與緩衝器62成對設置在間隔上述閥軸6的左右兩側。如此一來，上述止動輥61抵接於上述閥帽5時，可以上述緩衝器62緩衝其衝擊。
並且，如圖5~圖12表示，藉著上述第1或第2驅動桿22a、23a向上方的後退動作，上述閥組裝體10沿著上述軸L從上述退避位置向上方移動至中間位置時，設置在上述操作桿構件的上端的止動輥61抵接於設置在上述閥帽5的第2面5b的緩衝器62，停止上述閥組裝體10沿著軸L向上方的移動。接著，藉上述第1開合機構40或第2開合機構45，在上述閥組裝體10從上述中間位置到上述第1封閉位置或第2封閉位置為止，朝著上述厚度方向D移動時，伴隨其移動，使抵接於上述緩衝器62的止動輥61在該緩衝器62上朝著上述厚度方向D滾動。
如上述，上述閘閥1中，包括上述第1凸輪槽41及第1凸輪輥42，使上述閥組裝體10在上述中間位置與第1封閉位置之間往返移動的第1開合機構40，及包括上述第2凸輪槽46與第2凸輪輥47，使得該閥組裝體10在上述中間位置與第2封閉位置之間往返移動的第2開合機構45是在厚度方向D彼此鄰接地配置。如上述根據使用兩組的凸輪槽41、46與凸輪輥42、47使閥組裝體10可在第1封閉位置與第2封閉位置個別地移動的本實施形態相關的閘閥1，與使用一組的凸輪槽與凸輪輥使閥組裝體依序在第1封閉位置與第2封閉位置移動的習知的比較，可抑制凸輪架33、34的高度，其結果，可抑制上述閥驅動機構20的高度尺寸，以致於可抑制上述閘閥1整體的高度尺寸。
針對具有如以上構成的閘閥1的動作說明。如圖5及圖6表示，閥組裝體10位於上述退避位置時，上述汽缸部21的第1及第2驅動桿22a、23a一起進出至下方的行程端。在此狀態下，藉上述第1及第2彈簧構件36、37的彈簧力(彈簧剛性)，將上述操作桿構件35一體地支撐於上述第1及第2支架31、32上，並以該等的彈簧構件36、37的彈推力，將上述第1及第2凸輪輥42、47配設在上述第1及第2凸輪槽41、46的起始端位置S1、S2。藉此，透過上述支架31、32與凸輪架33、34與操作桿構件35一體地連結上述驅動桿22a、23a與閥組裝體10。並且，上下一對的上述第1導輥52及上下一對的第2導輥57之中僅配設在下方的導輥52、57分別嵌合於上述第1及第2導槽51、56內。
接著，從此狀態，相對於上述汽缸部21的第1汽缸孔22b供應空氣，使上述第1驅動輥22a朝軸L方向上方後退驅動時，使上述第1及第2驅動輥22a、23a、第1與第2支架31、32及第1與第2凸輪架33、34構成的「桿側總成」，及上述操作桿構件35、閥軸6及閥組裝體10構成的「軸側總成」一體地在軸L方向上方移動。如此，上述閥組裝體10從上述退避位置在軸L上向上方移動，到達圖7及圖8表示的上述中間位置(第1及第2閥板11、12分別在閥箱7的第1及第2開口部4a、4b相對，但該等閥板的閥密封構件11b、12b從上述開口部4a、4b的各閥座部4c分開的位置)。
在其間，如圖5表示，以嵌合於上述第1及第2導槽51、56的下方的第1及第2導輥52、57，沿著軸L引導第1及第2凸輪架33、34的雙方。因此，不致使上述閥軸6相對於軸L傾斜，可沿著該軸L上升。並且，上述閥組裝體10到達上述中間位置時，如圖7表示，配設在上方的第1及第2導輥52、57，也從其上端的開口嵌合於上述第1及第2導槽51、56。又同時，上述操作桿構件35的止動輥61抵接於上述閥帽5的緩衝器62，藉以使「軸側總成」相對於軸L方向上方的移動停止在其位置，使得上述閥組裝體10從上述退避位置朝軸L方向上方的移動停止在上述中間位置。
為此，如以上上述閥組裝體10位於上述中間位置的狀態，相對於上述第1汽缸孔22b持續地供應空氣時，上述「桿側總成」之中，第1驅動桿22a、第1支架31及第1凸輪架33所成的「第1總成」是使上述第1彈簧構件36一邊壓縮進一步持續地上升，相對於此，第2驅動桿23a、第2支架32及第2凸輪架34所成的「第2總成」則是在其位置停止。
如此一來，形成在上述第1凸輪架33的上下一對的第1凸輪槽41相對於嵌合在該等的上下一對的上述第1凸輪輥42分別逐漸上升，使得該凸輪槽41上升至第1驅動桿22a到達上方的行程端為止。此時，如圖10表示，在上下一對的第1凸輪槽41內，位在上述起始端位置S1的上下一對的第1凸輪輥42雖分別朝著上述終端位置E1移動，但此時，該等第1凸輪輥42是仿上述各凸輪槽41，在與軸L方向正交的厚度方向D朝上述第1封閉位置側移動。
其結果，如圖9及圖10表示，包括上述閥組裝體10的「軸側總成」整體是從上述中間位置朝著以上述第1閥板11封閉上述閥箱7的第1開口部4a的第1封閉位置，朝著與軸L正交的厚度方向D位移。又，此時，設置在上述操作桿構件35的上下一對的第2凸輪輥47也伴隨著上述「軸側總成」的移動朝上述第1封閉位置側移動，如上述，在上述第2凸輪槽46內，從上述起始端位置S2朝凹設於該起始端S2之第1封閉位置側的第2餘隙部46a移動。
相反地，從圖5及圖6表示之閥組裝體10的退避位置，相對於上述第2汽缸孔23b供應空氣，藉以使上述第2驅動桿23a朝著軸L方向上方後退驅動時，與上述第1驅動桿22a後退驅動的場合同樣，使閥組裝體10朝著圖7及圖8表示的中間位置移動。並且，在閥組裝體10位於上述中間位置的狀態，相對於上述第2汽缸孔23b持續地供應空氣時，上述「桿側總成」之中，上述「第2總成」是使上述第2彈簧構件37一邊壓縮一邊進一步持續地上升，其另一方面，上述「第1總成」則是在其位置停止。
如此一來，形成在上述第2凸輪架34的上下一對的第2凸輪槽46相對於嵌合在該等的上下一對的上述第2凸輪輥47分別逐漸上升，使得該凸輪槽46上升至第2驅動桿23a到達上方的行程端為止。此時，如圖12表示，在上下一對的第2凸輪槽46內，位在上述起始端位置S2的上下一對的第2凸輪輥47雖分別朝著上述終端位置E2移動，但此時，該等第2凸輪輥47是仿上述各凸輪槽46，在與軸L方向正交的厚度方向D朝上述第2封閉位置側移動。
其結果，如圖11及圖12表示，包括上述閥組裝體10的「軸側總成」整體是從上述中間位置朝著以上述第2閥板12封閉上述閥箱7的第2開口部4b的第2封閉位置，朝著與軸L正交的厚度方向D位移。又，此時，設置在上述操作桿構件35的上下一對的第1凸輪輥42也伴隨著上述「軸側總成」的移動朝上述第2封閉位置側移動，如上述，在上述第1凸輪槽41內，從上述起始端位置S1朝凹設於該起始端S1之第2封閉位置側的第1餘隙部41a移動。
並且，在上述閥組裝體10從上述第1或第2封閉位置(圖9~圖12)經上述中間位置(圖7、圖8)回到上述退避位置(圖5、圖6)的場合，只需進行與此行程相反的動作即可。
如上述，上述閘閥1中，尤其在上述閥組裝體10從上述中間位置朝著與上述第2封閉位置位移時，如習知不經由第1封閉位置，而可直接位移至該第2封閉位置，因此閥組裝體10的操作性也極為優異。又，在上述閥組裝體10從上述中間位置朝著與上述第1及第2封閉位置位移時，上述「軸側總成」整體朝著與上述軸L正交的厚度方向D移動，因此在上述第1及第2閥板11、12與上述閥箱7的第1及第2開口部4a、4b接離時，可抑制上述閥密封構件11b、12b的扭曲或磨損粉末的產生等。
以上中，針對本發明的實施形態雖已詳細說明，但本發明不限於此，在不脫離本發明的要旨的範圍內，可進行種種的設計變更。 例如，本實施形態中，上述第1驅動桿22a、第1支架31及第1凸輪架33構成的「第1總成」，及上述第2驅動桿23a、第2支架32及第2凸輪架34構成的「第2總成」，雖是在厚度方向D中，將「第1總成」配置在上述第1封閉位置側，將「第2總成」配置並設於上述第2封閉位置側，但相反地，也可將「第1總成」配置在第2封閉位置側，將「第2總成」配置在第1封閉位置側。
又，本實施形態中，雖是將第1及第2凸輪槽41、46設置在第1及第2凸輪架33、34，將第1及第2凸輪輥42、47設置在操作桿構件35，但相反地，也可將該等凸輪槽41、46設置在上述操作桿構件35，將上述凸輪輥42、47設置在上述凸輪架33、34。並且，本實施形態中，雖是將第1及第2導槽51、56設置在凸輪架33、34，將第1及第2導輥52、57設置在與上述汽缸體24一體形成的導框25上，但相反地，也可將該等導槽51、56設置於上述導框25，將上述導輥52、57設置於上述凸輪架33、34。並且，也可以將導框25與上述汽缸體24另體形成。
另外，本實施形態中，雖是將形成於上述凸輪架33、34的上下一對的凸輪槽41、46設成彼此相同的輪廓，在上述閥組裝體10從上述中間位置朝上述第1及第2封閉位置位移時，使上述「軸側總成」整體朝著與上述軸L正交的厚度方向D移動，但也可設上述上下一對的凸輪槽41、46為上下彼此不同的輪廓，可藉此在上述閥組裝體10從上述中間位置朝上述第1及第2封閉位置位移時，使上述「軸側總成」相對於上述軸L傾斜。
並且，形成本實施形態相關閘閥1之各構件的材料並不僅限於上述的材料，也可根據需要採用適當的材料。 又，本實施形態是將動力傳達機構30與第1及第2凸輪架33、34等的各構成，對稱地形成在厚度方向D及寬度方向W，其結果，針對閘閥1整體，實質上也對稱地形成在寬度方向W及厚度方向D，但並非僅限於此，也可分別為非對稱。
1:閘閥 5:閥帽 6:閥軸 6a:前端部 6b:基端部 10:閥組裝體 11:第1閥板 12:第2閥板 20:閥驅動機構 21:汽缸部 22a:第1驅動桿 23a:第2驅動桿 25:導框 30:動力傳達機構 31:第1支架 32:第2支架 33:第1凸輪架 34:第2凸輪架 35:操作桿構件 36:第1彈簧構件 37:第2彈簧構件 40:第1開合機構 41:第1凸輪槽 41a:第1餘隙部 42:第1凸輪輥 45:第2開合機構 46:第2凸輪槽 46a:第2餘隙部 47:第2凸輪輥 50:第1引導機構 51:第1導槽 52:第1導輥 55:第2引導機構 56:第2導槽 57:第2導輥 60:制動部 S1,S2:起始端位置 E1,E2:終端位置 L:軸
[圖1]是表示本發明相關的閘閥之一實施形態的外觀圖。 [圖2]是將閥驅動機構分成汽缸部與動力傳達機構的分解透視圖。 [圖3]為圖2之汽缸部的主要部剖面圖。 [圖4]為圖2之動力傳達機構的分解透視圖。 [圖5]是表示閥組裝體位於退避位置時的導輥與導槽的關係的概略圖。 [圖6]是表示閥組裝體位於退避位置時的凸輪輥與凸輪槽的位置關係的概略圖。 [圖7]是表示閥組裝體位於中間位置時的導輥與導槽的關係的概略圖。 [圖8]是表示閥組裝體位於中間位置時的凸輪輥與凸輪槽的位置關係的概略圖。 [圖9]是表示閥組裝體位於第1封閉位置時的導輥與導槽的關係的概略圖。 [圖10]是表示閥組裝體位於第1封閉位置時的凸輪輥與凸輪槽的位置關係的概略圖。 [圖11]是表示閥組裝體位於第2封閉位置時的導輥與導槽的關係的概略圖。 [圖12]是表示閥組裝體位於第2封閉位置時的凸輪輥與凸輪槽的位置關係的概略圖。
6:閥軸
6a:前端部
6b:基端部
30:動力傳達機構
31:第1支架
31a:彈簧座
32:第2支架
32a:彈簧座
33:第1凸輪架
33a:內面
33b:外面
33c:滑動構件
34:第2凸輪架
34a:內面
34b:外面
34c:滑動構件
35:操作桿構件
35a:上側凹部
35b:上側凸部
35c:下側凹部
35d:下側凸部
35e:側面
35f:上端面
36:第1彈簧構件
37:第2彈簧構件
41:第1凸輪槽
41a:第1餘隙部
42:第1凸輪輥
46:第2凸輪槽
46a:第2餘隙部
47:第2凸輪輥
51:第1導槽
56:第2導槽
60:制動部
61:止動輥
S1,S2:起始端位置
E1,E2:終端位置
L:軸
D:厚度方向
W:寬度方向

Claims (10)

  1. 一種閘閥，係將配設在彼此鄰接的第1腔室與第2腔室之間，與上述第1腔室連通的第1開口部，及與上述第2腔室連通的第2開口部彼此連通，或個別地開合用的閘閥，其特徵為： 該閘閥，具有：閥帽，區隔上方側與下方側；1支閥軸，在朝上下延伸的軸向貫穿上述閥帽，在該閥帽的上方側及下方側配設前端部及基端部；閥組裝體，藉著使第1閥板及第2閥板彼此背向地安裝於上述閥軸的前端部而形成；及閥驅動機構，連結於上述閥軸的基端部，藉著使該閥軸動作來移動上述閥組裝體， 上述閥驅動機構，具有：汽缸部，具備：可個別地驅動的第1驅動桿及第2驅動桿，相對於上述閥帽固定地設置，及動力傳達機構，連結上述第1驅動桿及第2驅動桿與上述閥軸之間，將上述汽缸部的驅動力傳達至上述閥軸，藉此，將上述閥組裝體朝著與上述軸向及與該軸正交的厚度方向移動，可在以上述第1閥板封閉上述第1開口部用的第1封閉位置、以上述第2閥板封閉上述第2開口部用的第2封閉位置及該等開口部彼此連通用的退避位置移動， 上述動力傳達機構，具有：第1凸輪架，連結於上述第1驅動桿與該第1驅動桿一起動作；第2凸輪架，連結於上述第2驅動桿與該第2驅動桿一起動作；操作桿構件，安裝於上述閥軸的基端部；及第1開合機構與第2開合機構，使上述閥組裝體相對於上述厚度方向個別地往返移動， 上述第1開合機構，具有：第1凸輪槽，設置在上述第1凸輪架及上述操作桿構件之中的任一方，及第1凸輪輥，設置在其中的任一另外方，自由滑動地嵌合於上述第1凸輪槽，上述第2開合機構，具有：第2凸輪槽，設置在上述第2凸輪架及上述操作桿構件之中的任一方，及第2凸輪輥，設置在其中的任一另外方，自由滑動地嵌合於上述第2凸輪槽， 伴隨上述第1驅動桿的往返移動使上述第1凸輪輥仿上述第1凸輪槽往返移動，藉此，上述閥組裝體可在上述厚度方向於上述退避位置佔有的位置與上述第1封閉位置佔有的位置之間往返移動，並且，伴隨上述第2驅動桿的往返移動使上述第2凸輪輥仿上述第2凸輪槽往返移動，藉此，上述閥組裝體可在上述厚度方向於上述退避位置佔有的位置與上述第2封閉位置佔有的位置之間往返移動。
  2. 如請求項1記載的閘閥，其中，上述閘閥具有與上述軸向及上述厚度方向的雙方正交的寬度方向， 第1開合機構及第2開合機構中，將上述第1及第2凸輪架配設在上述寬度方向的上述操作構件的兩側，並且，上述操作桿構件的兩側中，在上述厚度方向並設上述第1及第2凸輪架。
  3. 如請求項2記載的閘閥，其中，在上述第1凸輪槽，形成有：上述閥組裝體移動至上述第2封閉位置時，使上述第1凸輪輥退避用的第1餘隙部，在上述第2凸輪槽，形成有：上述閥組裝體移動至上述第1封閉位置時，使上述第2凸輪輥退避用的第2餘隙部。
  4. 如請求項1記載的閘閥，其中，上述閥組裝體是在上述軸向，可朝著設置在上述退避位置佔有的位置與上述第1及第2封閉位置佔有的位置之間的中間位置進一步地移動， 上述動力傳達機構具有：隔設於上述第1驅動桿及第2驅動桿與上述操作桿構件之間的第1彈簧構件及第2彈簧構件，將上述第1驅動桿的驅動力通過上述第1彈簧構件傳達至上述操作桿構件，將上述第2驅動桿的驅動力通過上述第2彈簧構件傳達至上述操作桿構件， 並且，上述動力傳達機構具有：在上述閥組裝體藉著上述汽缸部的驅動而從上述退避位置到達中間位置時，停止上述操作桿構件朝上述軸向的動作，並容許藉上述開合機構的該操作桿構件朝厚度方向的動作的制動部， 在上述操作桿構件藉上述制動部停止朝著軸向動作的狀態下，個別地驅動上述第1及第2驅動桿，藉此構成上述開合機構使上述閥組裝體在上述中間位置與上述第1及第2封閉位置之間個別地往返移動。
  5. 如請求項4記載的閘閥，其中，上述中間位置是在上述軸向，設置於上述第1及第2封閉位置佔有的位置。
  6. 如請求項4或5記載的閘閥，其中，上述閘閥具有與上述軸向及上述厚度方向的雙方正交的寬度方向， 第1開合機構及第2開合機構是將上述第1及第2凸輪架分別配設在上述寬度方向的上述操作桿構件的兩側，並在上述操作桿構件的兩側分別將上述第1及第2凸輪架並設於上述厚度方向，並且，在上述第1驅動桿及第2驅動桿安裝有可相對移動地連結於上述操作桿構件的第1支架及第2支架， 將上述一對第1凸輪架從上述第1支架朝上述軸向立設，並在上述寬度方向的上述一對第1凸輪架間，以上述第1彈簧構件連接上述第1支架與上述操作桿構件，並且，將上述一對第2凸輪架從上述第2支架朝上述軸向立設，並在上述寬度方向的上述一對第2凸輪架間，以上述第2彈簧構件連接上述第2支架與上述操作桿構件。
  7. 如請求項6記載的閘閥，其中，在上述第1凸輪槽，形成有上述閥組裝體從上述中間位置移動至上述第2封閉位置時，使上述第1凸輪輥退避用的第1餘隙部，在上述第2凸輪槽，形成有上述閥組裝體從上述中間位置移動至上述第1封閉位置時，使上述第2凸輪輥退避用的第2餘隙部。
  8. 如請求項6記載的閘閥，其中，上述動力傳達機構，進一步具有：相對於上述閥帽固定地設置的導框，及設置在該導框與上述第1及第2凸輪架之間，引導該等凸輪架朝著上述軸向移動的第1及第2引導機構， 上述第1引導機構，具有：沿著上述軸設置在上述導框及上述第1凸輪架的其中任一方的第1導槽，及設置在其中任一另外方，自由滑動地嵌合於上述第1凸輪槽的第1導輥，上述第2引導機構，具有：沿著上述軸設置在上述導框及上述第2凸輪架的其中任一方的第2導槽，及設置在其中任一另外方，自由滑動地嵌合於上述第2凸輪槽的第2導輥。
  9. 如請求項8記載的閘閥，其中，將上述導框，在上述操作桿構件的上述寬度方向兩側，分別配設於並設在上述厚度方向的上述第1及第2凸輪架的上述寬度方向外側。
  10. 如請求項9記載的閘閥，其中，在上述操作桿構件的上述寬度方向兩側，使上述汽缸部從上述閥帽沿著上述軸分別垂下，並在該等汽缸部的上述寬度方向內側分別配有上述導框， 在上述一對汽缸部分別將上述第1驅動桿及第2驅動桿並設於上述厚度方向， 在上述第1支架的兩端部分別安裝上述一對汽缸部的第1驅動桿，在上述第2支架的兩端部分別安裝上述一對汽缸部的第2驅動桿。
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