JP5963091B2 - 無摺動型ゲートバルブ - Google Patents
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Description
このうち特に後者の方式を採用したゲートバルブは、弁板のシール部材の全周を前記開口の弁シート面に同時に接離させて、両者を互いに摺動させることなく該開口を開閉することができることから、無摺動型ゲートバルブと呼ばれ、シール部材とシール面との擦れによるシール部材の捩れや、摩耗粉の発生等を抑制することができるため、昨今注目されている。
このとき、好ましくは、前記ストッパー機構において、前記停止ローラと当接部との対が、前記弁シャフトを挟んだ左右両側に設けられており、より好ましくは、前記当接部が、前記停止ローラが転動可能に当接する当接面を長手方向の一端に備えたクッションロッドと、該クッションロッドの長手方向の他端側が当接するクッション部材とにより構成されている。
そして、前記第1及び第2弁体5A,5Bと弁シャフト10とにより、弁組立体15が構成されている。
また、前記第1及び第2弁体5A,5Bは、前記第1及び第2開口3,4をそれぞれ開閉するもので、これら第1及び第2開口3,4と同様に横に長い矩形で、これら開口よりも面積の大きいプレート状に形成されている。
その結果、前記エアシリンダ20内において、駆動ピストン23のロッド側には第1シリンダ室24が、駆動ピストン23とストップピストン22の間には第2シリンダ室25が、ストップピストン22よりもヘッド側には第3シリンダ室26が、それぞれ形成されている。なお、第1シリンダ室24、第2シリンダ室25,第3シリンダ室26には図示しない吸排気ポートがそれぞれ開設されている。
このように、前記弁組立体15が、前記全開位置から前記対向位置に至るまで前記弁シート面6,7と平行に移動可能になっており、前記カムフレーム34と、ガイド溝35と、ガイドローラ36a,36bとは、前記弁組立体15を上下方向に弁シート面6,7に対し平行移動させるための平行移動機構を構成している。
そうすることにより、レバー部材13が上昇し、前記弁組立体15が前記対向位置に到達して前記停止ローラ41が前記ロッド45に当接すると、図10(b)に示すように、クッション部材46が圧縮されて、その衝撃が緩衝される。なお、そのとき、同図に示すように、ロッド45の当接面45aは、ホルダ47の開口と略面一となる位置まで押し上げられた状態となる。そして、該弁組立体15が前記垂直移動機構により垂直移動をするに際しては、該停止ローラ41がロッド45の当接面45aに当接した状態で、該垂直移動方向に転動するようになっている。
このように、前記メンテナンス中に前記第2開口4を密閉して、それに接続されたトランスファチャンバの真空状態を維持することにより、当該トランスファチャンバをそのまま継続して使用することができ、しかも、前記メンテナンス後の装置の立ち上げも迅速化することができる。
W1×L2=F×L1
W2=F+W1=(1+L1/L2)F
が成立する。なぜならば、第1及び第2弁体5A,5Bが弁シート面6,7から受ける反力Fと、カムフレーム34が第2ガイドローラ36bから受ける反力W1とによる、第1ガイドローラ36a回りのモーメントは釣り合っており、また、該反力W2は、該反力Fと該反力W1との和に等しくなるからである。すなわち、第1ガイドローラ36aは、第2ガイドローラ36bよりも大きな作用力をカムフレーム34から受けることとなるため、上述したように、該第2ガイドローラ36bよりも径を大きくすることにより補強されている。特に、本実施形態においては、前記弁体5A,5Bの中心と前記第1ガイドローラ36aの中心との距離をL1が、該第1ガイドローラ36aの中心と前記第2ガイドローラ36bの中心との距離をL2よりも長くなっていて、W2がFの2倍よりも大きくなるため、第1ガイドローラ36aを補強することがより望ましい。
2 弁箱
3 第1開口
4 第2開口
5A 第1弁体
5B 第2弁体
6,7 弁シート面
8,9 弁シール材
10 弁シャフト
l1 弁シャフトの軸線
11 駆動ロッド
12 ボンネット
13 レバー部材
15 弁組立体
30 ロッドアーム
31 圧縮ばね
32a 第1カムローラ
32b 第2カムローラ
33a 第1カム溝
33b 第2カム溝
34 カムフレーム
35 ガイド溝
36a 第1ガイドローラ
36b 第2ガイドローラ
40 ストッパー機構
41 停止ローラ
42 当接部
Claims (4)
- 互いに対向する側壁に、プロセスチャンバが接続される第1開口、及びトランスファチャンバが接続される第2開口が設けられ、これら開口廻りに互いに平行を成す弁シート面がそれぞれ形成された弁箱;
長手方向に先端部と基端部を有する弁シャフトと、該弁シャフトの先端部に取り付けられ、前記各弁シート面に対応する弁シール材をそれぞれ備えたプレート状の第1及び第2弁体と、により構成された弁組立体;
該弁シャフトに駆動ロッドが連結されたエアシリンダ;
を有していて、
前記エアシリンダにより前記弁組立体を、前記各弁体が前記各開口と非対向をなす全開位置から、該各弁体が前記各開口に対向する対向位置を経て、前記第1弁体の弁シール材が前記第1開口廻りの弁シート面に押し付けられて該第1開口を閉塞する第1閉塞位置、及び、前記第2弁体の弁シール材が前記第2開口廻りの弁シート面に押し付けられて該第2開口を閉塞する第2閉塞位置に移動させることができるように構成されたゲートバルブであって、
前記ゲートバルブは、前記駆動ロッドと弁シャフトとを相対的に変位可能なるように連結する連結機構と、前記弁組立体を前記各弁シート面に対して平行移動させる平行移動機構と、該弁組立体を前記各弁シート面に対して垂直移動させる垂直移動機構と、前記平行移動機構により前記弁組立体が前記全開位置から対向位置に至った時に、該弁組立体の平行移動を停止させると共に、前記垂直移動機構による該弁組立体の垂直移動を許容するストッパー機構とを有し、
前記連結機構は、前記駆動ロッドに固定されたロッドアームと、前記弁シャフトの基端部に固定されたレバー部材と、該レバー部材と前記ロッドアームとの間に介設された圧縮ばねとを有し、
前記平行移動機構は、前記レバー部材の左側面と右側面とにそれぞれ対面するように前記ロッドアームに固定された左右一対のカムフレームと、それぞれのカムフレームに前記平行移動方向に形成されたガイド溝と、前記弁箱が取り付けられたボンネットに固定の左右一対のローラフレームのそれぞれに複数取り付けられて前記ガイド溝に嵌合するガイドローラとを有し、前記左右一対のカムフレームにそれぞれ形成されたガイド溝は、その前記弁体側の端部に溝幅が拡大された拡幅部を有し、前記左右のローラフレームのそれぞれに取り付けられた複数のガイドローラのうち、最も前記弁体側に配されたものが、その他のものよりも大径に形成されていて、前記拡幅部に嵌合され、
前記垂直移動機構は、前記一対のカムフレームのそれぞれに複数形成されたカム溝と、前記レバー部材の左右側面のそれぞれに複数設けられ、前記各カム溝にそれぞれ嵌合させたカムローラとを有し、前記各カム溝は、前記平行移動方向において、前記弁体側の始端位置とそれと逆側の終端位置とこれらの間に設けられた中間位置とを有していて、前記垂直移動方向において、前記中間位置は始端位置よりも前記第1開口側に設けられ、前記終端位置は始端位置よりも前記第2開口側に設けられており、前記弁組立体の前記全開位置から対向位置に至る平行移動時には前記カムローラが前記始端位置に配されていて、該カムローラが中間位置に移動した時に、前記弁組立体が前記第1閉塞位置を占め、該カムローラが前記終端位置に移動した時に、該弁組立体が第2閉塞位置を占めるように構成されている、
ことを特徴とする無摺動型ゲートバルブ。 - 前記ストッパー機構は、前記垂直移動方向に回動自在に設けられた停止ローラと、前記停止ローラが接離する当接部とを有し、
これら停止ローラ及び当接部が、前記レバー部材及び前記ボンネットに互いに対向させてそれぞれ設けられており、
前記平行移動機構により前記弁組立体が前記全開位置から対向位置に至った時に、前記停止ローラが当接部に当接して前記弁組立体の平行移動を停止させ、前記垂直移動機構により該弁組立体が垂直移動する時に、該当接部上を停止ローラが転動するように構成されている、
ことを特徴とする請求項1に記載のゲートバルブ。 - 前記ストッパー機構において、前記停止ローラと当接部との対が、前記弁シャフトを挟んだ左右両側に設けられている、
ことを特徴とする請求項2に記載のゲートバルブ。 - 前記当接部が、前記停止ローラが転動可能に当接する当接面を長手方向の一端に備えたクッションロッドと、該クッションロッドの長手方向の他端側が当接するクッション部材とにより構成されている、
ことを特徴とする請求項2又は請求項3に記載のゲートバルブ。
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